JP2002169054A

JP2002169054A - 波長合分波器

Info

Publication number: JP2002169054A
Application number: JP2000366746A
Authority: JP
Inventors: Hironori Sasaki; 浩紀佐々木
Original assignee: Oki Electric Industry Co Ltd
Current assignee: Oki Electric Industry Co Ltd
Priority date: 2000-12-01
Filing date: 2000-12-01
Publication date: 2002-06-14

Abstract

(57)【要約】【課題】光量の低減を防止し得る波長合分波器を提供
する。【解決手段】異なる波長を有する複数の光を多重化
し、あるいは多重化された多重光を各波長の光に分離す
る波長合分波器１０。波長合分波器１０は、それぞれが
異なる波長の光を反射するための反射面を有し反射光を
除く光の透過を許す複数の波長選択フィルタであって前
記反射面が相互に間隔をおいて配置される複数の波長選
択フィルタ２７〜２９と、該各波長選択フィルタの前記
反射面に前記多重光を斜めに案内する第１のレンズ２２
および各前記フィルタの前記反射面で反射された各波長
の光を集光させるべく前記第１のレンズと共同してそれ
ぞれが前記多重光の各波長の光を結像させるための複数
の第２のレンズ２３〜２６とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、波長多重通信シス
テムに用いるのに好適な波長合分波器に関し、特に、光
の合波および分波で、光量に、その損失による大きな変
化をもたらすことのない波長合分波器に関する。

【０００２】

【従来の技術】波長多重通信システムでは、波長を相互
に異にする光信号を合波することにより多重化しあるい
は合波により多重化された多重信号光をそれぞれの波長
の光信号に分波するために、波長合分波器が用いられて
いる。従来の波長合分波器は、光導波路と、所定の波長
の信号光の透過を許す波長選択フィルタとを備える。こ
の従来の波長合分波器によれば、光導波路に導かれた波
長多重信号光は該光導波路の分岐部により、その分岐数
に応じて分割され、それぞれに分岐された多重信号光か
ら、各波長選択フィルタにより、該フィルタに対応した
波長の信号光が選択的に取り出される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記し
たような光導波路を利用した従来の波長合分波器では、
光導波路に案内された前記多重光がその分岐部で分割さ
れるとき、光導波路の分岐部での結合効率の関係から、
各分割光の光量は、各分割光間で分割数に対応して分割
される。そのため、前記各波長選択フィルタから取り出
された各光信号の光量は、著しく低減する。例えば２つ
の波長が多重化された多重光からそれぞれの波長の光信
号を得る場合、その光信号の光量は多重光のそれの半値
になり、４つの波長が多重化された多重光の場合、これ
から得られる各波長の光信号の光量は、多重光のそれの
四半分の値になる。このような光量の低減は、波長合分
波器に接続される光学素子の感度の増大あるいは発光源
の発光量の増大を必要とすることから、望ましくはな
い。

【０００４】また、光導波路を利用した前記波長合分波
器では、複数の波長の光がその多重化のために、光導波
路の各分岐部から単一の導波路部分に案内されるとき、
前記した光導波路の結合効率の関係から、前記した分波
におけると同様に、各波長の光の強度は、合波される光
の数、すなわち、多重化を受ける光の数に応じて、低減
される。

【０００５】従って、本発明の目的は、光量の低減を防
止し、合波および分波で光量に従来のような大きな変化
をもたらすことのない波長合分波器を提供することにあ
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、以上の点を解
決するために、次の構成を採用する。〈構成〉本発明は、異なる波長を有する複数の光を多重
化し、あるいは多重化された多重光を各波長の光に分離
する波長合分波器であって、それぞれが異なる波長の光
を反射するための反射面を有し反射光を除く光の透過を
許す複数の波長選択フィルタであって前記反射面が相互
に間隔をおいて配置される複数の波長選択フィルタと、
該各波長選択フィルタの前記反射面に前記多重光を斜め
に案内する第１のレンズおよび各前記フィルタの前記反
射面で反射された各波長の光を集光させるべくそれぞれ
が前記第１のレンズと共同して前記多重光から分離され
た各波長の光を結像させるための複数の第２のレンズと
を含むことを特徴とする。

【０００７】〈作用〉本発明に係る前記波長合分波器で
は、複数の光が合波されてなる多重光は、各波長選択フ
ィルタで、各波長の光がそれぞれに光量を分割されるこ
となく、反射および透過により分離された後、前記第１
および第２のレンズの組み合わせにより、各波長毎の光
に分波され、それぞれが波長毎の光として取り出され
る。また、各第２のレンズから入射する各波長の光は、
前記フィルタを経て、従って、光導波路の結合効率によ
る損失を受けることなく、第１のレンズに向けられるこ
とから、従来のような結合効率に起因する損失を生じる
ことなく、複数の波長の光が合波により、多重化され
る。

【０００８】従って、分波時に、取り出された各波長毎
の光の光量が、従来のように分割される光の数の逆数に
応じて低減されることがないことから、各波長の光をそ
の光量に従来のような大きな低減を招くことなく、取り
出すことが可能となる。また、合波時においても、多重
化された光の光量が、従来のような光導波路での結合損
失により損なわれることはない。

【０００９】前記第１のレンズ及び複数の第２のレンズ
は、平行光束を集光させかつ入射光軸および出射光軸が
角度的である軸ずれ型コリメートレンズで構成すること
ができる。前記各軸ずれ型コリメートレンズとして、コ
ンピュータを利用して所望の光学特性を表す光路差関数
を求め、この光路差関数に基づいて形成されるエッチン
グマスクを用いて光学基板にエッチング処理を施すこと
により得られるいわゆるＣＧＨ素子を用いることが望ま
しい。

【００１０】前記各波長選択フィルタは、従来よく知ら
れた誘電体多層膜で形成することができる。前記波長選
択フィルタ群は、例えば所定の波長以下の光を反射し、
それよりも長波の光の透過を許す、いわゆる低波長帯域
阻止フィルタ特性を示すフィルタの組み合わせで構成す
ることができ、またはそれぞれが異なる所定の波長の光
のみを反射し、他の波長光の透過を許す、いわゆる定波
長帯域阻止フィルタ特性を示すフィルタの組み合わせで
構成することができる。

【００１１】また、平板状の光の透過を許す複数の光学
基板であって前記多重光の入出射面および分離された前
記各光の入出射面が一方の面に規定される第１の光学基
板および該光学基板の他方の面に順次積層される複数の
光学基板を備える積層体を用い、前記第１の光学基板の
他方の面と該面に隣接する前記光学基板との間に前記第
１および第２のレンズを配置し、前記第１の光学基板を
除く他の前記光学基板の相互に隣接する面間に前記フィ
ルタを積層方向に順次挿入することができる。

【００１２】前記積層体の前記第１の光学基板から最も
離れた位置にある前記光学基板の他の前記光学基板に隣
接しない面に、前記基板に斜めに入射する光の透過を阻
止して該光を反射するためのミラーを設けることがで
き、これにより光の損失量を最小限に押さえることがで
きる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図示の実施の形態
について詳細に説明する。〈具体例１〉図１は、本発明に係る波長合分波器の具体
例１を示す。本発明に係る波長合分波器１０は、図１に
示されているように、複数の光学基板１１〜１５を積層
して成る積層体１６を備える。図示の例では、前記光学
基板１１〜１５は、それぞれが例えば１．５ｍｍのほぼ
等しい厚さ寸法ｔを有する５枚の石英ガラス板１１〜１
５からなる。

【００１４】図中、最上方に配置される第１の光学基板
１１の一方の面１１ａには、多重光を波長合分波器１０
に案内しあるいは該分波器からの多重光を受ける光学素
子であるシングルモードの光ファイバ１７が光学的に接
続されている。また、第１の光学基板１１の一方の面１
１ａには、多重光から分離される各波長λ₁〜λ₄を受け
る受光器、あるいは多重化されるべき各波長λ₁〜λ₄の
光源たるレーザダイオードまたはフォトダイオードのよ
うな発光素子から成る光学素子１８〜２１が、光学的に
接続されている。

【００１５】図示の例では、例えば１．２８μｍの波長
λ₁を有する光からなる信号光、１．３０μｍの波長λ₂
の信号光、１．３２μｍの波長λ₃を有する光からなる
信号光、１．３４μｍの波長λ₄を有する光からなる信
号光をそれぞれ取り扱う例えば４つの受光器からなる光
学素子１８〜２１のそれぞれが、相互に間隔をおいて第
１の光学基板１１の一方の面１１ａに対向させて配置さ
れている。

【００１６】第１の光学基板１１から図中下方へ向けて
順次第２ないし第５の光学基板１２〜１５が積層されて
おり、第１の光学基板１１と該光学基板に隣り合う第２
の光学基板１２との間、すなわち、第１の光学基板１１
の他方の面１１ｂと該面に向き合う第２の光学基板１２
の一方の面１２ａとの間には、各波長λ₁〜λ₄の合波か
らなり光ファイバ１７から発散される多重信号光または
該光ファイバへ向けての前記多重信号光を取り扱う第１
の光学レンズ２２と、それぞれが前記多重光から分離さ
れた各波長λ₁〜λ₄の信号光あるいは多重化される各波
長λ₁〜λ₄の信号光を取り扱う図示の例では４つの第２
の光学レンズ２３、２４、２５および２６が配置されて
いる。

【００１７】また、第２の光学基板１２と第３の光学基
板１３との間、第３の光学基板１３と第４の光学基板１
４との間、および第４の光学基板１４と第５の光学基板
１５との間には、λ₁〜λ₃の信号光をそれぞれ反射する
ための例えばそれぞれが誘電体多層膜からなる波長選択
フィルタ２７、２８および２９が、相互に平行となるよ
うに、各光学基板１１〜１４の板厚ｔに対応する間隔を
おいて、順次、配置されている。

【００１８】第５の光学基板１５の波長選択フィルタ２
９が設けられた一方の面１５ａと反対側の他方の面１５
ｂには、例えばアルミニゥムのような反射金属膜からな
るミラー３０が設けられている。これにより、ミラー３
０は、該ミラーが設けられた第５の光学基板１５の板厚
ｔに対応する間隔をおいて、波長選択フィルタ２９に平
行に設けられている。

【００１９】第２の光学基板１２の他方の面１２ｂと該
面に向き合う第３の光学基板１３の一方の面１３ａとの
間に設けられた第１の波長選択フィルタ２７は、波長λ
₁およびこれよりも短い波長の光を反射するが、波長λ₁
を越える長い波長の光を透過させる、いわゆる低波長帯
域阻止フィルタ特性を有する。

【００２０】また、第３の光学基板１３の他方の面１３
ｂと該面に向き合う第４の光学基板１４の一方の面１４
ａとの間に設けられた第２の波長選択フィルタ２８は、
波長λ₂およびこれよりも短い波長の光を反射するが、
波長λ₂を越える長い波長の光を透過させる低波長帯域
阻止フィルタ特性を有する。

【００２１】また、第４の光学基板１４の他方の面１４
ｂと該面に向き合う第５の光学基板１５の前記一方の面
１５ａとの間に設けられた第３の波長選択フィルタ２９
は、波長λ₃およびこれよりも短い波長の光を反射する
が、波長λ₃を越える長い波長の光を透過させる低波長
帯域阻止フィルタ特性を有する。

【００２２】第１の光学基板１１と第２の光学基板１２
との間に設けられた第１の光学レンズ２２は、その入射
光側および出射光側における光軸が互いに角度的に形成
された、いわゆる軸ずれ型のレンズである。第１の光学
レンズ２２の光ファイバ１７との結合側である一方の光
軸、例えば入射側の光軸は、光ファイバ１７の結合端部
１７ａにおける軸線に一致すべく、各光学基板１１〜１
５の板厚ｔの方向に一致する。他方、光ファイバ１７と
の結合側と反対側に位置する例えば出射側の光軸は、各
光学基板１１〜１５の板厚ｔの方向に関して傾斜する。
また、図示の例では、第１の光学レンズ２２は、光ファ
イバ１７からの発散光を平行光束に変換するコリメート
機能を有する。

【００２３】従って、光ファイバ１７から発散される前
記多重光（λ₁〜λ₄）から成る信号光は、第１の光学レ
ンズ２２により実現される軸ずれ型のコリメートレンズ
機能により、各波長選択フィルタ２７、２８および２９
に関して斜めに入射する平行光束に変換される。

【００２４】また、図示の例では、光ファイバ１７から
の発散光を平行光束に変換するコリメート機能を有する
コリメートレンズである第１の光学レンズ２２は、第１
の光学基板１１の厚さ寸法ｔにほぼ等しい焦点距離ｆ₁
を有する。

【００２５】従って、軸ずれ型のコリメートレンズ２２
は、光ファイバ１７から発散される前記多重信号光（λ
₁〜λ₄）を、各波長選択フィルタ２７、２８および２９
に関して斜めに入射する平行光束に変換する作用をな
す。

【００２６】このコリメートレンズ２２の案内作用によ
り、光ファイバ１７から発散される前記多重信号光（λ
₁〜λ₄）は、第１の波長選択フィルタ２７に、その反射
面に関して斜めに入射される。第１の波長選択フィルタ
２７に入射する前記多重信号光（λ₁〜λ₄）のうち、波
長選択フィルタ２７の前記したフィルタ特性により、波
長λ₁を有する信号光のみが反射の法則に従って、第１
の光学レンズ２２に隣り合ってこれに整列して配置され
た第２の光学レンズ２３へ向けて反射され、この反射さ
れる信号光の波長よりも長波長光であるその他の信号光
（λ₂〜λ₄）は、第１の波長選択フィルタ２７を透過
し、第２の波長選択フィルタ２８に向けられる。

【００２７】第１の波長選択フィルタ２７を透過して第
２の波長選択フィルタ２８に向けられる信号光（λ₂〜
λ₄）が、第２の波長選択フィルタ２８に、その反射面
に関して斜めに入射されると、第２の波長選択フィルタ
２８の前記したフィルタ特性により、その入射光のう
ち、波長λ₂を有する信号光のみが反射の法則に従っ
て、第２の光学レンズ２３に隣り合ってこれに整列して
配置された第２の光学レンズ２４へ向けて反射され、こ
の反射される信号光の波長よりも長波長であるその他の
信号光（λ₃およびλ₄）は、第２の波長選択フィルタ２
８を透過し、第３の波長選択フィルタ２９に向けられ
る。

【００２８】第３の波長選択フィルタ２９に向けられる
信号光（λ₃およびλ₄）が、第３の波長選択フィルタ２
９に、その反射面に関して斜めに入射されると、第３の
波長選択フィルタ２９の前記したフィルタ特性により、
その入射光のうち、波長λ₃を有する信号光のみが反射
の法則に従って、第２の光学レンズ２４に隣り合ってこ
れに整列して配置された第２の光学レンズ２５へ向けて
反射され、この反射される信号光の波長よりも長波長で
ある残りの信号光（λ₄）は、第３の波長選択フィルタ
２９を透過し、ミラー３０に向けられる。

【００２９】第３の波長選択フィルタ２９を透過してミ
ラー３０に向けられた信号光（λ₄）は、ミラー３０の
鏡面反射により、反射の法則に従って第２の光学レンズ
２５に隣り合ってこれに整列して配置された第２の光学
レンズ２６に向けられる。

【００３０】ミラー３０に代えて、波長λ₄を反射し、
これを越える長波長光を透過する前記したと同様な低波
長帯域阻止フィルタ特性を有する波長選択フィルタを用
いることができる。しかしながら、光量の損失の低減を
確実に抑制する点で、最終段となる波長選択フィルタ
に、前記したとおり、ミラー３０を採用することが望ま
しい。

【００３１】各フィルタ２７〜２９およびミラー３０か
らの反射光を平行光束として受ける各第２の光学レンズ
２３〜２６は、この平行光束を対応する各光学素子であ
るそれぞれの受光器１８〜２１に集光させるべく、第１
の光学レンズ２２と面対象的な光学特性を示す軸ずれ型
のコリメートレンズからなる。従って、各第２の光学レ
ンズ２３〜２６は、それぞれ第１の光学基板１１の板厚
寸法ｔにほぼ等しい焦点距離ｆ₂を有する。

【００３２】各第２の光学レンズ２３〜２６は、光ファ
イバ１７からの発散光である多重信号光を受ける第１の
光学レンズ２２と共同した結像作用により、対応するそ
れぞれの各フィルタ２７〜２９により抽出されて分離さ
れかつこれらのフィルタまたはミラー３０で反射された
各波長の信号光（λ₁、λ₂、λ₃およびλ₄）のそれぞれ
を、対応する各受光器１８〜２１に集光させる。

【００３３】原理的には、各波長の相違に応じて、各波
長選択フィルタ２７〜２９およびミラー３０での反射角
および各レンズの軸ずれ角にわずかな差異が生じるが、
これらの差異は、実質的に無視できることから、図示の
通り、各波長選択フィルタ２７〜２９およびミラー３０
への入射光を単一の軸線に沿いかつこれらからの各反射
光が相互に平行であると考えることができる。

【００３４】また、第１の光学基板１１と第２の光学基
板１２との間で相互に整列して配置される各レンズ２２
〜２６として、それぞれが同一の軸ずれ角を有する屈折
型光学レンズを用いることができる。しかしながら、波
長合分波器１６のコンパクト化を図る上で、各レンズ２
２〜２６を例えば２５０μｍの直径を有する微細な光学
レンズで構成するとき、回折型光学レンズであるＣＧＨ
素子で構成することが望ましい。

【００３５】ＣＧＨ素子は、従来よく知られているよう
に、コンピュータを利用して求められた光路差関数から
微細な半導体製造技術に利用されるフォトリソエッチン
グ技術を利用して形成される。従って、所望の光学特性
を示す前記したような微細な光学レンズを比較的容易に
かつ正確に形成することができることから、前記したと
おり、各レンズ２２〜２６をＣＧＨ素子で構成すること
が望ましい。

【００３６】前記波長合分波器１０では、前記したよう
に、光ファイバ１７からの発散光である多重信号光は、
第１の光学レンズ２２の光学作用により、各波長選択フ
ィルタ２７〜２９に案内され、それぞれの波長選択フィ
ルタ２７〜２９の抽出作用により、波長毎に分離され、
それぞれの波長毎に分離された光信号すなわち分波され
た各光信号が、第１の光学レンズ２２と共同する各第２
の光学レンズ２３〜２６の光学作用により、対応する各
受光器１８〜２１に案内される。

【００３７】従って、前記波長合分波器１０によれば、
光ファイバ１７からの多重信号光は、従来のような光導
波路を利用して分割されることがないことから、光導波
路の結合係数による光量の低減を招くことなく、分波さ
れ、分波によって得られた各波長毎の信号光が対応する
各受光器１８〜２１に入力される。

【００３８】前記した光学素子１８〜２１として、前記
した受光器に代えて、レーザダイオードあるいはフォト
ダイオードのような発光素子からなる光源を用いること
により、該各光源からの波長の異なる信号光を合波によ
り、多重化することができる。

【００３９】すなわち、各光源１８〜２１からの波長の
異なる信号光（λ₁、λ₂、λ₃およびλ₄）は、対応する
各光学レンズ２２〜２６を経て対応する各波長選択フィ
ルタ２７〜２９またはミラー３０の反射面に案内され、
該各反射面での反射作用により、第１の光学レンズ２２
に向けられることから、各波長の信号光は相互に合波さ
れ、この合波により多重化された多重信号光が、各光学
レンズ２２〜２６との共同による第１の光学レンズ２２
の結像作用により、光ファイバ１７に案内される。

【００４０】本発明に係る前記波長合分波器１０によれ
ば、前記したように、各レンズ２２〜２６および波長選
択フィルタ２７〜２９の組み合わせにより、光導波路を
用いることなく、多重信号光を分波しあるいは各波長の
信号光を合波することができることから、光導波路の結
合係数による光量の損失を招くことなく、従って、光信
号の光量に大きな変動を生じることなく合波および分波
が可能となる。

【００４１】前記した波長選択フィルタは、低波長帯域
阻止フィルタ特性を有するフィルタに代えて、それぞれ
が所定の波長の光信号の透過を阻止する定波長帯域阻止
フィルタ特性を有するフィルタを用いることができる。
図１の配置例に従えば、第１の波長選択フィルタ２７と
して、多重光（λ₁〜λ₄）のうち、最も短波長の信号光
（λ₁）のみを反射しその他の波長領域の信号光を透過
する定波長帯域阻止フィルタ特性を有する波長選択フィ
ルタが用いられる。また、第２および第３の各波長選択
フィルタ２８および２９として、信号光（λ₁）よりも
順次長波長側の信号光である信号光（λ₂）および信号
光（λ₃）のみをそれぞれ反射する定波長帯域阻止フィ
ルタ特性を有する波長選択フィルタが用いられる。

【００４２】ところで、このような定波長帯域阻止フィ
ルタ特性を有する波長選択フィルタを適用するとき、第
１〜第３の波長選択フィルタ２７〜２９の配置順は、積
層体１６の前記各光学基板１１〜１５の図中下方への積
層順に沿わせる必要はなく、第１〜第３の波長選択フィ
ルタ２７〜２９の配列順は、必要に応じて適宜を所望の
順とすることができることから、この配列順を考慮する
ことにより、分波により得られる各波長の光信号を所望
の配列順で取り出すことができ、また合波により多重化
させる各波長の信号光の配列を所望の配列順で入力する
ことができる。

【００４３】また、前記したところでは、各光学基板１
１〜１５に相互に等厚な厚さ寸法ｔを有する光学基板を
用いたが、必要に応じて、相互に異なる厚さ寸法の光学
基板１１〜１５を用いることができる。

【００４４】〈具体例２〉図２は、本発明に係る前記波
長合分波器１０の他の具体例を示す。図２に示す例で
は、第１の光学レンズ２２の焦点距離ｆ₁は、各第２の
光学レンズ２３〜２６の焦点距離ｆ₂のほぼ２倍の値を
示す。そのため、光ファイバ１７は、第１の光学基板１
１の板厚にほぼ等しい板厚を有する該基板と同様な補助
光学基板１１′を介して、第１の光学基板１１に接続さ
れている。

【００４５】このような補助光学基板１１′は、光ファ
イバ１７の端面におけるスポット径と、各光学素子１８
〜２１の受光面あるいは発光面におけるスポット径が異
なるときに、該両スポット半径の比に応じて第１の光学
レンズ２２および各第２の光学レンズ２３〜２６による
結像倍率（ｆ₂／ｆ₁）を一致させるべく各第２の光学レ
ンズ２３〜２６の焦点距離ｆ₂と異なる焦点距離ｆ₂の第
１の光学レンズ２２を用いるために、使用される。

【００４６】例えば各光学素子１８〜２１に３μｍのス
ポット半径を有する半導体レーザが用いられ、光ファイ
バ１７に６μｍのスポット半径を有するシングルモード
光ファイバが用いられたとき、両スポット半径の差に応
じたマッチングを取るために、第１の光学レンズ２２と
各第２の光学レンズ２３〜２６との焦点距離比（ｆ₂／
ｆ₁）が２倍すなわち結像倍率が２倍となるように、各
第１の光学レンズおよび各第２の光学レンズの各焦点距
離が設定され、これにより、光ファイバ１７の端面にお
けるスポット径と、各光学素子１８〜２１の発光面にお
けるスポット径との相違による結合損失の低減を図るこ
とができる。

【００４７】本発明に係る前記波長合分波器１０は、第
１の光学レンズ２２および各第２の光学レンズ２３〜２
６、各波長選択フィルタ２７〜２９またはミラー３０を
予め各光学基板のための光学基板ウエハに集合的に造り
込み、これらのウエハを積層して一体化した後、各波長
合分波器１０に分離して形成することができる。

【００４８】図３は、図１に示した前記波長合分波器１
０についての前記した製造方法の一工程を概略的に示
す。図３に示す例では、第１の光学基板１１のための第
１の基板ウエハ１１Ａの下面には、多数の波長合分波器
１０の領域毎に、第１の光学レンズ２２および各第２の
光学レンズ２３〜２６が予め造り込まれている。

【００４９】また、第２の光学基板１２のための第２の
基板ウエハ１２Ａ、第３の光学基板１３のための第３の
基板ウエハ１３Ａおよび第４の光学基板１４のための第
４の基板ウエハ１４Ａの各下面には、第１の波長選択フ
ィルタ２７のための誘電体多層膜２７Ａ、第２の波長選
択フィルタ２８のための誘電体多層膜２８Ａおよび第３
の波長選択フィルタ２９のための誘電体多層膜２９Ａが
それぞれ形成されている。さらに、第５の光学基板１５
のための第５の基板ウエハ１５Ａの下面には、ミラー３
０のための鏡面層３０Ａが形成されている。

【００５０】これら、第１〜第５の基板ウエハ１１Ａ〜
１５Ａは、適宜接着手段を介在させて、相互に積層さ
れ、一体化された後、それぞれの波長合分波器１０の領
域毎に、例えばダイシングにより分離することができ、
これにより本発明に係る前記波長合分波器１０を効率的
に製造することができる。

【００５１】前記したところでは、第１および複数の第
２のレンズのそれぞれにコリメートレンズを用いた例を
示したが、必要に応じて、第１および複数の第２のレン
ズのそれぞれに、入射光側および出射光側のそれぞれに
焦点を有する結像レンズを用いることができる。また、
前記したところでは、単一平面上に第１および複数の第
２の各レンズを並列的に配置したが、これに代えて、必
要に応じて、第１および複数の第２の各レンズをそれぞ
れの光軸方向に段階的にずれを以て配置することができ
る。さらに、前記したところでは、１．３μｍ波長帯域
の光信号に使用される波長合分波器について説明した
が、本発明に係る波長合分波器は、１．５μｍ波長帯域
の他、所望の波長帯域の光信号に適用することができ
る。

【００５２】

【発明の効果】本発明によれば、前記したように、相互
に間隔をおいて配置される複数の波長選択フィルタと、
前記第１および複数の第２のレンズの組み合わせとによ
り、光導波路を用いることなく、合波および分波が可能
になることから、光導波路の結合損失による光量の低減
を招くことなく、多重光から個々の波長の光を取り出す
ことができ、また個々の波長の光を多重化することが可
能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る波長合分波器の具体例１を概略的
に示す断面図である。

【図２】本発明に係る波長合分波器の具体例２を概略的
に示す断面図である。

【図３】本発明に係る波長合分波器の製造方法を概略的
に示す斜視図である。

【符号の説明】

１０波長合分波器１１〜１５光学基板２２第１のレンズ２３〜２６第２のレンズ２７〜２９波長選択フィルタ３０ミラー

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】異なる波長を有する複数の光を多重化
し、あるいは多重化された多重光を各波長の光に分離す
る波長合分波器であって、それぞれが異なる波長の光を反射するための反射面を有
し反射光を除く光の透過を許す複数の波長選択フィルタ
であって前記反射面が相互に間隔をおいて配置される複
数の波長選択フィルタと、該各波長選択フィルタの前記
反射面に前記多重光を斜めに案内する第１のレンズおよ
び各前記フィルタの前記反射面で反射された各波長の光
を集光させるべくそれぞれが前記第１のレンズと共同し
て前記多重光から分離された各波長の光を結像させるた
めの複数の第２のレンズとを含む波長合分波器。
【請求項２】前記第１のレンズ及び複数の第２のレン
ズは、平行光束を集光させかつ入射光軸および出射光軸
が角度的である軸ずれ型コリメートレンズである請求項
１記載の波長合分波器。
【請求項３】前記各軸ずれ型コリメートレンズは、Ｃ
ＧＨ素子である請求項２記載の波長合分波器。
【請求項４】前記波長選択フィルタは、誘電体多層膜
から成る請求項１記載の波長合分波器。
【請求項５】さらに、平板状の光の透過を許す複数の
光学基板であって前記多重光の入出射面および分離され
た前記各光の入出射面が一方の面に規定される第１の光
学基板および該光学基板の他方の面に順次積層される複
数の光学基板を備える積層体を含み、前記第１の光学基
板の他方の面と該面に隣接する前記光学基板との間に前
記レンズが配置され、前記第１の光学基板を除く他の前
記光学基板の相互に隣接する面間に前記フィルタが積層
方向に順次挿入されている請求項１記載の波長合分波
器。
【請求項６】前記積層体の前記第１の光学基板から最
も離れた位置にある前記光学基板の他の前記光学基板に
隣接しない面には、前記基板に斜めに入射する光の透過
を阻止して該光を反射するためのミラーが設けられてい
る請求項４記載の波長合分波器。