WO2010119749A1 - 炭化珪素単結晶の製造装置および炭化珪素単結晶の製造方法 - Google Patents
炭化珪素単結晶の製造装置および炭化珪素単結晶の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
図1を用いて、本発明の実施形態として示す炭化珪素単結晶の製造装置1を説明する。
本発明の実施形態による作用効果を説明する。
前述したように、本発明の実施形態を通じて本発明の内容を開示したが、この開示の一部をなす論述及び図面は、本発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
Claims (3)
- 上部が開口され、底部に昇華用原料を収容する反応容器本体と、
該反応容器本体の上部開口を覆うと共に、裏面側に種結晶が配設される蓋体と、前記反応容器本体内に設けられ、前記昇華用原料が昇華した原料ガスを種結晶まで導くと共に、前記種結晶が成長して炭化珪素単結晶になる際に炭化珪素単結晶の成長をガイドする筒状のガイド部材と、
を備えた炭化珪素単結晶の製造装置であって、
前記ガイド部材は、複数の分割体から構成されたことを特徴とする炭化珪素単結晶の製造装置。 - 前記分割体同士の間には、間隙が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素単結晶の製造装置。
- 反応容器本体内に収容された炭化珪素を含む昇華用原料を加熱および昇華させて原料ガスを発生させる第1ステップと、
前記原料ガスを複数の分割体からなるガイド部材を介して種結晶が受けて、ガイド部材にガイドされながら炭化珪素単結晶に成長する第2ステップと、
成長した前記炭化珪素単結晶から、前記複数の分割体を分離して取り出す第3ステップと
を有する炭化珪素単結晶の製造方法。
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