JP4980184B2 - 分光モジュール - Google Patents
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Claims (4)
- 光を透過させる本体部と、
前記本体部の所定の面から前記本体部に入射した光を分光して前記所定の面側に反射する分光部と、
前記分光部によって分光されて反射された光を検出する光検出部を有し、前記所定の面側に形成された配線にフェースダウンボンディングによって電気的に接続された光検出素子と、
前記光検出素子の前記本体部側に充填され、光を透過させるアンダーフィル材と、を備え、
前記光検出素子は、前記分光部に進行する光が通過する光通過孔を有しており、
前記アンダーフィル材は、前記光通過孔内に進入しており、
前記光通過孔の光入射開口の一部は、光透過板によって覆われていることを特徴とする分光モジュール。 - 前記光通過孔は、その中心線方向から見て前記光入射開口が前記光通過孔の光出射開口を含むように形成されており、
前記光透過板は、前記中心線方向から見て前記光出射開口を含むように前記光入射開口の一部を覆っていることを特徴とする請求項1記載の分光モジュール。 - 前記配線は、前記所定の面側に光反射防止層を有していることを特徴とする請求項1又は2記載の分光モジュール。
- 前記所定の面には、前記分光部に進行する光が通過する第1の光通過部、及び前記光検出部に進行する光が通過する第2の光通過部を有する光吸収層が形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載の分光モジュール。
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