WO2012017644A1 - 光部品 - Google Patents

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optical
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石井　元速
山田　貴
土居　芳行
才田　隆志
都築　健
郷　隆司
山崎　裕史
美野　真司
高雄 福満
敦志 村澤
文博 海老澤
博 照井
智世 柴崎
祐一 菊地
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日本電信電話株式会社
Ｎｔｔエレクトロニクス株式会社
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    • G02B2006/12035—Materials
    • G02B2006/1204—Lithium niobate (LiNbO3)

Definitions

  • the present invention relates to an optical component, and more particularly to an optical component including a waveguide type optical element.
  • a waveguide type optical device can realize various lightwave circuits by forming an optical waveguide on a substrate, and is used as a component of an optical module.
  • a hybrid optical module in which waveguide optical elements having different functions are integrated has been realized.
  • Specific examples of the optical module include an RZ-DQPSK (Return to Zero Differential Quadrature Phase Shift Keying) module.
  • the RZ-DQPSK module uses, for example, a PLC (Planar Lightwave Circuit) waveguide in which an optical waveguide is formed of silica glass on a Si substrate or a quartz substrate, and titanium (Ti) diffusion on an LN (lithium niobate) substrate.
  • the LN waveguide having the waveguide is butt-connected so as to be optically coupled, and the LN waveguide is fixed to the mount (see FIGS. 1A and 1B).
  • the mount plays a role of a package that houses a PLC waveguide, an LN waveguide, and a fiber alignment member.
  • the optical fiber is aligned with the fiber alignment member and butt-connected to optically couple with the PLC waveguide.
  • the connecting portion between the fiber alignment member and the PLC waveguide and the connecting portion between the PLC waveguide and the LN waveguide are fixed by an adhesive.
  • the optical fiber is fixed to the mount with solder or the like where it passes through the mount. In such a structure, when the temperature around the optical module fluctuates, heat is generated due to the difference in thermal expansion of each material at the connection portion between the fiber alignment member and the PLC waveguide and between the PLC waveguide and the LN waveguide. Distortion occurs and the adhesive is easily peeled off.
  • a difference in thermal expansion occurs between the PLC waveguide and the LN waveguide and the mount, and tensile stress is applied to the optical fiber.
  • the tensile stress increases, the optical fiber breaks.
  • the material of the mount (package) is made of stainless steel, for example, SUS303, and the difference in thermal expansion coefficient from LN is reduced, there is a large difference in thermal expansion coefficient between the PLC, optical fiber, etc. and the package material.
  • Table 1 shows values of thermal expansion coefficients.
  • a soft adhesive is used for the connection portion between the fiber alignment member and the PLC waveguide and the connection portion between the PLC waveguide and the LN waveguide in order to reduce thermal stress. Prevents peeling.
  • FIG. 1B a method is employed in which the thermal stress applied to the optical fiber is relaxed by buckling the optical fiber.
  • connection portion between the PLC waveguide and the fiber alignment member has a structure in which the end face is inclined to prevent reflection. Therefore, a buckling stress of the fiber is generated, and a component parallel to the connection surface between the PLC waveguide using the soft adhesive and the fiber alignment member is generated, and an optical axis shift (optical axis shift) occurs. ) (See FIG. 2).
  • P b is a buckling stress applied from the fiber to the fiber alignment member, and is expressed by Expression (1).
  • L is the fiber length
  • E is the Young's modulus
  • I is the cross-sectional secondary moment (a quantity representing the difficulty of deformation of the object with respect to the bending moment)
  • d is the diameter
  • the RZ-DQPSK module in which the PLC-LN chip composed of the PLC waveguide and the LN waveguide is attached to the mount has been described as an example, but a plurality of waveguide type optical elements having different thermal expansion coefficients are butt-connected. The same problem occurs with respect to the optical element chip.
  • the present invention has been made in view of such problems, and the object thereof is to fix an optical element chip and an optical fiber in which a plurality of waveguide-type optical elements having different thermal expansion coefficients are butt-connected to a mount. In an optical component, it is in suppressing the fall of the reliability by a thermal stress.
  • a first waveguide type optical element is butt-connected so as to be optically coupled to one end of the first waveguide type optical element.
  • An optical element having a second waveguide type optical element having a thermal expansion coefficient different from that of the first waveguide type optical element, and a fiber alignment member butt-connected so as to be optically coupled to the second waveguide type optical element An optical component comprising a chip, a mount to which the optical element chip is attached, and an optical fiber aligned with the fiber alignment member and fixed in a buckled state, wherein the second waveguide type light
  • the connection surface between the element and the fiber alignment member is an oblique structure
  • the connection surface between the first waveguide type optical element and the second waveguide type optical element is a right angle structure, which is used for the connection surface of the oblique structure.
  • the Young's modulus of the adhesive is higher than the Young's modulus of the adhesive to be used, suppresses the optical axis shift in the connection surface of the oblique structure due to the buckling stress of the optical fiber, and the connection surface of the right-angle structure
  • the adhesive used in the step suppresses peeling of the adhesive surface between the first waveguide type optical element and the second waveguide type optical element due to thermal strain.
  • the Young's modulus of the adhesive used for the connection surface of the oblique structure is 1 ⁇ 10 7 Pa or more, and the adhesive used for the connection surface of the right-angle structure The Young's modulus is less than 1 ⁇ 10 7 Pa.
  • a difference in thermal expansion coefficient between the second waveguide type optical element and the fiber alignment member is the first waveguide type light. It is smaller than the difference in thermal expansion coefficient between the element and the second waveguide type optical element.
  • the substrate of the first waveguide optical element is lithium niobate, indium phosphide, or KTN, and the second waveguide
  • the substrate of the mold optical element is characterized by being quartz or silicon.
  • connection surface is an oblique structure
  • connection surface between waveguide optical elements is a right angle structure
  • Young's modulus of the adhesive used for the connection surface of the oblique structure is higher than the Young's modulus of the adhesive used for the connection surface of the right angle structure.
  • FIG. 1A is a top view of a conventional optical component.
  • FIG. 1B is a cross-sectional view of the conventional optical component taken along line IB-IB.
  • FIG. 2 is a diagram for explaining the buckling load of the optical fiber.
  • FIG. 3 is a diagram illustrating an optical component according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a diagram for explaining the angle of the optical waveguide at the connection surface between the LN waveguide and the PLC waveguide.
  • FIG. 3 shows an optical component according to an embodiment of the present invention.
  • the optical component 300 has many parts similar to those of the optical component 100 of FIG. 1, but the connection surface between the PLC waveguide and the LN waveguide and the connection surface between the PLC waveguide and the fiber alignment member are different.
  • the optical component 300 includes an LN waveguide 311 (corresponding to a “first waveguide type optical element”) and a first PLC waveguide 312 (“first” waveguide connected to one end of the LN waveguide 311 so as to be optically coupled. 2), the second PLC waveguide 313 butt-connected so as to be optically coupled to the other end of the LN waveguide 311 and the first PLC waveguide 312 so as to be optically coupled.
  • the optical element chip 310 having the fiber alignment member 314 butt-connected to the optical element chip 310, the mount 320 to which the optical element chip 310 is attached, and the optical fiber 330 aligned with the fiber alignment member 314.
  • the LN waveguide 311 is fixed to the mount 320, but the first and second PLC waveguides 312 and 313 and the fiber alignment member 314 may be fixed.
  • buckling load Pb is generated by buckling of the optical fiber 330, and the direction parallel to the connection surface between the first PLC waveguide 312 and the fiber alignment member 314, that is, the optical component 300 receives light.
  • the optical axis deviation is suppressed by connecting with an adhesive having a high Young's modulus E (for example, 1 ⁇ 10 7 Pa or more).
  • the fiber alignment member 314 is preferably made of a material that matches the thermal expansion coefficient of the first PLC waveguide 312 so that there is no difference in thermal expansion coefficient between both sides of the connection surface.
  • Pyrex (registered trademark) glass may be used for the fiber alignment member 314.
  • connection surface between the LN waveguide 311 and the first and second PLC waveguides 312 and 313 has a right-angle structure perpendicular to the optical axis direction. Since the connection surface between the first PLC waveguide 312 and the fiber alignment member 314 has a tilted structure, a weighting component parallel to the connection surface is generated. Disappear. In this case, it is preferable to connect with an adhesive (for example, less than 1 ⁇ 10 7 Pa) having a Young's modulus E lower than the connection surface between the first PLC waveguide 312 and the fiber alignment member 314.
  • an adhesive for example, less than 1 ⁇ 10 7 Pa
  • the thermal expansion coefficients of the LN waveguide 311 and the first and second PLC waveguides 312 and 313 are different, if an adhesive having a high Young's modulus E is used, the adhesive surface may peel off due to thermal strain. is there. In other words, when a difference in thermal expansion coefficient exists between both sides of the connection surface, it is preferable to use an adhesive having a lower Young's modulus as the difference increases.
  • connection surface between the PLC waveguide and the LN waveguide may be inclined.
  • the LN waveguide 311 and the optical waveguides of the first and second PLC waveguides 312, 313 may be designed so as to have a predetermined angle at the end face. Focusing on the interface between the first PLC waveguide 312 and the LN waveguide 311 will be described with reference to FIG. (1) First, the first angle ⁇ 1 is determined so that the Fresnel reflection R represented by the equation (2) is not coupled to the optical waveguide of the first PLC waveguide 312 as return light.
  • the first angle ⁇ 1 is an angle of the optical waveguide included in the first PLC waveguide 312 with respect to the normal of the connection surface, and is generally 4 degrees to 12 degrees.
  • n1 and n2 are the refractive indexes of the first PLC waveguide 312 and the LN waveguide 311 respectively.
  • quartz or silicon can be used as the substrate of the first and second PLC waveguides 312 and 313.
  • a waveguide type optical element formed on an indium phosphorus substrate or a KTN substrate may be used.

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Abstract

　異なる熱膨張係数の複数の導波路型光素子を突き合わせ接続した光素子チップをマウントに固定した光部品において、熱応力による信頼性低下を抑制する。光部品（３００）は、ＬＮ導波路（３１１）、ＬＮ導波路（３１１）の一端に接続された第１のＰＬＣ導波路（３１２）、ＬＮ導波路（３１１）の他端に接続された第２のＰＬＣ導波路（３１３）及び第１のＰＬＣ導波路（３１２）に接続されたファイバ整列部材（３１４）を有する光素子チップ（３１０）と、光素子チップ（３１０）が取り付けられたマウント（３２０）と、ファイバ整列部材（３１４）に整列された光ファイバ（３３０）とを備える。第１のＰＬＣ導波路（３１２）とファイバ整列部材（３１４）との接続面を斜め構造とし、ＬＮ導波路（３１１）と第１及び第２のＰＬＣ導波路（３１２、３１３）との接続面を直角な直角構造とする。直角構造では、斜め構造の接続面よりもヤング率の低い接着剤で接続する。

Description

光部品
　本発明は、光部品（ｏｐｔｉｃａｌ　ｃｏｍｐｏｎｅｎｔ）に関し、より詳細には、導波路型光素子を備える光部品に関する。
　光通信システムの高度化に伴い、高機能な光モジュール（光部品）の需要が高まっている。導波路型光素子（ｗａｖｅｇｕｉｄｅ　ｔｙｐｅ　ｏｐｔｉｃａｌ　ｄｅｖｉｃｅ）は、基板上に光導波路を形成することによって様々な光波回路を実現することができ、光モジュールの構成部品として用いられている。光モジュールの更なる高機能化のために、異なる機能を有する導波路型光素子を集積化したハイブリッド光モジュールが実現されている。具体的な光モジュールの例としては、ＲＺ－ＤＱＰＳＫ（Ｒｅｔｕｒｎ　ｔｏ　Ｚｅｒｏ　Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ　Ｑｕａｄｒａｔｕｒｅ　Ｐｈａｓｅ　Ｓｈｉｆｔ　Ｋｅｙｉｎｇ）モジュール等が挙げられる。
　ＲＺ－ＤＱＰＳＫモジュールは、たとえば、Ｓｉ基板または石英基板上に石英系ガラスで光導波路を形成したＰＬＣ（Ｐｌａｎａｒ　Ｌｉｇｈｔｗａｖｅ　Ｃｉｒｃｕｉｔ）導波路とＬＮ（ニオブ酸リチウム）基板にチタン（Ｔｉ）拡散を用いて光導波路を形成したＬＮ導波路とが光結合するように突き合わせ接続（ｂｕｔｔ　ｊｏｉｎｔ）され、ＬＮ導波路がマウントに固定された構造を有する（図１Ａ及び１Ｂ参照）。図１Ａ及び１Ｂ（非特許文献１の図６に対応）ではマウントがＰＬＣ導波路、ＬＮ導波路、ファイバ整列部材を収納するパッケージの役割を果たしている。光ファイバはファイバ整列部材に整列され、ＰＬＣ導波路と光結合するように突き合わせ接続されている。ファイバ整列部材とＰＬＣ導波路との接続部、及びＰＬＣ導波路とＬＮ導波路との接続部は接着剤によって固定されている。また、光ファイバはマウントを貫通するところでマウントに半田などで固定されている。こうした構造において、光モジュールの周囲の温度が変動すると、ファイバ整列部材とＰＬＣ導波路との接続部、及びＰＬＣ導波路とＬＮ導波路との接続部において、それぞれの材料の熱膨張の差によって熱歪みが発生し、接着剤の剥離が発生しやすくなる。更に、ＰＬＣ導波路およびＬＮ導波路とマウントとの間の熱膨張の差が発生し、光ファイバに対して引っ張り応力がかかる。引っ張り応力が大きくなると光ファイバの破断が生じてしまう。マウント（パッケージ）の材料をステンレス、例えばＳＵＳ３０３としてＬＮとの熱膨張係数の差を小さくしても、ＰＬＣや光ファイバ等とパッケージ材料との間に大きな熱膨張係数の差が存在する。表１に熱膨張係数の値を示す。このような問題に対処するため、ファイバ整列部材とＰＬＣ導波路との接続部、及びＰＬＣ導波路とＬＮ導波路との接続部には、熱応力を緩和するために柔らかい接着剤を使用して剥離を防止している。また、図１Ｂに示されるように、光ファイバを座屈させて光ファイバに加わる熱応力を緩和する方法が採られている。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
山田貴、石井元速、「ＰＬＣ－ＬＮ接続を用いた高速変調モジュール」、電子情報通信学会技術研究報告、2005年5月20日、Vol. 105、No. 71、pp. 1-6、OPE2005-8
　しかしながら、上記の構造には依然として問題がある。一般にＰＬＣ導波路とファイバ整列部材との接続部は端面を斜めにして反射を防止する構造を取られる。そのため、ファイバの座屈応力（ｂｕｃｋｌｉｎｇ　ｓｔｒｅｓｓ）が発生し、柔らかい接着剤を使用しているＰＬＣ導波路とファイバ整列部材との接続面に平行な成分が生じてしまい、光軸ずれ（ｏｐｔｉｃａｌ　ａｘｉｓ　ｓｈｉｆｔ）の原因となっている（図２参照）。特に、図２において、Ｐbがファイバからファイバ整列部材に対してかかる座屈応力であり、式（１）で表される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
ここで、Ｌはファイバ長さ、Ｅはヤング率、Ｉは断面二次モーメント（曲げモーメントに対する物体の変形のしにくさを表した量）、ｄは直径である。
　以上ではＰＬＣ導波路およびＬＮ導波路で構成されたＰＬＣ－ＬＮチップがマウントに取り付けられたＲＺ－ＤＱＰＳＫモジュールを例に説明したが、異なる熱膨張係数を有する複数の導波路型光素子を突き合わせ接続した光素子チップに関しても同様の問題が生じる。
　本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、異なる熱膨張係数を有する複数の導波路型光素子を突き合わせ接続した光素子チップと光ファイバをマウントに固定した光部品において、熱応力による信頼性の低下を抑制することにある。
　このような目的を達成するために、本発明の第１の態様は、第１の導波路型光素子、前記第１の導波路型光素子の一端に光結合するように突き合わせ接続された、第１の導波路型光素子と熱膨張係数の異なる第２の導波路型光素子、及び前記第２の導波路型光素子に光結合するように突き合わせ接続されたファイバ整列部材を有する光素子チップと、前記光素子チップが取り付けられたマウントと、前記ファイバ整列部材に整列され、座屈された状態で固定された光ファイバとを備える光部品であって、前記第２の導波路型光素子と前記ファイバ整列部材との接続面を斜め構造、前記第１の導波路型光素子と前記第２の導波路型光素子との接続面を直角構造とし、前記斜め構造の接続面に用いる接着剤のヤング率は、前記直角構造の接続面に用いる接着剤のヤング率よりも高く、前記斜め構造の接続面に用いる接着剤は、前記光ファイバの座屈応力による前記斜め構造の接続面における光軸ずれを抑制し、前記直角構造の接続面に用いる接着剤は、熱歪みによる前記第１の導波路型光素子と前記第２の導波路型光素子との接着面の剥離を抑制することを特徴とする。
　また、本発明の第２の態様は、第１の態様において、前記斜め構造の接続面に用いる接着剤のヤング率は１×１０7Ｐａ以上であり、前記直角構造の接続面に用いる接着剤のヤング率は１×１０7Ｐａ未満であることを特徴とする。
　また、本発明の第３の態様は、第２の態様において、前記第２の導波路型光素子と前記ファイバ整列部材との間の熱膨張係数の差が、前記第１の導波路型光素子と前記第２の導波路型光素子との間の熱膨張係数の差よりも小さいことを特徴とする。
　また、本発明の第４の態様は、第２又は第３の態様において、前記第１の導波路型光素子の基板が、ニオブ酸リチウム、インジウムリン又はＫＴＮであり、前記第２の導波路型光素子の基板が、石英またはシリコンであることを特徴とする。
　本発明によれば、複数の導波路型光素子と、ファイバ整列部材を用いて座屈された状態で固定された光ファイバとを備える光部品において、導波路型光素子とファイバ整列部材との接続面を斜め構造、導波路型光素子同士の接続面を直角構造とし、斜め構造の接続面に用いる接着剤のヤング率を、直角構造の接続面に用いる接着剤のヤング率よりも高くすることにより、熱応力による信頼性の低下を抑制することができる。
図１Ａは、従来の光部品の上面図である。 図１Ｂは、従来の光部品のＩＢ－ＩＢ線に沿った断面図である。 図２は、光ファイバの座屈加重を説明するための図である。 図３は、本発明の実施形態による光部品を示す図である。 図４は、ＬＮ導波路とＰＬＣ導波路との接続面における光導波路の角度を説明するための図である。
　以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。
　図３に、本発明の実施形態に係る光部品を示す。光部品３００は、図１の光部品１００と同様の部分も多いが、ＰＬＣ導波路とＬＮ導波路との接続面、及びＰＬＣ導波路とファイバ整列部材との接続面が異なる。光部品３００は、ＬＮ導波路３１１（「第１の導波路型光素子」に対応）、ＬＮ導波路３１１の一端に光結合するように突き合わせ接続された第１のＰＬＣ導波路３１２（「第２の導波路型光素子」に対応）、ＬＮ導波路３１１の他端に光結合するように突き合わせ接続された第２のＰＬＣ導波路３１３、及び第１のＰＬＣ導波路３１２に光結合するように突き合わせ接続されたファイバ整列部材３１４を有する光素子チップ３１０と、光素子チップ３１０が取り付けられたマウント３２０と、ファイバ整列部材３１４に整列された光ファイバ３３０とを備える。図３では、ＬＮ導波路３１１がマウント３２０に固定されているが、第１、第２のＰＬＣ導波路３１２、３１３やファイバ整列部材３１４を固定してもよい。
　図１Ｂの場合と同様に、光ファイバ３３０の座屈により座屈加重Ｐｂが発生し、第１のＰＬＣ導波路３１２とファイバ整列部材３１４との接続面に平行な方向、すなわち光部品３００に光軸ずれを生じさせる方向の加重成分が存在する。本実施形態の光部品３００では、ヤング率Ｅの高い接着剤(例えば、１×１０7Ｐａ以上）で接続することにより、光軸ずれを抑制している。ファイバ整列部材３１４は、第１のＰＬＣ導波路３１２の熱膨張係数に合わせた材料を選び、両者の接続面の両側で熱膨張係数の差が存在しないようにするのが好ましい。たとえば、第１のＰＬＣ導波路３１２の基板がＳｉの場合、ファイバ整列部材３１４にパイレックス（登録商標）ガラスを使用すればよい。
　また、ＬＮ導波路３１１と第１及び第２のＰＬＣ導波路３１２、３１３との接続面では、接続面を光軸方向に対して直角な直角構造（ｒｉｇｈｔ－ａｎｇｌｅｄ　ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ）とする。第１のＰＬＣ導波路３１２とファイバ整列部材３１４との接続面は斜め構造（ｔｉｌｔｅｄ　ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ）であるため、接続面に平行な加重成分が生じたが、直角構造とすることにより、当該加重成分がなくなる。この場合、第１のＰＬＣ導波路３１２とファイバ整列部材３１４との接続面よりもヤング率Ｅの低い接着剤（例えば、１×１０7Ｐａ未満）で接続するのが好ましい。ＬＮ導波路３１１と第１及び第２のＰＬＣ導波路３１２、３１３の熱膨張係数が異なるため、ヤング率Ｅの高い接着剤を使用すると、熱歪みによって接着面が剥離する可能性があるためである。言い換えると、熱膨張係数の差が接続面の両側で存在するとき、その差が大きくなるにつれてヤング率の低い接着剤を用いるのが好ましい。
　一般的に、反射防止のために、ＰＬＣ導波路とＬＮ導波路との接続面を斜めにする場合もあるが、接続面を本発明のように直角構造としても反射防止が可能である。ＬＮ導波路３１１と第１及び第２のＰＬＣ導波路３１２、３１３の光導波路が、当該端面において所定の角度を有するように設計すればよい。第１のＰＬＣ導波路３１２とＬＮ導波路３１１との界面に着目し、図４を参照して説明する。（１）まず、式（２）で表されるフレネルの反射Ｒが、戻り光として第１のＰＬＣ導波路３１２の光導波路に結合しないように第１の角度θ１を決める。第１の角度θ１は、第１のＰＬＣ導波路３１２が有する光導波路の、接続面の法線に対する角度であり、一般には、４度から１２度である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000002
（２）次に、第１のＰＬＣ導波路３１２とＬＮ導波路３１１の屈折率が異なる場合は、式（３）で表されるスネルの法則を満足するように第２の角度θ２を決める。ここで、ｎ１及びｎ２は、それぞれ第１のＰＬＣ導波路３１２及びＬＮ導波路３１１の屈折率である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000003
以上の手順で光導波路の角度θ１、θ２を決めることによって、端面が直角であっても反射を防止することができる。
　なお、第１及び第２のＰＬＣ導波路３１２、３１３の基板としては、石英またはシリコンを用いることができる。また、ＬＮ導波路３１１の代わりに、インジュウムリン基板またはＫＴＮ基板上に形成された導波路型光素子を用いてもよい。

Claims (4)

  1. 　第１の導波路型光素子、前記第１の導波路型光素子の一端に光結合するように突き合わせ接続された、前記第１の導波路型光素子と熱膨張係数の異なる第２の導波路型光素子、及び前記第２の導波路型光素子に光結合するように突き合わせ接続されたファイバ整列部材を有する光素子チップと、
    　前記光素子チップが取り付けられたマウントと、
    　前記ファイバ整列部材に整列され、座屈された状態で固定された光ファイバと
    を備える光部品であって、
    　前記第２の導波路型光素子と前記ファイバ整列部材との接続面を斜め構造、前記第１の導波路型光素子と前記第２の導波路型光素子との接続面を直角構造とし、
    　前記斜め構造の接続面に用いる接着剤のヤング率は、前記直角構造の接続面に用いる接着剤のヤング率よりも高く、
    　前記斜め構造の接続面に用いる接着剤は、前記光ファイバの座屈応力による前記斜め構造の接続面における光軸ずれを抑制し、
    　前記直角構造の接続面に用いる接着剤は、熱歪みによる前記第１の導波路型光素子と前記第２の導波路型光素子との接着面の剥離を抑制することを特徴とする光部品。
  2. 　前記斜め構造の接続面に用いる接着剤のヤング率は、１×１０7Ｐａ以上であり、
    　前記直角構造の接続面に用いる接着剤のヤング率は、１×１０7Ｐａ未満であることを特徴とする請求項１に記載の光部品。
  3. 　前記第２の導波路型光素子と前記ファイバ整列部材との間の熱膨張係数の差が、前記第１の導波路型光素子と前記第２の導波路型光素子との間の熱膨張係数の差よりも小さいことを特徴とする請求項２に記載の光部品。
  4. 　前記第１の導波路型光素子の基板が、ニオブ酸リチウム、インジウムリン又はＫＴＮであり、
    　前記第２の導波路型光素子の基板が、石英またはシリコンであることを特徴とする請求項２又は３に記載の光部品。
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