JPS63229765A - 赤外線検知器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 赤外線検知器内に設けられた配線基板上の配線パターン
や検知器基板の側面より検知素子に入射する迷光を無く
するため、配線基板および検知器基板に迷光を透過しな
いセラミックや石英ガラス材を用いるとともに、配線基
板内に配線パターンを埋設した構成とし、迷光を遮断し
て検知素子のモジユレーション・トランスファー・ファ
ンクション（以後ＭＴＦと記す）を改善するとともに、
赤外線検知器の製造の簡略化を図っている。

〔産業上の利用分野〕

本発明は３μＩ１１〜５μｍ帯に感度を有する赤外線検
知器に関し、特に迷光による影響を無くしてＭＴＦをよ
くするとともに、製造のの簡略化を行うように改良され
た赤外線検知器に関するものである。

赤外線撮像装置において、鮮明な撮像画像を得るために
は、赤外線検知器の迷光による影響をなくしてＭＴＦを
良くする必要があり、そのための種々の方策が提案され
ている。

〔従来の技術〕

第２図は従来の赤外線検知器の側断面図、第３図は従来
の赤外線検知器の動作を説明するための図である。

第２図において、従来の赤外線検知器は、外筒１と内筒
２と外筒１の上面に設けられた透過窓３とにより真空容
器を形成しており、透過窓３に対向する内筒２の真空容
器面にサファイアの検知器基板９を設け、該検知器基板
９の上面に金属膜１０を蒸着し、該金属膜１０上に接着
材１１を介して検知素子５を設け、真空容器内を真空と
して外部温度が検知素子５に伝導することを遮断すると
ともに、内筒２の内部を液体窒素、循環冷却器、ガス冷
却器（Ｊ−Ｔ冷却）等で冷却し、検知素子５を所定の温
度にしている。

また、検知器基板９０両側にセラミックの配線基板１２
を設け、両配線基板１２の上面に配線パターン７を形成
している。

検知素子５は、外部より透過窓３を透過して入射する赤
外線光（実線で示す）を検知して電気信号に変換し、リ
ード線６と配線パターン７を介して外部出力端８より外
部に取出している。

３μｍ〜５μｍ帯に感度を有する赤外線検知器にサファ
イア基板を用いると、第３図の点線で示すように、３μ
ｍ〜５μｍ帯の迷光が基板側面から透過し、サファイア
基板の裏面よりの反射光が検知素子５に入射し、検知器
５のＭＴＦを低下せしめる。

そこで、サファイア基板の裏面よりの反射光が検知器素
子５に入射することを遮断するために基板の上面に金属
膜１０を蒸着した後、その後の工程でこの金属膜が侵さ
れないよう金属膜上に絶縁膜を形成し、その上に接着剤
１１を介して検知器素子５を透過窓３に対向して固定し
ている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記の赤外線検知器において、検知器基板９上への金属
膜１０の形成に時間がかかり、赤外線検知器の製造効率
をわるくしている。

また、第３図の鎖線で示すように、外部より入射した迷
光が配線基板１２の上面に形成された配線パターン７に
反射して検知素子５に入射し、ＭＴＦをわるくする。

本発明はこのような点に鑑みて創作されたもので、検知
素子に検知器基板の側面を透過して入射する迷光や配線
パターンに反射して入射する迷光を遮断し、高いＭＴＦ
が得られるとともに、製造が容易となる赤外線検知器を
提供することを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

検知器基板および配線基板をセラミックまたは石英ガラ
スで形成するとともに、配線パターンを配線基板面内に
埋設して形成する構成としている。

〔作用〕

セラミックまたは石英ガラスは３μＩ１１〜５μｍ帯の
赤外光を透過しない性質を有している。これを利用して
検知器基板と配線基板にセラミックまたは石英ガラスを
用いることによって検知器基板の側面より入射する迷光
が基板内を透過することがなくなり、迷光による検知素
子への影響をなくしている。

〔実施例〕

第１図は本発明の一実施例の赤外線検知器の要部側断面
図を示している。

第１図に示すように、一実施例の赤外線検知器は、セラ
ミックまたは石英ガラスから成る検知器基板９にセラミ
ックまたは石英ガラスを用い、該検知器基板９上に検知
素子５を透過窓３に対向して形成している。

また、配線基板１２にセラミックまたは石英ガラスを用
い、配線パターン７を配線基板１２の内部に埋設して形
成するとともに、その一端を接続する端子１３を配線基
板１２上に設け、該端子１３と検知素子５のリード線６
とを接続し、検知素子５の出力信号をリード線６と端子
１３と配線パターン７と外部出力端８を介して外部に取
出すようにしている。

外部より検知器基板９の側面に入射する３μｍ〜５μｍ
帯の迷光は、セラミックまたは石英ガラスを透過しない
ために検知器基板９の側面で遮断され、３μｍ〜５μｍ
帯で感度を有する検知素子５への影響がなくなる。

また、従来例で述べた検知器基板９上に金属膜１０を形
成する工程が省けるとともに、セラミックまたは石英ガ
ラスの検知器基Ｆｉ９上に検知素子５を形成することは
容易であり、赤外線検知器の製造が効率化される。

一方、外部より配線基板１２の上面に入射した３μｌ１
１〜５μｍ帯の迷光はセラミックまたは石英ガラスで遮
断され、内部に埋設された配線パターン７からの反射が
なくなり、検知素子５への迷光による影響がなくなる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、赤外線検知器の検
知器基板および配線基板にセラミックまたは石英ガラス
を用い、また配線基板の内部に配線パターンを埋設して
形成することによって迷光による検知素子への影３をな
くしてＭＴＦをよくするとともに、製造の効率化を可能
とする。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の赤外線検知器の要部側断面
図、 第２図は従来の窒素冷却型赤外線検知器の側断面図、 第３図は従来の赤外線検知器の動作を説明するための図
である。 図において、１は外筒、２は内筒、３は透過窓、５は検
知素子、６はリード線、７は配線パターン、８は外部出
力端、９は検知器基板、１ｏは金属膜、１１は接着剤、
１２は配線基板、１３は端子を示してぃμ４９象禮に市
側跡向図 第２図 宅ゲｊＦ、−矛７１５乳４ｐ妃大スジ１欠イ下６ｊＬす
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Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）透過窓（３）に対向して設けられた検知器基板（
   ９）上に検知素子（５）を形成するとともに、前記検知
   器基板の両側面に配線パターン（７）が形成された配線
   基板（１２）を備え、かつ該配線基板（１２）端子（１
   ３）と前記検知素子（５）とをリード線（６）で接続し
   た３〜５μｍ帯に感度を有する赤外線検知器において、 前記検知器基板（９）および配線基板（１２）をセラミ
   ックまたは石英ガラスで形成するとともに、前記配線パ
   ターン（７）を前記配線基板に埋設して形成したことを
   特徴とする赤外線検知器。