JP5113947B2 - 分光モジュール - Google Patents
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- 光を透過させる本体部と、
前記本体部の所定の面から前記本体部に入射した光を分光して前記所定の面側に反射する分光部と、
前記分光部によって分光されて反射された光を検出する光検出部を有し、前記所定の面上に支持された光検出素子と、を備え、
前記光検出素子は、前記分光部に進行する光が通過する光通過孔を有しており、
前記所定の面には、前記分光部に進行する光が通過する第1の光通過開口、及び前記光検出部に進行する光が通過する第2の光通過開口を有する光吸収層が形成されており、
前記光通過孔は、前記第1の光通過開口と対向しており、前記光検出部は、前記第2の光通過開口と対向していることを特徴とする分光モジュール。 - 前記光検出素子は、前記所定の面に形成された配線にフェースダウンボンディングによって電気的に接続されていることを特徴とする請求項1記載の分光モジュール。
- 前記光検出素子の前記本体部側には、光を透過させるアンダーフィル材が充填されていることを特徴とする請求項2記載の分光モジュール。
- 前記アンダーフィル材は、前記第1の光通過開口から前記光通過孔に至る領域、及び前記第2の光通過開口から前記光検出部に至る領域に配置されていることを特徴とする請求項3記載の分光モジュール。
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