JP2015190991A - 光モジュール及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】光路上の異物の付着等を抑制でき、省スペースで光伝送路ケーブルを搭載でき、使用できる光信号の波長帯域が広く、低損失な光モジュールを提供する。【解決手段】コアパターンと、コアパターンを覆うクラッド層と、コアパターンの光軸上に形成された光路変換ミラー３０６と、コアパターンの光路変換ミラー３０６側と反対側に位置する受光及び／又は発光素子接続用端面３０７と、アライナーＡとを有するミラー付き光導波路部３と、光伝送路１の少なくとも一方の端を保持し、かつ、アライナーＡと位置合わせするためのアライナーＢを有する光伝送路コネクタ部２と、を有し、ミラー付き光導波路部３と光伝送路コネクタ部２とが、光伝送路１の光軸とコアパターンの光軸とが光路変換ミラー３０６を介して、折れ曲がって光学的に結合するように、アライナーＡ及びアライナーＢとで位置合わせされて接合された構造を有する光モジュール。【選択図】図１

Description

本発明は光モジュール及びその製造方法に関する。

一般的に光ファイバは、多量の情報の高速通信が可能であることから、家庭用、産業用の情報通信に広く利用されている。また、例えば自動車には、各種電装品（例えば、カーナビゲーションシステム等）が装備されているが、それらの電装品の光通信にも採用されている。また、光ファイバの端部に、光電変換部を設け、外部との信号の接続を電気的に行う光モジュール（例えばＡＯＣ；Ａｃｔｉｖｅ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｃａｂｌｅ、ＨＤＭＩ；Ｈｉｇｈ−Ｄｅｆｉｎｉｔｉｏｎｍｕｌｔｉｍｅｄｉａ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ、ＵＳＢ；Ｕｎｉｖｅｒｓａｌ Ｓｅｒｉａｌ Ｂｕｓ 等）がある。このような光電変換部の構造としては、特許文献１及び特許文献２に開示されているように、受光素子及び／又は発光素子が電気的に電気配線板に接続され、該受光素子及び／又は発光素子が光学的に光ファイバと接続されている構造がある。

特許文献１では、電気配線板の一方の面に受発光素子が電気的に接続され、受発光素子の受発光面は、該電気配線板と反対の面に配置されて、それら上方に具備されたレンズ及び光路変換ミラーを介して光ファイバと光学的に接続している。

特許文献２では、電気配線の一方の面に受発光素子が電気的に接続され、受発光素子の受発光面は、該電気配線板側に配置され、光信号は、電気配線板に設けられた開口部を通してその上方に設けられたレンズ及び光路変換ミラーを介して光ファイバと光学的に接続している。

特開２０１０−１２２３１１号公報 特開２０１１−１４１４７８号公報

しかしながら、特許文献１では、受発光面とレンズとに光信号をコリメート又は集光するためのギャップが必要となり、光ファイバ端部と、光路変換ミラーとの間のレンズとの間にも上記と同様の理由でギャップを設ける必要があるため、それらの光路上に異物等が付着すると光損失の悪化が懸念された。また、レンズ及び光路変換ミラーからなる部材は、光ファイバと反対方向に筐体が張り出し、電気配線板の少なくとも一部を覆うこととなっており、光学素子を駆動するためのドライバＩＣやそれらの放熱部材を取り付けるスペースが確保しにくい問題があった。さらに、レンズ及び光路変換ミラーからなる部材中を伝搬する光路が長いため、使用できる光信号波長に制限がある場合もあった。また、レンズ及び光ファイバの端面が空気層との境界となるためフレネル反射による光損失も発生していた。特許文献２に記載の態様の場合も、上記と同様に光路上の異物等による光損失の悪化の懸念や、使用できる光信号波長の制限、フレネル反射による光損失の悪化が懸念された。
本発明は、上記問題の解決を鑑みたものであり、光路上の異物の付着等を抑制でき、省スペースで光ファイバ（光伝送路）ケーブルを搭載でき、光信号の波長帯域が広く、低損失な光モジュールを提供することを目的とする。

本発明者らは上記の課題を解決するために鋭意研究した結果、特定の構造を有するミラー付き光導波路部と、特定の構造を有する光伝送路コネクタ部と、光伝送路ケーブルとを有し、前記光伝送路ケーブルと前記光導波路部とが、前記ミラーを介して略９０°に光学的に結合する、特定の構造を有する光モジュールとすることで、上記課題を解決し得ることを見出し、完成したものである。

すなわち、本発明は次の各項に関する。
（１）コアパターンと、前記コアパターンを覆うクラッド層と、前記コアパターンの光軸上に形成された光路変換ミラーと、前記コアパターンの前記光路変換ミラー側と反対側に位置する受光及び／又は発光素子接続用端面と、アライナーＡとを有するミラー付き光導波路部と、
光伝送路の少なくとも一方の端を保持し、かつ、前記アライナーＡと位置合わせするためのアライナーＢを有する光伝送路コネクタ部と、を有し、
前記ミラー付き光導波路部と前記光伝送路コネクタ部とが、前記光伝送路の光軸と前記コアパターンの光軸とが前記光路変換ミラーを介して折れ曲がって光学的に結合するように、前記アライナーＡ及び前記アライナーＢとで位置合わせされて接合された構造を有する光モジュール。

（２）前記ミラー付き光導波路部の前記光伝送路コネクタ部との接合面と反対の面に、前記ミラー付き光導波路部を固定する押さえ治具部をさらに有する（１）に記載の光モジュール。
（３）前記ミラー付き光導波路部の、受光及び／又は発光素子接続用端面が、隣接する光伝送コネクタ部部の面と同一平面か突出した構造である（１）又は（２）に記載の光モジュール。
（４）前記ミラー付き光導波路部のコアパターンの断面積が、前記光路変換ミラー側から受光及び／又は発光素子接続用端面側への方向に、拡大又は縮小する（１）〜（３）のいずれかに記載の光モジュール。

（５）前記ミラー付き光導波路部において、前記光伝送路コネクタ部との光路変換ミラー直下の接地面が、光伝送路の光軸垂直方向に対して傾斜している（１）〜（４）のいずれかに記載の光モジュール。
（６）前記ミラー付き光導波路部において、コアパターンが湾曲している（１）〜（５）のいずれかに記載の光モジュール。
（７）前記ミラー付き光導波路部において、光路変換ミラーの近傍のコアパターンの位置が、受光及び又は発光素子接続用端面のコアパターンの位置よりも光伝送路コネクタ側にある（１）〜（６）のいずれかに記載の光モジュール。

（８）前記ミラー付き光導波路部がフィルム状である（１）〜（７）のいずれかに記載の光モジュール。
（９）前記ミラー付き光導波路部において、前記受光及び／又は発光素子側の端面の厚みが、６５μｍ以上５００μｍ以下である（１）〜（８）のいずれかに記載の光モジュール。
（１０）前記ミラー付き光導波路部において、コアパターンは、その光軸方向に対して垂直方向でかつ光伝送路の光軸方向に対しても略垂直方向の幅が、前記光路変換ミラー部分の幅よりも前記受光及び／又は発光素子側の端面の幅が小さい（１）〜（９）のいずれかに記載の光モジュール。

（１１）前記光路変換ミラーがコアパターンの光軸上に形成された傾斜面であって、隣接するコアパターンの傾斜面とは不連続である（１）〜（１０）のいずれかに記載の光モジュール。
（１２）前記ミラー付き光導波路部が、基板と、その一方の面上に形成されたクラッド層及びコアパターンと、他方の面上に形成され、前記クラッド層又はコアパターンと同一屈折率の樹脂層と、を有するものである（１）〜（１１）のいずれかに記載の光モジュール。
（１３）前記ミラー付き光導波路部と前記光伝送路コネクタ部とは、前記光路変換ミラーの位置において前記コネクタ部の前記光伝送路の端面と接触するものである（１）〜（１２）のいずれかに記載の光モジュール。

（１４）前記光コネクタ部における光伝送路の先端面が、非研磨面であって、前記光伝送路の先端の凹凸の一部が、前記ミラー付き光導波路部に埋没されてなる（１）〜（１３）のいずれかに記載の光モジュール。
（１５）さらに、受光及び／又は発光素子を有する電気配線板を含み、前記ミラー付き光導波路部における受光及び／又は発光素子接続用端面と、前記受光及び／又は発光素子の受発光面が、光学的に接続するように、前記電気配線板に前記ミラー付き光導波路部及び前記光伝送路コネクタ部が搭載されてなる（１）〜（１４）のいずれかに及び／又は記載の光モジュール。

（１６）前記受光及び／又は発光素子が電気配線板の前記ミラー付き光導波路部側に搭載されてなる（１５）に記載の光モジュール。
（１７）前記受光及び／又は発光素子がワイヤーボンディングで電気配線板に接続されており、前記ミラー付き光導波路部の受光及び／又は発光素子接続用端面が、前記ワイヤーボンディングのワイヤーの最上部よりも前記受光及び／又は発光素子側に位置する（１５）または（１６）に記載の光モジュール。
（１８）前記受光及び／又は発光素子が電気配線板の前記ミラー付き光導波路部側とは反対側に搭載されており、前記受光及び／又は発光素子の受発光面は前記ミラー付き光導波路部側にある（１５）に記載の光モジュール。

（１９）前記電気配線板が開口部を有し、前記開口部内に前記ミラー付き光導波路部の受光及び／又は発光素子接続用端面が配置されてなる（１５）〜（１８）のいずれかに記載の光モジュール。
（２０）前記光伝送路コネクタ部及び／又は前記押さえ治具部がアライナーＣをさらに有し、前記電気配線板がアライナーＤをさらに有し、前記アライナーＣ及び前記アライナーＤとで位置合わせされて接合されてなる（１５）〜（１９）のいずれかに記載の光モジュール。
（２１）前記ミラー付き光導波路部が前記光路変換ミラーと位置の相関が確保された傾斜面からなるアライナーＥをさらに有し、前記押さえ治具部がアライナーＦを有し、前記ミラー付き光導波路部と前記押さえ治具部とがアライナーＥと前記アライナーＦとで位置合わせされて接合される（１５）〜（２０）のいずれかに記載の光モジュール。

（２２）前記光モジュールにおける前記ミラー付き光導波路部の受光及び／又は発光素子接続用端面と、電気配線基板における前記受光及び／又は発光素子とが、透明樹脂によって封止されてなる（１５）〜（２１）のいずれかに記載の光モジュール。
（２３）光伝送路を光伝送用コネクタ部に搭載する工程Ａ、
コアパターンと、前記コアパターンを覆うクラッド層と、前記コアパターンの光軸上に形成された光路変換ミラーを有するミラー付き光導波路部と、前記光伝送路コネクタ部とが、前記光伝送路の光軸と前記コアパターンの光軸とが前記光路変換ミラーを介して折れ曲がって光学的に接合する工程Ｂ、
前記工程Ｂの後に、前記光伝送路コネクタ部及び前記ミラー付き光導波路部を、受光及び／又は発光素子を有する電気配線板に接合する工程Ｃを有する光モジュールの製造方法。

（２４）前記工程Ｂが、ミラー付き光導波路部に具備されたアライナーＡと前記光伝送路コネクタ部に具備されたアライナーＢとを位置合わせすることで接合する（２３）に記載の光モジュールの製造方法。
（２５）前記工程Ｂと工程Ｃの間に、前記ミラー付き光導波路部の前記光伝送路コネクタ部との接合面と反対の面に、前記ミラー付き光導波路部を、押さえ治具部により固定する工程Ｄを有する（２３）又は（２４）に記載の光モジュールの製造方法。
（２６）前記工程Ｃが、光伝送路コネクタ部及び／又は前記押さえ治具部に具備されたアライナーＣと前記電気配線板に具備されたアライナーＤとを位置合わせして接合する（２５）に記載の光モジュールの製造方法。

本発明の光モジュールは、光路上の異物の付着等を抑制でき、省スペースで光ファイバ（光伝送路）ケーブルを搭載でき、使用する光信号の波長帯域が広く、低損失なものである。

本発明の第１の実施の態様の一例を示す光モジュールの断面図である。 本発明の第２の実施の態様の一例を示す光モジュールの断面図である。 本発明の第２の実施の態様の別の一例を示す光モジュールの断面図である。 本発明の光モジュールに用いられるミラー付き光導波路の断面図である。 本発明の光モジュールに用いられるミラー付き光導波路の平面図である。 本発明の光モジュールに用いられる押さえ治具の平面図である。 本発明の第１の実施の態様の一例を示す光モジュールの組み立て途中の斜視図である。 本発明の第２の実施の態様の一例を示す光モジュールの組み立て途中の斜視図である。

本発明の光モジュールは、ミラー付き光導波路部３と、光伝送路コネクタ部２とを有する。
ミラー付き光導波路部３の一例の断面図を図４、平面図を図５に示す。これらの図面に示されるように、ミラー付き光導波路部３は、コアパターン３０３と、前記コアパターン３０３を覆うクラッド層３０２及び３０５と、前記コアパターン３０３の光軸上に形成された光路変換ミラー３０６と、前記コアパターンの前記光路変換ミラー側と反対方向に位置する受光及び／又は発光素子接続端面３０７と、アライナーＡ３０８を有する。
光伝送路コネクタ部２は、前記光伝送路１の少なくとも一方端に具備され、光伝送路１を保持する。また、光伝送路コネクタ部２は、前記アライナーＡ３０８と位置合わせするために、アライナーＢ２０１を有する。光伝送路１は光伝送路コネクタ部２に保持される。前記ミラー付き光導波路部３と前記光伝送路１を保持する光伝送路コネクタ部２とが、前記アライナーＡ３０８及び前記アライナーＢ２０１とで位置合わせされて接合される。前記光伝送路１の光軸と前記コアパターン３０３の光軸とが、前記光路変換ミラー３０６を介して折れ曲がって光学的に結合する。本発明において、前記折れ曲がる角度としては、３０°以上１５０°以下が好ましく、４５°以上１５０°以下がより好ましく、省スペース及び結合損失の観点から８０°以上１５０°以下がさらに好ましく、９０°以上１５０°以下が特に好ましい。これにより、アライナーＡ３０８付きのミラー付き光導波路部３をアライナーＢ２０１付きの光伝送路コネクタ部２に保持された光伝送路１と位置合わせして接合するだけで簡易にミラー付き光導波路部３のコアパターン３０３の光軸と、光伝送路１の光軸とが、ミラー付き光導波路部３に設けられた光路変換ミラー３０６を介して所望の角度にて折れ曲がって光学的に結合出来るため、作業性よく光モジュールの組み立てが可能となる。

また、本発明における光伝送路１とは、光信号を伝搬する機能を有する配線（コア）を備えた光学部材であればよく、光ファイバ、光導波路、シリコンフォトニクス基板等が用いられる。長距離の光伝送が可能で、取り扱い性に優れた光ファイバが最も好適である。
また、アライナーＡとアライナーＢの形状は、互いに位置合わせされて接合できる構造であれば特に制限はなく、例えば図面に示されるような孔同士（３０８と２０１）であってこれらに嵌合できる棒状突起８で接合できるようなものがあるが、その他にも一方のアライナーが突起で他方のアライナーがそれが嵌合できる孔であるなど、特に制限はない。中でも、アライナーＡとアライナーＢとを嵌合手段によって、光伝送路１の光軸上にミラー付き光導波路部３の光路変換ミラー３０６とが位置合わせされると効率良く組み立てられるため最も好ましく、光伝送路１の略光軸方向にミラー付き光導波路部３と光伝送路コネクタ部２とを近接させていき、接合しうるような形状のアライナーＡとアライナーＢであると、ミラー付き光導波路３における光伝送路１の光軸上の接合面を傷つけることなく組み立てが可能であるため良好な光損失が得られるため好ましい。

また、ミラー付き光導波路部３のコアパターン３０３の光軸方向をおおよそ縦方向（光伝送路１の光軸方向を横とした場合）に配置することによって、光伝送路１の端面からその光軸方向に張り出す筐体（ミラー付き光導波路部３に対して光伝送路１側と反対方向の筐体）の大きさを小さくでき、光モジュールのサイズを小さくできる。このため、例えば各種受発光素子５を駆動させるドライバＩＣや、放熱部品等の実装スペースを確保しやすい利点がある。

また、ミラー付き光導波路部３のコアパターン３０３の長さを適宜調節することによって、より短距離で受光及び／又は発光素子５とミラー付き光導波路部の端面（受光及び／又は発光素子接続用端面）３０７間の距離を短くすることができる。このため低損失で受光及び／又は発光素子（以下、受発光素子と省略する）５と光伝送路１との結合が可能となる。さらに製造上の利点としては、コアパターン３０３の光路長が短くできるため該コアパターン３０３の欠損による歩留まりの低下を抑制できる。

また、光伝送路コネクタ部２の厚み（図１及び２においては、ミラー付き光導波路部３のコアパターン３０３の光軸方向と平行方向の厚み）が厚くとも、アライナーＡ３０８及びアライナーＢ２０１で位置合わせされて接合されるため、ミラー付き光導波路部３の端面３０７と受発光素子５との位置ズレは低減され、さらに光伝送路コネクタ部２を低背化するにしたがって、その位置ズレ精度をより低減することができる。

さらに、ミラー付き光導波路部３のコアパターン３０３及び／又はクラッド層をポリマー等の有機材料で形成すると、一般的にポリマーを構成するＣＨ基等の各種伸縮振動及びそれらのオーバートーンやコンビネーションバンドの吸収の影響のため、１．０μｍ〜１．７μｍ帯の透過率が低くなる傾向にあるが、本光モジュールは、ミラー付き光導波路部３の光路長（コアパターン長）を短くできるため上記の波長帯域の透過損失をも低減できる。上記の観点から本発明に用いられる光信号の波長は、紫外光・可視光・赤外光等であればよく、８５０ｎｍ、１０５０ｎｍ、１３１０ｎｍ、１５５０ｎｍ付近等の一般的に通信用に用いられる波長を用いることができる。このときのミラー付き光導波路部３のコアパターン３０３の単位長あたりの材料損失は、１０ｄＢ／ｃｍ以下であればよく、５ｄＢ／ｃｍであるとさらによく、３．５ｄＢ／ｃｍ以下であると特に好ましい。ただし、材料損失が大きい場合には、適宜コアパターン３０３の長さを短く（光伝送路コネクタ部２の厚みも低減させる）し、光の伝搬に支障の無い範囲にすればよい。

本発明の光モジュールには、ミラー付き光導波路部３の光伝送路コネクタ部２との接合面と反対の面に、前記ミラー付き光導波路部３を押さえて固定する押さえ治具部６を有することが好ましい。これにより、ミラー付き光導波路部３の形状や位置を一定に保持することができる。また、押さえ治具部６には、アライナーＢ２０１及びアライナＡ３０８と位置合わせされるアライナーＡ’６０２をさらに有することが好ましく、これにより、光伝送路コネクタ部２と一定の位置を確保して押さえ治具部６を配置できる。
さらには、後述するようにアライナーＥ３０９及びアライナーＦ６０１を利用して光伝送路コネクタ部２とミラー付き光導波路部３とのさらなる高精度な位置合わせを可能とすることができる。この場合、ミラー付き光導波路部３と押さえ治具部６を一体の筐体とみなし、押さえ治具部６一体のミラー付き光導波路部３のアライナーＡ’６０２と光伝送路コネクタ部２のアライナーＢ２０１との位置合わせが行われるとみなすこともできる。

本発明において、ミラー付き光導波路部３の受発光素子接続用端面３０７は、光伝送路コネクタ部２の底面２０５（ミラー付き光導波路部３と接する面と隣接する面のうち前記端面３０７側の面）と同一平面か、又は、光伝送路コネクタ部の底面２０５よりも突出していることが好ましい。ここで、同一平面又は突出しているとは、ミラー付き光導波路部３の「少なくとも一部」が同一平面又は突出していることを表すが、端面の全てが同一平面又は突出していることが好ましい。同一平面であると、ミラー付き光導波路部３に反り等があった場合にも、光伝送路コネクタ部２及び押さえ治具部６でその反りを矯正し、良好にミラー付き光導波路の端面３０７と受発光素子５の受発光面５０１とを位置合わせ出来る。

また、突出していると、後述する第１の実施の態様（図１）のように、ワイヤーボンディング５０２を避けてミラー付き光導波路部３の端面３０７を受発光素子５に近づけられるためより低損失な光モジュールを得ることが可能となる。また、後述する第２の実施の態様（図２、３）のように、電気配線板４に設けられた開口部４０２内にミラー付き光導波路部３の端面３０７を挿入して上記と同様に受発光素子５に近づけられるため低損失な光モジュールを得ることができる。上記の観点からミラー付き光導波路部３の端面３０７は、さらに押さえ治具部６の底面（ミラー付き光導波路部３と接する面と隣接する面のうちミラー付き光導波路部３の端面３０７側の面）と同一平面か押さえ治具部６の底面よりもミラー付き光導波路部３の端面３０７が突出していることが好ましい。

前記第１の実施の態様及び第２の実施の態様における受発光面５０１とミラー付き光導波路部３の端面３０７との距離は、光信号の伝搬に悪影響の出ない範囲であればよいが、できる限り小さいとミラー付き光導波路の端面３０７と受発光素子間の結合損失が低減できるため好ましい。上記の観点からその距離は０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましく、０μｍ以上１５０μｍ以下であるとより結合損失を低減できるのでより好ましく、０μｍ以上１００μｍ以下であるとさらに結合損失を低減できるのでさらに好ましい。

また、本発明に用いられるミラー付き光導波路部３のコアパターン３０３には、その断面積を光路変換ミラー３０６側から受発光素子端面側の方向に拡大又は縮小するスポット径変換機構を有していてもよい。これにより、光伝送路１のコア径と受発光素子の受発光部５０１の径との差や、光伝送路１の広がり角（Ｎ．Ａ．）と受発光素子の広がり角の差がある場合に、コアパターン３０３の拡縮を用いて良好に低損失で結合することが可能となる。

また、本発明の光モジュールでは、ミラー付き光導波路部３において、光伝送路コネクタ部２との光路変換ミラー３０６直下の接地面が、光伝送路１の光軸垂直方向に対して傾斜していてもよい。この状態の一例は図３に示される。具体的には６〜１０°程度傾斜させることによって、光伝送路１端面や光路変換ミラー３０６直下（光伝送路コネクタ部２側）の界面での光信号の反射を低減することができる。また、光路変換ミラー３０６からミラー付き光導波路部３の端面３０７側にかけて、光伝送路１から遠ざかるように傾斜しているとより好ましい。換言すると光路変換ミラー３０６の近傍のコアパターン３０３の位置が、ミラー付き光導波路部の受発光素子接続用端面３０７のコアパターン３０３の位置よりも光伝送路コネクタ部２側であるとよい。これにより、光路変換ミラー３０６の角度を緩やかにすることが可能となり、空気とコアパターン３０３との屈折率差を利用した空気反射型光路変換ミラー３０６の場合に、光路変換に伴う光損失の悪化を抑制できる。また、光伝送路コネクタ部２のミラー付き光導波路部３側の一部に傾斜面２０３を有し、該傾斜面２０３内に光伝送路１の端面（光伝送路１のクラッド及びコア部）を有しているとさらによい。この傾斜面２０３は、光伝送路１の端面と光伝送路コネクタ部２の一部を同時に研磨することによって形成できる。これにより、光伝送路１を光伝送路コネクタ部２に搭載した後に光伝送路１端面を平滑研磨する場合でも、該傾斜面２０３のみを研磨することができ、光伝送路コネクタ部２の一部（ミラー付き光導波路部３との接面の一部）は研磨せずに平面を保つことができる（非研磨面を有することができる）。該非研磨面をミラー付き光導波路部３の端面３０７側との接面とすることによって、ミラー付き光導波路部３の端面３０７と、アライナーＣ２０１との位置の相関を保つことが可能となる。

つまり、このときミラー付き光導波路部３は、光路変換ミラー３０６近傍は傾斜面２０３（研磨面）でミラー付き光導波路の端面３０７側は非研磨面となるように、コアパターン３０３が湾曲して固定されているとよい。
なお、光伝送路コネクタ部２の形状を傾斜面２０３と垂直面２０４を有する形状とする場合、ミラー付き光導波路部３の折れや曲げ半径の小さい曲げが発生し、光損失の悪化とならないように、適宜それらの接続点を面取りし、緩やかな曲率の湾曲として設けるとよい。

本発明において、ミラー付き光導波路部３はフィルム状の光導波路であることが好ましい。
また、ミラー付き光導波路部３の受発光素子側の端面の厚みは、６５μｍ以上５００μｍ以下であることが好ましい。これにより、第１の実施の態様の場合は、受発光素子に接続されるワイヤー５０２に干渉しにくく、さらに反り等の変形による受発光素子とミラー付き光導波路の端面３０７との位置ズレによる結合損失の悪化を抑制できる。また、第２の実施の態様の場合は、電気配線板４の開口部４０２が小さくてすむため、電気配線板４のねじれや反り等を抑制することができ、受発光素子とミラー付き光導波路の端面３０７との位置ズレによる結合損失の悪化を抑制できる。

また、本発明において、ミラー付き光導波路部３におけるコアパターン３０３は、その光軸方向に対して垂直方向でかつ光伝送路１の光軸方向に対しても垂直方向の幅が、光路変換ミラー３０６部分の幅よりも受発光素子側の端面３０７側の幅が小さくてもよい。これにより、第２の実施の態様における電気配線板４の開口部４０２を小さくすることができるため、電気配線板４のゆがみや反り等を抑制できる。第１の実施の態様の場合にも、受発光素子近傍に各種ＩＣや放熱体を設けるスペースが確保しやすいため好ましい。このとき、アライナーＡ３０８は広い幅の部分に形成されているとよく、さらにアライナーＡ３０８は光路変換ミラー３０６近傍に設けられるとさらによい。これによりアライナーＡ３０８及びアライナーＢ２０１との位置合わせの際に多少のズレが発生してもミラー付き光導波路の端面３０７と受光及び／又は発光素子５の受発光面５０１との位置ズレを小さくすることができる。

本発明に用いられるミラー付き光導波路部３の光路変換ミラー３０６は、コアパターン３０３の光軸上に形成された傾斜面であって、コアパターン３０３が複数形成される場合、隣接するコアパターン３０３の傾斜面同士は不連続であるとよい。これによって、光伝送路１の端面と光路変換ミラー３０６との間に、光学的なギャップが存在しても、光路変換ミラー３０６と光伝送路１の端面とに多少位置ズレが発生しても、隣接する光伝送路１の配列ピッチを小さく（例えば１２５μｍ以下のピッチ等）しても、隣接する光伝送路１及びコアパターン３０３間の光信号の混線（クロストーク）を抑制できる。より好ましくは第１及び第２の実施の態様に示すようにコアパターン３０３の光軸上のみに傾斜面が形成されているとよい。

ミラー付き光導波路部３は、基板と、その一方の面上に形成されたクラッド層及びコアパターンと、他方の面上に形成された、前記ミラー付き光導波路部３を構成するクラッド層（３０２や３０５）又はコアパターン３０３と同一屈折率の樹脂層とを有するとよい。基板を有することによってミラー付き光導波路部３に剛性や柔軟性及び強靱性を付与することができ、該基板を挟んで表裏に樹脂層を設けることができるため、ミラー付き光導波路部３の反りを低減することが可能となる。また、クラッド層（３０２や３０５）又はコアパターン３０３と同一屈折率の樹脂を用いることによって、光の透過性を容易に維持できると共に、フレネル反射による光損失の悪化を抑制できる。また、基板の表面に凹凸がある場合には、凹凸起因の散乱による光損失の悪化を抑制する効果が得られる。

本発明の光モジュールにおいて、ミラー付き光導波路部３は、光路変換ミラー３０６の位置において、光伝送路コネクタ部２と、その光伝送路１の端面と接地しているとよい。これにより、光伝送路１の端面と光路変換ミラー３０６までの距離を短縮し低損失化が図れる。さらに光伝送路１の端面と光路変換ミラー３０６の間の空隙を低減することで、光伝送路１から出力される光信号の広がりを低減し、又は、光路変換ミラー３０６から出射される光信号の広がりを低減し、結合損失を低減できる。

また、光伝送路コネクタ部２における光伝送路１の端面（クラッド及びコア部）が、非研磨面であって、光伝送路１の端面の凹凸の一部が、ミラー付き光導波路部３に埋没されているとよい。本発明のミラー付き光導波路部３の光伝送路１側の面は、基板や、クラッド層（３０２や３０５）又はコアパターン３０３と同一屈折率樹脂等の光透過性の樹脂からなっていると、光伝送路１の端面にバリ等の凹凸が発生しても、その一部をミラー付き光導波路部３に埋没させることができ、ミラー付き光導波路部３と光伝送路１との結合損失を低減することができる。このため、光伝送路１の端面を研磨する工程を省略することも可能である。

本発明の光モジュールは、前記光伝送路コネクタ部２と前記ミラー付き光導波路部３を必須の構成とするが、一般的にはさらに受発光素子５を具備する。本発明において、受発光素子５は電気配線板４上に搭載されることが多いため、本発明の光モジュールは、受発光素子５及びこれを搭載する電気配線板４をその構成とするものも含む。このとき、前記ミラー付き光導波路部３における受発光素子接続用端面３０７と、電気配線板４上に搭載された受発光素子５の受発光面が、光学的に接続するように、電気配線板４にミラー付き光導波路部３及び光伝送路コネクタ部２が搭載される。
これにより、電気配線板４上の受発光素子５を駆動させることによって、光伝送路１との光伝送が可能となる。

本発明の光モジュールにおける受発光素子５及び電気配線板４の第１の実施の態様は、図１及び図７（図７はミラー付き光導波路、押さえ治具、電気配線板の詳細は図示していない）に示すように受発光素子５が、電気配線板４のミラー付き光導波路部３側に搭載されてなり、それらの受発光面５０１がミラー付き光導波路部３側となる。これにより、電気配線板４上の受発光素子５を電気配線板４上で駆動させることによって、光伝送路１との光伝送が可能となる。

その際に、受発光素子５はワイヤーボンディング５０２で電気配線板４に接続されていることが好ましい。本発明の光モジュールは、上記の態様のような場合でも、ワイヤーボンディングのワイヤー５０２の位置を避けてミラー付き光導波路（コアパターン）の端面３０７を受発光部５０１に近づけることができ、さらにはミラー付き光導波路の端面側の厚みや幅を小さくしたり、ワイヤー５０２に干渉しない形状としたりすることによって、ワイヤー５０２の最上部よりもミラー付き光導波路部３の端面を受光及び／又は発光素子５側に位置させる、即ち近づけることが可能となる。これにより、受発光面５０１とミラー付き光導波路部３の端面３０７を近接させることができるため低損失な光信号の送受が可能となる。
以下、本発明におけるミラー付き光導波路部の端面と表記した場合は、コアパターン３０３の光軸上において光路変換ミラー３０６と反対側の終端の端面３０７を指し示し、ミラー付き光導波路部の端面側と表記した場合は。ミラー付き光導波路部３の端面付近の筐体（クラッド層や基板も含む）をも指し示す。

本発明の光モジュールに用いられる受発光素子５が電気配線板４の第２の実施の態様は、図２及び図８（図８はミラー付き光導波路、押さえ治具、電気配線板の詳細は図示していない）に示すように、ミラー付き光導波路部３と反対側に搭載されてなり、該受発光素子５の受発光面５０１がミラー付き光導波路部３側に向いた構造である。これにより、電気配線板４上の受発光素子５を電気配線板４上で駆動させることによって、光伝送路１との光伝送が可能となる。

その際に、受及び／又は発光素子５はフリップチップで電気配線板４に接続されていることが好ましく、受発光部５０１近傍の電気配線板４に開口部４０２を有しているとよい。開口部４０２は光学的に開口していればよいが、空間であると開口部４０２内にミラー付き光導波路部の端面３０７を配置することができるため好ましい。これにより、ミラー付き光導波路部の端面３０７と受発光部５０１との距離を短縮することができ、低損失な光信号の伝送が可能となる。

本発明の光モジュールの光伝送路コネクタ部２及び／又は押さえ治具部６にはアライナーＣ２０１を、電気配線板４にアライナーＤ４０３をそれぞれさらに有し、光伝送路コネクタ部２又は押さえ治具部６と電気配線板４とが、アライナーＣ２０１及びアライナーＤ４０３とで位置合わせされて接合されるとよい。これにより、ミラー付き光導波路の端面３０７と受光又は発光素子の受発光部５０１とを精度よく位置合わせすることができる。

ミラー付き光導波路部３には、光路変換ミラー３０６と位置の相関が確保された傾斜面からなるアライナーＥ３０９をさらに有し、押さえ治具部６にアライナーＦ６０１を有し、ミラー付き光導波路部３と押さえ治具部６とがアライナーＥ３０９とアライナーＦ６０１とで位置合わせされる部位を有するとよい。これにより、例えばミラー付き光導波路部３に設けられたアライナーＡ３０８と光伝送路コネクタ部２に設けられたアライナーＢ２０１とに高精度な位置合わせ精度がない場合にも、ミラー付き光導波路部３に設けられたアライナーＥ３０９と押さえ治具部６に設けられたアライナーＦ６０１によって押さえ治具部６とミラー付き光導波路部３の高精度な位置合わせが可能となる。この際、押さえ治具部６には光伝送路コネクタ部２のアライナーＢ２０１と高精度に位置合わせ可能なアライナーＡ’６０２有していると、押さえ治具部６を介してミラー付き光導波路部３と光伝送路コネクタ部２とを高精度に位置合わせ可能となり、光伝送路１と光路変換ミラー３０６とを光学的に低損失で結合することができる。

本発明におけるミラー付き光導波路部の端面３０７の形状はコアパターン３０３に対して略９０°の平面であると好ましいが、光の伝搬に支障がない範囲で曲面やレンズ面であってもよい。ここでの略９０°とは、９０°付近のみを意味するのではなく、比較的に広範囲の角度を意味し、後述するように透明樹脂９にて封止する場合には３０°以上９０°以下であればよく、ミラー付き光導波路の端面３０７と受発光素子５との実装性の観点から７０°以上９０°以下であることがより好ましい。また、透明樹脂９にて封止しない場合には、５５°以上９０°以下であることが好ましく、ミラー付き光導波路の端面３０７と受発光素子５との実装性の観点から７０°以上９０°以下であることがより好ましい。
なお、ミラー付き光導波路部の端面３０７側の形状は、上記ミラー付き光導波路の端面３０７の形状を保持でき、光の伝搬に支障のない形状であれば特に制限はない。

また、光モジュールにおいて、ミラー付き光導波路部の端面３０７と受発光素子５とが、透明樹脂９によって封止されてなるとよい。ここでの封止とはミラー付き光導波路部３の少なくともコアパターン３０３端面と受発光面５０１との間に透明樹脂９が充填された状態を意味する。これにより、ミラー付き光導波路の端面３０７の位置を透明樹脂９によって固定することができると共に、空隙をなくすことができるため、ミラー付き光導波路の端面３０７と空気層との屈折率差によって生じるフレネル反射損失を低減することが可能となる。

なお、本発明に用いるミラー付き光導波路部３は、多段のコアパターン３０３を有するミラー付き光導波路部や、複数のミラー付き光導波路部が例えばアライナーＢ２０１と位置合わせされて、接合されているものでもよい。

本発明の光モジュールの製造方法は、光伝送路１を光伝送路コネクタ部２に搭載する工程Ａ、前記ミラー付き光導波路部３のコアパターン３０３と光伝送路１とが光路変換ミラー３０６を介して折れ曲がって光学的に接合させる工程Ｂ、工程Ｂの後に前記光伝送路コネクタ部２及び前記ミラー付き光導波路部３を、受発光素子を搭載する電気配線板４に接合する工程Ｃを有することが好ましい。これにより、電気配線板４や電気配線板４に実装された各種素子、該各種素子に結合したワイヤーボンディング用ワイヤー５０２等にぶつかってミラー付き光導波路部３の端部を傷つける危険性を低減し、光モジュールを容易に製造することができる。このときの光伝送路コネクタ部２は少なくとも光伝送路１の端面１の位置を固定する溝や孔を有していればよい。

さらに、工程Ｂの後に、ミラー付き光導波路部３を、前記光伝送路コネクタ部２と、反対の面から押さえる押さえ治具部６により固定する工程Ｄをさらに有することによって、ミラー付き光導波路部３の形状や位置を固定できるため好ましい。

また、工程Ｂが、ミラー付き光導波路部３に具備されたアライナーＡ３０８と光伝送路コネクタ部２にさらに具備されたアライナーＢ２０１とを嵌め合わせて接合することによってミラー付き光導波路部３の光路変換ミラー３０６と、光伝送路コネクタ部２とを高精度に位置合わせできるためより好ましい。さらに後述するようにアライナーＡ３０８及びアライナーＢ２０１を嵌合部とし、嵌め合わせによって接合させるとパッシブに位置合わせ及び接合が可能となるためより好ましい。

また、工程Ｃが、光伝送路コネクタ部２及び／又は押さえ治具部６にさらに具備されたアライナーＣ２０１と電気配線板４に具備されたアライナーＤ４０３とを位置合わせして接合することによってミラー付き光導波路の端面３０７と、電気配線板４上の受発光素子５の受発光面５０１とを高精度に位置合わせできるためより好ましい。上記の観点から工程Ｃの前に受発光素子は、電気配線板４に実装されているとよい。さらに後述するようにアライナーＣ２０１及びアライナーＤ４０３を嵌合部とし、嵌め合わせによって接合させるとパッシブに位置合わせ及び接合が可能となるためより好ましい。

以下、本発明に用いられる各部材及び材料について詳細に説明する。
（光ファイバ）
本発明に用いられる光伝送路１は、光信号を伝達するための光路を有した光学部材であればよく、光ファイバ、光導波路、シリコンフォトニクス基板等が好適に挙げられる。
中でも長距離伝送が可能で、取り扱い性に優れた光ファイバを用いるとよい。光ファイバは、石英ファイバやプラスチック光ファイバ等を用いることができ、ＧＩ型（Ｇｒａｄｅｄ Ｉｎｄｅｘ ｔｙｐｅ）でもＳＩ型（Ｓｔｅｐ Ｉｎｄｅｘ ｔｙｐｅ）でもよい。
コアの直径は特に制限はないが、ミラー付き光導波路部３のコアパターン３０３との位置合わせの観点から、５μｍ〜３００μｍであるとよく、ミラー付き光導波路部３の低背化の観点から、より好ましくは３０〜１００μｍであるとよく、３０μｍ〜８５μｍであるとさらによい。

クラッドの直径は特に制限はなく、５０μｍ〜３ｍｍであるとよく、狭ピッチ化による小型化、高密度伝送の観点から、５０μｍ〜３００μｍであるとよく、７０μｍ〜２６０μｍであるとさらによい。
本光ファイバは単芯の光ファイバでも、多芯の光ファイバでもよいが、多芯の光ファイバを用いる場合にはリボンファイバを用いるとハンドリングが容易であるため好ましい。また、光ファイバと電気信号線との複合ケーブルを用い、該光ファイバ部分を光伝送路コネクタに接続してもよい。このとき電気信号線は、電気配線板４に電気的に接続されると、光信号及び電気信号（シグナルラインやパワーライン）の両方を伝送できる光電気複合ケーブルとすることができる。

（光導波路）
本発明の光伝送路１に光導波路を用いる場合には、コアパターンとコアパターンを埋設するクラッド層からなる光導波路を用いればよい。コアパターンの断面形状は、ミラー付き光導波路部３のコアパターン３０３（光路変換ミラー３０６）と光伝送に悪影響のない範囲の形状であればよい。また、複数のコアパターンを有する光導波路で、複数のコアパターンを平行に配置すると、コアパターン間のピッチ精度を得やすく、ミラー付き光導波路部３との位置合わせが良好に行えるため好ましい。

（光伝送路コネクタ）
本発明に用いられる光伝送路コネクタ部２は、少なくとも光伝送路１の一方の端部を固定できる部位と、ミラー付き光導波路部３と位置合わせされるアライナーＢ２０１とを有していればよい。上記の観点から、まず光伝送路コネクタ部２には、光伝送路１を固定する溝又は孔（複数の光ファイバを固定する場合には、それらを任意のピッチ及び位置に配列可能な溝又は孔）を有する。また、ミラー付き光導波路部３と位置合わせするためのアライナーＢ２０１としては、光路変換ミラー３０６そのものをアライナーとすることもできるが、ダミーの光路変換ミラー３０６や光路変換ミラー３０６と位置の相関のあるマーカや、光路変換ミラー３０６と位置の相関のある嵌合部等を具備しているとよい、特にパッシブな位置合わせが可能であり、位置合わせ及び接合が容易である観点から嵌合部であるとよく、該嵌合部は、ミラー付き光導波路部３側に突出又は凹んだ嵌合部（アライナーＢ２０１）を有しているとよい。具体的には、光伝送路１に光ファイバを用いる場合には、白山製作所（株）製のＭＴコネクタ等を用いることができる。また、光伝送路１に光導波路を用いる場合には、ＰＭＴコネクタ等を用いることができる。

また、光伝送路コネクタ部２には、電気配線板４に設けられたアライナーＤ４０３と位置合わせして接合するためのアライナーＣ２０１を有しているとよい。アライナーＢ２０１又はアライナーＣ２０１は、上述したアライナーＢ２０１と同様のマーカや嵌合部等を用いることができる。また、アライナーＣ２０１及びアライナーＤ４０３も、嵌合部であるとパッシブ実装が可能である観点からより好ましい。嵌合部（アライナーＣ２０１及びアライナーＤ４０３）の形状はミラー付き光導波路部３のコアパターン３０３同軸方向の位置の固定、又は電気配線板４の面方向の位置の固定が可能であれば、特に限定はないが、突起状、凹み形状、貫通穴状等の形状であればよく、円状、楕円状、多角形状、星状、切り欠き、それらの複合形状、複数個組み合わせた形状等であればよい。

光伝送路コネクタ部２のミラー付き光導波路部３側の面は、平面でも曲面でもよいが、ミラー付き光導波路部３との界面の光の反射減衰を抑制するため、光伝送路１先端近傍は６〜１０°傾斜し、その端面は研磨面であるとよい。しかし、ミラー付き光導波路部３側の面の全面を研磨すると、光伝送路コネクタ部２に設けられたアライナーＣ２０１とミラー付き光導波路の端面３０７との位置の相関が保てなくおそれがある（研磨量を制御することが可能な場合はこの限りではない）ため、ミラー付き光導波路部の端面３０７付近の光伝送路コネクタ部２側の面は垂直面２０４で、研磨面のみが傾斜面２０３（光伝送路１光軸となす角が垂直面２０４より傾斜している）となるとよい。なお、ミラー付き光導波路部３は、それら２つの面に追従するように変形されていればよい。このときコアパターン３０３は湾曲することとなる。

光伝送路ケーブル（光伝送路１と光伝送路コネクタ部２の複合体を指す）作製後の光伝送路１の端面の研磨が不要な場合や研磨量を制御可能な場合は、垂直面２０４であってもよいが、後述する空気反射型ミラーを用いる場合には、光伝送路１とコアパターン３０３とのなす角が鈍角であって、光路変換ミラー３０６の角度が該鈍角の約１／２の傾斜（実際には光路変換ミラー３０６で光路変換される直前の光の角度（光伝送路１のコア及びコアパターン３０３の屈折率に依存）によって適宜調整するとよい）であると、光路変換ミラー３０６での全反射条件を満たす光信号成分が増え、光損失を低減できるため、意図的にミラー付き光導波路部３と光伝送路コネクタ部２の接合面を傾斜面２０３としてもよい。このときもミラー付き光導波路部３の端面付近を垂直とする場合には、ミラー付き光導波路部３は、それらの面に追従し、コアパターン３０３は湾曲することとなる。この場合、光伝送路１の端面は光伝送路コネクタ部２の該傾斜面２０３と同一平面になりにくいが、同一平面から突出した部分を後述する凹凸としてミラー付き光導波路部３に埋設させればよい。

（光伝送路ケーブル）
本発明における光伝送路ケーブルとは、光伝送路コネクタ部２に光伝送路１が搭載されたものを指す。該光伝送路ケーブルにミラー付き光導波路部３を搭載したとき（アライナーＡ３０８とアライナーＢ２０１によって位置合わせされて接合されたとき）にミラー付き光導波路の端面３０７は光伝送路コネクタの底面２０５（ミラー付き光導波路の端面３０７と平行で最も近接する平面）と同一平面又はミラー付き光導波路の端面３０７が突出しているとよい。同一平面であると、ミラー付き光導波路部３をハンドリングする際に、ミラー付き光導波路の端面３０７を傷つける可能性が低く、受発光面５０１とミラー付き光導波路の端面３０７の距離を小さくできる。また、突出させる場合、その突出長は０μｍ超〜５００μｍであると、ミラー付き光導波路部３の突出部７の変形を抑制できるため好ましく、０μｍ超〜３００μｍであるとハンドリングの際にミラー付き光導波路の端面３０７を傷つける可能性を低減できるためより好ましい。

（ミラー付き光導波路）
本発明に用いられるミラー付き光導波路部３は、光信号を伝達するコアパターン３０３と、それを覆うクラッド層を有してなり、該コアパターン３０３の光軸上に光伝送路１とコアパターン３０３とを光学的に折れ曲がって（例えば、略９０°方向に）結合させる光路変換ミラー３０６を備えている。このときコアパターン３０３は、クラッド層よりも屈折率の高い部位であれば良好に光信号を伝搬できる。

ミラー付き光導波路部３は、フレキシブルでもリジッドでもよいが、ミラー付き光導波路部３を変形させて使用する場合には、フレキシブル性を有しているとよい。
ミラー付き光導波路部３はクラッド層及びコアパターン３０３形成用樹脂のみからなっていても本発明の光モジュールは作製可能であるが、本発明においては、ミラー付き光導波路部３を精度よく位置合わせ及び接合する必要性があり、その際にミラー付き光導波路部３が多少変形したり、応力がかかったりするため、基板を有し強靱性を付与することが光モジュールの組み立ての効率や歩留まりの観点から重要である。特に嵌め合わせによって位置合わせ及び接合する場合には、上記と同様の理由でより重要である。上記の観点から基板の種類は、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン、ポリアミド、ポリカーボネート、ポリフェニレンエーテル、ポリエーテルサルファイド、ポリアリレート、液晶ポリマー、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリアミドイミド、ポリイミドなどの樹脂フィルムが好適に挙げられる。また、ミラー付き光導波路部３の光伝送路１の端面との接面には、クラッド層（３０２や３０５）又はコアパターン３０３と同一屈折率樹脂層を有することが、フレネル損失を低減できる観点、光伝送路の端面１０１の凹凸がある場合に該凹凸を埋め込む観点、ミラー付き光導波路部３の反りの低減の観点などから好ましい。

反りや屈折率整合の関係上光伝送路１とのミラー付き光導波路部３側の接面には、クラッド層（３０２や３０５）又はコアパターン３０３と同一屈折率樹脂層を設けることが好ましいが、クラッド層（３０２や３０５）又はコアパターン３０３に使用した樹脂では光伝送路の端面１０１の凹凸の埋め込むことが良好に行えない場合には、クラッド層（３０２や３０５）又はコアパターン３０３よりも低弾性な樹脂層を設けてもよく、粘着性のある樹脂層を設けてもよい。このときの樹脂層は光信号の透過に悪影響のない範囲の透明性を有していればよく、クラッド層（３０２や３０５）又はコアパターン３０３の屈折率差は下に示す式１の値で、０％以上５％以下であるとよく、０％以上２．５％以下であるとよりよく、０％以上１％以下であるとさらによい。本発明において上記の範囲の樹脂を用いる場合も屈折率差によるフレネル反射損失の低減（対空気層に対してのフレネル反射損失と比較）及び光伝送路の端面１０１の凹凸を埋め込む機能を有することから広義にクラッド層（３０２や３０５）又はコアパターン３０３と同一屈折率樹脂層とみなす。

さらにミラー付き光導波路部３には光伝送路コネクタ部２と位置合わせするアライナーＡ３０８を有し、光伝送路コネクタ部２に設けられたアライナーＢ２０１と位置合わせできる部位を有している。シート状のミラー付き光導波路部３であると、複数のコアパターン３０３を配置しやすく、該コアパターン３０３や光路変換ミラー３０６と別の位置にアライナーＡ３０８を設けやすい。シート状にすることによって、光モジュール自体を小型化することが可能となる。

本発明のミラー付き光導波路部３の受発光素子側の端面の厚み（光伝送路１の光軸方向の厚み）は、６５μｍ以上５００μｍ以下であるとよい。これにより上述したように、第１の実施の態様の場合は受発光素子のワイヤー５０２に干渉しにくく、さらに反り等の変形による受発光素子とミラー付き光導波路の端面３０７との位置ズレによる結合損失の悪化を抑制できる。また、第２の実施の態様の場合は電気配線板４の開口部４０２が小さくてすむため、電気配線板４のねじれや反り等を抑制することができ、受発光素子とミラー付き光導波路部の端面３０７との位置ズレによる結合損失の悪化を抑制できる。光導波路の強度、低背化、フレキシブル性の観点からより好ましくは８０μｍ以上１５０μｍ以下であるよい。

本発明のミラー付き光導波路部３のコアパターン３０３に対して垂直方向の幅は、光路変換ミラーを通る幅（Ｘ１）よりもミラー付き光導波路の端面側の幅（Ｘ２）が小さいとよく、Ｘ１：Ｘ２は１０：９〜１０：３の範囲であると、電気配線板４や電気配線板４上に搭載された各種素子とミラー付き光導波路部の端面３０７及び／又は端面側を傷つける懸念を低減でき、さらに小型化及びミラー付き光導波路部３の端面と受発光素子５との結合が良好となるため好ましい。

（コアパターン）
本発明のミラー付き光導波路部３のコアパターン３０３は、使用する長さあたりにおける透過損失が光信号の伝搬に悪影響のない範囲であるとよい。またその形状は、直線状でも曲線状でもよく、コアパターン３０３の断面積が光の進行方向に対して拡縮するテーパ形状を有していてもよい。光の進行方向に対して拡大するテーパ形状を有すると、伝搬する光の広がり角を低減できるため、例えば受光素子とミラー付き光導波路の端面３０７との間にギャップがある場合でも、結合損失よく光の送受が可能となる。また、光の進行方向に対して縮小するテーパ形状を有すると、スポット径を縮小できるため、例えば受光素子の受光径が小さく、受光素子と光導波路の端面とのギャップが小さい場合に、結合損失よく光の送受が可能となる。つまり、光モジュールの形状によってコアパターン３０３の断面積の拡縮を行うことで、結合損失を低減することができる。

コアパターン３０３の形状は光伝送路１と受発光素子との光信号の伝搬を良好に行えれば特に限定はなく、光伝送路１の配線方向の高さは５〜３００μｍであるとよく、光導波路の低背化の観点から、より好ましくは３０〜１００μｍであるとよく、結合効率の観点から３０μｍ〜８５μｍであるとさらによい。
上記高さと直交するコアパターン３０３の幅は、５〜３００μｍであるとよく、結合効率の観点から３０μｍ〜８５μｍであるとさらによい。また、コアパターン３０３をフォトリソグラフィー加工によって形成する場合には、フォトマスクの形状で幅方向にテーパを設けられる。
コアパターン３０３の長さは、使用する光信号波長に対する透過損失や光伝送路コネクタ部２の筐体の大きさによって適宜選択すればよいが、光路変換ミラー３０６からミラー付き光導波路の端面３０７までの長さが、１００μｍ以上〜１０ｍｍ以下であると、小型化及びハンドリング性の観点から好ましく、５００μｍ以上〜５ｍｍ以下であるとより小型化及びミラー付き光導波路部３の強靱性が得やすいためより好ましく、５００μｍ以上〜３ｍｍ以下であると、使用可能な光信号波長の選択の幅が増えるためさらに好ましい。

（光路変換ミラー）
本発明のミラー付き光導波路部３の光路変換ミラー３０６は、コアパターン３０３の光軸上に設けられ、光信号を折れ曲がって光学的に結合するように、例えば略９０°変換可能なように、その機能を有していればよく、光伝送路１の光軸又はミラー付き光導波路部３のコアパターン３０３の光軸に対して３０°以上６０°以下、より好ましくは３５°以上５５°以下、さらに好ましくは４０°以上５０°以下の傾斜面であるとよい。傾斜面は樹脂と空気層との屈折率差を利用した空気反射型ミラーであっても傾斜面に反射金属層を設けた金属反射型ミラーであってもよい。また、光路変換ミラー３０６はアライナーＡ３０８との位置の相関が得られているとよい。
複数のコアパターン３０３の光軸上のそれぞれに光路変換ミラー３０６を設ける場合には、それらの傾斜面が連通して同一平面にならず、各々の傾斜面が独立した面であると、隣接するコアパターン３０３から又は隣接する光伝送路１からの光が混ざり込むこと（クロストーク）を抑制できるためより好ましい。

（空気反射型の光路変換ミラー）
空気反射型の光路変換ミラー３０６の具体例としては、クラッド層３０２上にリッジ状にコアパターン３０３を形成した後に、ダイシングソーやレーザー等を用いて該コアパターン３０３に傾斜面（光路変換ミラー３０６）を形成し、その後、コアパターン３０３を覆い傾斜面（光路変換ミラー３０６）を開口する別のクラッド層３０５を形成する方法や、クラッド層に埋設されたコアパターン３０３からなる光導波路を形成した後に、一方向からレーザー等を用いて、それぞれのコアパターン３０３の光軸上に独立した傾斜面を形成すればできる。コアパターン３０３の光軸上以外には余分な傾斜面が形成されない前者の構造が最も好適である。

（金属反射型の光路変換ミラー）
金属反射型の光路変換ミラー３０６の具体例としては、上記と同様にリッジ状にコアパターン３０３を形成した後に、ダイシングソーやレーザー等を用いて該コアパターン３０３に傾斜面（光路変換ミラー３０６）を形成し、その後、少なくとも該傾斜面に蒸着やスパッタやめっき等を用いて反射金属層を形成し、コアパターン３０３覆う別のクラッド層３０５を形成する方法（傾斜面は別のクラッド層３０５によって覆ってもよい）によって形成できる。この場合もコアパターン３０３の光軸上以外には余分な傾斜面が形成されない構造となる。

（クロストーク低減メカニズム）
上述のコアパターン３０３の光軸上以外には余分な傾斜面が形成されない構造であると、光伝送路１から光路変換ミラー３０６方向へ入射される光成分のうち、光路変換ミラー３０６に入射されなかった光成分は、光伝送路１と同軸方向に透過又は反射されるため、受光素子側に光路変換してクロストークとなる懸念が低減する。また、発光素子からミラー付き光導波路の端面３０７方向に入射される光成分のうち、コアパターン３０３と結合せず、クラッド層中を伝搬する光成分の多くは、光路変換ミラー３０６に入射されないため、コアパターン３０３と同軸方向に透過又は反射されるため、クラッド層中を伝搬する光が光伝送路１側に光路変換してクロストークとなる懸念が低減する。

（アライナーＡ）
本発明のミラー付き光導波路部３に設けられるアライナーＡ３０８は、アライナーＢ２０１と位置合わせが可能であればよく、上述したアライナーＢ２０１と同様のマーカや嵌合部を用いることができる。特にパッシブな位置合わせが容易である観点から、嵌合部であることがより好ましく、その形状は、突起状、凹み形状、貫通穴状等の形状であればよく、円状、楕円状、多角形状、星状、切り欠き、それらの複合形状、複数個組み合わせた形状等であればよい。アライナーＡ３０８は光路変換ミラー３０６と位置の相関が確保されているとよい。アライナーＡ’６０２もアライナーＡ３０８と同様の形状であるとよい。

なお、アライナーＡ３０８はコアパターン３０３同軸方向、及びコアパターン３０３垂直方向（かつ光伝送路１の光軸に垂直方向）の位置を規定できる箇所に設けられるとよい。上記の観点から、２箇所以上のアライナーＡ３０８を有しているとよく、これにより、上述のコアパターン３０３同軸及び垂直方向を形成する面の角度ズレも矯正することができる。また、アライナーＡ３０８は少なくとも２つは光路変換ミラー３０６の両脇に形成されているとよい。このときアライナーＡ３０８間の距離は、光路変換ミラー３０６からミラー付き光導波路の端面３０７までの距離と同じかより長いと、アライナーＡ３０８とアライナーＢ２０１のクリアランスやずれの影響がミラー付き光導波路の端面３０７と受光及び／又は発光素子５との位置ずれに影響しにくいため好ましく、その距離の比が、１：２以下であるとミラー付き光導波路の端面３０７と受光及び／又は発光素子５との位置ずれを低減でき、結合損失を低減できるためるためより好ましい。また、光路変換ミラー３０６とミラー付き光導波路部３の外形線とに位置の相関がある場合には、ミラー付き光導波路部３の外形線を嵌合部（アライナーＡ３０８）としてもよい。なお、実施例中に記載するように、アライナーＡ３０８、アライナーＢ２０１、後述するアライナーＣ２０２、アライナーＤ４０３、アライナーＡ’を嵌合にて位置合わせ接合する場合には嵌合ピン８等を用いてもよい。

また、アライナーＡ３０８は光路変換ミラー３０６近傍に設けられるとよく、アライナーＡ３０８に最も近接する光路変換ミラー３０６までの距離が１０μｍ以上１０ｍｍ以下であると光路変換ミラー３０６と光伝送路の端面１０１との位置合わせが良好になるため好ましく、小型化の観点から１０μｍ以上１ｍｍ以下であるとよい。さらにアライナーＡ３０８からミラー付き光導波路の端面３０７までの距離も、ミラー付き光導波路の端面３０７と、受光又は発光素子の受発光面５０１との位置合わせが良好になる観点から１０μｍ以上１０ｍｍ以下であるとよく、小型化の観点から１０μｍ以上５ｍｍ以下であるとよい。

（アライナーＥ）
また、ミラー付き光導波路部３には光路変換ミラー３０６と位置の相関が確保された傾斜面からなるアライナーＥ３０９（嵌合部）をさらに有しているとよく、押さえ治具部６に設けられたアライナーＦ６０１（嵌合部）と嵌合させることが可能となるため、光伝送路１と光路変換ミラー３０６との位置合わせが可能となる。アライナーＥ３０９は、光路変換ミラー３０６を形成する工程又は、その前後の工程で、光路変換ミラー３０６を形成する方法と同一手法で形成することによって光路変換ミラー３０６との位置の相関が確保しやすい。具体的には、リッジ状にコアパターン３０３を形成した後に、ダイシングソーやレーザー等を用いてコアパターン３０３に傾斜面（光路変換ミラー３０６）を形成し、その後、コアパターン３０３を覆い傾斜面（光路変換ミラー３０６）を開口するクラッド層３０５を形成する際に、ダミーのコアパターン３０３に傾斜面を形成し、クラッド層３０５を開口することによって得られた傾斜面などが用いられる。

アライナーＥ３０９（後述するアライナーＦ６０１も同様）の設置数は、アライナーＡ３０８と同様に２つ以上設けられているとよく、少なくとも２つのアライナーＥ３０９は光路変換ミラー３０６の外側（複数の光路変換ミラー３０６を有する場合はそれらの両端よりも外側）に設けられていると、光路変換ミラー３０６と光伝送路の端面１０１との位置合わせが高精度に行えるためより好ましい。

（受発光素子）
本発明に用いられる受発光素子は、光を受光する受光面及び光を出力する発光面を有する光学部材であればよく、光信号を受光して電気信号に変換する素子及び電気信号を受信して光信号に変換する素子等を用いることができる。レーザーダイオードやフォトダイオード等が好適である。レーザーダイオードは面発光レーザーが好ましい。受光部及び／又は発光部を有するシリコンフォトニクス基板等も用いることができる。
なお、受発光素子は、受光素子及び／又は発光素子を意味し、受光素子のみでも発光素子のみでも良い。
受発光素子５の実装面と受発光面５０１は、第１の実施の態様の場合は、実装面と受発光面５０１が対向面になる素子であるとよく、第２の実施の態様の場合には、同一面側になる素子であるとよい。

（電気配線板）
本発明の電気配線板４は、受発光素子５が実装される導体パターン４０１を少なくとも有していればよく、該受光又は発光素子を駆動するドライバＩＣ等が搭載される導体パターン４０１や外部の筐体と電気接続するための導体端子又はパッド、受光又は発光素子やドライバＩＣを放熱させるための放熱体搭載部等を備えていてもよい。上記導体パターン４０１を有する電気配線板４であればフレキシブルな電気配線板４でもリジッドな電気配線でもよいが、素子の実装性及び嵌合部（アライナーＤ４０３）での嵌合の観点からリジッドな基板が好ましい。フレキシブルな電気配線板４は、例えばポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミド、それらの複合体等のフィルム材上に導体パターン４０１が形成された電気配線板４を好適に用いることができ、リジッドな電気配線板４は、例えばガラス、エポキシ樹脂硬化板、セラミック、シリコンウエハー、それらの複合体等の板上に導体パターン４０１が形成された電気配線板４を好適に用いることができる。

また、電気配線板４は片面に導体パターン４０１を有する電気配線板４でも、両面に導体パターン４０１を有する電気配線板４でも、導体パターン４０１が複数階層からなる多層の電気配線板４でもよい。また、両面や複数階層に導体パターン４０１が形成された電気配線板４の場合、各層間や表裏の階層間を電気的に接続するビアホールを有していてもよい。さらに上述した電気配線板４はそれを保持する外部筐体（例えば電気配線板４用コネクタやハウジング）を備えていてもよく、この場合外部筐体を含めて一つの電気配線板４とみなす。この場合、外部の筐体が高精度に電気配線板４を保持し、外部筐体にアライナーＤ４０３が形成されていても本発明の光モジュールと同様の効果が得られる。

電気配線板４には、光伝送路コネクタ部２又は押さえ治具部６に設けられたアライナーＣ２０１と位置合わせ可能なアライナーＤ４０３をさらに備えているとよい。アライナーＤ４０３を有することによってより簡易的に高精度にミラー付き光導波路の端面３０７と受光及び／又は発光素子５とを位置合わせすることが可能となる。
電気配線板４において、受光及び／又は発光素子５の実装面は、第１の実施の態様のようにミラー付き光導波路部３側でも、第２の実施の態様のようにミラー付き光導波路部３側でもよいが、第２の実施の態様の場合は、ミラー付き光導波路の端面３０７と受光又は発光素子の受発光面５０１との間で光の送受を行える光学的な開口部４０２を有しているとよい。空隙となる開口部４０２であるとミラー付き光導波路の端面３０７を挿入することができるため好ましい。空隙となる開口部４０２は、凹部状でも貫通孔状でもよいが、より受光又は発光素子の受発光面５０１とミラー付き光導波路部３の端面３０７とを近接させて低損失化がはかれる観点から貫通孔状であるとよい。

以上、本発明に用いられる受発光素子、電気配線板４について詳細に説明したが、本発明におけるミラー付き光導波路部３を具備した光伝送路ケーブルは、光信号を受光又は発光する部位を有する筐体であれば光モジュール化することが可能である。例えばシリコンフォトニクス基板や、受発光素子に本発明とは異なる光導波路が具備された光部品等の場合でも応用が可能である。

アライナーＤ４０３（アライナーＣ２０１も同様）の設置数は、アライナーＡ３０８と同様に２つ以上設けられているとよく、少なくとも２つのアライナーＤ４０３（アライナーＣ２０１も同様）はミラー付き光導波路の端面３０７の外側（複数のコアパターン３０３（端面）を有する場合はそれらの両端よりも外側）に設けられていると、ミラー付き光導波路の端面３０７と受光及び／又は発光素子５の受発光面５０１との位置合わせが高精度に行えるためより好ましい。

（押さえ治具）
本発明の光モジュールに用いる押さえ治具部６は、ミラー付き光導波路部３を固定できる冶具であればよく、剛直な板状の部材を用いるとよい。基板の材料としては、特に制限はなく、例えば、ガラスエポキシ樹脂基板、セラミック基板、ガラス基板、シリコン基板、プラスチック基板、金属基板、樹脂層付き基板、金属層付き基板、電気配線板４等が挙げられる。押さえ治具部６には電気配線板４に設けられたアライナーＤ４０３と位置合わせするためのアライナーＣ２０１を有していてもよい。アライナーＣ２０１は上述したアライナーＡ３０８、アライナーＢ２０１、アライナーＣ２０１のようなマーカや嵌合部等であればよいが、嵌合部状のアライナーＣ２０１を有するとパッシブに位置合わせ及び接合が可能であるため好ましい。嵌合部（アライナーＤ４０３）の形状は電気配線板４と押さえ治具部６とを電気配線板４の面方向の位置を固定するための形状であれば特に限定はなく、突起状、凹み形状、貫通穴状等の形状であればよく、円状、楕円状、多角形状、星状、切り欠き状、それらの複合形状や複数個組み合わせた形状等であればよい。

また、光伝送路コネクタ部２のミラー付き光導波路部３側の面が傾斜面２０３と垂直面２０４からなる場合や湾曲している場合には、その面に追従する形状を有する面を有する押さえ治具部６であってもよい。

また、押さえ治具部６には、ミラー付き光導波路部３に設けられた光路変換ミラー３０６と位置の相関が確保された傾斜面からなるアライナーＥ３０９（嵌合部）と嵌合するアライナーＦ６０１（嵌合部）を有していてもよい。アライナーＦ６０１の形状としては特に限定はないが、傾斜面からなるアライナーＥ３０９との位置合わせの観点から、少なくとも一部に傾斜面を有する形状であるとよい。

押さえ治具部６の光伝送路１光軸方向の厚みは、特に制限はないが、５０μｍ以上３０ｍｍ以下であると、小型化及びミラー付き光導波路部３の押さえ性能が良好であり、１００μｍ以上５ｍｍ以下であるとより小型化及び押さえ治具部６自体の変形の抑制可能であるためより好ましく、２００μｍ以上３ｍｍ以下であると、押さえ治具部６作製の作業性及びハンドリング性の観点からさらに好ましい。

なお、ミラー付き光導波路部３のみで光伝送路ケーブルの光伝送路１と光路変換ミラー３０６とを高精度な位置合わせが可能であり、ミラー付き光導波路部３の形状及び位置が固定される場合には、本押さえ治具部６は使用しなくてもよい。また、第１の実施の態様や第２の実施の態様のように光伝送路ケーブル、ミラー付き光導波路部３、押さえ治具部６とを接着剤等を用いないで固定する場合には、クランプやバネ等を利用し、それらが外れないように別途固定してもよい。
また、接着剤、接着シートや、後述の透明樹脂９によって光伝送路ケーブル、ミラー付き光導波路部３、押さえ治具部６を固定しても本発明の光モジュールとして機能させることが可能である。この場合でかつ空気反射型の光路変換ミラー３０６を用いる場合には、それらの接着剤や接着シートや透明樹脂９が光路変換ミラー３０６に回り込まないように、光伝送路コネクタ部２、ミラー付き光導波路部３、押さえ治具部６の形状等を適宜調整する必要がある。

（透明樹脂）
本発明における受発光素子５の受発光面５０１とミラー付き光導波路の端面３０７との間を封止するための透明樹脂９としては、光信号の伝搬に悪影響の内範囲で該光信号波長に対して透明であり、封止し得る樹脂であればよく、熱硬化性樹脂、光硬化性樹脂、光／熱併用の硬化性樹脂等が好適に挙げられる。
また、該透明樹脂９を用いて、光伝送路コネクタ部２とミラー付き光導波路部３、及び／又はミラー付き光導波路部３と押さえ治具部６とを接着すると、後の工程におけるそれらの脱落や位置ズレを予防できるため好ましく、受発光素子の受発光面５０１とミラー付き光導波路の端面３０７との間を封止する際に同時にそれらを接着すると工程が簡略化されるためより好ましい。
また、該透明樹脂９を用いて、光伝送路コネクタ部２と電気配線板４とを接着すると、アライナーＣ２０１及びアライナーＤ４０３との脱落や位置ズレを予防できるため好ましく、受発光素子の受発光面５０１とミラー付き光導波路の端面３０７との間を封止する際に同時にそれらを接着すると工程が簡略化されるためより好ましい。

以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はその要旨を越えない限り、以下の実施例に限定されない。
実施例１
＜ミラー付き光導波路の作製＞
基板としての厚さ；２５μｍ、１００ｍｍ×１００ｍｍサイズのポリイミド基板（東レ・デュポン株式会社製、商品名；カプトンＥＮ）上の両面に、厚さ；１０μｍと１５μｍ、引っ張り弾性率；０．７ＭＰａの下部クラッド層３０２（日立化成株式会社製）を積層形成し、一方の面（１５μｍ厚み側）の下部クラッド層３０２上に、厚さ；４５μｍ、幅；５０μｍから４０μｍへのテーパ形状を有する（光路変換ミラー３０６形成位置が５０μｍ、端面側が４０μｍ、テーパ距離が１．４０ｍｍ）、長さ３ｍｍのコアパターン３０３を１４本（２５０μｍピッチ、両端はダミーコアパターン３０４（両端のコアパターン３０３から４００μｍピッチの位置））を形成した。
得られたコアパターン（３０３及び３０４）を９０°開口（４５°の傾斜面）のダイシングブレードを回転数；３０，０００ｒｐｍ、切削速度；３．０ｍｍ／ｓの条件で、ブレード先端が、コアパターン３０３の底面よりも下部クラッド層３０２側に食い込むように切削加工し、コアパターン３０３光軸上に光路変換ミラー３０６を、同時に光路変換ミラー３０６と対向する傾斜面を形成した。このときダミーコアにも傾斜面（アライナーＥ３０９）を形成した。対向する傾斜面の最大幅（コアパターン３０３上部と傾斜面との境界間）は１０５μｍであった。

次に、該コアパターン３０３側面及び上面を覆い、該コアパターン３０３上の厚さが１０μｍになるように、上部クラッド層３０５を積層した。その際にフォトリソグラフィー加工及びエッチング加工によって光路変換ミラー３０６及びダミーコアパターン３０３に設けられた傾斜面（アライナーＥ３０９）が露出するように上部クラッド層３０５を除去した（除去部形状；３．７ｍｍ×２００μｍ）。
得られたミラー付き光導波路部３の両端（１ＣＨと１２ＣＨ）のコアパターン３０３の中心からからコアパターン３０３垂直方向２．３０ｍｍの地点を中心とするφ０．７０ｍｍの２つの穴をドリル加工によって形成し、アライナーＡ３０８とした。光路変換ミラー３０６と穴との設計値からのずれ量は３μｍであった。
次いで、光路変換ミラー３０６からの距離が１．３５ｍｍ位置を先端が矩形のダイシングブレードを用いて切削し、ミラー付き光導波路の端面３０７を形成した。併せて、ミラー付き光導波路の端面３０７の反対方向（光路変換ミラー３０６から１．３５ｍｍ）の地点も同様にダイシングソーで切削し、外形加工を行った。さらに、刃型加工によって、コアパターン３０３に対して平行方向の７外形加工を行った。刃型による外形線は、略Ｓ字状に加工し、光路変換ミラー３０６上の幅（Ｘ１）が６．４ｍｍ、ミラー付き光導波路の端面側の幅（Ｘ２）が４．１ｍｍとした（図４及び図５参照）。
得られたミラー付き光導波路部３の厚みは１０５μｍであった。

＜光伝送路ケーブルの作製＞
光伝送路１としてＧＩ５０で１２ＣＨのリボンファイバ（１ＣＨのクラッド直径が１２５μｍ、コア直径が５０μｍであり、ピッチが２５０μｍ）を用い、一方の先端の被覆を剥離し、それぞれの先端を揃えた後に、光伝送路コネクタ部２（白山製作所製、ＭＴコネクタ、図中には光ファイバを固定する部分のみを図示し、その他の筐体等は図示していない）の光ファイバ溝に光ファイバをそれぞれ搭載し、熱硬化接着剤（Ｅｐｏｘｙ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ社製、ＥＰＯ−ＴＥＫ−３５３ＮＤ）を用いて固定して光伝送路ケーブルを作製した。このとき、ミラー付き光導波路部３側の光伝送路コネクタ平面と、光ファイバの先端とを揃えるように固定した。光ファイバの先端の一部にはバリが突出していた。

＜押さえ治具＞
押さえ治具部６として、エポキシ樹脂硬化物にて形成された厚さ２５０μｍ、アライナーＡ’用の穴（φ０．７０ｍｍ、穴間距離２．６０ｍｍ）、穴中心間を結ぶ直線からミラー付き光導波路の端面３０７方向の外形線までの垂直距離（Ｘ１相当）が、１．２２５ｍｍ、穴中心間を結ぶ直線上の幅６．４ｍｍ、ミラー付き光導波路の端面３０７側の幅（Ｘ２相当）が、４．１ｍｍ、アライナーＦとして、先に形成したミラー付き光導波路のダミーコアパターン３０４に形成された対向する斜面と嵌合するためのミラー付き光導波路側の平面に対向する斜面（斜面同士のなす角９０°で、ミラー付き光導波路部３との接触面から１０μｍ上方の対向する斜面の距離が１０５μｍ）の押さえ治具を準備した（図６参照）。

＜光モジュールの作製＞
上記で得られた光伝送路ケーブルのアライナーＢ２０１の穴にφ０．６９８ｍｍの嵌合ピン８を挿入し、あらためてアライナーＢ２０１とし、該アライナーＢ２０１に上記で得られたミラー付き光導波路部３に設けられたアライナーＡ３０８の穴と嵌合し、さらにアライナーＢ２０１に上記で得られた押さえ治具のアライナーＡ’の穴と嵌合して光モジュールとした。このときアライナーＥ３０９とアライナーＦ６０１も嵌合され光ファイバとミラー付き光導波路部３の光路変換ミラー３０６との位置合わせをサポートされていた。さらに、光伝送ケーブル、ミラー付き光導波路部３、押さえ治具部６が外れないようにバネ状のクランプで挟んだ。
光ファイバの先端のバリは、ミラー付き光導波路部３の光伝送とコネクタとの接地面側樹脂層（クラッド層）に埋め込まれていた。また、光伝送路コネクタの底面からの突出部７の突出長は、１２５μｍであった。光ファイバの先端と光路変換ミラー３０６との位置ズレは最大で２μｍであった。

＜光モジュールの光損失＞
得られた光モジュールのミラー付き光導波路の端面３０６からＧＩ５０の光ファイバを用いて光を入射し、光ファイバの光伝送路コネクタ部２と反対の端面から出力される光を検出することにより、光モジュールの光損失を測定した。
その結果、波長８５０ｎｍの光を用いたところ、２．１ｄＢであり良好であった。ミラー付き光導波路の端面３０６から入射する光ファイバを隣のＣＨに変更したところ−３０ｄＢ以下であった。次に上記検出側からＧＩ５０にて光を入射し、ミラー付き光導波路端面から出力される光を検出したところ、１．７ｄＢであり良好であった。検出位置を隣のミラー付き光導波路部の端面３０６に変更したところ−３０ｄＢ以下であった。
なお、ミラー付き光導波路部３に用いた光導波路の８５０ｎｍにおける単位長さあたりの光損失値は０．２ｄＢ／ｃｍである。

波長１０５０ｎｍの光を用いたところ、２．４ｄＢであり良好であった。ミラー付き光導波路の端面３０６から入射する光ファイバを隣のＣＨに変更したところ−３０ｄＢ以下であった。次に上記検出側からＧＩ５０にて光を入射し、ミラー付き光導波路端面から出力される光を検出したところ、１．９ｄＢであり良好であった。検出位置を隣のミラー付き光導波路の端面３０６に変更したところ−３０ｄＢ以下であった。
なお、ミラー付き光導波路部３に用いた光導波路の１０５０ｎｍにおける単位長さあたりの光損失値は０．４ｄＢ／ｃｍである。
波長１３１０ｎｍの光を用いたところ、２．５ｄＢであり良好であった。ミラー付き光導波路の端面３０６から入射する光ファイバを隣のＣＨに変更したところ−３０ｄＢ以下であった。次に上記検出側からＧＩ５０にて光を入射し、ミラー付き光導波路端面から出力される光を検出したところ、２．０ｄＢであり良好であった。検出位置を隣のミラー付き光導波路の端面３０６に変更したところ−３０ｄＢ以下であった。
なお、ミラー付き光導波路部３に用いた光導波路の１３１０ｎｍにおける単位長さあたりの光損失値は０．６ｄＢ／ｃｍである。

波長１５５０ｎｍの光を用いたところ、２．８ｄＢであり良好であった。ミラー付き光導波路部の端面３０６から入射する光ファイバを隣のＣＨに変更したところ−３０ｄＢ以下であった。次に上記検出側からＧＩ５０にて光を入射し、ミラー付き光導波路端面から出力される光を検出したところ、２．４ｄＢであり良好であった。検出位置を隣のミラー付き光導波路の端面３０６に変更したところ−３０ｄＢ以下であった。
なお、ミラー付き光導波路部３に用いた光導波路の１５５０ｎｍにおける単位長さあたりの光損失値は３．２ｄＢ／ｃｍである。
このように得られた光モジュールのミラー付き光導波路部３のコアパターン３０３の長さが小さいため、使用する光信号の波長による光損失差は小さくなりいずれの波長でも良好な伝搬損失を得た。

実施例２
実施例１で得られた光モジュールのミラー付き光導波路の端面３０７側に上記で使用した熱硬化接着剤を光路変換ミラー３０６に回り込まないように滴下し、熱硬化したところクランプ１０を外しても光伝送路ケーブル、ミラー付き光導波路部３、押さえ治具部６が外れることはなかった。光損失も実施例１とほぼ同等の値であり良好であった。

実施例３
＜光導波路を用いた光伝送路ケーブルの作製＞
光伝送路１として幅２．９９９ｍｍ、厚みが１００μｍ、コアパターンの本数が２４ＣＨ（１２５μｍピッチ）、コアパターンの長さが５ｃｍの光導波路（クラッド層及びコアパターンは実施例１で使用した材料と同一）を作製し、光伝送路コネクタ部２（白山製作所製、ＰＭＴコネクタ、図示していない）の光導波路溝に光ファイバをそれぞれ搭載し、熱硬化接着剤（Ｅｐｏｘｙ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ社製、ＥＰＯ−ＴＥＫ−３５３ＮＤ）を用いて固定して光伝送路ケーブルを作製した。また、ミラー付き光導波路部３も上記で作製した光導波路のコアパターンの位置とピッチが合うようにコアパターン３０３の位置及びピッチ及び本数を変更した。
得られた光伝送路ケーブルとミラー付き光導波路部３を用いて実施例１と同様に光モジュールとした。光導波路のコアパターンの先端と光路変換ミラー３０６との位置ズレは最大で３．４μｍであった。
得られた光モジュールのミラー付き光導波路の端面３０６からＧＩ５０の光ファイバを用いて光を入射し、光ファイバの光伝送路コネクタ部２と反対の端面から出力される光を検出することにより、光モジュールの光損失を測定した。
その結果、波長８５０ｎｍの光を用いたところ、２．９ｄＢであり良好であった。ミラー付き光導波路の端面３０６から入射する光ファイバを隣のＣＨに変更したところ−３０ｄＢ以下であった。
次に上記検出側からＧＩ５０にて光を入射し、ミラー付き光導波路端面から出力される光を検出したところ、２．７ｄＢであり良好であった。検出位置を隣のミラー付き光導波路の端面３０６に変更したところ−３０ｄＢ以下であった。

実施例４
実施例１において、光伝送路ケーブルを作製した後に、光ファイバの先端面を光伝送路コネクタごと研磨した。このとき研磨する角度を８°にして傾斜面２０３を形成した。また一部（ミラー付き光導波路の端面３０７側）垂直面２０４を残し、さらに、傾斜面２０３と垂直面２０４の接続部分の角を半径１ｍｍで面取りした。なお光ファイバの先端面は傾斜面２０３に配置されている。
また、ミラー付き光導波路部３の光路変換ミラー３０６形成用のダイシングブレードを９４°開口（４７°の傾斜面）のブレードに変更した以外は実施例１と同様にミラー付き光導波路部３を作製し、押さえ治具部６は、実施例１における押さえ治具部６のうちアライナーＦがなく、光路変換ミラー３０６上に押し当てられる面が、ミラー付き光導波路の端面３０７側の押し当て面に対して光伝送路１側に８°傾斜した押し当て冶具にした以外は同様の方法で光モジュールを作製した。光伝送路コネクタの底面からの突出部７の突出長は、１２３μｍであった。光ファイバの先端と光路変換ミラー３０６との位置ズレは最大で２μｍであった。

＜光モジュールの光損失＞
得られた光モジュールのミラー付き光導波路の端面３０６からＧＩ５０の光ファイバを用いて光を入射し、光ファイバの光伝送路コネクタ部２と反対の端面から出力される光を検出することにより、光モジュールの光損失を測定した。
その結果、波長８５０ｎｍの光を用いたところ、２．０ｄＢであり良好であった。ミラー付き光導波路の端面３０６から入射する光ファイバを隣のＣＨに変更したところ−３０ｄＢ以下であった。次に上記検出側からＧＩ５０にて光を入射し、ミラー付き光導波路端面から出力される光を検出したところ、１．５ｄＢであり良好であった。検出位置を隣のミラー付き光導波路の端面３０６に変更したところ−３０ｄＢ以下であった。
波長１０５０ｎｍの光を用いたところ、２．２ｄＢであり良好であった。ミラー付き光導波路の端面３０６から入射する光ファイバを隣のＣＨに変更したところ−３０ｄＢ以下であった。次に上記検出側からＧＩ５０にて光を入射し、ミラー付き光導波路端面から出力される光を検出したところ、２．０ｄＢであり良好であった。検出位置を隣のミラー付き光導波路の端面３０６に変更したところ−３０ｄＢ以下であった。
波長１３１０ｎｍの光を用いたところ、２．２ｄＢであり良好であった。ミラー付き光導波路の端面３０６から入射する光ファイバを隣のＣＨに変更したところ−３０ｄＢ以下であった。次に上記検出側からＧＩ５０にて光を入射し、ミラー付き光導波路端面から出力される光を検出したところ、１．９ｄＢであり良好であった。検出位置を隣のミラー付き光導波路の端面３０６に変更したところ−３０ｄＢ以下であった。
波長１５５０ｎｍの光を用いたところ、２．７ｄＢであり良好であった。ミラー付き光導波路の端面３０６から入射する光ファイバを隣のＣＨに変更したところ−３０ｄＢ以下であった。次に上記検出側からＧＩ５０にて光を入射し、ミラー付き光導波路端面から出力される光を検出したところ、２．２ｄＢであり良好であった。検出位置を隣のミラー付き光導波路の端面３０６に変更したところ−３０ｄＢ以下であった。
また、実施例１で作製した光モジュールとは異なり研磨の工程を行った分、製造プロセス的には煩雑であったが、得られた光モジュールのＣＨ間の光損失ばらつきは±０．１４ｄＢ（実施例１では±０．２４ｄＢ）と小さかった。
また、いずれの波長においても反射減衰量は−３０ｄＢ以下であった。

実施例５
（第１の実施の態様の光モジュールの作製）
＜電気配線板＞
厚さ０．２ｍｍのＦＲ−４基板の両面上に、受光素子と発光素子の実装部と、ワイヤーボンディングによって接続されるパターン、該素子を駆動させるドライバＩＣ用のパターン、外部の筐体とに電気的に接続されるパターン、その他素子を実装するためのＣｕ及びその表層にＮｉ／Ａｕめっきが施された導体パターン４０１、表裏の導体パターンをつなぐビアホールが形成された日立化成エレクトロニクス社製の電気配線板４を作製した（図１には、ワイヤーボンディング用の導体パターン４０１のみを図示する。図７には、図示しない。）。
さらに、各種素子の実装の妨げにならずアライナーＤ４０３を形成する箇所に、スペーサ用のビルドアップ材（日立化成株式会社製、商品名；ＡＳ−ＺＩＩＩ）を用いて電気配線表面からワイヤーボンディングの最高高さ＋１０μｍ分の厚みのスペーサを形成した（該スペーサも電気配線板４の一部とする）。次にアライナーＤ４０３として受発光部５０１となる位置から、光伝送路１側になる方向に２ｍｍ、前記方向と垂直方向に中心距離４．６ｍｍとなる位置にφ０．５ｍｍの貫通穴を形成した（該貫通穴は先に形成したビルドアップ材も貫通している）。

次に、上記で得られた電気配線板４上にワイヤーボンディング５０２を用いて受光素子（受光部が２５０μｍピッチで４つ配列したフォトダイオード）及び発光素子（発光部が２５０μｍピッチで４つ配列したＶＣＳＥＬ（Ｖｅｒｔｉｃａｌ Ｃａｖｉｔｙ Ｓｕｒｆａｃｅ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ ＬＡＳＥＲ））、それらを駆動するためのドライバＩＤ、それらの素子の駆動を制御するための各種素子、それらを冷却する金属板（Ｃｕ）を実装した（図中には受光及び発光素子のみを図示する）。上記の４つの受光面と４つの発光面は１２ＣＨの光ファイバ（ミラー付き光導波路の端面３０７）のうち１〜４ＣＨと９〜１２ＣＨと結合する位置に配置している。また、上記受光素子及び発光素子は実装面（電気配線板４側の面）と受発光面５０１が対向している。

＜光伝送ケーブル＞
実施例１に用いた光伝送路コネクタ部２の電気配線４接合側にコアパターン３０３と同様の樹脂を用いフォトリソグラフィー加工にて、高さ１２０μｍ、φ０．４９７ｍｍの突起（アライナーＣ２０２）を２箇所形成した。アライナーＣ２０２は、ミラー付き光導波路部３接合面側（ミラー付き光導波路の端面側の垂直面２０４側）から１９２７．５μｍの位置で、それらの中心間距離が４．６ｍｍとした。その後の光モジュールの作製は実施例１と同様に作製した。

＜光モジュール＞
実施例１に用いた光伝送路コネクタ部２の電気配線４接合側にコアパターン３０３と同様の樹脂を用いフォトリソグラフィー加工にて、高さ１２０μｍ、φ０．４９７ｍｍの突起（アライナーＣ２０２）を２箇所形成した。アライナーＣ２０２は、ミラー付き光導波路部３接合面側から１９２７．５μｍの位置で、それらの中心間距離が４．６ｍｍとした。その後の光モジュールの作製は実施例１と同様に作製した。

＜電気配線板付き光モジュール＞
次に、上記で得られた電気配線板４と、光モジュールとを、アライナーＣ２０２及びアライナーＤ４０３にて接合し、電気配線板付き光モジュールとした。このとき受発光面５０１とミラー付き光導波路の端面３０７との距離は５０μｍであった。また、受発光素子５、ドライバＩＣ、放熱体等に上記光モジュール（光伝送路コネクタ部２やミラー付き光導波路部３や押さえ治具部６）に干渉することはなく、組み立てが容易であった。さらに上記で用いた熱硬化性接着剤を用いてミラー付き光導波路の端面３０７と受発光面とを封止した。
光ファイバの１〜４ＣＨに入力した光信号は受光素子に良好に伝搬し駆動することを確認した。発光素子からの光信号は９〜１２ＣＨから良好に出力されていた。
また、ミラー付き光導波路の端面３０７と受発光面５０１の最大ずれ量は２μｍであった。

実施例６
実施例５において、光ファイバの両端を光モジュールとした以外は同様の方法で光モジュールを作製した。なお、一方端の光モジュールの受光素子（発光素子）は、もう一方端の発光素子（受光素子）と光学的に結合されている。
その結果、一方の電気配線板４へ電気的に入力された光信号は、発光素子にて電気／光変換され、もう一方の電気配線板４に実装された受光素子にて再度電気信号に変換され、良好に信号の送受が可能であった。

実施例７
（図３の第２の実施の態様の光モジュールの作製）
＜電気配線板＞
厚さ０．１５ｍｍのＦＲ−４基板の両面上に、受光素子と発光素子のフリップチップ用パッドと、該素子を駆動させるドライバＩＣ用のパターン、外部の筐体とに電気的に接続されるパターン、その他素子を実装するためのＣｕ及びその表層にＮｉ／Ａｕめっきが施された導体パターン４０１、表裏の導体パターンをつなぐビアホールが形成された日立化成エレクトロニクス社製の電気配線板４を作製した（図２には受光素子と発光素子のフリップチップパッドのみを図示する、図７には、図示しない）。
次いで実施例６で形成したビルドアップ材を形成せずにアライナーＤ４０３を形成した（貫通穴）。さらにルーター加工によって幅１２０μｍ、長さ４．２ｍｍの開口部４０２を形成し、さらに該開口部４０２と接続した幅２５０μｍ、長さ４．２ｍｍ、深さ５０μｍの凹部（アライナーＤ４０３）を形成した。

次いで電気配線板４上にフリップチップ実装で受光素子（受光部が２５０μｍピッチで４つ配列したフォトダイオード）及び発光素子（発光部が２５０μｍピッチで４つ配列したＶＣＳＥＬ（Ｖｅｒｔｉｃａｌ Ｃａｖｉｔｙ Ｓｕｒｆａｃｅ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ ＬＡＳＥＲ））、それらを駆動するためのドライバＩＤ、それらの素子の駆動を制御するための各種素子、それらを冷却する金属板（Ｃｕ）を実装した（図中には受光及び発光素子のみを図示する）。上記の４つの受光面と４つの発光面は１２ＣＨの光ファイバ（ミラー付き光導波路の端面３０７）のうち１〜４ＣＨと９〜１２ＣＨと結合する位置に配置している。また、上記受光素子及び発光素子は実装面（電気配線板４側の面）と受発光面５０１が同一方向となり、受発光面５０１は、開口部４０２内に位置している。

＜ミラー付き光導波路＞
実施例１において、ミラー付き光導波路の突出長を２００μｍ延長した以外は同様の方法でミラー付き光導波路を作製した。その後、実施例１と同様にミラー付き光導波路部３付きの光伝送路ケーブルの複合体である光モジュールを作製した。

＜押さえ治具＞
アライナーＢ２０１とアライナーＡ’６０２が位置合わせされ接合されたときに光伝送路コネクタ部２におけるミラー付き光導波路端面側の底部２０５よりも５０μｍ突出するように押さえ治具を変更した。この突出部がアライナーＣ２０２の一部となる。

＜電気配線板付き光モジュールの作製＞
上記で得られた光モジュールを、上記で得られた電気配線板４の受光及び発光素子５実装面と反対の面側から、光伝送路コネクタ部２及び押さえ治具部６に設けられたアライナーＣ２０２及び電気配線板４に設けられたアライナーＤとを嵌合させて電気配線板付き光モジュールとした。このとき受発光面５０１とミラー付き光導波路の端面３０７との距離は６０μｍであった。また、このときにクランプ１０を取り外しても、光伝送路コネクタ部２とミラー付き光導波路部３と押さえ治具部６とがばらばらになることはなかった。さらに上記で用いた熱硬化性接着剤を用いてミラー付き光導波路の端面３０７と受発光面５０１とを封止した。これ以降の工程で、光伝送路コネクタ部２、ミラー付き光導波路部３、電気配線板４、押さえ治具部６とが外れることはなく良好にハンドリングが可能であった。
光ファイバの１〜４ＣＨに入力した光信号は受光素子に良好に伝搬し駆動することを確認した。発光素子からの光信号は９〜１２ＣＨから良好に出力されていた。
また、ミラー付き光導波路の端面３０７と受発光面５０１の最大ずれ量は２μｍであった。

実施例８
実施例７で形成した電配線板付きの光モジュールを実施例６と同様に光ファイバの両端に設けた。なお、一方端の光モジュールの受光素子（発光素子）は、もう一方端の発光素子（受光素子）と光学的に結合されている。
その結果、一方の電気配線板へ電気的に入力された光信号は、発光素子にて電気／光変換され、もう一方の電気配線板に実装された受光素子にて再度電気信号に変換され、良好に信号の送受が可能であった。

実施例９
（図４の第２の実施の態様の光モジュールの作製）
実施例４で形成した光モジュールを組み立てる前に光伝送路コネクタ部２に実施例５と同様のアライナーＣ２０２を設け、実施例７と同様に電気配線板４付きの光モジュールを作製した。
光ファイバの１〜４ＣＨに入力した光信号は受光素子に良好に伝搬し駆動することを確認した。発光素子からの光信号は９〜１２ＣＨから良好に出力されていた。
また、ミラー付き光導波路の端面３０７と受発光面５０１の最大ずれ量は２μｍであった。

実施例１０
実施例９で形成した電配線板付きの光モジュールを実施例６と同様に光ファイバの両端に設けた。なお、一方端の光モジュールの受光素子（発光素子）は、もう一方端の発光素子（受光素子）と光学的に結合されている。
その結果、一方の電気配線板へ電気的に入力された光信号は、発光素子にて電気／光変換され、もう一方の電気配線板に実装された受光素子にて再度電気信号に変換され、良好に信号の送受が可能であった。

実施例１１
実施例７において透明樹脂９としての熱硬化接着剤で封止する際に、該熱硬化接着剤を電気配線板４と光伝送路コネクタ部２との間、及び光路変換ミラー３０６を汚染しないように注意して、光伝送路コネクタ部２とミラー付き光導波路部３（端面側付近）間、ミラー付き光導波路部３と押さえ治具部６間に浸透させ封止と同時にそれらを接着した。その結果、クランプ１０を外してもそれらは後の工程で外れることなく、ハンドリングも良好であった。

実施例１２
実施例５においてミラー付き光導波路の端面３０７の突出長さを０μｍにした以外は同様の方法で光モジュールを作製した。光損失は大きくなったが、受光及び発光素子を用いた信号伝送は可能であった。

本発明により、光路上の異物の付着等を抑制でき、省スペースで光伝送路ケーブルを搭載でき、光信号の波長帯域が広く、低損失な光モジュールを提供できる。このため、光電変換部材、光電気複合部材、オンボード上の光伝送モジュール、光伝送路ケーブル、光ファイバケーブル、光電気複合ケーブル、光インターコネクションなどの幅広い分野に適用可能である。

１．光伝送路
２．光伝送路コネクタ部
２０１．アライナーＢ
２０２．アライナーＣ
２０３．ミラー付き光導波路側の傾斜面
２０４．ミラー付き光導波路側の垂直面
２０５．ミラー付き光導波路端面側の底面
３．ミラー付き光導波路部
３０１．基板
３０２．クラッド層（下部クラッド層）
３０３．コアパターン
３０４．ダミーのコアパターン
３０５．クラッド層（上部クラッド層）
３０６．光路変換ミラー
３０７．ミラー付き光導波路の端面
３０８．アライナーＡ
３０９．アライナーＥ
３１０．光伝送路コネクタとの接地面側樹脂層
Ｘ１．光路変換ミラー部分の幅
Ｘ２．ミラー付き光導波路端面側の幅
４．電気配線板
４０１．導体パターン
４０２．開口部
４０３．アライナーＤ
５．受光素子（発光素子）
５０１．受光面（発光面）
５０２．ワイヤーボンディング（ワイヤー）
６．押さえ治具
６０１．アライナーＦ
６０２．アライナーＡ’
７．突出部
８．嵌合ピン
９．透明樹脂
１０．クランプ

Claims (26)

1. コアパターンと、前記コアパターンを覆うクラッド層と、前記コアパターンの光軸上に形成された光路変換ミラーと、前記コアパターンの前記光路変換ミラー側と反対側に位置する受光及び／又は発光素子接続用端面と、アライナーＡとを有するミラー付き光導波路部と、
   光伝送路の少なくとも一方の端を保持し、かつ、前記アライナーＡと位置合わせするためのアライナーＢを有する光伝送路コネクタ部と、を有し、
   前記ミラー付き光導波路部と前記光伝送路コネクタ部とが、前記光伝送路の光軸と前記コアパターンの光軸とが前記光路変換ミラーを介して折れ曲がって光学的に結合するように、前記アライナーＡ及び前記アライナーＢとで位置合わせされて接合された構造を有する光モジュール。
2. 前記ミラー付き光導波路部の前記光伝送路コネクタ部との接合面と反対の面に、前記ミラー付き光導波路部を固定する押さえ治具部をさらに有する請求項１に記載の光モジュール。
3. 前記ミラー付き光導波路部の、受光及び／又は発光素子接続用端面が、隣接する光伝送コネクタ部の面と同一平面か突出した構造である請求項１又は２に記載の光モジュール。
4. 前記ミラー付き光導波路部のコアパターンの断面積が、前記光路変換ミラー側から受光及び／又は発光素子接続用端面側への方向に、拡大又は縮小する請求項１〜３のいずれかに記載の光モジュール。
5. 前記ミラー付き光導波路部において、前記光伝送路コネクタ部との光路変換ミラー直下の接地面が、光伝送路の光軸垂直方向に対して傾斜している請求項１〜４のいずれかに記載の光モジュール。
6. 前記ミラー付き光導波路部において、コアパターンが湾曲している請求項１〜５のいずれかに記載の光モジュール。
7. 前記ミラー付き光導波路部において、光路変換ミラーの近傍のコアパターンの位置が、受光及び又は発光素子接続用端面のコアパターンの位置よりも光伝送路コネクタ側にある請求項１〜６のいずれかに記載の光モジュール。
8. 前記ミラー付き光導波路部がフィルム状である請求項１〜７のいずれかに記載の光モジュール。
9. 前記ミラー付き光導波路部において、前記受光及び／又は発光素子側の端面の厚みが、６５μｍ以上５００μｍ以下である請求項１〜８のいずれかに記載の光モジュール。
10. 前記ミラー付き光導波路部において、コアパターンは、その光軸方向に対して垂直方向でかつ光伝送路の光軸方向に対しても略垂直方向の幅が、前記光路変換ミラー部分の幅よりも前記受光及び／又は発光素子側の端面の幅が小さい請求項１〜９のいずれかに記載の光モジュール。
11. 前記光路変換ミラーがコアパターンの光軸上に形成された傾斜面であって、隣接するコアパターンの傾斜面とは不連続である請求項１〜１０のいずれかに記載の光モジュール。
12. 前記ミラー付き光導波路部が、基板と、その一方の面上に形成されたクラッド層及びコアパターンと、他方の面上に形成され、前記クラッド層又はコアパターンと同一屈折率の樹脂層と、を有するものである請求項１〜１１のいずれかに記載の光モジュール。
13. 前記ミラー付き光導波路部と前記光伝送路コネクタ部とは、前記光路変換ミラーの位置において前記コネクタ部の前記光伝送路の端面と接触するものである請求項１〜１２のいずれかに記載の光モジュール。
14. 前記光コネクタ部における光伝送路の先端面が、非研磨面であって、前記光伝送路の先端の凹凸の一部が、前記ミラー付き光導波路部に埋没されてなる請求項１〜１３のいずれかに記載の光モジュール。
15. さらに、受光及び／又は発光素子を有する電気配線板を含み、前記ミラー付き光導波路部における受光及び／又は発光素子接続用端面と、前記受光及び／又は発光素子の受発光面が、光学的に接続するように、前記電気配線板に前記ミラー付き光導波路部及び前記光伝送路コネクタ部が搭載されてなる請求項１〜１４のいずれかに記載の光モジュール。
16. 前記受光及び／又は発光素子が電気配線板の前記ミラー付き光導波路部側に搭載されてなる請求項１５に記載の光モジュール。
17. 前記受光及び／又は発光素子がワイヤーボンディングで電気配線板に接続されており、前記ミラー付き光導波路部の受光及び／又は発光素子接続用端面が、前記ワイヤーボンディングのワイヤーの最上部よりも前記受光及び／又は発光素子側に位置する請求項１５又は１６に記載の光モジュール。
18. 前記受光及び／又は発光素子が電気配線板の前記ミラー付き光導波路部側とは反対側に搭載されており、前記受光及び／又は発光素子の受発光面は前記ミラー付き光導波路部側にある請求項１５に記載の光モジュール。
19. 前記電気配線板が開口部を有し、前記開口部内に前記ミラー付き光導波路部の受光及び／又は発光素子接続用端面が配置されてなる請求項１５〜１８のいずれかに記載の光モジュール。
20. 前記光伝送路コネクタ部及び／又は前記押さえ治具部がアライナーＣをさらに有し、前記電気配線板がアライナーＤをさらに有し、押さえ治具前記アライナーＣ及び前記アライナーＤとで位置合わせされて接合されてなる請求項１５〜１９のいずれかに記載の光モジュール。
21. 前記ミラー付き光導波路部が前記光路変換ミラーと位置の相関が確保された傾斜面からなるアライナーＥをさらに有し、前記押さえ治具部がアライナーＦを有し、前記ミラー付き光導波路部と前記押さえ治具部とがアライナーＥと前記アライナーＦとで位置合わせされて接合される請求項１５〜２０のいずれかに記載の光モジュール。
22. 前記光モジュールにおける前記ミラー付き光導波路部の受光及び／又は発光素子接続用端面と、電気配線基板における前記受光及び／又は発光素子とが、透明樹脂によって封止されてなる請求項１５〜２１のいずれかに記載の光モジュール。
23. 光伝送路を光伝送用コネクタ部に搭載する工程Ａ、
    コアパターンと、前記コアパターンを覆うクラッド層と、前記コアパターンの光軸上に形成された光路変換ミラーを有するミラー付き光導波路部と、前記光伝送路コネクタ部とが、前記光伝送路の光軸と前記コアパターンの光軸とが前記光路変換ミラーを介して折れ曲がって光学的に接合する工程Ｂ、
    前記工程Ｂの後に、前記光伝送路コネクタ部及び前記ミラー付き光導波路部を、受光及び／又は発光素子を有する電気配線板に接合する工程Ｃを有する光モジュールの製造方法。
24. 前記工程Ｂが、ミラー付き光導波路部に具備されたアライナーＡと前記光伝送路コネクタ部に具備されたアライナーＢとを位置合わせすることで接合する請求項２３に記載の光モジュールの製造方法。
25. 前記工程Ｂと工程Ｃの間に、前記ミラー付き光導波路部の前記光伝送路コネクタ部との接合面と反対の面に、前記ミラー付き光導波路部を、押さえ治具部により固定する工程Ｄを有する請求項２３又は２４に記載の光モジュールの製造方法。
26. 前記工程Ｃが、光伝送路コネクタ部及び／又は前記押さえ治具部に具備されたアライナーＣと前記電気配線板に具備されたアライナーＤとを位置合わせして接合する請求項２５に記載の光モジュールの製造方法。

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