WO2009139315A1 - 分光モジュール - Google Patents
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- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 title abstract description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 148
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 120
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 61
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 61
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 39
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 35
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 21
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 10
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 47
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 12
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 10
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 6
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 6
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 229910018885 Pt—Au Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N Acetaminophen Chemical compound CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical group [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000000805 composite resin Substances 0.000 description 1
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 239000005297 pyrex Substances 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 238000000820 replica moulding Methods 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
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- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
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- G01J3/0256—Compact construction
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
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- G01J3/0259—Monolithic
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- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
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- G02B27/42—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect
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- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
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- G02B7/025—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses using glue
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Abstract
Description
[第1の実施形態]
[第2の実施形態]
Claims (8)
- 一方の面から入射した光を透過させる基板と、
前記基板の他方の面側に配置され、前記基板に入射した光を透過させる光透過部と、
前記光透過部に形成され、前記光透過部に入射した光を分光すると共に反射する分光部と、
前記基板の前記一方の面側に配置され、前記分光部によって分光された光を検出する光検出素子と、を備え、
前記他方の面には、前記基板に前記光検出素子を位置決めするための基準部に対して所定の位置関係を有し、光学樹脂剤を介して前記光透過部が嵌め合わされる凹部が設けられており、
前記凹部には、前記分光部のグレーティング溝の延在方向において前記光透過部と嵌め合わされる第1の嵌合部、及び前記グレーティング溝の延在方向と略直交する方向において前記光透過部と嵌め合わされる第2の嵌合部が設けられており、
前記第2の嵌合部と前記光透過部との隙間は、前記第1の嵌合部と前記光透過部との隙間よりも小さくなっていることを特徴とする分光モジュール。 - 前記凹部の側壁は、前記第1の嵌合部、前記第2の嵌合部、及び前記光透過部から離間する離間部を含むことを特徴とする請求項1記載の分光モジュール。
- 前記離間部は、前記光透過部を囲むように複数設けられていることを特徴とする請求項2記載の分光モジュール。
- 一方の面から入射した光を透過させる基板と、
前記基板の他方の面側に配置され、前記基板に入射した光を透過させる光透過部と、
前記光透過部に形成され、前記光透過部に入射した光を分光すると共に反射する分光部と、
前記基板の前記一方の面側に配置され、前記分光部によって分光された光を検出する光検出素子と、を備え、
前記他方の面には、前記基板に前記光検出素子を位置決めするための基準部に対して所定の位置関係を有する凹部が設けられており、
前記光透過部は、前記凹部に嵌め合わされていることを特徴とする分光モジュール。 - 一方の面側から入射した光を透過させる本体部と、
前記本体部に形成され、前記本体部に入射した光を分光すると共に反射する分光部と、
前記本体部の前記一方の面側に配置され、前記分光部によって分光された光を検出する光検出素子と、を備え、
前記一方の面には、前記本体部に前記分光部を位置決めするための基準部に対して所定の位置関係を有し、光学樹脂剤を介して前記光検出素子が嵌め合わされる凹部が設けられており、
前記凹部には、前記分光部のグレーティング溝の延在方向において前記光検出素子と嵌め合わされる第3の嵌合部、及び前記グレーティング溝の延在方向と略直交する方向において前記光検出素子と嵌め合わされる第4の嵌合部が設けられており、
前記第4の嵌合部と前記光検出素子との隙間は、前記第3の嵌合部と前記光検出素子との隙間よりも小さくなっていることを特徴とする分光モジュール。 - 前記光検出素子は、前記グレーティング溝の延在方向と略直交する方向の長さが前記グレーティング溝の延在方向の長さよりも長くなるように長尺状に形成されていることを特徴とする請求項5記載の分光モジュール。
- 前記光検出素子は、前記凹部に嵌め合わされた状態で、前記一方の面から突出していることを特徴とする請求項5記載の分光モジュール。
- 前記光検出素子には、前記分光部に進行する光が通過する光通過孔が設けられていることを特徴とする請求項5記載の分光モジュール。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020167011626A KR101774186B1 (ko) | 2008-05-15 | 2009-05-07 | 분광모듈 |
EP09746522.3A EP2287574B1 (en) | 2008-05-15 | 2009-05-07 | Spectral module |
US12/992,398 US8804118B2 (en) | 2008-05-15 | 2009-05-07 | Spectral module |
CN200980117552.8A CN102027343B (zh) | 2008-05-15 | 2009-05-07 | 分光模块 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008-128687 | 2008-05-15 | ||
JP2008128687 | 2008-05-15 | ||
JP2008-311057 | 2008-12-05 | ||
JP2008311057A JP5205241B2 (ja) | 2008-05-15 | 2008-12-05 | 分光モジュール |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2009139315A1 true WO2009139315A1 (ja) | 2009-11-19 |
Family
ID=41318686
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/JP2009/058617 WO2009139315A1 (ja) | 2008-05-15 | 2009-05-07 | 分光モジュール |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8804118B2 (ja) |
EP (1) | EP2287574B1 (ja) |
JP (1) | JP5205241B2 (ja) |
KR (2) | KR101774186B1 (ja) |
CN (1) | CN102027343B (ja) |
WO (1) | WO2009139315A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2584956A1 (de) * | 2010-06-22 | 2013-05-01 | Senspec GmbH | Vorrichtung und verfahren zum erkennen und überwachen von inhaltsstoffen oder eigenschaften eines messmediums, insbesondere von physiologischen blutwerten |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6234667B2 (ja) * | 2012-08-06 | 2017-11-22 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光学素子及びその製造方法 |
EP2857810A1 (en) * | 2013-10-02 | 2015-04-08 | Nederlandse Organisatie voor toegepast -natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Monolith spectrometer |
JP2015106106A (ja) | 2013-12-02 | 2015-06-08 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイスおよび電子機器 |
JP6395389B2 (ja) * | 2014-02-05 | 2018-09-26 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光器 |
JP6251073B2 (ja) * | 2014-02-05 | 2017-12-20 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光器、及び分光器の製造方法 |
US9863809B2 (en) | 2015-08-31 | 2018-01-09 | Mettler-Toledo Gmbh | Spectrograph |
EP3372966B1 (en) * | 2017-03-10 | 2021-09-01 | Hitachi High-Tech Analytical Science Limited | A portable analyzer using optical emission spectoscopy |
US11639873B2 (en) * | 2020-04-15 | 2023-05-02 | Viavi Solutions Inc. | High resolution multi-pass optical spectrum analyzer |
CN113782644B (zh) * | 2021-11-12 | 2022-01-25 | 同方威视技术股份有限公司 | 太赫兹探测装置的制造方法及探测设备 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04294223A (ja) | 1990-12-04 | 1992-10-19 | Carl Zeiss:Fa | ダイオード列型分光分析器 |
DE19717015A1 (de) * | 1997-04-23 | 1998-10-29 | Inst Mikrotechnik Mainz Gmbh | Miniaturisiertes optisches Bauelement sowie Verfahren zu seiner Herstellung |
JP2592081Y2 (ja) * | 1993-08-13 | 1999-03-17 | 信越化学工業株式会社 | 光学素子の固定部品およびそれを応用した光アイソレータ |
JP2000065642A (ja) | 1998-03-11 | 2000-03-03 | Gretag Macbeth Ag | スペクトロメ―タ |
JP2004354176A (ja) | 2003-05-28 | 2004-12-16 | Hamamatsu Photonics Kk | 光検出器及びそれを用いた分光器 |
WO2008149940A1 (ja) * | 2007-06-08 | 2008-12-11 | Hamamatsu Photonics K.K. | 分光モジュール |
Family Cites Families (70)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4259014A (en) | 1979-04-03 | 1981-03-31 | Princeton Applied Research Corporation | Fiber optic polychromator |
DE3509131A1 (de) | 1985-03-14 | 1986-09-18 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Verfahren zur justierten montage der optischen bauteile eines optischen geraetes |
JP2592081B2 (ja) | 1987-12-28 | 1997-03-19 | スズキ株式会社 | 自動二輪車等のマフラ |
JPH04287001A (ja) | 1991-03-15 | 1992-10-12 | Sekinosu Kk | 光回折格子の製造方法 |
JPH06167637A (ja) | 1992-11-30 | 1994-06-14 | Hitachi Ltd | 多芯光コネクタ |
JPH08145794A (ja) | 1994-11-17 | 1996-06-07 | Shimadzu Corp | 分光器 |
US6224912B1 (en) | 1996-04-03 | 2001-05-01 | The Rogo Institute | Cancer-cell proliferation-suppressing material produced by cancer cells restricted by entrapment |
US5995221A (en) | 1997-02-28 | 1999-11-30 | Instruments S.A., Inc. | Modified concentric spectrograph |
US6303934B1 (en) | 1997-04-10 | 2001-10-16 | James T. Daly | Monolithic infrared spectrometer apparatus and methods |
DE19717014A1 (de) | 1997-04-23 | 1998-10-29 | Inst Mikrotechnik Mainz Gmbh | Verfahren und Form zur Herstellung miniaturisierter Formenkörper |
DE69712115T2 (de) | 1997-11-28 | 2002-09-26 | Hamamatsu Photonics Kk | Festkörperbildaufnahmevorrichtung für analysevorrichtung |
US6249346B1 (en) | 1998-12-21 | 2001-06-19 | Xerox Corporation | Monolithic spectrophotometer |
US6608679B1 (en) | 1998-12-21 | 2003-08-19 | Xerox Corporation | Spectrophotometric analysis of input light |
JP2000269472A (ja) | 1999-03-15 | 2000-09-29 | Canon Inc | 撮像装置 |
EP1041372B1 (de) | 1999-04-01 | 2006-03-01 | Gretag-Macbeth AG | Spektrometer |
JP4287001B2 (ja) | 1999-10-27 | 2009-07-01 | 帝人株式会社 | 透明導電積層体 |
US6538736B1 (en) | 1999-12-01 | 2003-03-25 | Hach Company | Concentric spectrometer with mitigation of internal specular reflections |
AU2001276875A1 (en) | 2000-07-11 | 2002-01-21 | Ibsen Photonics | Monitoring apparatus for optical transmission systems |
CN1296684C (zh) | 2000-07-28 | 2007-01-24 | 大塚电子株式会社 | 光谱检测设备 |
US6657723B2 (en) * | 2000-12-13 | 2003-12-02 | International Business Machines Corporation | Multimode planar spectrographs for wavelength demultiplexing and methods of fabrication |
CN100354699C (zh) | 2001-08-02 | 2007-12-12 | 伊吉斯半导体公司 | 可调谐光学仪器 |
JP2003139611A (ja) | 2001-11-06 | 2003-05-14 | Olympus Optical Co Ltd | 分光光度計 |
JP3912111B2 (ja) | 2002-01-09 | 2007-05-09 | 富士通株式会社 | 波長多重双方向光伝送モジュール |
JP3818441B2 (ja) | 2002-02-20 | 2006-09-06 | 日本電信電話株式会社 | 基板実装構造及び半導体装置 |
JP4221965B2 (ja) * | 2002-07-22 | 2009-02-12 | 日立電線株式会社 | 回折格子、波長合分波器及びこれらを用いた波長多重信号光伝送モジュール |
US6885107B2 (en) | 2002-08-29 | 2005-04-26 | Micron Technology, Inc. | Flip-chip image sensor packages and methods of fabrication |
WO2004027493A1 (ja) | 2002-09-20 | 2004-04-01 | Nippon Sheet Glass Company, Limited | 回折格子を用いた分光装置 |
FR2847978B1 (fr) | 2002-12-02 | 2005-12-02 | Technologie Optique Et Etudes | Spectrometre compact a composant optique monolithique |
JP2004191246A (ja) | 2002-12-12 | 2004-07-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 凹凸検出センサ |
DE10304312A1 (de) | 2003-02-04 | 2004-08-12 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Kompakt-Spektrometer |
CN100438054C (zh) | 2003-03-10 | 2008-11-26 | 浜松光子学株式会社 | 光电二极管阵列及其制造方法和放射线检测器 |
JP2004309146A (ja) | 2003-04-02 | 2004-11-04 | Olympus Corp | 分光光度計 |
US7283233B1 (en) | 2004-03-20 | 2007-10-16 | Seng-Tiong Ho | Curved grating spectrometer with very high wavelength resolution |
US7623235B2 (en) | 2004-03-20 | 2009-11-24 | Seng-Tiong Ho | Curved grating spectrometer with very high wavelength resolution |
JP4627410B2 (ja) | 2004-04-20 | 2011-02-09 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光器を用いた測定装置 |
JP4720120B2 (ja) | 2004-07-14 | 2011-07-13 | ソニー株式会社 | 半導体イメージセンサ・モジュール |
JP4473665B2 (ja) | 2004-07-16 | 2010-06-02 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光器 |
EP1779074A2 (en) | 2004-07-26 | 2007-05-02 | Danmarks Tekniske Universitet | On-chip spectroscopy |
JP4576961B2 (ja) | 2004-09-28 | 2010-11-10 | 株式会社島津製作所 | レプリカ回折格子の製造方法 |
JP2006322841A (ja) | 2005-05-19 | 2006-11-30 | Shimadzu Corp | 分光測定方法及び分光光度計 |
US7330258B2 (en) | 2005-05-27 | 2008-02-12 | Innovative Technical Solutions, Inc. | Spectrometer designs |
US7289220B2 (en) | 2005-10-14 | 2007-10-30 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Broadband cavity spectrometer apparatus and method for determining the path length of an optical structure |
JP4811032B2 (ja) | 2006-01-30 | 2011-11-09 | 株式会社島津製作所 | 反射型レプリカ光学素子 |
US7697137B2 (en) | 2006-04-28 | 2010-04-13 | Corning Incorporated | Monolithic Offner spectrometer |
EP1882916A1 (en) | 2006-07-20 | 2008-01-30 | Interuniversitair Microelektronica Centrum | Compact catadioptric spectrometer |
JP5182093B2 (ja) | 2006-09-06 | 2013-04-10 | 株式会社ニコン | 光学装置、露光装置、並びにデバイス製造方法 |
JP4490406B2 (ja) | 2006-10-11 | 2010-06-23 | 浜松ホトニクス株式会社 | 固体撮像装置 |
JP4905193B2 (ja) | 2007-03-16 | 2012-03-28 | コニカミノルタセンシング株式会社 | 凹面回折ミラー及びこれを用いた分光装置 |
JP4891841B2 (ja) | 2007-06-08 | 2012-03-07 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光モジュール |
WO2008149930A1 (ja) | 2007-06-08 | 2008-12-11 | Hamamatsu Photonics K.K. | 分光モジュール |
JP5094742B2 (ja) | 2007-06-08 | 2012-12-12 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光器 |
TWI342862B (en) | 2008-01-31 | 2011-06-01 | Univ Nat Taiwan | Method of micro/nano imprinting |
JP5111163B2 (ja) | 2008-03-04 | 2012-12-26 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光器 |
EP2801802A1 (en) | 2008-03-04 | 2014-11-12 | Hamamatsu Photonics K.K. | Spectroscopy module |
JP5205240B2 (ja) | 2008-05-15 | 2013-06-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光モジュールの製造方法及び分光モジュール |
JP5205243B2 (ja) | 2008-05-15 | 2013-06-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光器 |
JP5415060B2 (ja) | 2008-05-15 | 2014-02-12 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光モジュール |
JP5205242B2 (ja) | 2008-05-15 | 2013-06-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光器の製造方法 |
JP5205238B2 (ja) | 2008-05-15 | 2013-06-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光モジュール |
JP5512961B2 (ja) | 2008-05-15 | 2014-06-04 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光モジュール及びその製造方法 |
JP5207938B2 (ja) | 2008-05-15 | 2013-06-12 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光モジュール及び分光モジュールの製造方法 |
JP5074291B2 (ja) | 2008-05-15 | 2012-11-14 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光モジュール |
JP5205239B2 (ja) | 2008-05-15 | 2013-06-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光器 |
JP2009300418A (ja) | 2008-05-15 | 2009-12-24 | Hamamatsu Photonics Kk | 分光モジュール |
JP5411778B2 (ja) | 2009-04-30 | 2014-02-12 | キヤノン株式会社 | 分光測色装置、およびそれを用いた画像形成装置 |
JP2010261767A (ja) | 2009-05-01 | 2010-11-18 | Canon Inc | 分光装置及びそれを有する画像形成装置 |
JP5669434B2 (ja) | 2009-05-09 | 2015-02-12 | キヤノン株式会社 | 回折素子及び回折素子の製造方法及びそれを用いた分光器 |
JP5421684B2 (ja) | 2009-07-29 | 2014-02-19 | キヤノン株式会社 | 回折光学素子、それを用いた分光測色装置および画像形成装置 |
DE102009046831B4 (de) | 2009-11-18 | 2015-02-12 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Strahlungserzeugungsvorrichtung zum Erzeugen einer elektromagnetischen Strahlung mit einer einstellbaren spektralen Zusammensetzung und Verfahren zur Herstellung derselben |
JP5335729B2 (ja) | 2010-04-01 | 2013-11-06 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光モジュール |
-
2008
- 2008-12-05 JP JP2008311057A patent/JP5205241B2/ja active Active
-
2009
- 2009-05-07 EP EP09746522.3A patent/EP2287574B1/en active Active
- 2009-05-07 KR KR1020167011626A patent/KR101774186B1/ko active IP Right Grant
- 2009-05-07 US US12/992,398 patent/US8804118B2/en active Active
- 2009-05-07 WO PCT/JP2009/058617 patent/WO2009139315A1/ja active Application Filing
- 2009-05-07 CN CN200980117552.8A patent/CN102027343B/zh active Active
- 2009-05-07 KR KR1020107015306A patent/KR20110005771A/ko active Application Filing
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04294223A (ja) | 1990-12-04 | 1992-10-19 | Carl Zeiss:Fa | ダイオード列型分光分析器 |
JP2592081Y2 (ja) * | 1993-08-13 | 1999-03-17 | 信越化学工業株式会社 | 光学素子の固定部品およびそれを応用した光アイソレータ |
DE19717015A1 (de) * | 1997-04-23 | 1998-10-29 | Inst Mikrotechnik Mainz Gmbh | Miniaturisiertes optisches Bauelement sowie Verfahren zu seiner Herstellung |
JP2000065642A (ja) | 1998-03-11 | 2000-03-03 | Gretag Macbeth Ag | スペクトロメ―タ |
JP2004354176A (ja) | 2003-05-28 | 2004-12-16 | Hamamatsu Photonics Kk | 光検出器及びそれを用いた分光器 |
WO2008149940A1 (ja) * | 2007-06-08 | 2008-12-11 | Hamamatsu Photonics K.K. | 分光モジュール |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2584956A1 (de) * | 2010-06-22 | 2013-05-01 | Senspec GmbH | Vorrichtung und verfahren zum erkennen und überwachen von inhaltsstoffen oder eigenschaften eines messmediums, insbesondere von physiologischen blutwerten |
EP2584956B1 (de) * | 2010-06-22 | 2021-08-04 | Sentec GmbH | Vorrichtung und verfahren zum erkennen und überwachen von physiologischen blutwerten |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5205241B2 (ja) | 2013-06-05 |
JP2009300419A (ja) | 2009-12-24 |
CN102027343B (zh) | 2014-03-19 |
CN102027343A (zh) | 2011-04-20 |
KR20110005771A (ko) | 2011-01-19 |
EP2287574A4 (en) | 2014-01-08 |
EP2287574B1 (en) | 2020-06-17 |
KR101774186B1 (ko) | 2017-09-01 |
US20110164247A1 (en) | 2011-07-07 |
EP2287574A1 (en) | 2011-02-23 |
KR20160056945A (ko) | 2016-05-20 |
US8804118B2 (en) | 2014-08-12 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 200980117552.8 Country of ref document: CN |
|
121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 09746522 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
ENP | Entry into the national phase |
Ref document number: 20107015306 Country of ref document: KR Kind code of ref document: A |
|
NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: DE |
|
WWE | Wipo information: entry into national phase |
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|
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Ref document number: 12992398 Country of ref document: US |