TW202322313A - 熱處理裝置 - Google Patents

Abstract

本發明之課題在於提供一種熱處理裝置，該熱處理裝置可抑制環境氣氛氣體從被分割成複數個馬弗爐中相鄰的馬弗爐之邊界洩漏等。 本發明之解決手段係一種熱處理裝置，該熱處理裝置具備：陶瓷製的馬弗爐11，其在內部形成有用於對工件W進行熱處理的熱處理空間S；以及金屬製的罩30，其覆蓋馬弗爐11；馬弗爐11被分割成複數個，被分割成複數個的馬弗爐被排列配置而連接熱處理空間S。罩30包含：複數個主罩31，其等覆蓋被分割成複數個馬弗爐中相鄰的馬弗爐之邊界K1；以及副罩32，其將複數個主罩31予以橋接。

Description

熱處理裝置

本發明係有關一種熱處理裝置。

在專利文獻1中揭露有一種熱處理爐，該熱處理爐構成為，具備利用金屬製殼體覆蓋陶瓷製管之外側所成的蒸餾器(retort)，在陶瓷製管內一邊沿軸向對工件進行搬送一邊進行熱處理。在該熱處理爐中，陶瓷製管在軸向上被分割成複數個分割體，複數個分割體被插入至1個金屬製殼體內。 [先前技術文獻] [專利文獻]

專利文獻1：日本專利特開2015-83919號公報

(發明所欲解決之問題)

在專利文獻1所記載的熱處理爐中，其不容易在陶瓷製管之相鄰的分割體之邊界將間隙完全消除，而存在有環境氣氛氣體從該間隙洩漏或者外部氣體侵入的可能性。另一方面，由於複數個分割體被金屬製殼體所覆蓋，因此在某種程度上抑制了環境氣氛氣體從間隙的洩漏等。然而，金屬製殼體與陶瓷製管相比容易發生熱變形。此外，金屬製殼體由1個較長的筒體所構成。而且，由於該筒體覆蓋複數個分割體的全部，因此體積較大。如果筒體的體積變大，則相對應地筒體容易因熱而大幅度地翹曲。因此，金屬製殼體因熱所引起的變形量變大。因而，其存在有金屬製殼體從陶瓷製管局部浮起而無法充分封閉間隙之虞。

本發明的目的在於提供一種熱處理裝置，該熱處理裝置可抑制環境氣氛氣體從被分割成複數個的馬弗爐中相鄰的馬弗爐之邊界的洩漏等。 (解決問題之技術手段)

(1)本發明為有關一種熱處理裝置，其具備有：陶瓷製的馬弗爐，其在內部形成有用於對工件進行熱處理的熱處理空間；以及金屬金屬製的罩，其覆蓋上述馬弗爐；上述馬弗爐被分割成複數個，被分割成複數個的馬弗爐以連接熱處理空間的方式排列配置，該熱處理裝置之特徵在於，上述罩包含：主罩，其覆蓋上述被分割成複數個的馬弗爐中之相鄰的馬弗爐之邊界；以及副罩，其將複數個上述主罩予以橋接。

根據上述構成，被分割成複數個的馬弗爐被主罩和副罩所覆蓋。即，罩被分割為主罩和副罩，每個單一罩的面積變得較小。因此，與未被分割罩的情形相比，其可抑制主罩及副罩因熱所引起的變形。因此，其可抑制主罩從馬弗爐浮起，從而可抑制環境氣氛氣體從邊界向馬弗爐外洩漏或者外部氣體向馬弗爐內侵入。另外，罩具有可將複數個主罩予以橋接的副罩。因此，主罩從外側被副罩所按壓。藉此，可更進一步抑制主罩從馬弗爐浮起。

(2)較佳為至少1個上述主罩覆蓋複數個上述邊界。 根據如此的構成，其與相對於1個邊界配置1個主罩的情形相比，可減少罩整體的數量。

(3)較佳為熱處理裝置具備對上述主罩與上述副罩相對移動進行限制的保持機構。 根據如此的構成，其可抑制主罩與副罩的重疊脫離。 (對照先前技術之功效)

根據本發明，可抑制環境氣氛氣體從被分割成複數個的馬弗爐中相鄰的馬弗爐之邊界的洩漏等。

以下，參照附圖對本發明的實施形態進行詳細說明。 圖1係本發明之一實施形態之熱處理裝置的概略圖。圖2係圖1之A-A線的剖面圖。圖3係圖2之B-B線之馬弗爐的剖面圖。 本實施形態的熱處理裝置係連續熱處理爐10。連續熱處理爐10一邊依序對複數個工件W進行搬送，一邊進行熱處理。另外，在以下的說明中，用符號X表示工件W的搬送方向，用符號Y表示與工件W之搬送方向X垂直的馬弗爐11之寬度方向，用符號Z表示與方向X、Y垂直的上下方向。

連續熱處理爐10具有馬弗爐11、搬送裝置12、隔熱壁13、加熱裝置14、氣體供給管15以及罩30等。 馬弗爐11被形成為筒形狀，在內部具有熱處理空間S。馬弗爐11以較長之方式形成在工件W之搬送方向X，熱處理空間S亦在相同方向X上延伸。因此，工件W在馬弗爐11之長度方向被搬送。在以下的說明中，亦存在有對馬弗爐11之長度方向標註符號X的情形。

馬弗爐11具有底部21、一對側壁部22以及頂部23。底部21、側壁部22以及頂部23所包圍的空間被設為熱處理空間S。

馬弗爐11的底部21具有平坦的上表面21a。一對側壁部22從馬弗爐11之寬度方向Y的底部21的兩端部向上方呈直線狀延伸。頂部23被跨設在一對側壁部22之上端部彼此之間。

本實施形態之馬弗爐11的側壁部22和頂部23成為一體，其等則與底部21以分別體之方式所構成。一對側壁部22之下端與底部21之上表面21a相接觸。另外，本實施形態之馬弗爐11藉由非金屬製之耐熱材料即陶瓷所形成。所謂陶瓷係指非金屬/無機物的固體材料，相當於除了鐵、鋁、銅等金屬材料、塑膠或木材等有機材料以外的材料。更具體而言，作為陶瓷，具有代表性者為陶瓷器、耐火物(耐火磚)、玻璃、水泥等舊陶瓷或者新陶瓷(精細陶瓷)。

馬弗爐11被分割成複數個。具體而言，馬弗爐11由複數個分割體40所形成，藉由在工件W之搬送方向X上排列複數個分割體40所構成。該分割體40由構成底部21的下側分割體11A以及構成側壁部22和頂部23的上側分割體11B所形成。

如圖1所示，在工件W之搬送方向X的馬弗爐11之兩端部，換言之，在馬弗爐11中的工件W之入口部和出口部的溫度比較低之區域，連接有筒型或者門型之金屬腔室18。

搬送裝置12在馬弗爐11內的熱處理空間S中沿馬弗爐11的長度方向X搬送工件W。在本實施形態中，複數個(例如，3個)搬送裝置12在馬弗爐11的寬度方向Y上被隔開間隔地排列配置。本實施形態的搬送裝置12係具有搬送鏈條12a和鏈輪12b、12c的鏈條式搬送機。鏈條12a在被設於馬弗爐11底部21之上表面21a的軌道21b上移動。鏈條12a被卷掛在驅動鏈輪12b和從動鏈輪12c上，在馬弗爐11內沿長度方向X移動。在鏈條12a上設有用以載置工件W的托盤T。在本實施形態中，複數片托盤T在上下方向Z上隔開間隔地層疊，在各托盤T上載置有工件W。搬送裝置12亦可為帶式搬送機或輥式搬送機等其他形式的裝置。

如圖2所示，隔熱壁13具有被配置於馬弗爐11下方的下部隔熱壁13a、被配置於馬弗爐11寬度方向Y上之兩側的側部隔熱壁13b以及被配置於馬弗爐11上方的上部隔熱壁13c。馬弗爐11被配置在以下部隔熱壁13a、側部隔熱壁13b以及上部隔熱壁13c所包圍的空間。隔熱壁13例如可藉由使用陶瓷纖維而被成形為厚壁板狀的隔熱材料所構成。

加熱裝置14具有被配置於馬弗爐11下方之加熱器。加熱裝置14從外側對馬弗爐11進行加熱，將馬弗爐11內的熱處理空間S升溫至既定的溫度。作為加熱裝置14，可使用電阻加熱式的裝置或氣體燃燒加熱式的裝置。加熱裝置14之配置和形式並未特別被限定，例如，亦可被配置在馬弗爐11之寬度方向Y上的側方或者馬弗爐11之上方等。加熱裝置14亦可被埋設在隔熱壁13。

氣體供給管15藉由向馬弗爐11內供給氣體而生成既定的環境氣氛。在本實施形態中，例如可使用氮氣。氣體供給管15以沿著馬弗爐11之底部21之上表面21a的方式所配置。具體而言，氣體供給管15被載置在底部21之上表面21a，藉由該上表面21a從下方被支撐。

氣體供給管15沿工件W的搬送方向X延伸。氣體供給管15分別被設在馬弗爐11之寬度方向Y上之搬送裝置12的兩外側及相鄰的搬送裝置12之間。因此，在本實施形態中，合計4根氣體供給管15被設在馬弗爐11內。在氣體供給管15之外周面形成有用以噴出氣體的噴出口。噴出口在工件W的搬送方向X上被隔開間隔地形成複數個。在被配置於馬弗爐11寬度方向Y之搬送裝置12兩外側的氣體供給管15上，以朝向位於相同方向Y之內側的工件W向斜上方噴出氣體的方式形成噴出口。在被配置於相鄰之搬送裝置12之間的各氣體供給管15，分別以朝向被配置於馬弗爐11之寬度方向Y兩側的工件W向斜上方噴出氣體的方式形成噴出口。

被配置於相鄰搬送裝置12之間的2根氣體供給管15中之一者的氣體供給管15，以相鄰之方式配置有氣體導入管16。在本實施形態中，於馬弗爐11之寬度方向Y的氣體供給管15之兩側，以相鄰之方式配置2根氣體導入管16。該氣體導入管16，為了檢測馬弗爐11內的既定之氣體的濃度等，被使用於導入馬弗爐11內之氣體並向馬弗爐11外送出。

圖4係表示馬弗爐及罩之概略的立體圖。 如圖2至圖4所示，罩30從外側覆蓋馬弗爐11。具體而言，罩30從外側覆蓋馬弗爐11的側壁部22和頂部23。因此，罩30藉由覆蓋側壁部22的部分30a和覆蓋頂部23的部分30b形成為下方開放的「コ」字狀。罩30藉由具有耐熱性的金屬，例如鉻鎳鐵合金601(Inconel為註冊商標)等鎳合金或者SUS310、SUS304等不鏽鋼所形成。

罩30包含主罩31和副罩32。主罩31和副罩32分別設置有複數個。主罩31和副罩32沿工件W之搬送方向X交互地被配置。因此，複數個主罩31在工件W之搬送方向X上被隔開間隔地配置，複數個副罩32在工件W之搬送方向X上被隔開間隔地配置。在工件W之搬送方向X上排列配置的主罩31之間隔，係被設為當主罩31因熱產生延伸時互不干涉的間隔。在工件W之搬送方向X上排列配置的副罩32之間隔，係被設為當副罩32因熱產生延伸時互不干涉的間隔。

各主罩31係覆蓋馬弗爐11之相鄰的分割體40之邊界K1。具體而言，主罩31具有比工件W之搬送方向X上的分割體40之長度稍長的相同方向X之長度，而橫跨位於各分割體40之兩側的2個邊界K1，從外側覆蓋該2個邊界K1。因此，主罩31可抑制馬弗爐11內之環境氣氛氣體從分割體40之邊界K1洩漏或者外部之氣體侵入至馬弗爐11內。

各副罩32被配置為，橫跨在工件W之搬送方向X上相鄰的主罩31。換言之，副罩32被配置為橫跨相鄰的主罩31，將兩個主罩31予以橋接。各副罩32從外側覆蓋相鄰的主罩31之端部。因此，主罩31和副罩32在工件W之搬送方向X上的端部相互重疊。副罩32形成為比主罩31大一些，相對於馬弗爐11之外面則以隔開主罩31之厚度量的間隙之方式所配置。

副罩32藉由從外側覆蓋主罩31之端部而按壓主罩31。特別是，主罩31中覆蓋馬弗爐11之頂部23的部分係藉由副罩32之自重而從上方被按壓。藉此，副罩32成為對主罩31而言的「重塊」，而可抑制主罩31從馬弗爐11浮起。另外，主罩31中覆蓋馬弗爐11之側壁部22的部分係藉由副罩32從馬弗爐11之寬度方向Y之外側被按壓。藉此，可在馬弗爐11之寬度方向Y上抑制主罩31向外側擴展或者從馬弗爐11浮起的情形。因此，副罩32可提高主罩31封閉分割體40之邊界K1的效果，從而可有效地抑制環境氣氛氣體從邊界K1的洩漏和外部氣體的侵入。另外，副罩32對相鄰的主罩31之間進行封閉，從而可更進一步抑制外部氣體侵入至馬弗爐11內。

主罩31和副罩32從外側覆蓋整個馬弗爐11，從而抑制馬弗爐11的熱向外部逃脫的情形。另外，主罩31和副罩32抑制馬弗爐11整體的熱之不均勻。主罩31和副罩32為金屬製，具有吸附氧的性質。因此，例如在想要利用氮氣等既定的氣體充滿馬弗爐11的內外而將馬弗爐11內的環境氣氛維持為低氧狀態的情形下，可利用主罩31及副罩32吸附氧，因此則容易將馬弗爐11內的環境氣氛維持為低氧狀態。

罩30係由分割成之主罩31和副罩32所構成，由於每個單一罩的體積變小，因此與整體由1個罩所構成的情形相比，其可減小各罩31、32因熱所引起的變形。因此，可抑制主罩31從分割體40之邊界K1浮起的情形。同樣地，其可減小副罩32因熱所引起的變形，因此可抑制副罩32從主罩31浮起的情形，從而可確保副罩32按壓主罩31的效果。

主罩31和副罩32在工件W之搬送方向X上的長度被設為大致相同。因此，兩者因熱所引起的變形量大致相同。即，可設想為，主罩31和副罩32因熱而翹曲浮起之慮的範圍亦大致相同，因此其容易管理副罩32按壓主罩31所需要的各罩31、32之重疊量。進而，各罩31、32彼此之間隙被抑制，而可抑制馬弗爐11與罩30間產生間隙的情形。

圖5(a)係圖3之C部中罩的剖面圖，圖5(b)係圖5(a)的D箭視圖。 主罩31和副罩32在工件W之搬送方向X上的相對移動被限制。具體而言，在主罩31之端部的外面向上方突出設置有棒狀的突起51。在副罩32的端部形成有突起51所插入的孔52。孔52為在工件W之搬送方向X上較長的長孔。在本實施形態中，於主罩31和副罩32中覆蓋馬弗爐11之頂部23的部分30b被設置有突起51和孔52。但是，亦可在主罩31和副罩32中覆蓋馬弗爐11之側壁部22的部分30a被設置突起51和孔52。

主罩31和副罩32在因熱而沿工件W的搬送方向X延伸的情形下，在孔52之長度範圍內可容許相對移動，並且在超過孔52之長度的範圍，則被限制工件W之搬送方向X的相對移動。又，藉由限制該相對移動，可被保持主罩31與副罩32重疊的狀態，並且可被保持主罩31覆蓋相鄰的分割體40之邊界K1的狀態。因此，環境氣氛氣體從邊界K1的洩漏等可被抑制。此處，突起51和孔52構成保持機構50，該保持機構50保持主罩31覆蓋相鄰的分割體40之邊界K1的狀態。另外，藉由保持機構50，亦被保持主罩31和副罩32從外側覆蓋馬弗爐11的狀態，因此可抑制馬弗爐11之熱向外部逃脫的情形。

保持機構50之孔52的長度(主罩31及副罩32的相對移動量)被設定為因應於主罩31與副罩32之重疊量的大小、主罩31及副罩32因熱所引起的延伸量等，而可保持主罩31和副罩32重疊的狀態以及主罩31覆蓋邊界K1的狀態。

圖6係圖3之E部中罩的剖面圖。 被配置於工件W之搬送方向X之端部的主罩31之一端經由保持機構50與副罩32連結，另一端被固定在與馬弗爐11之入口部和出口部連接的金屬腔室18。具體而言，在金屬腔室18外面向上方突出地設置有棒狀的突起53，在主罩31之端部形成突起53插入的孔54。孔54被設為具有比突起53之直徑稍大之內徑的圓孔。因此，被形成有孔54的主罩31在實質上被固定在金屬腔室18。如上述，藉由將被配置在工件W之搬送方向X之兩端的主罩31沿相同方向X予以固定，其可限制被配置於其間的其他主罩31和副罩32的移動量，從而可抑制主罩31與副罩32的重疊之脫離。此外，可抑制因此等罩31、32之移動的累積而各主罩31從分割體40之邊界K1偏離的情形。

圖7係圖2之F部中馬弗爐及罩的剖面圖。 如圖7所示，在主罩31中，覆蓋馬弗爐11之側壁部22的部分30a從外側覆蓋側壁部22與底部21的邊界K2。因此，其可抑制環境氣氛氣體從該邊界K2洩漏或者外部氣體從邊界K2侵入。

圖8係表示本發明第2實施形態中罩的剖面圖。 在本實施形態中，複數個主罩31分別覆蓋相鄰之分割體40的一個邊界K1。因此，各主罩31與上述第1實施形態之主罩31相比，其係在工件W之搬送方向X上的長度變短。另外，與主罩31重疊的副罩32在工件W之搬送方向X上相鄰的部分彼此之間的間隔變窄。

在本實施形態中，亦可發揮與上述實施形態同樣的作用效果。另外，在本實施形態中，複數個主罩31分別覆蓋相鄰之分割體40的一個邊界K1。因此，主罩31只要僅覆蓋至少一個邊界K1的周邊即可，因此與第1實施形態相比，其可使工件W之搬送方向X上的長度形成為較短。因此，主罩31與第1實施形態之主罩31相比其可減小面積，與第1實施形態之主罩31相比可減小因熱所引起的變形量。因此，其可更進一步抑制主罩31從分割體40浮起，從而可抑制環境氣氛氣體從邊界K1向馬弗爐11外洩漏或者外部氣體向馬弗爐11內侵入。

圖9係表示本發明第3實施形態中保持機構的剖面圖。 在本實施形態中，保持機構50的形態與上述實施形態不同。 在本實施形態中，於副罩32之端部的內面向下方突出地設置棒狀的突起55。突起55之突出量小於主罩31之厚度。在主罩31之端部的外面形成有突起55插入的槽56。槽56被設為在工件W之搬送方向X上呈較長的長槽。

因此，即使在本實施形態中，主罩31與副罩32在工件W之搬送方向X上的相對移動亦被限制在槽56之長度的範圍，其保持主罩31與副罩32重疊的狀態，並且保持主罩31覆蓋邊界K1的狀態。

在本實施形態中，槽56可被變更為貫通主罩31的孔。另外，在圖5所示的第1實施形態中，可使突起51之突出量小於副罩32之厚度，並將孔52變更為形成於副罩32之下面的槽(長槽)。

以上所說明的實施形態之連續熱處理爐10具備有：非金屬製的馬弗爐11，其在內部形成有用於對所搬送的工件W進行熱處理的熱處理空間S；以及金屬製的罩30，其覆蓋馬弗爐11之外側。馬弗爐11具有至少3個分割體40(例如，在圖3和圖8中被排列配置的3個分割體；以下，亦將該等稱為「第1分割體」、「第2分割體」、「第3分割體」)。該等第1至第3分割體40沿工件W之搬送方向X排列。罩30具有：主罩(以下，亦稱為「第1主罩」)31，其覆蓋第1分割體40與第2分割體40的邊界K1；以及主罩(以下，亦稱為「第2主罩」)31，其覆蓋第2分割體40與第3分割體40的邊界K1。藉由如此的構成，分割體40的複數個邊界K1被複數個主罩31所覆蓋。因此，罩30被分割成複數個主罩31，每個單一罩的面積變小。因此，其與罩30未被分割的情形相比，可抑制各主罩31的因熱所引起的變形。藉此，可抑制各主罩31從馬弗爐11浮起，從而可抑制環境氣氛氣體從邊界K1向馬弗爐11外洩漏或者外部氣體向馬弗爐11內侵入。

在上述實施形態中，罩30具有副罩32，該副罩32被配置為橫跨第1主罩31和第2主罩31，且從外側與第1主罩31和第2主罩31重疊。因此，第1、第2主罩31從外側被副罩32所按壓，藉由第1、第2主罩31可覆蓋相鄰的分割體40之邊界K1。特別是，第1、第2主罩31藉由副罩32之自重而從上方被按壓。因此，副罩32成為第1、第2主罩31的重塊，可抑制第1、第2主罩31從馬弗爐11浮起。

在上述第1實施形態中，馬弗爐11更進一步具有與第3分割體40沿工件W之搬送方向X被排列配置的分割體40(以下，亦稱為「第4分割體」)，第2主罩31亦覆蓋第3分割體40與第4分割體40的邊界K1。換言之，罩30具有覆蓋複數個邊界K1的第2主罩31。因此，與第2主罩31僅覆蓋1個邊界K1的情形相比，其可減少罩30整體的數量。

在上述實施形態中，連續熱處理爐10具備保持機構50，該保持機構50對第1主罩31和第2主罩31與橫跨該等的副罩32的相對移動進行限制。藉此，可抑制第1、第2主罩31與副罩32的重疊被脫離。此外，藉由具備保持機構50，其可抑制第1、第2主罩31從邊界K1偏離的情形。因此，可抑制環境氣氛氣體從馬弗爐11洩漏或者外部氣體侵入至馬弗爐11內。

本發明並非被限定於上述實施形態，其可在申請專利範圍所記載的發明的範圍內適當變更。

例如，主罩31亦可具有覆蓋3個以上之邊界K1的工件W之搬送方向X上的長度。另外，罩30亦可具備可覆蓋之邊界K1的數量不同的複數種類之主罩31。例如，根據馬弗爐11之製作容易度等在製造上的理由，將各個分割體40形成得較小並將其等分割體40多個成為並列的形態，如上所述，使複數種類之主罩31予以組合配置則可更為有效。

例如，雖然馬弗爐11的側壁部22及頂部23與底部21以分別體之方式所構成，但是其並未被限定於此。例如，馬弗爐11亦可全體成為一體。另外，馬弗爐11亦可使側壁部22與底部21為一體，其等之頂部23則為分別體。另外，馬弗爐11亦可使側壁部22之上下方向Z的中間部為分界而上下則以分別體之方式所構成。

罩30雖然覆蓋馬弗爐11的側壁部22和頂部23，但是亦可僅覆蓋任意一者。另外，罩30亦可覆蓋底部21。

10:連續熱處理爐 11:馬弗爐 11A:下側分割體 11B:上側分割體 12:搬送裝置 12a:鏈條 12b:鏈輪(驅動鏈輪) 12c:鏈輪(從動鏈輪) 13:隔熱壁 13a:下部隔熱壁 13b:側部隔熱壁 13c:上部隔熱壁 14:加熱裝置 15:氣體供給管 16:氣體導入管 18:金屬腔室 21:底部 21a:上表面 22:側壁部 23:頂部 30:罩 30a:部分 30b:部分 31:主罩 32:副罩 40:分割體 50:保持機構 51:突起 52:孔 53:突起 54:孔 55:突起 56:槽 K1:邊界 K2:邊界 S:熱處理空間 T:托盤 W:工件 X:搬送方向 Y:寬度方向 Z:上下方向

圖1係本發明第1實施形態之熱處理裝置的概略圖。 圖2係圖1之A-A線的剖面圖。 圖3係圖2之B-B線之馬弗爐及罩的剖面圖。 圖4係表示馬弗爐及罩之概略的立體圖。 圖5(a)係圖3之C部中罩的剖面圖，圖5(b)係圖5(a)的D箭視圖。 圖6係圖3之E部中罩的剖面圖。 圖7係圖2之F部中馬弗爐及罩的剖面圖。 圖8係表示本發明第2實施形態中罩的剖面圖。 圖9係表示本發明第3實施形態中保持機構的剖面圖。

11:馬弗爐

11A:下側分割體

11B:上側分割體

12:搬送裝置

12a:鏈條

15:氣體供給管

18:金屬腔室

21:底部

30:罩

31:主罩

32:副罩

40:分割體

K1:邊界

T:托盤

W:工件

Claims (3)

1. 一種熱處理裝置，其具備有： 陶瓷製的馬弗爐，其在內部形成有用於對工件進行熱處理的熱處理空間；以及 金屬製的罩，其覆蓋上述馬弗爐； 上述馬弗爐被分割成複數個，被分割成複數個的馬弗爐被以連接熱處理空間的方式並列配置； 該熱處理裝置之特徵在於， 上述罩包含： 主罩，其覆蓋上述被分割成複數個的馬弗爐中之相鄰的馬弗爐之邊界；以及 副罩，其將複數個上述主罩予以橋接。
2. 如請求項1之熱處理裝置，其中， 至少1個上述主罩覆蓋複數個上述邊界。
3. 如請求項1或2之熱處理裝置，其中， 該熱處理裝置具備對上述主罩與上述副罩的相對移動進行限制的保持機構。

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