WO2011111297A1 - 構造体、配線基板および配線基板の製造方法 - Google Patents

構造体、配線基板および配線基板の製造方法 Download PDF

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WO2011111297A1
WO2011111297A1 PCT/JP2011/000665 JP2011000665W WO2011111297A1 WO 2011111297 A1 WO2011111297 A1 WO 2011111297A1 JP 2011000665 W JP2011000665 W JP 2011000665W WO 2011111297 A1 WO2011111297 A1 WO 2011111297A1
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conductor
layer
connection member
wiring board
ground
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小林 直樹
博 鳥屋尾
徳昭 安道
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日本電気株式会社
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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/0213Electrical arrangements not otherwise provided for
    • H05K1/0216Reduction of cross-talk, noise or electromagnetic interference
    • H05K1/0236Electromagnetic band-gap structures
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01PWAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P1/00Auxiliary devices
    • H01P1/20Frequency-selective devices, e.g. filters
    • H01P1/2005Electromagnetic photonic bandgaps [EPB], or photonic bandgaps [PBG]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01QANTENNAS, i.e. RADIO AERIALS
    • H01Q15/00Devices for reflection, refraction, diffraction or polarisation of waves radiated from an antenna, e.g. quasi-optical devices
    • H01Q15/0006Devices acting selectively as reflecting surface, as diffracting or as refracting device, e.g. frequency filtering or angular spatial filtering devices
    • H01Q15/006Selective devices having photonic band gap materials or materials of which the material properties are frequency dependent, e.g. perforated substrates, high-impedance surfaces
    • HELECTRICITY
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    • H01QANTENNAS, i.e. RADIO AERIALS
    • H01Q15/00Devices for reflection, refraction, diffraction or polarisation of waves radiated from an antenna, e.g. quasi-optical devices
    • H01Q15/0006Devices acting selectively as reflecting surface, as diffracting or as refracting device, e.g. frequency filtering or angular spatial filtering devices
    • H01Q15/006Selective devices having photonic band gap materials or materials of which the material properties are frequency dependent, e.g. perforated substrates, high-impedance surfaces
    • H01Q15/008Selective devices having photonic band gap materials or materials of which the material properties are frequency dependent, e.g. perforated substrates, high-impedance surfaces said selective devices having Sievenpipers' mushroom elements
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49117Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49124On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
    • Y10T29/49155Manufacturing circuit on or in base
    • Y10T29/49165Manufacturing circuit on or in base by forming conductive walled aperture in base

Definitions

  • the present invention relates to a structure, a wiring board, and a method for manufacturing the wiring board.
  • EBG structure electromagnetic bandgap structure
  • FIG. 2 shows a structure in which a plurality of island-like conductor elements are arranged above a sheet-like conductor plane and each of the island-like conductor elements is connected to the conductor plane by vias, a so-called mushroom-type EBG structure. .
  • the frequency band that can be suppressed by the EBG structure described in Patent Document 1 is relatively high, and the suppression effect to a lower frequency band is weak.
  • the present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a structure capable of sufficiently suppressing electromagnetic wave propagation in both a high frequency band and a low frequency band, or the structure. It is to provide a wiring board having the same.
  • the first conductor and the second conductor respectively formed in the first layer and the second layer facing each other, the connection member connecting the first conductor and the second conductor, A third conductor formed on a third layer located between the first layer and the second layer, facing the first conductor and the second conductor, and provided on the third conductor; Formed in a fourth layer different from the third layer, located between the opening through which the connection member passes, and the first layer and the second layer, facing the third conductor, And a fourth conductor electrically connected to the connection member passing through the opening provided in the three conductors.
  • connection member which has connected the 1st conductor and the 2nd conductor which are respectively formed in the mutually opposing 1st layer and 2nd layer, and the said 1st conductor and the said 2nd conductor
  • a third conductor formed on a third layer located between the first layer and the second layer, and facing the first conductor and the second conductor, and provided on the third conductor Formed in a fourth layer different from the third layer located between the opening through which the connection member passes and the first layer and the second layer, and facing the third conductor
  • a wiring board comprising: a fourth conductor electrically connected to the connecting member passing through the opening provided in the third conductor.
  • a structure that can sufficiently suppress electromagnetic wave propagation in both a high frequency band and a low frequency band, or a wiring board having the structure is provided.
  • FIG. 1st embodiment of the present invention It is a perspective view of the structure concerning a 1st embodiment of the present invention. It is sectional drawing of the structure shown in FIG. It is the upper side figure and sectional drawing of the wiring board which concern on 1st Embodiment. It is a figure which shows the arrangement pattern of the structure which a wiring board can take. It is a figure which shows the arrangement pattern of the structure which a wiring board can take. It is a figure which shows the arrangement pattern of the structure which a wiring board can take. It is a perspective view of the modification of the structure of a 1st embodiment. It is a perspective view of the structure concerning a 2nd embodiment of the present invention. It is sectional drawing of the structure shown in FIG.
  • FIG. 1 is a perspective view of a structure 100 according to the first embodiment of the present invention.
  • the structure 100 includes various conductive components formed on the A layer 110 (first layer), the B layer 120 (fourth layer), the C layer 130 (third layer), or the D layer 140 (second layer). Consists of.
  • the A layer 110, the B layer 120, the C layer 130, or the D layer 140 are each layer of the wiring board 1000 and face each other.
  • the ground conductor 111 (first conductor) and the ground conductor 141 (second conductor) are given a reference potential by grounding or the like.
  • the ground conductor 111 and the ground conductor 141 are formed in the A layer 110 and the D layer 140, respectively, and are connected to each other by a connection member 151.
  • the ground conductor 111 may be formed on the entire surface of the A layer 110 or locally.
  • the ground conductor 141 may be formed on the entire surface of the D layer 140 or locally.
  • the conductor portion 131 (third conductor) is formed in the C layer 130 located between the A layer 110 and the D layer 140.
  • the conductor portion 131 faces the ground conductor 111 and the ground conductor 141.
  • the conductor part 131 is provided with an opening 132 through which the connection member 151 passes, and the conductor part 131 and the connection member 151 are not in contact with each other and are insulated.
  • the conductor 131 may be formed on the entire surface of the C layer 130 or locally.
  • the opening 132 provided in the conductor part 131 may be single or plural.
  • the connecting member 151 passing through the opening 132 may be single or plural.
  • the area of the opening 132 is smaller than the area of the conductor element 121 that is opposed, and at least a part of the conductor element 121 is opposed to the conductor part 131.
  • the conductor element 121 (fourth conductor) is located in the middle of the A layer 110 and the D layer 140 and is formed in the B layer 120 different from the C layer 130.
  • the conductor element 121 is electrically connected to the connection member 151 that faces the conductor portion 131 and passes through the opening 132 provided in the conductor portion 131.
  • the connecting member 151 is illustrated as being connected to the center of the conductor element 121, but is not necessarily connected to the center.
  • connection member 151 may be formed by a build-up method that repeats lamination, through-hole processing, and wiring formation for each layer. Further, the connection member 151 may be a through via.
  • the connection member 151 is a through via, the structure 100 is manufactured by the following procedure. First, (a) the ground conductor 111 is disposed on the A layer 110, the ground conductor 141 is disposed on the D layer 140, the conductor portion 131 is disposed on the C layer, and the conductor element 121 is disposed on the B layer, and the ground conductor 111, the conductor element 121, and the conductor portion 131 are disposed. And the ground conductor 141 are arranged to face each other.
  • a through hole that penetrates the ground conductor 111, the conductor element 121, the conductor portion 131, and the ground conductor 141 is provided, and is insulated from the conductor portion 131 in the through hole, and the ground conductor 111, the conductor element 121, and the ground A connection member 151 connected to the conductor 141 is formed.
  • any method may be used as a method of providing a through hole as long as it is applicable.
  • a through hole may be formed with a drill.
  • any method may be used for forming the connection member 151 as long as it is applicable.
  • the connection member 151 may be formed by plating the inner surface of the through hole.
  • connection member 151 By manufacturing the connection member 151 as a through via, the manufacturing process can be shortened and the manufacturing cost can be reduced as compared with the case of manufacturing by a build-up method.
  • the ground conductor 111, the conductor element 121, the conductor portion 131, and the ground conductor 141 may be any conductor that extends in the surface direction of the layer on which the ground conductor 111 is formed, and the shape thereof can take a plurality of forms. Therefore, in FIG. 1, each is shown as a quadrangle, but the present invention is not limited to this.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view of the cross section shown in FIG. In FIG. 2, spaces surrounded by broken lines have an EBG structure, and are referred to as an EBG structure 171 and an EBG structure 172, respectively.
  • the EBG structure 171 includes a ground conductor 111 formed in the A layer 110, a connection member 151, a conductor portion 131, and a conductor element 121.
  • the EBG structure 172 includes a ground conductor 141 formed in the D layer 140, a connection member 151, a conductor portion 131, and a conductor element 121.
  • the single structure 100 constitutes the EBG structure 171 and the EBG structure 172, and the conductor element 121 is shared by both the EBG structure 171 and the EBG structure 172. Therefore, it is possible to reduce the size of the apparatus by providing two EBG structures.
  • FIG. 3 is a top view and a cross-sectional view of the wiring board 1000 according to the present embodiment. More specifically, FIG. 3A is a top view of the wiring board 1000, and FIG. 3B is a cross-sectional view in the cross section shown in FIG.
  • a quadrilateral indicated by a broken line indicates a conductor element 121 provided in the B layer 120 in each of the repeatedly arranged structures 100.
  • a circle indicated by a broken line indicates a connection member 151 included in each of the structures 100 that are repeatedly arranged.
  • a ground plane including a plurality of ground conductors 111 is formed.
  • the ground plane is a so-called solid conductor, and is supplied with a reference potential by grounding or the like.
  • the ground plane may be single or may be divided into a plurality.
  • a ground plane including a plurality of ground conductors 141 is formed in the D layer 140.
  • the ground plane is a so-called solid conductor, and is supplied with a reference potential by grounding or the like.
  • the ground plane may be single or may be divided into a plurality.
  • each conductor element 121 is formed in an island shape with a gap therebetween, and each of the conductor elements 121 is connected to the ground plane by a connection member 151. In addition, between each conductor element 121 shall be insulated.
  • a conductor plane including a plurality of conductor portions 131 is formed, and an opening 132 through which each connection member 151 connected to the conductor element 121 opposed to each conductor portion 131 passes is provided.
  • the conductor plane is a so-called solid conductor, and may be, for example, a power plane that supplies power. In this case, the conductor plane is given a constant potential. Moreover, the conductor plane may be single or may be divided into a plurality.
  • the A layer 110, the B layer 120, the C layer 130, and the D layer 140 may include a configuration other than the components described above, for example, a transmission line that transmits an electrical signal.
  • the wiring board 1000 may include layers different from the A layer 110, the B layer 120, the C layer 130, and the D layer 140, and these layers include configurations other than the above-described components, such as a transmission line. But you can. However, since the characteristics of the EBG structure formed by the structure 100 are changed when the transmission line is arranged in the vicinity of the region where the structure 100 is repeatedly arranged in the wiring substrate 1000, such an arrangement is It is desirable to avoid it.
  • the wiring board 1000 can suppress electromagnetic wave propagation in a specific frequency band in a region where the structures 100 are repeatedly arranged. That is, the structure 100 may be arranged so as to surround a noise source that generates an electromagnetic wave of a specific frequency band, an element that is desired to be protected from the electromagnetic wave of a specific frequency band, and the arrangement pattern can take a plurality of modes.
  • FIGS. 4 to 6 are diagrams showing arrangement patterns of the structures 100 that the wiring board 1000 can take.
  • the shaded members shown in FIGS. 4 to 6 are the semiconductor package 161 and the semiconductor package 162.
  • the structure 100 may be arranged in a band shape between the semiconductor package 161 and the semiconductor package 162.
  • the structure 100 may be disposed so as to surround the semiconductor package 161.
  • the structure 100 may be disposed so as to surround the semiconductor package 162.
  • the radio waves of the electromagnetic waves can be more effectively suppressed by arranging them to pass through the plurality of structures 100. Therefore, as in the arrangement pattern shown in FIG. 4 or FIG. 5, it is more preferable than the arrangement pattern shown in FIG. 6 that the plurality of structures 100 are arranged in parallel in the direction from one semiconductor package to the other semiconductor package.
  • the distance between the ground conductor 111 and the conductor element 121, the distance between the conductor element 121 and the conductor portion 131, the distance between the conductor portion 131 and the ground conductor 141, the thickness of the connection member 151, the mutual distance between the conductor elements 121, and the like are adjusted.
  • the frequency band that is the object of suppression of electromagnetic wave propagation can be set to a desired value.
  • each of the structures 100 included in the wiring board 1000 of the present embodiment has an EBG structure, an effect of suppressing the frequency band to a relatively high frequency band can be achieved.
  • connection member 151 is connected to the ground conductor 111 and the ground conductor 141. Since the connection members 151 arranged with a certain degree of spacing and to which a reference potential is applied can reduce electromagnetic waves in a relatively low frequency band, the wiring board 1000 can also exert an effect of suppressing to a relatively low frequency band. it can.
  • the conductor element 121 is configured to be shared by both the EBG structure 171 and the EBG structure 172, the number of the B layers 120 in which the conductor element 121 is configured, and the conductor portion 131 are configured. Is equal to the number of C layers 130 formed. This effect will be described with reference to FIG.
  • FIG. 7 is a perspective view of a structure 300 that is a modification of the structure 100 of the present embodiment.
  • the ground conductor 311, the conductor portion 331, the opening 332, the ground conductor 351, and the connection member 361 in FIG. 7 correspond to the ground conductor 111, the conductor portion 131, the opening 132, the ground conductor 141, and the connection member 151, respectively.
  • the difference between the structure 100 and the structure 300 is that the number of layers in which the conductor elements 321 and 341 are formed is larger than the number of layers in which the conductor portions 331 are formed.
  • the structure 300 also constitutes an EBG structure, the electromagnetic wave propagation can be sufficiently suppressed in both the high frequency band and the low frequency band as in the structure 100 if the structures 300 are arranged at a certain interval.
  • the structure 100 can be manufactured thinner than the structure 300.
  • FIG. 8 is a perspective view of the structure 200 according to the second embodiment.
  • the structure 200 is configured by various conductive components formed in the A layer 210, the B layer 220, the C layer 230, the D layer 240, the E layer 250, or the F layer 260.
  • the A layer 210, the B layer 220, the C layer 230, the D layer 240, the E layer 250, or the F layer 260 are each layer of the wiring board 2000 and face each other.
  • the ground conductor 211 and the ground conductor 261 are given a reference potential by grounding or the like.
  • the ground conductor 211 and the ground conductor 261 are formed in the A layer 210 and the F layer 260, respectively, and are interlayer-connected by the connection member 271.
  • the conductor part 231 and the conductor part 251 are formed in the C layer 230 and the E layer 250, respectively.
  • the conductor portion 231 and the conductor portion 251 are provided with an opening 232 and an opening 252 through which the connection member 271 passes.
  • the conductor part 231 and the conductor part 251 are not in contact with the connection member 271 and are insulated.
  • the conductor element 221 and the conductor element 241 are formed on the B layer 220 and the D layer 240, respectively.
  • the conductor element 221 faces the conductor portion 231, and the conductor element 241 faces the conductor portion 251, and is electrically connected to the connection member 271 passing through the opening 232 and the opening 252.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view of the cross section shown in FIG. In FIG. 9, spaces surrounded by broken lines have an EBG structure, which are referred to as an EBG structure 281, an EBG structure 282, and an EBG structure 283, respectively.
  • the EBG structure 281 includes a ground conductor 211, a connection member 271, a conductor portion 231 closest to the ground conductor 211, and a conductor element 221 closest to the ground conductor 211.
  • the EBG structure 282 includes a conductor portion 231, a conductor element 221, a connection member 271, a conductor portion 251, and a conductor element 241.
  • the EBG structure 283 includes a ground conductor 261, a connection member 271, a conductor portion 251 closest to the ground conductor 261, and a conductor element 241 closest to the ground conductor 261.
  • the single structure 200 constitutes the EBG structure 281, the EBG structure 282, and the EBG structure 283.
  • the conductor element 221 is shared by both the EBG structure 281 and the EBG structure 282.
  • the conductor element 241 is shared by both the EBG structure 282 and the EBG structure 283. Therefore, it is possible to reduce the size of the apparatus by providing two EBG structures.
  • the conductor portion 131 is the same as in the first embodiment. It can be seen that the EBG structure is complicatedly formed as compared with the case where the number of formed layers (C layer 130) is single.
  • FIG. 10 is a top view and a cross-sectional view of the wiring board 2000 according to the present embodiment. More specifically, FIG. 10A is a top view of the wiring board 2000, and FIG. 10B is a cross-sectional view in the cross section shown in FIG.
  • a quadrangle indicated by a broken line indicates the conductor element 221 or the conductor element 241 included in each of the structures 200 that are repeatedly arranged.
  • a circle indicated by a broken line indicates the connection member 271 provided in each of the structures 200 that are repeatedly arranged.
  • a ground plane including a plurality of conductors 211 is formed in the A layer 210.
  • a ground plane including a plurality of conductors 261 is formed in the F layer 260.
  • the ground plane is a so-called solid conductor, and is supplied with a reference potential by grounding or the like.
  • the ground plane may be divided into a plurality of parts.
  • a plurality of conductor elements 221 are formed in an island shape with a gap in the B layer 220, and a plurality of conductor elements 241 are formed in an island shape with a gap in the D layer 240.
  • Each of the conductor element 221 or the conductor element 241 is connected to the ground plane by the connection member 271.
  • a conductor plane including a plurality of conductor portions 231 is formed on the C layer 230.
  • the conductor element 221 is opposed to each conductor portion 231. Further, the conductor portion 231 is provided with an opening 232 through which the connection member 271 connected to the opposing conductor element 221 passes.
  • a conductor plane including a plurality of conductor portions 251 is formed on the E layer 250.
  • the conductor element 241 is opposed to each conductor portion 251. Further, the conductor portion 251 is provided with an opening 252 through which the connection member 271 connected to the opposing conductor element 241 passes.
  • the conductor plane is a so-called solid conductor, and may be, for example, a power plane that supplies power. In this case, the conductor plane is given a constant potential.
  • the conductor plane may be divided into a plurality of parts.
  • the A layer 210, the B layer 220, the C layer 230, the D layer 240, the E layer 250, or the F layer 260 may include a configuration other than the above-described components, for example, a transmission line that transmits an electrical signal.
  • the wiring board 2000 may include a layer different from the A layer 210, the B layer 220, the C layer 230, the D layer 240, the E layer 250, and the F layer 260.
  • a configuration, for example, a transmission path may be included.
  • the characteristics of the EBG structure formed by the structure 200 changes when the transmission line is arranged in the vicinity of the region where the structure 200 is repeatedly arranged in the wiring board 2000, such an arrangement is It is desirable to avoid it.
  • each of the structures 200 included in the wiring board 2000 of the present embodiment has an EBG structure, an effect of suppressing the frequency band to a relatively high frequency can be achieved.
  • connection members 271 arranged repeatedly are connected to the ground conductor 211 and the ground conductor 261. Since the connection members 271 that are arranged at a certain interval and to which a reference potential is applied can reduce electromagnetic waves in a relatively low frequency band, the wiring board 2000 can also exert an effect of suppressing the frequency band to a relatively low frequency band. it can.
  • the wiring board 2000 of the present embodiment can sufficiently suppress the propagation of electromagnetic waves in both the high frequency band and the low frequency band, similarly to the wiring board 1000 of the first embodiment.
  • FIGS. 11 to 14 are perspective views of modified examples of the structure 100 described in the first embodiment.
  • the ground conductor 111, the conductor element 121, or the ground conductor 141 may be a flat plate having an opening in the center, and may have a spiral conductor pattern in the opening. At this time, one end of the spiral conductor pattern may be connected to the flat plate, and the other end may be connected to the connection member 151. Further, the conductor pattern does not necessarily have to be spiral, and may be, for example, linear, curved, or meandering.
  • the structure shown in FIG. 14 is an open stub type EBG structure in which a microstrip line formed including the conductor element 121 functions as an open stub.
  • the connection member 151 forms an inductance.
  • the conductor element 121 forms a microstrip line having the conductor portion 131 as a return path by being electrically coupled to the opposing conductor portion 131.
  • One end of the microstrip line is an open end and is configured to function as an open stub.
  • the conductor element 121 has a spiral pattern.
  • the present invention is not limited to this. For example, a linear pattern, a curved pattern, a meandering pattern, etc. Also good.
  • the open stub type EBG structure In the open stub type EBG structure, a parallel flat plate made up of the ground conductor 111 and the conductor portion 131 or a parallel flat plate made up of the ground conductor 141 and the conductor portion 131 was shunted by a series resonant circuit made up of the open stub and the inductance. It can be expressed by an equivalent circuit, and the resonance frequency of the series resonance circuit gives the center frequency of the band gap. Accordingly, the band gap band can be lowered by increasing the stub length of the open stub formed including the conductor element 121.
  • the open stub type EBG structure requires a stub length to reduce the frequency of the bandgap band, but does not necessarily require an area. Therefore, the conductor element 121 can be reduced in size.
  • the conductor portion 131 facing the conductor element 121 forming the microstrip line is close. This is because the shorter the distance between the conductor element and the conductor portion, the lower the characteristic impedance of the microstrip line and the wider the band gap band. However, even when the conductor element 121 is not brought close to the opposing conductor portion 131, the essential effect of the present invention is not affected at all.
  • the ground conductor 211, the conductor element 221, the conductor element 241, or the ground conductor 261 is a flat plate having an opening in the center
  • one end of the spiral conductor pattern may be connected to the flat plate, and the other end may be connected to the connection member 271.
  • the conductor element 221 or the conductor element 241 may be a spiral conductor pattern, and one end thereof may be connected to the connection member 271.
  • FIG. 15 is a diagram illustrating a modification of the arrangement of the structures 100 described in the first embodiment.
  • a part of the conductor element 121 may be located on the ground conductor 141 side with respect to the conductor portion 131.
  • the number of repetitions of the arrangement of the conductor elements 121 is determined. More than the first embodiment. Therefore, the EBG structure can be provided with high density. Therefore, an EBG structure having higher characteristics than those of the first embodiment can be configured.
  • either the B layer 220 in which the conductor element 221 is formed or the D layer 240 in which the conductor element 241 is formed may not exist. . That is, the number of layers in which the conductor element (fourth conductor) is formed may be smaller than the number of layers in which the conductor portion (third conductor) is formed.
  • the conductor element 221 is formed in the intermediate layer between the ground conductor 211 and the conductor portion 231, but may be formed in the intermediate layer between the conductor portion 231 and the conductor portion 251.
  • the conductor element 241 is formed in the intermediate layer between the conductor portion 231 and the conductor portion 251, but may be formed in an intermediate layer between the conductor portion 251 and the ground conductor 261.
  • connection member 151 or the connection member 271 that is not necessarily connected to the conductor element is not necessarily limited thereto. Some may exist. Naturally, when the EBG structure is broken by not being connected to the conductor element, the effect of suppressing electromagnetic waves in the high frequency band in the adjacent space is reduced.
  • FIG. 16 is a diagram showing dimensions of the structure 100 used for the simulation.
  • the ground conductor 111 and the ground conductor 141 are each a square having a side of 7 mm.
  • the conductor 131 is also a square having a side of 7 mm, and an opening 132 having a diameter of 0.5 mm is provided at the center thereof.
  • the conductor element 121 is a square with a side of 6 mm, and the diameter of the connecting member 151 is 0.3 mm.
  • the distance between the ground conductor 111 and the conductor element 121, the distance between the conductor element 121 and the conductor portion 131, and the distance between the conductor portion 131 and the ground conductor 141 are 0.1 mm, 0.07 mm, and 0.5 mm, respectively.
  • the ground conductor 111, the conductor element 121, the conductor portion 131, the ground conductor 141, and the connection member 151 are complete conductors. Further, the thickness of the conductor element 121, the conductor portion 131, and the ground conductor 141 is ignored.
  • the shaded portion excluding the various conductors described above is a derivative, and the relative permittivity is 4.2 and Tan ⁇ is 0.025.
  • FIG. 17 is a top view and a cross-sectional view of the wiring board 3000 used for the simulation. More specifically, FIG. 17A is a top view of the wiring board 3000 in which the structures 100 shown in FIG. 16 are repeatedly arranged, and shows that the structures 100 are arranged in 10 ⁇ 10. ing. Note that the structures 100 are electrically connected without a gap therebetween, and the wiring board 3000 has a square shape with a side of 70 mm in plan view.
  • FIG. 17B is a cross-sectional view of the wiring board 3000 and is a cross-sectional view taken along a cross-sectional line shown in FIG.
  • the points 14 mm from the end of the wiring board 3000 are defined as the port 181 and the port 182, respectively. Further, in the region where the ground conductor 111 and the conductor portion 131 are opposed to each other, the points 14 mm from the end of the wiring board 3000 are defined as the port 183 and the port 184, respectively.
  • the attenuation amount of the electromagnetic wave supplied from the port 181 and received by the port 182 is simulated.
  • the attenuation amount of electromagnetic waves supplied from the port 183 and received by the port 184 is simulated.
  • FIG. 18 is a graph showing the simulation results of the upper part (port 183 or port 184) and the lower part (port 181 or port 182) in the wiring board 3000 used in this example.
  • the vertical axis of this graph represents the attenuation amount of electromagnetic waves, and the unit is dB (decibel).
  • the horizontal axis of this graph represents frequency, and the unit is GHz (gigahertz).
  • a curve 191 indicates a simulation value at the lower stage.
  • a curve 192 shows a simulation value at the upper stage. Since the simulation value at the port 181 and the simulation value at the port 182 are equal, they can be represented by one curve 191. Similarly, since the simulation value at the port 183 and the simulation value at the port 184 are equal, they can be represented by one curve 192.
  • both the upper and lower stages of the wiring board 3000 include a band gap region including 400 MHz, a band gap region including 1.2 GHz, a band gap region including 2.4 GHz, and 4.4 GHz.
  • a band gap region is shown, and it can be seen that a sufficient suppression effect (attenuation amount of 40 dB or more) is exhibited in any band gap region.
  • the frequency band near 2.4 GHz is mainly used for wireless LAN and wireless Internet technology. Further, the frequency band near 400 MHz is mainly used for public business radios.
  • the wiring board 3000 according to the present embodiment has a sufficient suppression effect on electromagnetic waves in both frequency bands.
  • FIG. 19 is a diagram showing dimensions of the structure 400 used for the simulation.
  • the structure 400 is an EBG structure having a conventional so-called mushroom structure.
  • the conductor pattern 411 is a square with a side of 6 mm
  • the conductor pattern 431 is a square with a side of 7 mm.
  • the conductor pattern 421 is a square having a side of 7 mm, and an opening 422 having a diameter of 0.5 mm is provided at the center thereof.
  • the diameter of the connecting member 441 is 0.3 mm.
  • the interval between the conductor pattern 411 and the conductor pattern 421 and the interval between the conductor pattern 421 and the conductor pattern 431 are 0.07 mm and 0.5 mm, respectively.
  • Each of the conductor pattern 411, the conductor pattern 421, the conductor pattern 431, and the connection member 441 is a complete conductor. Further, the thicknesses of the conductor pattern 411, the conductor pattern 421, and the conductor pattern 431 are ignored.
  • the shaded portion excluding the various conductors described above is a derivative, and the relative permittivity is 4.2 and Tan ⁇ is 0.025.
  • FIG. 20 is a top view and a cross-sectional view of the wiring board 4000 used for the wrinkle simulation. More specifically, FIG. 20A is a top view of the wiring board 4000 in which the structures 400 shown in FIG. 19 are repeatedly arranged, and shows that the structures 400 are arranged in 10 ⁇ 10. ing. Note that the structure body 400 is electrically connected without a gap therebetween, and the wiring board 4000 has a square shape with a side of 70 mm in plan view.
  • FIG. 20B is a cross-sectional view of the wiring board 4000 and is a cross-sectional view in the cross section shown in FIG.
  • the points 14 mm from the end of the wiring board 4000 are defined as the port 481 and the port 482, respectively.
  • the attenuation amount of electromagnetic waves at the port 481 and the port 482 is simulated.
  • the attenuation amount of electromagnetic waves supplied from the port 481 and received by the port 482 is simulated.
  • FIG. 21 is a graph showing the simulation results of the wiring board 3000 and the wiring board 4000.
  • the vertical axis of this graph represents the attenuation amount of electromagnetic waves, and the unit is dB (decibel).
  • the horizontal axis of this graph represents frequency, and the unit is GHz (gigahertz).
  • a curve 491 indicates simulation values at the port 181 or the port 182 shown in FIG. 17, and is equal to a part of the curve 191 (0 Hz to 6 GHz).
  • a curve 492 indicates a simulation value at the port 481 or the port 482. Note that the simulation value at the port 481 and the simulation value at the port 482 are equal, and therefore can be represented by one curve 492.
  • the wiring board 4000 has a higher suppression effect than the wiring board 3000 in the band gap region including 2.4 GHz, but cannot have a sufficient suppression effect in the frequency band near 400 MHz. I understand.

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Abstract

 構造体(100)は、互いに対向するA層(110)とD層(140)とにそれぞれ形成されるグラウンド導体(111、141)と、グラウンド導体(111、141)間を接続している接続部材(151)と、C層(130)に形成され、グラウンド導体(111、141)に対向している導体部(131)と、導体部(131)に設けられ、接続部材(151)が通過している開口(132)と、B層(120)に形成され、導体部(131)に対向し、当該導体部(131)に設けられた開口(132)を通過している接続部材(151)と電気的に接続された導体エレメント(121)と、を備える。

Description

構造体、配線基板および配線基板の製造方法
 本発明は、構造体、配線基板および配線基板の製造方法に関する。
 近年、特定の構造を有する導体パターンを周期的に配置すること(以下、メタマテリアルと記載)で電磁波の伝播特性を制御できることが明らかになっている。特に、特定の周波数帯域における電磁波伝播を抑制するように構成されるメタマテリアルを、電磁バンドギャップ構造(以下、EBG構造と記載)と呼んでいる。
 この種の技術として、例えば特許文献1(米国特許第6262495号明細書)に記載の技術がある。特許文献1のFIG.2には、シート状の導体プレーンの上方に島状の導体エレメントを複数配置し、この島状の導体エレメントそれぞれをビアで導体プレーンに接続した構造、いわゆるマッシュルーム型のEBG構造が示されている。
米国特許第6262495号明細書
 しかしながら、特許文献1に記載されているEBG構造によって抑制可能な周波数帯域は比較的高く、より低い周波数帯域への抑制効果が薄かった。
 本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、高周波数帯域および低周波数帯域の双方において十分に電磁波伝播を抑制することが可能な構造体、または当該構造体を有する配線基板を提供することにある。
 本発明によれば、互いに対向する第1層と第2層とにそれぞれ形成される第1導体および第2導体と、前記第1導体と前記第2導体とを接続している接続部材と、前記第1層と前記第2層との中間に位置する第3層に形成され、前記第1導体と前記第2導体とに対向している第3導体と、前記第3導体に設けられ、前記接続部材が通過している開口と、前記第1層と前記第2層との中間に位置し前記第3層とは異なる第4層に形成され、前記第3導体に対向し、当該第3導体に設けられた前記開口を通過している前記接続部材と電気的に接続された第4導体と、を備えることを特徴とする構造体が提供される。
 また、本発明によれば、互いに対向する第1層と第2層とにそれぞれ形成される第1導体および第2導体と、前記第1導体と前記第2導体とを接続している接続部材と、前記第1層と前記第2層との中間に位置する第3層に形成され、前記第1導体と前記第2導体とに対向している第3導体と、前記第3導体に設けられ、前記接続部材が通過している開口と、前記第1層と前記第2層との中間に位置し前記第3層とは異なる第4層に形成され、前記第3導体に対向し、当該第3導体に設けられた前記開口を通過している前記接続部材と電気的に接続された第4導体と、を備えることを特徴とする配線基板が提供される。
 また、本発明によれば、(a)第1層に第1導体、第2層に第2導体、前記第1層と前記第2層との中間に位置する第3層に第3導体、前記第1層と前記第2層との中間に位置し前記第3層とは異なる第4層に第4導体を配置し、かつ前記第1導体と前記第2導体と前記第3導体と前記第4導体とが互いに対向するように配置するステップと、(b)前記第1導体と前記第2導体と前記第3導体と前記第4導体とを貫通するスルーホールを設け、当該スルーホール内に、前記第3導体と絶縁し、前記第1導体と前記第2導体と前記第4導体と接続する接続部材151を形成するステップと、を備えることを特徴とする配線基板の製造方法が提供される。
 本発明によれば、高周波数帯域および低周波数帯域の双方において十分に電磁波伝播を抑制することが可能な構造体、または当該構造体を有する配線基板が提供される。
本発明の第1の実施形態に係る構造体の斜視図である。 図1で示す構造体の断面図である。 第1の実施形態に係る配線基板の上面図と断面図である。 配線基板が取りうる構造体の配列パターンを示す図である。 配線基板が取りうる構造体の配列パターンを示す図である。 配線基板が取りうる構造体の配列パターンを示す図である。 第1の実施形態の構造体の変形例の斜視図である。 本発明の第2の実施形態に係る構造体の斜視図である。 図8で示す構造体の断面図である。 第2の実施形態に係る配線基板の上面図と断面図である。 第1の実施形態で説明した構造体の変形例の斜視図である。 第1の実施形態で説明した構造体の変形例の斜視図である。 第1の実施形態で説明した構造体の変形例の斜視図である。 第1の実施形態で説明した構造体の変形例の斜視図である。 第1の実施形態で説明した構造体の配列の変形例を示す図である。 シミュレーションに用いる構造体の寸法を示す図である。 シミュレーションに用いる配線基板の上面図と断面図である。 配線基板における上段部と下段部のシミュレーション結果を示すグラフである。 シミュレーションに用いる構造体の寸法を示す図である。 シミュレーションに用いる配線基板の上面図と断面図である。 配線基板のシミュレーション結果を示すグラフである。
 以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
〔第1の実施形態〕
 図1は、本発明の第1の実施形態に係る構造体100の斜視図である。構造体100は、A層110(第1層)、B層120(第4層)、C層130(第3層)またはD層140(第2層)に形成される導体性の各種構成要素によって構成される。なお、A層110、B層120、C層130またはD層140は、配線基板1000の各層であって、互いに対向している。
 グラウンド導体111(第1導体)およびグラウンド導体141(第2導体)は、接地等によって基準電位が与えられる。また、グラウンド導体111およびグラウンド導体141は、A層110とD層140とにそれぞれ形成され、接続部材151によって層間接続される。なお、グラウンド導体111は、A層110の全面に形成されてもよく、局所的に形成されてもよい。同様に、グラウンド導体141は、D層140の全面に形成されてもよく、局所的に形成されてもよい。
 導体部131(第3導体)は、A層110とD層140との中間に位置するC層130に形成される。また、導体部131は、グラウンド導体111とグラウンド導体141とに対向している。さらに、導体部131には接続部材151が通過する開口132が設けられ、導体部131と接続部材151とは接触しておらず、絶縁されているものとする。なお、導体部131は、C層130の全面に形成されてもよく、局所的に形成されてもよい。また、導体部131に設けられる開口132は、単一であっても複数であってもよい。さらに、開口132を通過する接続部材151は、単一であっても複数であってもよい。また、開口132の面積は、対向している導体エレメント121の面積より小さく、導体エレメント121の少なくとも一部が導体部131に対向している。
 導体エレメント121(第4導体)は、A層110とD層140との中間に位置し、C層130とは異なるB層120に形成される。そして、導体エレメント121は、導体部131に対向し、当該導体部131に設けられた開口132を通過している接続部材151と電気的に接続されている。なお、図1において接続部材151は、導体エレメント121の中心に接続されるように図示しているが、必ずしも中心に接続されなくてもよい。
 接続部材151は、一層ごとに積層、スルーホール加工、配線形成を繰り返すビルドアップ方式によって形成されてもよい。また、接続部材151は、貫通ビアであってもよい。接続部材151が貫通ビアである場合、構造体100は以下のような手順で製造される。まず、(a)A層110にグランド導体111、D層140にグラウンド導体141、C層に導体部131、B層に導体エレメント121を配置し、かつグラウンド導体111と導体エレメント121と導体部131とグラウンド導体141とが互いに対向するように配置する。そして、(b)グラウンド導体111と導体エレメント121と導体部131とグラウンド導体141とを貫通するスルーホールを設け、当該スルーホール内に導体部131と絶縁し、グラウンド導体111と導体エレメント121とグラウンド導体141と接続する接続部材151を形成させる。
 当然、図示しない構成要素があるのであれば、(a)の工程において適切に配置されることが望ましい。また、(b)の工程において、スルーホールを設ける方法は、適用可能であれば何を用いてもよく、例えばドリルでスルーホールを空けてもよい。さらに、(b)の工程において、接続部材151を形成する方法は、適用可能であれば何を用いてもよく、例えばスルーホール内面をめっきすることによって形成してもよい。
 接続部材151を貫通ビアとして製造することによって、ビルドアップ方式で製造する場合と比べて、製造工程を短縮することができ、製造コストも低減することができる。
 グラウンド導体111、導体エレメント121、導体部131およびグラウンド導体141は、各々が形成される層の面方向に延在する導体であればよく、その形状は複数の態様を取りうる。従って、図1ではいずれも四角形として示したが、これに限らなくてもよい。
 図2は、図1で示す断面における断面図である。図2において、破線で囲っている空間はEBG構造を成しており、それぞれEBG構造171とEBG構造172と呼ぶことにする。EBG構造171は、A層110に形成されたグラウンド導体111と、接続部材151と、導体部131と、導体エレメント121とによって構成される。また、EBG構造172は、D層140に形成されたグラウンド導体141と、接続部材151と、導体部131と、導体エレメント121とによって構成される。すなわち、単一の構造体100がEBG構造171とEBG構造172とを構成しており、導体エレメント121は、EBG構造171とEBG構造172との双方に共有されている。そのため、2つのEBG構造を設けるより小型化を図ることができる。
 図3は、本実施形態に係る配線基板1000の上面図と断面図である。より詳細には、図3(A)は配線基板1000の上面図であって、図3(B)は図3(A)に示す断面における断面図である。図3(A)において、破線で示す四角形は、繰り返し配列された構造体100の各々がB層120に備える導体エレメント121を示している。また、図3(A)において、破線で示す円は、繰り返し配列された構造体100の各々が備える接続部材151を示している。
 A層110には、複数のグラウンド導体111を含むグラウンドプレーンが形成されている。グラウンドプレーンは、いわゆるベタな導体であって、接地等によって基準電位が与えられている。また、グラウンドプレーンは、単一であってもよく、複数に分割されていてもよい。
 D層140には、複数のグラウンド導体141を含むグラウンドプレーンが形成されている。グラウンドプレーンは、いわゆるベタな導体であって、接地等によって基準電位が与えられている。また、グラウンドプレーンは、単一であってもよく、複数に分割されていてもよい。
 B層120には、複数の導体エレメント121が間隙を隔て、島状に形成されており、導体エレメント121の各々が、接続部材151によってグラウンドプレーンとグラウンドプレーンと接続されている。なお、個々の導体エレメント121間は絶縁されているものとする。
 C層130には、複数の導体部131を含む導体プレーンが形成され、各々の導体部131に対向する導体エレメント121に接続されている接続部材151それぞれが通過する開口132が設けられている。導体プレーンは、いわゆるベタな導体であって、例えば電源を供給する電源プレーンであってもよい。この場合、導体プレーンは定電位を与えられる。また、導体プレーンは、単一であってもよく、複数に分割されていてもよい。
 A層110、B層120、C層130およびD層140は、上述した構成要素以外の構成、例えば電気信号を伝送する伝送路等を含んでもよい。また、配線基板1000は、A層110、B層120、C層130、D層140とは異なる層を備えてもよく、これらの層に上述した構成要素以外の構成、例えば伝送路等を含んでもよい。ただし、配線基板1000において構造体100が繰り返し配列されている領域、および当該領域の近傍に伝送路を配列すると構造体100が成しているEBG構造の特性が変化するため、このような配列は避けることが望ましい。
 配線基板1000は、構造体100を繰り返し配列された領域において、特定の周波数帯域の電磁波伝播を抑制することができる。すなわち、特定の周波数帯域の電磁波を発生するノイズ源や、特定の周波数帯域の電磁波から防護したい素子等を囲むように構造体100を配列すればよく、その配列パターンは複数の態様を取りうる。
 図4~図6は、それぞれ配線基板1000が取りうる構造体100の配列パターンを示す図である。ただし、図4~図6に図示される網掛けの部材は、半導体パッケージ161と半導体パッケージ162とする。図4に示すように、構造体100は半導体パッケージ161と半導体パッケージ162の間に帯状に配置されてもよい。また、図5に示すように、構造体100は半導体パッケージ161を囲むように配置されてもよい。また、図6に示すように、構造体100は半導体パッケージ162を囲むように配置されていてもよい。
 ただし、抑制対象の電磁波がいずれの方向から伝播しても、複数の構造体100を通過させるように配列することによって、より効果的に電磁波の電波を抑制することができる。従って、図4または図5に示す配列パターンのように、一方の半導体パッケージから他方の半導体パッケージに向かう方向に、複数の構造体100が並列される方が、図6に示す配列パターンより好ましい。
 なお、グラウンド導体111と導体エレメント121の間隔、導体エレメント121と導体部131の間隔、導体部131とグラウンド導体141の間隔、接続部材151の太さ、および導体エレメント121の相互間隔などを調節することにより、電磁波伝播の抑制対象となる周波数帯域を所望の値に定めることができる。
 ここで、本実施形態の効果について説明する。本実施形態の配線基板1000が有する構造体100の各々がEBG構造を成すので比較的高い周波数帯域への抑制効果を奏することができる。
 また、本実施形態の配線基板1000は、接続部材151がグラウンド導体111とグラウンド導体141とに接続されている。ある程度密な間隔で配列され、基準電位が与えられる接続部材151は、比較的低い周波数帯域の電磁波を低減することができるので、配線基板1000は比較的低い周波数帯域への抑制効果も奏することができる。
 なお、本実施形態では複数の構造体100が繰り返し配列された配線基板1000を用いて説明したが、配線基板1000と構造体100の寸法によっては、単一の構造体100であっても、本実施形態と同様に、比較的高い周波数と比較的低い周波数の双方に対して抑制効果を奏する。ただし、単一の構造体100によって抑制される周波数帯域は、複数の構造体100が配列された場合と比較して、限定的になる可能性がある。
 さらに、本実施形態において、導体エレメント121はEBG構造171とEBG構造172との双方に共有されるように構成されているので、導体エレメント121が構成されるB層120の数と、導体部131が形成されるC層130の数とが等しくなる。この効果について、図7を用いて説明する。
 図7は、本実施形態の構造体100の変形例である構造体300の斜視図である。図7におけるグラウンド導体311、導体部331、開口332、グラウンド導体351および接続部材361は、それぞれグラウンド導体111、導体部131、開口132、グラウンド導体141および接続部材151に相当する。構造体100と構造体300との相違点は、導体エレメント321、341が形成される層の数が、導体部331が形成される層の数より多いことである。構造体300も、EBG構造を構成するので、ある程度密な間隔で配列すれば構造体100と同様に、高周波数帯域および低周波数帯域の双方において十分に電磁波伝播を抑制可能である。しかし、上記の相違点により、構造体100は構造体300より薄く製造することができる。
〔第2の実施形態〕
 図8は、第2の実施形態に係る構造体200の斜視図である。構造体200は、A層210、B層220、C層230、D層240、E層250またはF層260に形成される導体性の各種構成要素によって構成される。なお、A層210、B層220、C層230、D層240、E層250またはF層260は、配線基板2000の各層であって、互いに対向している。
 グラウンド導体211およびグラウンド導体261は、接地等によって基準電位が与えられる。また、グラウンド導体211およびグラウンド導体261は、A層210とF層260とにそれぞれ形成され、接続部材271によって層間接続される。
 導体部231と導体部251とは、C層230とE層250とにそれぞれ形成される。なお、導体部231と導体部251とには、接続部材271が通過する開口232と開口252とが設けられている。導体部231と導体部251とは、接続部材271に接触しておらず、絶縁されているものとする。
 導体エレメント221と導体エレメント241とは、B層220とD層240とにそれぞれ形成される。そして、導体エレメント221は導体部231に対向し、導体エレメント241は導体部251に対向し、開口232および開口252を通過している接続部材271と電気的に接続されている。
 図9は、図8に示す断面における断面図である。図9において破線で囲っている空間はEBG構造を成しており、それぞれEBG構造281、EBG構造282およびEBG構造283と呼ぶことにする。EBG構造281は、グラウンド導体211と、接続部材271と、グラウンド導体211に最も近い導体部231と、グラウンド導体211に最も近い導体エレメント221とによって構成される。また、EBG構造282は、導体部231、導体エレメント221、接続部材271、導体部251および導体エレメント241によって構成される。さらに、EBG構造283は、グラウンド導体261と、接続部材271と、グラウンド導体261に最も近い導体部251と、グラウンド導体261に最も近い導体エレメント241とによって構成される。
 すなわち、単一の構造体200がEBG構造281、EBG構造282およびEBG構造283を構成している。また、導体エレメント221は、EBG構造281とEBG構造282との双方に共有されている。さらに、導体エレメント241は、EBG構造282とEBG構造283との双方に共有されている。そのため、2つのEBG構造を設けるより小型化を図ることができる。
 上述したとおり、複数の層(C層230、E層250)にそれぞれ導体部231、導体部251が形成される本実施形態の構造体200は、第1の実施形態のように導体部131が形成される層(C層130)の数が単一である場合に比べて、複雑にEBG構造を構成することがわかる。
 図10は、本実施形態に係る配線基板2000の上面図と断面図である。より詳細には、図10(A)は配線基板2000の上面図であって、図10(B)は図10(A)に示す断面における断面図である。図10(A)において、破線で示す四角形は、繰り返し配列された構造体200の各々が備える導体エレメント221または導体エレメント241を示している。また、図10(A)において、破線で示す円は、繰り返し配列された構造体200の各々が備える接続部材271を示している。
 A層210には、複数の導体211を含むグラウンドプレーンが形成されている。F層260には、複数の導体261を含むグラウンドプレーンが形成されている。グラウンドプレーンは、いわゆるベタな導体であって、接地等によって基準電位が与えられている。また、グラウンドプレーンは、複数に分割されていてもよい。
 B層220には、複数の導体エレメント221が間隙を隔て、島状に形成されており、D層240には、複数の導体エレメント241が間隙を隔て、島状に形成されている。導体エレメント221または導体エレメント241の各々が、接続部材271によってグラウンドプレーンとグラウンドプレーンと接続されている。
 C層230には、複数の導体部231を含む導体プレーンが形成されている。各々の導体部231には、導体エレメント221が対向している。また、導体部231には、対向している導体エレメント221に接続されている接続部材271が通過する開口232が設けられている。E層250には、複数の導体部251を含む導体プレーンが形成されている。各々の導体部251には、導体エレメント241が対向している。また、導体部251には、対向している導体エレメント241に接続されている接続部材271が通過する開口252が設けられている。上記の導体プレーンは、いわゆるベタな導体であって、例えば電源を供給する電源プレーンであってもよい。この場合、導体プレーンは定電位を与えられる。また、導体プレーンは、複数に分割されていてもよい。
 A層210、B層220、C層230、D層240、E層250またはF層260は、上述した構成要素以外の構成、例えば電気信号を伝送する伝送路等を含んでもよい。また、配線基板2000は、A層210、B層220、C層230、D層240、E層250、F層260とは異なる層を備えてもよく、これらの層に上述した構成要素以外の構成、例えば伝送路等を含んでもよい。ただし、配線基板2000において構造体200が繰り返し配列されている領域、および当該領域の近傍に伝送路を配列すると構造体200が成しているEBG構造の特性が変化するため、このような配列は避けることが望ましい。
 本実施形態の効果について説明する。本実施形態の配線基板2000が有する構造体200の各々がEBG構造を成すので比較的高い周波数帯域への抑制効果を奏することができる。
 また、本実施形態の配線基板2000は、繰り返し配列された接続部材271がグラウンド導体211とグラウンド導体261とに接続されている。ある程度密な間隔で配列され、基準電位が与えられる接続部材271は、比較的低い周波数帯域の電磁波を低減することができるので、配線基板2000は比較的低い周波数帯域への抑制効果も奏することができる。
 すなわち、本実施形態の配線基板2000は、第1の実施形態の配線基板1000と同様に、高周波数帯域および低周波数帯域の双方において十分に電磁波伝播を抑制することができる。
 以上、実施の形態を用いて本発明を詳細に説明したが、本発明は上記内容に限定されるものではなく、本発明の範疇を逸脱しない範囲においてあらゆる変形や変更が可能である。
 例えば、図11~図14は、第1の実施形態で説明した構造体100の変形例の斜視図である。図11~図13に示すとおり、グラウンド導体111、導体エレメント121またはグラウンド導体141は、中心に開口を設けられた平板であって、当該開口中に螺旋状の導体パターンを有してもよい。このとき、螺旋状の導体パターンの一端は平板に接続されており、他端は接続部材151に接続されてもよい。また、導体パターンは必ずしも螺旋状でなくてもよく、例えば直線状、曲線状、蛇行状などであってもよい。
 また、図14に示した構造は、導体エレメント121を含んで形成されるマイクロストリップ線路がオープンスタブとして機能するオープンスタブ型のEBG構造である。詳細には、接続部材151はインダクタンスを形成している。また、導体エレメント121は、対向する導体部131と電気的に結合することで導体部131をリターンパスとするマイクロストリップ線路を形成している。前記マイクロストリップ線路の一端はオープン端となっており、オープンスタブとして機能するように構成されている。なお、図14に示したオープンスタブ型のEBG構造は、導体エレメント121が螺旋状パターンとなっているが、これに限定されず、例えば直線状パターン、曲線状パターン、蛇行状パターンなどであってもよい。
 オープンスタブ型EBG構造は、グラウンド導体111と導体部131からなる平行平板、あるいはグラウンド導体141と導体部131からなる平行平板を、前記オープンスタブと、前記インダクタンスからなる、直列共振回路でそれぞれシャントした等価回路で表現することができ、前記直列共振回路の共振周波数がバンドギャップの中心周波数を与える。したがって、前記導体エレメント121を含んで形成されるオープンスタブのスタブ長を長くすることでバンドギャップ帯域を低周波化することができる。オープンスタブ型EBG構造はバンドギャップ帯域の低周波化にスタブ長が必要であるが必ずしも面積を必要としないため、導体エレメント121の小型化を図ることができる。
 また、マイクロストリップ線路を形成する導体エレメント121と対向する導体部131は近接していることが好ましい。なぜならば、導体エレメントと導体部の距離が近いほど、前記マイクロストリップ線路の特性インピーダンスが低くなり、バンドギャップ帯域を広帯域化することができるためである。ただし、前記導体エレメント121を対向する導体部131に近接させない場合でも、本発明の本質的な効果には何ら影響を与えない。
 上記と同様に、第2の実施形態で説明した構造体200の変形例として、グラウンド導体211、導体エレメント221、導体エレメント241またはグラウンド導体261は、中央に開口を設けられた平板であって、当該開口中に螺旋状の導体パターンを有してもよい。このとき、螺旋状の導体パターンの一端は平板に接続されており、他端は接続部材271に接続されてもよい。また、導体エレメント221または導体エレメント241は、螺旋状の導体パターンであって、一端が接続部材271に接続されてもよい。このような構造にすることによって、螺旋状の導体パターンを有する構成要素はインダクタンスが増加するので、構造体200の小型化を図ることができる。
 第1の実施形態では、導体エレメント121が、導体部131を基準にしてグラウンド導体111側に位置する事例のみを説明したが、これに限らなくても良い。図15は、第1の実施形態で説明した構造体100の配列の変形例を示す図である。図15に示すように、導体エレメント121の一部が導体部131を基準にしてグラウンド導体141側に位置してもよい。また、図15に示すように、グラウンド導体111側に位置する導体エレメント121と、グラウンド導体141側に位置する導体エレメント121と、を交互に配列した場合、導体エレメント121の配列の繰り返しの回数を第1の実施形態より多くすることができる。そのため、EBG構造を高密度に設けることができる。従って、第1の実施形態より高い特性のEBG構造を構成することができる。
 また、第2の実施形態で説明した構造体200の変形例として、導体エレメント221が形成されたB層220または導体エレメント241が形成されたD層240のいずれか一方が存在しなくてもよい。すなわち、導体エレメント(第4導体)が形成された層の数が、導体部(第3導体)が形成された層の数より少なくてもよい。
 図9において、導体エレメント221はグラウンド導体211と導体部231との中間層に形成されたが、導体部231と導体部251との中間層に形成されてもよい。また、図9において、導体エレメント241は導体部231と導体部251との中間層に形成されたが、導体部251とグラウンド導体261との中間層に形成されてもよい。
 上述した実施形態で図示した接続部材151または接続部材271には、いずれも導体エレメントが接続されているが、必ずしもこれに限らなくてもよく、導体エレメントと接続しない接続部材151または接続部材271が一部存在してもよい。当然、導体エレメントと接続しないことによってEBG構造が崩れる場合、その近傍空間における高周波帯域の電磁波抑制の効果が低下する。
 以下、実施例に従って本発明を説明するが、本発明は実施例のみに限定されない。
〔実施例1〕
 図16は、シミュレーションに用いる構造体100の寸法を示す図である。グラウンド導体111とグラウンド導体141とは、それぞれ一辺7mmの正方形である。また、導体部131も一辺7mmの正方形であって、その中心に直径0.5mmの開口132が設けられている。そして、導体エレメント121は、一辺6mmの正方形であり、接続部材151の直径は0.3mmとする。グラウンド導体111と導体エレメント121の間隔、導体エレメント121と導体部131の間隔、および導体部131とグラウンド導体141の間隔は、それぞれ0.1mm、0.07mm、0.5mmとする。グラウンド導体111、導体エレメント121、導体部131、グラウンド導体141および接続部材151はそれぞれ完全導体である。また、導体エレメント121、導体部131およびグラウンド導体141の厚さは無視する。そして、上述の各種導体を除く斜線部は誘導体であり、比誘電率=4.2、Tanδ=0.025とする。
 図17は、シミュレーションに用いる配線基板3000の上面図と断面図である。より詳細には、図17(A)は、図16に示した構造体100を繰り返し配列された配線基板3000の上面図であって、構造体100が10×10で配列されていることを示している。なお、構造体100は互いに間隙を隔てることなく、電気的に接続されており、配線基板3000は平面視で一辺70mmの正方形を成しているものとする。また、図17(B)は配線基板3000の断面図であって、図17(A)に示す断面線における断面図である。ここで、導体部131とグラウンド導体141とが対向している領域のうち、配線基板3000の端から14mmの地点をそれぞれポート181およびポート182と定めた。また、グラウンド導体111と導体部131とが対向している領域のうち、配線基板3000の端から14mmの地点をそれぞれポート183およびポート184と定めた。
 本実施例においては、ポート181から給電し、ポート182で受電した電磁波の減衰量をシミュレーションする。ポート183から給電し、ポート184で受電した電磁波の減衰量をシミュレーションする。
 図18は、本実施例に用いる配線基板3000における上段部(ポート183またはポート184)と下段部(ポート181またはポート182)のシミュレーション結果を示すグラフである。このグラフの縦軸は、電磁波の減衰量を示し、単位はdB(デシベル)である。このグラフの横軸は、周波数を示し、単位はGHz(ギガヘルツ)である。また、曲線191は下段部におけるシミュレーション値を示す。そして、曲線192は上段部おけるシミュレーション値を示している。なお、ポート181におけるシミュレーション値と、ポート182におけるシミュレーション値とは等しいので、一つの曲線191で示すことができる。同様に、ポート183におけるシミュレーション値と、ポート184におけるシミュレーション値とは等しいので、一つの曲線192で示すことができる。
 図18に示すシミュレーション結果から、配線基板3000の上段部と下段部は共に、400MHzを含むバンドギャップ領域、1.2GHzを含むバンドギャップ領域、2.4GHzを含むバンドギャップ領域および4.4GHzを含むバンドギャップ領域を示し、いずれのバンドギャップ領域においても十分な抑制効果(40dB以上の減衰量)を奏することがわかる。
 2.4GHz近傍の周波数帯域は、主に無線LANや無線インターネット技術に利用されている。また、400MHz近傍の周波数帯域は、主に公共業務用無線機に利用されている。本実施例の配線基板3000は、これらの双方の周波数帯域の電磁波に対して十分な抑制効果を奏する。
〔比較例1〕
 図19は、シミュレーションに用いる構造体400の寸法を示す図である。構造体400は、従来型のいわゆるマッシュルーム構造を有するEBG構造体である。導体パターン411は、一辺6mmの正方形であり、導体パターン431は一辺7mmの正方形である。また、導体パターン421は、一辺7mmの正方形であって、その中心に直径0.5mmの開口422が設けられている。接続部材441の直径は0.3mmとする。導体パターン411と導体パターン421の間隔、導体パターン421と導体パターン431の間隔は、それぞれ0.07mm、0.5mmとする。導体パターン411、導体パターン421、導体パターン431および接続部材441はそれぞれ完全導体である。また、導体パターン411、導体パターン421および導体パターン431の厚さは無視する。そして、上述の各種導体を除く斜線部は誘導体であり、比誘電率=4.2、Tanδ=0.025とする。
 図20は、 シミュレーションに用いる配線基板4000の上面図と断面図である。より詳細には、図20(A)は、図19に示した構造体400を繰り返し配列された配線基板4000の上面図であって、構造体400が10×10で配列されていることを示している。なお、構造体400は互いに間隙を隔てることなく、電気的に接続されており、配線基板4000は平面視で一辺70mmの正方形を成しているものとする。また、図20(B)は配線基板4000の断面図であって、図20(A)に示す断面における断面図である。ここで、導体パターン421と導体パターン431とが対向している領域のうち、配線基板4000の端から14mmの地点をそれぞれポート481およびポート482と定めた。このポート481およびポート482における電磁波の減衰量をシミュレーションする。
 本比較例においては、ポート481から給電し、ポート482で受電した電磁波の減衰量をシミュレーションする。
 図21は、配線基板3000と配線基板4000のシミュレーション結果を示すグラフである。このグラフの縦軸は、電磁波の減衰量を示し、単位はdB(デシベル)である。このグラフの横軸は、周波数を示し、単位はGHz(ギガヘルツ)である。また、曲線491は、図17に示すポート181またはポート182におけるシミュレーション値を示しており、曲線191の一部(0Hz~6GHz)と等しい。曲線492はポート481またはポート482におけるシミュレーション値を示している。なお、ポート481におけるシミュレーション値と、ポート482におけるシミュレーション値とは等しいので、一つの曲線492で示すことができる。
 図21のシミューレーション結果から、配線基板4000は、2.4GHzを含むバンドギャップ領域において配線基板3000より高い抑制効果を奏するが、400MHz近傍の周波数帯域において十分な抑制効果を奏することができないことがわかる。
 この出願は、2010年3月8日に出願された日本特許出願特願2010-051078号を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。

Claims (9)

  1.  互いに対向する第1層と第2層とにそれぞれ形成される第1導体および第2導体と、
     前記第1導体と前記第2導体とを接続している接続部材と、
     前記第1層と前記第2層との中間に位置する第3層に形成され、前記第1導体と前記第2導体とに対向している第3導体と、
     前記第3導体に設けられ、前記接続部材が通過している開口と、
     前記第1層と前記第2層との中間に位置し前記第3層とは異なる第4層に形成され、前記第3導体に対向し、当該第3導体に設けられた前記開口を通過している前記接続部材と電気的に接続された第4導体と、
    を備えることを特徴とする構造体。
  2.  請求項1に記載の構造体であって、
     前記第1導体および前記第2導体は、基準電位を与えられることを特徴とする構造体。
  3.  請求項1または2に記載の構造体であって、
     前記第4導体が形成された前記第4層の数が、前記第3導体が形成された前記第3層の数と等しい又はより少ないことを特徴とする構造体。
  4.  請求項1乃至3いずれかに記載の構造体であって、
     前記第3導体が形成された前記第3層の数が一つであり、
     前記第1導体と前記第3導体とを少なくとも含む第1の電磁バンドギャップ構造を構成し、かつ前記第2導体と当該第3導体とを少なくとも含む第2の電磁バンドギャップ構造を構成することを特徴とする構造体。
  5.  請求項4に記載の構造体であって、
     前記第1導体と、前記接続部材と、前記第3導体と、前記第4導体とによって前記第1の電磁バンドギャップ構造を構成し、
     かつ前記第2導体と、当該接続部材と、当該第3導体と、当該第4導体とによって、前記第2の電磁バンドギャップ構造を構成することを特徴とする構造体。
  6.  請求項1乃至3いずれかに記載の構造体であって、
     前記第3導体が形成された前記第3層の数が複数であり、
     前記第1導体と当該第1導体に最も近い前記第3導体とを少なくとも含む第3の電磁バンドギャップ構造を構成し、かつ複数の前記第3導体を少なくとも含む第4の電磁バンドギャップ構造を構成することを特徴とする構造体。
  7.  請求項6に記載の構造体であって、
     前記第1導体と、前記接続部材と、前記第3導体のうち当該第1導体に最も近い一の第3導体と、前記第4導体のうち当該第1導体に最も近い一の第4導体とによって前記第3の電磁バンドギャップ構造を構成し、
     かつ当該一の第3導体と当該一の第4導体と当該接続部材とは、他の第3導体と他の第4導体とともに、前記第4の電磁バンドギャップ構造を構成することを特徴とする構造体。
  8.  互いに対向する第1層と第2層とにそれぞれ形成される第1導体および第2導体と、
     前記第1導体と前記第2導体とを接続している接続部材と、
     前記第1層と前記第2層との中間に位置する第3層に形成され、前記第1導体と前記第2導体とに対向している第3導体と、
     前記第3導体に設けられ、前記接続部材が通過している開口と、
     前記第1層と前記第2層との中間に位置し前記第3層とは異なる第4層に形成され、前記第3導体に対向し、当該第3導体に設けられた前記開口を通過している前記接続部材と電気的に接続された第4導体と、
    を備えることを特徴とする配線基板。
  9.  (a)第1層に第1導体、第2層に第2導体、前記第1層と前記第2層との中間に位置する第3層に第3導体、前記第1層と前記第2層との中間に位置し前記第3層とは異なる第4層に第4導体を配置し、かつ前記第1導体と前記第2導体と前記第3導体と前記第4導体とが互いに対向するように配置するステップと、
     (b)前記第1導体と前記第2導体と前記第3導体と前記第4導体とを貫通するスルーホールを設け、当該スルーホール内に、前記第3導体と絶縁し、前記第1導体と前記第2導体と前記第4導体と接続する接続部材151を形成するステップと、
    を備えることを特徴とする配線基板の製造方法。
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