WO2012032934A1 - 撮像ユニット、該撮像ユニットを具備する内視鏡先端部 - Google Patents

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WO2012032934A1
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imaging
imaging unit
optical axis
rear end
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考俊 五十嵐
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オリンパス株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to an image pickup unit including an image pickup optical system and an image pickup element, and an endoscope front end portion including the image pickup unit.
  • an imaging apparatus including a solid-state imaging device such as a CCD or CMOS (hereinafter simply referred to as an imaging device) that images a subject by converting light incident on a light receiving portion provided on a semiconductor substrate into an electrical signal. It is well known.
  • a solid-state imaging device such as a CCD or CMOS (hereinafter simply referred to as an imaging device) that images a subject by converting light incident on a light receiving portion provided on a semiconductor substrate into an electrical signal. It is well known.
  • the image pickup apparatus is used as an image pickup unit together with the image pickup optical system in electronic devices such as an electronic endoscope, a mobile phone with a camera, and a digital camera.
  • WL-CSP wafer level chip size package
  • WL-CSP In WL-CSP, after a cover glass wafer is bonded at a wafer level on a sensor wafer on which a plurality of semiconductor chips each having an image sensor are formed, a plurality of imaging devices are separated by separating each of the semiconductor chips. Complete the package.
  • Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-209967 discloses a WL-CSP type image pickup apparatus in which a cover glass is attached to a light receiving surface of an image pickup element via a bonding layer, and a frame body that holds an image pickup optical system.
  • An imaging unit is constituted by the lens holder, and the imaging device is held in the lens holder by being provided behind the imaging optical system in the optical axis direction of the imaging optical system in the lens holder.
  • the lens holder that covers the outer peripheral surface of the image pickup device and the cover glass, the outer peripheral surface of the cover glass is shielded and the image pickup device is protected, and in the optical axis direction and the radial direction orthogonal to the optical axis direction, On the other hand, a configuration in which the imaging optical system is positioned is disclosed.
  • the present invention has been made in view of the above problems, and in the configuration in which a WL-CSP type imaging device is held by a lens holder, an imaging unit having a configuration that can be reduced in the radial direction, the imaging
  • An object of the present invention is to provide an endoscope distal end portion including a unit.
  • An imaging unit includes a frame body that holds an imaging optical system therein, and a light receiving unit that receives light that enters through the imaging optical system.
  • An imaging element located behind the optical axis of the optical system, a cover glass attached to a facing surface of the imaging element facing the imaging optical system, and formed at least on the outer peripheral surface of the cover glass; A fitting portion into which the rear end side portion of the frame body is fitted with the rear end side portion, and when the rear end side portion of the frame body is fitted to the fitting portion, In the radial direction orthogonal to the optical axis direction, the frame and the imaging element are formed in a size such that the frame and the imaging element have the same diameter.
  • the endoscope distal end portion including the imaging device according to one aspect of the present invention includes the imaging unit according to the first aspect.
  • FIG. 1 is a partial cross-sectional view schematically showing the configuration of an imaging unit provided in the distal end portion of FIG.
  • the figure which shows the state which performed half dicing on the cover glass wafer of FIG. 3A The figure which shows the state which performed full cut dicing with respect to the cover glass wafer and sensor wafer of FIG.
  • FIG. 2 is a partial cross-sectional view schematically showing a configuration in which a substrate is electrically connected to the electrode of the imaging unit in FIG.
  • FIG. 6 is a partial cross-sectional view schematically showing a state where the substrate of FIG. 6 is curved.
  • FIG. 1 is a partial perspective view showing a distal end side of an insertion portion of an endoscope in which the imaging unit of the present embodiment is provided in the distal end portion of the insertion portion
  • FIG. 2 is an imaging provided in the distal end portion of FIG. It is a fragmentary sectional view which shows the structure of a unit roughly.
  • the distal end surface 2m of the distal end portion 2 located on the distal end side in the optical axis direction L (hereinafter simply referred to as the distal end side) of a lens 6 (described later) of the insertion portion 3 of the endoscope 1 is covered with An objective lens 6a for observing the test site, an illumination lens for illuminating the test site, for example, two illumination lenses 4, and an air supply for supplying a fluid to the surface of the objective lens 6a to remove dirt on the surface of the objective lens 6a
  • a water supply nozzle 5 and a tip opening 7k of a channel (not shown) used when supplying a treatment tool to a test site provided in the insertion portion 3 or sucking a liquid or solid located at the test site are provided.
  • the number of illumination lenses 4 is not limited to two.
  • an imaging unit 10 shown in FIG. 2 is provided in the distal end portion 2.
  • the imaging unit 10 includes a lens holder 13 that is a frame body that holds a lens 6 that is an imaging optical system on the inner tip side.
  • the lens holder 13 is formed of, for example, metal by molding or cutting.
  • the lens 6 is composed of two lenses: an objective lens 6a and a lens 6b located behind the objective lens 6a in the optical axis direction L (hereinafter simply referred to as the rear). However, it may be composed of one lens or a plurality of three or more lenses.
  • the lens holder 13 has a shape bent in a crank shape at a midway position in the optical axis direction L. That is, the lens holder 13 has a crank-shaped part 13k at a midway position in the optical axis direction.
  • the image sensor 11 including a light receiving portion 11j that receives light incident through the lens 6 is located behind the lens 6.
  • a known cover glass 12 that protects the light receiving surface of the light receiving portion 11j is attached to the facing surface 11f facing the lens 6 of the image sensor 11 via an adhesive layer.
  • the cover glass 12 is held by the lens holder 13 in the lens holder 13.
  • the cover glass 12 not only protects the light receiving surface of the light receiving portion 11j, but also has a function of supporting the thinly formed image sensor 11 and preventing mechanical deformation and breakage of the image sensor 11.
  • the image pickup device 11 and the cover glass 12 constitute a WL-CSP type image pickup device 15.
  • the imaging element 11 in a state viewed in plan from the facing surface 11f side, through wiring 16 penetrating the facing surface 11f and the surface 11x opposite to the facing surface 11f in a region excluding the light receiving portion 11j. Is formed.
  • an electrode pad 17 electrically connected to the through wiring 16 is formed on the surface 11x of the image pickup device 11, and an electrode 18 such as a solder ball is electrically connected to the electrode pad 17.
  • the sticking part 12c stuck to the opposing surface 11f of the image sensor 11 of the cover glass 12 is formed in the same diameter as the image sensor 11 in the radial direction R of the image sensor 11 orthogonal to the optical axis direction L.
  • part 12c is formed in 1/5 or more and 1/2 or less of the thickness a2 of the optical axis direction L of the cover glass 12 whole.
  • the front part 12z located in front of the optical axis direction L (hereinafter, simply referred to as the front) than the sticking part 12c of the cover glass 12 is formed with a smaller diameter in the radial direction R than the sticking part 12c. Yes.
  • the diameter of the front portion 12z is larger than the diameter of the light receiving portion 11j of the image sensor 11 and smaller than the image sensor 11.
  • a step portion is formed on the outer peripheral surface of the cover glass 12 due to a difference in size between the diameter of the sticking portion 12c and the diameter of the front portion 12z, and the step portion has a rectangular cross section.
  • a fitting portion K is formed.
  • the rear end side portion 13b has a function of blocking unnecessary light from entering the light receiving portion 11j of the image sensor 11 from the outside of the lens holder 13.
  • the fitting portion K is formed in a space having the same size and shape as the rear end side portion 13b of the lens holder 13. Specifically, the length in the optical axis direction L and the width in the radial direction R are the same and have the same shape.
  • the lower end surface 13bt of the rear end side portion 13b fitted to the fitting portion K is in close contact with the upper surface 12ct of the sticking portion 12c, and the inner peripheral surface 13bg of the rear end side portion 13b is Further, the lens holder 13 and the image pickup device 11 which are in close contact with the outer peripheral surface 12zg of the front portion 12z and are fitted in the fitting portion K have the same diameter in the radial direction R.
  • the lower end surface 13bt and the inner peripheral surface 13bg are bonded and fixed to the upper surface 12ct and the outer peripheral surface 12zg, respectively, using, for example, a thermosetting adhesive, a photocurable adhesive, or a combined photothermal adhesive.
  • the outer peripheral surface 12zg and the upper surface 12ct are painted black, for example, in addition to the light shielding of the rear end side portion 13b of the lens holder 13, the light receiving portion 11j of the image sensor 11 is unnecessary from the outside of the lens holder 13. You may have the structure which shields that incident light enters.
  • crank-shaped portion 13k of the lens holder 13 is in contact with the front surface 12t facing the lens 6 of the cover glass 12.
  • the lens 6 is positioned in the optical axis direction K and the radial direction R with respect to the image pickup device 11 by the contact of the inner peripheral surface 13bg with the image sensor 11.
  • FIGS. 3A to 3C are diagrams schematically showing a manufacturing process of the imaging device of FIG. 2, and FIG. 3A is a schematic view showing a state in which a cover glass wafer is attached to a sensor wafer having a plurality of imaging elements.
  • FIG. 3B schematically shows a state where half dicing is performed on the cover glass wafer of FIG. 3A
  • FIG. 3C shows full cut dicing on the cover glass wafer and sensor wafer of FIG. 3B. It is a figure which shows schematically the state in which multiple imaging devices were formed.
  • a sensor wafer 110 having a plurality of image sensors 11 is prepared by attaching a cover glass wafer 120 via an adhesive layer 14.
  • the sensor wafer 110 is provided for each imaging device 11 on the surface of the sensor wafer 110 that penetrates from the surface on the cover glass wafer 120 side to the surface opposite to the surface and the surface on the opposite side of the sensor wafer 110.
  • An electrode pad 17 electrically connected to the through wiring 16 and an electrode 18 electrically connected to the electrode pad 17 are formed.
  • the cover glass wafer 120 is made to a thickness that is 1/5 or more and 1/2 or less of the thickness of the cover glass wafer 120.
  • half-cut dicing is performed at positions corresponding to both ends of each image sensor 11 to form grooves M.
  • the formation of the groove M is not limited to dicing, and may be performed by etching.
  • the first width is set to a value obtained by adding a second width described later to twice the width in the radial direction R of the rear end side portion 13b of the lens holder 13.
  • the radial direction R is smaller than the first width so as to penetrate the cover glass wafer 120 and the sensor wafer 110 with respect to the position where the groove M of the cover glass wafer 120 is formed.
  • Full-cut dicing is performed using a dicing blade having a second width.
  • the imaging unit 10 is manufactured in the manufactured imaging device 15 by bonding and fixing the lens holder 13.
  • part 13b of the lens holder 13 is formed in the cover glass 12, This fitting part It is shown that the rear end side portion 13b is fitted and fixed to K.
  • the lens holder 13 may protrude and be positioned outside the imaging element 11 in the radial direction R as in the past. Absent.
  • the lens holder 13 can prevent the imaging unit 10 from increasing in diameter in the radial direction R, so that the imaging unit 10 can be downsized with a simple configuration. That is, it is possible to reduce the size of the distal end portion 2 of the insertion portion 3 of the endoscope 1 in which the imaging unit 10 is provided.
  • the rear end portion 13b of the lens holder 13 is fitted to the fitting portion K, and the crank-shaped portion 13k of the lens holder 13 is applied to the front surface 12t of the cover glass 12.
  • the lens 6 is positioned in the optical axis direction K and the radial direction R with respect to the image sensor 11.
  • the imaging unit 10 when the imaging unit 10 is manufactured, only the rear end side portion 13b is fitted to the fitting portion K, and the crank-like portion 13k is brought into contact with the front surface 12t of the cover glass 12, and automatically.
  • the lens 6 is mechanically positioned with respect to the image sensor 11 in the optical axis direction K and the radial direction R. Therefore, the lens 6 is positioned using a known positioning mark or positioned while observing with a camera. Since it is not necessary, the lens 6 can be easily positioned with respect to the image sensor 11.
  • the imaging unit 10 having a configuration that can be downsized in the radial direction R, and the endoscope tip including the imaging unit 10 Part 2 can be provided.
  • the fitting portion K of the cover glass 12 is formed in a rectangular shape in cross section from the step portion resulting from the difference in the size in the radial direction R between the sticking portion 12c and the front portion 12z. Indicated.
  • the cross-sectional shape of the fitting portion K is not limited to this, and the rear end side portion 13b is further imaged outside in the radial direction R unless the cross-sectional shape of the fitting portion K has mechanical strength and does not impair the light shielding property to the light receiving portion 11j. If it does not protrude beyond the element 11, for example, it may have a cross-sectional shape formed by a stepped step portion for the purpose of increasing the adhesion area of the inner peripheral surface 13bg of the rear end side portion 13b to the outer peripheral surface 12zg of the front portion 12z. It may have any shape.
  • FIG. 4 shows a modified example of the imaging unit in which the lens holder is fixed to the cover glass by the locking claw provided at the rear end portion of the lens holder in FIG. 2 being locked in the locking groove of the cover glass. It is a fragmentary sectional view showing roughly.
  • a locking groove 12 zp whose cross section in the optical axis direction L has a reverse taper shape is formed on at least a part of the outer peripheral surface 12 zg of the front portion 12 z of the cover glass 12, and the rear end of the lens holder 13. At least a part of the inner peripheral surface 13bg of the side portion 13b is formed with a locking claw 13bp that is locked to the locking groove 12zp, and the cover glass 12 is fitted by the locking of the locking claw 13bp to the locking groove 12zp.
  • the lens holder 13 may be fixed to the joint portion K.
  • the locking groove 12zp is formed by cutting the cover glass wear 120 by rotating a blade having a conical shape, for example, in the step of forming the groove M shown in FIG. 3B described above.
  • a locking groove 12zp is formed over the entire outer peripheral surface 12zg of the front portion 12z, and a locking claw 13bp is formed on the inner peripheral surface 13bg of the rear end side portion 13b of the lens holder 13. If it is formed over the entire circumference, it is difficult to lock the locking claw 13bp in the locking groove 12zp.
  • the locking groove 12zp is formed only at two opposing positions on the outer peripheral surface 12zg of the front part 12z, and the rear end side part 13b having the locking claw 13bp is also provided at only two opposing positions of the lens holder 13. If formed, the locking claw 13bp can be slid into the locking groove 12zp from the radial direction R, so that the locking claw 13bp can be easily locked to the locking groove 12zp.
  • unnecessary light may enter the light receiving portion 11j of the image pickup device 11 from a location where the rear end side portion 13b is not formed. This can be prevented by applying a black paint to the outer peripheral surface 12zg of the twelve front portion 12z and the upper surface 12ct of the sticking portion 12c.
  • the rear end side portion 13b only needs to have the shape of the above-described first embodiment except the portion where the locking claw 13bp is formed.
  • the lens holder 13 can be fixed to the fitting portion K of the cover glass 12 in a non-adhesive manner. Since the required time can be reduced, the manufacturing process time of the imaging unit 10 can be shortened.
  • FIG. 5 is a partial cross-sectional view schematically showing the configuration of the imaging unit of the present embodiment.
  • the configuration of the imaging unit of the second embodiment has a rear end portion of the lens holder on the outer peripheral surface of the imaging device. The difference is that a fitting portion to be fitted is formed. Therefore, only this difference will be described, the same reference numerals are given to the same components as those in the first embodiment, and the description thereof will be omitted.
  • the cover glass 12 is formed such that the diameter of the part to be attached to the facing surface 11 f of the image sensor 11 is smaller than that of the image sensor 11, and the outer peripheral surface.
  • the first tapered surface 12v is formed so that the diameter of the outer peripheral surface of the cover glass 12 becomes smaller toward the front.
  • a second tapered surface 11v continuous with the first tapered surface 12v is formed on the outer peripheral surface of the image sensor 11 on the cover glass 12 side, the diameter of the outer peripheral surface of the image sensor 11 becomes smaller toward the front. ing.
  • a tapered step is formed on the outer peripheral surface of the image sensor 11 and the outer peripheral surface of the cover glass 12.
  • the first taper surface 12v and the second taper surface 11v are formed not only on the cover glass wafer 120 but also on the sensor wafer by using a V-shaped blade in the step of forming the groove M shown in FIG. 3B. It is formed by cutting up to 110 to a predetermined depth.
  • the fitting portion K is formed on the outer peripheral surface of the cover glass 12 and the imaging element 11 by a tapered step portion formed by the first tapered surface 12v and the second tapered surface 11v. That is, in the present embodiment, the fitting portion K is also formed on the outer peripheral surface of the image sensor 11.
  • the shape of the fitting part K is formed in the same size and the same shape as the rear end side portion 13b of the lens holder 13. That is, the inner peripheral surface 13bg of the rear end side portion 13b is also tapered.
  • the inner peripheral surface 13bg of the rear end side portion 13b fitted to the fitting portion K is in close contact with and adhered to the first tapered surface 12v of the cover glass 12 and the second tapered surface 11v of the imaging element 11.
  • the diameter of the lens holder 13 is the same as that of the image sensor 11 in the radial direction R.
  • the rear end side portion 13b of the lens holder 13 becomes longer rearward, so that light that enters the light receiving portion 11j from the outside is completely eliminated. Can be shielded from light. That is, the light shielding property is improved as compared with the first embodiment.
  • the mechanical strength of the cover glass 12 can be improved.
  • substrate 30 (refer FIG. 6) is electrically connected to the electrode 18 of the imaging unit 10 shown to 1st Embodiment mentioned above and 2nd Embodiment.
  • FIG. 6 is a partial cross-sectional view schematically showing a configuration in which a substrate is electrically connected to the electrodes of the imaging unit in FIG. 2, and
  • FIG. 7 is a partial cross-section schematically showing a state in which the substrate in FIG. 6 is curved.
  • the imaging unit 10 When the imaging unit 10 is provided in the distal end portion 2 of the insertion portion 3 of the endoscope 1, it is necessary to connect a cable 40 for transmitting image data captured by the imaging unit 10.
  • the electrode 18 such as a solder ball electrically connected to the electrode pad 17 provided on the surface 11x of the image sensor 11 is formed on the first surface of the substrate 30 such as a flexible substrate as shown in FIG. It is electrically connected to an image sensor connection land (not shown).
  • a cable connection land (not shown) is further formed on the first surface of the substrate 30 at a position spaced apart from the image sensor connection land in the radial direction R, and the cable 40 with the end face of the conductor wire exposed on the land. Are electrically connected by connecting means such as solder.
  • connection of the cable 40 to the cable connection land is performed by positioning the cable 40 while heating the substrate 30 after mounting the imaging unit 10 on the substrate 30.
  • the substrate 30 is bent behind the imaging unit 10 and is fixed to the electrode 18 in a state where the cable 40 extends to the rear side of the imaging unit 10.
  • the diameter of the imaging unit 10 can be reduced.
  • FIGS 6 and 7 show the imaging unit 10 of the first embodiment described above as an example, but it goes without saying that the imaging unit 10 of the second embodiment may of course be applied. Not too long.
  • the imaging unit 10 is shown to be provided in the distal end portion 2 of the insertion portion 3 of the endoscope 1, but not limited to this, a mobile phone, Of course, it may be provided in an electronic device such as a camera.
  • the above embodiments include inventions at various stages, and various inventions can be extracted by appropriately combining a plurality of disclosed constituent elements. For example, even if some constituent elements are deleted from all the constituent elements shown in the embodiment, the problem described in the column of the problem to be solved by the invention can be solved, and the effect described in the effect of the invention Can be obtained as an invention.

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Abstract

内部にレンズ６を保持するレンズホルダ１３と、受光部１１ｊを有するとともに、レンズ６よりも光軸方向Ｌの後方に位置する撮像素子１１と、撮像素子１１の対向面１１ｆに対して貼着されたカバーガラス１２と、少なくともカバーガラス１２の外周面１２ｚｇに形成された、レンズホルダ１３の後端側部位１３ｂが嵌合される嵌合部Ｋと、を具備し、嵌合Ｋ部に対し後端側部位１３ｂが嵌合された際、径方向Ｒにおいて、レンズホルダ１３と撮像素子１１とが同径となる大きさにレンズホルダ１３及び撮像素子１１は形成されている。

Description

撮像ユニット、該撮像ユニットを具備する内視鏡先端部
　本発明は、撮像光学系と撮像素子とを具備する撮像ユニット、該撮像ユニットを具備する内視鏡先端部に関する。
　従来、半導体基板に設けられた受光部に入光する光を電気信号に変換することにより被写体を撮像するＣＣＤやＣＭＯＳ等の固体撮像素子（以下、単に撮像素子と称す）を具備する撮像装置が周知である。
　撮像装置は、撮像光学系とともに撮像ユニットとして、電子内視鏡や、カメラ付き携帯電話、デジタルカメラ等の電子機器に用いられる。
　また、近年、撮像装置においては、ウエハレベルチップサイズパッケージ（以下、ＷＬ－ＣＳＰと称す）タイプのものが周知である。
　ＷＬ－ＣＳＰにおいては、イメージセンサが各々形成された複数の半導体チップが構成されたセンサウエハ上にカバーガラスウエハをウエハレベルで貼り合せた後、半導体チップ毎にそれぞれ分離することにより、複数の撮像装置のパッケージを完成させる。
　このようなＷＬ－ＣＳＰタイプの撮像装置を、撮像ユニットに用いた構成は、日本国特開２００５－２０９９６７号公報に開示されている。
　日本国特開２００５－２０９９６７号公報では、撮像素子の受光面上に、接合層を介してカバーガラスが貼着されたＷＬ－ＣＳＰタイプの撮像装置と、撮像光学系を保持する枠体であるレンズホルダとから撮像ユニットが構成されており、撮像装置が、レンズホルダ内において、撮像光学系よりも該撮像光学系の光軸方向後方に設けられていることによってレンズホルダ内に保持されることにより、撮像素子及びカバーガラスの外周面を覆うレンズホルダによって、カバーガラスの外周面が遮光されるとともに撮像素子が保護され、光軸方向及び該光軸方向に直交する径方向において、撮像素子に対して撮像光学系が位置決めされた構成が開示されている。
　しかしながら、日本国特開２００５－２０９９６７号公報に開示された撮像ユニットの構成においては、レンズホルダが撮像装置の外周面を覆う構成を有していることから、径方向における撮像ユニットの径が、撮像装置に対して、レンズホルダの厚み分だけ大径化してしまい、撮像ユニットの径方向の小型化を妨げてしまうといった問題があった。
　よって、撮像ユニットが設けられる上述した電子機器の小型化が行い難くなってしまうといった問題があり、特に、小径化が求められている内視鏡の挿入部の先端部に撮像ユニットを設ける場合には、撮像ユニットの大型化は問題となる。
　本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、ＷＬ－ＣＳＰタイプの撮像装置をレンズホルダによって保持する構成において、径方向に小型化を図ることができる構成を有する撮像ユニット、該撮像ユニットを具備する内視鏡先端部を提供することを目的とする。
　本発明の一態様における撮像ユニットは、内部に撮像光学系を保持する枠体と、前記撮像光学系を介して入光する光を受光する受光部を有するとともに、前記撮像光学系よりも該撮像光学系の光軸方向後方に位置する撮像素子と、前記撮像素子の前記撮像光学系に対向する対向面に対して貼着されたカバーガラスと、少なくとも前記カバーガラスの外周面に形成された、前記枠体の前記光軸方向の後端側部位が嵌合される嵌合部と、を具備し、前記嵌合部に対し前記枠体の前記後端側部位が嵌合された際、前記光軸方向に直交する径方向において、前記枠体と前記撮像素子とが同径となる大きさに前記枠体及び前記撮像素子は形成されている。
　また、本発明の一態様における撮像装置を具備する内視鏡先端部は、前記一態様における撮像ユニットが、内部に設けられている。
第１実施の形態の撮像ユニットが挿入部の先端部内に設けられた内視鏡の挿入部の先端側を示す部分斜視図 図１の先端部内に設けられた撮像ユニットの構成を概略的に示す部分断面図 複数の撮像素子が構成されたセンサウエハに、カバーガラスウエハが貼着された状態を概略的に示す図 図３Ａのカバーガラスウエハに、ハーフダイシングを行った状態を概略的に示す図 図３Ｂのカバーガラスウエハ及びセンサウエハに対してフルカットダイシングを行い、撮像装置を複数個形成した状態を概略的に示す図 図２のレンズホルダの後端側部位に設けた係止爪が、カバーガラスの係止溝に係止されることにより、カバーガラスにレンズホルダが固定された撮像ユニットの変形例を概略的に示す部分断面図 第２実施の形態の撮像ユニットの構成を概略的に示す部分断面図 図２の撮像ユニットの電極に、基板を電気的に接続した構成を概略的に示す部分断面図 図６の基板を湾曲させた状態を概略的に示す部分断面図
　以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。尚、図面は模式的なものであり、各部材の厚みと幅との関係、それぞれの部材の厚みの比率などは現実のものとは異なることに留意すべきであり、図面の相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。
（第１実施の形態）
　図１は、本実施の形態の撮像ユニットが挿入部の先端部内に設けられた内視鏡の挿入部の先端側を示す部分斜視図、図２は、図１の先端部内に設けられた撮像ユニットの構成を概略的に示す部分断面図である。
　図１に示すように、内視鏡１の挿入部３の後述するレンズ６の光軸方向Ｌの先端側（以下、単に先端側と称す）に位置する先端部２における先端面２ｍに、被検部位を観察する対物レンズ６ａと、被検部位を照明する、例えば２つの照明用レンズ４と、対物レンズ６ａの表面に流体を供給して、対物レンズ６ａの表面の汚れを除去する送気送水ノズル５と、挿入部３内に設けられた被検部位に処置具を供給するまたは被検部位に位置する液体や固体を吸引する際用いる図示しないチャンネルの先端開口７ｋとが設けられている。尚、照明用レンズ４の数は、２つに限定されない。
　また、先端部２内には、図２に示す撮像ユニット１０が設けられている。具体的には、図２に示すように、撮像ユニット１０は、内部の先端側に撮像光学系であるレンズ６を保持する枠体であるレンズホルダ１３を具備している。尚、レンズホルダ１３は、例えば金属により、成型や削り出し等によって形成されている。
　また、図２においては、レンズ６は、対物レンズ６ａと、該対物レンズ６ａよりも光軸方向Ｌの後方（以下、単に後方と称す）に位置するレンズ６ｂとの２つのレンズから構成されている場合を例に挙げて示しているが、１枚のレンズや、３枚以上の複数枚のレンズから構成されていても構わない。
　また、レンズホルダ１３は、光軸方向Ｌの中途位置に、クランク状に曲げられた形状を有している。即ち、レンズホルダ１３は、光軸方向の中途位置に、クランク状部位１３ｋを有している。
　レンズ６よりも後方に、レンズ６を介して入光する光を受光する受光部１１ｊを具備する撮像素子１１が位置している。
　撮像素子１１のレンズ６に対向する対向面１１ｆに、受光部１１ｊの受光面を保護する、既知のカバーガラス１２が、接着層１４を介して貼着されている。カバーガラス１２は、レンズホルダ１３内において、レンズホルダ１３に保持されている。
　カバーガラス１２は、受光部１１ｊの受光面を保護する他、薄く形成された撮像素子１１を支持し、撮像素子１１の機械的な変形や破損を防止する機能も有している。尚、撮像素子１１とカバーガラス１２とにより、ＷＬ－ＣＳＰタイプの撮像装置１５が構成されている。
　また、撮像素子１１には、対向面１１ｆ側から平面視した状態において、受光部１１ｊを除く領域に、対向面１１ｆと、該対向面１１ｆとは反対側の面１１ｘとを貫通する貫通配線１６が形成されている。
　また、撮像素子１１の面１１ｘに、貫通配線１６に電気的に接続された電極パッド１７が形成され、さらに該電極パッド１７に、半田ボール等の電極１８が電気的に接続されている。
　カバーガラス１２の撮像素子１１の対向面１１ｆに貼着される貼着部位１２ｃは、光軸方向Ｌに直交する撮像素子１１の径方向Ｒにおいて、撮像素子１１と同径に形成されている。
　尚、貼着部位１２ｃの光軸方向Ｌの厚みａ１は、カバーガラス１２全体の光軸方向Ｌの厚みａ２の１／５以上１／２以下に形成されている。
　これは、貼着部位１２ｃが薄すぎてしまうと、貼着部位１２ｃの機械的強度が低下してしまうといった問題があり、逆に貼着部位１２ｃが厚すぎると、レンズホルダ１３の後述する後端側部位１３ｂによる受光部１１ｊへの光の遮光性が低下してしまうといった問題があるためである。
　また、カバーガラス１２の貼着部位１２ｃよりも光軸方向Ｌの前方（以下、単に前方と称す）に位置する前方部位１２ｚは、径方向Ｒにおいて、貼着部位１２ｃよりも小径に形成されている。
　より具体的には、前方部位１２ｚの径は、撮像素子１１の受光部１１ｊの径よりも大きく、撮像素子１１よりも小径に形成されている。
　このことにより、カバーガラス１２の外周面には、貼着部位１２ｃの径と前方部位１２ｚの径との大きさの違いにより、段部が形成されており、該段部によって、断面矩形状の嵌合部Ｋが形成されている。
　尚、嵌合部Ｋには、レンズホルダ１３のクランク状部位１３ｋよりも後方の後端側部位１３ｂが嵌合される。
　後端側部位１３ｂは、撮像素子１１の受光部１１ｊに、レンズホルダ１３の外方から不要な光が入光するのを遮光する機能を有している。
　嵌合部Ｋは、レンズホルダ１３の後端側部位１３ｂと、大きさ及び形が同じ形状を有する空間に形成されている。具体的には、光軸方向Ｌの長さと径方向Ｒの幅が同じであって、かつ同じ形状を有している。
　このことにより、嵌合部Ｋに嵌合している後端側部位１３ｂの下端面１３ｂｔは、貼着部位１２ｃの上面１２ｃｔに密着しているとともに、後端側部位１３ｂの内周面１３ｂｇは、前方部位１２ｚの外周面１２ｚｇに密着しており、さらに、嵌合部Ｋに嵌合しているレンズホルダ１３と撮像素子１１とは、径方向Ｒにおいて同径となっている。
　尚、下端面１３ｂｔ、内周面１３ｂｇは、それぞれ上面１２ｃｔ、外周面１２ｚｇに、例えば熱硬化型接着剤や光硬化型接着剤、あるいは光熱併用型接着剤が用いられて接着固定されている。
　また、外周面１２ｚｇ、上面１２ｃｔが、例えば黒く塗装されていることにより、レンズホルダ１３の後端側部位１３ｂの遮光に加え、撮像素子１１の受光部１１ｊに、レンズホルダ１３の外方から不要な光が入光するのを遮光する構成を有していても構わない。
　また、レンズホルダ１３のクランク状部位１３ｋの内周面は、カバーガラス１２のレンズ６に対向する前面１２ｔに当接している。
　この前面１２ｔへのクランク状部位１３ｋへの当接と、嵌合部Ｋへのレンズホルダ１３の後端側部位１３ｂの嵌合、即ち上面１２ｃｔへの下端面１３ｂｔの当接と、外周面１２ｚｇへの内周面１３ｂｇの当接により、レンズ６は、撮像素子１１に対して、光軸方向Ｋ及び径方向Ｒに位置決めされている。
　次に、図３Ａ～図３Ｃを用いて、図２のＷＬ－ＣＳＰタイプの撮像装置の製造工程について簡単に説明する。図３Ａ～図３Ｃは、図２の撮像装置の製造工程を概略的に示す図であり、図３Ａは、複数の撮像素子が構成されたセンサウエハに、カバーガラスウエハが貼着された状態を概略的に示す図、図３Ｂは、図３Ａのカバーガラスウエハに、ハーフダイシングを行った状態を概略的に示す図、図３Ｃは、図３Ｂのカバーガラスウエハ及びセンサウエハに対してフルカットダイシングを行い、撮像装置を複数個形成した状態を概略的に示す図である。
　先ず、図３Ａに示すように、撮像素子１１が複数個構成されたセンサウエハ１１０に、接着層１４を介して、カバーガラスウエハ１２０が貼着されたものを用意する。
　尚、センサウエハ１１０には、撮像素子１１毎に、センサウエハ１１０のカバーガラスウエハ１２０側の面から該面とは反対側の面まで貫通する貫通配線１６と、センサウエハ１１０の反対側の面に設けられた、貫通配線１６に電気的に接続された電極パッド１７と、該電極パッド１７に電気的に接続された電極１８とがそれぞれ形成されている。
　次に、図３Ｂに示すように、径方向Ｒに第１の幅を有するダイシングブレードを用いて、カバーガラスウエハ１２０の厚みの１／５以上１／２以下となる厚みまで、カバーガラスウエハ１２０に対して、各撮像素子１１の両端部となる位置に、ハーフカットダイシングを行い、溝Ｍを形成する。
　尚、溝Ｍの形成は、ダイシングに限らず、エッチングによって行っても構わない。尚、第１の幅は、レンズホルダ１３の後端側部位１３ｂの径方向Ｒの幅の２倍に後述する第２の幅を加えた値に設定されている。
　最後に、図３Ｃに示すように、カバーガラスウエハ１２０の溝Ｍが形成された位置に対して、カバーガラスウエハ１２０及びセンサウエハ１１０を貫通するように、径方向Ｒに第１の幅よりも小さい第２の幅を有するダイシングブレードを用いて、フルカットダイシングを行う。
　その結果、複数の撮像装置１５が形成されるとともに、各撮像装置１５のカバーガラス１２には、図３Ｂにおいてハーフカットダイシングにより形成した溝Ｍに起因する貼着部位１２ｃが形成され、嵌合部Ｋが形成される。
　尚、製造後の撮像装置１５には、上述したように、レンズホルダ１３が接着固定されることにより、撮像ユニット１０が製造される。
　このように、本実施の形態においては、カバーガラス１２に、レンズホルダ１３の後端側部位１３ｂと同じ大きさ及び同じ形に形成された嵌合部Ｋが形成されており、該嵌合部Ｋに後端側部位１３ｂが嵌合されて接着固定されていると示した。
　このことによれば、撮像装置１５に対してレンズホルダ１３を固定したとしても、従来のように、レンズホルダ１３が、撮像素子１１よりも径方向Ｒの外側に飛び出して位置してしまうことがない。
　よって、レンズホルダ１３により、撮像ユニット１０が径方向Ｒに大径化してしまうことを防ぐことができることから、簡単な構成により、撮像ユニット１０の小型化を実現することができる。即ち、撮像ユニット１０が設けられる内視鏡１の挿入部３の先端部２の小型化を実現することができる。
　また、本実施の形態においては、嵌合部Ｋに、レンズホルダ１３の後端側部位１３ｂが嵌合しているとともに、カバーガラス１２の前面１２ｔに、レンズホルダ１３のクランク状部位１３ｋが当接することにより、レンズ６は、撮像素子１１に対して、光軸方向Ｋ及び径方向Ｒに位置決めされている。
　このことによれば、撮像ユニット１０の製造の際、嵌合部Ｋに後端側部位１３ｂを嵌合するのみで、カバーガラス１２の前面１２ｔにクランク状部位１３ｋが当接され、自動的に、レンズ６は、撮像素子１１に対して、光軸方向Ｋ及び径方向Ｒに機械的に位置決めされることから、既知の位置決めマークを用いて位置決めしたり、カメラで観察しながら位置決めしたりする必要がないため、容易に、レンズ６を撮像素子１１に対して位置決めすることができる。
　以上から、ＷＬ－ＣＳＰタイプの撮像装置１５をレンズホルダ１３によって保持する構成において、径方向Ｒに小型化を図ることができる構成を有する撮像ユニット１０、該撮像ユニット１０を具備する内視鏡先端部２を提供することができる。
　尚、以下、変形例を示す。本実施の形態においては、カバーガラス１２の嵌合部Ｋは、貼着部位１２ｃと前方部位１２ｚとの径方向Ｒの大きさの違いに起因する段部より、断面が矩形状に形成されていると示した。
　これに限らず、嵌合部Ｋの断面形状は、機械的強度を有するとともに、受光部１１ｊへの遮光性を損なう形状でなければ、さらに、径方向Ｒの外側に後端側部位１３ｂが撮像素子１１よりもはみ出さなければ、例えば前方部位１２ｚの外周面１２ｚｇに対する後端側部位１３ｂの内周面１３ｂｇの接着面積を増やす目的により階段状の段部によって形成される断面形状でも構わないし、どのような形状を有していても構わない。
　また、以下、変形例を、図４を用いて示す。図４は、図２のレンズホルダの後端側部位に設けた係止爪が、カバーガラスの係止溝に係止されることにより、カバーガラスにレンズホルダが固定された撮像ユニットの変形例を概略的に示す部分断面図である。
　図４に示すように、カバーガラス１２の前方部位１２ｚの外周面１２ｚｇの少なくとも一部に、光軸方向Ｌの断面が逆テーパー状を有する係止溝１２ｚｐが形成され、レンズホルダ１３の後端側部位１３ｂの内周面１３ｂｇの少なくとも一部に、係止溝１２ｚｐに係止される係止爪１３ｂｐが形成され、係止溝１２ｚｐに対する係止爪１３ｂｐの係止により、カバーガラス１２の嵌合部Ｋに、レンズホルダ１３を固定する構成であっても構わない。
　尚、係止溝１２ｚｐは、上述した図３Ｂに示した溝Ｍを形成する工程において、例えば円錐形状を有する刃を回転させて、カバーガラスウエア１２０を切削することにより形成される。
　また、係止溝１２ｚｐが、前方部位１２ｚの外周面１２ｚｇの全てに全周に亘って形成されているとともに、係止爪１３ｂｐが、レンズホルダ１３の後端側部位１３ｂの内周面１３ｂｇの全てに全周に亘って形成されていると、係止爪１３ｂｐを、係止溝１２ｚｐに係止させ難くなる。
　このことから、係止溝１２ｚｐが前方部位１２ｚの外周面１２ｚｇにおいて、対向する２箇所のみに形成され、係止爪１３ｂｐを有する後端側部位１３ｂも、レンズホルダ１３の対向する２箇所のみに形成されていると、係止溝１２ｚｐに対して係止爪１３ｂｐを、径方向Ｒからスライド嵌入させることが可能となるため、係止溝１２ｚｐに対する係止爪１３ｂｐの係止が容易となる。
　この際、後端側部位１３ｂが形成されていない箇所から、撮像素子１１の受光部１１ｊに不要な光が入光してしまう可能性があるが、このことは、上述したように、カバーガラス１２の前方部位１２ｚの外周面１２ｚｇ及び貼着部位１２ｃの上面１２ｃｔに黒色の塗料を塗布しておくことにより防ぐことができる。
　また、嵌入性を無視すれば、後端側部位１３ｂは、係止爪１３ｂｐが形成された箇所以外は、上述した第１実施の形態の形状を有していれば良い。
　以上のような構成によれば、上述した本実施の形態の効果に加え、非接着にて、カバーガラス１２の嵌合部Ｋにレンズホルダ１３を固定することができることから、接着剤の硬化に必要な時間を削減することができるため、撮像ユニット１０の製造工程時間を短縮することができる。
（第２実施の形態）
　図５は、本実施の形態の撮像ユニットの構成を概略的に示す部分断面図である。　
　この第２実施の形態の撮像ユニットの構成は、上述した図２に示した第１実施の形態の撮像ユニット１０と比して、撮像素子の外周面にも、レンズホルダの後端側部位が嵌合される嵌合部が形成されている点が異なる。よって、この相違点のみを説明し、第１実施の形態と同様の構成には同じ符号を付し、その説明は省略する。
　図５に示すように、本実施の形態においては、カバーガラス１２は、撮像素子１１の対向面１１ｆへの貼着部位の径が、撮像素子１１よりも小径に形成されているとともに、外周面に、前方に向かうに従いカバーガラス１２の外周面の径が小さくなるよう第１のテーパー面１２ｖが形成されている。
　また、撮像素子１１の外周面におけるカバーガラス１２側に、前方に向かうに従い、撮像素子１１の外周面の径が小さくなる、第１のテーパー面１２ｖに連続する第２のテーパー面１１ｖが形成されている。言い換えれば、撮像素子１１の外周面及びカバーガラス１２の外周面には、テーパー状の段部が形成されている。
　尚、第１のテーパー面１２ｖ及び第２のテーパー面１１ｖは、上述した図３Ｂに示した溝Ｍを形成する工程において、Ｖ字型のブレードを用いて、カバーガラスウエハ１２０のみならず、センサウエハ１１０までも所定の深さまで切削することにより形成される。
　その結果、嵌合部Ｋは、第１のテーパー面１２ｖ及び第２のテーパー面１１ｖによるテーパー状の段部によって、カバーガラス１２及び撮像素子１１の外周面に形成されている。即ち、本実施の形態においては、嵌合部Ｋは、撮像素子１１の外周面にも形成されている。
　尚、嵌合部Ｋの形状は、レンズホルダ１３の後端側部位１３ｂと、同じ大きさ及び同じ形状に形成されている。即ち、後端側部位１３ｂの内周面１３ｂｇも、テーパー状に形成されている。
　よって、嵌合部Ｋに嵌合されている後端側部位１３ｂの内周面１３ｂｇは、カバーガラス１２の第１のテーパー面１２ｖ及び撮像素子１１の第２のテーパー面１１ｖに密着して接着固定されており、第１実施の形態同様、径方向Ｒにおいて、レンズホルダ１３の径は、撮像素子１１と同径になっている。
　このような構成によれば、第１実施の形態の効果に加え、レンズホルダ１３の後端側部位１３ｂが、後方に長くなることから、外部から受光部１１ｊに入光してしまう光を完全に遮光することができる。即ち、第１実施の形態よりも遮光性が向上する。
　また、第１実施の形態のように、カバーガラス１２に、光軸方向Ｌに薄い貼着部位１２ｃを形成する必要がなくなるため、カバーガラス１２の機械的強度を向上させることができる。
　尚、上述した第１実施の形態及び第２の実施の形態に示した撮像ユニット１０の電極１８には、基板３０（図６参照）が電気的に接続される。
　以下、撮像ユニットに基板を電気的に接続する構成を、第１実施の形態に示した撮像ユニットを例に、図６、図７を用いて示す。
　図６は、図２の撮像ユニットの電極に、基板を電気的に接続した構成を概略的に示す部分断面図、図７は、図６の基板を湾曲させた状態を概略的に示す部分断面図である。
　撮像ユニット１０を、内視鏡１の挿入部３の先端部２内に設ける場合、撮像ユニット１０により撮像された画像データを伝送するためのケーブル４０を接続する必要がある。
　よって、撮像素子１１の面１１ｘに設けられた電極パッド１７に電気的に接続された半田ボール等の電極１８は、図６に示すように、例えばフレキシブル基板等の基板３０の第１面に形成されている図示しない撮像素子接続ランドと、電気的に接続される。
　また、基板３０の第１面において、撮像素子接続ランドと径方向Ｒに離間した位置にはさらに、図示しないケーブル接続用ランドが形成されており、該ランドに導体線の端面を露出したケーブル４０が、はんだ等の接続手段により電気的に接続されている。
　尚、ケーブル４０のケーブル接続用ランドへの接続は、基板３０に撮像ユニット１０を搭載した後、基板３０を加熱しながらケーブル４０の位置合わせをして行う。
　この際、基板３０の第１面とは反対側の第２面において、ケーブル接続用ランドに対向する位置には部品が存在しないため、基板３０に確実に熱を伝えることが可能であり、接続信頼性の高いケーブル４０の接続を行うことができる。
　また、図７に示すように、基板３０は、撮像ユニット１０の後方において折り曲げられ、ケーブル４０が撮像ユニット１０の後方側に延出する状態にて、電極１８に固定されている。
　この際、基板３０は、撮像ユニット１０側から平面視した際、撮像ユニット１０の外形からはみ出さないように折り曲げられているため、撮像ユニット１０の小径化が図られる。
　尚、図６、図７においては、上述した第１実施の形態の撮像ユニット１０を例に挙げて示したが、勿論、第２実施の形態の撮像ユニットに適用しても構わないことは云うまでもない。
　さらに、上述した第１及び第２実施の形態においては、撮像ユニット１０は、内視鏡１の挿入部３の先端部２内に設けられると示したが、これに限らず、携帯電話や、カメラ等の電子機器に設けられても良いことは勿論である。
　また、上記実施形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件における適宜な組み合わせによって、種々の発明が抽出され得る。例えば、上記一実施形態に示される全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出され得る。

　本出願は、２０１０年９月１０日に日本国に出願された特願２０１０－２０３４００号を優先権主張の基礎として出願するものであり、上記の内容は、本願明細書、請求の範囲、図面に引用されたものである。

Claims (9)

  1. 　内部に撮像光学系を保持する枠体と、
    　前記撮像光学系を介して入光する光を受光する受光部を有するとともに、前記撮像光学系よりも該撮像光学系の光軸方向後方に位置する撮像素子と、
    　前記撮像素子の前記撮像光学系に対向する対向面に対して貼着されたカバーガラスと、
    　少なくとも前記カバーガラスの外周面に形成された、前記枠体の前記光軸方向の後端側部位が嵌合される嵌合部と、
    　を具備し、
    　前記嵌合部に対し前記枠体の前記後端側部位が嵌合された際、前記光軸方向に直交する径方向において、前記枠体と前記撮像素子とが同径となる大きさに前記枠体及び前記撮像素子は形成されていることを特徴とする撮像ユニット。
  2. 　前記カバーガラスは、前記撮像素子の前記対向面への貼着部位が前記撮像素子と前記径方向において同径に形成され、前記貼着部位よりも前記光軸方向の前方部位が前記径方向において前記貼着部位よりも小径に形成されており、
    　前記嵌合部は、前記前方部位と前記貼着部位との前記径方向の大きさの違いによって形成されているとともに、前記枠体の前記後端側部位と大きさ及び形が同じ形状を有するよう形成されていることを特徴とする請求項１に記載の撮像ユニット。
  3. 　前記貼着部位の前記光軸方向の厚みは、前記カバーガラスの前記光軸方向の厚みの１／５以上１／２以下に形成されていることを特徴とする請求項２に記載の撮像ユニット。
  4. 　前記嵌合部は、さらに、前記撮像素子の外周面にも形成されていることを特徴とする請求項１に記載の撮像ユニット。
  5. 　前記カバーガラスは、前記径方向において前記撮像素子よりも小径に形成されているとともに、前記外周面に、前記光軸方向前方に向かうに従い前記外周面の径が小さくなる第１のテーパー面が形成されており、
    　前記撮像素子の前記外周面の前記カバーガラス側に、前記光軸方向前方に向かうに従い前記外周面の径が小さくなる、前記第１のテーパー面に連続する第２のテーパー面が形成されており、
    　前記嵌合部は、前記第１のテーパー面及び前記第２のテーパー面によって、前記枠体の前記後端側部位と大きさ及び形が同じ形状に形成されていることを特徴とする請求項４に記載の撮像ユニット。
  6. 　前記嵌合部に対して前記枠体の前記後端側部位は、接着固定されていることを特徴とする請求項１～５のいずれか１項に記載の撮像ユニット。
  7. 　前記枠体の前記後端側部位に係止爪が形成されているとともに、前記カバーガラスの前記前方部位の前記外周面に前記係止爪が係止される係止溝が形成されており、
    　前記係止爪が前記係止溝に係止されていることにより、前記嵌合部に対して前記枠体の前記後端側部位は、非接着にて固定されていることを特徴とする請求項２に記載の撮像ユニット。
  8. 　前記枠体は、前記後端側部位の前記光軸方向前方に前記カバーガラスの前記撮像光学系に対向する前面に当接するクランク状部位を有しており、
    　前記クランク状部位が前記カバーガラスの前記前面に当接した状態において前記嵌合部に前記枠体の前記後端側部位が嵌合されることにより、前記光軸方向及び前記径方向において、前記撮像素子に対して前記撮像光学系が位置決めされることを特徴とする請求項１～７のいずれか１項に記載の撮像ユニット。
  9. 　請求項１～８のいずれか１項に記載の撮像ユニットが、内部に設けられていることを特徴とする撮像ユニットを具備する内視鏡先端部。
PCT/JP2011/069081 2010-09-10 2011-08-24 撮像ユニット、該撮像ユニットを具備する内視鏡先端部 WO2012032934A1 (ja)

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