JPH04294223A - ダイオード列型分光分析器 - Google Patents
ダイオード列型分光分析器Info
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Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
持体を有するダイオード列型分光分析器に関する。
6号明細書から、機械的に分割された又はホログラフィ
ーによる凹面格子を有する分光分析器及びデマルチプレ
クサは公知である。入射スリット及び出射平面は、実質
的にはローランド円上にある。コンパクトで頑丈な実施
形では、光学部材はガラス体又はプラスチック体に取り
付けられている。この種の分光分析器において出射平面
にダイオード列を配列することも公知である。
との必要な接合の際に、相当に破損する恐れが生じる。 更に、市販のダイオード列はケーシング内に組込まれて
いるので、分光分析器体に直接取り付けることができな
い。
ett. 6(1981)、639−640頁から、平
面状ローランド円の分光分析器が公知であり、その基体
は層状導波体であり、該導波体上に円筒凹面格子が取り
付けられており、かつ更に該層状導波体は格子と反対側
の側面上にローランド円の輪郭線を有する。半径方向に
配置された光ファイバは信号出力として使用される。
は、上記形式のダイオード列型分光分析器を、直列ダイ
オード列の使用に適し、設置及び調整が容易で、かつ結
像収差、特にコマ収差が十分に補正されるようにするこ
とであった。
載のダイオード列型分光分析器により解決される。有利
な態様は、請求項2に記載されている。
けには透明な支持体に対向する空隙が必要であることか
ら出発する。それによって、同時に調整のためのダイオ
ード列のシフト及び傾倒による支持体等の製造偏倚の修
正の可能性が開かれる。
境界面が、収差、特にコマを生じる付加的な屈折面であ
る。本発明は、平坦な光学面の代わりにわん曲した光学
面を導入することにより欠点を伴わなずに空隙の利点の
利用を可能にする。このことは製造技術的に問題ない。 入射スリットを通過する照射ビームの大き過ぎない発散
では、原則的には円筒形で十分である。例えばH.W.
Yen 、著、前記文献に記載されているように導光波
体を使用する場合に、これと同じことが当てはまる。球
面形は問題なく適当で、円筒形のものよりも製造技術的
に容易である。
く支持体が、格子と反対側の側面上のローランド円に従
い、該ローランド円の半径が格子半径の半分で、該ロー
ランド円の曲率中心がレンズの中心にある場合と異なり
、ここでの選択した配置において両曲率半径は有利にも
若干の差異があるだけにすぎず、両曲率中心はそれぞれ
もう一方の凸面の曲率頂点の近くにある。
詳細に説明する。
tt)の種類のガラスからなる透明な支持体2上、第1
の凸面21上に取り付けられている。第2の凸面22と
ケーシング31内のダイオード列3の間に、例えば1.
8mmの小さい空隙dが設けられている。調整位置で、
ダイオード列3はエポキシ接着剤32又は類似のもので
支持体2に固定されている。
mmの球面レンズであり、第1の凸面21及び格子1の
半径は29.64mmでありかつ第2の凸面22の半径
は28.18mmであり、従って僅かな差異にすぎない
。
の入射スリット4が、第2の凸面22上の、ダイオード
列の近くに取り付けられている。
4から任意の方法で、例えば図面には示めされていない
光ファイバにより供給することができる。
の電子装置及び場合によりソフトウェアは、同様に記載
されていないが、ホトダイオード列の任意の使用のため
に周知である。
で、該実施例の分光分析器は、波長360から780n
mまで、132nm/mmの十分な線状の分散を有し、
ダイオード列3において、幅25μmのそれぞれのホト
ダイオードで10nmより良好な解像力が達成される。
トルの最適な線状化のためのダイオード列3の位置の支
持体2のレンズ形状、入射スリット4の位置及び大きさ
、正確な決定は、本発明による構成の範囲内で公知の光
学的算出方法を用いて達成される。
に機械的な格子分割により定義された格子1の代わりに
、ホログラフィー製造による別の収差補正を有するもの
を使用することができる。
3の間の空隙に他の媒介を設けることもできる。
施例の断面図である。
ード列、 4 入射スリット、21,22 凸面
、 31 ケーシング、 32 エポキシ接着
剤
Claims (2)
- 【請求項1】 凹面格子(1)及び透明な支持体(2
)を有するダイオード列型分光分析器において、該支持
体が両凸レンズであり、該レンズの第一の凸面(21)
は凹面格子(1)を支持し、かつ第二の凸面(22)は
短い距離(d)でダイオード列(3)に対向しているこ
とを特徴とする、ダイオード列型分光分析器。 - 【請求項2】 支持体(2)の両曲率半径(r1,r
2)が僅かに異なっているにすぎず、かつ両凸面(21
,22)の曲率中心が、それぞれもう他方の凸面(22
,21)の曲率頂点の近くにある、請求項1記載のダイ
オード列型分光分析機。
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