JP2505358Y2 - 電子部品における厚膜形成用マッフル式焼成炉 - Google Patents

電子部品における厚膜形成用マッフル式焼成炉

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JP2505358Y2
JP2505358Y2 JP7266089U JP7266089U JP2505358Y2 JP 2505358 Y2 JP2505358 Y2 JP 2505358Y2 JP 7266089 U JP7266089 U JP 7266089U JP 7266089 U JP7266089 U JP 7266089U JP 2505358 Y2 JP2505358 Y2 JP 2505358Y2
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muffle
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thick film
heating element
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浩昭 林
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Rohm Co Ltd
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Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、セラミック等の基板の表面に対して、抵抗
膜や導電膜等の厚膜を形成するためのマッフル式焼成炉
に関するものである。
〔従来の技術〕
一般に、セラミック等の基板の表面に対する厚膜の形
成は、先づ、基板の表面に塗膜を印刷等により塗着し、
次いで、これをマッフル式焼成炉に入れて、間接加熱に
よって約850℃の温度に加熱することにより、前記塗膜
を焼成することによって行なわれる。
この焼成に使用している従来のマッフル式在来焼成炉
は、基板を移送する金網製のベルトコンベヤを、インコ
ネル等の耐熱金属板にてトンネル型に構成したマッフル
内に挿通し、このマッフルの外側に加熱体を、当該マッ
フルの全周を囲うように配設して、前記マッフル内のベ
ルトコンベヤ上における基板を、マッフルを介して間接
的に加熱するように構成している。
〔考案が解決しようとする課題〕 そして、前記マッフル式焼成炉におけるトンネル型の
マッフル、及び該マッフル内に配設した空気又は窒素ガ
ス噴出用等の各種配管類は高温に加熱されることによ
り、マッフルの内面及び各種配管類の表面には金属の化
合物が生成し、この金属の化合物が、基板における塗膜
に付着してこの不良品の発生率が高くなることになるか
ら、前記マッフルの内部における金属化合物を取り除く
ための清掃作業を定期的に行う必要がある。
しかし、前記従来におけるマッフル式焼成炉では、そ
のマッフルを、一体のトンネル型に構成しているので、
その内部における金属化合物を取り除くには、ベルトコ
ンベヤを取り外したのち、前記マッフル内にその両端に
おける開口部から手を入れて金属化合物を掻き出すよう
にしなければならないから、その清掃作業には、著しく
手数と時間がかかるのであり、しかも、これに加えて、
マッフル内における金属化合物の全部を取り除くことが
できないことにより、清掃作業の間隔を短くしなければ
ならないから、焼成に要するコストが大幅にアップする
のであった。
本考案は、この問題を解消したマッフル式焼成炉を提
供することを目的とするものである。
〔課題を解決するための手段〕
この目的を達成するため本考案は、耐熱金属板にてト
ンネル型に形成したマッフルの内部に、ベルトコンベヤ
を挿通する一方、前記マッフルの外側には、その左右両
側に側面加熱体を、上方に上面加熱体を、下方に下面加
熱体を各々配設して成るマッフル式焼成炉において、前
記マッフルの上部における天井板を、当該マッフルにお
ける下部に対して着脱自在に構成する一方、前記各加熱
体のうちマッフルの上方における上面加熱体を、左右両
側における側面加熱体に対して着脱自在に構成した。
〔考案の作用・効果〕
このように構成すると、各加熱体のうちマッフルの上
方における上面加熱体を、取り外したのち、マッフルに
おける天井板を取り外すことにより、前記マッフル内部
の全体が開放するから、マッフルの内面における金属化
合物、及びマッフルの天井板の内面における金属化合
物、並びに各種配管類の表面における金属化合物を取り
除くことが、至極容易にできると共に、前記金属化合物
の全部を余すことなく略完全に取り除くことが確実にで
きるのである。
従って本考案によると、マッフル内における金属化合
物を取り除く清掃作業に要する時間を短縮することがで
きると共に、清掃作業を行う間隔を長くすることができ
るから、焼成に要するコストを大幅に低減できる効果を
有する。
〔実施例〕 以下、本考案に実施例を図面について説明すると、図
において符号1は、インコネル等の耐熱金属板にてトン
ネル型に形成したマッフルを示し、該マッフル1内に
は、二つのプーリ2,3間に巻掛けした金網製のベルトコ
ンベヤ4が挿入されていると共に、空気又は窒素ガス噴
出用等の配管類5が設けられている。
前記マッフル1における外側には、その左右両側に側
面加熱体6,7が、その下方に下面加熱体8が、その上方
に上面加熱体8が、これら各加熱体6,7,8,9にてマッフ
ル1の全周を囲うようにして配設されている。
そして、前記マッフル1における天井板1aを、マッフ
ル1の下部1bと分割して、該天井板1aを、マッフル1の
下部1bに対して着脱自在に構成する。
一方、前記各加熱体6,7,8,9のうち上面加熱体9を、
左右両側の側面加熱体6,7に対して着脱自在に構成す
る。
なお、前記マッフル1における天井板1aの両端部は、
マッフル1の下部1bに設けた溝部1c内に嵌まっている
(この場合、溝部1cを天井板1aに設けるようにしても良
い)。また、前記マッフル1の入口部には、予熱用炉10
が、出口部には冷却用炉11が各々設けられている。
この構成において、ベルトコンベヤ4の上面に、予め
厚膜用の塗膜を塗着した基板を載置すると、この基板
は、ベルトコンベヤによってマッフル1内を適宜速度で
移送される途次において、各加熱体6,7,8,9にてマッフ
ル1を介して間接的に加熱されることにより焼成される
のである。
そして、マッフル1内における金属化合物の量が多く
なると、第3図に示すように、先づ、上面加熱板9を取
り外したのち、マッフル1における天井板1aを取り外す
ことにより、マッフル1の全体が開放されるから、マッ
フル1の内面における金属化合物、及びマッフル1の天
井板1aの内面における金属化合物、並びに各種配管類5
の表面における金属化合物を、余すことなく略完全に取
り除くことが至極容易にできるのである。
なお、前記マッフル1における天井板1a、及び上面加
熱体9には、これを持ち上げるための把手1a′、9aが各
々設けられている。
【図面の簡単な説明】
図面は本考案の実施例を示し、第1図は縦断正面図、第
2図は第1図のII−II視断面図、第3図は上面加熱体及
び天井板を取り除いた状態の断面図である。 1……マッフル、1a……マッフルの天井板、1b……マッ
フルの下部、2,3……プーリ、4……ベルトコンベヤ、
5……配管類、6,7……側面加熱体、8……下面加熱
体、9……上面加熱体。

Claims (1)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】耐熱金属板にてトンネル型に形成したマッ
    フルの内部に、ベルトコンベヤを挿通する一方、前記マ
    ッフルの外側には、その左右両側に側面加熱体を、上方
    に上面加熱体を、下方に下面加熱体を各々配設して成る
    マッフル式焼成炉において、前記マッフルの上部におけ
    る天井板を、当該マッフルにおける下部に対して着脱自
    在に構成する一方、前記各加熱体のうちマッフルの上方
    における上面加熱体を、左右両側における側面加熱体に
    対して着脱自在に構成したことを特徴とする電子部品に
    おける厚膜形成用マッフル式焼成炉。
JP7266089U 1989-06-21 1989-06-21 電子部品における厚膜形成用マッフル式焼成炉 Expired - Lifetime JP2505358Y2 (ja)

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KR101301600B1 (ko) * 2009-02-16 2013-08-29 가부시키가이샤 아이에이치아이 기카이 시스템 어닐링 장치

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