JP2010083681A - 炭化ケイ素単結晶の製造方法及び真空チャック - Google Patents
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Abstract
【解決手段】結晶成長させる種結晶100には、成長端面100aを有するものを用いる。この成長端面100aを有する種結晶100を炭化ケイ素単結晶製造装置の容器内に設置するに先立って、種結晶100の成長端面100aを真空チャック1で保持しつつ、種結晶100の裏面100bにスピンコートで保護膜2を形成する。
【選択図】図1
Description
Yu.M.Taiyov and V.F.Tsvetk of, Journal of Crystal Growth, vol.52(1981) pp.146-150
1a 円盤部
1b 回転軸部
1c 周壁部
1d 溝
1e Oリング(環状弾性支持体)
1f 排気孔
10 黒鉛製るつぼ
11 蓋体
12 容器本体
40 昇華用原料
100 種結晶
100a 成長端面
100b 裏面
Claims (4)
- 炭化ケイ素単結晶製造装置の容器内に昇華用原料を収容すると共にこの昇華用原料に略対向して炭化ケイ素単結晶の種結晶を配置し、加熱により昇華させた前記昇華用原料を前記種結晶の表面上で再結晶させて炭化ケイ素単結晶を結晶成長させる炭化ケイ素単結晶の製造方法であって、
前記種結晶は、前記昇華用原料に対向させる側に成長端面を有するものであり、この成長端面を有する種結晶を炭化ケイ素単結晶製造装置の容器内に設置するに先立って、種結晶の成長端面を真空チャックで保持しつつ、種結晶の裏面に保護膜を形成することを特徴とする炭化ケイ素単結晶の製造方法。 - 前記真空チャックは、種結晶よりも小さい直径を有する円盤部と、この円盤部の下面の直径方向中央部に形成された回転軸部と、円盤部の厚さ方向に貫通する排気孔と、円盤部の上面の外周縁に沿って立設された周壁部と、この周壁部の先端部に突設され種結晶の成長端面と当接する環状弾性支持体とを有することを特徴とする請求項1に記載の炭化ケイ素単結晶の製造方法。
- 種結晶よりも小さい直径を有する円盤部と、この円盤部の下面の直径方向中央部に形成された回転軸部と、円盤部の厚さ方向に貫通する排気孔と、円盤部の上面の外周縁に沿って立設された周壁部と、この周壁部の先端部に突設され種結晶の成長端面と当接する環状弾性支持体とを有することを特徴とする真空チャック。
- 前記環状弾性支持体の直径は、種結晶の直径の70%以上であることを特徴とする請求項3に記載の真空チャック。
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2008
- 2008-09-29 JP JP2008250828A patent/JP2010083681A/ja active Pending
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