JP2009145656A - 光結合素子およびこれを備えた光モジュール - Google Patents

光結合素子およびこれを備えた光モジュール Download PDF

Info

Publication number
JP2009145656A
JP2009145656A JP2007323173A JP2007323173A JP2009145656A JP 2009145656 A JP2009145656 A JP 2009145656A JP 2007323173 A JP2007323173 A JP 2007323173A JP 2007323173 A JP2007323173 A JP 2007323173A JP 2009145656 A JP2009145656 A JP 2009145656A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
photoelectric conversion
surface portion
coupling element
optical
lens
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2007323173A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4914819B2 (ja
Inventor
Koji Noguchi
幸二 野口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Enplas Corp
Original Assignee
Enplas Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Enplas Corp filed Critical Enplas Corp
Priority to JP2007323173A priority Critical patent/JP4914819B2/ja
Priority to US12/316,211 priority patent/US8554030B2/en
Publication of JP2009145656A publication Critical patent/JP2009145656A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4914819B2 publication Critical patent/JP4914819B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4292Coupling light guides with opto-electronic elements the light guide being disconnectable from the opto-electronic element, e.g. mutually self aligning arrangements
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4204Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms

Abstract

【課題】光学面の位置測定を適切かつ効率的に行うことができ、ひいては、結合効率に優れた製品を安定的かつ安価に製造することができる光結合素子およびこれを備えた光モジュールを提供すること。
【解決手段】光結合素子本体15が、第1の面部2aおよび第2の面部3aの少なくとも一方の面法線方向から第1のレンズ面5と第2のレンズ面8との双方を同時に視認することが可能な形状に形成されている。
【選択図】図1

Description

本発明は、光結合素子およびこれを備えた光モジュールに係り、特に、光電変換装置と光ファイバとを光学的に結合するのに好適な光結合素子およびこれを備えた光モジュールに関する。
近年、データ通信のさらなる高速化・大容量化にともなって、光ファイバを用いた光ファイバ通信技術の需要がさらに高まっている。
このような光ファイバ通信には、光ファイバと光電変換装置(例えば、半導体レーザやフォトディテクタ等)とが取り付けられる光結合素子が用いられており、この光結合素子は、光電変換装置の光電変換素子(発光部または受光部)に臨む光学面と、光ファイバの端面に臨む光学面とがレンズ面に形成されたものが多かった。
そして、この種の光結合素子においては、例えば、半導体レーザの発光部から出射された光を、レンズ面による光の透過および屈折を利用して光ファイバの端面に結合させることが行われていた。
また、光結合素子の中には、複数本の光ファイバ(多芯ファイバ等)に対応するために複数のレンズ面が整列されたレンズアレイ構造を有するものもあった。
図8は、このようなレンズアレイ構造を有する従来の光結合素子1の一例を示す正面図であり、また、図9は、図8の平面図、図10は、図8の右側面図である。
図8に示す光結合素子1は、その前端面(図8における手前側の端面)2に、光の発光または受光を行う光電変換素子が図8における横方向に沿って複数整列形成された光電変換装置を前方から取り付け可能とされているとともに、その上端面3に、図8における横方向に沿って整列された複数本の光ファイバを上方から取り付け可能とされている。なお、光電変換装置としては、例えば、垂直共振器面発光レーザ(VCSEL:Vertical Cavity Surface Emitting Laser)およびフォトディテクタの少なくとも一方として機能する基板実装型の光電変換装置が取り付けられることになる。また、複数本の光ファイバは、コネクタ内に収容された状態としてコネクタとともに取り付けられることになる。
図8に示すように、光結合素子1の前端面2のうち、中央部分に形成された横方向に長尺な平面略矩形状の面部2aには、前方(図8における手前側)に向かって凸とされた複数の第1レンズ面5が、横方向に沿って互いに隣位するようにして整列形成されている。これら複数の第1レンズ面5は、光電変換装置の複数の光電変換素子のそれぞれと、複数本の光ファイバのそれぞれの端面とを結ぶ光路を形成することが可能とされている。
また、図8に示すように、光結合素子1の前端面2のうち、第1レンズ面5が形成された面部2aの外側の面部2bは、面部2aに対して面部2aの面法線方向における光電変換装置側(前方)に高くかつ平行に形成されている。この外側の面部2bには、光結合素子1への光電変換装置の取付の際に、光電変換装置の半導体基板が当接されるようになっている。
さらに、図8に示すように、第1レンズ面5が形成された面部2aに対する第1レンズ面5の整列方向の両外側近傍位置には、一対の円形の位置決め穴7がそれぞれ形成されており、これらの位置決め穴7は、光電変換装置を光結合素子1に取り付ける際の光電変換装置の位置決めに用いられるようになっている。具体的には、光電変換装置の取り付けの際には、光電変換装置の半導体基板を貫く一対の位置決めピン(図示せず)を各位置決め穴7とそれぞれ嵌合させることによって、光電変換装置の位置決めが行われることになる。
一方、図9に示すように、光結合素子1の上端面3のうち、中央部分に形成された横方向に長尺な平面略矩形状の面部3aには、図9における手前側(図8における上方)に向かって凸とされた複数の第2レンズ面8が、横方向に沿って互いに隣位するようにして整列形成されている。これら複数の第2レンズ面8は、複数の第1レンズ面5とそれぞれ対をなしており、これら第1レンズ面5とともに、光電変換装置の複数の光電変換素子のそれぞれと複数本の光ファイバのそれぞれの端面とを結ぶ光路を形成することが可能とされている。なお、互いに隣位する第2レンズ面8同士の中心点間の距離は、互いに隣位する第1レンズ面5同士の中心点間の距離に一致するように形成されている。
また、図9に示すように、光結合素子1の上端面3のうち、第2レンズ面8が形成された面部3aの外側の面部3bは、面部3aに対して面部3aの面法線方向における光ファイバ側(図9における手前側(図8における上方))に高くかつ平行に形成されている。この外側の面部3bには、光結合素子1への光ファイバの取り付けの際に、光ファイバのコネクタが当接されるようになっている。
さらに、図9に示すように、第2レンズ面8が形成された面部3aにおける第2レンズ面8に対する第2レンズ面8の整列方向の両外側位置には、一対の円柱形の位置決めピン10が形成されており、これらの位置決めピン10は、光ファイバを光結合素子1に取り付ける際の光ファイバの位置決めに用いられるようになっている。具体的には、光ファイバの取り付けの際に、位置決めピン10を光ファイバのコネクタに形成された位置決め穴(図示せず)に嵌合させることによって光ファイバの位置決めが行われることになる。
さらに、図10に示すように、光結合素子1の後端面11には、反射面12が凹入形成されており、この反射面12は、第1レンズ面5における光軸OAおよび第2レンズ面8における光軸OAの双方に対してほぼ45°の傾斜角を有している。この反射面12は、光の反射によって、第1レンズ面5における光軸OA上を進行する光の光路と、第2レンズ面8における光軸OA上を進行する光の光路とを互いに変換可能とされている。したがって、反射面12は、複数の第1レンズ面5および複数の第2レンズ面8とともに、光電変換装置の複数の光電変換素子のそれぞれと複数本の光ファイバのそれぞれの端面とを結ぶ光路を形成することが可能とされている。
このような光結合素子1は、光電変換装置の半導体基板に対して光ファイバを平行に引き出すことができるので、小スペース化が可能であるといった利点を有している。
ところで、このような光結合素子1において、第1レンズ面5および第2レンズ面8が所望の光路をなすためには、各レンズ面5、8が、狙った位置に極めて正確に形成されていることが重要である。
しかしながら、光結合素子1を成形するための金型の寸法精度等の製造条件によっては、当初から各レンズ面5、8の位置精度を十分に出せるとは限らなかった。
このため、従来から、光結合素子1の製造に際しては、製品検査の段階において、製品における各レンズ面5、8の位置を測定し、測定結果に応じて、金型の補正等の製造条件を適宜補正してレンズ面5、8の位置精度を確保することが行われていた。
このようなレンズ面の位置精度を確保することが目的としたレンズ面の位置測定には、プローブによってレンズ面を撫でる接触式の測定方法や工具顕微鏡や画像測定装置を用いた非接触式の光学的な測定方法等の種々の測定方法が考えれるが、寸法が小さいレンズ面を傷つけずに位置測定を行う観点からは、光学的な測定方法が好ましかった。
このような光学的なレンズ面の位置測定方法の一例について説明すると、まず、図11(a)に示すように、工具顕微鏡に、光結合素子1をその第1レンズ面5の平面形状を視認可能な状態として設置する。このとき、第2レンズ面8については視認不可能となっている。
そして、図11(a)の横方向に延びる上端面3の外形線を認識した上で、この外形線上に、互いに離間された2点P、Pをとり、これら2点P、Pを結ぶ直線を仮定し、この直線を、XY座標系(二次元直交座標系)におけるY軸と定義する。
次いで、2本の位置決めピン10のそれぞれの中心線L、Lを求め、これら2本の中心線L、Lから互いに等距離に位置する両中心線L、Lに平行な直線を求め、この求められた直線を、XY座標系におけるX軸と定義する。
そして、X軸とY軸との交点をXY座標系における原点(0,0)と定めた上で、各第1レンズ面5のそれぞれの中心点のX座標およびY座標を求めることによって、第1レンズ面5の位置測定を行う。
次いで、図11(b)に示すように、工具顕微鏡に、光結合素子1をその第2レンズ面8の平面形状を視認可能な状態として設置する。このとき、第1レンズ面5については視認不可能となっている。
そして、図11(b)の横方向に延びる上端面3の一部の外形線(図11(b)における下端辺)を認識した上で、この外形線上に、互いに離間された2点P’、P’をとり、これら2点P’、P’を結ぶ直線を仮定し、この直線を、XY座標系におけるY軸と定義する。
次いで、2本の位置決めピン10のそれぞれの中心点S、Sを求め、これら2点の中心点S、Sをそれぞれ通りY軸に直交する直線L’、L’を求めた上で、これら2本の直線L’、L’から互いに等距離に位置する両直線L’、L’に平行な直線を求め、この求められた直線を、XY座標系におけるX軸と定義する。
そして、X軸とY軸との交点をXY座標系における原点(0,0)と定めた上で、各第2レンズ面8のそれぞれの中心点のX座標およびY座標を求めることによって、第2レンズ面8の位置測定を行う。
このように、従来から、工具顕微鏡を用いたレンズ面5、8の位置測定は、光結合素子1における所定の部位(例えば、位置決めピン10)を基準としてXY座標系を定義することによって行うようになっていた。
特開2005−31556号公報
ところで、前述した光結合素子1において、任意の1つの第1レンズ面5と、これに対応する第2レンズ面8とが、1つの光路を適切に形成するためには、両レンズ面5、8の中心点のY座標が互いに一致することが必要とされていた。
しかるに、従来は、第1レンズ面5の位置測定の際には、位置決めピン10の側面形状に基づいてXY座標系を定義し、第2レンズ面8の位置測定の際には、位置決めピン10の平面形状に基づいてXY座標系を定義していたため、たとえ同一の位置決めピン10をXY座標系の基準としたとしても、位置決めピン10の寸法精度によっては、レンズ面5、8高精度な位置測定に支障を来たす虞があった。
すなわち、位置決めピン10が正確な円柱形状に形成されていれば、図11(a)に示した位置決めピン10の側面形状における中心線L、Lは、図11(b)に示した位置決めピン10の平面形状における中心点S、Sを通ることになる。この場合には、図11(a)における中心線L、Lと、図11(b)における中心点S、Sを通る直線L’、L’との間に、Y軸方向のずれは生じないことになり、図11(a)において定義されたXY座標系における原点のY座標と、図11(b)において定義されたXY座標系における原点のY座標とは互いに一致するものとなる。そして、このような場合には、図11(a)において定義されたXY座標系を用いて測定された任意の1つの第1レンズ面5のY座標が、図11(b)において定義されたXY座標系を用いて測定された任意の1つの第1レンズ面5に対応する1つの第2レンズ面8のY座標に一致すれば、両レンズ面5、8の位置が適正であると判断することができる。
しかし、位置決めピン10が正確な円柱形状に形成されていなければ、図11(a)に示した中心線L、Lは、図11(b)に示した中心点S、Sを通らないことになる。この場合には、図11(a)における中心線L、Lと、図11(b)における中心点S、Sを通る直線L’、L’との間に、Y軸方向のずれが生じることになり、図11(a)において定義されたXY座標系における原点のY座標と、図11(b)において定義されたXY座標系における原点のY座標とは互いに一致しないものとなる。このような場合には、図11(a)において定義されたXY座標系を用いて測定された任意の1つの第1レンズ面5のY座標が、図11(b)において定義されたXY座標系を用いて測定された任意の1つの第1レンズ面5に対応する1つの第2レンズ面8のY座標に一致したからといって両レンズ面5、8の位置が適正であると判断すれば、誤った判断となってしまう。
さらに、従来は、第1レンズ面5の位置測定に用いるXY座標系と、第2レンズ面8の位置測定に用いるXY座標系とを、互いに同一の手順を踏んで個別に定義しなければならなかったため、レンズ面の位置測定を効率的に行うことができなかった。
すなわち、従来は、レンズ面の位置測定を適切かつ効率的に行うことが困難であるといった問題が生じていた。
そこで、本発明は、このような問題点に鑑みなされたものであり、光学面の位置測定を適切かつ効率的に行うことができ、ひいては、結合効率に優れた製品を安定的かつ安価に製造することができる光結合素子およびこれを備えた光モジュールを提供することを目的とするものである。
前述した目的を達成するため、本発明の請求項1に係る光結合素子の特徴は、光の発光または受光を行う光電変換素子が形成された光電変換装置と、光ファイバとが取り付け可能とされ、前記光電変換素子と前記光ファイバの端面とを光学的に結合可能とされた光結合素子であって、光結合素子本体の前記光電変換装置側の端面における前記光電変換装置の取り付けの際に前記光電変換素子に臨む第1の面部に形成され、前記光電変換素子と前記光ファイバの端面とを結ぶ光路を形成するための第1のレンズ面と、前記光結合素子本体の前記光ファイバ側の端面における前記光ファイバの取り付けの際に前記光ファイバの端面に臨む第2の面部に形成され、前記光電変換素子と前記光ファイバの端面とを結ぶ光路を形成するための第2のレンズ面とを備え、前記光結合素子本体は、前記光電変換装置側の端面と前記光ファイバ側の端面とが互いに隣接し、かつ、前記第1の面部と前記第2の面部とが互いに直交するような形状に形成されているとともに、前記第1の面部および前記第2の面部の少なくとも一方の面法線方向から前記第1のレンズ面と前記第2のレンズ面との双方を同時に視認することが可能な形状に形成されている点にある。
そして、この請求項1に係る発明によれば、第1の面部および第2の面部の少なくとも一方の面法線方向から第1のレンズ面と第2のレンズ面との双方を同時に視認することが可能な形状に形成されていることによって、一方のレンズ面の位置測定の際に、このレンズ面の位置測定に用いる二次元座標系をそのまま用いて他方のレンズ面の所定の座標軸成分の座標を測定することができるので、一方のレンズ面と他方のレンズ面との相対的な位置関係を共通の二次元座標系を用いて一度にかつ正確に把握することができ、この結果、レンズ面の位置測定を適切かつ効率的に行うことができる。
また、請求項2に係る光結合素子の特徴は、請求項1において、前記光電変換装置として、前記光電変換素子が複数整列形成されたものが取り付けられるように形成され、前記光ファイバが、前記複数の光電変換素子に対応するように複数本取り付けられるように形成され、前記第1のレンズ面および前記第2のレンズ面が、前記複数の光電変換素子および前記複数本の光ファイバに対応するようにそれぞれ複数整列形成され、前記複数の第1のレンズ面の整列方向と前記複数の第2のレンズ面の整列方向とが互いに平行に形成されている点にある。
そして、この請求項2に係る発明によれば、複数の第1のレンズ面とこれら第1のレンズ面にそれぞれ対応する複数の第2のレンズ面とのレンズ面整列方向の位置関係を共通の二次元座標系を用いて把握することができるので、複数の第1のレンズ面および複数の第2のレンズ面の位置測定を適切かつ効率的に行うことができる。
さらに、請求項3に係る光結合素子の特徴は、請求項1または2において、前記光結合素子本体の前記光ファイバ側の端面は、前記第2の面部の周辺位置に、前記第2の面部に対して前記第2の面部の面法線方向における前記光ファイバ側に高く形成された第3の面部と、前記第2の面部と前記光結合素子本体の前記光電変換装置側の端面との双方に隣位する位置に、前記第2の面部と同一平面状または前記第2の面部に対して前記第2の面部の面法線方向における前記光ファイバから離間する側に低く形成された第4の面部とを有し、前記光結合素子本体は、前記第4の面部によって、前記第1の面部の面法線方向から前記第2のレンズ面を前記第1のレンズ面と同時に視認することが可能に形成されている点にある。
そして、この請求項3に係る発明によれば、簡易な形状により、第1の面部の面法線方向から第2のレンズ面を第1のレンズ面と同時に視認することが可能となるので、コストをさらに削減することができる。
さらにまた、請求項4に係る光結合素子の特徴は、請求項3において、前記第3の面部における少なくとも一部に、前記光ファイバの取り付けの際に前記光ファイバのコネクタが当接可能に形成されている点にある。
そして、この請求項4に係る発明によれば、第3の面部によって、光ファイバの端面と第2のレンズ面との間に、焦点距離を適切に確保することができ、結合効率を良好に維持することができる。
また、請求項5に係る光結合素子の特徴は、請求項1〜4のいずれか1項において、前記光結合素子本体の前記光電変換装置側の端面は、前記第1の面部の周辺位置に、前記第1の面部に対して前記第1の面部の面法線方向における前記光電変換装置側に高く形成された第5の面部と、前記第1の面部と前記光結合素子本体の前記光ファイバ側の端面との双方に隣位する位置に、前記第1の面部と同一平面状または前記第1の面部に対して前記第1の面部の面法線方向における前記光電変換装置から離間する側に低く形成された第6の面部とを有し、前記光結合素子本体は、前記第6の面部によって、前記第2の面部の面法線方向から前記第1のレンズ面を前記第2のレンズ面と同時に視認することが可能に形成されている点にある。
そして、この請求項5に係る発明によれば、簡易な形状により、第2の面部の面法線方向から第1のレンズ面を第2のレンズ面と同時に視認することが可能となるので、コストをさらに削減することができる。
さらに、請求項6に係る光結合素子の特徴は、請求項5において、前記第5の面部における少なくとも一部に、前記光電変換装置の取り付けの際に前記光電変換装置が当接可能に形成されている点にある。
そして、この請求項6に係る発明によれば、第5の面部によって、光電変換装置の光電変換素子と第1のレンズ面との間に、焦点距離を適切に確保することができる。
さらにまた、請求項7に係る光モジュールの特徴は、請求項1〜6のいずれか1項に記載の光結合素子と、この光結合素子に対応する光の発光または受光を行う光電変換素子が形成された光電変換装置とを備えた点にある。
そして、この請求項7に係る発明によれば、第1の面部および第2の面部の少なくとも一方の面法線方向から第1のレンズ面と第2のレンズ面との双方を同時に視認することが可能な形状に形成されていることによって、一方のレンズ面の位置測定の際に、このレンズ面の位置測定に用いる二次元座標系をそのまま用いて他方のレンズ面の所定の座標軸成分の座標を測定することができるので、一方のレンズ面と他方のレンズ面との相対的な位置関係を共通の二次元座標系を用いて一度にかつ正確に把握することができる。
本発明に係る光結合素子および光モジュールによれば、レンズ面等の光学面の位置測定を適切かつ効率的に行うことができ、ひいては、結合効率に優れた製品を安定的かつ安価に製造することができる。
以下、本発明に係る光結合素子および光モジュールの実施形態について、図1〜図7を参照して説明する。
なお、従来と基本的構成が同一もしくはこれに類する箇所については、同一の符号を用いて説明する。
図1は、本実施形態における光結合素子15を示す正面図であり、また、図2は、図1の平面図、図3は、図1の背面図、図4は、図1の右側面図、図5は、図1のA−A断面図である。さらに、図6は、本実施形態における光モジュール16の分解右側面図である。
本実施形態における光結合素子15は、従来と同様に、光の発光または受光を行う光電変換素子が複数整列形成された光電変換装置の複数の光電変換素子のそれぞれと、これら複数の光電変換素子に対応する複数(例えば、光電変換素子と同数)本の光ファイバのそれぞれの端面とを光学的に結合することが可能に形成されている。
すなわち、図6に示すように、本実施形態における光結合素子15は、その光電変換装置側の端面としての前端面(図6における左端面)2に、複数の光電変換素子17が半導体基板20上に整列形成された光電変換装置18を取り付け可能とされている。なお、図6は、光電変換装置18をその複数の光電変換素子17の整列方向から見た状態の図であるため、図6には、光電変換素子17が1個だけしか示されていない。しかし、実際には、複数の光電変換素子17が、図6における紙面垂直方向に沿って整列されている。このような光電変換装置18は、その光電変換素子17を光結合素子15の前端面2側に向けるようにして光結合素子15に取り付けられるようになっている。この取り付けの際に、光電変換装置18は、半導体基板20を貫く一対の位置決めピン23を光結合素子15の一対の位置決め穴7にそれぞれ嵌合させることによって位置決めされた上で、位置決めされた位置に、圧入等の固定手段によって固定されるようになっている。また、このような光電変換装置18においては、光電変換素子17として、光の発光を行う発光部と、光の受光を行う受光部との双方を配置するようにすれば、双方向通信に適用することができる。
また、図6に示すように、本実施形態における光結合素子15は、その光ファイバ側の端面としての前端面2に隣位する上端面3に、複数本の光ファイバ19がコネクタ21とともに取り付け可能とされている。なお、図6は、複数本の光ファイバ19をその整列方向から見た状態の図であるため、図6には、光ファイバ19が1本だけしか示されていない。しかし、実際には、複数本の光ファイバ19が、図6における紙面垂直方向に沿って整列されている。このような光ファイバ19は、その端面19aを光結合素子15の上端面3に向けるようにして光結合素子15に取り付けられるようになっている。この取り付けの際に、光ファイバ19は、コネクタ21に形成された一対の位置決め穴24を光ファイバ15の一対の位置決めピン10にそれぞれ嵌合させることによって位置決めされた上で、位置決めされた位置に、圧入等の固定手段によって固定されるようになっている。
さらに、図1、図4および図5に示すように、光結合素子15の前端面2における中央部分に形成された図1における横方向に長尺な平面略矩形状の領域は、第1の面部2aとされており、この第1の面部2aには、第1のレンズ面としての図8と同様の第1レンズ面5が、図1における横方向に沿って複数(例えば、光電変換素子17と同数)整列形成されている。これら第1の面部2aおよび第1レンズ面5は、光結合素子15への光電変換装置18の取り付けの際に、光電変換装置18の複数の光電変換素子17に臨むようになっている。そして、これら複数の第1レンズ面5は、複数の光電変換素子17のそれぞれと複数本の光ファイバ19のそれぞれの端面19aとを結ぶ光路を形成することが可能とされている。
また、図1、図4および図5に示すように、光結合素子15の前端面2のうち、第1の面部2aに隣位する外側位置には、第1の面部2aに対して第1の面部2aの面法線方向における光電変換装置18側(前方)に高くかつ平行な面部25が、第1の面部2aの全周を包囲するように形成されている。この面部25内における横方向の両端部近傍には、図8と同様の一対の位置決め穴7がそれぞれ形成されている。この面部25は、第1の面部2a内(例えば、面部2aの外周端部等)に形成されたバリが後述する第5の面部26よりも光電変換装置18側に突出することを回避するためのバリ逃げ用の面部25とされている。
そして、第1の面部2aの周辺位置であって、バリ逃げ用の面部25に隣位する外側位置には、第5の面部26が、第1の面部2aおよびバリ逃げ用の面部25に対して第1の面部2aの面法線方向における光電変換装置18側に高くかつ平行に形成されている。この第5の面部26には、光結合素子15への光電変換装置18の取り付けの際に、光電変換装置18の半導体基板20が当接されるようになっている。この第5の面部26への半導体基板20の当接によって、光電変換素子17と第1レンズ面5との間に、焦点距離に相当する一定の間隔を確保することができるようになっている。この一定の間隔の確保は、第1の面部2a内にバリが発生したとしてもそのバリの第5の面部26からの突出がバリ逃げ用の面部25により未然に回避されていることによってさらに適切に行うことができるようになっている。
一方、図2、図4および図5に示すように、光結合素子15の上端面3における中央部分に形成された図2における横方向に長尺な平面略矩形状の領域は、第2の面部3aとされており、この第2の面部3aには、第2のレンズ面としての図9と同様の第2レンズ面8が、図2における横方向に沿って複数(第1レンズ面5と同数)整列形成されている。これら第2の面部3aおよび第2レンズ面8は、光結合素子15への光ファイバ19の取り付けの際に、光ファイバ19の端面19aに臨むようになっている。そして、これら複数の第2レンズ面8は、複数の第1レンズ面5とともに、光電変換装置18の複数の光電変換素子17のそれぞれと複数本の光ファイバ19のそれぞれの端面19aとを結ぶ光路を形成することが可能とされている。
また、図2に示すように、光結合素子15の上端面3のうち、第2の面部3aに隣位する外側位置には、第2の面部3aに対して第2の面部3aの面法線方向における光ファイバ19側に高くかつ平行な面部28が、第2の面部3aを部分的に包囲(主として後方(図2における上方)、左方および右方の三方から包囲)するように形成されている。この面部28内における横方向の両端部近傍には、図9と同様の一対の位置決めピン10が形成されている。この面部28は、第2の面部3a内(例えば、面部3aの外周端部等)に形成されたバリや、位置決めピン10の基端部外周に形成されたバリが、後述する第3の面部29よりも光ファイバ19側に突出することを回避するためのバリ逃げ用の面部28として機能するようになっている。
そして、第2の面部3aの周辺位置であって、バリ逃げ用の面部28に隣位する外側位置には、第3の面部29が、面部28の外周を包囲するようにして第2の面部3aに対して第2の面部3aの面法線方向における光ファイバ19側に高くかつ平行に形成されている。この第3の面部29には、光結合素子15への光ファイバ19の取り付けの際に、コネクタ21が当接されるようになっている。この第3の面部29へのコネクタ21の当接によって、光ファイバ19の端面19aと第2レンズ面8との間に、焦点距離に相当する一定の距離を確保することができるようになっている。この一定の間隔の確保は、第2の面部3a内にバリが発生したとしてもそのバリの第3の面部29からの突出がバリ逃げ用の面部28により未然に回避されていることによってさらに適切に行うことができるようになっている。
そして、図1、図2、図4および図5に示すように、本実施形態における光結合素子15は、上端面3における第2レンズ形成面部3aと前端面2における第5の面部26との双方に隣位する上端面3上の位置に、第2の面部3aと同一平面状に形成された第4の面部30を有している。
図2に示すように、第4の面部30は、第2の面部3aに沿って第2の面部3aよりもわずかに図2における横方向の寸法が小さく形成されているとともに、複数の第2レンズ面8における整列方向の両端に位置する一対の第2レンズ面8よりも整列方向における外側に至る位置まで形成されている。
そして、本実施形態においては、このような第4の面部30によって、図1に示すように、第1の面部2aの面法線方向から第2レンズ面8の側面形状を第1レンズ面5の平面形状と同時に視認することが可能とされている。
また、図3〜図6に示すように、光結合素子15の後端面11には、図10と同様に、第1レンズ面5における光軸OA(図6参照)および第2レンズ面8における光軸OA(図6参照)の双方に対してほぼ45°の傾斜角を有する反射面12が凹入形成されており、この反射面12は、第1レンズ面5および第2レンズ面8とともに、光電変換装置18の複数の光電変換素子17のそれぞれと複数本の光ファイバ19のそれぞれの端面19aとを結ぶ複数の光路を形成するようになっている。
反射面12の図3〜図6における上端には、後端面11の面法線方向よりもわずかに上方に傾いた上側傾斜面32が連接されている。また、反射面12の図3〜図6における下端には、後端面11の面法線方向に直交する直交面33が連接されている。さらに、直交面33の図3〜6における下端には、後端面11の面法線方向よりもわずかに下方に傾いた下側傾斜面34が連接されている。
ここで、製品検査工程において、反射面12の傾斜角度を測定する場合には、例えば、非接触型三次元測定器等の測定器により、光結合素子15の後方(図4〜6における右方)から反射面12の上下両端部に向けて測定用のレーザ光線を照射し、その反射光を受光することによって、反射面12の上下両端部を適切に認識してそれら上下両端部の位置を正確に把握することが重要となる。この場合に、測定機器の受光部と発光部との取り付け位置は、図4〜6における上下方向にずれているため、反射面12の測定の際には、後端面11の面法線方向に対して斜めにレーザ光線の入射または反射光の反射がなされることを余儀なくされる。しかしながら、図3〜6のように各傾斜面32、34が形成されていれば、反射面12の上下両端部へのレーザ光線の照射および上下両端部からの反射光の受光とをいずれも適切に行うことができる。また、このとき、反射面12と上側傾斜面32との境界線と、反射面12と直交面33との境界線をそれぞれ認識することができるので、反射面12の上下両端部の位置を確実に把握することができる。これにより、反射面12の傾斜角度の測定を高精度に行うことができる。
次に、本実施形態の作用について説明する。
本実施形態における光結合素子15に対して第1レンズ面5および第2レンズ面8の位置測定を行う場合には、まず、図7(a)に示すように、工具顕微鏡に、光結合素子15をその第1レンズ面5の平面形状を視認可能な状態として設置する。
このとき、本実施形態においては、第4の面部30が形成されていることにより、第1レンズ面5の平面形状とともに第2レンズ面8の側面形状を視認することができる。
そして、このような状態において、図7(a)の横方向に延びる上端面3の外形線を認識した上で、この外形線上に、互いに離間された2点P、Pをとり、これら2点P、Pを結ぶ直線を仮定し、この直線を、XY座標系(二次元直交座標系)におけるY軸と定義する。
次いで、2本の位置決めピン10のそれぞれの中心線L、Lを求め、これら2本の中心線L、Lから互いに等距離に位置する両中心線L、Lに平行な直線を求め、この求められた直線を、XY座標系におけるX軸と定義する。
そして、X軸とY軸との交点をXY座標系における原点(0,0)と定めた上で、各第1レンズ面5のそれぞれの中心点のX座標およびY座標を求めることによって、第1レンズ面5の位置測定を行う。
さらに、このとき、第2レンズ面8が視認されていることにより、図7(a)のXY座標系をそのまま用いて第2レンズ面8の中心点のY座標を測定することができる。ここで、第2レンズ面8の中心点のY座標は、例えば、第2レンズ面8の面頂点を通り、X軸に平行な直線を求めた上で、この直線とY軸との交点のY座標として求めればよい。
これにより、第1レンズ面5と第2レンズ面8との相対的な位置関係、すなわち、第1レンズ面5の中心点のY座標と第2レンズ面8の中心点のY座標とが互いに一致しているか否かを、共通のXY座標系を用いて一度にかつ正確に把握することができる。
なお、このとき、第2レンズ面8の側面形状が視認されていることを利用して、第2レンズ面8の面頂点のX座標を測定し、複数の第2レンズ面8の面頂点がすべて同じ高さに揃っているか否かを判断するようにしてもよい。
次いで、図7(b)に示すように、工具顕微鏡に、光結合素子15をその第2レンズ面8の平面形状を視認可能な状態として設置する。このとき、第1レンズ面5については視認不可能となっている。
そして、7(b)の横方向に延びる上端面3の一部の外形線(図7(b)における下端辺)を認識した上で、この外形線上に、互いに離間された2点P’、P’をとり、これら2点P’、P’を結ぶ直線を仮定し、この直線を、XY座標系におけるY軸と定義する。
なお、本実施形態において、X軸については、図7(a)において定義したものをそのまま用いる。
そして、図7(b)に示すように、X軸とY軸との交点をXY座標系における原点(0,0)と定めた上で、各第2レンズ面8のそれぞれの中心点のX座標を求めることによって、第2レンズ面8の位置測定を行う。このとき、第2レンズ面8の中心点のY座標については、図7(a)の段階で既に測定しているので、測定を要しない。
以上述べたように、本実施形態によれば、簡易な形状の第4の面部30により、第1の面部2aの面法線方向から第2レンズ面8を第1レンズ面5と同時に視認することが可能となるので、第1レンズ面5と第2レンズ面8との相対的な位置関係を共通のXY座標系を用いて一度にかつ正確に把握することができる。この結果、レンズ面の位置測定を適切、効率的かつ安価に行うことができる。
なお、本発明は、前述した実施の形態に限定されるものではなく、必要に応じて種々の変更が可能である。
例えば、前述した実施形態においては、第4の面部30が、第2の面部3aと同一平面状に形成されていたが、本発明は、このような構成に限定されるものではなく、例えば、第4の面部30を第2の面部3aに対して第2の面部3aの面法線方向における光ファイバ19から離間する側に低く形成してもよい。この場合においても、第1の面部2aの面法線方向から第2レンズ面8を第1レンズ面5と同時に視認することができるので、前述した実施形態と同様の効果を奏することができる。
また、第4の面部30の代りに、あるいは、第4の面部30に加えて、光結合素子15における第1の面部2aと上端面3との双方に隣位する前端面2上の位置に、第1の面部2aと同一平面状または第1の面部2aに対して第1の面部2aの面法線方向における光電変換装置18から離間する側に低く形成された第6の面部を有するように構成してもよい。
この場合には、第6の面部によって、第2の面部3aの面法線方向から、第2レンズ面8の平面形状と第1レンズ面5の側面形状とを同時に視認することができるので、前述した実施形態と同様に、第1レンズ面5と第2レンズ面8との相対的な位置関係を、第2レンズ面8の平面形状を視認する際に設定した共通のXY座標系によって一度にかつ正確に把握することができ、レンズ面5、8の位置測定を、適切かつ効率的に行うことができる。
本発明に係る光結合素子の実施形態を示す正面図 図1の平面図 図1の背面図 図1の右側面図 図1のA−A断面図 本発明に係る光モジュールの実施形態を示す分解右側面図 本発明に係る光結合素子の実施形態において、(a)は、第1レンズ面と第2レンズ面との相対的な位置関係を把握することが可能なレンズ面の位置測定状態をこの位置測定の際に用いるXY座標系とともに示した図、(b)は、第2レンズ面のみの位置測定状態をこの位置測定の際に用いるXY座標系とともに示した図 従来の光結合素子の一例を示す正面図 図8の平面図 図8の右側面図 従来のレンズ面の位置測定方法において、(a)は、第1レンズ面のみの位置測定状態をこの位置測定の際に用いるXY座標系とともに示した図、(b)は、第2レンズ面のみの位置測定状態をこの位置測定の際に用いるXY座標系とともに示した図
符号の説明
2 前端面
2a 第1の面部
3 上端面
3a 第2の面部
5 第1レンズ面
8 第2レンズ面
15 光結合素子
16 光モジュール
17 光電変換素子
18 光電変換装置
19 光ファイバ
19a 端面
30 第4の面部30

Claims (7)

  1. 光の発光または受光を行う光電変換素子が形成された光電変換装置と、光ファイバとが取り付け可能とされ、前記光電変換素子と前記光ファイバの端面とを光学的に結合可能とされた光結合素子であって、
    光結合素子本体の前記光電変換装置側の端面における前記光電変換装置の取り付けの際に前記光電変換素子に臨む第1の面部に形成され、前記光電変換素子と前記光ファイバの端面とを結ぶ光路を形成するための第1のレンズ面と、
    前記光結合素子本体の前記光ファイバ側の端面における前記光ファイバの取り付けの際に前記光ファイバの端面に臨む第2の面部に形成され、前記光電変換素子と前記光ファイバの端面とを結ぶ光路を形成するための第2のレンズ面と
    を備え、
    前記光結合素子本体は、前記光電変換装置側の端面と前記光ファイバ側の端面とが互いに隣接し、かつ、前記第1の面部と前記第2の面部とが互いに直交するような形状に形成されているとともに、前記第1の面部および前記第2の面部の少なくとも一方の面法線方向から前記第1のレンズ面と前記第2のレンズ面との双方を同時に視認することが可能な形状に形成されていること
    を特徴とする光結合素子。
  2. 前記光電変換装置として、前記光電変換素子が複数整列形成されたものが取り付けられるように形成され、
    前記光ファイバが、前記複数の光電変換素子に対応するように複数本取り付けられるように形成され、
    前記第1のレンズ面および前記第2のレンズ面が、前記複数の光電変換素子および前記複数本の光ファイバに対応するようにそれぞれ複数整列形成され、
    前記複数の第1のレンズ面の整列方向と前記複数の第2のレンズ面の整列方向とが互いに平行に形成されていること
    を特徴とする請求項1に記載の光結合素子。
  3. 前記光結合素子本体の前記光ファイバ側の端面は、
    前記第2の面部の周辺位置に、前記第2の面部に対して前記第2の面部の面法線方向における前記光ファイバ側に高く形成された第3の面部と、
    前記第2の面部と前記光結合素子本体の前記光電変換装置側の端面との双方に隣位する位置に、前記第2の面部と同一平面状または前記第2の面部に対して前記第2の面部の面法線方向における前記光ファイバから離間する側に低く形成された第4の面部と
    を有し、
    前記光結合素子本体は、
    前記第4の面部によって、前記第1の面部の面法線方向から前記第2のレンズ面を前記第1のレンズ面と同時に視認することが可能に形成されていること
    を特徴とする請求項1または2に記載の光結合素子。
  4. 前記第3の面部における少なくとも一部に、前記光ファイバの取り付けの際に前記光ファイバのコネクタが当接可能に形成されていること
    を特徴とする請求項3に記載の光結合素子。
  5. 前記光結合素子本体の前記光電変換装置側の端面は、
    前記第1の面部の周辺位置に、前記第1の面部に対して前記第1の面部の面法線方向における前記光電変換装置側に高く形成された第5の面部と、
    前記第1の面部と前記光結合素子本体の前記光ファイバ側の端面との双方に隣位する位置に、前記第1の面部と同一平面状または前記第1の面部に対して前記第1の面部の面法線方向における前記光電変換装置から離間する側に低く形成された第6の面部と
    を有し、
    前記光結合素子本体は、
    前記第6の面部によって、前記第2の面部の面法線方向から前記第1のレンズ面を前記第2のレンズ面と同時に視認することが可能に形成されていること
    を特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の光結合素子。
  6. 前記第5の面部における少なくとも一部に、前記光電変換装置の取り付けの際に前記光電変換装置が当接可能に形成されていること
    を特徴とする請求項5に記載の光結合素子。
  7. 請求項1〜6のいずれか1項に記載の光結合素子と、
    この光結合素子に対応する光の発光または受光を行う光電変換素子が形成された光電変換装置と
    を備えたことを特徴とする光モジュール。
JP2007323173A 2007-12-14 2007-12-14 光結合素子およびこれを備えた光モジュール Expired - Fee Related JP4914819B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007323173A JP4914819B2 (ja) 2007-12-14 2007-12-14 光結合素子およびこれを備えた光モジュール
US12/316,211 US8554030B2 (en) 2007-12-14 2008-12-10 Optically coupled device and optical module including optically coupled device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007323173A JP4914819B2 (ja) 2007-12-14 2007-12-14 光結合素子およびこれを備えた光モジュール

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009145656A true JP2009145656A (ja) 2009-07-02
JP4914819B2 JP4914819B2 (ja) 2012-04-11

Family

ID=40753400

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007323173A Expired - Fee Related JP4914819B2 (ja) 2007-12-14 2007-12-14 光結合素子およびこれを備えた光モジュール

Country Status (2)

Country Link
US (1) US8554030B2 (ja)
JP (1) JP4914819B2 (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011039151A (ja) * 2009-08-07 2011-02-24 Enplas Corp 光モジュール
WO2012077762A1 (ja) * 2010-12-09 2012-06-14 株式会社エンプラス レンズアレイおよびその製造方法
WO2013136925A1 (ja) * 2012-03-16 2013-09-19 株式会社エンプラス 光レセプタクルおよびこれを備えた光モジュール
WO2018207310A1 (ja) * 2017-05-11 2018-11-15 ナルックス株式会社 位置測定方法及び部品
US10295754B2 (en) 2017-05-11 2019-05-21 Nalux Co., Ltd. Position determination method and element

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8398314B2 (en) * 2007-03-30 2013-03-19 Intel Corporation Optical universal serial bus (USB)
US8565562B2 (en) 2010-09-21 2013-10-22 Intel Corporation Connector optical lens with alignment features
TWI509916B (zh) * 2011-12-29 2015-11-21 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 光纖耦合器
US9377594B2 (en) * 2011-12-29 2016-06-28 Intel Corporation Two-dimensional, high-density optical connector
WO2013101184A1 (en) 2011-12-30 2013-07-04 Intel Corporation Optical i/o system using planar light-wave integrated circuit
TWI578023B (zh) * 2012-10-08 2017-04-11 鴻海精密工業股份有限公司 光耦合透鏡
CN103926659A (zh) * 2013-01-14 2014-07-16 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 光通讯模组
JP6291300B2 (ja) * 2014-03-19 2018-03-14 株式会社エンプラス 光レセプタクルおよび光モジュール
TW201610500A (zh) * 2014-09-10 2016-03-16 鴻海精密工業股份有限公司 光纖耦合連接器

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09127375A (ja) * 1995-08-30 1997-05-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光結合モジュール及びその製造方法
JP2003014987A (ja) * 2001-06-28 2003-01-15 Kyocera Corp 光路変換体及びその実装構造並びに光モジュール
JP2005031556A (ja) * 2003-07-10 2005-02-03 Omron Corp 光路変換型光結合素子

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6328484B1 (en) * 2000-03-02 2001-12-11 Agilent Technologies, Inc. Fiber optic lens system for coupling fibers to surface mounted devices
JP3960330B2 (ja) * 2004-11-12 2007-08-15 セイコーエプソン株式会社 光デバイスの接続構造、光デバイス、電子機器
JP4705432B2 (ja) * 2005-03-28 2011-06-22 富士通コンポーネント株式会社 コネクタ
JP4704126B2 (ja) * 2005-06-23 2011-06-15 富士通株式会社 光モジュール
JP4688712B2 (ja) * 2006-02-09 2011-05-25 富士通コンポーネント株式会社 光導波路部材、光導波路組立体及び光モジュール
US7399125B1 (en) * 2006-07-26 2008-07-15 Lockheed Martin Corporation Lens array with integrated folding mirror
JP2008225339A (ja) * 2007-03-15 2008-09-25 Hitachi Cable Ltd 光学系接続構造、光学部材及び光伝送モジュール

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09127375A (ja) * 1995-08-30 1997-05-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光結合モジュール及びその製造方法
JP2003014987A (ja) * 2001-06-28 2003-01-15 Kyocera Corp 光路変換体及びその実装構造並びに光モジュール
JP2005031556A (ja) * 2003-07-10 2005-02-03 Omron Corp 光路変換型光結合素子

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011039151A (ja) * 2009-08-07 2011-02-24 Enplas Corp 光モジュール
WO2012077762A1 (ja) * 2010-12-09 2012-06-14 株式会社エンプラス レンズアレイおよびその製造方法
US9164267B2 (en) 2010-12-09 2015-10-20 Enplas Corporation Lens array and manufacturing method thereof
WO2013136925A1 (ja) * 2012-03-16 2013-09-19 株式会社エンプラス 光レセプタクルおよびこれを備えた光モジュール
JP2013195513A (ja) * 2012-03-16 2013-09-30 Enplas Corp 光レセプタクルおよびこれを備えた光モジュール
US9529166B2 (en) 2012-03-16 2016-12-27 Enplas Corporation Optical receptacle and optical module provided with same
WO2018207310A1 (ja) * 2017-05-11 2018-11-15 ナルックス株式会社 位置測定方法及び部品
JP2018189627A (ja) * 2017-05-11 2018-11-29 ナルックス株式会社 位置測定方法及び部品
US10295754B2 (en) 2017-05-11 2019-05-21 Nalux Co., Ltd. Position determination method and element
JP6989950B2 (ja) 2017-05-11 2022-01-12 ナルックス株式会社 位置測定方法及び部品

Also Published As

Publication number Publication date
JP4914819B2 (ja) 2012-04-11
US8554030B2 (en) 2013-10-08
US20090154878A1 (en) 2009-06-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4914819B2 (ja) 光結合素子およびこれを備えた光モジュール
TWI627457B (zh) 光纖至晶片之光學耦合器
US20200241220A1 (en) Optical assemblies, interconnection substrates and methods for forming optical links in interconnection substrates
JP6807119B2 (ja) 光学モジュールおよびこれを製造する方法
US9638873B2 (en) Receptacle ferrule assemblies with gradient index lenses and fiber optic connectors using same
EP2581776A1 (en) Optical connector with alignment element, optical unit and assembly method
US20190154931A1 (en) Optical assemblies, interconnection substrates and methods for forming optical links in interconnection substrates
US20090154877A1 (en) Optically coupled device and optical module including optically coupled device
US10209458B2 (en) Optical module with multiple lenses including dummy lens
WO2012124433A1 (ja) レンズアレイ
JPWO2004104666A1 (ja) 光学素子、光伝送ユニット及び光伝送システム
US20170356738A1 (en) Measurement method and optical receptacle
JP2016529549A (ja) マルチコアファイバ用光カプラ
JP2017068212A (ja) 光レセプタクルおよび光モジュール
JP4170920B2 (ja) 光学部品の製造方法および光インターコネクションシステムおよび光配線モジュール
TW201421077A (zh) 透鏡單元及光纖耦合連接器
WO2012036150A1 (ja) レンズアレイおよびそのレンズエッジ検出方法
US10151878B2 (en) Optical interconnection substrate including optical transmitter with light source and mark or optical receiver with light receiving unit and mark
US20190219777A1 (en) Optical connection structure
CN104075741A (zh) 光学位移编码器
JP2006039255A (ja) 光結合装置及びその製造方法
KR101609867B1 (ko) 광도파로 삽입형 광모듈의 오정렬 보정방법
US11501097B2 (en) Barcoded end facet printed photonic chip and barcode-guided direct laser writing
CN108474916B (zh) 光插座、光模块及测定方法
JP7135830B2 (ja) 光モジュールの製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20100716

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110803

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110816

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20111012

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120117

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120123

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4914819

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150127

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees