JPH0677095B2 - 光デバイス - Google Patents

光デバイス

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JPH0677095B2
JPH0677095B2 JP57053348A JP5334882A JPH0677095B2 JP H0677095 B2 JPH0677095 B2 JP H0677095B2 JP 57053348 A JP57053348 A JP 57053348A JP 5334882 A JP5334882 A JP 5334882A JP H0677095 B2 JPH0677095 B2 JP H0677095B2
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flat plate
microlens
light
plate microlens
microlenses
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昇 山本
哲也 山崎
健一 伊賀
正尋 及川
成嘉 三沢
純一 坂野
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Nippon Sheet Glass Co Ltd
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Nippon Sheet Glass Co Ltd
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4202Packages, e.g. shape, construction, internal or external details for coupling an active element with fibres without intermediate optical elements, e.g. fibres with plane ends, fibres with shaped ends, bundles
    • G02B6/4203Optical features
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/26Optical coupling means
    • G02B6/28Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
    • G02B6/2804Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals forming multipart couplers without wavelength selective elements, e.g. "T" couplers, star couplers
    • G02B6/2817Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals forming multipart couplers without wavelength selective elements, e.g. "T" couplers, star couplers using reflective elements to split or combine optical signals

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は平板状でありながらレンズ作用を有する平板マ
イクロレンズを基本的要素とした光デバイスに関する。
(従来の技術) 光通信や計測等の分野における光スイッチ、光分岐回
路、光分波回路などには光源、光ファイバーからの光線
を平行ビームに変換したり、逆に平行ビームを1点に集
束する要素を必要とする。この要素として従来は分布屈
折率ロッドレンズ(商品明セルフォックレンズ)を用い
ている。
(発明が解決しようとする課題) 斯かる分布屈折率ロッドレンズを用いた場合には、必要
な精度でもって多数のレンズをその軸心をそろえて、一
次元状或は二次元状に束ねなければならずその作業が面
倒であり、またレンズを束ねた状態を維持するのが困難
である等の問題があり、大量生産することができないと
いう不利がある。
本発明者は上記従来の問題点を解決すべく本発明を成し
たものであり、その目的とする処は、光ファイバーの接
合作業等の面において極めて容易で、しかもレンズの配
列作業を簡単にした各種光デバイスを提供するにある。
(課題を解決するための手段) 上記問題点を解決すべく本願の特許請求の範囲第1項に
記載した発明は、表面を平面状としたガラス基材にマス
クを介してイオン交換を行うことで透明ガラス基材の内
部に複数個のレンズ部分を配列した第1、第2及び第3
の平板マイクロレンズと、ハーフミラー面を有するプリ
ズムとからなる光デバイスであって、前記第1、第2及
び第3の平板マイクロレンズは入射面及び出射面を平板
マイクロレンズの非レンズ部分に形成し、第1の平板マ
イクロレンズの入射面には光ファイバーが接続され、第
2及び第3の平板マイクロレンズの出射面には光ファイ
バーが接続され、また前記第1の平板マイクロレンズの
出射面は前記プリズムの一側面に全面的に当接し、前記
第2の平板マイクロレンズの入射面は前記第1の平板マ
イクロレンズを介してプリズムに入射した光線のうちハ
ーフミラー面を透過した光線が出射する面に全面的に当
接し、前記第3の平板マイクロレンズの入射面は前記第
1の平板マイクロレンズを介してプリズムに入射した光
線のうちハーフミラー面で反射した光線が出射する面に
全面的に当接していることをその要旨としている。
本願の特許請求の範囲第2項に記載した発明は、表面を
平面状としたガラス基材にマスクを介してイオン交換を
行うことで透明ガラス基材の内部に複数個のレンズ部分
を配列した第1、第2及び第3の平板マイクロレンズか
らなる光デバイスにおいて、前記第1、第2及び第3の
平板マイクロレンズは入射面及び出射面を平板マイクロ
レンズの非レンズ部分に形成し、前記第1の平板マイク
ロレンズの出射面及び第2の平板マイクロレンズの入射
面はハーフミラー傾斜面としてこれら傾斜面を光軸が一
致するように突き合せて全面的に接合し、また前記ハー
フミラー傾斜面からの反射光が出射する第1または第2
の平板マイクロレンズの一側面に前記第3の平板マイク
ロレンズの入射面を全面的に当接していることをその要
旨としている。
本願の特許請求の範囲第3項に記載した発明は、表面を
平面状としたガラス基材にマスクを介してイオン交換を
行うことで透明ガラス基材の内部に複数個のレンズ部分
を配列した第1及び第2の平板マイクロレンズを構成
し、これら第1及び第2の平板マイクロレンズは入射面
及び出射面を平板マイクロレンズの非レンズ部分に形成
し、第1の平板マイクロレンズの入射面及び第2の平板
マイクロレンズの出射面には光ファイバーが接続され、
また、第1の平板マイクロレンズの出射面と第2の平板
マイクロレンズの入射面は光軸が一致するように突き合
せて接合され、更に前記第1または第2の平板マイクロ
レンズの非レンズ部分の一部に全反射面となる切欠部を
形成し、この切欠部に透明体を密に挿着したことをその
要旨としている。
本願の特許請求の範囲第4項に記載した発明は、表面を
平面状としたガラス基材にマスクを介してイオン交換を
行うことで透明ガラス基材の内部に複数個のレンズ部分
を配列した第1、第2及び第3の平板マイクロレンズ
と、平面正三角形をなすプリズムとからなる光デバイス
において、前記第1、第2及び第3の平板マイクロレン
ズは入射面及び出射面を平板マイクロレンズの非レンズ
部分に形成し、前記第1の平板マイクロレンズの入射面
と第2及び第3の平板マイクロレンズの出射面には光フ
ァイバーが接続され、また前記第1の平板マイクロレン
ズの出射面と第2及び第3の平板マイクロレンズの入射
面は前記プリズムの各側面に全面的に当接せしめ、第1
の平板マイクロレンズを介してプリズムに入射した光線
の一部を第2の平板マイクロレンズと当接するプリズム
の側面にて反射せしめて第3の平板マイクロレンズに入
射せしめ、また第1の平板マイクロレンズを介してプリ
ズムに入射した光線の他の一部を第3の平板マイクロレ
ンズと当接するプリズムの側面にて反射せしめて第2の
平板マイクロレンズに入射せしめるようにしたことをそ
の要旨としている。
本願の特許請求の範囲第5項に記載した発明は、表面を
平面状としたガラス基材にマスクを介してイオン交換を
行うことで透明ガラス基材の内部に複数個のレンズ部分
を配列した2つの平板マイクロレンズの非レンズ部分の
間に特定の波長の光のみを透過し他の波長の光を反射す
る膜を挟持して第1の積層体とし、また別の2つの平板
マイクロレンズの非レンズ部分の間に前記とは異なる特
定の波長の光のみを透過し他の波長の光を反射する膜を
挟持して第2の積層体とし、これら第1及び第2の積層
体の対向面を光軸がずれるように接合するとともに各積
層体の対向面と反対側面には透過光受光用の光ファイバ
ーを接合したことをその要旨としている。
(実施例) 以下に本発明の実施の一例を添付図面に従って詳述す
る。
第1図は本発明に係る各種デバイスの基本要素となる平
板マイクロレンズを示したものであり、平板マイクロレ
ンズ1は表面を平面状とした透明ガラス基材2の片面2a
側肉厚内に、屈折率が中心において最大で外側に向って
次第に減少する屈折率分布をもつ略半球形のレンズ部分
3を複数個配列し、このレンズ部分3の曲面屈折面3aを
透明ガラス基材2内に位置せしめて一体形成し、このレ
ンズ部分3の焦点距離が基材2の厚みと略等しくなるよ
うにしている。そして基材2の非レンズ部分の他面2bに
は支持板4を貼着し、この支持板4のレンズ部分3の光
軸と一致する部分に穿設した孔5に光ファイバー6の端
部を挿着し、光ファイバー6の端面が上記基材2の非レ
ンズ部分の他面2bに当接するようにしている。
而して、光ファイバー6から入射した光はレンズ部分3
で屈折し、片面2aから平行光束に変換して出射する。
また斯かる平板マイクロレンズ1を作成するには、アル
カリ含有ガラスで透明基材2を作り、レンズ部分のパタ
ーン開口を有するイオン透過防止用マスクを基材2の片
面に付着し、次いでタリウム、セシウム等屈折率増加に
寄与の大きいイオンを含む溶融塩内で自然に或は電圧を
印加してイオン交換を行うことでレンズ部分3を形成す
る。
第2図及び第3図は平板マイクロレンズの変形例を示す
ものであり、第2図に示す平板マイクロレンズ7は第1
図に示す平板マイクロレンズ1を2枚互いのレンズ部分
3が向き合うように貼り合せたものであり、第3図に示
す平板マイクロレンズ8は第1図に示す平板マイクロレ
ンズ1を2枚互いのレンズ部分3が同じ方向を向くよう
に貼り合せたものである。このようにすることで、基材
の厚みを薄くでき、またNA(開口数)の向上及び収差の
補正を行うことができる。したがって第1図に示す平板
マイクロレンズを3枚以上貼り合せるようにしてもよ
い。いうまでもなく、このように2枚以上の基材を積層
して平板マイクロレンズを構成する場合は、光ファイバ
ーが接続される最外側基材の厚みを個々の基材のレンズ
部分を統合したレンズ系の焦点距離に略等しく選ぶ。
第4図以降は上記平板マイクロレンズを用いた本発明に
係る各種光デバイスを示すものである。第4図は特許請
求の範囲第1項に記載した光デバイスを具体化したもの
であり、第5図は特許請求の範囲第2項に記載した光デ
バイスを具体化したものであり、第6図は特許請求の範
囲第3項に記載した光デバイスを具体化したものであ
り、第7図は特許請求の範囲第4項に記載した光デバイ
スを具体化したものであり、第8図は特許請求の範囲第
5項に記載した光デバイスを具体化したものである。
第4図に示すデバイス9は第1の平板マイクロレンズ10
a,第2の平板マイクロレンズ10b,第3の平板マイクロレ
ンズ10cと2個のプリズム11,11をハーフミラー面11aで
合せたプリズムからなる。そして第1の平板マイクロレ
ンズ10a,第2の平板マイクロレンズ10b,第3の平板マイ
クロレンズ10cは入射面及び出射面を平板マイクロレン
ズの非レンズ部分に形成している。第1の平板マイクロ
レンズ10aの入射面に光ファイバー12aが接続され、第
2、第3の平板マイクロレンズ10b,10cの出射面に光フ
ァイバー12b,12cが夫々接続される。前記第1の平板マ
イクロレンズ10aの出射面は前記プリズムの一側面に全
面的に当接し、前記第2の平板マイクロレンズ10bの入
射面は前記第1の平板マイクロレンズ10aを介してプリ
ズムに入射した光線のうちハーフミラー面11aを透過し
た光線が出射する面に全面的に当接し、前記第3の平板
マイクロレンズ10cの入射面は前記第1の平板マイクロ
レンズ10aを介してプリズムに入射した光線のうちハー
フミラー面11aで反射した光線が出射する面に全面的に
当接している。而して、光ファイバー12aを介して入射
した光束のうち半分をプリズムのハーフミラー面11aを
通過せしめて光ファイバー12bから取り出し、残り半分
をハーフミラー面11aで反射せしめて光ファイバー12cか
ら取り出すようにしている。
第5図に示すデバイス13は、第1、第2及び第3の平板
マイクロレンズ14a,14b,14cからなる。そして第1、第
2及び第3の平板マイクロレンズ14a,14b,14cは入射面
及び出射面を平板マイクロレンズの非レンズ部分に形成
している。前記第1の平板マイクロレンズ14aの入射面
には光ファイバー15aが接続され、第2及び第3の平板
マイクロレンズ14b,14cの出射面には光ファイバー15b,1
5cが夫々接続されている。前記第1の平板マイクロレン
ズ14aの出射面及び第2の平板マイクロレンズ14bの入射
面はハーフミラー傾斜面16としてこれら傾斜面を光軸が
一致するように突き合せて全面的に接合し一体化し、ま
た前記ハーフミラー傾斜面16からの反射光が出射する第
1または第2の平板マイクロレンズの一側面に前記第3
の平板マイクロレンズ14cの入射面を全面的に当接して
いる。而して、光ファイバー15aを介して入射した光束
を前記ハーフミラー傾斜面16で半分だけ反射せしめ、分
岐した光束を光ファイバー15b,15cから取り出すように
している。
第6図に示すデバイス17は第1及び第2の平板マイクロ
レンズ18a,18bを第1の平板マイクロレンズ18aの出射面
と第2の平板マイクロレンズ18bの入射面の光軸が一致
するように突き合せて接合し、第2の平板マイクロレン
ズ18bの非レンズ部分の一部に全反射面となる切欠部19
を設け、この切欠部19内に透明体20を密に挿着した構成
としている。そして、ここでも第1及び第2の平板マイ
クロレンズ18a,18bは入射面及び出射面を平板マイクロ
レンズの非レンズ部分に形成し、第1の平板マイクロレ
ンズ18aの入射面及び第2の平板マイクロレンズ18bの出
射面には夫々光ファイバ21a,21bが接続されている。而
して第1の平体マイクロレンズ18aに接続した光ファイ
バー21aから入った光束のうち一部は上記全反射面によ
って反射せしめられ、透明体20を介して出射し、また残
りの光束は第2の平板マイクロレンズ18bの光ファイバ
ー21bから取り出される。
第7図に示すデバイス22は、第1、第2及び第3の平板
マイクロレンズ23a,23b,23cと、平面正三角形をなすプ
リズム24とからなる。前記第1、第2及び第3の平板マ
イクロレンズ23a,23b,23cは入射面及び出射面を平板マ
イクロレンズの非レンズ部分に形成し、前記第1の平板
マイクロレンズ23aの入射面と第2及び第3の平板マイ
クロレンズ23b,23cの出射面には夫々光ファイバー25a,2
5b,25cが接続され、また前記第1の平板マイクロレンズ
23aの出射面と第2及び第3の平板マイクロレンズ23b,2
3cの入射面は前記プリズム24の各側面に全面的に当接せ
しめている。而して、光ファイバー25a、第1の平板マ
イクロレンズ23aを介して入射した光束のうちプリズム2
4の内端面24aに当るものはここで全反射して第3の平板
マイクロレンズ23cに入り光ファイバー25cから取り出さ
れ、また内端面24bに当るものはこの面で全反射して第
2の平板マイクロレンズ23bに入り光ファイバー25bから
取り出されるようになっている。
第8図に示すデバイス26は、2つの平板マイクロレンズ
27a,27aの非レンズ部分の間に特定の波長λ1の光のみを
透過し他の波長の光を反射する膜28aを挟持して第1の
積層体29aとし、また別の2つの平板マイクロレンズ27
b,27bの非レンズ部分の間に前記とは異なる特定の波長
λ2の光のみを透過し他の波長の光を反射する膜28bを挟
持して第2の積層体29bとし、2個の積層体29a,29bをそ
の対向面を光軸がずれるようにずらせて接合している。
第1の積層体29aは、2個の平板マイクロレンズ27a,27a
に光軸をずらせて入射光受光用の光ファイバー30と透過
光受光用の光ファイバー31を夫々接続している。第2の
積層体29bは、第1の積層体29aとの対向面と反対側のレ
ンズ27bに第1の積層体29aから反射する光の光軸と光軸
をずらせて透過光受光用の光ファイバー32を接続してい
る。而して入射光は膜28aによってλ1波長の光のみが透
過し、λ1波長の光が平板マイクロレンズ27aから出射す
る。λ1以外の波長の光は膜28aで反射されてレンズ27b
に入り、膜28bによってλ2波長の光のみが透過し、λ2
波長の光がレンズ27bから出射する。このように、第1
の積層体29aにおいてλ1波長の光のみを取り出し、第2
の積層体29bにおいてλ2波長の光のみを取り出すように
している。
(発明の効果) 以上の説明で明らかな如く本発明によれば、平板マイク
ロレンズは、表面を平面状としたガラス基材にマスクを
介してイオン交換を行うことで透明ガラス基材の内部に
複数個のレンズ部分を配列してなり、入射面または出射
面をその非レンズ部分に形成し、入射面または出射面に
光ファイバーを接続している。この光ファイバーを接続
した平板マイクロレンズに光の分岐、分波等を行う機能
素子を組合せたので、各種デバイスを製作する際に光軸
整合を行う必要がなく、極めて容易に一次元アレー状或
は2次元マトリックス状に配列することができ、且つそ
の状態を維持することができる等多大の利点を有する。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の実施の一例を示すものであり、第1図乃
至第3図は本発明に係る各種デバイスの基本要素となる
平板マイクロレンズの平断面図、第4図乃至第7図は光
分岐挿入回路を構成するデバイスの概略図、第8図は光
多重分波回路を構成するデバイスの概略図である。 尚、図面図、10a,10b,10c,14a,14b,14c,18a,18b,23a,23
b,23c,27a,27bは平板マイクロレンズ、2は透明基材、
3はレンズ部分、6,12a,12b,12c,15a,15b,15c,21a,21b,
25a,25b,25c,30,31,32は光ファイバー、9,13,17,22,26
はデバイス、11,20,24,28a,28bは素子である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊賀 健一 神奈川県横浜市緑区長津田4259 東京工業 大学精密工学研究所内 (72)発明者 及川 正尋 神奈川県横浜市緑区長津田4259 東京工業 大学精密工学研究所内 (72)発明者 三沢 成嘉 神奈川県横浜市緑区長津田4259 東京工業 大学精密工学研究所内 (72)発明者 坂野 純一 神奈川県横浜市緑区長津田4259 東京工業 大学精密工学研究所内 (56)参考文献 特開 昭55−18618(JP,A) 特開 昭55−33150(JP,A)

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】表面を平面状としたガラス基材にマスクを
    介してイオン交換を行うことで透明ガラス基材の内部に
    複数個のレンズ部分を配列した第1、第2及び第3の平
    板マイクロレンズと、ハーフミラー面を有するプリズム
    とからなる光デバイスであって、前記第1、第2及び第
    3の平板マイクロレンズは入射面及び出射面を平板マイ
    クロレンズの非レンズ部分に形成し、第1の平板マイク
    ロレンズの入射面には光ファイバーが接続され、第2及
    び第3の平板マイクロレンズの出射面には光ファイバー
    が接続され、また前記第1の平板マイクロレンズの出射
    面は前記プリズムの一側面に全面的に当接し、前記第2
    の平板マイクロレンズの入射面は前記第1の平板マイク
    ロレンズを介してプリズムに入射した光線のうちハーフ
    ミラー面を透過した光線が出射する面に全面的に当接
    し、前記第3の平板マイクロレンズの入射面は前記第1
    の平板マイクロレンズを介してプリズムに入射した光線
    のうちハーフミラー面で反射した光線が出射する面に全
    面的に当接していることを特徴とする光デバイス。
  2. 【請求項2】表面を平面状としたガラス基材にマスクを
    介してイオン交換を行うことで透明ガラス基材の内部に
    複数個のレンズ部分を配列した第1、第2及び第3の平
    板マイクロレンズからなる光デバイスにおいて、前記第
    1、第2及び第3の平板マイクロレンズは入射面及び出
    射面を平板マイクロレンズの非レンズ部分に形成し、前
    記第1の平板マイクロレンズの出射面及び第2の平板マ
    イクロレンズの入射面はハーフミラー傾斜面としてこれ
    ら傾斜面を光軸が一致するように突き合せて全面的に接
    合し、また前記ハーフミラー傾斜面からの反射光が出射
    する第1または第2の平板マイクロレンズの一側面に前
    記第3の平板マイクロレンズの入射面を全面的に当接し
    ていることを特徴とする光デバイス。
  3. 【請求項3】表面を平面状としたガラス基材にマスクを
    介してイオン交換を行うことで透明ガラス基材の内部に
    複数個のレンズ部分を配列した第1及び第2の平板マイ
    クロレンズを構成し、これら第1及び第2の平板マイク
    ロレンズは入射面及び出射面を平板マイクロレンズの非
    レンズ部分に形成し、第1の平板マイクロレンズの入射
    面及び第2の平板マイクロレンズの出射面には光ファイ
    バーが接続され、また、第1の平板マイクロレンズの出
    射面と第2の平板マイクロレンズの入射面は光軸が一致
    するように突き合せて接合され、更に前記第1または第
    2の平板マイクロレンズの非レンズ部分の一部に全反射
    面となる切欠部を形成し、この切欠部に透明体を密に挿
    着したことを特徴とする光デバイス。
  4. 【請求項4】表面を平面状としたガラス基材にマスクを
    介してイオン交換を行うことで透明ガラス基材の内部に
    複数個のレンズ部分を配列した第1、第2及び第3の平
    板マイクロレンズと、平面正三角形をなすプリズムとか
    らなる光デバイスにおいて、前記第1、第2及び第3の
    平板マイクロレンズは入射面及び出射面を平板マイクロ
    レンズの非レンズ部分に形成し、前記第1の平板マイク
    ロレンズの入射面と第2及び第3の平板マイクロレンズ
    の出射面には光ファイバーが接続され、また前記第1の
    平板マイクロレンズの出射面と第2及び第3の平板マイ
    クロレンズの入射面は前記プリズムの各側面に全面的に
    当接せしめ、第1の平板マイクロレンズを介してプリズ
    ムに入射した光線の一部を第2の平板マイクロレンズと
    当接するプリズムの側面にて反射せしめて第3の平板マ
    イクロレンズに入射せしめ、また第1の平板マイクロレ
    ンズを介してプリズムに入射した光線の他の一部を第3
    の平板マイクロレンズと当接するプリズムの側面にて反
    射せしめて第2の平板マイクロレンズに入射せしめるよ
    うにしたことを特徴とする光デバイス。
  5. 【請求項5】表面を平面状としたガラス基材にマスクを
    介してイオン交換を行うことで透明ガラス基材の内部に
    複数個のレンズ部分を配列した2つの平板マイクロレン
    ズの非レンズ部分の間に特定の波長の光のみを透過し他
    の波長の光を反射する膜を挟持して第1の積層体とし、
    また別の2つの平板マイクロレンズの非レンズ部分の間
    に前記とは異なる特定の波長の光のみを透過し他の波長
    の光を反射する膜を挟持して第2の積層体とし、これら
    第1及び第2の積層体の対向面を光軸がずれるように接
    合するとともに各積層体の対向面と反対側面には透過光
    受光用の光ファイバーを接合したことを特徴とする光デ
    バイス。
JP57053348A 1982-03-31 1982-03-31 光デバイス Expired - Lifetime JPH0677095B2 (ja)

Priority Applications (1)

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JP57053348A JPH0677095B2 (ja) 1982-03-31 1982-03-31 光デバイス

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JP57053348A JPH0677095B2 (ja) 1982-03-31 1982-03-31 光デバイス

Publications (2)

Publication Number Publication Date
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