WO2010092839A1 - アニール装置 - Google Patents

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sheet
annealing apparatus
lid
lid portion
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宏知 前田
直行 根上
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株式会社Ihi
株式会社Ｉｈｉ機械システム
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    • F27B9/243—Endless-strand conveyor
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D1/00—Casings; Linings; Walls; Roofs
    • F27D1/18—Door frames; Doors, lids, removable covers
    • F27D1/1808—Removable covers
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D7/00—Forming, maintaining, or circulating atmospheres in heating chambers
    • F27D7/06—Forming or maintaining special atmospheres or vacuum within heating chambers

Definitions

  • the present invention relates to an annealing apparatus that heats and anneals a sheet inserted into a furnace body through an inlet opening and an outlet opening of the furnace body.
  • an annealing apparatus for performing an annealing process for removing internal distortion of the sheet is used (see Patent Documents 1 to 4).
  • the annealing apparatus as described above continuously heats a sheet that is inserted into the furnace body through the inlet opening and the outlet opening of the furnace body, and then anneals the sheet continuously supplied. It can be processed.
  • the annealing apparatus as described above is configured such that a part of the furnace body is opened so that the inside of the furnace body can be visually observed or repaired at the timing of maintenance or the like. Furthermore, for example, since the maintenance is performed in a state where the sheet is not inserted into the furnace body, it is necessary to insert the sheet into the furnace body again after the maintenance is completed. Therefore, the conventional annealing apparatus is provided with a conveyor device that is disposed inside the furnace body and includes a belt unit that grips a part of the sheet and a drive unit that rotates the belt unit.
  • the belt portion of the conveying device is disposed inside the furnace body, it is always exposed to the heating environment of the furnace body. Therefore, in the conventional annealing apparatus, there is a problem that the life of the conveying apparatus including the belt unit that grips and conveys the sheet is short.
  • the present invention has been made in view of the above-described problems, and an object thereof is to prolong the life of a transfer device in an annealing apparatus.
  • the present invention adopts the following configuration as means for solving the above-described problems.
  • 1st invention is an annealing apparatus which performs an annealing process by heating the sheet
  • the furnace body including a lid portion that can expose the inside of the furnace body and that can open the inlet opening and the outlet opening, and is installed outside the furnace body and holds a part of the sheet.
  • the structure provided with the conveying apparatus which conveys is employ
  • the second invention adopts a configuration provided with a seal member interposed in a gap between the lid portion of the furnace body and the base portion of the furnace body to which the lid portion is fitted, in the first invention.
  • a configuration in the first or second aspect of the present invention, includes a covering portion that covers a gap between the lid portion of the furnace body and the base portion of the furnace body to which the lid portion is fitted. .
  • the conveying device includes a rubber belt that grips a part of the sheet and a drive unit that rotates the rubber belt. .
  • the furnace body includes the lid portion that can expose the inside of the furnace body and that can open the inlet opening and the outlet opening, thereby allowing the sheet to pass through the opening without passing the end portion of the sheet through the opening. Can be accommodated. Further, according to the present invention, since the sheet can be gripped and conveyed by the conveying device installed outside the furnace body, it is not necessary to arrange the constituent members of the conveying device inside the furnace body. Therefore, according to the present invention, it is possible to prevent the transfer device from being exposed to a high temperature environment and to prolong the life of the transfer device.
  • FIG. 1 and 2 are schematic configuration diagrams of the annealing apparatus 1 according to the present embodiment
  • FIG. 1 is a side view of the annealing apparatus 1
  • FIG. 2 is a front view of the annealing apparatus 1.
  • the annealing apparatus 1 of the present embodiment includes a furnace body 2, a transport roller 3, a heater 4, a lifting device 5, and a transport device 6.
  • the sheet S is inserted into the furnace body 2 through the inlet opening 2a and the outlet opening 2b, and the annealing process is performed on the sheet S therein.
  • the furnace body 2 has a box shape extending in the conveying direction of the sheet S.
  • the upper portion of the furnace body 2 is a lid portion 2c that can expose the interior of the furnace body 2 and can open the inlet opening 2a and the outlet opening 2b. That is, the annealing apparatus 1 of the present embodiment includes the furnace body 2 including the lid portion 2c that can expose the inside of the furnace body 2 and that can open the inlet opening 2a and the outlet opening 2b.
  • the lid 2 c is configured such that an end 2 c 1 in the conveyance direction of the sheet S includes a protrusion 2 c 2 that protrudes downward when viewed from the conveyance direction of the sheet S.
  • the base portion 2d of the furnace body 2 to which the lid portion 2c is fitted has a concave shape with a concave portion 2d1 when viewed from the sheet S conveyance direction.
  • the depth distance of the recess 2d1 is set longer than the height distance of the protrusion 2c2.
  • the lid 2c is fitted to the base 2d so that the protrusion 2c2 of the lid 2c is inserted into the recess 2d1 of the base 2d, so that the region surrounded by the lid 2c and the base 2d is an entrance opening. 2a and outlet opening 2b.
  • the width distance of the protrusion part 2c2 of the cover part 2c is set slightly shorter than the width distance of the base part 2d so that the attachment and removal of the cover part 2c are easy.
  • the lid 2c has a packing 7 (which is interposed in the gap A between the lid 2c and the base 2d when the lid 2c and the base 2d are fitted. The seal member) is fixed.
  • This packing 7 suppresses the high temperature gas inside the furnace body 2 from leaking out of the furnace body 2 from the gap A, and is made of a stretchable material so as not to obstruct the attachment and detachment of the lid 2c. Is formed.
  • the packing 7 may be fixed to the base portion 2d without being fixed to the lid portion 2c. Moreover, it may be made removable when attaching and removing the lid 2c.
  • a cover member 8 (covering portion) that covers the gap A is provided on the base 2d.
  • This cover member 8 suppresses leakage of high-temperature gas inside the furnace body 2 from the gap A to the outside of the furnace body 2, and is disposed outside the furnace body 2 and attaches and detaches the lid 2c. Is fixed to the wall surface of the base 2d so as not to hinder.
  • the cover member 8 may be fixed to the lid portion 2c without being fixed to the base portion 2d. Moreover, it may be made removable when attaching and removing the lid 2c.
  • the transport rollers 3 are free rollers arranged in the transport direction of the sheet S inside the furnace body 2, and support the sheet S transported by being pulled outside the furnace body 2 from below.
  • the heater 4 is disposed inside the furnace body 2 and heats the sheet S passing through the inside of the furnace body 2.
  • the lifting device 5 is used to expose the interior of the furnace body 2 and to open the inlet opening 2a and the outlet opening 2b by lifting the lid 2c of the furnace body 2 upward. Several are arranged.
  • the lifting device 5 can be used as a lifting device including a hydraulic cylinder, for example.
  • the conveying device 6 is used to insert the sheet S into the furnace body 2 from a state where the sheet S is not inserted into the furnace body 2, for example, after maintenance inside the furnace body 2. 2 and is conveyed by gripping a part of the sheet S.
  • the conveying device 6 also includes a rubber belt 6a for gripping a part of the sheet S, a driving roller 6b for rotating the rubber belt 6a, and a tension roller 6c for adjusting the tension applied to the rubber belt 6a. .
  • the rubber belt 6a is constructed over the entire length in the extending direction of the furnace body 2 by being supported by a plurality of rollers 6d. As shown in FIG. 4, the rubber belt 6 a is formed with a plurality of cut portions 6 a 1 that can hold the sheet S by inserting the sheet S in the length direction.
  • the driving roller 6b is disposed in the middle of the rubber belt 6a, and rotates the rubber belt 6a by transmitting power supplied from a driving source such as a motor (not shown) to the rubber belt 6a.
  • the tension roller 6c is a roller that can move in a direction crossing the surface of the rubber belt 6a that is in contact with the tension roller 6c, and adjusts the tension applied to the rubber belt 6a in accordance with its movement position.
  • the lid 2c of the furnace body 2 is lifted by the lifting device 5 to remove the lid 2c from the base 2d.
  • the inside of the furnace body 2 is exposed and the inlet opening 2a and the outlet opening 2b are opened.
  • the sheet S is cut, for example, on the upstream side of the furnace body 2 and is taken out of the furnace body 2 by transporting the sheet S in this state.
  • the vicinity of the end of the upstream sheet S is gripped by the rubber belt 6a of the transport device 6. More specifically, the operator inserts the vicinity of the end of the sheet S into the notch 6a1 formed in the rubber belt 6a, thereby causing the rubber belt 6a to grip the sheet S.
  • the rubber belt 6a grips the sheet S
  • the rubber belt 6a is rotated by the driving roller 6b of the transport device 6, so that the sheet S is moved from the vicinity of the upstream end 2e of the furnace body 2 to the downstream end 2f. Transport to the vicinity.
  • the rubber belt 6a rotates and travels in a direction in which the sheet S does not pass through a position where the driving roller 6b and the tension roller 6c are installed (a lower position of the rubber belt 6a in the present embodiment).
  • the operator When the sheet S is conveyed to the vicinity of the downstream end 2 f of the furnace body 2, the operator removes the sheet S from the rubber belt 6 a and accommodates it inside the furnace body 2. At this time, in the annealing apparatus 1 of the present embodiment, the interior of the furnace body 2 is exposed by removing the lid 2c. Furthermore, the inlet opening 2a and the outlet opening 2b are opened upward. Therefore, the operator can easily accommodate the sheet S in the furnace body 2.
  • the lid portion 2 c lifted by the lifting device 5 is lowered and fitted to the base portion 2 d of the furnace body 2.
  • an inlet opening 2a and an outlet opening 2b are formed between the lid 2c and the base 2d, and a state is created in which the sheet S is inserted through the interior of the furnace body 2 through the inlet opening 2a and the outlet opening 2b.
  • the end of the sheet S is wound around a driving roller (not shown) disposed on the downstream side of the furnace body 2 and pulled, so that the sheet S can be conveyed again.
  • the annealing apparatus 1 when the sheet S is conveyed and annealed, the annealing apparatus 1 according to the present embodiment has a gap 7 formed between the lid 2c and the base 2d by the packing 7 and the cover member 8. The leakage of the hot gas is doubled. Accordingly, the heat radiation amount from the inside of the furnace body 2 is reduced, and the thermal efficiency in the annealing apparatus 1 of the present embodiment is improved.
  • the furnace body 2 is provided with the lid 2c that can expose the interior of the furnace body 2 and that can open the inlet opening 2a and the outlet opening 2b.
  • the sheet S can be accommodated inside the furnace body 2 without passing the end portion of the sheet through the opening.
  • the sheet S can be gripped and conveyed by the conveying device 6 installed outside the furnace body 2, so that the configuration of the conveying device 6 inside the furnace body 2. There is no need to arrange the members. Therefore, according to the annealing apparatus 1 of the present embodiment, it is possible to prevent the transfer apparatus 6 from being exposed to a high temperature environment and to prolong the life of the transfer apparatus 6.
  • the conveyance apparatus 6 since the conveyance apparatus 6 employ
  • the lid portion 2c includes the protruding portion 2c2, and the protruding portion 2c2 is inserted into the concave portion 2d1 of the base portion 2d so that the lid portion 2c is fitted to the base portion 2d.
  • this invention is not limited to this, For example, it is also possible to form the cover part 2c in flat form.
  • the structure which uses the rubber belt 6a as a belt of the conveying apparatus 6 was demonstrated.
  • the present invention is not limited to this, and a chain belt can be used as the belt of the transport device 6.
  • the furnace body includes the lid portion that can expose the inside of the furnace body and that can open the inlet opening and the outlet opening, so that the sheet does not pass through the opening portion. Can be accommodated inside the furnace body. Further, since the sheet can be gripped and conveyed by a conveying device installed outside the furnace body, it is not necessary to arrange the constituent members of the conveying device inside the furnace body. Therefore, according to the present invention, it is possible to prevent the transfer device from being exposed to a high temperature environment and to prolong the life of the transfer device.

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Abstract

このアニール装置は、搬送装置が高温環境に晒されることを防止し、搬送装置の寿命を長期化するために、炉体（２）内部を露出可能とすると共に入口開口（２ａ）及び出口開口を開放可能とする蓋部（２ｃ）を備える炉体２と、炉体（２）の外部に設置されると共にシート（Ｓ）の一部を把持して搬送する搬送装置（６）とを備える。

Description

アニール装置
　本発明は、炉体の入口開口部及び出口開口部を介して炉体内部に挿通されるシートを加熱してアニール処理するアニール装置に関する。
本願は、２００９年２月１６日に日本国に出願された特願２００９－０３２９０９号に基づいて優先権を主張し、その内容をここに援用する。
　従来、圧延処理を用いてシートを製造する製造装置等においては、シートの内部歪みを除去するアニール処理を行うためのアニール装置が用いられている（特許文献１～４参照）。
　上述のようなアニール装置は、炉体の入口開口部及び出口開口部を介して炉体内部に挿通されるシートを加熱してアニール処理することによって、連続的に供給されるシートを連続的に処理可能とされている。
　また、上述のようなアニール装置は、メンテナンス等のタイミングで炉体の内部を目視あるいは補修可能とするために、炉体の一部が開口するように構成されている。
　更に、例えば、メンテナンスは、シートが炉体に挿通されていない状態で行われるために、メンテナンスの終了後に、シートを再度炉体の内部に挿通させる必要がある。
　したがって、従来のアニール装置は、炉体内部に配置されると共にシートの一部を把持するベルト部と、前記ベルト部を回転走行させる駆動部とを備える搬送装置が設置されている。
特開平１１－３２０６５６号公報 特開２００５－２６５３６０号公報 特開昭５７－１９０３７８号公報 特開平９－２４５３６号公報
　しかしながら、上記搬送装置のベルト部は炉体の内部に配置されているために、常に炉体の加熱環境に晒される。
　したがって、従来のアニール装置においては、シートを把持して搬送するベルト部を備える搬送装置の寿命が短いことが問題視されている。
　本発明は、上述した問題点に鑑みてなされたもので、アニール装置における、搬送装置の寿命を長期化することを目的とする。
　本発明は、上記課題を解決するための手段として、以下の構成を採用する。
　第１の発明は、炉体の入口開口部及び出口開口部を介して炉体内部に挿通されるシートを加熱することによって、アニール処理を実施するアニール装置である。上記炉体内部を露出可能とすると共に上記入口開口及び上記出口開口を開放可能とする蓋部を備える上記炉体と、該炉体の外部に設置されると共に上記シートの一部を把持して搬送する搬送装置とを備えた構成を採用する。
　第２の発明は、上記第１の発明において、上記炉体の蓋部と該蓋部が嵌合される上記炉体の基部との隙間に介在されるシール部材を備えた構成を採用する。
　第３の発明は、上記第１または第２の発明において、上記炉体の蓋部と該蓋部が嵌合される上記炉体の基部との隙間を覆う被覆部を備えた構成を採用する。
　第４の発明は、上記第１～第３いずれかの発明において、上記搬送装置が、上記シートの一部を把持するゴムベルトと、該ゴムベルトを回転走行させる駆動部とを備えた構成を採用する。
　本発明によれば、炉体が炉体内部を露出可能とすると共に入口開口及び出口開口を開放可能な蓋部を備えることによって、シートの端部を開口部に通すことなくシートを炉体内部に収容可能となる。また、本発明によれば、炉体の外部に設置された搬送装置でシートを把持して搬送することができるため、炉体の内部に搬送装置の構成部材を配置する必要がない。
　したがって、本発明によれば、搬送装置が高温環境に晒されることを防止し、搬送装置の寿命を長期化することが可能となる。
本発明の一実施形態におけるアニール装置の概略構成を示す側面図である。 本発明の一実施形態におけるアニール装置の概略構成を示す正面図である。 本発明の一実施形態におけるアニール装置の平面断面を示す拡大図である。 本発明の一実施形態におけるアニール装置が備える搬送装置のゴムベルトの拡大図である。
　以下、図面１から４を参照して、本発明に係るアニール装置の一実施形態について説明する。なお、以下の説明において、各部材の認識可能な大きさとするために、各部材の縮尺を適宜変更している。
　図１及び図２は本実施形態のアニール装置１の概略構成図であり、図１がアニール装置１の側面図であり、図２がアニール装置１の正面図である。
　これらの図に示すように、本実施形態のアニール装置１は、炉体２と、搬送ローラ３と、ヒータ４と、昇降装置５と、搬送装置６とを備えている。
　炉体２の内部には、入口開口２ａ及び出口開口２ｂを介してシートＳが挿入され、この内部でシートＳに対するアニール処理が行われる。この炉体２は、シートＳの搬送方向に延在する箱形状とされている。
　また、炉体２の上部は、炉体２の内部を露出可能とすると共に入口開口２ａ及び出口開口２ｂを開口可能とされた蓋部２ｃとされている。
　つまり、本実施形態のアニール装置１は、炉体２の内部を露出可能とすると共に入口開口２ａ及び出口開口２ｂを開口可能とされた蓋部２ｃを備える炉体２を備えている。
　蓋部２ｃは、図２に示すように、シートＳの搬送方向の端部２ｃ１が、シートＳの搬送方向から見て下方に突出した突出部２ｃ２を備えるように構成されている。
　また、蓋部２ｃが嵌合される炉体２の基部２ｄは、シートＳの搬送方向から見て、凹部２ｄ１を備える凹形状とされている。この凹部２ｄ１の深さ距離は、突出部２ｃ２の高さ距離よりも長く設定されている。
　更に、蓋部２ｃの突出部２ｃ２が基部２ｄの凹部２ｄ１に挿入されるように基部２ｄに蓋部２ｃが嵌合されることによって、蓋部２ｃと基部２ｄとによって囲まれた領域が入口開口２ａ及び出口開口２ｂとなる。
　なお、蓋部２ｃの取り付け及び取り外しが容易となるように、蓋部２ｃの突出部２ｃ２の幅距離は、基部２ｄの幅距離よりも僅かに短く設定されている。
　また、蓋部２ｃには、図３の平面断面図に示すように、蓋部２ｃと基部２ｄとが嵌合された場合に蓋部２ｃと基部２ｄとの隙間Ａに介在されるパッキン７（シール部材）が固定されている。このパッキン７は、隙間Ａから炉体２内部の高温ガスが炉体２の外部に漏出することを抑制するものであり、蓋部２ｃの取り付け及び取り外しを阻害しないように伸縮性にある材料によって形成されている。
　なお、パッキン７は、蓋部２ｃに固定されずに基部２ｄに固定されていても良い。また、蓋部２ｃの取り付け及び取り外しの際に取り外し可能とされていても良い。
　また、基部２ｄには、図３に示すように、隙間Ａを覆うカバー部材８（被覆部）が設置されている。このカバー部材８は、隙間Ａから炉体２内部の高温ガスが炉体２の外部に漏出することを抑制するものであり、炉体２の外部に配置されると共に蓋部２ｃの取り付け及び取り外しを阻害しないように基部２ｄの壁面に固定されている。
　なお、カバー部材８は、基部２ｄに固定されずに、蓋部２ｃに固定されていても良い。また、蓋部２ｃの取り付け及び取り外しの際に取り外し可能とされていても良い。
　搬送ローラ３は、炉体２の内部においてシートＳの搬送方向に複数配列されるフリーローラであり、炉体２の外部で引かれることによって搬送されるシートＳを下方から支持する。
　ヒータ４は、炉体２の内部に配置されており、炉体２の内部を通過するシートＳを加熱する。
　昇降装置５は、炉体２の蓋部２ｃを上部に持ち上げることによって、炉体２の内部を露出すると共に入口開口２ａ及び出口開口２ｂを開放するために用いられ、炉体２の側部に複数配置されている。
　この昇降装置５は、例えば、油圧シリンダを備える昇降装置として用いることができる。
　搬送装置６は、例えば、炉体２の内部のメンテナンス後等の、炉体２にシートＳが挿通されていない状態から、シートＳを炉体２の内部に挿通するために用いられ、炉体２の外部に設置されると共にシートＳの一部を把持することによって搬送する。
　また、この搬送装置６は、シートＳの一部の把持するゴムベルト６ａと、該ゴムベルト６ａを回転走行させる駆動ローラ６ｂと、ゴムベルト６ａに掛かる張力を調節するためのテンションローラ６ｃとを備えている。
　ゴムベルト６ａは、複数のローラ６ｄに支持されることによって、炉体２の延在方向の全長に亘って架設されている。このゴムベルト６ａには図４に示すように、シートＳを差し込むことによってシートＳの把持が可能な複数の切込部６ａ１が、長さ方向に複数形成されている。
　駆動ローラ６ｂは、ゴムベルト６ａの途中部位に配置されており、不図示のモータ等の駆動源から供給される動力をゴムベルト６ａに伝達することによってゴムベルト６ａを回転走行させる。
　テンションローラ６ｃは、接触するゴムベルト６ａの表面に対して交差する方向に移動可能なローラであり、自らの移動位置に応じてゴムベルト６ａに掛かる張力を調節する。
　本実施形態のアニール装置１において、例えば、メンテナンス等を行う場合には、まず、昇降装置５によって炉体２の蓋部２ｃを持ち上げることによって、基部２ｄから蓋部２ｃを取り外す。次に、炉体２の内部を露出されると共に入口開口２ａと出口開口２ｂとを開放する。
　なお、シートＳは、例えば炉体２の上流側において切断され、この状態でシートＳを搬送させることによって炉体２の外部に取り出される。
　炉体２内部のメンテナンス等が終了すると、上流側のシートＳの端部近傍を搬送装置６のゴムベルト６ａに把持させる。
　より詳細には、ゴムベルト６ａに形成された切込部６ａ１に作業者がシートＳの端部近傍を挿し込むことによってゴムベルト６ａにシートＳを把持させる。
　ゴムベルト６ａにシートＳを把持させた後に、搬送装置６の駆動ローラ６ｂで、ゴムベルト６ａを回転走行させることによって、シートＳを炉体２の上流側端部２ｅの近傍から下流側端部２ｆの近傍まで搬送する。
　なお、ゴムベルト６ａは、駆動ローラ６ｂ及びテンションローラ６ｃが設置された位置（本実施形態においてはゴムベルト６ａの下側位置）をシートＳが通過しない方向に回転走行される。
　シートＳが炉体２の下流側端部２ｆの近傍まで搬送されると、作業者がシートＳをゴムベルト６ａから取り外して炉体２の内部に収容する。
　この際、本実施形態のアニール装置１では、蓋部２ｃが取り外されることによって、炉体２の内部が露出されている。さらに、入口開口２ａ及び出口開口２ｂが上方に向けて開口されている。従って、作業者は、容易に炉体２の内部にシートＳを収容することが可能となる。
　続いて、昇降装置５によって持ち上げられていた蓋部２ｃが下降されて炉体２の基部２ｄに嵌合される。
　この結果、蓋部２ｃと基部２ｄとの間に入口開口２ａ及び出口開口２ｂが形成され、シートＳが入口開口２ａ及び出口開口２ｂを介して炉体２の内部を挿通する状態が作り出される。
　また、シートＳの端部が、炉体２の下流側に配置された不図示の駆動ローラ等に巻回されて引かれることによってシートＳが再び搬送可能となる。
　また、シートＳが搬送されてアニール処理されている場合において、本実施形態のアニール装置１は、パッキン７及びカバー部材８によって、蓋部２ｃと基部２ｄとの間に形成された隙間Ａからの高温ガスの漏出が二重に抑制される。
　従って、炉体２内部からの放熱量を減少させて、本実施形態のアニール装置１における熱効率が向上される。
　以上のような本実施形態のアニール装置１によれば、炉体２が炉体２内部を露出可能とすると共に入口開口２ａ及び出口開口２ｂを開放可能な蓋部２ｃを備えることによって、シートＳの端部を開口部に通すことなく、シートＳを炉体２内部に収容可能となる。また、本実施形態のアニール装置１によれば、炉体２の外部に設置された搬送装置６でシートＳを把持して搬送することができるため、炉体２の内部に搬送装置６の構成部材を配置する必要がない。
　したがって、本実施形態のアニール装置１によれば、搬送装置６が高温環境に晒されることを防止し、搬送装置６の寿命を長期化することが可能となる。
　また、本実施形態のアニール装置１によれば、搬送装置６が炉体２の外部に配置されている構成を採用するため、搬送装置のベルトとしてゴムベルトを用いることが可能となる。
　したがって、本実施形態のアニール装置１によれば、高温環境への対策としてベルトとしてチェーンベルトを用いていた搬送装置と比較して、搬送装置６の取扱性が向上する。
　以上、図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。上述した実施形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
　例えば、上記実施形態においては、蓋部２ｃが突出部２ｃ２を備え、当該突出部２ｃ２が基部２ｄの凹部２ｄ１に挿入されることによって蓋部２ｃが基部２ｄに嵌合される構成を採用した。このような構成を採用することによって、蓋部２ｃと基部２ｄとの位置関係がずれることを防止することができる。
　しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば蓋部２ｃを平板状に形成することも可能である。
　また、上記実施形態においては、搬送装置６のベルトとしてゴムベルト６ａを用いる構成について説明した。
　しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、搬送装置６のベルトとしてチェーンベルトを用いることも可能である。
　本発明に係るアニール装置によれば、炉体が炉体内部を露出可能とすると共に入口開口及び出口開口を開放可能な蓋部を備えることによって、シートの端部を開口部に通すことなくシートを炉体内部に収容可能となる。また、炉体の外部に設置された搬送装置でシートを把持して搬送することができるため、炉体の内部に搬送装置の構成部材を配置する必要がない。
　したがって、本発明によれば、搬送装置が高温環境に晒されることを防止し、搬送装置の寿命を長期化することが可能となる。
　１　アニール装置　２　炉体　２ａ　入口開口　２ｂ　出口開口　２ｃ　蓋部　２ｄ　基部　６　搬送装置　６ａ　ゴムベルト　６ｂ　駆動ローラ（駆動部）　７　パッキン（シール部材）　８　カバー部材（被覆部）　Ａ　隙間　Ｓ　シート

Claims (5)

  1. 　炉体の入口開口部及び出口開口部を介して炉体内部に挿通されるシートを加熱してアニール処理を行うアニール装置であって、
    　前記炉体内部を露出可能とすると共に、前記入口開口及び前記出口開口を開放可能とする蓋部を備える前記炉体と、
    　該炉体の外部に設置されると共に、前記シートの一部を把持して搬送する搬送装置と
    　を備えるアニール装置。
  2. 　前記炉体の蓋部と該蓋部が嵌合される前記炉体の基部との隙間に介在されるシール部材を備える請求項１記載のアニール装置。
  3. 　前記炉体の蓋部と該蓋部が嵌合される前記炉体の基部との隙間を覆う被覆部を備える請求項１記載のアニール装置。
  4. 　前記炉体の蓋部と該蓋部が嵌合される前記炉体の基部との隙間を覆う被覆部を備える請求項２記載のアニール装置。
  5. 　前記搬送装置は、
    　前記シートの一部を把持するゴムベルトと、
    　該ゴムベルトを回転走行させる駆動部と
    　を備える請求項１～４のいずれかに記載のアニール装置。
     
     
     
     
     
    　
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