JP7135830B2 - 光モジュールの製造方法 - Google Patents
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(1) 線状に延在するコア部と前記コア部の光路を変換する光路変換部と第1アライメントマークとを備える光導波路、レンズと第2アライメントマークとを備えるレンズ部品、および、光素子と基板とを備える光素子搭載基板を、この順で積層してなる光モジュールの製造方法であって、
前記第1アライメントマークに対する前記光路変換部の設計位置からのずれ量である光路変換部ずれ量と、前記第2アライメントマークに対する前記レンズの設計位置からのずれ量であるレンズずれ量とに基づいて、前記光導波路に対して前記レンズ部品を位置合わせする際の第1目標位置を設定する第1目標位置設定工程と、
前記レンズ部品を前記第1目標位置に合わせるように前記光導波路と前記レンズ部品とを接着し、レンズ付き光導波路を得る第1接着工程と、
前記レンズ付き光導波路において、前記第1アライメントマークの位置および前記第2アライメントマークの位置に基づいて、前記第1目標位置に対する前記レンズ部品のオフセット量であるレンズ部品オフセット量を求めるオフセット量計測工程と、
前記レンズ部品オフセット量、および、前記第1目標位置に対する前記光素子搭載基板のオフセット量である光素子搭載基板オフセット量と、前記光モジュールの結合損失と、の相関関係に基づき、前記レンズ付き光導波路に対して前記光素子搭載基板を位置合わせする際の第2目標位置を設定する第2目標位置設定工程と、
前記光素子搭載基板を第2目標位置に合わせるように前記レンズ付き光導波路と前記光素子搭載基板とを接着し、前記光モジュールを得る第2接着工程と、
を有することを特徴とする光モジュールの製造方法。
まず、実施形態に係る光モジュールの製造方法により製造される光モジュールの一例について説明する。
次に、光導波路1について説明する。
図3は、図2に示す光導波路の部分拡大斜視図である。
-コア層-
図3に示すコア部14は、その側面が、側面クラッド部15およびクラッド層11、12で囲まれている。そして、コア部14の屈折率は、側面クラッド部15やクラッド層11、12の屈折率よりも高くなっている。これにより、コア部14に光を閉じ込めて伝搬させることができる。
クラッド層11、12の平均厚さは、それぞれ1~200μm程度であるのが好ましく、3~100μm程度であるのがより好ましく、5~60μm程度であるのがさらに好ましい。これにより、光導波路1が必要以上に厚膜化するのを防止しつつ、クラッド層11、12としての機能が確保される。
図3に示す光導波路1は、下側保護層17および上側保護層18は、コア層13やクラッド層11、12を保護し、外部環境等に起因したコア部14の伝送効率の低下を抑制することができる。
凹部160は、コア部14の延在方向のいずれの位置に設けられていてもよいが、図3ではコア部14の端部に設けられている。そして、凹部160の内面に設けられた光路変換部16は、コア部14の光路に対して傾斜する面である。この光路変換部16の傾斜角度に応じて、光路の変換角度を調整することができる。
次に、実施形態に係る光モジュールの製造方法について説明する。
図1に示す光導波路1は、前述した積層体101と光路変換部16とを備えている。また、図5に示す光導波路1は、第1アライメントマーク171を備えている。第1アライメントマーク171は、容易に視認可能なマークであって、画像認識等により、光導波路1の位置を正確に検出することを可能にする。そして、第1アライメントマーク171は、図6に示すように、例えば光路変換部16の近傍に設けられ、光路変換部16との間に既知の位置関係を有している。つまり、第1アライメントマーク171の位置を検出することができれば、この既知の位置関係に基づいて、光路変換部16の位置を容易に導出することができる。これにより、光路変換部16の視認性が低く、その位置を正確に検出することが難しい場合でも、第1アライメントマーク171に基づいて、光路変換部16の位置を容易に把握することが可能になる。
図1に示すレンズ部品5は、前述した基部51と壁部52とレンズ54とを備えている。また、図5に示すレンズ部品5は、第2アライメントマーク551を備えている。第2アライメントマーク551は、容易に視認可能なマークであって、画像認識等により、レンズ部品5の位置を正確に検出することを可能にする。そして、第2アライメントマーク551は、図6に示すように、例えばレンズ54の近傍に設けられ、レンズ54との間に既知の位置関係を有している。つまり、第2アライメントマーク551の位置を検出することができれば、この既知の位置関係に基づいて、レンズ54の位置を容易に導出することができる。これにより、レンズ54の視認性が低く、その位置を正確に検出することが難しい場合でも、第2アライメントマーク551に基づいて、レンズ54の位置を容易に把握することができる。
次に、光路変換部ずれ量とレンズずれ量とに基づいて、図11に示すように、光導波路1に対してレンズ部品5を位置合わせする際の第1目標位置G1を設定する。この第1目標位置G1は、例えば光導波路1上に設定され、光導波路1に対してレンズ部品5を位置合わせする際に、レンズ部品原点552が重なるべき点である。なお、この位置合わせは、相対的なものであり、光導波路1を載置した状態でレンズ部品5を移動させつつ位置合わせしてもよく、反対に、レンズ部品5を載置した状態で光導波路1を移動させつつ位置合わせするようにしてもよく、双方を移動させつつ位置合わせするようにしてもよい。
次に、図12に示すように、光導波路1に対してレンズ部品5を位置合わせしながら、図7に示すように光導波路1とレンズ部品5とを接着する。これにより、レンズ付き光導波路10を得る。
第1接着工程で接着されてなるレンズ付き光導波路10では、前述したオフセットに伴って生じるオフセット量を計測する。このとき、X軸方向における第1目標位置G1からのオフセット量を「レンズ部品X軸オフセット量ORX」とし、Y軸方向における第1目標位置G1からのオフセット量を「レンズ部品Y軸オフセット量ORY」とする。また、これらを合わせて「レンズ部品オフセット量」という。
第1接着工程S04で作製したレンズ付き光導波路10は、前述したように、位置合わせの誤差、すなわちレンズ部品オフセット量を含んでいる。そこで、本工程では、前工程で求めたレンズ部品オフセット量に基づき、次工程で行うレンズ付き光導波路10と光素子搭載基板25との位置合わせをより正確に行うための第2目標位置G2を設定する。
次に、図13に示すように、レンズ付き光導波路10に対して光素子搭載基板25を位置合わせしながら、図8に示すようにレンズ付き光導波路10と光素子搭載基板25とを接着する。これにより、光モジュール100を得る。
例えば、前記実施形態には、任意の目的の工程が付加されていてもよい。
2 電気基板
3 光素子
4 制御素子
5 レンズ部品
10 レンズ付き光導波路
11 クラッド層
12 クラッド層
13 コア層
14 コア部
15 側面クラッド部
16 光路変換部
17 下側保護層
18 上側保護層
21 絶縁基板
22 導電層
23 接点
25 光素子搭載基板
51 基部
52 壁部
53 空洞
54 レンズ
62 MT型光コネクター
100 光モジュール
101 積層体
141 拡幅部
160 凹部
161 設計位置
162 実際位置
171 第1アライメントマーク
251 第3アライメントマーク
252 光素子搭載基板原点
541 設計位置
542 実際位置
551 第2アライメントマーク
552 レンズ部品原点
G1 第1目標位置
G2 第2目標位置
O ずれ補正前原点
ORX レンズ部品X軸オフセット量
ORY レンズ部品Y軸オフセット量
OSX 光素子搭載基板X軸オフセット量
OSY 光素子搭載基板Y軸オフセット量
S01 第1ずれ量計測工程
S02 第2ずれ量計測工程
S03 第1目標位置設定工程
S04 第1接着工程
S05 オフセット量計測工程
S06 第2目標位置設定工程
S07 第2接着工程
SMX 光路変換部X軸ずれ量
SMY 光路変換部Y軸ずれ量
SRX レンズX軸ずれ量
SRY レンズY軸ずれ量
Claims (4)
- 線状に延在するコア部と前記コア部の光路を変換する光路変換部と第1アライメントマークとを備える光導波路、レンズと第2アライメントマークとを備えるレンズ部品、および、光素子と基板とを備える光素子搭載基板を、この順で積層してなる光モジュールの製造方法であって、
前記第1アライメントマークに対する前記光路変換部の設計位置からのずれ量である光路変換部ずれ量と、前記第2アライメントマークに対する前記レンズの設計位置からのずれ量であるレンズずれ量とに基づいて、前記光導波路に対して前記レンズ部品を位置合わせする際の第1目標位置を設定する第1目標位置設定工程と、
前記レンズ部品を前記第1目標位置に合わせるように前記光導波路と前記レンズ部品とを接着し、レンズ付き光導波路を得る第1接着工程と、
前記レンズ付き光導波路において、前記第1アライメントマークの位置および前記第2アライメントマークの位置に基づいて、前記第1目標位置に対する前記レンズ部品のオフセット量であるレンズ部品オフセット量を求めるオフセット量計測工程と、
前記レンズ部品オフセット量、および、前記第1目標位置に対する前記光素子搭載基板のオフセット量である光素子搭載基板オフセット量と、前記光モジュールの結合損失と、の相関関係に基づき、前記レンズ付き光導波路に対して前記光素子搭載基板を位置合わせする際の第2目標位置を設定する第2目標位置設定工程と、
前記光素子搭載基板を第2目標位置に合わせるように前記レンズ付き光導波路と前記光素子搭載基板とを接着し、前記光モジュールを得る第2接着工程と、
を有することを特徴とする光モジュールの製造方法。 - 前記レンズ付き光導波路において、前記レンズ部品越しに前記第1アライメントマークが視認可能になっている請求項1に記載の光モジュールの製造方法。
- 前記第2接着工程において、前記光素子の受発光部と、前記レンズ付き光導波路の前記レンズまたは前記第2アライメントマークと、を確認しつつ、前記光素子搭載基板が前記第2目標位置に合うように、前記レンズ付き光導波路と前記光素子搭載基板との位置関係を調整する請求項1または2に記載の光モジュールの製造方法。
- 前記相関関係は、前記レンズ部品オフセット量および前記光素子搭載基板オフセット量と、それらを入力し光線追跡法による計算で求められた前記結合損失と、に基づくものである請求項1ないし3のいずれか1項に記載の光モジュールの製造方法。
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