WO2010101028A1 - 網目状金属微粒子積層フィルム及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

　本発明は、フィルムの少なくとも片面に金属微粒子液を塗布するだけで得られる網目状金属微粒子積層フィルムであって、全光線透過率の平均値が７０％以上で、全光線透過率のバラツキが５％以下であり、長さが２ｍ以上であることを特徴とする。　本発明により、透明性が高く、モアレの発現が抑えられ、全光線透過率のバラツキが小さい長尺の網目状金属微粒子積層フィルムが提供される。

Description

網目状金属微粒子積層フィルム及びその製造方法

　本発明は、透明性および耐モアレ性に優れ、さらに全光線透過率のムラが少ない、長尺の網目状金属微粒子積層フィルム、及びその製造方法に関するものである。

　導電性基板は回路材料として様々な機器に用いられており、電磁波シールド基板や太陽電池用途として用いられている。

  電磁波シールド基板は家電用品、携帯電話、パソコン、テレビをはじめとした電子機器から放射された多種多様な電磁波を抑制する目的に用いられている。特にデジタル家電の中でプラズマディスプレイパネルや液晶テレビなどのフラットパネルディスプレイからは、強力な電磁波が放出されており、人体への影響も懸念されている。これらディスプレイは画面から近い距離で長時間にわたり画像を観察されるため、これら電磁波を抑制する電磁波シールド基板が必要とされる。

  一般にディスプレイパネルに用いられる電磁波シールド基板には、透明な導電性基板が用いられている。現在用いられている電磁波シールド基板用の導電性基板の製造方法には各種の方法が採用されている。例えば特許文献１、２ではパターン化した導電層を設けた導電性基板の製造方法として、導電層を格子状、もしくは網目状にパターン状に印刷することで透明性の高い導電性フィルムを作成している。

特開１９９９－１７０４２０号公報（第１頁、請求項など） 特開２０００－１９６２８６号公報（第１頁、請求項など）

  しかし、前述した従来の技術には次のような問題点がある。

　特許文献１に記載のスクリーン印刷により導電層を設ける方法は、透明性、全光線透過率のバラツキを抑制したパターン形状を得るには優れた方法である。しかし、スクリーン印刷であるため、基本的に枚葉シートの製法であり、長尺のシートにはこの製法を適用することはできな。そのため２ｍ以上の長尺シートを得ることはできない。また、この基板は格子状の導電層が規則的な構造を有しているため、モアレ現象が発生するという問題を有している。

　ここでモアレ現象とは、「点または線が幾何学的に規則正しく分布したものを重ね合せた時に生ずる縞状の斑紋」である。プラズマディスプレイでは画面上に縞模様状の模様が発生する。ディスプレイの前面に設けられる電磁波シールド基板に格子状などの規則的なパターンが設けられている場合、ディスプレイ背面版のＲＧＢ各色の画素を仕切る規則正しい格子状の隔壁などとの相互作用により、モアレ現象が生じる。また、電磁波シールド基板に格子状などの規則的なパターンが設けられている場合、この格子の線幅が太いほどこのモアレ現象が発生しやすい。

　特許文献２に記載の方法は、オフセット印刷により導電層を設ける方法である。この方法も透明性、全光線透過率のバラツキを抑制したパターン形状を得るには優れた方法である。しかし、この方法も枚葉シートの製法であり、長尺のシートにはこの製法を適用することはできない。そのため２ｍ以上の長尺シートを得ることはできない。

　本発明の目的は、透明性が高く、モアレが発現しにくく、さらには全光線透過率のバラツキを抑制した長尺の網目状金属微粒子積層フィルムを提供することにある。さらには、このような網目状金属微粒子積層フィルムの好適な製造方法を提供することにある。

　上記課題を解決する本発明の構成及び方法は以下のとおりである。
１）　フィルム基材の少なくとも片面に網目状の金属微粒子層を有し、全光線透過率の平均値が７０％以上であり、全光線透過率のバラツキが５％以下であり、長さが２ｍ以上である網目状金属微粒子積層フィルム。
２）　ダイ内のマニホールド容積が、ダイ塗布幅１０ｍｍあたり０．０１ｃｃ以上５ｃｃ以下であるダイを使用し、フィルム基材の少なくとも片面に、ダイコート法によって金属微粒子分散液を塗布し、該フィルム基材の上に金属微粒子層を網目状に積層する網目状金属微粒子積層フィルムの製造方法。

　本発明によれば、透明性が高く、モアレが発現しにくく、さらには透明性のバラツキを抑制した長尺の網目状金属微粒子積層フィルムを提供することができる。本発明の網目状金属微粒子積層フィルムは、プラズマディスプレイパネルや液晶テレビなどのフラットパネルディスプレイに好適に用いることができる。

　さらには本発明の製造方法によれば、金属微粒子分散液をある特定な条件で塗布することで、塗膜にスジやキズなのどの欠点を生じることなく、本発明の網目状金属微粒子積層フィルムを高い生産性で連続的に得ることができる。

本発明の網目状金属微粒子積層フィルムにおける網目状の構造の一例を示す平面図である。 フィルム上の気流方向を測定する方法を模式的に示す概略図である。 フィルム上の風速を測定する方法を模式的に示す概略図である。

　本発明は前記課題を解決したフィルム、つまり透明性が高く、モアレの発現を抑え、透明性のバラツキを抑制し、塗膜にスジやキズなどの欠点をなくした長尺の網目状金属微粒子積層フィルムである。具体的には、フィルム基材の少なくとも片面に網目状の金属微粒子層有し、全光線透過率の平均値が７０％以上であり、全光線透過率のバラツキが５％以下であり、長さが２ｍ以上の網目状金属微粒子積層フィルムである。

　本発明の網目状金属微粒子積層フィルムは、フィルムの少なくとも片面に金属微粒子層を有している。本発明の網目状金属微粒子積層フィルムは、金属微粒子層をフィルムの両面に設けてもよいが、透明性を考慮すると、フィルムの両面に金属微粒子層を設けた態様よりも、フィルムの片面に該金属微粒子層を有する網目状金属微粒子積層フィルムであることが好ましい。

　本発明の網目状金属微粒子積層フィルムは、金属微粒子層を網目状に有している。ここで網目状とは、いくつかの点を何本かの線分で結んだ構造のことをいい、例えば図１に金属微粒子層を網目状にした構造を示す。つまり本発明における網目状とは、金属微粒子や後述する各種添加剤などで構成される複数の線分が、複数の点で結ばれた構造を意味する。なお、図１の網目状の金属微粒子層は、次に説明する不規則な網目状の構造を示すものである。

　本発明における金属微粒子層の網目状の構造は、不規則であることが好ましい。これは、本発明の網目状金属微粒子積層フィルムをプラズマディスプレイに貼り合わせて使用した場合、網目状の構造を不規則な構造にすることでモアレ現象が発生しないものを得ることができるからである。

　かかる不規則な網目状の構造は、網目の線部分とそれ以外の空隙部分とで構成され、空隙部分の形状や大きさが不揃いである状態、すなわち不規則な状態として観察されるものである。さらに、網目を構成する部分、すなわち線状の部分の形状も直線ではなく線太さが不揃いであることが多い。不規則な網目状の構造の一例を図１に示すが、これに限定されるものではない。

　本発明の網目状金属微粒子積層フィルムは、全光線透過率の平均値が７０％以上である。好ましくは７５％以上であり、より好ましくは７７％以上である。全光線透過率の平均値が７０％より小さいと、網目状金属微粒子積層フィルムの透明性の点で問題が生じる場合がある。また、全光線透過率の最小値が７０％以上であることもより好ましい。全光線透過率の最小値が７０％以上であれば、局所的に透明性が劣る部分もなく好ましい。

　全光線透過率の平均値は高い程好ましく、その上限は特に限定されない。しかし、フィルム表面の光反射を考慮すると、網目状金属微粒子積層フィルムの全光線透過率の平均値を９２％より高くすることは困難と考えられる。したがって、全光線透過率の平均値９２％が網目状金属微粒子積層フィルムの全光線透過率の物理的限界値（上限）と考えられる。

　また、本発明の網目状金属微粒子積層フィルムの全光線透過率のバラツキは５％以下である。好ましくは３％以下であり、より好ましくは２％以下である。ここで全光線透過率のバラツキとは、全光線透過率の平均値と最大値の差（絶対値）、又は平均値と最小値の差（絶対値）の大きい方の値である。具体的には、例えば全光線透過率の平均値が８０％、最大値が８１％、最小値が７８％としたとき、平均値と最大値の差（絶対値）は１％、平均値と最小値の差（絶対値）は２％であるから、全光線透過率のバラツキは２％となる。全光線透過率のバラツキが５％より大きいと、プラズマディスプレイパネルや液晶テレビなどのフラットパネルディスプレイに適用した場合、ディスプレイにムラなどの問題が生じる場合がある。

　また、全光線透過率のバラツキは小さい程好ましく、その下限は特に限定されない。しかしながら、本発明の網目状金属微粒子積層フィルムは、網目状の金属微粒子層を有し、また好ましい態様としては不規則な網目状の金属微粒子層を有するので、機械的、物理的にバラツキを完全に無くすことは困難である。そのため全光線透過率のバラツキを０．１％未満とすることは困難と考えられ、下限としては０．１％と考えられる。本発明における全光線透過率は、後述の「実施例」で記載した方法で測定した値である。

　本発明における金属微粒子層に用いられる金属微粒子としては、金属からなる微粒子であれば特に限定されず、白金、金、銀、銅、ニッケル、パラジウム、ロジウム、ルテニウム、ビスマス、コバルト、鉄、アルミニウム、亜鉛、錫などが挙げられる。これらの金属は１種で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

　金属微粒子の調整法としては、例えば、液層中で金属イオンを還元して金属原子とし、原子クラスターを経てナノ粒子へ成長させる化学的方法や、バルク金属を不活性ガス中で蒸発させて微粒子となった金属をコールドトラップで捕捉する手法や、ポリマー薄膜上に真空蒸着させて得られた金属薄膜を加熱して金属薄膜を壊し、固相状態でポリマー中に金属ナノ粒子を分散させる物理的手法などを用いることができる。

　本発明における金属微粒子層は、上記のような金属微粒子によって構成された層であり、金属微粒子以外に、他の各種添加剤、例えば、分散剤、界面活性剤、保護樹脂、酸化防止剤、耐熱安定剤、耐候安定剤、紫外線吸収剤、顔料、染料、有機または無機の微粒子、充填剤、帯電防止剤などの無機成分、有機成分を含有することができる。

　本発明の網目状金属微粒子積層フィルムは、長さが２ｍ以上の長尺である。網目状金属微粒子積層フィルムを、プラズマディスプレイパネルや液晶テレビなどのフラットパネルディスプレイに適用する際において、後加工などを考慮した長さとして、少なくとも２ｍ以上が必要となる。つまり、網目状金属微粒子積層フィルムの長さが２ｍ以上であれば、フラットパネルディスプレイ用途として好適に用いることができる。なお２ｍ以上の長尺の場合、フィルムの搬送などの点から、通常は網目状金属微粒子積層フィルムをコアに巻いたフィルムロールとして取り扱う。なお、本発明の網目状金属微粒子積層フィルムは、その長さは２ｍ以上であればその長さに特に上限はない。しかし後述するフィルム基材として好適な熱可塑性樹脂フィルムは、長い場合には３０００ｍ程度の長さで取り扱われることもある。そのため本発明の網目状金属微粒子積層フィルムも、長さ３０００ｍ程度として取り扱う可能性は考えられる。

　本発明の網目状金属微粒子積層フィルムにおいて、金属微粒子層を網目状、特に不規則な網目状にするためには、金属微粒子分散液を用いて本発明の網目状金属微粒子積層フィルムを製造する方法が挙げられる。本発明において、金属微粒子分散液を用いて網目状の構造を形成させる場合、例えば、金属微粒子と分散剤などの有機成分とからなる粒子を含む固形分の分散液（金属コロイド分散液）を用いて、塗布を行う方法を好適に用いることができる。かかる金属コロイド分散液の溶媒としては、水、各種の有機溶媒を用いることができる。

　本発明の網目状金属微粒子積層フィルムを製造するに際し、金属微粒子分散液として、自己組織化する金属微粒子分散液を好ましく用いることができる。ここで、「自己組織化する金属微粒子分散液」とは、基板上に一面に塗布して放置しておくと、自然に基板上に網目状の構造を形成する分散液を意味するものである。このような金属微粒子分散液としては、例えばＣｉｍａ　ＮａｎｏＴｅｃｈ社製ＣＥ１０３－７を用いることができる。

　本発明の網目状金属微粒子積層フィルムは、前述の金属微粒子分散液をフィルムの少なくとも片面に塗布することで製造することが可能である。この金属微粒子分散液を塗布する工程においては、塗布装置がフィルムに接触しない塗布方法を用いることが好ましい。中でもダイコート法を用いることが好ましい。

　塗布装置がフィルムと接触する接触式の塗布方法を用いた場合、金属微粒子分散液を塗布する際にフィルムと接触した部分がキズになったり、フィルムと接触した部分にスジが発生するなどの問題が生じる場合がある。

　一方、塗布装置がフィルムに接触しない塗布方法としては、ダイコート法以外にも、アプリケーター法、コンマコート法、ディッピング法などがある。しかし、これらダイコート法以外の塗布方法は、塗布する際に、金属微粒子分散液を液パン内に溜める必要があり、液パン内で金属微粒子分散液の凝集が生じる場合がある。また液パンは開放系であるため、金属微粒子分散液に有機溶媒を使用した場合、揮発により濃度変化が起こる場合がある。揮発による濃度変化が生じると、得られる網目状金属微粒子積層フィルムの全光線透過率のバラツキが大きくなる場合がある。ダイコート法では、液パンに金属微粒子分散液を溜める必要もなく、また密閉系でもあるため揮発による濃度変化も少ない。つまり金属微粒子積層フィルムの全光線透過率のバラツキを抑制するためには、塗布装置がフィルムに接触しない塗布方法であるダイコート法によって金属微粒子分散液を塗布することが好ましい。

　本発明の網目状金属微粒子積層フィルムの製造方法は、ダイコート法を用い、ダイ内のマニホールド容積をダイ塗布幅１０ｍｍあたり０．０１ｃｃ以上５．０ｃｃ以下にすることが好ましい。ダイ塗布幅をこの範囲内とすることで、全光線透過率が高く、全光線透過率のバラツキの小さい網目状金属微粒子積層フィルムを得ることができるため好ましい。マニホールドの形状は特に限定されない。ダイ内のマニホールド容積は、さらに好ましくは０．０５ｃｃ以上３．０ｃｃ以下であり、特に好ましくは０．１ｃｃ以上０．５ｃｃ以下である。マニホールドの容積が、ダイ塗布幅１０ｍｍあたり５．０ｃｃより大きいと、マニホールドに金属微粒子分散液が滞留してしまい、分散液の凝集が起こるなどの問題が生じる場合がある。逆に、０．０１ｃｃより小さいと、マニホールドの溜まりが小さく、分散液を安定してフィルムに供給することができず、塗布ムラの原因になる。

　本発明の網目状金属微粒子積層フィルムをダイコート法によって製造する場合において、
ダイ内のマニホールド相当断面積を０．４５ｍｍ^２以上１５０ｍｍ^２以下にすることが好ましい。マニホールド相当断面積をこの範囲内とすることで、マニホールド内に分散液を安定的に供給することができ、結果的に全光線透過率が高く、全光線透過率のバラツキの小さい網目状金属微粒子積層フィルムを得ることができる。ダイ内のマニホールド相当断面積は、より好ましくは０．４５ｍｍ^２以上１００ｍｍ^２以下であり、さらに好ましくは１ｍｍ^２以上５０ｍｍ^２以下であり、特に好ましく４ｍｍ^２以上２０ｍｍ^２以下である。ダイ内のマニホールド相当断面積が１５０ｍｍ^２より大きいと、マニホールドへ分散液が供給された際に、マニホールド内に分散液が滞留してしまい、分散液が凝集する場合がある。０．４５ｍｍ^２より小さいと、マニホールドの溜まりが狭く、分散液を安定してフィルムに供給できなかったり、せん断による分散液の凝集が起きる場合がある。

　ここで、マニホールド相当断面積とは、マニホールドの断面を通過する流体とある円形の断面を通過する流体との流れ易さが同じであるとき、この円形の断面積のことをいう。マニホールド相当断面積が大きければ流体は流れ易く、逆にマニホールド相当断面積が小さければ流体は流れにくい。マニホールド相当断面積は下記式で求めることができる。
・ｄ_ｎ＝４×ｓ／ｌ
・Ｓ_ｎ＝（ｄ_ｎ／２）^２π
ただし、Ｓ_ｎ：マニホールド相当断面積（ｍｍ^２）
　　　　ｄ_ｎ：マニホールド相当直径（ｍｍ）
　　　　ｓ：マニホールドの断面積（ｍｍ）
　　　　ｌ：マニホールドの断面の周囲長（ｍｍ）。

　マニホールドの断面積が一定であっても、マニホールドの断面の周囲長が長い、つまり断面の形状が扁平であると流体は流れにくくなる。この場合、マニホールド相当断面積は小さくなる。逆に、マニホールドの断面の周囲長が短い、つまり断面の形状が真円に近づくと流体は流れ易くなる。この場合、マニホールド相当断面積は大きくなる。つまり、マニホールド相当断面積は、同一の断面積で形状の異なるマニホールドの間での流体の流れ易さを示す指標である。

　本発明の網目状金属微粒子積層フィルムをダイコート法によって製造する場合において、フィルム基材面への金属微粒子分散液の塗布とは別に、金属微粒子分散液をマニホールドからフィルム基材面以外へ排出することが好ましい。具体的には、ダイからフィルム基材へ塗布するための開口（以後、ダイ吐出部）とは別に、金属微粒子分散液をマニホールドからフィルム基材面以外へ排出させるための開口（以後、マニホールド排出部）を設けることが好ましい。ダイ吐出部と共にマニホールド排出部からも金属微粒子分散液を排出させることで、さらに全光線透過率が高く、全光線透過率のバラツキの小さい網目状金属微粒子積層フィルムを得ることができる。マニホールド排出部から排出させる量は、ダイ吐出部からフィルム基材への塗布量１００体積％に対して、１０体積％以上であることが好ましい。より好ましくは２０体積％以上であり、特に好ましくは５０体積％以上である。マニホールド排出部から排出させる量が、ダイ塗出部からの塗布量１００体積％に対して１０体積％より少ないと、ダイ内のマニホールドに金属微粒子分散液が滞留してしまい、溶液が凝集する場合がある。

　また、マニホールド排出部から排出させる量は、多いほうがダイ内のマニホールドでの滞留や凝集が低減するため上限は特に限定されない。しかし、ダイ吐出部からの塗布量の塗布安定性を考慮すると、マニホールド排出部から排出させる量は、ダイ吐出部からの塗布量１００体積％に対して、１０００体積％以下であれば、安定して塗布されると思われる。

　本発明においては、金属微粒子分散液を塗布した後、塗布面上の空気を、フィルム面と平行な方向を０度として０±４５度の範囲内の方向に流すことが好ましい。空気の流れる方向、つまり気流角度は次のようにして測定する。フィルム基材の上に金属微粒子分散液を塗布して金属微粒子層を形成する工程において、フィルムの幅方向の中心で塗布面の上２ｃｍの場所に先端に２ｃｍの糸を付けた棒をフィルムと平行に置く。棒の先端に付けた糸が、フィルム面と平行になびいていれば気流角度０度、上方垂直になびいていれば気流角度９０度、下方垂直になびいていれば気流角度は－９０度とする（図２参照）。気流角度は、０±４５度の範囲内であることが好ましく、より好ましくは０±３０度の範囲内であり、さらに好ましくは０±１５度の範囲内であり、特に好ましくは０±５度の範囲内である。気流角度が０±４５度の範囲外であると、気流の風速を大きくしたときに、網目状につながった金属微粒子層の構造がはなれてしまう場合がある。そのため、網目状金属微粒子積層フィルムを用いて導電性フィルムとした際の導電性の点で問題が生じる場合がある。気流角度を０度±４５度の範囲内とし、さらに気流の風速を後述のように制御することにより、３０秒以下という非常に短時間で、フィルム基材上に網目状の金属微粒子層を形成することができる。網目状の金属微粒子層を形成する時間が長くなると、連続プロセスにおいて気流を流すための乾燥装置等の生産設備が非常に長くなってしまう。そのため、生産プロセスの速度を遅くするといった対処をする必要がある。３０秒以下という非常に短時間で網目状の金属微粒子層を形成することができると、連続プロセスに適用する際に通常の生産設備を使用することができる。また生産プロセスの速度を抑える必要がないのでコストアップさせることもなく、長さが２ｍ以上の網目状金属微粒子積層フィルムを得ることができる。

　また、網目状金属微粒子積層フィルムを連続塗布するプロセスに適用した場合、気流の方向はフィルムの長手方向と平行であることが好ましい。長手方向と平行であれば、フィルムの流れ方向と同じ方向の気流であっても、フィルムの流れ方向と逆方向の気流であっても問題はない。フィルムの幅方向からの気流の場合は、網目状金属微粒子積層フィルムとしたときに、塗膜にムラが生じる場合がある。

　本発明においては、さらに０±４５度の範囲内の方向の気流の風速を１ｍ／秒以上１０ｍ／秒以下にすることが好ましい。気流の風速の測定は、風速計を用いて次のようにして測定する。フィルム基材上に金属微粒子分散液を塗布して金属微粒子層を形成する工程において、フィルムの幅方向の中心で塗布面の上１ｃｍの場所にプローブの測定面がくるように風速計を置く。上記で説明した気流角度の測定法で測定した角度の気流のみの風速を測定するようにプローブの角度を調整する。そして風速を静止状態で３０秒間測定する（図３参照）。３０秒間測定した測定値の最大値を気流の風速とする。

　気流の風速は、１ｍ／秒以上１０ｍ／秒以下であることが好ましい。より好ましくは２ｍ／秒以上８ｍ／秒以下であり、さらに好ましくは３ｍ／秒以上６ｍ／秒以下である。気流の風速が１０ｍ／秒より大きいと、気流角度に関係なく、網目状につながった構造がはなれてしまう場合がある。そのため、網目状金属微粒子積層フィルムを用いて導電性フィルムとした際の導電性の点で問題が生じる場合がある。また、１ｍ／秒より小さいと網目状金属微粒子フィルムを得ることは可能であるが、連続プロセスに適用することを考えたときに、網目状金属微粒子層の形成に長い時間を要するため、コストアップなど生産性に問題が起きてしまう可能性がある。

　この気流は、フィルム上の空気を排気、もしくはフィルム上に空気を給気することによって発生させることができる。排気もしくは給気する方法については特に限定はなく、例えば、排気する方法としては、排気ファンやドラフトなどを使用して排気することができる。また、給気する方法としては、クーラーやドライヤーなのを使用して給気することができる。フィルム上の気流の方向を一定で乱れなくする点で、排気により気流を発生させることが好ましい。給気する方法は、静止している空気に給気装置から空気を押し込むことになり、どうしても気流の方向が乱れがちである。一方、排気する方法は、静止している空気を排気装置側に引っぱることになるので、気流の方向を一定に保つことが容易である。フィルム上の気流の方向が一定で乱れがなければ、塗膜にムラがなくなり、全光線透過率のバラツキを抑制させることができるため好ましい。

　フィルム基材に金属微粒子分散液を塗布した後、塗布面上の空気を０±４５度の範囲内の方向に流す時間は、３０秒以下であることが好ましい。より好ましくは２５秒以下であり、さらに好ましくは２０秒以下である。空気を流す時間が３０秒より長くなると、連続プロセスへ適用した場合に、乾燥装置等の生産設備を長くする必要があったり、生産プロセスの速度を抑える必要があるため、コストアップなどの生産性に問題が起きてしまうことがある。また、空気を流す時間は短い程好ましいものの、塗布した塗膜を網目状に形成するための最低限の時間を要するため、現実的には５秒未満とすることは困難であり、５秒が下限と考えられる。この空気を流す時間は、空気が流れている装置内にフィルムを通過させ、この通過時間で調整してもよく、静止しているフィルムの上の空気を給排気装置で流し、この給排気装置を動作させる時間で調整してもよい。　

　以上のことから、フィルム基材に金属微粒子分散液を塗布した後、塗布面上の空気を０±４５度の範囲内の方向で、風速１ｍ／秒以上１０ｍ／秒以下の速さで、３０秒間以下の時間流す方法が、金属微粒子層を網目状にするための好適な方法である。

　本発明において、フィルム基材への金属微粒子分散液の塗布開始から塗布完了までの間のフィルム上の温度、さらに金属微粒子分散液の塗布後に０±４５度の範囲内の方向に空気を流している間のフィルム上の温度は特に限定されず、金属微粒子分散液中の溶媒によって適宜選択すればよいが、１０～５０℃の条件を満たすように制御されていることが好ましい。より好ましくは１５～４０℃であり、特に好ましくは１５～３０℃である。フィルム上の温度が１０℃未満もしくは、５０℃より大きいと、全光線透過率が低下し、網目状金属微粒子積層フィルムの透明性の点で問題が生じる場合がある。また、網目状につながった構造がはなれてしまう場合がある。そのため、網目状金属微粒子積層基板を用いて導電性基板とした際の導電性の点で問題が生じる場合がある。

　フィルム上の温度の測定は次のようにして測定する。フィルム基材上に金属微粒子分散液を塗布して網目状金属微粒子層を形成する工程において、温度計を用いてフィルムの幅方向の中心でフィルム面の上１ｃｍの温度を測定する。

　フィルム上の温度を上記範囲内に制御することを考慮すると、金属微粒子分散液の塗布後に０±４５度の範囲内の方向に流す空気の温度は、好ましくは１０～５０℃である。より好ましくは１５～４０℃であり、特に好ましくは１５～３０℃である。

　本発明において、フィルム基材への金属微粒子分散液の塗布開始から塗布完了までの間、さらに金属微粒子分散液の塗布後に０±４５度の範囲内の方向に空気を流す間は、フィルム上の湿度を１～８５％ＲＨの条件を満たす雰囲気に制御することが好ましい。より好ましくは１０～７０％ＲＨであり、さらに好ましくは２０～６０％ＲＨであり、特に好ましくは３０～５０％ＲＨである。フィルム上の湿度が１％ＲＨ未満では、全光線透過率が低下して、網目状金属微粒子積層フィルムの透明性の点で問題が生じる場合がある。フィルム上の湿度が８５％ＲＨより大きいと、網目状につながった構造がはなれてしまう場合がある。そのため、網目状金属微粒子積層フィルムを用いて導電性基板とした際の導電性の点で問題が生じる場合がある。

　フィルム上の湿度の測定は次のようにして測定する。フィルム基材上に金属微粒子分散液を塗布して網目状金属微粒子層を形成する工程において、湿度計を用い、フィルムの幅方向の中心でフィルム面の上１ｃｍの湿度を測定する。

　フィルム上の湿度を上記範囲内に制御することを考慮すると、金属微粒子分散液の塗布後に０±４５度の範囲内の方向に流す空気の湿度は、好ましくは１～８５％ＲＨである。より好ましくは１０～８０％ＲＨであり、さらに好ましくは２０～６０％ＲＨであり、特に好ましくは３０～５０％ＲＨである。

　本発明において、金属微粒子分散液として網目形状に自己組織化する金属微粒子分散液を用いる場合、金属微粒子分散液の塗布開始から金属微粒子分散液が網目形状になるまでの間において、上述したようにフィルム上の温湿度を特定な条件に維持することが好ましい。

　そして、上述した製造方法により得られた網目状金属微粒子積層フィルムは、さらに金属微粒子層を熱処理することにより、導電性を向上させることができる。この熱処理の温度は、好ましくは１００℃以上２００℃未満である。より好ましくは１３０℃以上１８０℃以下、さらに好ましくは１４０℃以上１６０℃以下である。２００℃以上の高温で長時間熱処理を行うと、フィルムの変形などの問題が生じる場合がある。熱処理温度が１００℃未満であると、網目状金属微粒子積層フィルムを透明導電性フィルムとして使用した際の導電性の点で問題が生じる場合がある。

　この熱処理の時間は、好ましくは１０秒以上３分以下である。より好ましくは２０秒以上２分以下、さらに好ましくは３０秒以上２分以下である。１０秒より短時間の熱処理では、網目状金属微粒子積層フィルムを導電性フィルムとして使用した際の導電性の点で問題が生じる場合がある。３分より長く熱処理を行うと、連続プロセスに適用することを考えたときに、熱処理工程を長時間必要とし、コストアップなど、生産性に問題が起きてしまう可能性がある。

　本発明においては、上記熱処理に続いて、さらに金属微粒子層を酸や有機溶媒で処理することにより、さらに導電性を向上させることができる。

　この酸で処理する方法は、穏和な処理条件で金属微粒子の導電性を高めることができるため、熱可塑性樹脂など、耐熱性や耐光性に劣る材料を基材フィルムとして用いた場合でも酸処理をすることができる。また、複雑な装置や工程を必要としない方法のため、生産性の点でも好ましい。

　酸処理に用いる酸は特に限定されず、種々の有機酸、無機酸から選択することができる。有機酸としては、酢酸、シュウ酸、プロピオン酸、乳酸、ベンゼンスルホン酸などが挙げられる。無機酸としては、塩酸、硫酸、硝酸、リン酸などが挙げられる。これらは、強酸であっても、弱酸であってもよい。好ましくは酢酸、塩酸、硫酸、およびその水溶液であり、より好ましくは塩酸、硫酸、およびその水溶液を用いることができる。

　酸で処理する具体的な方法としては特に限定されない。例えば、酸や、酸の溶液の中に金属微粒子層を積層したフィルムを浸したり、酸や、酸の溶液を金属微粒子層の上に塗布したり、酸や、酸の溶液の蒸気を銀微粒子層にあてたりする方法が用いられる。

  金属微粒子層を有機溶媒で処理する段階としては、フィルム上に金属微粒子を網目状に積層して網目状金属微粒子積層フィルムとしておいてから有機溶媒で処理する方法が、導電性を高める効果に優れ、生産性の点で効率がよいため好適に用いられる。また、有機溶媒で処理する前や後に、金属微粒子層を積層したフィルムに別の層を印刷したり、塗布したりして積層してもよい。また、有機溶媒で処理する前や後に、金属微粒子層を積層したフィルムを乾燥したり、熱処理したり、紫外線照射処理などをしてもよい。

　金属微粒子層を有機溶媒で処理する際の該有機溶媒の処理温度は常温で十分である。高温で処理を行うと、フィルムを白化させ透明性を損ねる場合がある。処理温度は好ましくは４０℃以下である。より好ましくは３０℃以下であり、特に好ましくは２５℃以下である。

　金属微粒子層を有機溶媒で処理する方法は特に限定されない。例えば、有機溶媒の溶液の中に金属微粒子層を積層したフィルムを浸したり、有機溶媒を金属微粒子層上に塗布したり、有機溶媒の蒸気を金属微粒子層にあてたりする方法が用いられる。これらの中でも、有機溶媒の中に金属微粒子層を積層したフィルムを浸したり、有機溶媒を金属微粒子層上に塗布したりする方法が、導電性向上効果に優れるため好ましい。

　かかる有機溶媒の一例を挙げると、メチルアルコール、エチルアルコール、イソプロピルアルコール、ｎ-ブタノール、イソブタノール、３-メトキシ-３-メチル-１-ブタノール、１，３ブタンジオール、３-メチル-１，３-ブタンジオールなどのアルコール類、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノンなどのケトン類、酢酸エチル、酢酸ブチルなどのエステル類、ヘキサン、ヘプタン、デカン、シクロヘキサンなどのアルカン類、Ｎ-メチル-２-ピロリドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホオキシドなどの双極性非プロトン溶媒、トルエン、キシレン、アニリン、エチレングリコールブチルエーテル、エチレングリコール、エチルエーテル、エチレングリコールメチルエーテル、クロロホルム等、およびこれらの混合溶媒を使用することができる。これらの中でも、ケトン類、エステル類、トルエンが含まれていると、導電性向上効果に優れるため好ましく、特に好ましくはケトン類である。

　また、網目状金属微粒子積層フィルムの金属微粒子層を熱処理後、続いて金属微粒子層を酸で処理する前に、金属微粒子層を有機溶媒で処理することで、網目状金属微粒子積層フィルムの導電性をさらに向上させることができる。

　本発明における網目状金属微粒子積層フィルムの導電性は、表面比抵抗の平均値が１００Ω／ｓｑ．(ohm/square)以下であることが好ましい。より好ましくは７０Ω／ｓｑ．以下であり、さらに好ましくは５０Ω／ｓｑ．以下であり、特に好ましくは３０Ω／ｓｑ．以下である。表面比抵抗の平均値が１００Ω／ｓｑ．以下であると、網目状金属微粒子積層フィルムを透明導電性フィルムとして通電して用いる際に、抵抗による負荷が小さくなるため、発熱が抑えられることや、低電圧で用いることができるので好ましい。また、例えば、プラズマディスプレイパネルや液晶テレビなど、フラットパネルディスプレイの電磁波シールド基板用の透明導電性フィルムとして用いた場合には、電磁波シールド性が良好となるため好ましい。導電性フィルムの表面比抵抗は低い方が好ましいものの、現実的に０．１Ω／ｓｑ．未満とすることは困難と考えられ、そのため表面比抵抗の平均値は０．１Ω／ｓｑ．が下限と考えられる。

　また、表面比抵抗の最大値が１００Ω／ｓｑ．以下あることもより好ましい。表面比抵抗の最大値が１００Ω／ｓｑ．以下であると、局所的に抵抗負荷の高い部分もなく好ましい。

　本発明の網目状金属微粒子積層フィルムの表面比抵抗のバラツキは３０％以下が好ましい。より好ましくは２０％以下、特に好ましくは１５％以下である。ここで表面比抵抗のバラツキとは、表面比抵抗の平均値と最大値の差（絶対値）の平均値に対する割合、又は平均値と最小値の差（絶対値）の平均値に対する割合の大きい方の値である。具体的には、例えば、表面比抵抗の平均値が３０Ω／ｓｑ．、最大値が３６Ω／ｓｑ．（平均値から＋６Ω／ｓｑ．）、最小値が２７Ω／ｓｑ．（平均値から－３Ω／ｓｑ．）としたとき、平均値と最大値の差（絶対値）の平均値に対する割合は２０％、平均値と最小値の差（絶対値）の平均値に対する割合は１０％であるから、表面比抵抗のバラツキは２０％となる。表面比抵抗のバラツキが３０％より大きいと、網目状金属微粒子積層フィルムを透明導電性フィルムとして用いた際に、導電性にムラが生じ、通電や信号が不安定になるなどの問題が生じる場合がある。本発明における表面比抵抗は、後述の「実施例」に記載した方法で測定した値である。

　また、表面比抵抗のバラツキは、ダイコート法において、ダイ内のマニホールド容積をダイ塗布幅１０ｍｍあたり０．０１ｃｃ以上５ｃｃ以下にする方法や、マニホールド排出部からの金属微粒子分散液の排出量を、ダイ吐出部からフィルム基材への塗布量１００体積％に対して１０体積％以上とする方法などにより抑制することができる。

　本発明におけるフィルム基材とは、特に限定しないが、フィルムの表面に親水性処理層が積層されているフィルムを用いる場合には、金属微粒子が網目状に積層されやすくなるため好ましい。親水性処理層としては、特に限定されるものではないが、ポリエステル、アクリル変性ポリエステル、ポリウレタン、アクリル系樹脂、メタクリレート系樹脂、ポリアミド、ポリビニルアルコール類、澱粉類、セルロース誘導体、ゼラチン等の天然樹脂、ポリビニルピロリドン、ポリビニルブチラール、ポリアクリルアミド、エポキシ樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂、ポリチオフェン、ポリピロール、ポリアセチレン、ポリアニリン、各種シリコーン樹脂や変性シリコーン樹脂などからなる層を用いることができる。

　本発明におけるフィルム基材が熱可塑性樹脂フィルムであると、透明性、柔軟性、加工性に優れるなどの点で好ましい。本発明でいう熱可塑性樹脂フィルムとは、熱によって溶融もしくは軟化するフィルムの総称であって、特に限定されるものではないが、機械的特性、寸法安定性、透明性などの点で、ポリエステルフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリアミドフィルムなどが好ましく、更に、機械的強度、汎用性などの点で、ポリエステルフィルムが特に好ましい。

　本発明の網目状金属微粒子積層フィルムには、フィルム基材、金属微粒子層の他に各種の層が積層されていてもよい。例えば、フィルム基材と金属微粒子層の間に密着性改善のための下塗り層などが設けられていてもよく、金属微粒子層の上に保護層が設けられていてもよく、フィルム基材の片面または両面に粘着層、離型層、保護層、接着性付与層又は耐候性層などが設けられていてもよい。このような各種層をフィルム基材と金属微粒子層の間に設ける場合、金属微粒子分散液を塗布するフィルム基材上の各種層の表面ぬれ張力が４５ｍＮ／ｍ以上７３ｍＮ／ｍ以下であることが好ましい。

　本発明の網目状金属微粒子積層フィルムは、透明性高く、モアレが発現ににくく、さらに好ましい態様では高い導電性を有しているため、プラズマディスプレイパネルや液晶テレビなどのフラットパネルディスプレイに用いられる電磁波シールドフィルムとして用いることが可能である。さらに回路材料用途や、透明ヒーター、太陽電池用途など、各種の透明導電性フィルム用途にも好適に用いることができる。

　以下実施例により、本発明の網目状金属微粒子積層フィルムを具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。

　［特性の測定方法および効果の評価方法］
　各実施例・比較例で作成した網目状金属微粒子積層フィルムの特性の測定方法および効果の評価方法は次のとおりである。

　（１）表面観察（形状観察）
　網目状金属微粒子積層フィルムの表面を微分干渉顕微鏡（ＬＥＩＣＡ　ＤＭＬＭ　ライカマイクロシステムズ（株）製）にて倍率１００倍で観察し、網目の形状を観察する。　

　（２）表面比抵抗
　表面比抵抗は次のようにして求める。網目状金属微粒子積層フィルムを温度２３℃、相対湿度６５％の雰囲気下に２４時間放置する。その後、同じ雰囲気下で、ＪＩＳ－Ｋ－７１９４（１９９４）に準拠して表面比抵抗を測定する。測定装置は三菱化学株式会社製　ロレスタ－ＥＰ（型番：ＭＣＰ－Ｔ３６０）を用いる。この測定器は１×１０^６Ω／ｓｑ．以下の測定が可能である。

　網目状金属微粒子積層フィルムの長手方向（機械方向）２ｍ分の範囲内で、長手方向１０ｃｍ間隔、幅方向（長手方向と直交する方向）１０ｃｍ間隔の各点の表面比抵抗値を測定する。全ての測定点の表面比抵抗値の平均値を、網目状金属微粒子積層フィルムの表面比抵抗とする。
網目状金属微粒子積層フィルムの長手方向長さが１０ｍ以上の場合は、長手方向１０ｍ毎に長手方向２ｍ分の各範囲を同じ方法で測定し、全ての測定点の表面比抵抗値の平均値を求め、その値を網目状金属微粒子積層基板の表面比抵抗とする。例えば、網目状金属微粒子積層フィルムが３０ｍの長さであった場合、はじめの長手方向２ｍ分の範囲内、そこから１０ｍ離れた１２ｍ部分からの長手方向２ｍ分の範囲内、さらにそこから１０ｍ離れた２４ｍ部分からの長手方向２ｍ分の範囲内の各測定点の表面比抵抗値を求め、全ての測定点の表面比抵抗値の平均値を求める。
表面比抵抗の平均値が１００Ω／ｓｑ．以下であれば導電性は良好である。

　（３）表面比抵抗のバラツキ
　表面比抵抗のバラツキは次のようにして求める。（２）で測定した全ての測定点の表面比抵抗の値から平均値、最大値、最小値を求める。平均値と最大値の差（絶対値）の平均値に対する割合と、平均値と最小値の差（絶対値）の平均値に対する割合を求め、大きい方の値を表面比抵抗のバラツキとする。
表面比抵抗のバラツキが３０％以下であれば良好である。

　（４）全光線透過率
　全光線透過率は次のようにして求める。網目状金属微粒子積層フィルムを温度２３℃、相対湿度６５％の雰囲気下に２時間放置する。その後、測定装置を用いて全光線透過率を測定する。測定装置はスガ試験機（株）製全自動直読ヘイズコンピューター「ＨＧＭ－２ＤＰ」を用いる。フィルムの片面のみに金属微粒子層を積層している積層フィルムの場合、金属微粒子層を積層した面側より光が入るようにフィルムを設置する。

　網目状金属微粒子積層フィルムの長手方向２ｍ分の範囲内で、長手方向１０ｃｍ間隔、幅方向１０ｃｍ間隔の各点の全光線透過率を測定する。全ての測定点の全光線透過率の平均値を、網目状金属微粒子積層フィルムの全光線透過率とする。
網目状金属微粒子積層フィルムの長手方向長さが１０ｍ以上の場合は、長手方向１０ｍ毎に長手方向２ｍ分の各範囲を同じ方法で測定し、全ての測定点の全光線透過率の平均値を求め、その値を網目状金属微粒子積層基板の全光線透過率とする。例えば、網目状金属微粒子積層フィルムが３０ｍの長さであった場合、はじめの長手方向２ｍ分の範囲内、そこから１０ｍ離れた１２ｍ部分からの長手方向２ｍ分の範囲内、さらにそこから１０ｍ離れた２４ｍ部分からの長手方向２ｍ分の範囲内の各測定点の全光線透過率を求め、全ての測定点の全光線透過率の平均値を求める。
測定した全光線透過率の平均値が７０％以上であれば透明性は良好である
　（５）全光線透過率のバラツキ
　全光線透過率のバラツキは次のようにして求める。（４）で測定した全ての測定点の全光線透過率の値から平均値、最大値、最小値を求める。平均値と最大値の差（絶対値）と、平均値と最小値の差（絶対値）を求め、大きい方の値を全光線透過率のバラツキとする。
全光線透過率のバラツキが５％以下であれば良好である。

　（６）モアレ性
　モアレ性は次のようにして評価する。画像が表示されているディスプレイの画面の前で、画面と網目状金属微粒子積層フィルムが概ね平行になるようにしてフィルムを持つ。画面とフィルム面が概ね平行の状態を保ちながらフィルムを３６０°回転させ、回転中にモアレ現象が発現するか否かを目視で観察する。フィルムの片面のみに金属微粒子層を積層している場合、金属微粒子層を積層していない面側がディスプレイ画面に対向するようにフィルムを持つ。ディスプレイは松下電器産業株式会社製　プラズマディスプレイ　ＶＩＥＲＡ　ＴＨ－４２ＰＸ５０を用いる。
モアレが観察されないものを評価「Ａ」、モアレが部分的にでも観察されるものを評価「Ｂ」とする。評価が「Ａ」であればモアレ性は良好である。

　（７）金属微粒子層積層時の気流角度　
　気流角度は次のようにして測定する。フィルム基材上に金属微粒子分散液を塗布して金属微粒子層を形成する工程において、フィルムの幅方向の中心でフィルム面の上２ｃｍの場所に、先端に２ｃｍの糸を付けた棒をフィルムと平行に置き測定する。棒の先端に付けた糸が、フィルム面と平行になびいていれば気流角度０度、上方垂直になびいていれば気流角度９０度、下方垂直になびいていれば気流角度は－９０度とする。測定には、ポリエステル系繊維のマルチフィラメントで、太さが１４０ｄｔｅｘの糸を使用する。

　（８）金属微粒子層積層時の気流の風速
　気流の風速は次のようにして測定する。フィルム基材上に金属微粒子分散液を塗布して網目状金属微粒子層を形成する工程において、フィルムの幅方向の中心でフィルム面の上１ｃｍ上の場所にプローブの測定面がくるように風速計を置く。（７）で測定した角度の気流のみの風速を測定するようにプローブの角度を調整する。そして風速を静止状態で３０秒間測定する（図３参照）。３０秒間測定した測定値の最大値を気流の風速とする。風速計には日本カノマックス株式会社製　ＣＬＩＭＯＭＡＳＴＥＲ（ＭＯＤＥＬ　６５３１）を用いる。

　（９）表面ぬれ張力
　フィルムの表面ぬれ張力次のようにして測定する。各実施例・比較例で用いたフィルムを温度２３℃、相対湿度５０％の雰囲気下で６時間放置する。その後、同じ雰囲気下でＪＩＳ－Ｋ－６７６８（１９９９）に準拠して表面ぬれ張力を測定する。

　まず、フィルムの測定したい面を上にしてハンドコーターの基盤の上に置く。表面ぬれ張力試験用混合液をフィルム面に数滴滴下して、直ちにＷＥＴ厚み１２μｍが塗布できるワイヤーバーを引いて広げる。

　表面ぬれ張力の判断は、試験用混合液の液膜を明るいところで観察し、２秒後の液膜の状態で行う。液膜が破れを生じないで、２秒以上塗布されたときの状態を保っていればぬれていることになる。ぬれが２秒以上保つ場合は、さらに表面ぬれ張力の高い混合液を使って同様に評価する。逆に、２秒未満で液膜が破れる場合は、表面ぬれ張力の低い混合液を使って同様に評価する。この操作を繰り返し、フィルムの表面をほぼ２秒間ぬらすことができる混合液を選び、そのフィルムの表面ぬれ張力とする。この測定法による表面ぬれ張力の最大は７３ｍＮ／ｍである。表面ぬれ張力の単位はｍＮ／ｍである。

　（１０）金属微粒子層形成時のフィルム上の湿度
　フィルム上の湿度は次のようにして測定する。フィルム基材上に金属微粒子分散液を塗布して網目状金属微粒子層を形成する工程において、フィルムの幅方向中心でフィルム面の上１ｃｍの湿度を測定する。湿度は１５秒以上測定し、安定したときの値とする。測定装置はＣＬＩＭＯＭＡＳＴＥＲ（ＭＯＤＥＬ　６５３１）を用いる。

　（１１）金属微粒子層形成時のフィルム上の温度
　フィルム上の温度は次のようにして測定する。フィルム基材上に金属微粒子分散液を塗布して網目状金属微粒子層を形成する工程において、フィルムの幅方向の中心でフィルム面の上１ｃｍの温度を測定する。温度は３０秒以上測定し、安定したときの値とする。測定装置は日本カノマックス株式会社製　ＣＬＩＭＯＭＡＳＴＥＲ（ＭＯＤＥＬ　６５３１）を用いる。

　次に、実施例に基づいて本発明を説明する。

　（金属微粒子分散液１）
　金属微粒子分散液１として、銀微粒子分散液であるＣｉｍａ　ＮａｎｏＴｅｃｈ社製ＣＥ１０３－７を用いた。

　（金属微粒子分散液２）
　硝酸銀の水溶液中にモノエタノールアミンを滴下し、銀アルカノールアミン錯体の水溶液得た（水溶液１）。この溶液とは別に、還元剤としてキノンを溶解した水溶液にモノエタノールアミンを添加した水溶液を調整した（水溶液２）。次に、水溶液１と水溶液２を同時にプラスチック製容器に注ぎ込み、銀アルカノールアミン錯体を還元して銀微粒子とした。この混合液を濾過してから、水で洗浄した後、乾燥して、銀微粒子を得た。さらに、この銀微粒子を水に再溶解させることで、銀微粒子分散液を得た。銀微粒子の数平均粒子径は１．４μｍであった。

　（実施例１）
　二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ（株）製　ルミラー（登録商標）Ｕ４６、表面ぬれ張力４７ｍＮ／ｍ）の片面にプライマーを塗布し、親水性処理を行った。親水性処理を行ったフィルムの表面ぬれ張力は７３ｍＮ／ｍであった。続いて、基板上の空気を排気ファンを用いて排気することで、基板面と平行から０度の方向に温度２５℃、湿度４５％ＲＨの空気を流した。さらに、その気流の風速を４ｍ／秒に調整した。この時のフィルム上の温度は２５℃であり、湿度は４５％ＲＨであった。この気流下で、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムの親水性処理層上に金属微粒子分散液１をＷＥＴ厚み３０μｍになるように基板にダイコート法を用いて塗布した。このときダイ内のマニホールド排出部からの排出量をダイ塗布量１００体積％に対し２４体積％として塗布した。ダイ内のマニホールド容積は、ダイ塗布幅１０ｍｍあたり０．２ｃｃで、ダイ内のマニホールド相当断面積は１３ｍｍ^２であった。

　塗布した銀微粒子分散液（金属微粒子分散液１）は、塗布後に自己組織化して不規則な網目状となった。こうして銀微粒子層を網目状に形成した積層フィルムを得た。得られた積層フィルムを、続いて１５０℃のオーブンで１分間熱処理することで網目状金属微粒子積層フィルムを得た。フィルムの長さは１００ｍとした。

　得られた網目状金属微粒子積層フィルムは、不規則な網目状であった。長さ１００ｍの範囲内での全光線透過率の平均値は８０％であった。全光線透過率の最大値は８１％、最小値は７８％であり、全光線透過率のバラツキは２％で良好であった。表面比抵抗の平均値は３０Ω／ｓｑ．であった。表面比抵抗の最大値は３６Ω／ｓｑ．、最小値は２７Ω／ｓｑ．であり、表面比抵抗のバラツキは２０％で良好であった。耐モアレ性は「Ａ」であった。

　（実施例２）
　フィルムの長さを２ｍとする以外は、実施例１と同様にして網目状金属微粒子積層フィルムを得た。
得られた網目状金属微粒子積層フィルムは、不規則な網目状であった。長さ２ｍの範囲内での全光線透過率の平均値は８０％であった。全光線透過率の最大値は８１％、最小値は７９％であり、全光線透過率のバラツキは１％であった。全光線透過率のバラツキは実施例１よりも良好であった。また、表面比抵抗の平均値は３０Ω／ｓｑ．であった。表面比抵抗の最大値は３３Ω／ｓｑ．、最小値は２７Ω／ｓｑ．であり、表面比抵抗のバラツキは１０％であった。表面比抵抗のバラツキは実施例１よりも良好であった。耐モアレ性は「Ａ」であった。

　（実施例３）
　フィルムの長さを２０００ｍとする以外は、実施例１と同様にして網目状金属微粒子積層フィルムを得た。
得られた網目状金属微粒子積層フィルムは、不規則な網目状であった。長さ２０００ｍの範囲内での全光線透過率の平均値は８０％であった。全光線透過率の最大値は８１％、最小値は７８％であり、全光線透過率のバラツキは２％であった。実施例１よりも長い２０００ｍの網目状金属微粒子積層フィルムであっても、全光線透過率のバラツキは実施例１と同様に良好であった。表面比抵抗の平均値は３０Ω／ｓｑ．であった。表面比抵抗の最大値は３６Ω／ｓｑ．、最小値は２７Ω／ｓｑ．であり、表面比抵抗のバラツキは２０％であった。表面比抵抗のバラツキは実施例１と同様に良好であった。耐モアレ性は「Ａ」であった。

　（実施例４）
　ダイ内のマニホールド容積をダイ塗布幅１０ｍｍあたり０．５ｃｃ、ダイ内のマニホールド相当断面積を３０ｍｍ^２とした以外は、実施例１と同様にして網目状金属微粒子積層フィルムを得た。このマニホールド容積とマニホールド相当断面積の値は、実施例１のダイよりも金属微粒子分散液の滞留が懸念される値である。
得られた網目状金属微粒子積層フィルムは、不規則な網目状であった。長さ１００ｍの範囲内での全光線透過率の平均値は７９％であった。全光線透過率の最大値は８１％、最小値は７７％であり、全光線透過率のバラツキは２％で良好であった。全光線透過率および全光線透過率のバラツキは実施例１と同様であったが、全光線透過率の最低値で実施例１よりも劣っていた。表面比抵抗の平均値は３０Ω／ｓｑ．であった。表面比抵抗の最大値は３６Ω／ｓｑ．、最小値は２７Ω／ｓｑ．であり、表面比抵抗のバラツキは２０％で良好であった。耐モアレ性は「Ａ」であった。

　（実施例５）
　ダイ内のマニホールド容積をダイ塗布幅１０ｍｍあたり１．０ｃｃ、ダイ内のマニホールド相当断面積を６０ｍｍ^２とした以外は、実施例１と同様にして網目状金属微粒子積層フィルムを得た。このマニホールド容積とマニホールド相当断面積の値は、実施例４のダイよりも金属微粒子分散液の滞留が懸念される値である。
得られた網目状金属微粒子積層フィルムは、不規則な網目状であった。長さ１００ｍの範囲内での全光線透過率の平均値は７９％であった。全光線透過率の最大値は８１％、最小値は７６％であり、全光線透過率のバラツキは３％で良好であった。しかし、全光線透過率の平均値および全光線透過率のバラツキは実施例１よりも劣っていた。表面比抵抗の平均値は３０Ω／ｓｑ．であった。表面比抵抗の最大値は３７Ω／ｓｑ．、最小値は２７Ω／ｓｑ．であり、表面比抵抗のバラツキは２３％で良好であった。しかし、表面比抵抗のバラツキは実施例１よりも劣っていた。耐モアレ性は「Ａ」であった。

　（実施例６）
　ダイ内のマニホールド容積をダイ塗布幅１０ｍｍあたり５．０ｃｃ、ダイ内のマニホールド相当断面積を３００ｍｍ^２とした以外は、実施例１と同様にして網目状金属微粒子積層フィルムを得た。このマニホールド容積とマニホールド相当断面積の値は、実施例５のダイよりも金属微粒子分散液の滞留が懸念される値である。
得られた網目状金属微粒子積層フィルムは、不規則な網目状であった。長さ１００ｍの範囲内での全光線透過率の平均値は７９％であった。全光線透過率の最大値は８１％、最小値は７５％であり、全光線透過率のバラツキは４％で良好であった。しかし、全光線透過率の平均値および全光線透過率のバラツキは実施例１よりも劣っていた。表面比抵抗の平均値は４０Ω／ｓｑ．であった。表面比抵抗の最大値は４８Ω／ｓｑ．、最小値は３５Ω／ｓｑ．であり、表面比抵抗のバラツキは２０％で良好であった。しかし、表面比抵抗の平均値は実施例１よりも劣っていた。耐モアレ性は「Ａ」であった。

　（実施例７）
　ダイ内のマニホールド排出部からの排出量をダイ塗布量１００体積％に対し５０体積％とした以外は、実施例１と同様にして網目状金属微粒子積層フィルムを得た。この排出量の値は、実施例１のダイよりも金属微粒子分散液の滞留の低減が期待される値である。
得られた網目状金属微粒子積層フィルムは、不規則な網目状であった。長さ１００ｍの範囲内での全光線透過率の平均値は８０％であった。全光線透過率の最大値は８２％、最小値は７９％であり、全光線透過率のバラツキは２％で良好であった。全光線透過率の最大値、最小値はともに実施例１よりも高かった。表面比抵抗の平均値は３０Ω／ｓｑ．であった。表面比抵抗の最大値は３６Ω／ｓｑ．、最小値は２７Ω／ｓｑ．であり、表面比抵抗のバラツキは２０％で良好であった。耐モアレ性は「Ａ」であった。

　（実施例８）
　ダイ内のマニホールド排出部からの排出量をダイ塗布量１００体積％に対し１０体積％とした以外は、実施例１と同様にして網目状金属微粒子積層フィルムを得た。この排出量の値は、実施例１のダイよりも金属微粒子分散液の滞留が懸念される値である。
得られた網目状金属微粒子積層フィルムは、長さ１００ｍの範囲内での全光線透過率の平均値が７９％であった。全光線透過率の最大値は８１％、最小値は７５％であり、全光線透過率のバラツキは４％で良好であった。しかし、全光線透過率の平均値および全光線透過率のバラツキは実施例１よりも劣っていた。表面比抵抗の平均値は４０Ω／ｓｑ．であった。表面比抵抗の最大値は４８Ω／ｓｑ．、最小値は３５Ω／ｓｑ．であり、表面比抵抗のバラツキは２０％で良好であった。しかし、表面比抵抗の平均値は実施例１よりも劣っていた。耐モアレ性は「Ａ」であった。

　（実施例９）
　実施例１と同様にして得られた網目状金属微粒子積層フィルムに、アセトンを塗布することでアセトン処理を行い、透明導電性フィルムを得た。
得られた透明導電性フィルムは、不規則な網目状であった。長さ１００ｍの範囲内での全光線透過率の平均値は８０％であった。全光線透過率の最大値は８２％、最小値は７８％であり、全光線透過率のバラツキは２％で良好であった。表面比抵抗の平均値は１５Ω／ｓｑ．であった。表面比抵抗の最大値は１８Ω／ｓｑ．、最小値は１２Ω／ｓｑ．であり、表面比抵抗のバラツキは２０％であった。表面比抵抗の平均値は実施例１よりも良好であり、表面比抵抗のバラツキも実施１と同様に良好であった。耐モアレ性は「Ａ」であった。

　（実施例１０）
　実施例１と同様にして得られた透明導電性フィルムを、１Ｎ塩酸により酸処理を行った。
この透明導電性フィルムは、不規則な網目状であった。長さ１００ｍの範囲内での全光線透過率の平均値は８０％であった。全光線透過率の最大値は８２％、最小値は７８％であり、全光線透過率のバラツキは２％で良好であった。また、表面比抵抗の平均値は５Ω／ｓｑ．であった。表面比抵抗の最大値は６Ω／ｓｑ．、最小値は４Ω／ｓｑ．であり、表面比抵抗のバラツキは２０％であった。表面比抵抗の平均値は実施例１よりも良好であり、表面比抵抗のバラツキも実施１と同様に良好であった。耐モアレ性は「Ａ」であった。

　（比較例１）
　金属微粒子分散液１をアプリケーター法を用いて塗布した以外は、実施例１と同様にして網目状金属微粒子積層フィルムを得た。
得られた網目状金属微粒子積層フィルムは、不規則な網目状であった。長さ２ｍの範囲内での表面比抵抗の平均値は５０Ω／ｓｑ．であった。表面比抵抗の最大値は６５Ω／ｓｑ．、最小値は４５Ω／ｓｑ．であり、表面比抵抗のバラツキは３０％と良好であった。耐モアレ性は「Ａ」であった。
しかし、アプリケーターにより塗布する際の液溜まりで、金属微粒子分散液の濃度変化による濃度ムラが起きてしまい、塗布された網目状金属微粒子積層フィルムの塗膜にムラが発生した。そのため、全光線透過率の平均値は７６％であったが、全光線透過率の最大値は７８％、最小値は７０％であり、全光線透過率のバラツキは６％とばらついてしまった。

　（比較例２）
　金属微粒子分散液１をコンマコート法を用いて塗布した以外は、実施例１と同様にして網目状金属微粒子積層フィルムを得た。
得られた網目状金属微粒子積層フィルムは、不規則な網目状であった。長さ２ｍの範囲内での表面比抵抗の平均値は５０Ω／ｓｑ．であった。表面比抵抗の最大値は６５Ω／ｓｑ．、最小値は４５Ω／ｓｑ．であり、表面比抵抗のバラツキは３０％と良好であった。耐モアレ性は「Ａ」であった。

　しかし、コンマコートする際の液パン内の金属微粒子分散液の濃度変化による濃度ムラが起きてしまい、塗布された網目状金属微粒子積層フィルムの塗膜にムラが発生した。そのため、全光線透過率の平均値は７５％であったが、全光線透過率の最大値は８１％、最小値は６７％であり、全光線透過率のバラツキは８％とばらついてしまった。また、全光線透過率の平均値こそ７０％以上であったが、最小値が７０％より小さく部分的に透明性に問題があった。

　（比較例３）
　二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ（株）製“ルミラー”Ｕ９４）の
片面に、金属微粒子分散液２を、スクリーン印刷により、線厚み３μｍ、線幅５０μｍ、ピッチ３００μｍの格子状に印刷した。そして印刷した金属微粒子形成溶液２を１２０℃で１分間乾燥することで、規則的な格子状網目の銀微粒子層を積層した積層フィルムを得た。
この積層フィルムの銀微粒子層を酸で処理するために、積層基板ごと０．１Ｎ（０．１ｍｏｌ／Ｌ）の塩酸（ナカライテスク（株）製  Ｎ／１０塩酸）に２分間浸けた。その後、積層フィルムを取り出し、水洗した後、水分を飛ばすために積層フィルムを１２０℃で１分間乾燥してメッシュ状導電性フィルムを得た。

　この導電性フィルムの表面比抵抗の平均値は８Ω／ｓｑ．であり、全光線透過率の平均値は７０％であった。全光線透過率の最大値は７２％、最小値は６８％であり、全光線透過率のバラツキは２％と良好であった。表面比抵抗の最大値は１０Ω／ｓｑ．、最小値は７Ω／ｓｑ．であり、表面比抵抗のバラツキも２５％と良好であった。しかし、スクリーン印刷で作成したため、２０ｃｍ×２０ｃｍ角の導電性フィルムしか得ることができなかった。また、モアレ性評価の結果、モアレ現象が発現した。

　各実施例、各比較例の製造条件を表１に、評価結果を表２に示す。

　本発明の網目状金属微粒子積層フィルムは、透明性が高く、モアレが発現しにくく、さらには全光線透過率のバラツキが小さい。本発明の網目状金属微粒子積層フィルムは、例えば、プラズマディスプレイパネルや液晶テレビなどのフラットパネルディスプレイに好適に用いることができる。さらに回路材料用途や、透明ヒーター、太陽電池用途など、各種の透明導電性フィルム用途にも好適に用いることができる。

１　網目状金属微粒子積層フィルム
２　棒
３　糸
４　気流角度
５　プローブ
６　測定孔
７　風速測定器

Claims (9)

1. 　フィルム基材の少なくとも片面に網目状の金属微粒子層を有し、全光線透過率の平均値が７０％以上であり、全光線透過率のバラツキが５％以内であり、長さが２ｍ以上である網目状金属微粒子積層フィルム。
2. 　請求項１の網目状金属微粒子積層フィルムの製造方法であって、
   　フィルム基材の少なくとも片面に、ダイコート法によって金属微粒子分散液を塗布して、該フィルム基材の上に金属微粒子層を網目状に積層する網目状金属微粒子積層フィルムの製造方法。
3. 　前記ダイコート法に使用するダイ内のマニホールド容積が、ダイ塗布幅１０ｍｍあたり０．０１ｃｃ以上５．０ｃｃ以下である請求項２の網目状金属微粒子積層フィルムの製造方法。
4. 　前記ダイコート法に使用するダイ内のマニホールド相当断面積が、０．４５ｍｍ^２以上１５０ｍｍ^２以下である請求項２又は３の網目状金属微粒子積層フィルムの製造方法。
5. 　前記ダイコート法に使用するダイ内のマニホールドから前記フィルム基材面への金属微粒子分散液の塗布量１００体積％に対して、１０体積％以上の該金属微粒子分散液を、該マニホールドから該フィルム基材面以外へ排出する請求項２～４のいずれかの網目状金属微粒子積層フィルムの製造方法。
6. 　前記フィルム基材面に金属微粒子分散液を塗布した後、フィルム面上の空気をフィルム面と平行な方向を０度として０±４５度の範囲内の方向に、風速１ｍ／秒以上１０ｍ／秒以下の速さで流す請求項２～５のいずれかの網目状金属微粒子積層フィルムの製造方法。
7. 　前記空気の流れを排気により行う請求項６の網目状金属微粒子積層フィルムの製造方法。
8. 　請求項１の網目状金属微粒子積層フィルム又は、請求項２～７のいずれかの網目状金属微粒子積層フィルムの製造方法により得られた網目状金属微粒子積層フィルムを用いた、プラズマディスプレイ用電磁波シールドフィルム。
9. 　ダイ内のマニホールド容積が、ダイ塗布幅１０ｍｍあたり０．０１ｃｃ以上５．０ｃｃ以下であるダイを使用し、フィルム基材の少なくとも片面に、ダイコート法によって金属微粒子分散液を塗布し、該フィルム基材の上に金属微粒子層を網目状に積層する網目状金属微粒子積層フィルムの製造方法。

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