KR20170137253A - 위치 조절 장치 및 이를 구비한 페이스트 디스펜서 - Google Patents

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KR20170137253A
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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 페이스트 디스펜서는, 주변의 온도 및/또는 습도의 변화에 상관없이, 페이스트를 대상 기판의 정확한 위치에 적합한 패턴으로 도포하기 위한 것으로, 미리 정해진 온도 및/또는 습도 조건에서 가동 부재가 실제로 이동한 실제 이동 거리와 스케일 센서가 리니어 스케일의 눈금을 판독하는 것에 의해 얻어진 계측 이동 거리 간의 비율인 보상 비율을 산출하는 산출 수단과, 산출 수단에 의해 산출된 복수의 보상 비율을 복수의 온도 및/또는 습도 조건에 따른 매핑 데이터로 저장하는 저장 수단과, 저장 수단에 저장된 매핑 데이터를 기준으로 현재의 온도 및/또는 습도 조건에 맞는 보상 비율을 획득하고 획득된 보상 비율을 기준으로 보상 거리를 산출하는 보상 수단과, 보상 수단에 의해 산출된 보상 거리만큼 가동 부재가 추가적으로 이동하도록 상기 이동 장치를 제어하는 구동 수단을 포함하는 제어 유닛을 포함할 수 있다.

Description

위치 조절 장치 및 이를 구비한 페이스트 디스펜서{POSITION ADJUSTMENT DEVICE AND PASTE DISPENSER HAVING THE SAME}
본 발명은 기판에 페이스트를 도포하는 페이스트 디스펜서에 관한 것이다.
일반적으로, 액정 패널을 제조하는 과정에서는, 기판 사이의 간격을 유지하고 기판 사이에 채워진 액정이 외부로 새는 것을 방지하기 위하여, 적어도 어느 하나의 기판에 페이스트를 소정의 패턴으로 도포한다.
기판에 페이스트 패턴을 형성하기 위하여 페이스트 디스펜서라는 장비가 사용되고 있다. 페이스트 디스펜서는, 프레임 상에 배치되며 기판을 지지하는 스테이지와, 페이스트가 수용되는 시린지 및 시린지와 연통되는 노즐을 구비하는 디스펜싱 헤드 유닛과, 디스펜싱 헤드 유닛을 지지하는 디스펜싱 헤드 유닛 지지 프레임으로 구성된다.
이러한 페이스트 디스펜서는 노즐과 기판 사이의 상대 위치를 변화시켜가면서 기판 상에 페이스트 패턴을 형성한다. 즉, 페이스트 디스펜서는, 디스펜싱 헤드유닛에 장착된 노즐을 수직 방향으로 이동시켜 노즐과 기판 사이의 갭을 일정하게 조절하면서, 노즐 및/또는 기판을 수평 방향으로 이동시키고, 노즐로부터 페이스트를 토출시켜 기판 상에 페이스트 패턴을 형성한다.
한편, 디스펜싱 헤드 유닛과 디스펜싱 헤드 유닛 지지 프레임은 볼 스크류 장치나 리니어 모터와 같은 직선 이동 기구에 의해 이동되도록 구성되며, 이러한 디스펜싱 헤드 유닛과 디스펜싱 헤드 유닛 지지 프레임의 위치를 제어하기 위해 리니어 스케일이 사용된다. 일반적으로, 리니어 스케일로서 금속제의 리니어 스케일이 사용되는데, 이러한 금속제의 리니어 스케일은 주변의 온도나 습도에 따라 신축되는 성질을 갖는다. 그러나, 종래의 경우에는, 주변의 온도나 습도에 의해 리니어 스케일이 신축되는 경우에도, 이를 기준으로 디스펜싱 헤드 유닛과 디스펜싱 헤드 유닛 지지 프레임의 위치를 제어하였으므로, 디스펜싱 헤드 유닛과 디스펜싱 헤드 유닛 지지 프레임의 위치 정밀도가 저하되는 문제점이 있다. 그리고, 디스펜싱 헤드 유닛과 디스펜싱 헤드 유닛 지지 프레임의 위치 정밀도의 저하로 인해, 대상 기판에 적합하지 않은 패턴으로 페이스트가 도포되는 문제가 발생할 수 있다.
더욱이, 페이스트 디스펜서에 의해 페이스트가 도포되는 대상 기판이 대형화됨에 따라, 디스펜싱 헤드 유닛과 디스펜싱 헤드 유닛 지지 프레임이 이동하는 거리가 길어지는 경우에는, 리니어 스케일의 길이도 길어지게 된다. 이와 같이, 리니어 스케일의 길이가 길어지는 경우에는, 주변의 온도 및/또는 습도에 의해 리니어 스케일이 신축하는 정도가 심해져, 상기한 문제가 더욱 심각해지는 문제가 있다.
대한민국 공개특허번호 제2012-0069141호
본 발명의 목적은, 리니어 스케일이 주변의 온도 및/또는 습도의 변화에 따라 신축하는 경우에도, 온도 및/또는 습도의 변화에 영향 없이 가동 부재를 원하는 거리만큼 정확하게 이동시켜, 주변의 온도 및/또는 습도의 변화에 상관없이 페이스트를 대상 기판의 정확한 위치에 적합한 패턴으로 도포할 수 있는 페이스트 디스펜서를 제공하는 데에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 페이스트 디스펜서는, 페이스트가 토출되는 노즐을 기판에 대하여 상대적으로 이동시키는 가동 부재; 가동 부재를 이동 가능하게 지지하는 지지 부재; 가동 부재를 이동시키는 이동 장치; 지지 부재에 가동 부재의 이동 방향으로 연장되게 설치되는 리니어 스케일; 가동 부재에 설치되며 리니어 스케일에 형성된 눈금을 판독하는 스케일 센서; 및 미리 정해진 온도 및/또는 습도 조건에서 가동 부재가 실제로 이동한 실제 이동 거리와 스케일 센서가 리니어 스케일의 눈금을 판독하는 것에 의해 얻어진 계측 이동 거리 간의 비율인 보상 비율을 산출하는 산출 수단과, 산출 수단에 의해 산출된 복수의 보상 비율을 복수의 온도 및/또는 습도 조건에 따른 매핑 데이터로 저장하는 저장 수단과, 저장 수단에 저장된 매핑 데이터를 기준으로 현재의 온도 및/또는 습도 조건에 맞는 보상 비율을 획득하고 획득된 보상 비율을 기준으로 보상 거리를 산출하는 보상 수단과, 보상 수단에 의해 산출된 보상 거리만큼 가동 부재가 추가적으로 이동하도록 이동 장치를 제어하는 구동 수단을 포함하는 제어 유닛을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 페이스트 디스펜서에 따르면, 리니어 스케일이 주변의 온도 및/또는 습도의 변화에 따라 신축하는 경우에도, 온도 및/또는 습도의 변화에 영향 없이 가동 부재가 원하는 거리로 정확하게 이동될 수 있다. 따라서, 주변의 온도 및/또는 습도의 변화에 상관없이 페이스트가 대상 기판의 정확한 위치에 적합한 패턴으로 도포될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 페이스트 디스펜서가 개략적으로 도시된 사시도이다.
도 2는 도 1의 페이스트 디스펜서에 구비되는 리니어 스케일 및 스케일 센서가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 3은 온도 변화에 따른 계측 이동 거리와 실제 이동 거리의 상관 관계가 개략적으로 도시된 그래프이다.
도 4는 습도 변화에 따른 계측 이동 거리와 실제 이동 거리의 상관 관계가 개략적으로 도시된 그래프이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 페이스트 디스펜서에 대하여 설명한다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 페이스트 디스펜서는, 프레임(10)과, 프레임(10) 상에 설치되며 기판(S)이 탑재되는 스테이지(20)와, 스테이지(20)의 양측에 설치되고 Y축 방향으로 연장되는 한 쌍의 가이드 레일(30)과, 한 쌍의 가이드 레일(30)에 양단이 지지되어 스테이지(20)의 상부에 설치되고 X축 방향으로 연장되는 디스펜싱 헤드 유닛 지지 프레임(40)과, 디스펜싱 헤드 유닛 지지 프레임(40)에 X축 방향으로 이동이 가능하게 설치되며 노즐(53)이 구비되는 디스펜싱 헤드 유닛(50)과, 페이스트의 도포를 위하여 각 구성의 동작을 제어하는 제어 유닛(80)을 포함할 수 있다.
프레임(10)에는, 스테이지(20)를 X축 방향으로 이동시키는 X축 테이블(21)과 스테이지(20)를 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 테이블(22)이 설치될 수 있다. 이에 따라, 스테이지(20)는 X축 테이블(21) 및 Y축 테이블(22)에 의하여 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동될 수 있다. 물론, X축 테이블(21) 및 Y축 테이블(22) 중 어느 하나만이 적용되어, 스테이지(20)를 X축 방향 및 Y축 방향 중 어느 한 쪽 방향으로만 이동시키는 구성이 적용될 수 있다.
디스펜싱 헤드 유닛 지지 프레임(40)의 양단에는 가이드 레일(30)과 연결되는 가동자(41)가 설치될 수 있다. 가이드 레일(30)과 가동자(41)의 상호작용에 의하여 디스펜싱 헤드 유닛 지지 프레임(40)이 가이드 레일(30)의 길이 방향, 즉, Y축 방향으로 이동될 수 있다. 이에 따라, 디스펜싱 헤드 유닛(50)은 디스펜싱 헤드 유닛 지지 프레임(40)의 Y축 방향으로의 이동에 의하여 Y축 방향으로 이동될 수 있다.
디스펜싱 헤드 유닛 지지 프레임(40)에는 X축 방향으로 배치되는 헤드 이동 가이드(42)가 설치될 수 있고, 디스펜싱 헤드 유닛(50)에는 디스펜싱 헤드 유닛 지지 프레임(40)의 헤드 이동 가이드(42)와 연결되는 헤드 이동 장치(51)가 설치될 수 있다. 헤드 이동 가이드(42)와 헤드 이동 장치(51)의 상호 작용에 의하여 디스펜싱 헤드 유닛(50)이 디스펜싱 헤드 유닛 지지 프레임(40)의 길이 방향, 즉, X축 방향으로 이동될 수 있다.
이와 같이, 디스펜싱 헤드 유닛(50)은 X축 및 Y축으로 규정되는 XY 장비 좌표계에 따라 X축 방향 및/또는 Y축 방향으로 이동될 수 있다.
한편, 본 발명의 실시예에 따른 페이스트 디스펜서에서는, 디스펜싱 헤드 유닛(50)이 정지된 상태에서 스테이지(20)가 이동되거나, 스테이지(20)가 정지된 상태에서 디스펜싱 헤드 유닛(50)이 이동되면서 기판(S) 상에 페이스트(P)가 도포될 수 있다. 이하, 이와 같은 스테이지(20)와 디스펜싱 헤드 유닛(50)의 상대 이동을 기판(S)에 대한 노즐(53)의 상대 이동이라 정의한다.
디스펜싱 헤드 유닛 지지 프레임(40)에는 디스펜싱 헤드 유닛(50)이 이동하는 방향(X축 방향)으로 리니어 스케일(61)이 설치된다. 또한, 프레임(10)에는 디스펜싱 헤드 유닛 지지 프레임(40)이 이동하는 방향(Y축 방향)으로 리니어 스케일(61)이 설치된다.
도 2에 도시된 바와 같이, 리니어 스케일(61)은 대략적으로 띠 형상을 갖는다. 그리고, 리니어 스케일(61)에는 소정의 피치로 눈금(62)이 배치된다.
또한, 디스펜싱 헤드 유닛(50) 및 디스펜싱 헤드 유닛 지지 프레임(40)에는 리니어 스케일(61)의 눈금(62)을 판독하기 위한 스케일 센서(63)가 장착된다. 스케일 센서(63)는, 예를 들면, 발광 소자와 수광 소자로 구성되어, 리니어 스케일(61)에 광을 조사한 후, 리니어 스케일(61)로부터 광이 반사되는지 여부 또는 리니어 스케일(61)로부터 반사되는 광량 등을 판단함으로써, 눈금(62)의 위치를 판독하도록 구성될 수 있다. 다만, 본 발명은 이러한 리니어 스케일(61)에 한정되지 않으며, 리니어 스케일(61)로서, 공지된 광전식 인코더, 자기식 인코더, 전자유도식 인코더, 용량식 인코더 등이 사용될 수 있다.
스케일 센서(63)은 디스펜싱 헤드 유닛(50) 및 디스펜싱 헤드 유닛 지지 프레임(40)의 이동에 따라 리니어 스케일(61)을 따라 이동하면서 리니어 스케일(61)의 눈금(62)을 판독하여, 디스펜싱 헤드 유닛(50) 및 디스펜싱 헤드 유닛 지지 프레임(40)이 이동한 거리, 디스펜싱 헤드 유닛(50) 및 디스펜싱 헤드 유닛 지지 프레임(40)의 현재의 위치 등을 계측하도록 구성된다.
디스펜싱 헤드 유닛(50) 및 디스펜싱 헤드 유닛 지지 프레임(40)은 기판에 대하여 노즐(53)을 상대적으로 이동시키는 장치이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 스케일 센서(63)가 설치되는 디스펜싱 헤드 유닛(50) 및 디스펜싱 헤드 유닛 지지 프레임(40)을 가동 부재(71)라 정의한다. 또한, 가동 부재(71)를 이동 가능하게 지지하며 리니어 스케일(61)이 설치되는 디스펜싱 헤드 유닛 지지 프레임(40) 및 프레임(10)을 지지 부재(72)이라 정의한다. 또한, 디스펜싱 헤드 유닛 지지 프레임(40)을 이동시키는 가동자(41) 및 디스펜싱 헤드 유닛(50)을 이동시키는 헤드 이동 장치(51)를 이동 장치(73)라 정의한다.
여기에서, 가동 부재(71)가 디스펜싱 헤드 유닛(50) 및 디스펜싱 헤드 유닛 지지 프레임(40)인 것에만 한정되지 않고, 스테이지(20)를 이동시키는 X축 테이블(21) 및 Y축 테이블(22)도 가동 부재(71)가 될 수 있다. 이와 같은 경우, X축 테이블(21) 및 Y축 테이블(22)을 지지하는 프레임(10)이 지지 부재(72)가 될 수 있다.
한편, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 리니어 스케일(61)은 주변의 온도(T, T1, T2) 및 습도(H, H1, H2)의 변화에 따라 신축된다. 즉, 리니어 스케일(61)은 온도에 대한 온도 신축율과 습도에 대한 습도 신축율을 갖는다. 즉, 주위의 온도가 증가할수록 리니어 스케일(61)이 신장되며, 주위의 습도가 증가할수록 리니어 스케일(61)이 신장된다. 반대로, 주위의 온도가 감소할수록 리니어 스케일(61)이 수축되며, 주위의 습도가 감소할수록 리니어 스케일(61)이 수축한다.
이와 같이, 주변의 온도(T) 및/또는 습도(H)의 변화에 따라 리니어 스케일(61)이 신축하면, 스케일 센서(63)가 리니어 스케일(61)의 눈금(62)을 판독하는 것에 의해 얻어진 계측 이동 위치(B)와 가동 부재(71)가 실제로 이동한 실제 이동 거리(A1, A, A2) 사이에 차이가 발생한다.
따라서, 본 발명의 실시예는 주변의 온도 및/또는 습도의 변화에 따라 리니어 스케일(61)이 신축하는 경우에도, 이러한 리니어 스케일(61)의 신축에 영향 없이, 원하는 거리로 가동 부재(71)를 이동시켜, 페이스트가 대상 기판의 정확한 위치에 적합한 패턴으로 도포될 수 있도록 한다.
따라서, 본 발명의 실시예에 따른 페이스트 디스펜서는 위치 조절 장치를 구비하며, 위치 조절 장치는 페이스트가 토출되는 노즐(53)을 기판에 대하여 상대적으로 이동시키는 가동 부재(71)와, 가동 부재(71)를 이동 가능하게 지지하는 지지 부재(72)와, 가동 부재(71)를 이동시키는 이동 장치(73)와, 지지 부재(72)에 가동 부재(71)의 이동 방향으로 연장되게 설치되는 리니어 스케일(61)과, 가동 부재(71)에 설치되어 리니어 스케일(61)에 형성된 눈금(62)을 판독하는 스케일 센서(73)를 포함하고, 미리 정해진 온도 및/또는 습도 조건에서 가동 부재(71)가 실제로 이동한 실제 이동 거리(A)와 스케일 센서(73)가 리니어 스케일(61)의 눈금(62)을 판독하는 것에 의해 얻어진 계측 이동 거리(B) 간의 비율인 보상 비율(R=A/B)을 산출하는 산출 수단(81)과, 산출 수단(81)에 의해 산출된 복수의 보상 비율(R)을 복수의 온도 및/또는 습도 조건에 따른 매핑 데이터로 저장하는 저장 수단(82)과, 저장 수단(82)에 저장된 매핑 데이터를 기준으로 현재의 온도 및/습도 조건에 맞는 보상 비율(R)을 획득하고 획득된 보상 비율(R)을 기준으로 보상 거리(C)를 산출하는 보상 수단(83)과, 보상 수단(83)에 의해 산출된 보상 거리(C)만큼 가동 부재(71)가 추가적으로 이동하도록 이동 장치(73)를 제어하는 구동 수단(84)을 포함하는 제어 유닛(80)을 포함할 수 있다.
여기에서, 실제 이동 거리(A)는 복수의 온도 및 습도 조건에서 가동 부재(71)가 실제로 이동한 복수의 실제 이동 거리(A)이다. 예를 들면, 가동 부재(71)와 지지 부재(72) 사이에 레이저 측정 장치를 설치한다. 즉, 가동 부재(71)와 지지 부재(72) 중 어느 하나에 레이저를 발광하고 수광하는 발광부 및 수광부를 설치하고, 다른 하나에 레이저를 반사하는 반사부를 설치하여, 발광부에서 발광되고 반사부에서 반사된 후 수광부에 수광되는 레이저를 분석함으로써, 가동 부재(71)의 실제 이동 거리(A)를 측정할 수 있다. 다른 예로서, 가동 부재(71)의 이동 과정에서 가동 부재(71)를 촬상하고, 촬상된 가동 부재(71)의 이미지를 분석하는 것을 통하여 가동 부재(71)의 실제 이동 거리(A)를 측정할 수 있다.
계측 이동 거리(B)는 복수의 온도 및 습도 조건에서 가동 부재(71)가 이동한 경우, 해당 리니어 스케일(61)을 이용하여 측정된 가동 부재(71)의 이동 거리이다.
저장 수단(82)은, 복수의 온도 조건, 복수의 습도 조건 또는 복수의 온도 및 습도 조건에 따른 계측 이동 거리(B)에 대한 실제 이동 거리(A)의 비율인 보상 비율(R)을 매핑 데이터로서 저장한다.
예를 들면, 보상 수단(83)은 아래의 식을 사용하여 보상 거리(C)를 산출한다.
보상 거리(C) = 계측 이동 거리(B) - 계측 이동 거리(B) x 보상 비율(R)
구동 수단(84)은 이동 장치(73)를 제어하여 보상 수단(83)에 의해 산출된 보상 거리(C)에 계측 이동 거리(B)를 더한 거리로 가동 부재(71)를 이동시킨다.
예를 들면, 온도가 증가하는 경우에는, 리니어 스케일(61)의 열팽창으로 인해, 실제 이동 거리(A)는 계측 이동 거리(B)에 비하여 커지게 되며, 이에 따라, 보상 비율(R)은 1보다 크다. 이 경우, 보상 거리(C)는 음의 값을 가지게 된다. 따라서, 가동 부재(71)가 이동되어야 하는 거리는 계측 이동 거리(B)에 비하여 작은 거리가 된다. 또한, 예를 들어, 온도가 감소하는 경우에는, 리니어 스케일(61)의 열수축으로 인해, 실제 이동 거리(A)는 계측 이동 거리(B)에 비하여 작아지게 되며, 이에 따라, 보상 비율(R)은 1보다 작다. 이 경우, 보상 거리(C)는 양의 값을 가지게 된다. 따라서, 가동 부재(71)가 이동되어야 하는 거리는 계측 이동 거리(B)에 비하여 큰 거리가 된다.
따라서, 본 발명의 실시예에 따른 페이스트 디스펜서에 따르면, 리니어 스케일(61)이 주변의 온도 및/또는 습도의 변화에 따라 신축하는 경우에도, 온도 및/또는 습도의 변화에 영향 없이, 가동 부재(71)를 원하는 거리로 정확하게 이동시킬 수 있다. 따라서, 주변의 온도 및/또는 습도의 변화에 상관없이 페이스트가 대상 기판의 정확한 위치에 적합한 패턴으로 도포될 수 있다.
한편, 본 발명의 실시예에 따른 위치 조절 장치는, 페이스트 디스펜서뿐만 아니라, 지지 부재에 대한 가동 부재의 위치를 조절하면서 가동 부재를 이동시키는 다양한 장치에 적용될 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.
10: 프레임 40: 디스펜싱 헤드 유닛 지지 프레임
50: 디스펜싱 헤드 유닛 61: 리니어 스케일
62: 눈금 63: 스케일 센서
71: 가동 부재 72: 지지 부재
73: 이동 장치 80: 제어 유닛
81: 산출 수단 82: 저장 수단
83: 보상 수단 84: 구동 수단

Claims (4)

  1. 페이스트가 토출되는 노즐을 기판에 대하여 상대적으로 이동시키는 가동 부재;
    상기 가동 부재를 이동 가능하게 지지하는 지지 부재;
    상기 가동 부재를 이동시키는 이동 장치;
    상기 지지 부재에 상기 가동 부재의 이동 방향으로 연장되게 설치되는 리니어 스케일;
    상기 가동 부재에 설치되며 상기 리니어 스케일에 형성된 눈금을 판독하는 스케일 센서; 및
    미리 정해진 온도, 습도, 또는 온도 및 습도 조건에서 상기 가동 부재가 실제로 이동한 실제 이동 거리와 상기 스케일 센서가 상기 리니어 스케일의 눈금을 판독하는 것에 의해 얻어진 계측 이동 거리 간의 비율인 보상 비율을 산출하는 산출 수단과, 상기 산출 수단에 의해 산출된 복수의 보상 비율을 복수의 온도, 습도, 또는 온도 및 습도 조건에 따른 매핑 데이터로 저장하는 저장 수단과, 상기 저장 수단에 저장된 매핑 데이터를 기준으로 현재의 온도, 습도, 또는 온도 및 습도 조건에 맞는 보상 비율을 획득하고 획득된 보상 비율을 기준으로 보상 거리를 산출하는 보상 수단과, 상기 보상 수단에 의해 산출된 보상 거리만큼 가동 부재가 추가적으로 이동하도록 상기 이동 장치를 제어하는 구동 수단을 포함하는 제어 유닛을 포함하는 페이스트 디스펜서.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 보상 비율은 계측 이동 거리에 대한 실제 이동 거리의 비율이고,
    상기 보상 거리는 아래의 식을 통하여 산출되는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서,
    보상 거리 = 계측 이동 거리 - 계측 이동 거리 x 보상 비율.
  3. 지지 부재에 이동 가능하게 설치되는 가동 부재에 설치되는 스케일 센서;
    상기 지지 부재에 상기 가동 부재의 이동 방향으로 연장되게 설치되는 리니어 스케일;
    상기 가동 부재를 이동시키는 이동 장치; 및
    미리 정해진 온도, 습도, 또는 온도 및 습도 조건에서 상기 가동 부재가 실제로 이동한 실제 이동 거리와 상기 스케일 센서가 상기 리니어 스케일의 눈금을 판독하는 것에 의해 얻어진 계측 이동 거리 간의 비율인 보상 비율을 산출하는 산출 수단과, 상기 산출 수단에 의해 산출된 복수의 보상 비율을 복수의 온도, 습도, 또는 온도 및 습도 조건에 따른 매핑 데이터로 저장하는 저장 수단과, 상기 저장 수단에 저장된 매핑 데이터를 기준으로 현재의 온도, 습도, 또는 온도 및 습도 조건에 맞는 보상 비율을 획득하고 획득된 보상 비율을 기준으로 보상 거리를 산출하는 보상 수단과, 상기 보상 수단에 의해 산출된 보상 거리만큼 가동 부재가 추가적으로 이동하도록 상기 이동 장치를 제어하는 구동 수단을 포함하는 제어 유닛을 포함하는 위치 조절 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 보상 비율은 계측 이동 거리에 대한 실제 이동 거리의 비율이고,
    상기 보상 거리는 아래의 식을 통하여 산출되는 것을 특징으로 하는 위치 조절 장치,
    보상 거리 = 계측 이동 거리 - 계측 이동 거리 x 보상 비율.
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