JP6966164B2 - レーザ加工装置 - Google Patents
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Description
最近のレーザ加工装置においては、高出力のレーザパルスが使用されるようになってきて、光学要素内部での熱吸収以外にも、空気中の粉塵やオイルミストが光学要素表面に付着して光学要素表面でのレーザ吸収率を増加させ、吸収されたレーザが熱に変わり光学要素の温度をさらに上昇させ、熱レンズ作用を増大させて加工品質を低下させる要因となっている。
図2は本発明の一実施例となるレーザ加工装置のブロック図であり、各構成要素や接続線は主に本実施例を説明するために必要と考えられるものを示し、レーザ加工装置として必要な全てを示している訳ではない。
図2において、1は図示しないテーブル上に載置された加工すべきプリント基板、2はレーザパルスL1を発振するレーザ発振器、3はレーザ発振器2から出力されたレーザパルスL1を加工方向と非加工方向の二通りに分岐させるAOM、4はAOM3において加工方向へ分岐されたレーザパルスL2を加工データに従ったプリント基板1の穴あけ位置の方向に偏向するガルバノスキャナ、5はガルバノスキャナ4からのレーザパルスL2をプリント基板1の穴あけ位置に照射するための集光(fθ)レンズ5である。6はAOM3において非加工方向へ分岐されたレーザパルスL3を吸収するダンパである。
全体制御部7はここで説明するもの以外の制御機能を有し、図示されていないブロックにも接続されている。全体制御部7は、例えばプログラム制御の処理装置を中心にして構成され、その中の各構成要素や接続線は、論理的なものも含むものとする。また各構成要素の一部は全体制御部7と別個に設けられていてもよい。
図1において、図2と同じ番号のものは同じものを示している。11は主に加工用のレーザパルスを生成するための要素を収容したレーザ発生要素収容体である。この内部にはレーザ発振器2やAOM3が収容されていて、AOM3において加工方向へ分岐されたレーザパルスL2はレーザパルス出力窓12から出射されるようになっている。13はプリント基板1の穴あけ位置に照射するための要素を収容した照射要素収容体である。この内部にはガルバノスキャナ4や集光(fθ)レンズ5が収容されていて、レーザパルス出力窓12から出射されたレーザパルスL2をレーザパルス入力窓14から取り込むようになっている。
なお、ダンパ6は加工用のレーザパルスを生成するための要素ではないが、ここではレーザ発生要素収容体11に収容されている。
16は、レーザパルスL2を透過させる一方で、照射要素収容体13から筒15を介して侵入してくる空気中の粉塵等の侵入を止めるための粉塵遮蔽板である。この粉塵遮蔽板16は、レーザパルス出力窓12のレーザ発生要素収容体11の内側に取付けてある。この粉塵遮蔽板16の材料としては、例えばセレン化亜鉛を用いる。
特に、エネルギーが大きいレーザ発振器2からのレーザパルスL1の入射面をもつAOM3での熱レンズ作用による影響は大きいが、ここの表面への粉塵等の付着を防ぐことができるので、高出力のレーザパルスを使用するレーザ加工装置においては、その効果が大きい。
また、上記実施例ではダンパ6をレーザ発生要素収容体11の内部に収容しているが、レーザ発生要素収容体11の外側に実装してあってもよい。
また、粉塵遮蔽板16の材料はセレン化亜鉛としたが、他の材料であってもよい。
5:集光レンズ、6:ダンパ、11:レーザ発生要素収容体、
12:レーザパルス出力窓、13:照射要素収容体、14:レーザパルス入力窓、
15:筒、16:粉塵遮蔽板、L1〜L3:レーザパルス
Claims (1)
- 少なくともレーザパルスを発振するレーザ発振器と当該レーザ発振器から出力されたレー
ザパルスを加工方向と非加工方向の二通りに分岐させるAOMとを収容するレーザ発生要
素収容体と、
少なくとも前記レーザ発生要素収容体から出力されたレーザパルスを被加工物での加工位置の方向に偏向するガルバノスキャナと当該ガルバノスキャナから出力されたレーザパルスを前記被加工物に照射する集光レンズとを収容する照射要素収容体であって前記レーザ発生収容体の下方に設けられたものと、
前記レーザ発生要素収容体に設けられたレーザパルス出力窓から前記照射要素収容体に設けられたレーザパルス入力窓にレーザパルスを通過させるための筒であって前記レーザ発生要素収容体と前記照射要素収容体の間に取付けられているものと、
レーザパルスを透過し前記照射要素収容体側から前記レーザ発生要素収容体側への前記筒を介しての粉塵等の侵入を止める粉塵遮蔽部材であって前記レーザ発生要素収容体の内側にのみ設けられたものと、を備えることを特徴とするレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017133710A JP6966164B2 (ja) | 2017-07-07 | 2017-07-07 | レーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017133710A JP6966164B2 (ja) | 2017-07-07 | 2017-07-07 | レーザ加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019013965A JP2019013965A (ja) | 2019-01-31 |
JP6966164B2 true JP6966164B2 (ja) | 2021-11-10 |
Family
ID=65356269
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2017133710A Active JP6966164B2 (ja) | 2017-07-07 | 2017-07-07 | レーザ加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6966164B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP4614443B2 (ja) * | 2005-08-31 | 2011-01-19 | パナソニック電工Sunx株式会社 | レーザ加工装置 |
JP5707079B2 (ja) * | 2010-09-30 | 2015-04-22 | パナソニック デバイスSunx株式会社 | レーザ加工装置 |
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- 2017-07-07 JP JP2017133710A patent/JP6966164B2/ja active Active
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