JP2009300423A - 分光モジュール及びその製造方法 - Google Patents
分光モジュール及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009300423A JP2009300423A JP2008311086A JP2008311086A JP2009300423A JP 2009300423 A JP2009300423 A JP 2009300423A JP 2008311086 A JP2008311086 A JP 2008311086A JP 2008311086 A JP2008311086 A JP 2008311086A JP 2009300423 A JP2009300423 A JP 2009300423A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- spectroscopic
- substrate
- unit
- detection element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 100
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 78
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 40
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 40
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims abstract description 28
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 26
- 239000000463 material Substances 0.000 description 14
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 11
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N Acetaminophen Chemical compound CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- 229910018885 Pt—Au Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 239000005297 pyrex Substances 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 238000000820 replica moulding Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000106 Liquid crystal polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004977 Liquid-crystal polymers (LCPs) Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000000805 composite resin Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0202—Mechanical elements; Supports for optical elements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0208—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using focussing or collimating elements, e.g. lenses or mirrors; performing aberration correction
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0243—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows having a through-hole enabling the optical element to fulfil an additional optical function, e.g. a mirror or grating having a throughhole for a light collecting or light injecting optical fiber
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0256—Compact construction
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0262—Constructional arrangements for removing stray light
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
- Y10T156/10—Methods of surface bonding and/or assembly therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
【解決手段】 分光モジュール1では、分光部4に進行する光L1が通過する光通過孔5bが光検出素子5に形成されている。そのため、光通過孔5bと光検出素子5の光検出部5aとの相対的な位置関係にずれが生じるのを防止することができる。更に、光通過孔5bを介して分光部4に進行する被測定光L1、及び分光部4から光検出部5aに進行する回折光L2は、配線基板10の開口部10aによって光検出素子5と基板2との間に形成された空隙を通過する。これによって、光検出素子5と基板2との間に介在させられる樹脂剤16などに起因して被測定光L1及び回折光L2が散乱されるなどの事態が防止されるため、迷光の発生を抑制することができる。従って、この分光モジュール1によれば、信頼性を向上させることが可能となる。
【選択図】 図2
Description
Claims (5)
- 光を透過させる本体部と、
前記本体部の所定の面側から前記本体部に入射した光を分光すると共に前記所定の面側に反射する分光部と、
中間基板を介して前記所定の面上に配置され、前記分光部によって分光された光を検出する光検出部を有する光検出素子と、
を備え、
前記光検出素子には、前記分光部に進行する光が通過する光通過孔が形成されており、
前記中間基板には、前記光通過孔を介して前記分光部に進行する光、及び前記分光部から前記光検出部に進行する光が通過する開口部が形成されていることを特徴とする分光モジュール。 - 前記中間基板には、前記光検出素子を外部と電気的に接続するための配線が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の分光モジュール。
- 前記中間基板は、遮光性を有していることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の分光モジュール。
- 前記中間基板と前記光検出素子とは、前記開口部の周縁に沿って樹脂剤によって接着されていることを特徴とする請求項1〜請求項3のうちいずれか一項に記載の分光モジュール。
- 光を透過させる本体部と、前記本体部の所定の面側から前記本体部に入射した光を分光すると共に前記所定の面側に反射する分光部と、前記分光部によって分光された光を検出する光検出部を有する光検出素子と、を備える分光モジュールの製造方法であって、
光通過孔が形成された前記光検出素子を、前記光通過孔を介して前記分光部に進行する光、及び前記分光部から前記光検出部に進行する光が通過する開口部が形成された中間基板に配置する光検出素子配置工程と、
前記光検出素子配置工程の後、前記中間基板を前記所定の面に配置する中間基板配置工程と、
前記分光部を前記本体部に配置する分光部配置工程と、
を含むことを特徴とする分光モジュールの製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008311086A JP5512961B2 (ja) | 2008-05-15 | 2008-12-05 | 分光モジュール及びその製造方法 |
US12/465,264 US8139214B2 (en) | 2008-05-15 | 2009-05-13 | Spectroscopy module, and method for manufacturing the same |
DE102009021440.2A DE102009021440B4 (de) | 2008-05-15 | 2009-05-15 | Spektroskopiemodul und Verfahren zum Herstellen desselben |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008128687 | 2008-05-15 | ||
JP2008128687 | 2008-05-15 | ||
JP2008311086A JP5512961B2 (ja) | 2008-05-15 | 2008-12-05 | 分光モジュール及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009300423A true JP2009300423A (ja) | 2009-12-24 |
JP5512961B2 JP5512961B2 (ja) | 2014-06-04 |
Family
ID=41315848
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008311086A Active JP5512961B2 (ja) | 2008-05-15 | 2008-12-05 | 分光モジュール及びその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8139214B2 (ja) |
JP (1) | JP5512961B2 (ja) |
DE (1) | DE102009021440B4 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013533769A (ja) * | 2010-06-22 | 2013-08-29 | センスペック・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング | 測定媒体の成分または特性、特に生理的血液値を特定およびモニタするための装置ならびに方法 |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5205240B2 (ja) * | 2008-05-15 | 2013-06-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光モジュールの製造方法及び分光モジュール |
JP5205243B2 (ja) * | 2008-05-15 | 2013-06-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光器 |
JP5205241B2 (ja) * | 2008-05-15 | 2013-06-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光モジュール |
JP2009300418A (ja) | 2008-05-15 | 2009-12-24 | Hamamatsu Photonics Kk | 分光モジュール |
JP5205238B2 (ja) * | 2008-05-15 | 2013-06-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光モジュール |
JP5415060B2 (ja) * | 2008-05-15 | 2014-02-12 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光モジュール |
JP2009300422A (ja) * | 2008-05-15 | 2009-12-24 | Hamamatsu Photonics Kk | 分光モジュール |
JP5207938B2 (ja) * | 2008-05-15 | 2013-06-12 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光モジュール及び分光モジュールの製造方法 |
JP2009300417A (ja) * | 2008-05-15 | 2009-12-24 | Hamamatsu Photonics Kk | 分光モジュールの製造方法及び分光モジュール |
JP2010261767A (ja) * | 2009-05-01 | 2010-11-18 | Canon Inc | 分光装置及びそれを有する画像形成装置 |
JP2015106106A (ja) | 2013-12-02 | 2015-06-08 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイスおよび電子機器 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04294223A (ja) * | 1990-12-04 | 1992-10-19 | Carl Zeiss:Fa | ダイオード列型分光分析器 |
WO1999029103A1 (fr) * | 1997-11-28 | 1999-06-10 | Hamamatsu Photonics K.K. | Dispositif de capture d'images a semi-conducteurs et analyseur utilisant ledit dispositif |
JP2000269472A (ja) * | 1999-03-15 | 2000-09-29 | Canon Inc | 撮像装置 |
JP2004053992A (ja) * | 2002-07-22 | 2004-02-19 | Hitachi Cable Ltd | 回折格子、波長合分波器及びこれらを用いた波長多重信号光伝送モジュール |
JP2004354176A (ja) * | 2003-05-28 | 2004-12-16 | Hamamatsu Photonics Kk | 光検出器及びそれを用いた分光器 |
JP2005308495A (ja) * | 2004-04-20 | 2005-11-04 | Hamamatsu Photonics Kk | 分光器及びそれを用いた測定装置 |
WO2009139321A1 (ja) * | 2008-05-15 | 2009-11-19 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光モジュール |
Family Cites Families (37)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3509131A1 (de) | 1985-03-14 | 1986-09-18 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Verfahren zur justierten montage der optischen bauteile eines optischen geraetes |
JP2592081B2 (ja) | 1987-12-28 | 1997-03-19 | スズキ株式会社 | 自動二輪車等のマフラ |
JPH04287001A (ja) | 1991-03-15 | 1992-10-12 | Sekinosu Kk | 光回折格子の製造方法 |
JPH06167637A (ja) | 1992-11-30 | 1994-06-14 | Hitachi Ltd | 多芯光コネクタ |
JPH08145794A (ja) | 1994-11-17 | 1996-06-07 | Shimadzu Corp | 分光器 |
US6224912B1 (en) | 1996-04-03 | 2001-05-01 | The Rogo Institute | Cancer-cell proliferation-suppressing material produced by cancer cells restricted by entrapment |
US5995221A (en) | 1997-02-28 | 1999-11-30 | Instruments S.A., Inc. | Modified concentric spectrograph |
US6303934B1 (en) | 1997-04-10 | 2001-10-16 | James T. Daly | Monolithic infrared spectrometer apparatus and methods |
DE19717015A1 (de) | 1997-04-23 | 1998-10-29 | Inst Mikrotechnik Mainz Gmbh | Miniaturisiertes optisches Bauelement sowie Verfahren zu seiner Herstellung |
EP0942266A1 (de) * | 1998-03-11 | 1999-09-15 | Gretag-Macbeth AG | Spektrometer |
EP0942267B1 (de) | 1998-03-11 | 2006-08-30 | Gretag-Macbeth AG | Spektrometer |
DE59913150D1 (de) | 1999-04-01 | 2006-04-27 | Gretag Macbeth Ag Regensdorf | Spektrometer |
US6538736B1 (en) | 1999-12-01 | 2003-03-25 | Hach Company | Concentric spectrometer with mitigation of internal specular reflections |
AU2001276875A1 (en) | 2000-07-11 | 2002-01-21 | Ibsen Photonics | Monitoring apparatus for optical transmission systems |
WO2002010698A1 (en) | 2000-07-28 | 2002-02-07 | Otsuka Electronics Co., Ltd. | Light spectrum detecting apparatus |
US6657723B2 (en) | 2000-12-13 | 2003-12-02 | International Business Machines Corporation | Multimode planar spectrographs for wavelength demultiplexing and methods of fabrication |
JP2003139611A (ja) | 2001-11-06 | 2003-05-14 | Olympus Optical Co Ltd | 分光光度計 |
JP3818441B2 (ja) | 2002-02-20 | 2006-09-06 | 日本電信電話株式会社 | 基板実装構造及び半導体装置 |
FR2847978B1 (fr) | 2002-12-02 | 2005-12-02 | Technologie Optique Et Etudes | Spectrometre compact a composant optique monolithique |
JP2004191246A (ja) | 2002-12-12 | 2004-07-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 凹凸検出センサ |
JP2004309146A (ja) | 2003-04-02 | 2004-11-04 | Olympus Corp | 分光光度計 |
JP4627402B2 (ja) * | 2003-11-28 | 2011-02-09 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出器を用いた分光器 |
EP1779074A2 (en) | 2004-07-26 | 2007-05-02 | Danmarks Tekniske Universitet | On-chip spectroscopy |
US7330258B2 (en) | 2005-05-27 | 2008-02-12 | Innovative Technical Solutions, Inc. | Spectrometer designs |
JP4811032B2 (ja) | 2006-01-30 | 2011-11-09 | 株式会社島津製作所 | 反射型レプリカ光学素子 |
US7697137B2 (en) | 2006-04-28 | 2010-04-13 | Corning Incorporated | Monolithic Offner spectrometer |
EP1882916A1 (en) | 2006-07-20 | 2008-01-30 | Interuniversitair Microelektronica Centrum | Compact catadioptric spectrometer |
WO2008029852A1 (fr) | 2006-09-06 | 2008-03-13 | Nikon Corporation | Dispositif optique, appareil d'exposition et procédé de fabrication du dispositif |
US8045155B2 (en) | 2007-06-08 | 2011-10-25 | Hamamatsu Photonics K.K. | Spectroscopic module |
JP4891841B2 (ja) | 2007-06-08 | 2012-03-07 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光モジュール |
KR101491889B1 (ko) | 2007-06-08 | 2015-02-11 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | 분광기 |
JP5415060B2 (ja) | 2008-05-15 | 2014-02-12 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光モジュール |
JP5207938B2 (ja) | 2008-05-15 | 2013-06-12 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光モジュール及び分光モジュールの製造方法 |
JP5205238B2 (ja) | 2008-05-15 | 2013-06-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光モジュール |
JP2009300418A (ja) | 2008-05-15 | 2009-12-24 | Hamamatsu Photonics Kk | 分光モジュール |
JP5205243B2 (ja) | 2008-05-15 | 2013-06-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光器 |
JP5205240B2 (ja) | 2008-05-15 | 2013-06-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光モジュールの製造方法及び分光モジュール |
-
2008
- 2008-12-05 JP JP2008311086A patent/JP5512961B2/ja active Active
-
2009
- 2009-05-13 US US12/465,264 patent/US8139214B2/en active Active
- 2009-05-15 DE DE102009021440.2A patent/DE102009021440B4/de active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04294223A (ja) * | 1990-12-04 | 1992-10-19 | Carl Zeiss:Fa | ダイオード列型分光分析器 |
WO1999029103A1 (fr) * | 1997-11-28 | 1999-06-10 | Hamamatsu Photonics K.K. | Dispositif de capture d'images a semi-conducteurs et analyseur utilisant ledit dispositif |
JP2000269472A (ja) * | 1999-03-15 | 2000-09-29 | Canon Inc | 撮像装置 |
JP2004053992A (ja) * | 2002-07-22 | 2004-02-19 | Hitachi Cable Ltd | 回折格子、波長合分波器及びこれらを用いた波長多重信号光伝送モジュール |
JP2004354176A (ja) * | 2003-05-28 | 2004-12-16 | Hamamatsu Photonics Kk | 光検出器及びそれを用いた分光器 |
JP2005308495A (ja) * | 2004-04-20 | 2005-11-04 | Hamamatsu Photonics Kk | 分光器及びそれを用いた測定装置 |
WO2009139321A1 (ja) * | 2008-05-15 | 2009-11-19 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光モジュール |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013533769A (ja) * | 2010-06-22 | 2013-08-29 | センスペック・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング | 測定媒体の成分または特性、特に生理的血液値を特定およびモニタするための装置ならびに方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102009021440A1 (de) | 2009-12-17 |
US8139214B2 (en) | 2012-03-20 |
JP5512961B2 (ja) | 2014-06-04 |
DE102009021440B4 (de) | 2020-04-16 |
US20090284743A1 (en) | 2009-11-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5512961B2 (ja) | 分光モジュール及びその製造方法 | |
JP5207938B2 (ja) | 分光モジュール及び分光モジュールの製造方法 | |
JP5415060B2 (ja) | 分光モジュール | |
JP5205240B2 (ja) | 分光モジュールの製造方法及び分光モジュール | |
JP5335729B2 (ja) | 分光モジュール | |
JP5205238B2 (ja) | 分光モジュール | |
JP5205241B2 (ja) | 分光モジュール | |
US8013993B2 (en) | Spectroscopy module | |
JP5325829B2 (ja) | 分光モジュール | |
KR101735131B1 (ko) | 분광 모듈 및 그 제조 방법 | |
JP2009276244A (ja) | 分光モジュール | |
JP5235250B2 (ja) | 分光モジュール | |
WO2009139320A1 (ja) | 分光モジュール | |
WO2009139316A1 (ja) | 分光モジュールの製造方法及び分光モジュール | |
JP5113947B2 (ja) | 分光モジュール |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110810 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130122 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130321 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130820 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131017 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140311 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140327 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5512961 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |