WO2009119676A1 - ペースト塗布装置及びペースト塗布方法 - Google Patents

ペースト塗布装置及びペースト塗布方法 Download PDF

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WO2009119676A1
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paste
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法昭 下田
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芝浦メカトロニクス株式会社
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0208—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work for applying liquid or other fluent material to separate articles
    • B05C5/0212—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work for applying liquid or other fluent material to separate articles only at particular parts of the articles
    • B05C5/0216—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work for applying liquid or other fluent material to separate articles only at particular parts of the articles by relative movement of article and outlet according to a predetermined path
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Definitions

  • the present invention relates to a paste application apparatus and a paste application method for applying a paste to an object to be applied.
  • the paste application device is used for manufacturing various devices such as a liquid crystal display panel.
  • This paste coating apparatus includes a coating head that applies a paste to a coating object, and applies the paste to the coating object while moving the coating head to form a predetermined paste pattern on the coating object.
  • a coating head that applies a paste to a coating object, and applies the paste to the coating object while moving the coating head to form a predetermined paste pattern on the coating object.
  • the paste application device has a sealing property such as a sealing agent and the like so as to surround the display area of the liquid crystal display panel with respect to the substrate that is the application target. An adhesive paste is applied.
  • Such a paste coating apparatus is configured such that a column supporting a coating head and a coating head movable along the column are moved by a moving mechanism using a ball screw or a moving mechanism using a linear motor, respectively. Yes. At this time, the position control of the column and the coating head is performed using a linear scale.
  • a glass scale having a small thermal expansion coefficient can be used in order to avoid deformation due to heat.
  • the operation stroke movement range
  • the linear scale has become longer and the linear scale has become longer with the recent increase in size of the substrate, it is difficult to increase the size of the glass scale with high accuracy as the linear scale.
  • a metal linear scale such as stainless steel is used. JP 2002-346252 A
  • the metallic linear scale is deformed by expansion or contraction due to a change in the surrounding environment (such as temperature), the scale interval of the linear scale is changed, resulting in a position detection error and a decrease in coating accuracy.
  • the heat spreads to the surroundings and is transmitted to the linear scale, and the linear scale expands linearly. A position detection error occurs.
  • the operation stroke moves range
  • the linear scale becomes longer with the increase in the size of the substrate in recent years, the accumulated error due to the expansion of the scale interval due to the thermal expansion of the linear scale also becomes larger. .
  • the present invention has been made in view of the above, and an object thereof is to provide a paste coating apparatus and a paste coating method capable of suppressing a decrease in coating accuracy due to a change in the surrounding environment.
  • a first feature according to an embodiment of the present invention is that, in a paste application apparatus, an application head that applies paste to an application object, a support member that supports the application head, and the support member along the surface of the application object.
  • a moving mechanism that moves the reflecting member, a reflecting portion provided on the supporting member, a laser beam emitted in the moving direction of the supporting member toward the reflecting portion, and a reflected light that is a laser beam reflected by the reflecting portion is received.
  • a laser unit that measures a separation distance from the reflection unit, and a control unit that controls the coating head and the moving mechanism so as to draw a paste pattern on the coating object based on the separation distance measured by the laser unit. It is to prepare.
  • a second feature according to the embodiment of the present invention is that, in a paste application apparatus, an application head that applies paste to an application object, a support member that supports the application head, and a support member that follows the surface of the application object.
  • a moving mechanism for moving the support member, a reflecting portion having an inclined surface whose height gradually changes along the moving direction of the support member, and an inclined surface provided on the support member and emitting laser light toward the inclined surface The laser beam reflected by the laser beam is received, and the paste pattern is drawn on the coating object based on the laser unit that measures the separation distance from the reflection unit and the separation distance measured by the laser unit.
  • a controller for controlling the coating head and the moving mechanism.
  • a third feature according to the embodiment of the present invention is that, in the paste application apparatus, an application head that applies paste to an object to be applied, a support member that supports the application head, and the application head that moves along the support member A moving mechanism, a reflecting portion provided in the coating head, a laser beam emitted in the moving direction of the coating head toward the reflecting portion, and the reflected light that is the laser beam reflected by the reflecting portion is received, and the reflecting portion And a control unit that controls the coating head and the moving mechanism so as to draw a paste pattern on the coating object based on the separation distance measured by the laser unit. is there.
  • a fourth feature according to the embodiment of the present invention is that, in the paste application apparatus, an application head that applies paste to an object to be applied, a support member that supports the application head, and the application head that moves along the support member A moving mechanism that is provided on the support member, and a reflecting portion having an inclined surface whose height gradually changes along the moving direction of the coating head, and a laser beam emitted toward the inclined surface, coupled to the coating head. Receiving the reflected light, which is the laser light reflected by the inclined surface, and measuring the separation distance from the reflection portion, and the paste pattern on the coating object based on the separation distance measured by the laser portion. And a control unit that controls the coating head and the moving mechanism to perform drawing.
  • a fifth feature according to the embodiment of the present invention is that, in the paste application method, an application head for applying the paste to the application object, a support member for supporting the application head, and the support member along the surface of the application object.
  • a paste coating apparatus comprising a moving mechanism that moves the reflecting member, a reflecting part provided on the supporting member, and a laser part that emits laser light in the moving direction of the supporting member toward the reflecting part, by the laser part, The step of irradiating the reflection part with laser light and receiving the reflected light, which is the laser light reflected by the reflection part, measuring the separation distance from the reflection part, and the coating head and the moving mechanism based on the measured separation distance. And a step of drawing a paste pattern on the object to be coated.
  • a sixth feature according to the embodiment of the present invention is that, in the paste application method, an application head for applying the paste to the application object, a support member for supporting the application head, and the support member along the surface of the application object.
  • a paste application apparatus comprising: a laser unit to receive reflected light, which is laser light reflected on the inclined surface by irradiating the inclined surface with laser light, and measuring a separation distance from the reflecting unit; And a step of controlling the coating head and the moving mechanism based on the measured separation distance and drawing a paste pattern on the coating object.
  • a seventh feature of the embodiment of the present invention is that, in the paste application method, an application head for applying the paste to the application object, a support member for supporting the application head, and the application head moving along the support member Using a paste coating apparatus that includes a moving mechanism, a reflecting unit provided in the coating head, and a laser unit that emits laser light in the moving direction of the coating head toward the reflecting unit. Receiving the reflected light, which is the laser light reflected by the reflecting portion by irradiating the laser light, measuring the separation distance from the reflecting portion, and controlling the coating head and the moving mechanism based on the measured separation distance; And a step of drawing a paste pattern on the object to be coated.
  • An eighth feature according to the embodiment of the present invention is that, in the paste application method, an application head that applies paste to an object to be applied, a support member that supports the application head, and the application head that moves along the support member A moving mechanism, a reflecting member provided on the support member and having an inclined surface whose height gradually changes along the moving direction of the coating head, and connected to the coating head, and emits laser light toward the inclined surface.
  • the laser unit irradiates the inclined surface with laser light, receives reflected light that is reflected by the inclined surface, and measures the separation distance from the reflecting unit. And a step of controlling the coating head and the moving mechanism based on the measured separation distance to draw a paste pattern on the coating target.
  • FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of a paste coating apparatus according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an explanatory diagram for explaining the relationship between the environment (temperature, humidity, pressure) and the correction value.
  • FIG. 3 is a perspective view showing a schematic configuration of a part of the paste coating apparatus according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a perspective view showing a schematic configuration of a modification of a part of the paste applying apparatus shown in FIG.
  • FIG. 5 is a perspective view showing a schematic configuration of a part of a paste applying apparatus according to the third embodiment of the present invention.
  • FIG. 6 is a perspective view showing a schematic configuration of a part of a paste applying apparatus according to the fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of a paste coating apparatus according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an explanatory diagram for explaining the relationship between the environment (temperature, humidity, pressure
  • FIG. 7 is a perspective view showing a schematic configuration of a part of a paste applying apparatus according to the fifth embodiment of the present invention.
  • FIG. 8 is a perspective view showing a schematic configuration of a part of a paste applying apparatus according to the sixth embodiment of the present invention.
  • the substrate K as the coating target is in a horizontal state (in FIG. 1, in the X-axis direction and the Y-axis direction orthogonal thereto).
  • Axial moving mechanism 6A and Y-axis moving mechanism 6B Move along the Y-axis direction Axial moving mechanism 6A and Y-axis moving mechanism 6B, a laser distance measuring device 7A that measures the distance to the supporting member 5A in the Y-axis direction that is the moving direction of the supporting member 5A, and Y that is the moving direction of the supporting member 5B
  • a laser distance measuring device 7B measures the separation distance to the support member 5B in the axial direction
  • an environment detector 8 that detects air temperature, humidity, and atmospheric pressure, the substrate stage 2, the Y-axis moving mechanism 6A, the Y-axis moving mechanism 6B, and the like
  • a control unit 10 for controlling each unit.
  • the substrate stage 2 is a mounting table that is fixed to the upper surface of the gantry 9.
  • the substrate stage 2 includes an adsorption mechanism (not shown) that adsorbs the substrate K, and the substrate K is fixed and held on the upper mounting surface by the adsorption mechanism.
  • an air adsorption mechanism is used as the adsorption mechanism.
  • a substrate K such as a glass substrate is placed on the placement surface of the substrate stage 2.
  • Each of the coating heads 3A to 3D includes a storage cylinder 3a such as a syringe for storing the paste, and a nozzle 3b that communicates with the storage cylinder 3a and discharges the paste.
  • These coating heads 3A to 3D are connected to a gas supply unit (all not shown) via a gas supply tube or the like.
  • Each of the coating heads 3A to 3D discharges the paste inside thereof from the nozzle 3b by the gas supplied into the housing cylinder 3a.
  • Such coating heads 3A to 3D are provided on the X-axis moving mechanism 4A and the X-axis moving mechanism 4B via the YZ-axis moving mechanism 3c, respectively.
  • the YZ-axis moving mechanism 3c is a moving mechanism that supports one coating head 3A to 3D and moves it in the Y-axis direction, and further, in the Z-axis direction (in FIG. 1) perpendicular to the horizontal plane, that is, the substrate stage 2 Is a moving mechanism that moves the coating heads 3A to 3D in the contacting / separating direction.
  • a feed screw mechanism using a ball screw is used as the YZ axis moving mechanism 3c.
  • the X axis movement mechanism 4A is provided on the front surface of the support member 5A
  • the X axis movement mechanism 4B is provided on the front surface of the support member 5B.
  • the X-axis moving mechanism 4A supports the two coating heads 3A and 3B so as to be movable in the X-axis direction, and individually moves the coating heads 3A and 3B along the X-axis direction, that is, along the support member 5A. It is a moving mechanism.
  • the X-axis moving mechanism 4B also supports the two coating heads 3C and 3D so as to be movable in the X-axis direction.
  • the coating heads 3C and 3D are individually supported along the X-axis direction, that is, along the support member 5B.
  • a moving mechanism to move to For example, a linear motor mechanism using a linear motor or a feed screw mechanism using a ball screw is used as the X-axis moving mechanism 4A and the X-axis moving mechanism 4B.
  • Such an X-axis moving mechanism 4A and an X-axis moving mechanism 4B function as second moving mechanisms for moving the coating heads 3A to 3D, respectively.
  • support member 5A, 5B let the surface which mutually opposes be a front surface, and let the surface which leaves
  • the support member 5A is a column that supports the two coating heads 3A and 3B via the X-axis movement mechanism 4A. Similarly, the support member 5B also supports the two coating heads 3C and 3D via the X-axis movement mechanism 4B. It is a column to do.
  • the support member 5A and the support member 5B are formed by extending in a direction intersecting the moving direction (Y-axis direction), for example, a direction orthogonal to the direction (X-axis direction). Further, the support member 5 ⁇ / b> A and the support member 5 ⁇ / b> B are each formed in a rectangular parallelepiped shape, for example, and are provided in parallel to the mounting surface of the substrate stage 2.
  • the support member 5A and the support member 5B are moved in the Y-axis direction by the Y-axis moving mechanism 6A and the Y-axis moving mechanism 6B, and the coating heads 3A to 3D are placed at positions facing the mounting surface of the substrate stage 2. Position.
  • the Y-axis moving mechanism 6A and the Y-axis moving mechanism 6B are respectively provided on the upper surface of the gantry 9 so as to sandwich the substrate stage 2 from both sides.
  • the Y-axis moving mechanism 6A and the Y-axis moving mechanism 6B cooperate to support the support member 5A and the support member 5B so as to be movable in the Y-axis direction.
  • the support member 5A and the support member 5B are supported. It is a moving mechanism that moves individually along the Y-axis direction.
  • These Y-axis moving mechanism 6A and Y-axis moving mechanism 6B are provided with a support member 5A and a support member 5B spanned.
  • a linear motor mechanism using a linear motor or a feed screw mechanism using a ball screw is used as the Y-axis moving mechanism 6A and the Y-axis moving mechanism 6B.
  • a linear motor mechanism using a linear motor or a feed screw mechanism using a ball screw is used as the Y-axis moving mechanism 6A and the Y-axis moving mechanism 6B.
  • Such a Y-axis movement mechanism 6A and a Y-axis movement mechanism 6B function as a first movement mechanism that moves the support members 5A and 5B.
  • the laser distance measuring device 7A includes a laser unit 7a1 that emits laser light and receives reflected light, and a reflecting unit 7b1 that reflects the emitted laser light toward the laser unit 7a1.
  • the laser distance measuring device 7B also includes a laser unit 7a2 that emits laser light and receives reflected light, and a reflecting unit 7b2 that reflects the emitted laser light toward the laser unit 7a2.
  • the laser distance measuring device 7A and the laser distance measuring device 7B measure the first separation distance (the separation distance to the support members 5A and 5B in the movement direction of the support members 5A and 5B), respectively. It functions as a first laser distance measuring device.
  • the laser distance measuring devices 7A and 7B are specifically known laser interference length measuring devices.
  • the laser interference length measuring device uses a half mirror (built in the laser units 7a1 and 7a2) to detect a part of the emitted light and the reflected light reflected by the reflecting units 7b1 and 7b2. , And the displacement of the reflecting portions 7b1 and 7b2 is detected using interference fringes generated by the difference in the optical path length between the emitted light and the reflected light.
  • the movement of the reflecting portions 7b1 and 7b2 The periodic change of the interference fringes caused by the above is converted into a pulse, and the movement amount (movement distance) of the reflecting portions 7b1 and 7b2 is measured based on the count value of the pulse.
  • the origin position of the support members 5A and 5B on the Y-axis movement mechanism 6A (for example, the movement end on the side where the support member 5A is located in the Y-axis movement mechanism 6A is used as the origin position and support of the support member 5A by the limit sensor or the like.
  • the movement end on the side where the member 5B is located is set as the origin position of the support member 5B), and the amount of movement from each origin position is measured by the laser distance measuring devices 7A and 7B. It is possible to measure the first separation distance from the members 5A and 5B.
  • the laser unit 7a1 of the laser distance measuring device 7A is near the end of the support member 5A side in the Y-axis moving mechanism 6A, specifically, the laser of the laser unit 7a1 so that the optical path of the laser beam is parallel to the Y-axis direction.
  • the light projecting / receiving surface and the end on the support member 5A side of the Y-axis moving mechanism 6A are positioned side by side on the outer side of the Y-axis moving mechanism 6A so as to be substantially on the same plane, and are provided on the upper surface of the gantry 9. .
  • the reflection part 7b1 of the laser distance measuring instrument 7A is fixed to the support member 5A so that the laser beam emitted from the laser part 7a1 can be reflected toward the laser part 7a1, and is movable along with the support member 5A. It has been.
  • the laser unit 7a2 of the laser distance measuring device 7B is also near the end on the support member 5B side in the Y-axis moving mechanism 6A, specifically, the laser unit so that the optical path of the laser beam is parallel to the Y-axis direction.
  • the laser light projecting / receiving surface 7a2 and the end on the support member 5B side of the Y-axis moving mechanism 6A are positioned side by side on the outer side of the Y-axis moving mechanism 6A so as to be provided on the upper surface of the gantry 9 It has been.
  • the reflection part 7b2 of the laser distance measuring instrument 7B is also fixed to the support member 5B so that the laser beam emitted from the laser part 7a2 can be reflected toward the laser part 7a2, and is movable along with the support member 5B. It has been.
  • a prism etc. are used, for example.
  • the laser distance measuring device 7A and the laser distance measuring device 7B are electrically connected to the control unit 10, and the measured separation distance is input to the control unit 10 as a signal. That is, the separation distance between the laser unit 7a1 and the support member 5A and the separation distance between the laser unit 7a2 and the support member 5B are measured and input to the control unit 10. Thereby, the control part 10 becomes possible [grasping
  • the environment detector 8 is a sensor that detects the ambient temperature, humidity, and atmospheric pressure around the paste application device 1.
  • the environment detector 8 is provided, for example, in the vicinity of the optical path of the laser light of the laser distance measuring devices 7A and 7B on the gantry 9, for example, directly upwards below the optical path.
  • the environment detector 8 is electrically connected to the control unit 10 and inputs the detected air temperature, humidity, and atmospheric pressure as signals to the control unit 10. Thereby, the control part 10 becomes possible [grasping
  • the gantry 9 is a gantry that is installed on the floor and supports the substrate stage 2, the Y-axis moving mechanism 6A, the Y-axis moving mechanism 6B, and the like at a predetermined height position from the floor.
  • the upper surface of the gantry 9 is formed in a flat surface, and the substrate stage 2, the Y-axis moving mechanism 6A, the Y-axis moving mechanism 6B, and the like are placed on the upper surface of the gantry 9.
  • the control unit 10 includes a microcomputer that centrally controls each unit, and a storage unit that stores application information related to paste application, various programs, and the like (none of which are shown).
  • the application information includes information on a predetermined application pattern, a drawing speed (a relative movement speed between the substrate K and the nozzle 3b in the horizontal direction), a paste discharge amount, and the like.
  • the control unit 10 controls the X-axis movement mechanism 4A, the X-axis movement mechanism 4B, the Y-axis movement mechanism 6A, the Y-axis movement mechanism 6B, and the like based on the application information and various programs, so that each of the application heads 3A to 3D is controlled.
  • the nozzle 3b and the substrate K on the substrate stage 2 are relatively moved parallel to the surface direction of the substrate K, and a paste having a predetermined coating pattern is applied onto the substrate K.
  • the control unit 10 controls the position of the support member 5A by controlling the Y-axis moving mechanism 6A and the Y-axis moving mechanism 6B based on the separation distance measured by the laser distance measuring device 7A. Based on the separation distance measured by the laser distance measuring device 7B, the Y-axis moving mechanism 6A and the Y-axis moving mechanism 6B are controlled to control the position of the support member 5B.
  • correction information as shown in FIG. 2 is stored in the storage unit.
  • This correction information is information for correcting each separation distance measured by the laser distance measuring device 7A and the laser distance measuring device 7B based on the environmental information of the air temperature, humidity and atmospheric pressure detected by the environment detector 8. is there. Therefore, the control unit 10 obtains correction values corresponding to the detected air temperature, humidity, and atmospheric pressure from the correction information, and performs a correction operation for correcting the separation distance based on the correction values as needed. Specifically, the control unit 10 specifies a constant determined by the detected temperature, humidity, and atmospheric pressure, and obtains a correction value corresponding to the specified constant from the correction information. That is, in the correction information shown in FIG.
  • the vertical axis is a correction value
  • the horizontal axis is a constant determined by the temperature, humidity, and atmospheric pressure. For example, if the temperature is 20 ° C., the humidity is 30%, and the atmospheric pressure is 1000 hPa, the constant is the numerical value A, and if the temperature is 25 ° C., the humidity is 40%, and the atmospheric pressure is 1005 hPa, the constant is the numerical value B. A plurality of constants are set as described above, and correction values corresponding to these constants are set to generate the correction information shown in FIG.
  • the paste application apparatus 1 moves the support member 5A and the support member 5B in the Y-axis direction by the Y-axis movement mechanism 6A and the Y-axis movement mechanism 6B, and applies each application by the X-axis movement mechanism 4A and the X-axis movement mechanism 4B.
  • the heads 3A to 3D are moved in the X-axis direction, and the coating heads 3A to 3D are made to face the coating start positions of the substrate K on the substrate stage 2, respectively.
  • the paste coating apparatus 1 moves the coating heads 3A to 3D in the Z-axis direction by the YZ axis moving mechanisms 3c to position the coating heads 3A to 3D from the standby position to the coating position.
  • the standby position and the application position are height positions with a predetermined gap from the substrate K on the substrate stage 2.
  • the application position is a height position when the application heads 3A to 3D perform application.
  • the gap formed between the tip of the nozzle 3b of the coating heads 3A to 3D and the surface of the substrate K is set to a size necessary for coating the paste on the surface of the substrate K with a predetermined coating amount. Is done.
  • the standby position is a height position when the coating heads 3A to 3D do not perform coating, and the gap at this time is much larger than the gap at the coating position.
  • the paste applying apparatus 1 discharges the paste from each nozzle 3b of each of the application heads 3A to 3D based on the application conditions (e.g., discharge pressure and moving speed), and the Y-axis moving mechanism 6A and the Y-axis moving mechanism.
  • the support member 5A and the support member 5B are moved in the Y-axis direction by 6B, the coating heads 3A to 3D are moved in the X-axis direction by the X-axis moving mechanism 4A and the X-axis moving mechanism 4B, and the substrate K on the substrate stage 2 is moved.
  • a paste is applied to the surface of the film to form (draw) a predetermined paste pattern.
  • the paste patterns (application patterns) formed by the application heads 3A to 3D are the same, for example, a rectangular frame shape.
  • the paste coating apparatus 1 moves the respective coating heads 3A to 3D in the Z-axis direction by the respective YZ axis moving mechanisms 3c, so that each coating head 3A is moved from the coating position to the original standby position.
  • the discharge pressure is a gas pressure for discharging the paste in the accommodating cylinder 3a of each of the coating heads 3A to 3D from the corresponding nozzle 3b, and the moving speed is the nozzle 3b and the substrate K when the paste is applied. Relative movement speed.
  • the paste coating apparatus 1 uses the Y-axis moving mechanism 6A and the Y-axis moving mechanism 6B to move the support member 5A and the support member 5B to the retracted position in the Y-axis direction, that is, the coating heads 3A to 3D are mounted on the substrate stage 2.
  • the substrate is moved to a retreat position that does not face K, and waits for replacement of the substrate K on the substrate stage 2.
  • the above-described coating operation is repeated.
  • the laser distance measuring device 7A and the laser distance measuring device 7B each measure the separation distance at any time in this embodiment, and the control unit 10 measures with the laser distance measuring device 7A.
  • the Y-axis movement mechanism 6A and the Y-axis movement mechanism 6B are controlled based on the separated distance, the position of the support member 5A is controlled, and the Y-axis movement is performed based on the separation distance measured by the laser distance measuring device 7B.
  • the mechanism 6A and the Y-axis moving mechanism 6B are controlled to control the position of the support member 5B.
  • the laser distance measuring devices 7A and 7B have a measurement accuracy that is less affected by changes in the surrounding environment. Since it is difficult to be affected, it is possible to control the position of each of the support members 5A and 5B without being affected by changes in the surrounding environment. Therefore, even if the surrounding environment changes, position control can be performed with high accuracy. As a result, a decrease in coating accuracy can be suppressed. Further, the control unit 10 obtains correction values corresponding to the detected air temperature, humidity, and atmospheric pressure from the correction information, and performs a correction operation as needed to correct the measured value of the separation distance based on the correction values.
  • each support member 5A, 5B since it becomes possible to control the position of each support member 5A, 5B according to the change of the surrounding environment, even if the surrounding environment changes, the position control can be performed with higher accuracy. Not only can the decrease in coating accuracy be suppressed, but also the coating accuracy can be improved.
  • the laser distance measuring devices 7A and 7B are provided, and the Y-axis is based on the separation distances measured by the laser distance measuring devices 7A and 7B.
  • the moving mechanism 6A and the Y-axis moving mechanism 6B By controlling the moving mechanism 6A and the Y-axis moving mechanism 6B and controlling the positions of the support members 5A and 5B, it is possible to perform position control using a linear scale that expands or contracts according to changes in the surrounding environment. Since the position control of each of the support members 5A and 5B can be performed without being affected by the change in the surrounding environment, the position control can be performed with high accuracy even if the surrounding environment changes.
  • an environment detector 8 is provided, and the separation distances measured by the laser distance measuring devices 7A and 7B are corrected based on the temperature, humidity, and pressure detected by the environment detector 8, and based on the corrected separation distances.
  • the positions of the support members 5A and 5B can be controlled in accordance with changes in the surrounding environment. Position control can be performed, and as a result, not only a decrease in coating accuracy can be suppressed, but also coating accuracy can be improved.
  • the size of the substrate K increases, and the paste coating apparatus 1 tends to increase in size.
  • the supporting member 5A and the supporting member 5B increase in size and increase in weight, when a linear motor mechanism is used, a large linear motor that moves them is used to obtain a larger driving force.
  • the feed screw mechanism when the feed screw mechanism is used, the load on the ball screw increases. Therefore, large-scale linear motors generate a large amount of heat during operation, and even ball screws generate large amounts of heat during operation.
  • the number of coating heads 3A to 3D tends to increase for the purpose of forming a large number of paste patterns at once on a large-sized substrate K to improve productivity.
  • a paste pattern can be formed.
  • the environment detector 8 is provided in the vicinity of the optical path of the laser light of the laser distance measuring devices 7A and 7B, a change in the surrounding environment of the optical path of the laser light can be detected in the vicinity thereof.
  • the measurement values of the measuring devices 7A and 7B can be accurately corrected according to the change in the surrounding environment of the optical path, and the measurement accuracy of the separation distance by the laser distance measuring devices 7A and 7B can be further improved.
  • the laser portion 7a1 of the laser distance measuring device 7A that measures the separation distance from the support member 5A is disposed in the vicinity of the end on the support member 5A side in the Y-axis moving mechanism 6A, and the separation distance from the support member 5B is measured. Since the laser portion 7a2 of the laser distance measuring device 7B is disposed in the vicinity of the end portion on the support member 5B side in the Y-axis moving mechanism 6A, the measurement distances by the respective laser distance measuring devices 7A and 7B can be shortened as much as possible.
  • the distance measured by the laser distance measuring devices 7A and 7B is set. It becomes possible to suppress the size to about half of the dimension of the substrate K in the Y-axis direction. As a result, the measurement values of the laser distance measuring devices 7A and 7B are not easily affected by changes in the surrounding environment, and accordingly, the accuracy of the distance measurement values by the laser distance measuring devices 7A and 7B is improved. It becomes possible to improve the application
  • the distance between the supporting members 5A and 5B is directly detected by using the laser distance measuring devices 7A and 7B, mechanical error intervenes in the measured value as compared with the position detecting device using a linear scale or the like. Therefore, the reliability of the measurement accuracy is improved, and it is possible to improve the paste application accuracy.
  • each laser unit 7a1 Since 7a2 is arranged on the operation side by the operator, the laser distance measuring devices 7A and 7B can be easily maintained. For this reason, it becomes possible to stably maintain the distance measurement accuracy by the laser distance measuring devices 7A and 7B.
  • the paste coating apparatus 1 has a separation distance to the coating head 3A in the X-axis direction that is the moving direction of the coating head 3A, as shown in FIG.
  • a laser distance measuring device 7E for measuring the separation distance to the coating head 3C and a laser distance measuring device 7F for measuring the separation distance to the coating head 3D in the X-axis direction that is the moving direction of the coating head 3D are provided.
  • laser distance measuring devices 7C to 7F are provided on the support member 5A and the support member 5B, respectively. Therefore, in the embodiment of the present invention, since four coating heads 3A to 3D are provided, four laser distance measuring devices 7C to 7F are provided corresponding to them. Each of such laser distance measuring devices 7C to 7F measures the second separation distance from the coating heads 3A to 3D (the separation distance to the coating heads 3A to 3D in the moving direction of the coating heads 3A to 3D). Functions as a laser distance measuring device.
  • the laser distance measuring device 7C includes a laser unit 7a3 that emits laser light and receives reflected light, and a reflecting unit 7b3 that reflects the emitted laser light toward the laser unit 7a3.
  • the laser distance measuring device 7D also includes a laser unit 7a4 that emits laser light and receives reflected light, and a reflecting unit 7b4 that reflects the emitted laser light toward the laser unit 7a4.
  • the laser distance measuring device 7E also includes a laser part 7a5 that emits laser light and receives reflected light, and a reflecting part 7b5 that reflects the emitted laser light toward the laser part 7a5.
  • the laser distance measuring device 7F also includes a laser unit 7a6 that emits laser light and receives reflected light, and a reflecting unit 7b6 that reflects the emitted laser light toward the laser unit 7a6.
  • the laser unit 7a3 of the laser distance measuring device 7C has a support member 5A on the near side (Y-axis moving mechanism 6A side) in FIG. 3 so that the optical path of the laser beam is parallel to the X-axis direction (the extending direction of the support member 5A). ) And is provided on the upper surface of the support member 5A.
  • the reflecting portion 7b3 of the laser distance measuring device 7C is fixed to the YZ axis moving mechanism 3c for the coating head 3A so as to reflect the laser light emitted from the laser portion 7a3 toward the laser portion 7a3, and in the X-axis direction. It is provided so as to be movable together with the moving coating head 3A.
  • the laser unit 7a4 of the laser distance measuring device 7D also has a back side (Y-axis movement in FIG. 3) in the support member 5A so that the optical path of the laser light is parallel to the X-axis direction (the extending direction of the support member 5A). It is positioned at the end of the mechanism 6B side, and is provided on the upper surface of the support member 5A.
  • the reflection part 7b4 of the laser distance measuring device 7D is also fixed to the YZ axis moving mechanism 3c for the coating head 3B so as to reflect the laser light emitted from the laser part 7a4 toward the laser part 7a4, and in the X-axis direction. It is provided so as to be movable together with the moving coating head 3B.
  • a prism etc. are used, for example.
  • the laser unit 7a5 of the laser distance measuring device 7E has a support member 5B on the near side (Y-axis moving mechanism 6A side) in FIG. 3 so that the optical path of the laser beam is parallel to the X-axis direction (the extending direction of the support member 5B). ) And is provided on the upper surface of the support member 5B.
  • the reflection unit 7b5 of the laser distance measuring device 7E is fixed to the YZ axis moving mechanism 3c for the coating head 3C so that the laser beam emitted from the laser unit 7a5 can be reflected toward the laser unit 7a5, and in the X-axis direction. It is provided so as to be movable together with the moving coating head 3C.
  • the laser portion 7a6 of the laser distance measuring device 7F also has a back side (Y-axis movement in FIG. 3) in the support member 5B so that the optical path of the laser beam is parallel to the X-axis direction (extension direction of the support member 5B). It is positioned at the end of the mechanism 6B side and is provided on the upper surface of the support member 5B.
  • the reflection part 7b6 of the laser distance measuring device 7F is also fixed to the YZ axis moving mechanism 3c for the coating head 3D so that the laser beam emitted from the laser part 7a6 can be reflected toward the laser part 7a6, and in the X-axis direction. It is provided so as to be movable together with the moving coating head 3D.
  • a prism etc. are used, for example.
  • These laser distance measuring devices 7C to 7F are electrically connected to the control unit 10 and input the measured separation distance to the control unit 10 as a signal. That is, the separation distance between the laser unit 7a3 and the coating head 3A, the separation distance between the laser unit 7a4 and the coating head 3B, the separation distance between the laser unit 7a5 and the coating head 3C, and the separation between the laser unit 7a6 and the coating head 3D. The distance is measured and input to the control unit 10. As a result, the control unit 10 can grasp the positions of the coating heads 3A to 3D based on the separation distance (position information).
  • these laser distance measuring devices 7C to 7F are also located in the vicinity of the optical path of the laser beam, for example, on the side of the optical path, in the same manner as the laser distance measuring devices 7A and 7B.
  • the environmental detectors are arranged in the horizontal direction.
  • the control unit 10 controls the X-axis moving mechanism 4A and the X-axis moving mechanism 4B based on the separation distances measured by the laser distance measuring devices 7C to 7F, and controls the positions of the coating heads 3A to 3D. This makes it possible to control the position of each of the coating heads 3A to 3D without being affected by changes in the surrounding environment (temperature, etc.), so that the position control can be performed with high accuracy. Can be suppressed. Further, the control unit 10 obtains correction values corresponding to the temperature, humidity, and pressure detected by the environment detector from the correction information, and corrects the separation distances from the coating heads 3A to 3D based on the correction values. The correction operation is performed as needed.
  • the position of each of the coating heads 3A to 3D can be controlled in accordance with changes in the surrounding environment, so that position control can be performed with high accuracy even when the surrounding environment changes. Not only can the decrease in accuracy be suppressed, but also the coating accuracy can be improved.
  • laser distance measuring devices 7C to 7F are provided for the coating heads 3A to 3D, respectively, and the X-axis moving mechanism 4A and the X-axis moving mechanism 4B are based on the separation distances measured by the laser distance measuring devices 7C to 7F.
  • the position control of each of the coating heads 3A to 3D can be performed, the position control can be performed with high accuracy. As a result, it is possible to suppress a decrease in coating accuracy due to a change in the surrounding environment.
  • each separation distance is corrected based on the temperature, humidity, and atmospheric pressure detected by the environment detector 8, and the position of each coating head 3A to 3D is controlled based on each corrected separation distance.
  • a laser distance measuring device 7G for measuring the separation distance to the coating head 3E is provided.
  • the laser distance measuring device 7G includes a laser unit 7a7 and a reflecting unit 7b7, and has the same structure as the other laser distance measuring devices 7C to 7F.
  • the laser distance measuring device 7G is positioned on the same side as the laser distance measuring device 7D, and is provided so that the position of the coating head 3E can be detected.
  • the support member 5B is a gate-shaped (gate-shaped) column that supports the coating heads 3C and 3D.
  • the support member 5B is positioned such that its extending portion extends along the X-axis direction, and its leg portions are provided on the Y-axis moving mechanism 6A and the Y-axis moving mechanism 6B.
  • the support member 5A is also formed in a similar structure.
  • the reflection portion 7b2 of the laser distance measuring device 7B is provided inside the Y-axis moving mechanism 6A, that is, inside the leg portion of the support member 5B.
  • the laser unit 7a2 is provided on the support base 11 in accordance with the position of the reflection unit 7b2.
  • the support 11 is placed on the gantry 9. Note that the reflection portion 7b1 and the laser portion 7a1 of the laser distance measuring device 7A for the support member 5A are also formed in the same structure.
  • the covering member 12 partitions the substrate stage 2 side on which the substrate K is placed and the laser distance measuring devices 7A and 7B side, that is, the optical path side of the laser light emitted from the laser units 7a1 and 7a2.
  • the cover member 12 is formed so as not to prevent the measurement of the separation distance by the laser part 7a2 and the reflection part 7b2, the measurement of the separation distance by the laser part 7a1 and the reflection part 7b1, and the movement of the support member 5A and the support member 5B. Has been.
  • the covering member 12 allows the downflow wind (air) blown down onto the substrate stage 2 to pass between the laser unit 7a2 and the reflecting unit 7b2 and between the laser unit 7a1 and the reflecting unit 7b1. It is preventing. As a result, it is possible to prevent the downflow wind from adversely affecting the surrounding environment of the optical path of the laser beam, so that the measurement accuracy of the separation distance due to the laser beam is prevented from deteriorating. As a result, the coating accuracy can be improved.
  • the downflow flows from the upper surface of the box covering the entire part on the gantry 9 toward the substrate stage 2 and flows outward along the surface of the substrate stage 2 toward the side surface of the box.
  • the air flows out of the box through a plurality of outlets formed in the box.
  • the downflow wind flowing from the substrate stage 2 side causes the laser portion 7a2 and the reflecting portion 7b2. And between the laser unit 7a1 and the reflection unit 7b1 are prevented from passing directly, so that the environment around the optical path of the laser light of the laser distance measuring devices 7A and 7B varies due to the passage of the downflow. It is possible to prevent this. Therefore, the measurement accuracy of the laser distance measuring devices 7A and 7B can be maintained with high accuracy.
  • a cable bear (registered trademark) for wiring may be provided outside the Y-axis moving mechanism 6A.
  • the laser distance measuring devices 7A and 7B are provided inside the Y-axis moving mechanism 6A.
  • the laser distance measuring devices 7A and 7B do not hinder the installation of the cable bearer, and are less susceptible to changes in the surrounding environment due to the movement of the cable bearer by the amount provided inside. Therefore, the measurement accuracy of the laser distance measuring devices 7A and 7B can be maintained with high accuracy.
  • the same effect as that of the first embodiment can be obtained. Furthermore, when the laser distance measuring device 7B and the laser distance measuring device 7A are provided inside the Y-axis moving mechanism 6A, by providing the covering member 12, it is possible to suppress the downflow wind from adversely affecting the laser light, It is possible to suppress a decrease in measurement accuracy of the separation distance by the laser light. Thereby, position control can be performed with high accuracy, and as a result, coating accuracy can be improved.
  • the laser distance measuring instrument 7H emits laser light and receives reflected light, and the emitted laser light is directed toward the laser parts 7a8 and 7a9. And a reflecting portion 7b8 having an inclined surface M to be reflected.
  • the laser unit 7a8 is provided at the end of the support member 5A, that is, the end surface.
  • the laser unit 7a8 emits laser light toward the inclined surface M of the reflecting unit 7b8 and reflects reflected light that is reflected by the inclined surface M. The light is received, and the distance from the reflecting portion 7b8 is measured.
  • the laser unit 7a9 is provided at the end of the support member 5B, that is, the end surface. Like the laser unit 7a8, the laser unit 7a9 emits laser light toward the inclined surface M of the reflecting unit 7b8 and is reflected by the inclined surface M. The reflected light, which is a laser beam, is received, and the distance from the reflecting portion 7b8 is measured.
  • the reflection portion 7b8 is provided on the mount 9 so as to be outside the Y-axis moving mechanism 6A and along the Y-axis moving mechanism 6A.
  • the reflection portion 7b8 is inclined so that its height gradually decreases from one end portion to the other end portion in the moving direction of the support member 5A and the support member 5B, that is, the Y-axis direction. It has a surface M.
  • a mirror or the like is used as the reflecting portion 7b8. That is, the reflecting portion 7b8 can have a structure in which a glass mirror having the same size, the same shape (rectangular shape) and a uniform thickness as the inclined surface M is provided on the inclined surface M.
  • the reflecting portion 7b8 may be formed by forming the above-described flat inclined surface M with a metal such as stainless steel and mirroring the inclined surface M.
  • the control unit 10 grasps the position of the support member 5A in the Y-axis direction from the separation distance measured by the laser unit 7a8, and further determines the position of the support member 5B in the Y-axis direction from the separation distance measured by the laser unit 7a9. To grasp. At this time, the control unit 10 uses the distance information indicating the relative relationship between the positions of the support members 5A and 5B in the Y-axis direction and the separation distance, and determines the support members 5A and 5B in the Y-axis direction from the measured separation distance. Know the location. The distance information is stored in advance in the storage unit.
  • the maximum value of the separation distance between the laser unit 7a8 and the reflection unit 7b8, and the maximum value of the separation distance between the laser unit 7a9 and the reflection unit 7b8 are the laser units in the first embodiment (see FIG. 1). It is much smaller than the maximum value of the separation distance between 7a1 and the reflection part 7b1 and the maximum value of the separation distance between the laser part 7a2 and the reflection part 7b2.
  • the same effect as that of the first embodiment can be obtained. Furthermore, the laser part 7a8 is provided at the end of the support member 5A, the laser part 7a9 is provided at the end of the support member 5B, and the reflection part 7b8 is provided along the Y-axis moving mechanism 6A, thereby providing the laser part 7a8.
  • the maximum value of the separation distance between the laser part 7a9 and the reflection part 7b8 are the maximum value of the separation distance between the laser part 7a1 and the reflection part 7b1 in the first embodiment, and Since the distance between the laser unit 7a2 and the reflection unit 7b2 is smaller than the maximum value of the separation distance, it is possible to suppress the downflow wind from adversely affecting the laser beam and to prevent the measurement accuracy of the separation distance from deteriorating. It becomes possible to do. Thereby, position control can be performed with high accuracy, and as a result, coating accuracy can be improved.
  • the support member 5B is a gate-shaped (gate-shaped) column that supports the coating heads 3C and 3D.
  • the support member 5B is positioned such that its extending portion extends along the X-axis direction, and its leg portions are provided on the Y-axis moving mechanism 6A and the Y-axis moving mechanism 6B.
  • the support member 5A is also formed in a similar structure.
  • the laser portion 7a9 is provided inside the Y-axis moving mechanism 6A, that is, inside the leg portion of the support member 5B. Similarly, the laser portion 7a8 is also provided inside the leg portion of the support member 5A.
  • the reflecting portion 7b8 is provided on the gantry 9 inside the Y-axis moving mechanism 6A and along the Y-axis moving mechanism 6A.
  • the covering member 13 is provided on the supporting member 5B so as to be movable together with the supporting member 5B so as to cover the optical path of the laser light including the laser portion 7a9 and the laser portion 7a9 to the reflecting portion 7b8.
  • the cover member 13 is formed so as not to interfere with the measurement of the separation distance by the laser portion 7a9 and the reflection portion 7b8 and the movement of the support member 5B.
  • a covering member 13 for the laser portion 7a8 is also provided on the support member 5A.
  • the covering member 13 for the laser unit 7a9 prevents a downflow of air (air) from passing between the laser unit 7a9 and the reflecting unit 7b8.
  • the covering member 13 for the laser unit 7a8 also prevents the downflow wind (air) from passing between the laser unit 7a8 and the reflecting unit 7b8.
  • the same effect as that of the fourth embodiment can be obtained. Furthermore, when the reflecting portion 7b8 is provided inside the Y-axis moving mechanism 6A, the cover member 13 is provided, so that the downflow wind can be prevented from adversely affecting the laser beam, and the measurement accuracy of the separation distance is reduced. It is possible to suppress this. Thereby, position control can be performed with high accuracy, and as a result, coating accuracy can be improved.
  • the laser distance measuring device 7I emits laser light and receives reflected light, and the emitted laser light is directed toward the laser parts 7a10 and 7a11. And a reflecting portion 7b9 having an inclined surface M to be reflected.
  • the laser unit 7a10 is connected to the coating head 3C by a connecting member 14a, and moves in the X-axis direction together with the coating head 3c.
  • the laser unit 7a10 emits a laser beam toward the inclined surface M of the reflecting unit 7b9, receives the reflected light that is the laser beam reflected by the inclined surface M, and measures the separation distance from the reflecting unit 7b9. .
  • the laser unit 7a11 is connected to the coating head 3D by a connecting member 14b, and moves together with the coating head 3D in the X-axis direction. Like the laser unit 7a10, the laser unit 7a11 emits laser light toward the inclined surface M of the reflecting unit 7b9 and receives reflected light that is reflected by the inclined surface M. The reflecting unit 7a11 receives the reflected light. The separation distance from 7b9 is measured.
  • the reflection portion 7b9 is provided on the outer surface of the support member 5B so as to follow the extending direction of the support member 5B.
  • the reflecting portion 7b9 has an inclined surface M that changes so that its height gradually decreases from one end to the other end in the extending direction of the support member 5B, that is, the X-axis direction. is doing.
  • a mirror etc. are used, for example. That is, the reflecting portion 7b8 can have a structure in which a glass mirror having the same size, the same shape (rectangular shape) and a uniform thickness as the inclined surface M is provided on the inclined surface M.
  • the reflecting portion 7b8 may be formed by forming the above-described flat inclined surface M with a metal such as stainless steel and mirroring the inclined surface M.
  • the control unit 10 grasps the position of the coating head 3C in the X-axis direction from the separation distance measured by the laser unit 7a10, and further determines the position of the coating head 3D in the X-axis direction from the separation distance measured by the laser unit 7a11. To grasp. At this time, the control unit 10 uses the distance information indicating the relative relationship between the position of the coating heads 3C and 3D in the X-axis direction and the separation distance, from the measured separation distance in the X-axis direction of the coating heads 3C and 3D. Know the location. The distance information is stored in advance in the storage unit.
  • the maximum value of the separation distance between the laser unit 7a10 and the reflection unit 7b9, and the maximum value of the separation distance between the laser unit 7a11 and the reflection unit 7b9 are the laser units in the second embodiment (see FIG. 3). It is much smaller than the maximum value of the separation distance between 7a5 and the reflection portion 7b5 and the maximum value of the separation distance between the laser portion 7a6 and the reflection portion 7b6.
  • the laser unit 7a10 is coupled to the coating head 3C
  • the laser unit 7a11 is coupled to the coating head 3D
  • the reflection unit 7b9 is provided along the support member 5B, whereby the laser unit 7a10 and the reflection unit 7b9.
  • the maximum value of the separation distance and the maximum value of the separation distance between the laser part 7a11 and the reflection part 7b9 are the maximum value of the separation distance between the laser part 7a5 and the reflection part 7b5 and the laser part 7a6 and the reflection part in the second embodiment.
  • two coating heads 3A to 3D are provided on each of the supporting member 5A and the supporting member 5B.
  • the present invention is not limited to this, and six coating heads are provided on the supporting member 5A. And three each may be provided in the supporting member 5B, and the number is not limited.
  • the two support members 5A and the support members 5B are provided.
  • the present invention is not limited to this, and the number thereof is not limited.
  • a sealing agent having sealing properties and adhesiveness is used as the paste.
  • the laser distance measuring devices 7A and 7B are arranged on one end side of the support members 5A and 5B.
  • the present invention is not limited to this, and the other ends of the support members 5A and 5B are arranged. You may make it arrange
  • each support member 5A is obtained by comparing the separation distances at both ends for each of the support members 5A and 5B. The presence or absence of rotational deviation in the horizontal plane of 5B can be detected.
  • the support members 5A and 5B remain rotated. In this state, the support members 5A and 5B are prevented from moving in the Y-axis direction and the coating heads 3A to 3D are prevented from moving on the support members 5A and 5B. It becomes possible to apply more accurately with a pattern.
  • the substrate stage 2 is fixed on the gantry 9 and the coating heads 3A to 3D, the supporting member 5A, and the supporting member 5B are moved to apply the paste to the surface of the substrate K.
  • the substrate stage 2 is configured to be movable in the Y-axis direction, the X-axis direction, the ⁇ direction (rotation direction on a plane including the X-axis and the Y-axis), and the like.
  • the substrate stage 2 may be configured to be movable in the same direction as the movement direction (Y-axis direction) of the support member 5A and the support member 5B.
  • the substrate stage 2 and the supporting members 5A and 5B are moved in directions opposite to each other, the supporting member 5A is used.
  • the moving speed of the substrate stage 2 and the supporting members 5A and 5B can be halved as compared with the case of moving only 5B.
  • vibrations caused by acceleration or deceleration of the substrate stage 2 and the support members 5A and 5B can be reduced.
  • the laser interference length measuring device is used as the laser distance measuring device for measuring the distance to the support members 5A and 5B and the distance to the coating heads 3A to 3E.
  • Other laser distance measuring devices such as a laser distance measuring device that measures the distance to the reflecting portion by irradiating the laser beam toward the reflecting portion and reflecting and returning the laser beam may be used.
  • the laser unit 7a1 of the laser distance measuring device 7A is arranged near the end on the support member 5A side in the Y-axis moving mechanism 6A, and the laser unit 7a2 of the laser distance measuring device 7B. Is arranged in the vicinity of the end on the support member 5B side in the Y-axis moving mechanism 6A, but the respective laser parts 7a1 and 7a2 are concentratedly arranged on one end side of the Y-axis moving mechanism 6A. good.
  • the laser unit 7a1 is arranged on the upper surface of the mount 9, and the laser unit 7a2 is arranged thereon.
  • the two laser portions 7a1 and 7a2 are arranged at different heights, and the reflecting members 7b1 and 7b2 are also supported at different heights in accordance with the optical paths irradiated from the laser portions 7a1 and 7a2. Fixed to the bottom of 5B.
  • the laser units 7a1 and 7a2 are concentratedly arranged on one end side of the Y-axis moving mechanism 6A, when the end side is used as the operation side of the seal coating apparatus by the operator, Since the laser units 7a1 and 7a2 are arranged on the operation side by the operator, the laser distance measuring devices 7A and 7B can be easily maintained. For this reason, it becomes possible to stably maintain the distance measurement accuracy by the laser distance measuring devices 7A and 7B.
  • the embodiments of the present invention have been described above, but only specific examples have been illustrated, and the present invention is not particularly limited. Specific configurations and the like of each part can be appropriately changed. Further, the actions and effects described in the embodiments only list the most preferable actions and effects resulting from the present invention, and the actions and effects according to the present invention are limited to those described in the embodiments of the present invention. Is not to be done.
  • the present invention is used in, for example, a coating apparatus and a coating method for applying a paste to a coating target, a manufacturing apparatus and a manufacturing method for manufacturing a display panel, and the like.

Landscapes

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Abstract

　ペースト塗布装置（１）において、塗布対象物（Ｋ）にペーストを塗布する塗布ヘッド（３Ａ）と、塗布ヘッド（３Ａ）を支持する支持部材（５Ａ）と、支持部材（５Ａ）を塗布対象物（Ｋ）の表面に沿うように移動させる移動機構（６Ａ、６Ｂ）と、支持部材（５Ａ）の移動方向における支持部材（５Ａ）までの離間距離をレーザ光により測定するレーザ距離測定器（７Ａ）と、測定された離間距離に基づいて塗布対象物（Ｋ）上にペーストパターンを描画するように塗布ヘッド（３Ａ）及び移動機構（６Ａ、６Ｂ）を制御する制御部（１０）とを備える。

Description

ペースト塗布装置及びペースト塗布方法
　本発明は、塗布対象物にペーストを塗布するペースト塗布装置及びペースト塗布方法に関する。
　ペースト塗布装置は、液晶表示パネル等の様々な装置を製造するために用いられている。このペースト塗布装置は、塗布対象物に対してペーストを塗布する塗布ヘッドを備えており、その塗布ヘッドを移動させながら塗布対象物にペーストを塗布し、塗布対象物上に所定のペーストパターンを形成する（例えば、特許文献１参照）。特に、液晶表示パネルの製造では、２枚の基板を貼り合わせるため、ペースト塗布装置は、塗布対象物である基板に対して液晶表示パネルの表示領域を囲むように、シール剤等のシール性及び接着性を有するペーストを塗布する。
　このようなペースト塗布装置は、塗布ヘッドを支持するコラムやそのコラムに沿って移動可能な塗布ヘッドが、ボールネジを用いた移動機構やリニアモータを用いた移動機構によりそれぞれ移動するように構成されている。このとき、コラムや塗布ヘッドの位置制御はリニアスケールを用いて行われている。このリニアスケールとしては、熱による変形を避けるため、熱膨張係数が小さいガラススケールを用いることが可能である。ところが、近年の基板の大型化に伴って動作ストローク（移動範囲）が長くなり、リニアスケールも長大になっていることから、そのリニアスケールとして精度高くガラススケールを大型化することは難しいため、リニアスケールとしては、ステンレス等の金属製のリニアスケールが用いられている。
特開２００２－３４６４５２号公報
　しかしながら、金属製のリニアスケールは周囲環境（気温等）の変化により膨張あるいは収縮して変形するため、リニアスケールの目盛り間隔が変化し、位置検出誤差が生じて塗布精度が低下してしまう。特に、ボールネジやリニアモータがペースト塗布装置の運転に応じて徐々に発熱することから、その熱が周囲に広がってリニアスケールに伝わり、リニアスケールは線膨張するため、リニアスケールの目盛り間隔が広がって位置検出誤差が生じてしまう。また、近年の基板の大型化に伴って動作ストローク（移動範囲）が長くなり、リニアスケールも長大になっているため、リニアスケールの熱膨張によって目盛り間隔が広がることによる累積誤差も大きくなってしまう。
　本発明は上記に鑑みてなされたものであり、その目的は、周囲環境の変化による塗布精度の低下を抑えることができるペースト塗布装置及びペースト塗布方法を提供することである。
　本発明の実施の形態に係る第１の特徴は、ペースト塗布装置において、塗布対象物にペーストを塗布する塗布ヘッドと、塗布ヘッドを支持する支持部材と、支持部材を塗布対象物の表面に沿うように移動させる移動機構と、支持部材に設けられた反射部と、反射部に向けて支持部材の移動方向にレーザ光を出射し、反射部により反射されたレーザ光である反射光を受光し、反射部との離間距離を測定するレーザ部と、レーザ部により測定された離間距離に基づいて、塗布対象物上にペーストパターンを描画するように塗布ヘッド及び移動機構を制御する制御部とを備えることである。
　本発明の実施の形態に係る第２の特徴は、ペースト塗布装置において、塗布対象物にペーストを塗布する塗布ヘッドと、塗布ヘッドを支持する支持部材と、支持部材を塗布対象物の表面に沿うように移動させる移動機構と、支持部材の移動方向に沿って徐々に高さが変化する傾斜面を有する反射部と、支持部材に設けられ、傾斜面に向けてレーザ光を出射して傾斜面により反射されたレーザ光である反射光を受光し、反射部との離間距離を測定するレーザ部と、レーザ部により測定された離間距離に基づいて、塗布対象物上にペーストパターンを描画するように塗布ヘッド及び移動機構を制御する制御部とを備えることである。
　本発明の実施の形態に係る第３の特徴は、ペースト塗布装置において、塗布対象物にペーストを塗布する塗布ヘッドと、塗布ヘッドを支持する支持部材と、塗布ヘッドを支持部材に沿うように移動させる移動機構と、塗布ヘッドに設けられた反射部と、反射部に向けて塗布ヘッドの移動方向にレーザ光を出射し、反射部により反射されたレーザ光である反射光を受光し、反射部との離間距離を測定するレーザ部と、レーザ部により測定された離間距離に基づいて、塗布対象物上にペーストパターンを描画するように塗布ヘッド及び移動機構を制御する制御部とを備えることである。
　本発明の実施の形態に係る第４の特徴は、ペースト塗布装置において、塗布対象物にペーストを塗布する塗布ヘッドと、塗布ヘッドを支持する支持部材と、塗布ヘッドを支持部材に沿うように移動させる移動機構と、支持部材に設けられ、塗布ヘッドの移動方向に沿って徐々に高さが変化する傾斜面を有する反射部と、塗布ヘッドに連結され、傾斜面に向けてレーザ光を出射して傾斜面により反射されたレーザ光である反射光を受光し、反射部との離間距離を測定するレーザ部と、レーザ部により測定された離間距離に基づいて、塗布対象物上にペーストパターンを描画するように塗布ヘッド及び移動機構を制御する制御部とを備えることである。
　本発明の実施の形態に係る第５の特徴は、ペースト塗布方法において、塗布対象物にペーストを塗布する塗布ヘッドと、塗布ヘッドを支持する支持部材と、支持部材を塗布対象物の表面に沿うように移動させる移動機構と、支持部材に設けられた反射部と、反射部に向けて支持部材の移動方向にレーザ光を出射するレーザ部とを備えるペースト塗布装置を用いて、レーザ部により、反射部にレーザ光を照射して反射部により反射されたレーザ光である反射光を受光し、反射部との離間距離を測定する工程と、測定した離間距離に基づいて塗布ヘッド及び移動機構を制御し、塗布対象物上にペーストパターンを描画する工程とを有することである。
　本発明の実施の形態に係る第６の特徴は、ペースト塗布方法において、塗布対象物にペーストを塗布する塗布ヘッドと、塗布ヘッドを支持する支持部材と、支持部材を塗布対象物の表面に沿うように移動させる移動機構と、支持部材の移動方向に沿って徐々に高さが変化する傾斜面を有する反射部と、支持部材に設けられ、傾斜面に向けてレーザ光を出射するレーザ部とを備えるペースト塗布装置を用いて、レーザ部により、傾斜面にレーザ光を照射して傾斜面により反射されたレーザ光である反射光を受光し、反射部との離間距離を測定する工程と、測定した離間距離に基づいて塗布ヘッド及び移動機構を制御し、塗布対象物上にペーストパターンを描画する工程とを有することである。
　本発明の実施の形態に係る第７の特徴は、ペースト塗布方法において、塗布対象物にペーストを塗布する塗布ヘッドと、塗布ヘッドを支持する支持部材と、塗布ヘッドを支持部材に沿うように移動させる移動機構と、塗布ヘッドに設けられた反射部と、反射部に向けて塗布ヘッドの移動方向にレーザ光を出射するレーザ部とを備えるペースト塗布装置を用いて、レーザ部により、反射部にレーザ光を照射して反射部により反射されたレーザ光である反射光を受光し、反射部との離間距離を測定する工程と、測定した離間距離に基づいて塗布ヘッド及び移動機構を制御し、塗布対象物上にペーストパターンを描画する工程とを有することである。
　本発明の実施の形態に係る第８の特徴は、ペースト塗布方法において、塗布対象物にペーストを塗布する塗布ヘッドと、塗布ヘッドを支持する支持部材と、塗布ヘッドを支持部材に沿うように移動させる移動機構と、支持部材に設けられ、塗布ヘッドの移動方向に沿って徐々に高さが変化する傾斜面を有する反射部と、塗布ヘッドに連結され、傾斜面に向けてレーザ光を出射するレーザ部とを備えるペースト塗布装置を用いて、レーザ部により、傾斜面にレーザ光を照射して傾斜面により反射されたレーザ光である反射光を受光し、反射部との離間距離を測定する工程と、測定した離間距離に基づいて塗布ヘッド及び移動機構を制御し、塗布対象物上にペーストパターンを描画する工程とを有することである。
図１は、本発明の第１の実施の形態に係るペースト塗布装置の概略構成を示す斜視図である。 図２は、環境（気温、湿度、気圧）と補正値との関係を説明するための説明図である。 図３は、本発明の第２の実施の形態に係るペースト塗布装置の一部の概略構成を示す斜視図である。 図４は、図３に示すペースト塗布装置の一部の変形例の概略構成を示す斜視図である。 図５は、本発明の第３の実施の形態に係るペースト塗布装置の一部の概略構成を示す斜視図である。 図６は、本発明の第４の実施の形態に係るペースト塗布装置の一部の概略構成を示す斜視図である。 図７は、本発明の第５の実施の形態に係るペースト塗布装置の一部の概略構成を示す斜視図である。 図８は、本発明の第６の実施の形態に係るペースト塗布装置の一部の概略構成を示す斜視図である。
（第１の実施の形態）
　本発明の第１の実施の形態について図１及び図２を参照して説明する。
　図１に示すように、本発明の第１の実施の形態に係るペースト塗布装置１は、塗布対象物である基板Ｋが水平状態（図１中、Ｘ軸方向とそれに直交するＹ軸方向に沿う状態）で載置される基板ステージ２と、その基板ステージ２上の基板Ｋにシール剤等のシール性及び接着性を有するペーストをそれぞれ塗布する複数の塗布ヘッド３Ａ～３Ｄと、各塗布ヘッド３Ａ～３ＤをＸ軸方向（図１中）に移動可能に支持してＸ軸方向に沿って移動させるＸ軸移動機構４Ａ及びＸ軸移動機構４Ｂと、それらのＸ軸移動機構４Ａ及びＸ軸移動機構４Ｂをそれぞれ介して各塗布ヘッド３Ａ～３Ｄを支持する支持部材５Ａ及び支持部材５Ｂと、それらの支持部材５Ａ及び支持部材５ＢをＹ軸方向（図１中）に移動可能に支持してＹ軸方向に沿って移動させるＹ軸移動機構６Ａ及びＹ軸移動機構６Ｂと、支持部材５Ａの移動方向であるＹ軸方向における支持部材５Ａまでの離間距離を測定するレーザ距離測定器７Ａと、支持部材５Ｂの移動方向であるＹ軸方向における支持部材５Ｂまでの離間距離を測定するレーザ距離測定器７Ｂと、気温、湿度及び気圧を検出する環境検出器８と、基板ステージ２、Ｙ軸移動機構６Ａ及びＹ軸移動機構６Ｂ等を支持する架台９と、各部を制御する制御部１０とを備えている。
　基板ステージ２は、架台９の上面に固定されて設けられた載置台である。この基板ステージ２は、基板Ｋを吸着する吸着機構（図示せず）を備えており、その吸着機構により上面の載置面に基板Ｋを固定して保持する。なお、吸着機構としては、例えばエアー吸着機構等を用いる。このような基板ステージ２の載置面には、ガラス基板等の基板Ｋが載置される。
　各塗布ヘッド３Ａ～３Ｄは、ペーストを収容するシリンジ等の収容筒３ａと、その収容筒３ａに連通してペーストを吐出するノズル３ｂとをそれぞれ有している。これらの塗布ヘッド３Ａ～３Ｄは、気体供給チューブ等を介して気体供給部（いずれも図示せず）にそれぞれ接続されている。各塗布ヘッド３Ａ～３Ｄは、収容筒３ａ内に供給される気体により、その内部のペーストをノズル３ｂからそれぞれ吐出する。
　このような塗布ヘッド３Ａ～３Ｄは、ＹＺ軸移動機構３ｃを介してＸ軸移動機構４Ａ及びＸ軸移動機構４Ｂにそれぞれ設けられている。このＹＺ軸移動機構３ｃは、１つの塗布ヘッド３Ａ～３Ｄを支持してＹ軸方向に移動させる移動機構であって、さらに、水平面に直交するＺ軸方向（図１中）、すなわち基板ステージ２に対して塗布ヘッド３Ａ～３Ｄを接離させる接離方向に移動させる移動機構である。なお、ＹＺ軸移動機構３ｃとしては、例えばボールネジを用いる送りネジ機構等を用いる。
　Ｘ軸移動機構４Ａは支持部材５Ａの前面に設けられており、Ｘ軸移動機構４Ｂは支持部材５Ｂの前面に設けられている。Ｘ軸移動機構４Ａは、２つの塗布ヘッド３Ａ、３ＢをＸ軸方向に移動可能に支持しており、それらの塗布ヘッド３Ａ、３ＢをＸ軸方向、すなわち支持部材５Ａに沿って個別に移動させる移動機構である。同様に、Ｘ軸移動機構４Ｂも、２つの塗布ヘッド３Ｃ、３ＤをＸ軸方向に移動可能に支持しており、それらの塗布ヘッド３Ｃ、３ＤをＸ軸方向、すなわち支持部材５Ｂに沿って個別に移動させる移動機構である。なお、Ｘ軸移動機構４Ａ及びＸ軸移動機構４Ｂとしては、例えば、リニアモータを用いたリニアモータ機構やボールネジを用いた送りネジ機構等を用いる。このようなＸ軸移動機構４Ａ及びＸ軸移動機構４Ｂが、それぞれ各塗布ヘッド３Ａ～３Ｄを移動させる第２移動機構として機能する。ここで、支持部材５Ａ、５Ｂにおいて、互いに対向する面を前面、離反する面を背面とする。
　支持部材５ＡはＸ軸移動機構４Ａを介して２つの塗布ヘッド３Ａ、３Ｂを支持するコラムであり、同様に、支持部材５ＢもＸ軸移動機構４Ｂを介して２つの塗布ヘッド３Ｃ、３Ｄを支持するコラムである。これらの支持部材５Ａ及び支持部材５Ｂは、その移動方向（Ｙ軸方向）に交差する方向、例えば直交する方向（Ｘ軸方向）に延伸させてそれぞれ形成されている。さらに、支持部材５Ａ及び支持部材５Ｂは、例えば直方体形状にそれぞれ形成されており、基板ステージ２の載置面に対して平行に設けられている。このような支持部材５Ａ及び支持部材５Ｂは、Ｙ軸移動機構６Ａ及びＹ軸移動機構６ＢによりＹ軸方向に移動し、基板ステージ２の載置面に対向する位置に各塗布ヘッド３Ａ～３Ｄを位置付ける。
　Ｙ軸移動機構６Ａ及びＹ軸移動機構６Ｂは、基板ステージ２を両側から挟むように架台９の上面にそれぞれ設けられている。これらのＹ軸移動機構６Ａ及びＹ軸移動機構６Ｂは、それぞれ協働して支持部材５Ａ及び支持部材５ＢをＹ軸方向に移動可能に支持しており、それらの支持部材５Ａ及び支持部材５ＢをＹ軸方向に沿って個別に移動させる移動機構である。これらのＹ軸移動機構６Ａ及びＹ軸移動機構６Ｂには、支持部材５Ａ及び支持部材５Ｂが架け渡されて設けられている。なお、Ｙ軸移動機構６Ａ及びＹ軸移動機構６Ｂとしては、例えば、リニアモータを用いたリニアモータ機構やボールネジを用いた送りネジ機構等を用いる。このようなＹ軸移動機構６Ａ及びＹ軸移動機構６Ｂが、支持部材５Ａ、５Ｂを移動させる第１移動機構として機能する。
　レーザ距離測定器７Ａは、レーザ光を出射して反射光を受光するレーザ部７ａ１と、出射されたレーザ光をレーザ部７ａ１に向けて反射する反射部７ｂ１とを備えている。同様に、レーザ距離測定器７Ｂも、レーザ光を出射して反射光を受光するレーザ部７ａ２と、出射されたレーザ光をレーザ部７ａ２に向けて反射する反射部７ｂ２とを備えている。これらのレーザ距離測定器７Ａ及びレーザ距離測定器７Ｂが、それぞれ支持部材５Ａ、５Ｂとの第１離間距離（支持部材５Ａ、５Ｂの移動方向における支持部材５Ａ、５Ｂまでの離間距離）を測定する第１レーザ距離測定器として機能する。
　なお、レーザ距離測定器７Ａ、７Ｂは、具体的には、公知のレーザ干渉測長器である。レーザ干渉測長器は、ハーフミラー（レーザ部７ａ１、７ａ２に内蔵される）を用いて取り出した出射光の一部と反射部７ｂ１、７ｂ２で反射された反射光とを検出器（レーザ部７ａ１、７ａ２に内蔵される）によって検出し、出射光と反射光との光路長の違いによって生じる干渉縞を利用して反射部７ｂ１、７ｂ２の変位を検出するもので、反射部７ｂ１、７ｂ２の移動によって生じる干渉縞の周期的な変化をパルスに変換し、このパルスのカウント値に基づいて反射部７ｂ１、７ｂ２の移動量（移動距離）を測定する。したがって、リミットセンサ等によってＹ軸移動機構６Ａ上での支持部材５Ａ、５Ｂの原点位置（例えば、Ｙ軸移動機構６Ａにおける支持部材５Ａが位置する側の移動端を支持部材５Ａの原点位置、支持部材５Ｂが位置する側の移動端を支持部材５Ｂの原点位置とする）をメカ的にそれぞれ定め、それぞれの原点位置からの移動量をレーザ距離測定器７Ａ、７Ｂによって測定することで、各支持部材５Ａ、５Ｂとの第１離間距離を測定することが可能である。
　レーザ距離測定器７Ａのレーザ部７ａ１は、レーザ光の光路がＹ軸方向に平行になるようにＹ軸移動機構６Ａにおける支持部材５Ａ側の端部近傍、具体的には、レーザ部７ａ１のレーザ光の投受光面とＹ軸移動機構６Ａの支持部材５Ａ側の端部とがほぼ同一平面上となるようにＹ軸移動機構６Ａの外側に並べて位置付けられ、架台９の上面に設けられている。また、レーザ距離測定器７Ａの反射部７ｂ１は、レーザ部７ａ１から出射されたレーザ光をレーザ部７ａ１に向けて反射可能に支持部材５Ａに固定され、その支持部材５Ａと一緒に移動可能に設けられている。同様に、レーザ距離測定器７Ｂのレーザ部７ａ２も、レーザ光の光路がＹ軸方向に平行になるようにＹ軸移動機構６Ａにおける支持部材５Ｂ側の端部近傍、具体的には、レーザ部７ａ２のレーザ光の投受光面とＹ軸移動機構６Ａの支持部材５Ｂ側の端部とがほぼ同一平面上となるようにＹ軸移動機構６Ａの外側に並べて位置付けられ、架台９の上面に設けられている。また、レーザ距離測定器７Ｂの反射部７ｂ２も、レーザ部７ａ２から出射されたレーザ光をレーザ部７ａ２に向けて反射可能に支持部材５Ｂに固定され、その支持部材５Ｂと一緒に移動可能に設けられている。ここで、各反射部７ｂ１、７ｂ２としては、例えばプリズム等を用いる。
　これらのレーザ距離測定器７Ａ及びレーザ距離測定器７Ｂは、それぞれ制御部１０に電気的に接続されており、測定した離間距離をその制御部１０に信号として入力する。すなわち、レーザ部７ａ１と支持部材５Ａとの離間距離、及び、レーザ部７ａ２と支持部材５Ｂとの離間距離が測定され、制御部１０に入力される。これにより、制御部１０はそれらの離間距離（位置情報）に基づいて支持部材５Ａの位置及び支持部材５Ｂの位置を把握することが可能になる。
　環境検出器８は、ペースト塗布装置１の周囲の気温、湿度及び気圧を検出するセンサである。この環境検出器８は、例えば架台９上におけるレーザ距離測定器７Ａ、７Ｂのレーザ光の光路の近傍、例えば、光路の真下に上方を向けて、それぞれ設けられている。環境検出器８は制御部１０に電気的に接続されており、検出した気温、湿度及び気圧をその制御部１０に信号として入力する。これにより、制御部１０はそれらの気温、湿度及び気圧（環境情報）に基づいて周囲環境、例えば、空気屈折率の変化を把握することが可能になる。
　架台９は、床面上に設置され、基板ステージ２、Ｙ軸移動機構６Ａ及びＹ軸移動機構６Ｂ等を床面から所定の高さ位置に支持する架台である。架台９の上面は平面に形成されており、この架台９の上面には、基板ステージ２、Ｙ軸移動機構６Ａ及びＹ軸移動機構６Ｂ等が載置されている。
　制御部１０は、各部を集中的に制御するマイクロコンピュータと、ペースト塗布に関する塗布情報や各種のプログラム等を記憶する記憶部と（いずれも図示せず）を備えている。塗布情報は、所定の塗布パターンや描画速度（基板Ｋとノズル３ｂとの水平方向における相対移動速度）、ペーストの吐出量等に関する情報を含んでいる。この制御部１０は、塗布情報や各種のプログラムに基づいてＸ軸移動機構４Ａ、Ｘ軸移動機構４Ｂ、Ｙ軸移動機構６Ａ及びＹ軸移動機構６Ｂ等を制御し、各塗布ヘッド３Ａ～３Ｄのノズル３ｂと基板ステージ２上の基板Ｋとを基板Ｋの表面方向に平行に相対移動させ、基板Ｋ上に所定の塗布パターンのペーストを塗布する。この塗布動作において、制御部１０は、レーザ距離測定器７Ａにより測定された離間距離に基づいてＹ軸移動機構６Ａ及びＹ軸移動機構６Ｂを制御して支持部材５Ａの位置制御を行い、さらに、レーザ距離測定器７Ｂにより測定された離間距離に基づいてＹ軸移動機構６Ａ及びＹ軸移動機構６Ｂを制御して支持部材５Ｂの位置制御を行う。
　ここで、記憶部には、例えば、図２に示すような補正情報が格納されている。この補正情報は、環境検出器８により検出された気温、湿度及び気圧の環境情報に基づいて、レーザ距離測定器７Ａ及びレーザ距離測定器７Ｂにより測定された各離間距離を補正するための情報である。したがって、制御部１０は、検出された気温、湿度及び気圧に対応する補正値を補正情報から求め、その補正値に基づいて離間距離を補正する補正動作を随時行う。詳述すると、制御部１０は、検出された気温、湿度及び気圧により決まる定数を特定し、その特定した定数に対応する補正値を補正情報から求める。すなわち、図２に示す補正情報において、縦軸は補正値であり、横軸は気温、湿度及び気圧により決まる定数である。例えば、気温が２０℃、湿度が３０％及び気圧が１０００ｈＰａである場合、定数は数値Ａであり、気温が２５℃、湿度が４０％及び気圧が１００５ｈＰａである場合、定数は数値Ｂであるというように定数が複数設定され、さらに、それらの定数に対応する補正値が設定されて、図２に示す補正情報が生成されている。
　次に、このようなペースト塗布装置１が行う塗布動作について説明する。
　まず、ペースト塗布装置１は、Ｙ軸移動機構６Ａ及びＹ軸移動機構６Ｂにより支持部材５Ａ及び支持部材５ＢをＹ軸方向にそれぞれ移動させ、Ｘ軸移動機構４Ａ及びＸ軸移動機構４Ｂにより各塗布ヘッド３Ａ～３ＤをＸ軸方向にそれぞれ移動させ、基板ステージ２上の基板Ｋの各塗布開始位置に各塗布ヘッド３Ａ～３Ｄをそれぞれ対向させる。次いで、ペースト塗布装置１は、各ＹＺ軸移動機構３ｃによりそれぞれ各塗布ヘッド３Ａ～３ＤをＺ軸方向に移動させ、待機位置から塗布位置に各塗布ヘッド３Ａ～３Ｄを位置付ける。
　ここで、待機位置及び塗布位置は、基板ステージ２上の基板Ｋに対して所定のギャップを隔てた高さ位置である。塗布位置は、塗布ヘッド３Ａ～３Ｄが塗布を行う際の高さ位置である。このとき、塗布ヘッド３Ａ～３Ｄのノズル３ｂの先端と基板Ｋの表面との間に形成されるギャップは、基板Ｋの表面にペーストを所定の塗布量で塗布するのに必要な大きさに設定される。また、待機位置は、塗布ヘッド３Ａ～３Ｄが塗布を行わない場合の高さ位置であり、このときのギャップは、塗布位置におけるギャップよりもはるかに大きい。
　その後、ペースト塗布装置１は、塗布条件（吐出圧力や移動速度等）に基づいて、各塗布ヘッド３Ａ～３Ｄの各々のノズル３ｂからペーストを吐出させながら、Ｙ軸移動機構６Ａ及びＹ軸移動機構６Ｂにより支持部材５Ａ及び支持部材５ＢをＹ軸方向に移動させ、Ｘ軸移動機構４Ａ及びＸ軸移動機構４Ｂにより各塗布ヘッド３Ａ～３ＤをＸ軸方向に移動させ、基板ステージ２上の基板Ｋの表面にペーストを塗布し、所定のペーストパターンを形成（描画）する。ここで、各塗布ヘッド３Ａ～３Ｄが形成するペーストパターン（塗布パターン）は同一であり、例えば矩形枠状である。所定のペーストパターンの形成が完了すると、ペースト塗布装置１は、各ＹＺ軸移動機構３ｃによりそれぞれ各塗布ヘッド３Ａ～３ＤをＺ軸方向に移動させ、塗布位置から元の待機位置に各塗布ヘッド３Ａ～３Ｄを位置付ける。なお、吐出圧力は、各塗布ヘッド３Ａ～３Ｄの収容筒３ａ内のペーストを対応するノズル３ｂからそれぞれ吐出させるための気体圧力であり、移動速度は、ペーストを塗布する場合のノズル３ｂと基板Ｋとの相対移動速度である。
　最後に、ペースト塗布装置１は、Ｙ軸移動機構６Ａ及びＹ軸移動機構６Ｂにより支持部材５Ａ及び支持部材５ＢをＹ軸方向の退避位置、すなわち各塗布ヘッド３Ａ～３Ｄが基板ステージ２上の基板Ｋに対向しない退避位置まで移動させ、基板ステージ２上の基板Ｋの交換に待機する。基板Ｋの交換が完了すると、前述の塗布動作を繰り返す。
　このような塗布動作において、レーザ距離測定器７Ａ及びレーザ距離測定器７Ｂはそれぞれ離間距離を随時、この実施の形態では、常時、測定しており、制御部１０は、レーザ距離測定器７Ａにより測定された離間距離に基づいてＹ軸移動機構６Ａ及びＹ軸移動機構６Ｂを制御し、支持部材５Ａの位置制御を行い、さらに、レーザ距離測定器７Ｂにより測定された離間距離に基づいてＹ軸移動機構６Ａ及びＹ軸移動機構６Ｂを制御し、支持部材５Ｂの位置制御を行う。これにより、周囲環境の変化に応じて膨張あるいは収縮するリニアスケールを用いた位置制御を行う必要がなくなり、また、レーザ距離測定器７Ａ、７Ｂはリニアスケールに比べて測定精度が周囲環境の変化の影響を受け難いため、周囲環境の変化に影響されずに各支持部材５Ａ、５Ｂの位置制御を行うことが可能になるので、周囲環境が変化しても高い精度で位置制御を行うことができ、その結果、塗布精度の低下を抑えることができる。さらに、制御部１０は、検出された気温、湿度及び気圧に対応する補正値を補正情報から求め、その補正値に基づいて離間距離の測定値を補正する補正動作を随時行う。これにより、周囲環境の変化に応じて各支持部材５Ａ、５Ｂの位置を制御することが可能になるので、周囲環境が変化してもより高い精度で位置制御を行うことができ、その結果、塗布精度の低下を抑えるだけでなく、塗布精度を向上させることができる。
　以上説明したように、本発明の第１の実施の形態によれば、各レーザ距離測定器７Ａ、７Ｂを設け、それらのレーザ距離測定器７Ａ、７Ｂにより測定した各離間距離に基づいてＹ軸移動機構６Ａ及びＹ軸移動機構６Ｂを制御し、各支持部材５Ａ、５Ｂの位置制御を行うことによって、周囲環境の変化に応じて膨張あるいは収縮するリニアスケールを用いた位置制御を行う場合に比べ、周囲環境の変化に影響されずに各支持部材５Ａ、５Ｂの位置制御を行うことが可能になるので、周囲環境が変化しても高い精度で位置制御を行うことができる。したがって、周囲環境の変化による塗布精度の低下を抑えることができ、その結果、基板Ｋの表面に、正確に所望する形状のペーストパターンを形成することが可能となり、製造される液晶表示パネルの品質を向上させることができる。
　また、環境検出器８を設け、その環境検出器８により検出した気温、湿度及び気圧に基づいてレーザ距離測定器７Ａ、７Ｂにより測定した各離間距離を補正し、補正した各離間距離に基づいて各支持部材５Ａ、５Ｂの位置を制御することによって、周囲環境の変化に応じて各支持部材５Ａ、５Ｂの位置を制御することが可能になるので、周囲環境が変化してもより高い精度で位置制御を行うことができ、その結果、塗布精度の低下を抑えるだけでなく、塗布精度を向上させることができる。
　なお、近年の液晶表示パネルの大型化に伴い基板Ｋのサイズが大きくなり、ペースト塗布装置１が大型化する傾向にある。このため、支持部材５Ａ及び支持部材５Ｂが大型化して重量が増すので、リニアモータ機構を用いた場合、それらを移動させるリニアモータもより大きな駆動力が得られる大きなものが用いられることになり、一方、送りネジ機構を用いた場合、ボールネジに対する負荷が増加することになる。したがって、大型のリニアモータでは運転に伴う発熱も大きくなり、ボールネジでも運転に伴う発熱が大きくなる。また、大きなサイズの基板Ｋに一度に多くのペーストパターンを形成して生産性を向上させる目的から、塗布ヘッド３Ａ～３Ｄの数が増加する傾向にある。塗布ヘッド３Ａ～３Ｄの数が増加するとそれに応じて可動子の数も増加するので、塗布ヘッド３Ａ～３Ｄの移動に伴う発熱がより大きくなる。これらのような場合であっても、本発明の実施の形態によれば、リニアモータの発熱あるいはボールネジの発熱に起因する位置検出誤差の発生を抑えることが可能であり、正確に所望する形状のペーストパターンを形成することができる。
　また、環境検出器８をレーザ距離測定器７Ａ、７Ｂのレーザ光の光路の近傍に設けたので、レーザ光の光路の周囲環境の変化をその近傍において検出することが可能となるので、レーザ距離測定器７Ａ、７Ｂの測定値を光路の周囲環境の変化に合わせて的確に補正することができ、レーザ距離測定器７Ａ、７Ｂによる離間距離の測定精度をより向上させることができる。
　また、支持部材５Ａとの離間距離を測定するレーザ距離測定器７Ａのレーザ部７ａ１をＹ軸移動機構６Ａにおける支持部材５Ａ側の端部近傍に配置し、支持部材５Ｂとの離間距離を測定するレーザ距離測定器７Ｂのレーザ部７ａ２をＹ軸移動機構６Ａにおける支持部材５Ｂ側の端部近傍に配置したので、それぞれのレーザ距離測定器７Ａ、７Ｂによる測定距離を極力短くすることができる、例えば、２つの支持部材５Ａ、５Ｂで基板Ｋ上をＹ軸方向に２等分した領域を２つの支持部材５Ａ、５Ｂで分担してペースト塗布する場合、レーザ距離測定器７Ａ、７Ｂによる測定距離を基板ＫのＹ軸方向寸法の半分程度に抑えることが可能となる。これにより、レーザ距離測定器７Ａ、７Ｂの測定値が周囲環境の変化の影響を受け難くなるので、その分、レーザ距離測定器７Ａ、７Ｂによる距離測定値の精度が向上し、これによってもペーストの塗布精度を向上させることが可能となる。
　支持部材５Ａ、５Ｂとの離間距離をレーザ距離測定器７Ａ、７Ｂを用いて直接的に検出するようにしたので、リニアスケール等を用いた位置検出装置に比べて機械的誤差が測定値に介入することが防止されるので、測定精度の信頼性が向上し、これによってもペーストの塗布精度を向上させることが可能となる。
　また、レーザ距離測定器７Ａ、７Ｂを、Ｙ軸移動機構６Ａ側にのみ配置したので、Ｙ軸移動機構６Ａ側を作業者によるシール塗布装置の操作側とした場合には、各レーザ部７ａ１、７ａ２が作業者による操作側に配置されることとなるので、レーザ距離測定器７Ａ、７Ｂのメンテナンスを容易に行なうことが可能となる。このため、レーザ距離測定器７Ａ、７Ｂによる距離測定精度を安定して維持することが可能となる。
（第２の実施の形態）
　本発明の第２の実施の形態について図３を参照して説明する。本発明の第２の実施の形態では、第１の実施の形態と異なる部分について説明する。なお、第２の実施の形態においては、第１の実施の形態で説明した部分と同一部分は同一符号で示し、その説明は省略する。
　本発明の第２の実施の形態に係るペースト塗布装置１は、前述の各部に加え、図３に示すように、塗布ヘッド３Ａの移動方向であるＸ軸方向における塗布ヘッド３Ａまでの離間距離を測定するレーザ距離測定器７Ｃと、塗布ヘッド３Ｂの移動方向であるＸ軸方向における塗布ヘッド３Ｂまでの離間距離を測定するレーザ距離測定器７Ｄと、塗布ヘッド３Ｃの移動方向であるＸ軸方向における塗布ヘッド３Ｃまでの離間距離を測定するレーザ距離測定器７Ｅと、塗布ヘッド３Ｄの移動方向であるＸ軸方向における塗布ヘッド３Ｄまでの離間距離を測定するレーザ距離測定器７Ｆとを備えている。これらのレーザ距離測定器７Ｃ～７Ｆは、支持部材５Ａ及び支持部材５Ｂにそれぞれ設けられている。したがって、本発明の実施の形態では、塗布ヘッド３Ａ～３Ｄが４個設けられているため、それらに対応させてレーザ距離測定器７Ｃ～７Ｆは４個設けられている。このような各レーザ距離測定器７Ｃ～７Ｆが、それぞれ塗布ヘッド３Ａ～３Ｄとの第２離間距離（塗布ヘッド３Ａ～３Ｄの移動方向における塗布ヘッド３Ａ～３Ｄまでの離間距離）を測定する第２レーザ距離測定器として機能する。
　レーザ距離測定器７Ｃは、レーザ光を出射して反射光を受光するレーザ部７ａ３と、出射されたレーザ光をレーザ部７ａ３に向けて反射する反射部７ｂ３とを備えている。同様に、レーザ距離測定器７Ｄも、レーザ光を出射して反射光を受光するレーザ部７ａ４と、出射されたレーザ光をレーザ部７ａ４に向けて反射する反射部７ｂ４とを備えている。さらに、レーザ距離測定器７Ｅも、レーザ光を出射して反射光を受光するレーザ部７ａ５と、出射されたレーザ光をレーザ部７ａ５に向けて反射する反射部７ｂ５とを備えている。加えて、レーザ距離測定器７Ｆも、レーザ光を出射して反射光を受光するレーザ部７ａ６と、出射されたレーザ光をレーザ部７ａ６に向けて反射する反射部７ｂ６とを備えている。
　レーザ距離測定器７Ｃのレーザ部７ａ３は、レーザ光の光路がＸ軸方向（支持部材５Ａの延伸方向）に平行になるように支持部材５Ａにおける図３中の手前側（Ｙ軸移動機構６Ａ側）の端部に位置付けられ、支持部材５Ａの上面に設けられている。また、レーザ距離測定器７Ｃの反射部７ｂ３は、レーザ部７ａ３から出射されたレーザ光をレーザ部７ａ３に向けて反射可能に塗布ヘッド３Ａ用のＹＺ軸移動機構３ｃに固定され、Ｘ軸方向に移動する塗布ヘッド３Ａと一緒に移動可能に設けられている。同様に、レーザ距離測定器７Ｄのレーザ部７ａ４も、レーザ光の光路がＸ軸方向（支持部材５Ａの延伸方向）に平行になるように支持部材５Ａにおける図３中の奥側（Ｙ軸移動機構６Ｂ側）の端部に位置付けられ、支持部材５Ａの上面に設けられている。また、レーザ距離測定器７Ｄの反射部７ｂ４も、レーザ部７ａ４から出射されたレーザ光をレーザ部７ａ４に向けて反射可能に塗布ヘッド３Ｂ用のＹＺ軸移動機構３ｃに固定され、Ｘ軸方向に移動する塗布ヘッド３Ｂと一緒に移動可能に設けられている。ここで、各反射部７ｂ３、７ｂ４としては、例えばプリズム等を用いる。
　レーザ距離測定器７Ｅのレーザ部７ａ５は、レーザ光の光路がＸ軸方向（支持部材５Ｂの延伸方向）に平行になるように支持部材５Ｂにおける図３中の手前側（Ｙ軸移動機構６Ａ側）の端部に位置付けられ、支持部材５Ｂの上面に設けられている。また、レーザ距離測定器７Ｅの反射部７ｂ５は、レーザ部７ａ５から出射されたレーザ光をレーザ部７ａ５に向けて反射可能に塗布ヘッド３Ｃ用のＹＺ軸移動機構３ｃに固定され、Ｘ軸方向に移動する塗布ヘッド３Ｃと一緒に移動可能に設けられている。同様に、レーザ距離測定器７Ｆのレーザ部７ａ６も、レーザ光の光路がＸ軸方向（支持部材５Ｂの延伸方向）に平行になるように支持部材５Ｂにおける図３中の奥側（Ｙ軸移動機構６Ｂ側）の端部に位置付けられ、支持部材５Ｂの上面に設けられている。また、レーザ距離測定器７Ｆの反射部７ｂ６も、レーザ部７ａ６から出射されたレーザ光をレーザ部７ａ６に向けて反射可能に塗布ヘッド３Ｄ用のＹＺ軸移動機構３ｃに固定され、Ｘ軸方向に移動する塗布ヘッド３Ｄと一緒に移動可能に設けられている。ここで、各反射部７ｂ５、７ｂ６としては、例えばプリズム等を用いる。
　これらのレーザ距離測定器７Ｃ～７Ｆは、それぞれ制御部１０に電気的に接続されており、測定した離間距離をその制御部１０に信号として入力する。すなわち、レーザ部７ａ３と塗布ヘッド３Ａとの離間距離、レーザ部７ａ４と塗布ヘッド３Ｂとの離間距離、レーザ部７ａ５と塗布ヘッド３Ｃとの離間距離、及び、レーザ部７ａ６と塗布ヘッド３Ｄとの離間距離が測定されて制御部１０に入力される。これにより、制御部１０はそれらの離間距離（位置情報）に基づいて各塗布ヘッド３Ａ～３Ｄの位置を把握することが可能になる。
　なお、図示は省略するが、これらのレーザ距離測定器７Ｃ～７Ｆに対しても、レーザ距離測定器７Ａ、７Ｂと同様に、レーザ光の光路の近傍に、例えば、光路の側方に光路側の水平方向に向けて環境検出器をそれぞれ配置する。
　制御部１０は、各レーザ距離測定器７Ｃ～７Ｆにより測定された各離間距離に基づいてＸ軸移動機構４Ａ及びＸ軸移動機構４Ｂを制御し、各塗布ヘッド３Ａ～３Ｄの位置制御を行う。これにより、周囲環境（温度等）の変化に影響されずに各塗布ヘッド３Ａ～３Ｄの位置制御を行うことが可能になるので、高い精度で位置制御を行うことができ、その結果、塗布精度の低下を抑えることができる。さらに、制御部１０は、環境検出器によって検出された気温、湿度及び気圧に対応する補正値を補正情報から求め、その補正値に基づいて各塗布ヘッド３Ａ～３Ｄとの各々の離間距離を補正する補正動作を随時行う。これにより、周囲環境の変化に応じて各塗布ヘッド３Ａ～３Ｄの位置を制御することが可能になるので、周囲環境が変化しても高い精度で位置制御を行うことができ、その結果、塗布精度の低下を抑えるだけでなく、塗布精度を向上させることができる。
　以上説明したように、本発明の第２の実施の形態によれば、第１の実施の形態と同様の効果を得ることができる。さらに、各塗布ヘッド３Ａ～３Ｄ用に各レーザ距離測定器７Ｃ～７Ｆを設け、それらのレーザ距離測定器７Ｃ～７Ｆにより測定した各離間距離に基づいてＸ軸移動機構４Ａ及びＸ軸移動機構４Ｂを制御し、各塗布ヘッド３Ａ～３Ｄの位置制御を行うことによって、周囲環境の変化に応じて膨張あるいは収縮するリニアスケールを用いた位置制御を行う場合に比べ、周囲環境の変化に影響されずに各塗布ヘッド３Ａ～３Ｄの位置制御を行うことが可能になるので、高い精度で位置制御を行うことができ、その結果、周囲環境の変化による塗布精度の低下を抑えることができる。
　また、環境検出器８を設け、その環境検出器８により検出した気温、湿度及び気圧に基づいて各離間距離を補正し、補正した各離間距離に基づいて各塗布ヘッド３Ａ～３Ｄの位置を制御することによって、周囲環境の変化に応じて各塗布ヘッド３Ａ～３Ｄの位置を制御することが可能になるので、周囲環境が変化してもより高い精度で位置制御を行うことができ、その結果、塗布精度の低下を抑えるだけでなく、塗布精度を向上させることができる。
　なお、図４に示すように、２つの塗布ヘッド３Ａ、３Ｂを支持する支持部材５Ａに、新たに１つの塗布ヘッド３Ｅを設けた場合には、その塗布ヘッド３Ｅの移動方向であるＸ軸方向における塗布ヘッド３Ｅまでの離間距離を測定するレーザ距離測定器７Ｇを設ける。このレーザ距離測定器７Ｇはレーザ部７ａ７及び反射部７ｂ７を備えており、他のレーザ距離測定器７Ｃ～７Ｆと同じ構造である。レーザ距離測定器７Ｇはレーザ距離測定器７Ｄと同じ側に位置付けられ、塗布ヘッド３Ｅの位置検出が可能に設けられている。
（第３の実施の形態）
　本発明の第３の実施の形態について図５を参照して説明する。本発明の第３の実施の形態では、第１の実施の形態と異なる部分について説明する。なお、第３の実施の形態においては、第１の実施の形態で説明した部分と同一部分は同一符号で示し、その説明は省略する。
　図５に示すように、支持部材５Ｂは、各塗布ヘッド３Ｃ、３Ｄを支持する門型（門形状）のコラムである。この支持部材５Ｂは、その延伸部がＸ軸方向に沿うように位置付けられ、その脚部がＹ軸移動機構６Ａ及びＹ軸移動機構６Ｂ上に設けられている。なお、支持部材５Ａも同様な構造に形成されている。
　レーザ距離測定器７Ｂの反射部７ｂ２はＹ軸移動機構６Ａの内側、すなわち支持部材５Ｂの脚部の内側に設けられている。この反射部７ｂ２の位置に合わせてレーザ部７ａ２が支持台１１上に設けられている。この支持台１１は架台９上に載置されている。なお、支持部材５Ａ用のレーザ距離測定器７Ａの反射部７ｂ１及びレーザ部７ａ１も同様な構造に形成されている。
　また、覆い部材１２が、基板Ｋが載置される基板ステージ２側とレーザ距離測定器７Ａ、７Ｂ側、すなわち、レーザ部７ａ１、７ａ２から出射されるレーザ光の光路側との間を仕切るようにＹ軸移動機構６Ａの内側面（基板ステージ２側に位置する面）に固定されて設けられている。特に、覆い部材１２は、レーザ部７ａ２及び反射部７ｂ２による離間距離の測定、レーザ部７ａ１及び反射部７ｂ１による離間距離の測定、さらに、支持部材５Ａ及び支持部材５Ｂの移動を妨げないように形成されている。
　この覆い部材１２は、基板ステージ２上に向けて吹き降ろされるダウンフローの風（空気）がレーザ部７ａ２と反射部７ｂ２との間及びレーザ部７ａ１と反射部７ｂ１との間を通過することを防止している。これにより、ダウンフローの風がレーザ光の光路の周囲環境に変動を生じさせるなどの悪影響を与えることが抑えられるので、レーザ光による離間距離の測定精度が低下してしまうことを抑止することが可能となり、その結果、塗布精度を向上させることができる。
　なお、ダウンフローは、架台９上の各部全体を覆うボックスの上面から基板ステージ２に向かって流れ、基板ステージ２の表面に沿って外側に流れてボックスの側面に向かい、その側面の架台９側に形成された複数の流出口からボックス外に出て行くような空気の流れである。
　ここで、このようなダウンフローが生じている状態下であっても、前述の覆い部材１２を設けたことから、基板ステージ２側から流れてくるダウンフローの風がレーザ部７ａ２と反射部７ｂ２との間及びレーザ部７ａ１と反射部７ｂ１との間を直接通過することが防止されるので、レーザ距離測定器７Ａ、７Ｂのレーザ光の光路の周囲環境がダウンフローの通過に起因して変動することを防止することが可能となる。よって、レーザ距離測定器７Ａ、７Ｂの測定精度を精度良く維持することができる。
　また、Ｙ軸移動機構６Ａの外側に配線用のケーブルベア（登録商標）が設けられることがあるが、このような場合でも、レーザ距離測定器７Ａ、７ＢをＹ軸移動機構６Ａの内側に設けたことにより、レーザ距離測定器７Ａ、７Ｂがケーブルベアの設置の妨げとなることが無く、また、内側に設けた分だけ、ケーブルベアの移動に伴うその周囲環境の変化の影響を受け難くなるので、これによってもレーザ距離測定器７Ａ、７Ｂの測定精度を精度良く維持することができる。
　以上説明したように、本発明の第３の実施の形態によれば、第１の実施の形態と同様の効果を得ることができる。さらに、レーザ距離測定器７Ｂ及びレーザ距離測定器７ＡをＹ軸移動機構６Ａの内側に設けた場合、覆い部材１２を設けることによって、ダウンフローの風がレーザ光に悪影響を与えることが抑えられ、レーザ光による離間距離の測定精度が低下してしまうことを抑止することが可能となる。これにより、高い精度で位置制御を行うことができ、その結果、塗布精度を向上させることができる。
（第４の実施の形態）
　本発明の第４の実施の形態について図６を参照して説明する。本発明の第４の実施の形態では、第１の実施の形態と異なる部分について説明する。なお、第４の実施の形態においては、第１の実施の形態で説明した部分と同一部分は同一符号で示し、その説明は省略する。
　図６に示すように、レーザ距離測定器７Ｈは、レーザ光を出射して反射光を受光するレーザ部７ａ８及びレーザ部７ａ９と、出射されたレーザ光をレーザ部７ａ８及びレーザ部７ａ９に向けて反射する傾斜面Ｍを有する反射部７ｂ８とを備えている。
　レーザ部７ａ８は支持部材５Ａの端部、すなわち端面に設けられており、反射部７ｂ８の傾斜面Ｍに向けてレーザ光を出射してその傾斜面Ｍにより反射されたレーザ光である反射光を受光し、反射部７ｂ８との離間距離を測定する。
　レーザ部７ａ９は支持部材５Ｂの端部、すなわち端面に設けられており、前述のレーザ部７ａ８と同様、反射部７ｂ８の傾斜面Ｍに向けてレーザ光を出射してその傾斜面Ｍにより反射されたレーザ光である反射光を受光し、反射部７ｂ８との離間距離を測定する。
　反射部７ｂ８は、Ｙ軸移動機構６Ａの外側であってそのＹ軸移動機構６Ａに沿うように架台９上に設けられている。この反射部７ｂ８は、支持部材５Ａ及び支持部材５Ｂの移動方向、すなわちＹ軸方向の一方の端部から他方の端部にかけてその高さが徐々に（連続的に）低くなるように変化する傾斜面Ｍを有している。反射部７ｂ８としては、例えば鏡等を用いる。すなわち、反射部７ｂ８は、上記傾斜面Ｍ上に、この傾斜面Ｍと同寸法、同形状（四角形状）で均一な厚みを有するガラス製の鏡を設けた構造とすることができる。なお、反射部７ｂ８は、前述の平坦な傾斜面Ｍをステンレス等の金属で形成し、その傾斜面Ｍを鏡面加工することによって形成されても良い。
　制御部１０は、レーザ部７ａ８により測定された離間距離から支持部材５ＡのＹ軸方向の位置を把握し、さらに、レーザ部７ａ９により測定された離間距離から支持部材５ＢのＹ軸方向の位置を把握する。このとき、制御部１０は、支持部材５Ａ、５ＢのＹ軸方向の位置と離間距離との相対関係を示す距離情報を用いて、測定された離間距離から支持部材５Ａ、５ＢのＹ軸方向の位置を把握する。距離情報は記憶部に予め記憶されている。
　ここで、レーザ部７ａ８と反射部７ｂ８との離間距離の最大値、さらに、レーザ部７ａ９と反射部７ｂ８との離間距離の最大値は、第１の実施の形態（図１参照）におけるレーザ部７ａ１と反射部７ｂ１との離間距離の最大値、及び、レーザ部７ａ２と反射部７ｂ２との離間距離の最大値に比べて非常に小さくなっている。
　この離間距離の最大値が大きいほど、レーザ光の光路は長くなるため、レーザ光はダウンフローの風（空気）による悪影響を受けやすくなる。したがって、離間距離の最大値をできるだけ小さくすることによって、ダウンフローの風による悪影響が抑止されている。これにより、ダウンフローの風がレーザ光に悪影響を与えることが抑えられるので、レーザ光による離間距離の測定精度が低下してしまうことを防止することが可能となり、その結果、塗布精度を向上させることができる。
　以上説明したように、本発明の第４の実施の形態によれば、第１の実施の形態と同様の効果を得ることができる。さらに、支持部材５Ａの端部にレーザ部７ａ８を設け、支持部材５Ｂの端部にレーザ部７ａ９を設け、さらに、反射部７ｂ８をＹ軸移動機構６Ａに沿うように設けることによって、レーザ部７ａ８と反射部７ｂ８との離間距離の最大値及びレーザ部７ａ９と反射部７ｂ８との離間距離の最大値が、第１の実施の形態におけるレーザ部７ａ１と反射部７ｂ１との離間距離の最大値及びレーザ部７ａ２と反射部７ｂ２との離間距離の最大値に比べて小さくなるので、ダウンフローの風がレーザ光に悪影響を与えることが抑えられ、離間距離の測定精度が低下してしまうことを抑止することが可能となる。これにより、高い精度で位置制御を行うことができ、その結果、塗布精度を向上させることができる。
（第５の実施の形態）
　本発明の第５の実施の形態について図７を参照して説明する。本発明の第５の実施の形態では、第４の実施の形態と異なる部分について説明する。なお、第５の実施の形態においては、第４の実施の形態で説明した部分と同一部分は同一符号で示し、その説明は省略する。
　図７に示すように、支持部材５Ｂは、各塗布ヘッド３Ｃ、３Ｄを支持する門型（門形状）のコラムである。この支持部材５Ｂは、その延伸部がＸ軸方向に沿うように位置付けられ、その脚部がＹ軸移動機構６Ａ及びＹ軸移動機構６Ｂ上に設けられている。なお、支持部材５Ａも同様な構造に形成されている。
　レーザ部７ａ９は、Ｙ軸移動機構６Ａの内側、すなわち支持部材５Ｂの脚部の内側に設けられている。同様に、レーザ部７ａ８も支持部材５Ａの脚部の内側に設けられている。反射部７ｂ８は、Ｙ軸移動機構６Ａの内側であってそのＹ軸移動機構６Ａに沿うように架台９上に設けられている。
　また、覆い部材１３が、レーザ部７ａ９を含めそのレーザ部７ａ９から反射部７ｂ８までのレーザ光の光路を覆って支持部材５Ｂに支持部材５Ｂと共に移動可能に設けられている。特に、覆い部材１３は、レーザ部７ａ９及び反射部７ｂ８による離間距離の測定、さらに、支持部材５Ｂの移動を妨げないように形成されている。同様に、支持部材５Ａにもレーザ部７ａ８用の覆い部材１３が設けられている。
　レーザ部７ａ９用の覆い部材１３は、レーザ部７ａ９と反射部７ｂ８との間にダウンフローの風（空気）が通過することを抑止している。同様に、レーザ部７ａ８用の覆い部材１３も、レーザ部７ａ８と反射部７ｂ８との間にダウンフローの風（空気）が通過することを抑止している。これにより、ダウンフローの風がレーザ光に悪影響を与えることが抑えられるので、レーザ光による離間距離の測定精度が低下してしまうことを防止することが可能となり、その結果、塗布精度を向上させることができる。
　以上説明したように、本発明の第５の実施の形態によれば、第４の実施の形態と同様の効果を得ることができる。さらに、反射部７ｂ８をＹ軸移動機構６Ａの内側に設けた場合に、覆い部材１３を設けることによって、ダウンフローの風がレーザ光に悪影響を与えることが抑えられ、離間距離の測定精度が低下してしまうことを抑止することが可能となる。これにより、高い精度で位置制御を行うことができ、その結果、塗布精度を向上させることができる。
（第６の実施の形態）
　本発明の第６の実施の形態について図８を参照して説明する。本発明の第６の実施の形態では、第２の実施の形態と異なる部分について説明する。なお、第６の実施の形態においては、第２の実施の形態で説明した部分と同一部分は同一符号で示し、その説明は省略する。
　図８に示すように、レーザ距離測定器７Ｉは、レーザ光を出射して反射光を受光するレーザ部７ａ１０及びレーザ部７ａ１１と、出射されたレーザ光をレーザ部７ａ１０及びレーザ部７ａ１１に向けて反射する傾斜面Ｍを有する反射部７ｂ９とを備えている。
　レーザ部７ａ１０は塗布ヘッド３Ｃに連結部材１４ａにより連結されており、塗布ヘッド３ｃと共にＸ軸方向に移動する。このレーザ部７ａ１０は、反射部７ｂ９の傾斜面Ｍに向けてレーザ光を出射してその傾斜面Ｍにより反射されたレーザ光である反射光を受光し、反射部７ｂ９との離間距離を測定する。
　レーザ部７ａ１１は塗布ヘッド３Ｄに連結部材１４ｂにより連結されており、塗布ヘッド３Ｄと共にＸ軸方向に移動する。このレーザ部７ａ１１は、前述のレーザ部７ａ１０と同様、反射部７ｂ９の傾斜面Ｍに向けてレーザ光を出射してその傾斜面Ｍにより反射されたレーザ光である反射光を受光し、反射部７ｂ９との離間距離を測定する。
　反射部７ｂ９は、支持部材５Ｂの外側の面にその支持部材５Ｂの延伸方向に沿うように設けられている。この反射部７ｂ９は、支持部材５Ｂの延伸方向、すなわちＸ軸方向の一方の端部から他方の端部にかけてその高さが徐々に（連続的に）低くなるように変化する傾斜面Ｍを有している。反射部７ｂ９としては、例えば鏡等を用いる。すなわち、反射部７ｂ８は、上記傾斜面Ｍ上に、この傾斜面Ｍと同寸法、同形状（四角形状）で均一な厚みを有するガラス製の鏡を設けた構造とすることができる。なお、反射部７ｂ８は、前述の平坦な傾斜面Ｍをステンレス等の金属で形成し、その傾斜面Ｍを鏡面加工することによって形成されても良い。
　制御部１０は、レーザ部７ａ１０により測定された離間距離から塗布ヘッド３ＣのＸ軸方向の位置を把握し、さらに、レーザ部７ａ１１により測定された離間距離から塗布ヘッド３ＤのＸ軸方向の位置を把握する。このとき、制御部１０は、塗布ヘッド３Ｃ、３ＤのＸ軸方向の位置と離間距離との相対関係を示す距離情報を用いて、測定された離間距離から塗布ヘッド３Ｃ、３ＤのＸ軸方向の位置を把握する。距離情報は記憶部に予め記憶されている。
　ここで、レーザ部７ａ１０と反射部７ｂ９との離間距離の最大値、さらに、レーザ部７ａ１１と反射部７ｂ９との離間距離の最大値は、第２の実施の形態（図３参照）におけるレーザ部７ａ５と反射部７ｂ５との離間距離の最大値、及び、レーザ部７ａ６と反射部７ｂ６との離間距離の最大値に比べて非常に小さくなっている。
　この離間距離の最大値が大きいほど、レーザ光の光路は長くなるため、レーザ光はダウンフローの風（空気）による悪影響を受けやすくなる。したがって、離間距離の最大値をできるだけ小さくすることによって、ダウンフローの風による悪影響が抑止されている。これにより、ダウンフローの風がレーザ光に悪影響を与えることが抑えられるので、レーザ光による離間距離の測定精度が低下してしまうことを防止することが可能となり、その結果、塗布精度を向上させることができる。
　以上説明したように、本発明の第６の実施の形態によれば、第２の実施の形態と同様の効果を得ることができる。さらに、塗布ヘッド３Ｃにレーザ部７ａ１０を連結し、塗布ヘッド３Ｄにレーザ部７ａ１１を連結し、さらに、反射部７ｂ９を支持部材５Ｂに沿うように設けることによって、レーザ部７ａ１０と反射部７ｂ９との離間距離の最大値及びレーザ部７ａ１１と反射部７ｂ９との離間距離の最大値が、第２の実施の形態におけるレーザ部７ａ５と反射部７ｂ５との離間距離の最大値及びレーザ部７ａ６と反射部７ｂ６との離間距離の最大値に比べて小さくなるので、ダウンフローの風がレーザ光に悪影響を与えることが抑えられ、離間距離の測定精度が低下してしまうことを抑止することが可能となる。これにより、高い精度で位置制御を行うことができ、その結果、塗布精度を向上させることができる。
（他の実施の形態）
　なお、本発明は、前述の実施の形態に限るものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能である。
　例えば、前述の実施の形態においては、４つの塗布ヘッド３Ａ～３Ｄを支持部材５Ａ及び支持部材５Ｂにそれぞれ２つずつ設けているが、これに限るものではなく、６つの塗布ヘッドを支持部材５Ａ及び支持部材５Ｂにそれぞれ３つずつ設けてもよく、その数は限定されない。加えて、前述の実施の形態においては、２つの支持部材５Ａ及び支持部材５Ｂを設けているが、これに限るものではなく、その数は限定されない。
　また、前述の実施の形態においては、ペーストとしてシール性及び接着性を有するシール剤を用いているが、必ずしもシール性及び接着性を有する必要はなく、シール性及び接着性のいずれか一方のみを有するペースト等、他の性状を有するペーストであってもよい。
　また、前述の実施の形態においては、レーザ距離測定器７Ａ、７Ｂを支持部材５Ａ、５Ｂの一方の端部側に配置したが、これに限るものではなく、支持部材５Ａ、５Ｂの他方の端部側にも配置するようにしてもよい。このようにした場合、支持部材５Ａ、５Ｂの両端部において離間距離がそれぞれ測定されるので、支持部材５Ａ、５Ｂ毎に両端部の離間距離を比較して差を求めることにより、各支持部材５Ａ、５Ｂの水平面内での回転ずれの有無を検出することができる。そのため、支持部材５Ａ、５Ｂの回転ずれ有が検出された場合には、この回転ずれを打ち消すようにＹ軸移動機構６Ａ、６Ｂを制御すれば、支持部材５Ａ、５Ｂが回転ずれを生じたままの状態で支持部材５Ａ、５ＢがＹ軸方向に移動したり、支持部材５Ａ、５Ｂ上で塗布ヘッド３Ａ～３Ｄが移動したりすることが防止されるので、基板Ｋ上にペーストを所定の塗布パターンでより精度良く塗布することが可能となる。
　また、前述の実施の形態においては、基板ステージ２を架台９上に固定し、各塗布ヘッド３Ａ～３Ｄ、支持部材５Ａ及び支持部材５Ｂを移動させて、基板Ｋの表面にペーストを塗布するもので説明しているが、これに限るものではなく、基板ステージ２をＹ軸方向やＸ軸方向、θ方向（Ｘ軸及びＹ軸を含む平面での回転方向）等に移動可能に構成するようにしてもよく、例えば、基板ステージ２を支持部材５Ａ及び支持部材５Ｂの移動方向（Ｙ軸方向）と同じ方向に移動可能に構成してもよい。この場合には、基板Ｋと各塗布ヘッド３Ａ～３ＤとをＹ軸方向に相対移動させるときに、基板ステージ２と支持部材５Ａ、５Ｂとを互いに相反する方向に移動させれば、支持部材５Ａ、５Ｂのみの移動を行う場合に比べて、基板ステージ２及び支持部材５Ａ、５Ｂの移動速度を半分にすることができる。このため、基板ステージ２及び支持部材５Ａ、５Ｂの移動に伴う慣性力が小さくなるので、基板ステージ２及び支持部材５Ａ、５Ｂの加速あるいは減速に起因して生じる振動を低減させることができる。その結果、Ｙ軸方向に沿うペーストパターンの始端及び終端の形状や塗布方向が転換するペーストパターンのコーナー部の形状を所望の形状で精度良く塗布することが可能となり、品質の良い液晶表示パネルを製造することができる。
　また、前述の実施の形態においては、支持部材５Ａ、５Ｂまでの離間距離や塗布ヘッド３Ａ～３Ｅまでの離間距離を測定するレーザ距離測定器としてレーザ干渉測長器を用いた例で説明したが、他のレーザ距離測定器、例えば、反射部に向けてレーザ光を照射し、反射して戻ってくる時間によって、反射部までの距離を測定する方式のレーザ距離測定器を用いても良い。
　また、上述の第１の実施の形態においては、レーザ距離測定器７Ａのレーザ部７ａ１をＹ軸移動機構６Ａにおける支持部材５Ａ側の端部近傍に配置し、レーザ距離測定器７Ｂのレーザ部７ａ２をＹ軸移動機構６Ａにおける支持部材５Ｂ側の端部近傍に配置するものとしたが、それぞれのレーザ部７ａ１、７ａ２をＹ軸移動機構６Ａの一方の端部側に集中配置するようにしても良い。例えば、それぞれのレーザ部７ａ１、７ａ２をＹ軸移動機構６Ａにおける支持部材５Ａ側の端部近傍に配置する場合、架台９の上面にレーザ部７ａ１を配置し、その上にレーザ部７ａ２を配置して、２つのレーザ部７ａ１、７ａ２を高さを違えて配置し、それぞれの反射部７ｂ１、７ｂ２も各レーザ部７ａ１、７ａ２から照射される光路に対応させて高さを違えて支持部材５Ａ、５Ｂの底面に固定配置する。このように、それぞれのレーザ部７ａ１、７ａ２をＹ軸移動機構６Ａの一方の端部側に集中配置した場合、その端部側を作業者によるシール塗布装置の操作側とした場合には、各レーザ部７ａ１、７ａ２が作業者による操作側に配置されることとなるので、レーザ距離測定器７Ａ、７Ｂのメンテナンスを容易に行なうことが可能となる。このため、レーザ距離測定器７Ａ、７Ｂによる距離測定精度を安定して維持することが可能となる。
産業上の利用の可能性
　以上、本発明の実施の形態を説明したが、具体例を例示したに過ぎず、特に本発明を限定するものではなく、各部の具体的構成等は、適宜変更可能である。また、実施形態に記載された作用及び効果は、本発明から生じる最も好適な作用及び効果を列挙したに過ぎず、本発明による作用及び効果は、本発明の実施形態に記載されたものに限定されるものではない。本発明は、例えば、塗布対象物にペーストを塗布する塗布装置や塗布方法、また、表示パネルを製造する製造装置や製造方法等で用いられる。

Claims (12)

  1. 　塗布対象物にペーストを塗布する塗布ヘッドと、
    　前記塗布ヘッドを支持する支持部材と、
    　前記支持部材を前記塗布対象物の表面に沿うように移動させる移動機構と、
    　前記支持部材に設けられた反射部と、
    　前記反射部に向けて前記支持部材の移動方向にレーザ光を出射し、前記反射部により反射されたレーザ光である反射光を受光し、前記反射部との離間距離を測定するレーザ部と、
    　前記レーザ部により測定された前記離間距離に基づいて、前記塗布対象物上にペーストパターンを描画するように前記塗布ヘッド及び前記移動機構を制御する制御部と、
    を備えることを特徴とするペースト塗布装置。
  2. 　塗布対象物にペーストを塗布する塗布ヘッドと、
    　前記塗布ヘッドを支持する支持部材と、
    　前記支持部材を前記塗布対象物の表面に沿うように移動させる移動機構と、
    　前記支持部材の移動方向に沿って徐々に高さが変化する傾斜面を有する反射部と、
    　前記支持部材に設けられ、前記傾斜面に向けてレーザ光を出射して前記傾斜面により反射されたレーザ光である反射光を受光し、前記反射部との離間距離を測定するレーザ部と、
    　前記レーザ部により測定された前記離間距離に基づいて、前記塗布対象物上にペーストパターンを描画するように前記塗布ヘッド及び前記移動機構を制御する制御部と、
    を備えることを特徴とするペースト塗布装置。
  3. 　塗布対象物にペーストを塗布する塗布ヘッドと、
    　前記塗布ヘッドを支持する支持部材と、
    　前記塗布ヘッドを前記支持部材に沿うように移動させる移動機構と、
    　前記塗布ヘッドに設けられた反射部と、
    　前記反射部に向けて前記塗布ヘッドの移動方向にレーザ光を出射し、前記反射部により反射されたレーザ光である反射光を受光し、前記反射部との離間距離を測定するレーザ部と、
    　前記レーザ部により測定された前記離間距離に基づいて、前記塗布対象物上にペーストパターンを描画するように前記塗布ヘッド及び前記移動機構を制御する制御部と、
    を備えることを特徴とするペースト塗布装置。
  4. 　塗布対象物にペーストを塗布する塗布ヘッドと、
    　前記塗布ヘッドを支持する支持部材と、
    　前記塗布ヘッドを前記支持部材に沿うように移動させる移動機構と、
    　前記支持部材に設けられ、前記塗布ヘッドの移動方向に沿って徐々に高さが変化する傾斜面を有する反射部と、
    　前記塗布ヘッドに連結され、前記傾斜面に向けてレーザ光を出射して前記傾斜面により反射されたレーザ光である反射光を受光し、前記反射部との離間距離を測定するレーザ部と、
    　前記レーザ部により測定された前記離間距離に基づいて、前記塗布対象物上にペーストパターンを描画するように前記塗布ヘッド及び前記移動機構を制御する制御部と、
    を備えることを特徴とするペースト塗布装置。
  5. 　気温、湿度及び気圧を検出する環境検出器をさらに備え、
    　前記制御部は、前記環境検出器により検出された前記気温、前記湿度及び前記気圧に基づいて、前記レーザ部により測定された前記離間距離を補正し、補正した前記離間距離に基づいて前記塗布ヘッド及び前記移動機構を制御することを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一に記載のペースト塗布装置。
  6. 　前記移動機構は、前記支持部材の両端部を支持して前記支持部材を移動させる一対の移動機構により構成されており、
    　前記反射部は前記一対の移動機構の内側であって前記支持部材に設けられており、
    　前記塗布対象物側と前記レーザ部から出射されるレーザ光の光路側とを仕切る覆い部材をさらに備えることを特徴とする請求項１記載のペースト塗布装置。
  7. 　前記移動機構は、前記支持部材の両端部を支持して前記支持部材を移動させる一対の移動機構により構成されており、
    　前記レーザ部は前記一対の移動機構の内側であって前記支持部材に設けられており、
    　前記支持部材と共に移動可能に前記支持部材に設けられ、前記塗布対象物側と前記レーザ部から出射されるレーザ光の光路側とを仕切る覆い部材をさらに備えることを特徴とする請求項２記載のペースト塗布装置。
  8. 　塗布対象物にペーストを塗布する塗布ヘッドと、前記塗布ヘッドを支持する支持部材と、前記支持部材を前記塗布対象物の表面に沿うように移動させる移動機構と、前記支持部材に設けられた反射部と、前記反射部に向けて前記支持部材の移動方向にレーザ光を出射するレーザ部とを備えるペースト塗布装置を用いて、
    　前記レーザ部により、前記反射部にレーザ光を照射して前記反射部により反射されたレーザ光である反射光を受光し、前記反射部との離間距離を測定する工程と、
    　測定した前記離間距離に基づいて前記塗布ヘッド及び前記移動機構を制御し、前記塗布対象物上にペーストパターンを描画する工程と、
    を有することを特徴とするペースト塗布方法。
  9. 　塗布対象物にペーストを塗布する塗布ヘッドと、前記塗布ヘッドを支持する支持部材と、前記支持部材を前記塗布対象物の表面に沿うように移動させる移動機構と、前記支持部材の移動方向に沿って徐々に高さが変化する傾斜面を有する反射部と、前記支持部材に設けられ、前記傾斜面に向けてレーザ光を出射するレーザ部とを備えるペースト塗布装置を用いて、
    　前記レーザ部により、前記傾斜面にレーザ光を照射して前記傾斜面により反射されたレーザ光である反射光を受光し、前記反射部との離間距離を測定する工程と、
    　測定した前記離間距離に基づいて前記塗布ヘッド及び前記移動機構を制御し、前記塗布対象物上にペーストパターンを描画する工程と、
    を有することを特徴とするペースト塗布方法。
  10. 　塗布対象物にペーストを塗布する塗布ヘッドと、前記塗布ヘッドを支持する支持部材と、前記塗布ヘッドを前記支持部材に沿うように移動させる移動機構と、前記塗布ヘッドに設けられた反射部と、前記反射部に向けて前記塗布ヘッドの移動方向にレーザ光を出射するレーザ部とを備えるペースト塗布装置を用いて、
    　前記レーザ部により、前記反射部にレーザ光を照射して前記反射部により反射されたレーザ光である反射光を受光し、前記反射部との離間距離を測定する工程と、
    　測定した前記離間距離に基づいて前記塗布ヘッド及び前記移動機構を制御し、前記塗布対象物上にペーストパターンを描画する工程と、
    を有することを特徴とするペースト塗布方法。
  11. 　塗布対象物にペーストを塗布する塗布ヘッドと、前記塗布ヘッドを支持する支持部材と、前記塗布ヘッドを前記支持部材に沿うように移動させる移動機構と、前記支持部材に設けられ、前記塗布ヘッドの移動方向に沿って徐々に高さが変化する傾斜面を有する反射部と、前記塗布ヘッドに連結され、前記傾斜面に向けてレーザ光を出射するレーザ部とを備えるペースト塗布装置を用いて、
    　前記レーザ部により、前記傾斜面にレーザ光を照射して前記傾斜面により反射されたレーザ光である反射光を受光し、前記反射部との離間距離を測定する工程と、
    　測定した前記離間距離に基づいて前記塗布ヘッド及び前記移動機構を制御し、前記塗布対象物上にペーストパターンを描画する工程と、
    を有することを特徴とするペースト塗布方法。
  12. 　気温、湿度及び気圧を検出する工程をさらに有し、
    　前記制御する工程では、検出した前記気温、前記湿度及び前記気圧に基づいて前記離間距離を補正し、補正した前記離間距離に基づいて前記塗布ヘッド及び前記移動機構を制御することを特徴とする請求項８ないし１１のいずれか一に記載のペースト塗布方法。
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