JP6955664B2 - 表面処理装置 - Google Patents
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Description
2 光ファイバー
3 第一ユニット
4 第二ユニット
5 第三ユニット
6 旋回部
7 レンズカバー
8 ビームノズル
9 近接センサ
11 レーザヘッド
12 基板
13 ハンドル
14 ハンドルブラケット
21 コネクタ
31 コリメートレンズ
32 ハウジング
33 ソケット
34 支持部材
35 反射ミラー
41 集光レンズ
42 駆動ミラー
43 ハウジング
43a 側面
43b 摺動面
44 駆動モータ
45 支持部材
51 モータドライバ
52 電圧電流変換器
53 ハウジング
54 コネクタ
61 内筒
62 外筒
63 無給油ブッシュ
64 Oリング
65 固定ピン
71 開口部
72 胴部
73 蓋体
73a 本体部
73b 壁部材
73c フランジ部
74 ガス供給口
75 隙間
81 バキューム用開口部
82 側面部
83 バキューム用ガイド
84 コネクタ
85 空間
91 信号出力部
Claims (5)
- 光ファイバーから伝送されたレーザ光を外部に取り出すコリメートレンズを備えた第一ユニットと、
前記第一ユニットに対して相対的に旋回可能に配置されるとともに前記レーザ光を集光してレーザビームを照射する集光レンズを備えた第二ユニットと、を備え、
前記第二ユニットの旋回部は、前記レーザ光をコリメートしてから集光するまでの光路間に配置されており、
前記集光レンズの外面を覆うとともに前記レーザビームを照射可能な開口部を備えたレンズカバーと、該レンズカバーに接続され前記レーザビームの光路を囲うビームノズルと、を備えた
ことを特徴とする表面処理装置。 - 前記旋回部は、内筒及び外筒を備えた二重管構造を有しており、内筒は光路を形成し、外筒はケーブル類の通路を形成している、ことを特徴とする請求項1に記載の表面処理装置。
- 前記ビームノズルは、側面部に形成されたバキューム用開口部と、該バキューム用開口部が形成された側面部に沿って配置されたバキューム用ガイドと、を有することを特徴とする請求項1に記載の表面処理装置。
- 前記レンズカバーは、前記集光レンズの表面にエアパージ可能な隙間を有する、ことを特徴とする請求項1に記載の表面処理装置。
- 前記ビームノズルの先端の位置を計測する近接センサと、前記ビームノズルが適正な位置にある場合と前記ビームノズルが適正な位置より遠い場合と前記ビームノズルが適正な位置より近い場合とを区別して異なる信号を発信可能な信号出力部と、を備えていることを特徴とする請求項1に記載の表面処理装置。
Priority Applications (1)
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JP2016206668A JP6955664B2 (ja) | 2016-10-21 | 2016-10-21 | 表面処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2016206668A JP6955664B2 (ja) | 2016-10-21 | 2016-10-21 | 表面処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2018065186A JP2018065186A (ja) | 2018-04-26 |
JP6955664B2 true JP6955664B2 (ja) | 2021-10-27 |
Family
ID=62086647
Family Applications (1)
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JP2016206668A Active JP6955664B2 (ja) | 2016-10-21 | 2016-10-21 | 表面処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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TW201946719A (zh) | 2018-05-02 | 2019-12-16 | 國立清華大學 | 可攜式同調光表面處理裝置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006015358A (ja) * | 2004-06-30 | 2006-01-19 | Sunx Ltd | レーザ加工装置 |
JP4999145B2 (ja) * | 2006-02-28 | 2012-08-15 | パナソニック電工Sunx株式会社 | レーザ加工装置 |
JP5707079B2 (ja) * | 2010-09-30 | 2015-04-22 | パナソニック デバイスSunx株式会社 | レーザ加工装置 |
-
2016
- 2016-10-21 JP JP2016206668A patent/JP6955664B2/ja active Active
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JP2018065186A (ja) | 2018-04-26 |
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