KR20100103684A - 페이스트 도포 장치 및 페이스트 도포 방법 - Google Patents

페이스트 도포 장치 및 페이스트 도포 방법 Download PDF

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Abstract

페이스트 도포 장치(1)에 있어서, 도포 대상물(K)에 페이스트를 도포하는 도포 헤드(3A)와, 도포 헤드(3A)를 지지하는 지지 부재(5A)와, 지지 부재(5A)를 도포 대상물(K)의 표면을 따르도록 이동시키는 이동 기구(6A, 6B)와, 지지 부재(5A)의 이동 방향에 있어서의 지지 부재(5A)까지의 이간 거리를 레이저광에 의해 측정하는 레이저 거리 측정기(7A)와, 측정된 이간 거리에 기초하여 도포 대상물(K) 상에 페이스트 패턴을 묘화하도록 도포 헤드(3A) 및 이동 기구(6A, 6B)를 제어하는 제어부(10)를 구비한다.

Description

페이스트 도포 장치 및 페이스트 도포 방법{PASTE APPLYING APPARATUS AND PASTE APPLYING METHOD}
본 발명은, 도포 대상물에 페이스트를 도포하는 페이스트 도포 장치 및 페이스트 도포 방법에 관한 것이다.
페이스트 도포 장치는, 액정 표시 패널 등의 여러가지 장치를 제조하기 위해서 이용되고 있다. 이 페이스트 도포 장치는, 도포 대상물에 대해서 페이스트를 도포하는 도포 헤드를 구비하고 있고, 그 도포 헤드를 이동시키면서 도포 대상물에 페이스트를 도포하고, 도포 대상물 상에 소정의 페이스트 패턴을 형성한다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조). 특히, 액정 표시 패널의 제조에서는, 2매의 기판을 붙이기 위해서, 페이스트 도포 장치는, 도포 대상물인 기판에 대해서 액정 표시 패널의 표시 영역을 둘러싸도록, 시일제 등의 시일성 및 접착성을 가지는 페이스트를 도포한다.
이러한 페이스트 도포 장치는, 도포 헤드를 지지하는 칼럼이나 그 칼럼을 따라 이동 가능한 도포 헤드가, 볼 나사를 이용한 이동 기구도 리니어 모터를 이용한 이동 기구에 의해 각각 이동하도록 구성되어 있다. 이 때, 칼럼이나 도포 헤드의 위치 제어는 리니어 스케일을 이용하여 행해지고 있다. 이 리니어 스케일로서는, 열에 의한 변형을 피하기 위해서, 열팽창계수가 작은 유리 스케일을 이용하는 것이 가능하다. 그런데, 근래의 기판의 대형화에 따라 동작 스트로크(이동 범위)가 길어지고, 리니어 스케일도 커짐으로써, 그 리니어 스케일로서 정밀도 높고 유리 스케일을 대형화하는 것은 어렵기 때문에, 리니어 스케일로서는, 스테인리스 등의 금속제의 리니어 스케일이 이용되고 있다.
특허 문헌 1：일본국 특허공개 2002-346452호 공보
그러나, 금속제의 리니어 스케일은 주위 환경(기온 등)의 변화에 의해 팽창 혹은 수축하여 변형하기 때문에, 리니어 스케일의 눈금 간격이 변화하고, 위치 검출 오차가 생겨 도포 정밀도가 저하해 버린다. 특히, 볼 나사나 리니어 모터가 페이스트 도포 장치의 운전에 따라 서서히 발열함으로써, 그 열이 주위로 퍼져 리니어 스케일에 전해지고, 리니어 스케일은 선팽창하기 때문에, 리니어 스케일의 눈금 간격이 넓어져 위치 검출 오차가 생겨 버린다. 또, 근래의 기판의 대형화에 따라 동작 스트로크(이동 범위)가 길어지고, 리니어 스케일도 커져 있기 때문에, 리니어 스케일의 열팽창에 의해 눈금 간격이 넓어짐에 따른 누적 오차도 커져 버린다.
본 발명은 상기를 감안하여 이루어진 것이며, 그 목적은, 주위 환경의 변화에 따른 도포 정밀도의 저하를 억제할 수 있는 페이스트 도포 장치 및 페이스트 도포 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 실시의 형태와 관련된 제1 특징은, 페이스트 도포 장치에 있어서, 도포 대상물에 페이스트를 도포하는 도포 헤드와, 도포 헤드를 지지하는 지지 부재와, 지지 부재를 도포 대상물의 표면을 따르도록 이동시키는 이동 기구와, 지지 부재에 설치된 반사부와, 반사부를 향해 지지 부재의 이동 방향으로 레이저광을 출사하고, 반사부에 의해 반사된 레이저광인 반사광을 수광하고, 반사부와의 이간 거리를 측정하는 레이저부와, 레이저부에 의해 측정된 이간 거리에 기초하여, 도포 대상물 상에 페이스트 패턴을 묘화하도록 도포 헤드 및 이동 기구를 제어하는 제어부를 구비하는 것이다.
본 발명의 실시의 형태와 관련된 제2 특징은, 페이스트 도포 장치에 있어서, 도포 대상물에 페이스트를 도포하는 도포 헤드와, 도포 헤드를 지지하는 지지 부재와, 지지 부재를 도포 대상물의 표면을 따르도록 이동시키는 이동 기구와, 지지 부재의 이동 방향을 따라 서서히 높이가 변화하는 경사면을 가지는 반사부와, 지지 부재에 설치되고, 경사면을 향해 레이저광을 출사하여 경사면에 의해 반사된 레이저광인 반사광을 수광하고, 반사부와의 이간 거리를 측정하는 레이저부와, 레이저부에 의해 측정된 이간 거리에 기초하여, 도포 대상물 상에 페이스트 패턴을 묘화하도록 도포 헤드 및 이동 기구를 제어하는 제어부를 구비하는 것이다.
본 발명의 실시의 형태와 관련된 제3 특징은, 페이스트 도포 장치에 있어서, 도포 대상물에 페이스트를 도포하는 도포 헤드와, 도포 헤드를 지지하는 지지 부재와, 도포 헤드를 지지 부재를 따르도록 이동시키는 이동 기구와, 도포 헤드에 설치된 반사부와, 반사부를 향해 도포 헤드의 이동 방향으로 레이저광을 출사하고, 반사부에 의해 반사된 레이저광인 반사광을 수광하고, 반사부와의 이간 거리를 측정하는 레이저부와, 레이저부에 의해 측정된 이간 거리에 기초하여, 도포 대상물 상에 페이스트 패턴을 묘화하도록 도포 헤드 및 이동 기구를 제어하는 제어부를 구비하는 것이다.
본 발명의 실시의 형태와 관련된 제4 특징은, 페이스트 도포 장치에 있어서, 도포 대상물에 페이스트를 도포하는 도포 헤드와, 도포 헤드를 지지하는 지지 부재와, 도포 헤드를 지지 부재를 따르도록 이동시키는 이동 기구와, 지지 부재에 설치되고, 도포 헤드의 이동 방향을 따라 서서히 높이가 변화하는 경사면을 가지는 반사부와, 도포 헤드에 연결되고, 경사면을 향해 레이저광을 출사하여 경사면에 의해 반사된 레이저광인 반사광을 수광하고, 반사부와의 이간 거리를 측정하는 레이저부와, 레이저부에 의해 측정된 이간 거리에 기초하여, 도포 대상물 상에 페이스트 패턴을 묘화하도록 도포 헤드 및 이동 기구를 제어하는 제어부를 구비하는 것이다.
본 발명의 실시의 형태와 관련된 제5 특징은, 페이스트 도포 방법에 있어서, 도포 대상물에 페이스트를 도포하는 도포 헤드와, 도포 헤드를 지지하는 지지 부재와, 지지 부재를 도포 대상물의 표면을 따르도록 이동시키는 이동 기구와, 지지 부재에 설치된 반사부와, 반사부를 향해 지지 부재의 이동 방향으로 레이저광을 출사하는 레이저부를 구비하는 페이스트 도포 장치를 이용하여, 레이저부에 의해, 반사부에 레이저광을 조사하여 반사부에 의해 반사된 레이저광인 반사광을 수광하고, 반사부와의 이간 거리를 측정하는 공정과, 측정한 이간 거리에 기초하여 도포 헤드 및 이동 기구를 제어하고, 도포 대상물 상에 페이스트 패턴을 묘화하는 공정을 가지는 것이다.
본 발명의 실시의 형태와 관련된 제6 특징은, 페이스트 도포 방법에 있어서, 도포 대상물에 페이스트를 도포하는 도포 헤드와, 도포 헤드를 지지하는 지지 부재와, 지지 부재를 도포 대상물의 표면을 따르도록 이동시키는 이동 기구와, 지지 부재의 이동 방향을 따라 서서히 높이가 변화하는 경사면을 가지는 반사부와, 지지 부재에 설치되고, 경사면을 향해 레이저광을 출사하는 레이저부를 구비하는 페이스트 도포 장치를 이용하여, 레이저부에 의해, 경사면에 레이저광을 조사하여 경사면에 의해 반사된 레이저광인 반사광을 수광하고, 반사부와의 이간 거리를 측정하는 공정과, 측정한 이간 거리에 기초하여 도포 헤드 및 이동 기구를 제어하고, 도포 대상물 상에 페이스트 패턴을 묘화하는 공정을 가지는 것이다.
본 발명의 실시의 형태와 관련된 제7 특징은, 페이스트 도포 방법에 있어서, 도포 대상물에 페이스트를 도포하는 도포 헤드와, 도포 헤드를 지지하는 지지 부재와, 도포 헤드를 지지 부재를 따르도록 이동시키는 이동 기구와, 도포 헤드에 설치된 반사부와, 반사부를 향해 도포 헤드의 이동 방향으로 레이저광을 출사하는 레이저부를 구비하는 페이스트 도포 장치를 이용하여, 레이저부에 의해, 반사부에 레이저광을 조사하여 반사부에 의해 반사된 레이저광인 반사광을 수광하고, 반사부와의 이간 거리를 측정하는 공정과, 측정한 이간 거리에 기초하여 도포 헤드 및 이동 기구를 제어하고, 도포 대상물 상에 페이스트 패턴을 묘화하는 공정을 가지는 것이다.
본 발명의 실시의 형태와 관련된 제8 특징은, 페이스트 도포 방법에 있어서, 도포 대상물에 페이스트를 도포하는 도포 헤드와, 도포 헤드를 지지하는 지지 부재와, 도포 헤드를 지지 부재를 따르도록 이동시키는 이동 기구와, 지지 부재에 설치되고, 도포 헤드의 이동 방향을 따라 서서히 높이가 변화하는 경사면을 가지는 반사부와, 도포 헤드에 연결되고, 경사면을 향해 레이저광을 출사하는 레이저부를 구비하는 페이스트 도포 장치를 이용하여, 레이저부에 의해, 경사면에 레이저광을 조사하여 경사면에 의해 반사된 레이저광인 반사광을 수광하고, 반사부와의 이간 거리를 측정하는 공정과, 측정한 이간 거리에 기초하여 도포 헤드 및 이동 기구를 제어하고, 도포 대상물 상에 페이스트 패턴을 묘화하는 공정을 가지는 것이다.
도 1은, 본 발명의 제1 실시의 형태와 관련된 페이스트 도포 장치의 개략 구성을 나타낸 사시도이다.
도 2는, 환경(기온, 습도, 기압)과 보정값의 관계를 설명하기 위한 설명도이다.
도 3은, 본 발명의 제2 실시의 형태와 관련된 페이스트 도포 장치의 일부의 개략 구성을 나타내는 사시도이다.
도 4는, 도 3에 나타내는 페이스트 도포 장치의 일부의 변형예의 개략 구성을 나타내는 사시도이다.
도 5는, 본 발명의 제3 실시의 형태와 관련된 페이스트 도포 장치의 일부의 개략 구성을 나타내는 사시도이다.
도 6은, 본 발명의 제4 실시의 형태와 관련된 페이스트 도포 장치의 일부의 개략 구성을 나타내는 사시도이다.
도 7은, 본 발명의 제5 실시의 형태와 관련된 페이스트 도포 장치의 일부의 개략 구성을 나타내는 사시도이다.
도 8은, 본 발명의 제6 실시의 형태와 관련된 페이스트 도포 장치의 일부의 개략 구성을 나타내는 사시도이다.
(제1 실시의 형태)
본 발명의 제1 실시의 형태에 대해서 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 본 발명의 제1 실시의 형태와 관련된 페이스트 도포 장치(1)는, 도포 대상물인 기판(K)이 수평 상태(도 1 중, X축 방향과 그것에 직교하는 Y축 방향을 따른 상태)로 올려지는 기판 스테이지(2)와, 그 기판 스테이지(2) 상의 기판(K)에 시일제 등의 시일성 및 접착성을 가지는 페이스트를 각각 도포하는 복수의 도포 헤드(3A~3D)와, 각 도포 헤드(3A~3D)를 X축 방향(도 1중)으로 이동 가능하게 지지하여 X축 방향을 따라 이동시키는 X축 이동 기구(4A) 및 X축 이동 기구(4B)와, 그들 X축 이동 기구(4A) 및 X축 이동 기구(4B)를 각각 개재하여 각 도포 헤드(3A~3D)를 지지하는 지지 부재(5A) 및 지지 부재(5B)와, 그들 지지 부재(5A) 및 지지 부재(5B)를 Y축 방향(도 1 중)으로 이동 가능하게 지지하여 Y축 방향을 따라 이동시키는 Y축 이동 기구(6A) 및 Y축 이동 기구(6B)와, 지지 부재(5A)의 이동 방향인 Y축 방향에 있어서의 지지 부재(5A)까지의 이간 거리를 측정하는 레이저 거리 측정기(7A)와, 지지 부재(5B)의 이동 방향인 Y축 방향에 있어서의 지지 부재(5B)까지의 이간 거리를 측정하는 레이저 거리 측정기(7B)와, 기온, 습도 및 기압을 검출하는 환경 검출기(8)와, 기판 스테이지(2), Y축 이동 기구(6A) 및 Y축 이동 기구(6B) 등을 지지하는 가대(9)와, 각부를 제어하는 제어부(10)를 구비하고 있다.
기판 스테이지(2)는, 가대(9)의 상면에 고정되어 설치된 재치대(裁置臺)이다. 이 기판 스테이지(2)는, 기판(K)을 흡착하는 흡착 기구(도시 생략)를 구비하고 있고, 그 흡착 기구에 의해 상면의 재치면에 기판(K)을 고정하여 유지한다. 또한, 흡착 기구로서는, 예를 들면 에어 흡착 기구 등을 이용한다. 이러한 기판 스테이지(2)의 재치면에는, 유리 기판 등의 기판(K)이 올려진다.
각 도포 헤드(3A~3D)는, 페이스트를 수용하는 시린지 등의 수용통(3a)과, 그 수용통(3a)에 연통하여 페이스트를 토출하는 노즐(3b)을 각각 가지고 있다. 이들 도포 헤드(3A~3D)는, 기체 공급 튜브 등을 개재하여 기체 공급부(모두 도시 생략)에 각각 접속되어 있다. 각 도포 헤드(3A~3D)는, 수용통(3a) 내에 공급되는 기체에 의해, 그 내부의 페이스트를 노즐(3b)로부터 각각 토출한다.
이러한 도포 헤드(3A~3D)는, YZ축 이동 기구(3c)를 개재하여 X축 이동 기구(4A) 및 X축 이동 기구(4B)에 각각 설치되어 있다. 이 YZ축 이동 기구(3c)는, 1개의 도포 헤드(3A~3D)를 지지하여 Y축 방향으로 이동시키는 이동 기구이며, 또한, 수평면에 직교하는 Z축 방향(도 1 중), 즉 기판 스테이지(2)에 대해서 도포 헤드(3A~3D)를 접리(接離)시키는 접리 방향으로 이동시키는 이동 기구이다. 또한, YZ축 이동 기구(3c)로서는, 예를 들면 볼 나사를 이용하는 이송 나사 기구 등을 이용한다.
X축 이동 기구(4A)는 지지 부재(5A)의 전면에 설치되어 있고, X축 이동 기구(4B)는 지지 부재(5B)의 전면에 설치되어 있다. X축 이동 기구(4A)는, 2개의 도포 헤드(3A, 3B)를 X축 방향으로 이동 가능하게 지지하고 있고, 그들 도포 헤드(3A, 3B)를 X축 방향, 즉, 지지 부재(5A)를 따라 개별적으로 이동시키는 이동 기구이다. 마찬가지로 X축 이동 기구(4B)도, 2개의 도포 헤드(3C, 3D)를 X축 방향으로 이동 가능하게 지지하고 있고, 그들 도포 헤드(3C, 3D)를 X축 방향, 즉 지지 부재(5B)를 따라 개별적으로 이동시키는 이동 기구이다. 또한, X축 이동 기구(4A) 및 X축 이동 기구(4B)로서는, 예를 들면, 리니어 모터를 이용한 리니어 모터 기구나 볼 나사를 이용한 이송 나사 기구 등을 이용한다. 이들 X축 이동 기구(4A) 및 X축 이동 기구(4B)가, 각각 각 도포 헤드(3A~3D)를 이동시키는 제2 이동 기구로서 기능한다. 여기서, 지지 부재(5A, 5B)에 있어서, 서로 대향하는 면을 전면, 이반하는 면을 배면으로 한다.
지지 부재(5A)는 X축 이동 기구(4A)를 개재하여 2개의 도포 헤드(3A, 3B)를 지지하는 칼럼이며, 마찬가지로, 지지 부재(5B)도 X축 이동 기구(4B)를 개재하여 2개의 도포 헤드(3C, 3D)를 지지하는 칼럼이다. 이들 지지 부재(5A) 및 지지 부재(5B)는, 그 이동 방향(Y축 방향)으로 교차하는 방향, 예를 들면 직교하는 방향(X축 방향)으로 연신시켜 각각 형성되어 있다. 또한, 지지 부재(5A) 및 지지 부재(5B)는, 예를 들면 직방체 형상으로 각각 형성되어 있고, 기판 스테이지(2)의 재치면에 대해서 평행하게 설치되어 있다. 이와 같은 지지 부재(5A) 및 지지 부재(5B)는, Y축 이동 기구(6A) 및 Y축 이동 기구(6B)에 의해 Y축 방향으로 이동하고, 기판 스테이지(2)의 재치면에 대향하는 위치에 각 도포 헤드(3A~3D)를 위치시킨다.
Y축 이동 기구(6A) 및 Y축 이동 기구(6B)는, 기판 스테이지(2)를 양측으로부터 사이에 끼우도록 가대(9)의 상면에 각각 설치되어 있다. 이들 Y축 이동 기구(6A) 및 Y축 이동 기구(6B)는, 각각 협동하여 지지 부재(5A) 및 지지 부재(5B)를 Y축 방향으로 이동 가능하게 지지하고 있고, 그들 지지 부재(5A) 및 지지 부재(5B)를 Y축 방향을 따라 개별적으로 이동시키는 이동 기구이다. 이들 Y축 이동 기구(6A) 및 Y축 이동 기구(6B)에는, 지지 부재(5A) 및 지지 부재(5B)가 걸쳐 설치되어 있다. 또한, Y축 이동 기구(6A) 및 Y축 이동 기구(6B)로서는, 예를 들면, 리니어 모터를 이용한 리니어 모터 기구나 볼 나사를 이용한 이송 나사 기구 등을 이용한다. 이러한 Y축 이동 기구(6A) 및 Y축 이동 기구(6B)가, 지지 부재(5A, 5B)를 이동시키는 제1 이동 기구로서 기능한다.
레이저 거리 측정기(7A)는, 레이저광을 출사하여 반사광을 수광하는 레이저부(7a1)와, 출사된 레이저광을 레이저부(7a1)를 향해 반사하는 반사부(7b1)를 구비하고 있다. 마찬가지로, 레이저 거리 측정기(7B)도, 레이저광을 출사하여 반사광을 수광하는 레이저부(7a2)와, 출사된 레이저광을 레이저부(7a2)를 향해 반사하는 반사부(7b2)를 구비하고 있다. 이들 레이저 거리 측정기(7A) 및 레이저 거리 측정기(7B)가, 각각 지지 부재(5A, 5B)와의 제1 이간 거리(지지 부재(5A, 5B)의 이동 방향에 있어서의 지지 부재(5A, 5B)까지의 이간 거리)를 측정하는 제1 레이저 거리 측정기로서 기능한다.
또한, 레이저 거리 측정기(7A, 7B)는, 구체적으로는, 공지의 레이저 간섭측장기이다. 레이저 간섭측장기는, 하프미러(레이저부(7a1, 7a2)에 내장된다)를 이용하여 취출한 출사광의 일부와 반사부(7b1, 7b2)에서 반사된 반사광을 검출기(레이저부(7a1, 7a2)에 내장된다)에 의해 검출하고, 출사광과 반사광의 광로 길이의 차이에 의해 생기는 간섭 무늬를 이용해 반사부(7b1, 7b2)의 변위를 검출하는 것이며, 반사부(7b1, 7b2)의 이동에 의해 생기는 간섭 무늬의 주기적인 변화를 펄스로 변환하고, 이 펄스의 카운트값에 기초한 반사부(7b1, 7b2)의 이동량(이동거리)을 측정한다. 따라서, 리미트 센서 등에 의해 Y축 이동 기구(6A) 상에서의 지지 부재(5A, 5B)의 원점 위치(예를 들면, Y축 이동 기구(6A)에 있어서의 지지 부재(5A)가 위치하는 측의 이동단을 지지 부재(5A)의 원점 위치, 지지 부재(5B)가 위치하는 측의 이동단을 지지 부재(5B)의 원점 위치로 한다)를 기계적으로 각각 정하고, 각각의 원점 위치로부터의 이동량을 레이저 거리 측정기(7A, 7B)에 의해 측정함으로써, 각 지지 부재(5A, 5B)와의 제1 이간 거리를 측정하는 것이 가능하다.
레이저 거리 측정기(7A)의 레이저부(7a1)는, 레이저광의 광로가 Y축 방향으로 평행해지도록 Y축 이동 기구(6A)에 있어서의 지지 부재(5A)측의 단부 근방, 구체적으로는, 레이저부(7a1)의 레이저광의 투수광면과 Y축 이동 기구(6A)의 지지 부재(5A)측의 단부가 거의 동일 평면상이 되도록 Y축 이동 기구(6A)의 외측에 나란히 위치되고, 가대(9)의 상면에 설치되어 있다. 또, 레이저 거리 측정기(7A)의 반사부(7b1)는, 레이저부(7a1)로부터 출사된 레이저광을 레이저부(7a1)를 향해 반사 가능하게 지지 부재(5A)에 고정되고, 그 지지 부재(5A)와 함께 이동 가능하게 설치되어 있다. 마찬가지로, 레이저 거리 측정기(7B)의 레이저부(7a2)도, 레이저광의 광로가 Y축 방향으로 평행해지도록 Y축 이동 기구(6A)에 있어서의 지지 부재(5B)측의 단부 근방, 구체적으로는, 레이저부(7a2)의 레이저광의 투수광면과 Y축 이동 기구(6A)의 지지 부재(5B)측의 단부가 거의 동일 평면상이 되도록 Y축 이동 기구(6A)의 외측에 나란히 위치되고, 가대(9)의 상면에 설치되어 있다. 또, 레이저 거리 측정기(7B)의 반사부(7b2)도, 레이저부(7a2)로부터 출사된 레이저광을 레이저부(7a2)를 향해 반사 가능하게 지지 부재(5B)에 고정되고, 그 지지 부재(5B)와 함께 이동 가능하게 설치되어 있다. 여기서, 각 반사부(7b1, 7b2)로서는, 예를 들면 프리즘 등을 이용한다.
이들 레이저 거리 측정기(7A) 및 레이저 거리 측정기(7B)는, 각각 제어부(10)에 전기적으로 접속되어 있고, 측정한 이간 거리를 그 제어부(10)에 신호로서 입력한다. 즉, 레이저부(7a1)와 지지 부재(5A)의 이간 거리, 및, 레이저부(7a2)와 지지 부재(5B)의 이간 거리가 측정되고, 제어부(10)에 입력된다. 이로 인해, 제어부(10)는 그들의 이간 거리(위치 정보)에 기초하여 지지 부재(5A)의 위치 및 지지 부재(5B)의 위치를 파악하는 것이 가능해진다.
환경 검출기(8)는, 페이스트 도포 장치(1)의 주위의 기온, 습도 및 기압을 검출하는 센서이다. 이 환경 검출기(8)는, 예를 들면 가대(9) 상에 있어서의 레이저 거리 측정기(7A, 7B)의 레이저광의 광로의 근방, 예를 들면, 광로의 바로 밑에 상방을 향해, 각각 설치되어 있다. 환경 검출기(8)는 제어부(10)에 전기적으로 접속되어 있고, 검출한 기온, 습도 및 기압을 그 제어부(10)에 신호로서 입력한다. 이로 인해, 제어부(10)는 그들 기온, 습도 및 기압(환경 정보)에 기초하여 주위 환경, 예를 들면, 공기 굴절률의 변화를 파악하는 것이 가능해진다.
가대(9)는, 바닥면 상에 설치되고, 기판 스테이지(2), Y축 이동 기구(6A) 및 Y축 이동 기구(6B) 등을 바닥면으로부터 소정의 높이 위치에 지지하는 가대이다. 가대(9)의 상면은 평면으로 형성되어 있고, 이 가대(9)의 상면에는, 기판 스테이지(2), Y축 이동 기구(6A) 및 Y축 이동 기구(6B) 등이 올려져 있다.
제어부(10)는, 각부를 집중적으로 제어하는 마이크로 컴퓨터와, 페이스트 도포에 관한 도포 정보나 각종의 프로그램 등을 기억하는 기억부(모두 도시 생략)를 준비하고 있다. 도포 정보는 소정의 도포 패턴이나 묘화 속도(기판(K)과 노즐(3b)의 수평 방향에 있어서의 상대 이동 속도), 페이스트의 토출량 등에 관한 정보를 포함하고 있다. 이 제어부(10)는, 도포 정보나 각종 프로그램에 기초하여 X축 이동 기구(4A), X축 이동 기구(4B), Y축 이동 기구(6A) 및 Y축 이동 기구(6B) 등을 제어하고, 각 도포 헤드(3A~3D)의 노즐(3b)과 기판 스테이지(2) 상의 기판(K)을 기판(K)의 표면 방향으로 평행하게 상대 이동시키고, 기판(K) 상에 소정의 도포 패턴의 페이스트를 도포한다. 이 도포 동작에 있어서, 제어부(10)는, 레이저 거리 측정기(7A)에 의해 측정된 이간 거리에 기초하여 Y축 이동 기구(6A) 및 Y축 이동 기구(6B)를 제어하여 지지 부재(5A)의 위치 제어를 행하고, 또한, 레이저 거리 측정기(7B)에 의해 측정된 이간 거리에 기초하여 Y축 이동 기구(6A) 및 Y축 이동 기구(6B)를 제어하여 지지 부재(5B)의 위치 제어를 행한다.
여기서, 기억부에는, 예를 들면, 도 2에 나타내는 바와 같은 보정 정보가 저장되어 있다. 이 보정 정보는, 환경 검출기(8)에 의해 검출된 기온, 습도 및 기압의 환경 정보에 기초하여, 레이저 거리 측정기(7A) 및 레이저 거리 측정기(7B)에 의해 측정된 각 이간 거리를 보정하기 위한 정보이다. 따라서, 제어부(10)는, 검출된 기온, 습도 및 기압에 대응하는 보정값을 보정 정보로부터 구하고, 그 보정값에 기초하여 이간 거리를 보정하는 보정 동작을 수시로 행한다. 상세히 설명하면, 제어부(10)는, 검출된 기온, 습도 및 기압에 의해 정해지는 정수를 특정하고, 그 특정한 정수에 대응하는 보정값을 보정 정보로부터 구한다. 즉, 도 2에 나타내는 보정 정보에 있어서, 세로축은 보정값이며, 가로축은 기온, 습도 및 기압에 의해 정해지는 정수이다. 예를 들면, 기온이 20℃, 습도가 30% 및 기압이 1000hPa인 경우, 정수는 수치 A이고, 기온이 25℃, 습도가 40% 및 기압이 1005hPa인 경우, 정수는 수치 B라고 하는 바와 같이 정수가 복수 설정되고, 또한, 그들 정수에 대응하는 보정값이 설정되어, 도 2에 나타내는 보정 정보가 생성되어 있다.
다음에, 이러한 페이스트 도포 장치(1)가 행하는 도포 동작에 대해서 설명한다.
우선, 페이스트 도포 장치(1)는, Y축 이동 기구(6A) 및 Y축 이동 기구(6B)에 의해 지지 부재(5A) 및 지지 부재(5B)를 Y축 방향으로 각각 이동시키고, X축 이동 기구(4A) 및 X축 이동 기구(4B)에 의해 각 도포 헤드(3A~3D)를 X축 방향으로 각각 이동시키고, 기판 스테이지(2) 상의 기판(K)의 각 도포 개시 위치에 각 도포 헤드(3A~3D)를 각각 대향시킨다. 다음에, 페이스트 도포 장치(1)는, 각 YZ축 이동 기구(3c)에 의해 각각 각 도포 헤드(3A~3D)를 Z축 방향으로 이동시키고, 대기 위치로부터 도포 위치에 각 도포 헤드(3A~3D)를 위치시킨다.
여기서, 대기 위치 및 도포 위치는, 기판 스테이지(2) 상의 기판(K)에 대해서 소정의 갭을 둔 높이 위치이다. 도포 위치는, 도포 헤드(3A~3D)가 도포를 행할 때의 높이 위치이다. 이 때, 도포 헤드(3A~3D)의 노즐(3b)의 선단과 기판(K)의 표면의 사이에 형성되는 갭은, 기판(K)의 표면에 페이스트를 소정의 도포량으로 도포하는데 필요한 크기로 설정된다. 또, 대기 위치는, 도포 헤드(3A~3D)가 도포를 행하지 않는 경우의 높이 위치이며, 이 때의 갭은, 도포 위치에 있어서의 갭보다도 훨씬 크다.
그 후, 페이스트 도포 장치(1)는, 도포 조건(토출 압력이나 이동 속도 등)에 기초하여, 각 도포 헤드(3A~3D)의 각각의 노즐(3b)로부터 페이스트를 토출시키면서, Y축 이동 기구(6A) 및 Y축 이동 기구(6B)에 의해 지지 부재(5A) 및 지지 부재(5B)를 Y축 방향으로 이동시키고, X축 이동 기구(4A) 및 X축 이동 기구(4B)에 의해 각 도포 헤드(3A~3D)를 X축 방향으로 이동시키고, 기판 스테이지(2) 상의 기판(K)의 표면에 페이스트를 도포하고, 소정의 페이스트 패턴을 형성(묘화)한다. 여기서, 각 도포 헤드(3A~3D)가 형성하는 페이스트 패턴(도포 패턴)은 동일하고, 예를 들면 직사각형 프레임 형상이다. 소정의 페이스트 패턴의 형성이 완료하면, 페이스트 도포 장치(1)는, 각 YZ축 이동 기구(3c)에 의해 각각 각 도포 헤드(3A~3D)를 Z축 방향으로 이동시키고, 도포 위치로부터 원래의 대기 위치에 각 도포 헤드(3A~3D)를 위치시킨다. 또한, 토출 압력은, 각 도포 헤드(3A~3D)의 수용통(3a) 내의 페이스트를 대응하는 노즐(3b)로부터 각각 토출시키기 위한 기체 압력이며, 이동 속도는, 페이스트를 도포하는 경우의 노즐(3b)과 기판(K)의 상대 이동 속도이다.
마지막으로, 페이스트 도포 장치(1)는, Y축 이동 기구(6A) 및 Y축 이동 기구(6B)에 의해 지지 부재(5A) 및 지지 부재(5B)를 Y축 방향의 퇴피 위치, 즉 각 도포 헤드(3A~3D)가 기판 스테이지(2) 상의 기판(K)에 대향하지 않는 퇴피 위치까지 이동시키고, 기판 스테이지(2) 상의 기판(K)의 교환에 대기한다. 기판(K)의 교환이 완료하면, 상술의 도포 동작을 반복한다.
이러한 도포 동작에 있어서, 레이저 거리 측정기(7A) 및 레이저 거리 측정기(7B)는 각각 이간 거리를 수시, 이 실시의 형태에서는, 상시, 측정하고 있고, 제어부(10)는, 레이저 거리 측정기(7A)에 의해 측정된 이간 거리에 기초하여 Y축 이동 기구(6A) 및 Y축 이동 기구(6B)를 제어하고, 지지 부재(5A)의 위치 제어를 행하고, 또한, 레이저 거리 측정기(7B)에 의해 측정된 이간 거리에 기초하여 Y축 이동 기구(6A) 및 Y축 이동 기구(6B)를 제어하고, 지지 부재(5B)의 위치 제어를 행한다. 이로 인해, 주위 환경의 변화에 따라 팽창 혹은 수축하는 리니어 스케일을 이용한 위치 제어를 행할 필요가 없어지고, 또, 레이저 거리 측정기(7A, 7B)는 리니어 스케일에 비해 측정 정밀도가 주위 환경의 변화의 영향을 받기 어렵기 때문에, 주위 환경의 변화에 영향을 받지 않고 각 지지 부재(5A, 5B)의 위치 제어를 행하는 것이 가능해지므로, 주위 환경이 변화해도 높은 정밀도로 위치 제어를 행할 수 있고, 그 결과, 도포 정밀도의 저하를 억제할 수 있다. 또한, 제어부(10)는, 검출된 기온, 습도 및 기압에 대응하는 보정값을 보정 정보로부터 구하고, 그 보정값에 기초하여 이간 거리의 측정값을 보정하는 보정 동작을 수시로 행한다. 이로 인해, 주위 환경의 변화에 따라 각 지지 부재(5A, 5B)의 위치를 제어하는 것이 가능해지므로, 주위 환경이 변화해도 더 높은 정밀도로 위치 제어를 행할 수 있고, 그 결과, 도포 정밀도의 저하를 억제할 뿐만 아니라, 도포 정밀도를 향상시킬 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 제1 실시의 형태에 의하면, 각 레이저 거리 측정기(7A, 7B)를 설치하고, 그들 레이저 거리 측정기(7A, 7B)에 의해 측정한 각 이간 거리에 기초하여 Y축 이동 기구(6A) 및 Y축 이동 기구(6B)를 제어하고, 각 지지 부재(5A, 5B)의 위치 제어를 행함으로써, 주위 환경의 변화에 따라 팽창 혹은 수축하는 리니어 스케일을 이용한 위치 제어를 행하는 경우에 비해, 주위 환경의 변화에 영향을 받지 않고 각 지지 부재(5A, 5B)의 위치 제어를 행하는 것이 가능해지므로, 주위 환경이 변화해도 높은 정밀도로 위치 제어를 행할 수 있다. 따라서, 주위 환경의 변화에 의한 도포 정밀도의 저하를 억제할 수 있고, 그 결과, 기판(K)의 표면에, 정확하게 원하는 형상의 페이스트 패턴을 형성하는 것이 가능해지고, 제조되는 액정 표시 패널의 품질을 향상시킬 수 있다.
또, 환경 검출기(8)를 설치하고, 그 환경 검출기(8)에 의해 검출한 기온, 습도 및 기압에 기초하여 레이저 거리 측정기(7A, 7B)에 의해 측정한 각 이간 거리를 보정하고, 보정한 각 이간 거리에 기초하여 각 지지 부재(5A, 5B)의 위치를 제어함으로써, 주위 환경의 변화에 따라서 각 지지 부재(5A, 5B)의 위치를 제어하는 것이 가능해지므로, 주위 환경이 변화해도 더 높은 정밀도로 위치 제어를 행할 수 있고, 그 결과, 도포 정밀도의 저하를 억제할 뿐만 아니라, 도포 정밀도를 향상시킬 수 있다.
또한, 근래의 액정 표시 패널의 대형화에 따라 기판(K)의 사이즈가 커지고, 페이스트 도포 장치(1)가 대형화하는 경향이 있다. 이 때문에, 지지 부재(5A) 및 지지 부재(5B)가 대형화하여 중량이 늘어나므로, 리니어 모터 기구를 이용한 경우, 그것들을 이동시키는 리니어 모터도 더 큰 구동력을 얻을 수 있는 큰 것이 이용되어야 하고, 한편, 이송 나사 기구를 이용한 경우, 볼 나사에 대한 부하가 증가하게 된다. 따라서, 대형의 리니어 모터에서는 운전에 따른 발열도 커지고, 볼 나사에서도 운전에 따른 발열이 커진다. 또, 큰 사이즈의 기판(K)에 한 번에 많은 페이스트 패턴을 형성하여 생산성을 향상시키는 목적으로부터, 도포 헤드(3A~3D)의 수가 증가하는 경향이 있다. 도포 헤드(3A~3D)의 수가 증가하면 그에 따라 가동자의 수도 증가하므로, 도포 헤드(3A~3D)의 이동에 따른 발열이 더 커진다. 이들과 같은 경우에서도, 본 발명의 실시의 형태에 의하면, 리니어 모터의 발열 혹은 볼 나사의 발열에 기인하는 위치 검출 오차의 발생을 억제할 수 있고, 정확하게 원하는 형상의 페이스트 패턴을 형성할 수 있다.
또, 환경 검출기(8)를 레이저 거리 측정기(7A, 7B)의 레이저광의 광로의 근방에 설치했기 때문에, 레이저광의 광로의 주위 환경의 변화를 그 근방에 있어서 검출하는 것이 가능해지므로, 레이저 거리 측정기(7A, 7B)의 측정값을 광로의 주위 환경의 변화에 맞춰 정확하게 보정할 수 있고, 레이저 거리 측정기(7A, 7B)에 의한 이간 거리의 측정 정밀도를 더 향상시킬 수 있다.
또, 지지 부재(5A)와의 이간 거리를 측정하는 레이저 거리 측정기(7A)의 레이저부(7a1)를 Y축 이동 기구(6A)에 있어서의 지지 부재(5A)측의 단부 근방에 배치하고, 지지 부재(5B)와의 이간 거리를 측정하는 레이저 거리 측정기(7B)의 레이저부(7a2)를 Y축 이동 기구(6A)에 있어서의 지지 부재(5B)측의 단부 근방에 배치했기 때문에, 각각의 레이저 거리 측정기(7A, 7B)에 의한 측정 거리를 매우 짧게 할 수 있는, 예를 들면, 2개의 지지 부재(5A, 5B)로 기판(K) 상을 Y축 방향으로 2등분한 영역을 2개의 지지 부재(5A, 5B)로 분담하여 페이스트 도포하는 경우, 레이저 거리 측정기(7A, 7B)에 의한 측정 거리를 기판(K)의 Y축 방향 치수의 절반 정도로 억제하는 것이 가능해진다. 이로 인해, 레이저 거리 측정기(7A, 7B)의 측정값이 주위 환경의 변화의 영향을 받기 어려워지므로, 그 만큼, 레이저 거리 측정기(7A, 7B)에 의한 거리 측정값의 정밀도가 향상하고, 이로 인해서도 페이스트의 도포 정밀도를 향상시키는 것이 가능해진다.
지지 부재(5A, 5B)와의 이간 거리를 레이저 거리 측정기(7A, 7B)를 이용해 직접적으로 검출하도록 했으므로, 리니어 스케일 등을 이용한 위치 검출 장치에 비해 기계적 오차가 측정값에 개입하는 것이 방지되므로, 측정 정밀도의 신뢰성이 향상하고, 이로 인해서도 페이스트의 도포 정밀도를 향상시키는 것이 가능해진다.
또, 레이저 거리 측정기(7A, 7B)를, Y축 이동 기구(6A)측에만 배치했으므로, Y축 이동 기구(6A)측을 작업자에 의한 시일 도포 장치의 조작측으로 한 경우에는, 각 레이저부(7a1, 7a2)가 작업자에 의한 조작측에 배치되게 되므로, 레이저 거리 측정기(7A, 7B)의 메인터넌스를 용이하게 행하는 것이 가능해진다. 이 때문에, 레이저 거리 측정기(7A, 7B)에 의한 거리 측정 정밀도를 안정되게 유지하는 것이 가능해진다.
(제2 실시의 형태)
본 발명의 제2 실시의 형태에 대해서 도 3을 참조하여 설명한다. 본 발명의 제2 실시의 형태에서는, 제1 실시의 형태와 다른 부분에 대해서 설명한다. 또한, 제2 실시의 형태에 있어서는, 제1 실시의 형태에서 설명한 부분과 동일 부분은 동일 부호로 나타내고, 그 설명은 생략한다.
본 발명의 제2 실시의 형태와 관련된 페이스트 도포 장치(1)는, 상술의 각부에 더하여, 도 3에 나타내는 바와 같이, 도포 헤드(3A)의 이동 방향인 X축 방향에 있어서의 도포 헤드(3A)까지의 이간 거리를 측정하는 레이저 거리 측정기(7C)와, 도포 헤드(3B)의 이동 방향인 X축 방향에 있어서의 도포 헤드(3B)까지의 이간 거리를 측정하는 레이저 거리 측정기(7D)와, 도포 헤드(3C)의 이동 방향인 X축 방향에 있어서의 도포 헤드(3C)까지의 이간 거리를 측정하는 레이저 거리 측정기(7E)와, 도포 헤드(3D)의 이동 방향인 X축 방향에 있어서의 도포 헤드(3D)까지의 이간 거리를 측정하는 레이저 거리 측정기(7F)를 구비하고 있다. 이들 레이저 거리 측정기(7C~7F)는, 지지 부재(5A) 및 지지 부재(5B)에 각각 설치되어 있다. 따라서, 본 발명의 실시의 형태에서는, 도포 헤드(3A~3D)가 4개 설치되어 있기 때문에, 그것들에 대응시켜 레이저 거리 측정기(7C~7F)는 4개 설치되어 있다. 이러한 각 레이저 거리 측정기(7C~7F)가, 각각 도포 헤드(3A~3D)와의 제2 이간 거리(도포 헤드(3A~3D)의 이동 방향에 있어서의 도포 헤드(3A~3D)까지의 이간 거리)를 측정하는 제2 레이저 거리 측정기로서 기능한다.
레이저 거리 측정기(7C)는, 레이저광을 출사하여 반사광을 수광하는 레이저부(7a3)와, 출사된 레이저광을 레이저부(7a3)를 향해 반사하는 반사부(7b3)를 구비하고 있다. 마찬가지로, 레이저 거리 측정기(7D)도, 레이저광을 출사하여 반사광을 수광하는 레이저부(7a4)와, 출사된 레이저광을 레이저부(7a4)를 향해 반사하는 반사부(7b4)를 구비하고 있다. 또한, 레이저 거리 측정기(7E)도, 레이저광을 출사하여 반사광을 수광하는 레이저부(7a5)와, 출사된 레이저광을 레이저부(7a5)를 향해 반사하는 반사부(7b5)를 구비하고 있다. 더불어, 레이저 거리 측정기(7F)도, 레이저광을 출사하여 반사광을 수광하는 레이저부(7a6)와, 출사된 레이저광을 레이저부(7a6)를 향해 반사하는 반사부(7b6)를 구비하고 있다.
레이저 거리 측정기(7C)의 레이저부(7a3)는, 레이저광의 광로가 X축 방향(지지 부재(5A)의 연신 방향)에 평행해지도록 지지 부재(5A)에 있어서의 도 3 중의 앞측(Y축 이동 기구(6A)측)의 단부에 위치되고, 지지 부재(5A)의 상면에 설치되어 있다. 또, 레이저 거리 측정기(7C)의 반사부(7b3)는, 레이저부(7a3)로부터 출사된 레이저광을 레이저부(7a3)를 향해 반사 가능하게 도포 헤드(3A)용의 YZ축 이동 기구(3c)에 고정되고, X축 방향으로 이동하는 도포 헤드(3A)와 함께 이동 가능하게 설치되어 있다. 마찬가지로, 레이저 거리 측정기(7D)의 레이저부(7a4)도, 레이저광의 광로가 X축 방향(지지 부재(5A)의 연신 방향)에 평행해지도록 지지 부재(5A)에 있어서의 도 3 중의 안측(Y축 이동 기구(6B)측)의 단부에 위치되고, 지지 부재(5A)의 상면에 설치되어 있다. 또, 레이저 거리 측정기(7D)의 반사부(7b4)도, 레이저부(7a4)로부터 출사된 레이저광을 레이저부(7a4)를 향해서 반사 가능하게 도포 헤드(3B)용의 YZ축 이동 기구(3c)에 고정되고, X축 방향으로 이동하는 도포 헤드(3B)와 함께 이동 가능하게 설치되어 있다. 여기서, 각 반사부(7b3, 7b4)로서는, 예를 들면 프리즘 등을 이용한다.
레이저 거리 측정기(7E)의 레이저부(7a5)는, 레이저광의 광로가 X축 방향(지지 부재(5B)의 연신 방향)에 평행해지도록 지지 부재(5B)에 있어서의 도 3 중의 앞측(Y축 이동 기구(6A)측)의 단부에 위치되고, 지지 부재(5B)의 상면에 설치되어 있다. 또, 레이저 거리 측정기(7E)의 반사부(7b5)는, 레이저부(7a5)로부터 출사된 레이저광을 레이저부(7a5)를 향해 반사 가능하게 도포 헤드(3C)용의 YZ축 이동 기구(3c)에 고정되고, X축 방향으로 이동하는 도포 헤드(3C)와 함께 이동 가능하게 설치되어 있다. 마찬가지로, 레이저 거리 측정기(7F)의 레이저부(7a6)도, 레이저광의 광로가 X축 방향(지지 부재(5B)의 연신 방향)에 평행해지도록 지지 부재(5B)에 있어서의 도 3 중의 안측(Y축 이동 기구(6B)측)의 단부에 위치되고, 지지 부재(5B)의 상면에 설치되어 있다. 또, 레이저 거리 측정기(7F)의 반사부(7b6)도, 레이저부(7a6)로부터 출사된 레이저광을 레이저부(7a6)를 향해 반사 가능하게 도포 헤드(3D)용의 YZ축 이동 기구(3c)에 고정되고, X축 방향으로 이동하는 도포 헤드(3D)와 함께 이동 가능하게 설치되어 있다. 여기서, 각 반사부(7b5, 7b6)로서는, 예를 들면 프리즘 등을 이용한다.
이들 레이저 거리 측정기(7C~7F)는, 각각 제어부(10)에 전기적으로 접속되어 있고, 측정한 이간 거리를 그 제어부(10)에 신호로서 입력한다. 즉, 레이저부(7a3)와 도포 헤드(3A)의 이간 거리, 레이저부(7a4)와 도포 헤드(3B)의 이간 거리, 레이저부(7a5)와 도포 헤드(3C)의 이간 거리, 및, 레이저부(7a6)와 도포 헤드(3D)의 이간 거리가 측정되어 제어부(10)에 입력된다. 이로 인해, 제어부(10)는 그들의 이간 거리(위치 정보)에 기초하여 각 도포 헤드(3A~3D)의 위치를 파악하는 것이 가능해진다.
또한, 도시는 생략하지만, 이들 레이저 거리 측정기(7C~7F)에 대해서도, 레이저 거리 측정기(7A, 7B)와 같이, 레이저광의 광로의 근방에, 예를 들면, 광로의 측방에 광로측의 수평 방향을 향해 환경 검출기를 각각 배치한다.
제어부(10)는, 각 레이저 거리 측정기(7C~7F)에 의해 측정된 각 이간 거리에 기초하여 X축 이동 기구(4A) 및 X축 이동 기구(4B)를 제어하고, 각 도포 헤드(3A~3D)의 위치 제어를 행한다. 이로 인해, 주위 환경(온도 등)의 변화에 영향을 받지 않고 각 도포 헤드(3A~3D)의 위치 제어를 행하는 것이 가능해지므로, 높은 정밀도로 위치 제어를 행할 수 있고, 그 결과, 도포 정밀도의 저하를 억제할 수 있다. 또한, 제어부(10)는, 환경 검출기에 의해 검출된 기온, 습도 및 기압에 대응하는 보정값을 보정 정보로부터 구하고, 그 보정값에 기초하여 각 도포 헤드(3A~3D)와의 각각의 이간 거리를 보정하는 보정 동작을 수시로 행한다. 이로 인해, 주위 환경의 변화에 따라 각 도포 헤드(3A~3D)의 위치를 제어하는 것이 가능해지므로, 주위 환경이 변화해도 높은 정밀도로 위치 제어를 행할 수 있고, 그 결과, 도포 정밀도의 저하를 억제할 뿐만 아니라, 도포 정밀도를 향상시킬 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 제2 실시의 형태에 의하면, 제1 실시의 형태와 같은 효과를 얻을 수 있다. 또한, 각 도포 헤드(3A~3D)용으로 각 레이저 거리 측정기(7C~7F)를 설치하고, 그들 레이저 거리 측정기(7C~7F)에 의해 측정한 각 이간 거리에 기초하여 X축 이동 기구(4A) 및 X축 이동 기구(4B)를 제어하고, 각 도포 헤드(3A~3D)의 위치 제어를 행함으로써, 주위 환경의 변화에 따라 팽창 혹은 수축하는 리니어 스케일을 이용한 위치 제어를 행하는 경우에 비해, 주위 환경의 변화에 영향을 받지 않고 각 도포 헤드(3A~3D)의 위치 제어를 행하는 것이 가능해지므로, 높은 정밀도로 위치 제어를 행할 수 있고 그 결과, 주위 환경의 변화에 따른 도포 정밀도의 저하를 억제할 수 있다.
또, 환경 검출기(8)를 설치하고, 그 환경 검출기(8)에 의해 검출한 기온, 습도 및 기압에 기초하여 각 이간 거리를 보정하고, 보정한 각 이간 거리에 기초하여 각 도포 헤드(3A~3D)의 위치를 제어함으로써, 주위 환경의 변화에 따라 각 도포 헤드(3A~3D)의 위치를 제어하는 것이 가능해지므로, 주위 환경이 변화해도 더 높은 정밀도로 위치 제어를 행할 수 있고, 그 결과, 도포 정밀도의 저하를 억제할 뿐만 아니라, 도포 정밀도를 향상시킬 수 있다.
또한, 도 4에 나타내는 바와 같이, 2개의 도포 헤드(3A, 3B)를 지지하는 지지 부재(5A)에, 새롭게 1개의 도포 헤드(3E)를 설치한 경우에는, 그 도포 헤드(3E)의 이동 방향인 X축 방향에 있어서의 도포 헤드(3E)까지의 이간 거리를 측정하는 레이저 거리 측정기(7G)를 설치한다. 이 레이저 거리 측정기(7G)는 레이저부(7a7) 및 반사부(7b7)를 구비하고 있고, 다른 레이저 거리 측정기(7C~7F)와 같은 구조이다. 레이저 거리 측정기(7G)는 레이저 거리 측정기(7D)와 같은 측에 위치되고, 도포 헤드(3E)의 위치 검출이 가능하게 설치되어 있다.
(제3 실시의 형태)
본 발명의 제3 실시의 형태에 대해서 도 5를 참조하여 설명한다. 본 발명의 제3 실시의 형태에서는, 제1 실시의 형태와 다른 부분에 대해서 설명한다. 또한, 제3 실시의 형태에 있어서는, 제1 실시의 형태에서 설명한 부분과 동일 부분은 동일 부호로 나타내고, 그 설명은 생략한다.
도 5에 나타내는 바와 같이, 지지 부재(5B)는, 각 도포 헤드(3C, 3D)를 지지하는 문형(문형상)의 칼럼이다. 이 지지 부재(5B)는, 그 연신부가 X축 방향을 따르도록 위치되고, 그 다리부가 Y축 이동 기구(6A) 및 Y축 이동 기구(6B) 상에 설치되어 있다. 또한, 지지 부재(5A)도 동일한 구조로 형성되어 있다.
레이저 거리 측정기(7B)의 반사부(7b2)는 Y축 이동 기구(6A)의 내측, 즉 지지 부재(5B)의 다리부의 내측에 설치되어 있다. 이 반사부(7b2)의 위치에 맞춰 레이저부(7a2)가 지지대(11) 상에 설치되어 있다. 이 지지대(11)는 가대(9) 상에 올려져 있다. 또한, 지지 부재(5A)용의 레이저 거리 측정기(7A)의 반사부(7b1) 및 레이저부(7a1)도 같은 구조로 형성되어 있다.
또한, 덮개 부재(12)가, 기판(K)이 올려지는 기판 스테이지(2)측과 레이저 거리 측정기(7A, 7B)측, 즉, 레이저부(7a1, 7a2)로부터 출사되는 레이저광의 광로측의 사이를 나누도록 Y축 이동 기구(6A)의 내측면(기판 스테이지(2) 측에 위치하는 면)에 고정되어 설치되어 있다. 특히, 덮개 부재(12)는, 레이저부(7a2) 및 반사부(7b2)에 의한 이간 거리의 측정, 레이저부(7a1) 및 반사부(7b1)에 의한 이간 거리의 측정, 또한, 지지 부재(5A) 및 지지 부재(5B)의 이동을 방해하지 않도록 형성되어 있다.
이 덮개 부재(12)는, 기판 스테이지(2) 상을 향해 불어 내리는 다운 플로우의 바람(공기)가 레이저부(7a2)와 반사부(7b2)의 사이 및 레이저부(7a1)와 반사부(7b1)의 사이를 통과하는 것을 방지하고 있다. 이로 인해, 다운 플로우의 바람이 레이저광의 광로의 주위 환경에 변동을 일으키는 등의 악영향을 주는 것이 억제되므로, 레이저광에 의한 이간 거리의 측정 정밀도가 저하해 버리는 것을 억지할 수 있게 되고, 그 결과, 도포 정밀도를 향상시킬 수 있다.
또한, 다운 플로우는, 가대(9) 상의 각부 전체를 덮는 박스의 상면으로부터 기판 스테이지(2)를 향해 흐르고, 기판 스테이지(2)의 표면을 따라 외측으로 흘러 박스의 측면을 향하고, 그 측면의 가대(9)측에 형성된 복수의 유출구로부터 박스 외로 나가는 공기의 흐름이다.
여기서, 이러한 다운 플로우가 생기고 있는 상태하에서도, 상술의 덮개 부재(12)를 설치했으므로, 기판 스테이지(2)측에서 흘러 오는 다운 플로우의 바람이 레이저부(7a2)와 반사부(7b2)의 사이 및 레이저부(7a1)와 반사부(7b1)의 사이를 직접 통과하는 것이 방지되므로, 레이저 거리 측정기(7A, 7B)의 레이저광의 광로의 주위 환경이 다운 플로우의 통과에 기인하여 변동하는 것을 방지하는 것이 가능해진다. 따라서, 레이저 거리 측정기(7A, 7B)의 측정 정밀도를 정밀도 좋게 유지할 수 있다.
또, Y축 이동 기구(6A)의 외측에 배선용의 케이블 베어(등록상표)가 설치되는 경우가 있지만, 이러한 경우라도, 레이저 거리 측정기(7A, 7B)를 Y축 이동 기구(6A)의 내측에 설치한 것으로 인해, 레이저 거리 측정기(7A, 7B)가 케이블 베어의 설치에 방해가 되지 않고, 또, 내측에 설치한 분만큼, 케이블 베어의 이동에 따른 그 주위 환경의 변화의 영향을 받기 어려워지므로, 이로 인해서도 레이저 거리 측정기(7A, 7B)의 측정 정밀도를 정밀도 좋게 유지할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 제3 실시의 형태에 의하면, 제1 실시의 형태와 같은 효과를 얻을 수 있다. 또한, 레이저 거리 측정기(7B) 및 레이저 거리 측정기(7A)를 Y축 이동 기구(6A)의 내측에 설치한 경우, 덮개 부재(12)를 설치함으로써, 다운 플로우의 바람이 레이저광에 악영향을 주는 것이 억제되고, 레이저광에 의한 이간 거리의 측정 정밀도가 저하해 버리는 것을 억지할 수 있게 된다. 이로 인해, 높은 정밀도로 위치 제어를 행할 수 있고, 그 결과, 도포 정밀도를 향상시킬 수 있다.
(제4 실시의 형태)
본 발명의 제4 실시의 형태에 대해서 도 6을 참조하여 설명한다. 본 발명의 제4 실시의 형태에서는, 제1 실시의 형태와 다른 부분에 대해서 설명한다. 또한, 제4 실시의 형태에 있어서는, 제1 실시의 형태에서 설명한 부분과 동일 부분은 동일 부호로 나타내고, 그 설명은 생략한다.
도 6에 나타내는 바와 같이, 레이저 거리 측정기(7H)는, 레이저광을 출사하여 반사광을 수광하는 레이저부(7a8) 및 레이저부(7a9)와, 출사된 레이저광을 레이저부(7a8) 및 레이저부(7a9)를 향해 반사하는 경사면(M)을 가지는 반사부(7b8)를 구비하고 있다.
레이저부(7a8)는 지지 부재(5A)의 단부, 즉 단면에 설치되어 있고, 반사부(7b8)의 경사면(M)을 향해 레이저광을 출사하여 그 경사면(M)에 의해 반사된 레이저광인 반사광을 수광하고, 반사부(7b8)와의 이간 거리를 측정한다.
레이저부(7a9)는 지지 부재(5B)의 단부, 즉 단면에 설치되어 있고, 상술의 레이저부(7a8)와 같이, 반사부(7b8)의 경사면(M)를 향해 레이저광을 출사하여 그 경사면(M)에 의해 반사된 레이저광인 반사광을 수광하고, 반사부(7b8)와의 이간 거리를 측정한다.
반사부(7b8)는, Y축 이동 기구(6A)의 외측으로서 그 Y축 이동 기구(6A)를 따르도록 가대(9) 상에 설치되어 있다. 이 반사부(7b8)는, 지지 부재(5A) 및 지지 부재(5B)의 이동 방향, 즉 Y축 방향의 한쪽의 단부로부터 다른쪽의 단부에 걸쳐 그 높이가 서서히(연속적으로) 낮아지도록 변화하는 경사면(M)을 가지고 있다. 반사부(7b8)로서는, 예를 들면 거울 등을 이용한다. 즉, 반사부(7b8)는, 상기 경사면(M) 상에, 이 경사면(M)과 동치수, 동형상(사각형 형상)으로 균일한 두께를 가지는 유리제의 거울을 설치한 구조로 할 수 있다. 또한, 반사부(7b8)는, 상술의 평탄한 경사면(M)을 스테인리스 등의 금속으로 형성하고, 그 경사면(M)을 경면 가공함으로써 형성되어도 된다.
제어부(10)는, 레이저부(7a8)에 의해 측정된 이간 거리로부터 지지 부재(5A)의 Y축 방향의 위치를 파악하고, 또한, 레이저부(7a9)에 의해 측정된 이간 거리로부터 지지 부재(5B)의 Y축 방향의 위치를 파악한다. 이 때, 제어부(10)는, 지지 부재(5A, 5B)의 Y축 방향의 위치와 이간 거리의 상대 관계를 나타내는 거리 정보를 이용하여, 측정된 이간 거리로부터 지지 부재(5A, 5B)의 Y축 방향의 위치를 파악한다. 거리 정보는 기억부에 미리 기억되어 있다.
여기서, 레이저부(7a8)와 반사부(7b8)의 이간 거리의 최대값, 또한, 레이저부(7a9)와 반사부(7b8)의 이간 거리의 최대값은, 제1 실시의 형태(도 1 참조)에 있어서의 레이저부(7a1)와 반사부(7b1)의 이간 거리의 최대값, 및, 레이저부(7a2)와 반사부(7b2)의 이간 거리의 최대값에 비해 매우 작아져 있다.
이 이간 거리의 최대값이 클수록, 레이저광의 광로는 길어지기 때문에, 레이저광은 다운 플로우의 바람(공기)에 의한 악영향을 받기 쉬워진다. 따라서, 이간 거리의 최대값을 가능한 한 작게 함으로써, 다운 플로우의 바람에 의한 악영향이 억지되어 있다. 이로 인해, 다운 플로우의 바람이 레이저광에 악영향을 주는 것이 억제되므로, 레이저광에 의한 이간 거리의 측정 정밀도가 저하해 버리는 것을 방지할 수 있게 되고, 그 결과, 도포 정밀도를 향상시킬 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 제4 실시의 형태에 의하면, 제1 실시의 형태와 같은 효과를 얻을 수 있다. 또한, 지지 부재(5A)의 단부에 레이저부(7a8)를 설치하고, 지지 부재(5B)의 단부에 레이저부(7a9)를 설치하고, 또한, 반사부(7b8)를 Y축 이동 기구(6A)를 따르도록 설치함으로써, 레이저부(7a8)와 반사부(7b8)의 이간 거리의 최대값 및 레이저부(7a9)와 반사부(7b8)의 이간 거리의 최대값이, 제1 실시의 형태에 있어서의 레이저부(7a1)와 반사부(7b1)의 이간 거리의 최대값 및 레이저부(7a2)와 반사부(7b2)의 이간 거리의 최대값에 비해 작아지므로, 다운 플로우의 바람이 레이저광에 악영향을 주는 것이 억제되고, 이간 거리의 측정 정밀도가 저하해 버리는 것을 억지할 수 있게 된다. 이로 인해, 높은 정밀도로 위치 제어를 행할 수 있고, 그 결과, 도포 정밀도를 향상시킬 수 있다.
(제5 실시의 형태)
본 발명의 제5 실시의 형태에 대해서 도 7을 참조하여 설명한다. 본 발명의 제5 실시의 형태에서는, 제4 실시의 형태와 다른 부분에 대해서 설명한다. 또한, 제5 실시의 형태에 있어서는, 제4 실시의 형태에서 설명한 부분과 동일 부분은 동일 부호로 나타내고, 그 설명은 생략한다.
도 7에 나타내는 바와 같이, 지지 부재(5B)는, 각 도포 헤드(3C, 3D)를 지지하는 문형(문형상)의 칼럼이다. 이 지지 부재(5B)는, 그 연신부가 X축 방향을 따르도록 위치되고, 그 다리부가 Y축 이동 기구(6A) 및 Y축 이동 기구(6B) 상에 설치되어 있다. 또한, 지지 부재(5A)도 동일한 구조로 형성되어 있다.
레이저부(7a9)는, Y축 이동 기구(6A)의 내측, 즉 지지 부재(5B)의 다리부의 내측에 설치되어 있다. 마찬가지로, 레이저부(7a8)도 지지 부재(5A)의 다리부의 내측에 설치되어 있다. 반사부(7b8)는, Y축 이동 기구(6A)의 내측에서 그 Y축 이동 기구(6A)를 따르도록 가대(9) 상에 설치되어 있다.
또, 덮개 부재(13)가, 레이저부(7a9)를 포함하고 그 레이저부(7a9)로부터 반사부(7b8)까지의 레이저광의 광로를 덮어 지지 부재(5B)에 지지 부재(5B)와 함께 이동 가능하게 설치되어 있다. 특히, 덮개 부재(13)은, 레이저부(7a9) 및 반사부(7b8)에 의한 이간 거리의 측정, 또한, 지지 부재(5B)의 이동을 방해하지 않도록 형성되어 있다. 마찬가지로 지지 부재(5A)에도 레이저부(7a8)용의 덮개 부재(13)가 설치되어 있다.
레이저부(7a9)용의 덮개 부재(13)는, 레이저부(7a9)와 반사부(7b8)의 사이에 다운 플로우의 바람(공기)이 통과하는 것을 억지하고 있다. 마찬가지로 레이저부(7a8)용의 덮개 부재(13)도, 레이저부(7a8)와 반사부(7b8)의 사이에 다운 플로우의 바람(공기)이 통과하는 것을 억지하고 있다. 이로 인해, 다운 플로우의 바람이 레이저광에 악영향을 주는 것이 억제되므로, 레이저광에 의한 이간 거리의 측정 정밀도가 저하해 버리는 것을 방지할 수 있게 되고, 그 결과, 도포 정밀도를 향상시킬 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 제5 실시의 형태에 의하면, 제4 실시의 형태와 같은 효과를 얻을 수 있다. 또한, 반사부(7b8)를 Y축 이동 기구(6A)의 내측에 설치한 경우에, 덮개 부재(13)를 설치함으로써, 다운 플로우의 바람이 레이저광에 악영향을 주는 것이 억제되고, 이간 거리의 측정 정밀도가 저하해 버리는 것을 억지할 수 있게 된다. 이로 인해, 높은 정밀도로 위치 제어를 행할 수 있고, 그 결과, 도포 정밀도를 향상시킬 수 있다.
(제6 실시의 형태)
본 발명의 제6 실시의 형태에 대해 도 8을 참조하여 설명한다. 본 발명의 제6 실시의 형태에서는, 제2 실시의 형태와 다른 부분에 대해서 설명한다. 또한, 제6 실시의 형태에 있어서는, 제2 실시의 형태에서 설명한 부분과 동일 부분은 동일 부호로 나타내고, 그 설명은 생략한다.
도 8에 나타내는 바와 같이, 레이저 거리 측정기(7I)는, 레이저광을 출사하여 반사광을 수광하는 레이저부(7a10) 및 레이저부(7a11)와, 출사된 레이저광을 레이저부(7a10) 및 레이저부(7a11)를 향해 반사하는 경사면(M)을 가지는 반사부(7b9)를 구비하고 있다.
레이저부(7a10)는 도포 헤드(3C)에 연결 부재(14a)에 의해 연결되어 있고, 도포 헤드(3c)와 함께 X축 방향으로 이동한다. 이 레이저부(7a10)는, 반사부(7b9)의 경사면(M)을 향해 레이저광을 출사하여 그 경사면(M)에 의해 반사된 레이저광인 반사광을 수광하고, 반사부(7b9)와의 이간 거리를 측정한다.
레이저부(7a11)는 도포 헤드(3D)에 연결 부재(14b)에 의해 연결되어 있고, 도포 헤드(3D)와 함께 X축 방향으로 이동한다. 이 레이저부(7a11)는, 상술의 레이저부(7a10)와 같이, 반사부(7b9)의 경사면(M)을 향해 레이저광을 출사하여 그 경사면(M)에 의해 반사된 레이저광인 반사광을 수광하고, 반사부(7b9)와의 이간 거리를 측정한다.
반사부(7b9)는, 지지 부재(5B)의 외측의 면에 그 지지 부재(5B)의 연신 방향을 따르도록 설치되어 있다. 이 반사부(7b9)는, 지지 부재(5B)의 연신 방향, 즉 X축 방향의 한쪽의 단부로부터 다른쪽의 단부에 걸쳐 그 높이가 서서히(연속적으로) 낮아지도록 변화하는 경사면(M)을 가지고 있다. 반사부(7b9)로서는, 예를 들면 거울 등을 이용한다. 즉, 반사부(7b8)는, 상기 경사면(M) 상에, 이 경사면(M)과 동치수, 동형상(사각형 형상)으로 균일한 두께를 가지는 유리제의 거울을 설치한 구조로 할 수 있다. 또한, 반사부(7b8)는, 상술의 평탄한 경사면(M)을 스테인리스 등의 금속으로 형성하고, 그 경사면(M)을 경면 가공함으로써 형성되어도 된다.
제어부(10)는, 레이저부(7a10)에 의해 측정된 이간 거리로부터 도포 헤드(3C)의 X축 방향의 위치를 파악하고, 또한, 레이저부(7a11)에 의해 측정된 이간 거리로부터 도포 헤드(3D)의 X축 방향의 위치를 파악한다. 이때, 제어부(10)는, 도포 헤드(3C, 3D)의 X축 방향의 위치와 이간 거리의 상대 관계를 나타내는 거리 정보를 이용하여, 측정된 이간 거리로부터 도포 헤드(3C, 3D)의 X축 방향의 위치를 파악한다. 거리 정보는 기억부에 미리 기억되어 있다.
여기서, 레이저부(7a10)와 반사부(7b9)의 이간 거리의 최대값, 또한, 레이저부(7a11)와 반사부(7b9)의 이간 거리의 최대값은, 제2 실시의 형태(도 3 참조)에 있어서의 레이저부(7a5)와 반사부(7b5)의 이간 거리의 최대값, 및, 레이저부(7a6)와 반사부(7b6)의 이간 거리의 최대값에 비해 매우 작아져 있다.
이 이간 거리의 최대값이 클수록, 레이저광의 광로는 길어지기 때문에, 레이저광은 다운 플로우의 바람(공기)에 의한 악영향을 받기 쉬워진다. 따라서, 이간 거리의 최대값을 가능한 한 작게 함으로써, 다운 플로우의 바람에 의한 악영향이 억지되어 있다. 이로 인해, 다운 플로우의 바람이 레이저광에 악영향을 주는 것이 억제되므로, 레이저광에 의한 이간 거리의 측정 정밀도가 저하해 버리는 것을 방지할 수 있게 되고, 그 결과, 도포 정밀도를 향상시킬 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 제6 실시의 형태에 의하면, 제2 실시의 형태와 같은 효과를 얻을 수 있다. 또한, 도포 헤드(3C)에 레이저부(7a10)를 연결하고, 도포 헤드(3D)에 레이저부(7a11)를 연결하고, 또한, 반사부(7b9)를 지지 부재(5B)를 따르도록 설치함으로써, 레이저부(7a10)와 반사부(7b9)의 이간 거리의 최대값 및 레이저부(7a11)와 반사부(7b9)의 이간 거리의 최대값이, 제2 실시의 형태에 있어서의 레이저부(7a5)와 반사부(7b5)의 이간 거리의 최대값 및 레이저부(7a6)와 반사부(7b6)의 이간 거리의 최대값에 비해 작아지므로, 다운 플로우의 바람이 레이저광에 악영향을 주는 것이 억제되고, 이간 거리의 측정 정밀도가 저하해 버리는 것을 억지할 수 있게 된다. 이로 인해, 높은 정밀도로 위치 제어를 행할 수 있고, 그 결과, 도포 정밀도를 향상시킬 수 있다.
(다른 실시의 형태)
또한, 본 발명은, 상술의 실시의 형태에 한정하는 것은 아니며, 그 요지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 여러 가지 변경 가능하다.
예를 들면, 상술의 실시의 형태에 있어서는, 4개의 도포 헤드(3A~3D)를 지지 부재(5A) 및 지지 부재(5B)에 각각 2개씩 설치하고 있지만, 이것에 한정하는 것은 아니며, 6개의 도포 헤드를 지지 부재(5A) 및 지지 부재(5B)에 각각 3개씩 설치해도 되고, 그 수는 한정되지 않는다. 더욱이, 상술의 실시의 형태에 있어서는, 2개의 지지 부재(5A) 및 지지 부재(5B)를 설치하고 있지만, 이것에 한정하는 것은 아니며, 그 수는 한정되지 않는다.
또한, 상술의 실시의 형태에 있어서는, 페이스트로서 시일성 및 접착성을 가지는 시일제를 이용하고 있지만, 반드시 시일성 및 접착성을 가질 필요는 없고, 시일성 및 접착성 중 어느 한쪽만을 가지는 페이스트 등, 다른 성상을 가지는 페이스트여도 된다.
또, 상술의 실시의 형태에 있어서는, 레이저 거리 측정기(7A, 7B)를 지지 부재(5A, 5B)의 한쪽의 단부측에 배치했지만, 이것에 한정하는 것은 아니며, 지지 부재(5A, 5B)의 다른쪽의 단부측에도 배치하도록 해도 된다. 이와 같이 한 경우, 지지 부재(5A, 5B)의 양단부에 있어서 이간 거리가 각각 측정되므로, 지지 부재(5A, 5B)마다 양단부의 이간 거리를 비교하여 차를 구함으로써, 각 지지 부재(5A, 5B)의 수평면 내에서의 회전 편차의 유무를 검출할 수 있다. 그 때문에, 지지 부재(5A, 5B)의 회전 편차가 검출되었을 경우에는, 이 회전 편차를 없애도록 Y축 이동 기구(6A, 6B)를 제어하면, 지지 부재(5A, 5B)가 회전 편차를 일으킨 채의 상태로 지지 부재(5A, 5B)가 Y축 방향으로 이동하거나, 지지 부재(5A, 5B) 상에서 도포 헤드(3A~3D)가 이동하거나 하는 것이 방지되므로, 기판(K) 상에 페이스트를 소정의 도포 패턴으로 보다 정밀도 좋게 도포하는 것이 가능해진다.
또, 상술의 실시의 형태에 있어서는, 기판 스테이지(2)를 가대(9) 상에 고정하고, 각 도포 헤드(3A~3D), 지지 부재(5A) 및 지지 부재(5B)를 이동시켜, 기판(K)의 표면에 페이스트를 도포하는 것으로 설명하고 있지만, 이것에 한정하는 것은 아니며, 기판 스테이지(2)를 Y축 방향이나 X축 방향, θ방향(X축 및 Y축을 포함하는 평면에서의 회전 방향) 등으로 이동 가능하게 구성하도록 해도 되고, 예를 들면, 기판 스테이지(2)를 지지 부재(5A) 및 지지 부재(5B)의 이동 방향(Y축 방향)과 같은 방향으로 이동 가능하게 구성해도 된다. 이 경우에는, 기판(K)과 각 도포 헤드(3A~3D)를 Y축 방향으로 상대 이동시킬 때, 기판 스테이지(2)와, 지지 부재(5A, 5B)를 서로 상반되는 방향으로 이동시키면, 지지 부재(5A, 5B)만의 이동을 행하는 경우에 비해, 기판 스테이지(2) 및 지지 부재(5A, 5B)의 이동 속도를 절반으로 할 수 있다. 이 때문에, 기판 스테이지(2) 및 지지 부재(5A, 5B)의 이동에 따른 관성력이 작아지므로, 기판 스테이지(2) 및 지지 부재(5A, 5B)의 가속 혹은 감속에 기인하여 생기는 진동을 저감시킬 수 있다. 그 결과, Y축 방향에 따르는 페이스트 패턴의 시단 및 종단의 형상이나 도포 방향이 전환하는 페이스트 패턴의 코너부의 형상을 원하는 형상으로 정밀도 좋게 도포하는 것이 가능해지고, 품질이 좋은 액정 표시 패널을 제조할 수 있다.
또, 상술의 실시의 형태에 있어서는, 지지 부재(5A, 5B)까지의 이간 거리나 도포 헤드(3A~3E)까지의 이간 거리를 측정하는 레이저 거리 측정기로서 레이저 간섭측장기를 이용한 예로 설명했지만, 다른 레이저 거리 측정기, 예를 들면, 반사부를 향해 레이저광을 조사하고, 반사하여 돌아오는 시간에 따라, 반사부까지의 거리를 측정하는 방식의 레이저 거리 측정기를 이용해도 된다.
또, 상술의 제1 실시의 형태에 있어서는, 레이저 거리 측정기(7A)의 레이저부(7a1)를 Y축 이동 기구(6A)에 있어서의 지지 부재(5A)측의 단부 근방에 배치하고, 레이저 거리 측정기(7B)의 레이저부(7a2)를 Y축 이동 기구(6A)에 있어서의 지지 부재(5B)측의 단부 근방에 배치하는 것으로 했지만, 각각의 레이저부(7a1, 7a2)를 Y축 이동 기구(6A)의 한쪽의 단부측에 집중 배치하도록 해도 된다. 예를 들면, 각각의 레이저부(7a1, 7a2)를 Y축 이동 기구(6A)에 있어서의 지지 부재(5A)측의 단부 근방에 배치하는 경우, 가대(9)의 상면에 레이저부(7a1)를 배치하고, 그 위에 레이저부(7a2)를 배치하여, 2개의 레이저부(7a1, 7a2)를 높이를 달리하여 배치하고, 각각의 반사부(7b1, 7b2)도 각 레이저부(7a1, 7a2)로부터 조사되는 광로에 대응시켜 높이를 달리하여 지지 부재(5A, 5B)의 저면에 고정 배치한다. 이와 같이, 각각의 레이저부(7a1, 7a2)를 Y축 이동 기구(6A)의 한쪽의 단부측에 집중 배치한 경우, 그 단부측을 작업자에 의한 시일 도포 장치의 조작측으로 한 경우에는, 각 레이저부(7a1, 7a2)가 작업자에 의한 조작측에 배치되게 되므로, 레이저 거리 측정기(7A, 7B)의 메인터넌스를 용이하게 행하는 것이 가능해진다. 이 때문에, 레이저 거리 측정기(7A, 7B)에 의한 거리 측정 정밀도를 안정되게 유지하는 것이 가능해진다.
이상, 본 발명의 실시의 형태를 설명했지만, 구체예를 예시하는 것에 지나지 않고, 특히 본 발명을 한정하는 것은 아니며, 각부의 구체적 구성 등은, 적절히 변경 가능하다. 또, 실시의 형태에 기재된 작용 및 효과는, 본 발명으로부터 생기는 가장 적합한 작용 및 효과를 열거하는 것에 지나지 않고, 본 발명에 의한 작용 및 효과는, 본 발명의 실시의 형태에 기재된 것에 한정되는 것은 아니다. 본 발명은, 예를 들면, 도포 대상물에 페이스트를 도포하는 도포 장치나 도포 방법, 또, 표시 패널을 제조하는 제조 장치나 제조 방법 등으로 이용된다.

Claims (12)

  1. 도포 대상물에 페이스트를 도포하는 도포 헤드와,
    상기 도포 헤드를 지지하는 지지 부재와,
    상기 지지 부재를 상기 도포 대상물의 표면을 따르도록 이동시키는 이동 기구와,
    상기 지지 부재에 설치된 반사부와,
    상기 반사부를 향해 상기 지지 부재의 이동 방향으로 레이저광을 출사하고, 상기 반사부에 의해 반사된 레이저광인 반사광을 수광하고, 상기 반사부와의 이간 거리를 측정하는 레이저부와,
    상기 레이저부에 의해 측정된 상기 이간 거리에 기초하여, 상기 도포 대상물 상에 페이스트 패턴을 묘화하도록 상기 도포 헤드 및 상기 이동 기구를 제어하는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 장치.
  2. 도포 대상물에 페이스트를 도포하는 도포 헤드와,
    상기 도포 헤드를 지지하는 지지 부재와,
    상기 지지 부재를 상기 도포 대상물의 표면을 따르도록 이동시키는 이동 기구와,
    상기 지지 부재의 이동 방향을 따라 서서히 높이가 변화하는 경사면을 가지는 반사부와,
    상기 지지 부재에 설치되고, 상기 경사면을 향해 레이저광을 출사하여 상기 경사면에 의해 반사된 레이저광인 반사광을 수광하고, 상기 반사부와의 이간 거리를 측정하는 레이저부와,
    상기 레이저부에 의해 측정된 상기 이간 거리에 기초하여, 상기 도포 대상물 상에 페이스트 패턴을 묘화하도록 상기 도포 헤드 및 상기 이동 기구를 제어하는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 장치.
  3. 도포 대상물에 페이스트를 도포하는 도포 헤드와,
    상기 도포 헤드를 지지하는 지지 부재와,
    상기 도포 헤드를 상기 지지 부재를 따르도록 이동시키는 이동 기구와,
    상기 도포 헤드에 설치된 반사부와,
    상기 반사부를 향해 상기 도포 헤드의 이동 방향으로 레이저광을 출사하고, 상기 반사부에 의해 반사된 레이저광인 반사광을 수광하고, 상기 반사부와의 이간 거리를 측정하는 레이저부와,
    상기 레이저부에 의해 측정된 상기 이간 거리에 기초하여, 상기 도포 대상물 상에 페이스트 패턴을 묘화하도록 상기 도포 헤드 및 상기 이동 기구를 제어하는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 장치.
  4. 도포 대상물에 페이스트를 도포하는 도포 헤드와,
    상기 도포 헤드를 지지하는 지지 부재와,
    상기 도포 헤드를 상기 지지 부재를 따르도록 이동시키는 이동 기구와,
    상기 지지 부재에 설치되고, 상기 도포 헤드의 이동 방향을 따라 서서히 높이가 변화하는 경사면을 가지는 반사부와,
    상기 도포 헤드에 연결되고, 상기 경사면을 향해 레이저광을 출사하여 상기 경사면에 의해 반사된 레이저광인 반사광을 수광하고, 상기 반사부와의 이간 거리를 측정하는 레이저부와,
    상기 레이저부에 의해 측정된 상기 이간 거리에 기초하여, 상기 도포 대상물 상에 페이스트 패턴을 묘화하도록 상기 도포 헤드 및 상기 이동 기구를 제어하는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 장치.
  5. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
    기온, 습도 및 기압을 검출하는 환경 검출기를 더 구비하고,
    상기 제어부는, 상기 환경 검출기에 의해 검출된 상기 기온, 상기 습도 및 상기 기압에 기초하여, 상기 레이저부에 의해 측정된 상기 이간 거리를 보정하고, 보정한 상기 이간 거리에 기초하여 상기 도포 헤드 및 상기 이동 기구를 제어하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 이동 기구는, 상기 지지 부재의 양단부를 지지하여 상기 지지 부재를 이동시키는 한 쌍의 이동 기구에 의해 구성되어 있고,
    상기 반사부는 상기 한 쌍의 이동 기구의 내측에서 상기 지지 부재에 설치되어 있고,
    상기 도포 대상물측과 상기 레이저부로부터 출사되는 레이저광의 광로측을 나누는 덮개 부재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 장치.
  7. 청구항 2에 있어서,
    상기 이동 기구는, 상기 지지 부재의 양단부를 지지하여 상기 지지 부재를 이동시키는 한 쌍의 이동 기구에 의해 구성되어 있고,
    상기 레이저부는 상기 한 쌍의 이동 기구의 내측에서 상기 지지 부재에 설치되어 있고,
    상기 지지 부재와 함께 이동 가능하게 상기 지지 부재에 설치되고, 상기 도포 대상물측과 상기 레이저부로부터 출사되는 레이저광의 광로측을 나누는 덮개 부재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 장치.
  8. 도포 대상물에 페이스트를 도포하는 도포 헤드와, 상기 도포 헤드를 지지하는 지지 부재와, 상기 지지 부재를 상기 도포 대상물의 표면을 따르도록 이동시키는 이동 기구와, 상기 지지 부재에 설치된 반사부와, 상기 반사부를 향해 상기 지지 부재의 이동 방향으로 레이저광을 출사하는 레이저부를 구비하는 페이스트 도포 장치를 이용하여,
    상기 레이저부에 의해, 상기 반사부에 레이저광을 조사하여 상기 반사부에 의해 반사된 레이저광인 반사광을 수광하고, 상기 반사부와의 이간 거리를 측정하는 공정과,
    측정한 상기 이간 거리에 기초하여 상기 도포 헤드 및 상기 이동 기구를 제어하고, 상기 도포 대상물 상에 페이스트 패턴을 묘화하는 공정을 가지는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 방법.
  9. 도포 대상물에 페이스트를 도포하는 도포 헤드와, 상기 도포 헤드를 지지하는 지지 부재와, 상기 지지 부재를 상기 도포 대상물의 표면을 따르도록 이동시키는 이동 기구와, 상기 지지 부재의 이동 방향을 따라 서서히 높이가 변화하는 경사면을 가지는 반사부와, 상기 지지 부재에 설치되고, 상기 경사면을 향해 레이저광을 출사하는 레이저부를 구비하는 페이스트 도포 장치를 이용하여,
    상기 레이저부에 의해, 상기 경사면에 레이저광을 조사하여 상기 경사면에 의해 반사된 레이저광인 반사광을 수광하고, 상기 반사부와의 이간 거리를 측정하는 공정과,
    측정한 상기 이간 거리에 기초하여 상기 도포 헤드 및 상기 이동 기구를 제어하고, 상기 도포 대상물 상에 페이스트 패턴을 묘화하는 공정을 가지는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 방법.
  10. 도포 대상물에 페이스트를 도포하는 도포 헤드와, 상기 도포 헤드를 지지하는 지지 부재와, 상기 도포 헤드를 상기 지지 부재를 따르도록 이동시키는 이동 기구와, 상기 도포 헤드에 설치된 반사부와, 상기 반사부를 향해 상기 도포 헤드의 이동 방향으로 레이저광을 출사하는 레이저부를 구비하는 페이스트 도포 장치를 이용하여,
    상기 레이저부에 의해, 상기 반사부에 레이저광을 조사하여 상기 반사부에 의해 반사된 레이저광인 반사광을 수광하고, 상기 반사부와의 이간 거리를 측정하는 공정과,
    측정한 상기 이간 거리에 기초하여 상기 도포 헤드 및 상기 이동 기구를 제어하고, 상기 도포 대상물 상에 페이스트 패턴을 묘화하는 공정을 가지는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 방법.
  11. 도포 대상물에 페이스트를 도포하는 도포 헤드와, 상기 도포 헤드를 지지하는 지지 부재와, 상기 도포 헤드를 상기 지지 부재를 따르도록 이동시키는 이동 기구와, 상기 지지 부재에 설치되고, 상기 도포 헤드의 이동 방향을 따라 서서히 높이가 변화하는 경사면을 가지는 반사부와, 상기 도포 헤드에 연결되고, 상기 경사면을 향해 레이저광을 출사하는 레이저부를 구비하는 페이스트 도포 장치를 이용하여,
    상기 레이저부에 의해, 상기 경사면에 레이저광을 조사하여 상기 경사면에 의해 반사된 레이저광인 반사광을 수광하고, 상기 반사부와의 이간 거리를 측정하는 공정과,
    측정한 상기 이간 거리에 기초하여 상기 도포 헤드 및 상기 이동 기구를 제어하고, 상기 도포 대상물 상에 페이스트 패턴을 묘화하는 공정을 가지는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 방법.
  12. 청구항 8 내지 청구항 11 중 어느 한 항에 있어서,
    기온, 습도 및 기압을 검출하는 공정을 더 가지며,
    상기 제어하는 공정에서는, 검출한 상기 기온, 상기 습도 및 상기 기압에 기초하여 상기 이간 거리를 보정하고, 보정한 상기 이간 거리에 기초하여 상기 도포 헤드 및 상기 이동 기구를 제어하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 방법.
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101364661B1 (ko) * 2011-03-07 2014-02-19 시바우라 메카트로닉스 가부시끼가이샤 페이스트 도포 장치 및 페이스트 도포 방법
CN104028438B (zh) * 2014-06-25 2015-08-19 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 一种可移动支撑脚位置的预烘烤炉
CN109382264B (zh) * 2018-10-23 2021-06-04 惠科股份有限公司 涂布机构、涂布工艺及显示面板
CN110560339A (zh) * 2019-09-04 2019-12-13 深圳市华讯方舟微电子科技有限公司 一种定位装置以及点胶工艺

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2703700B2 (ja) * 1992-10-01 1998-01-26 日立テクノエンジニアリング株式会社 ペースト塗布機
JP3318440B2 (ja) * 1994-06-22 2002-08-26 富士通株式会社 ステージ原点位置決定方法及び装置並びにステージ位置検出器原点決定方法及び装置
JP3701882B2 (ja) * 2001-05-25 2005-10-05 株式会社 日立インダストリイズ ペースト塗布機
JP3988628B2 (ja) * 2002-11-19 2007-10-10 セイコーエプソン株式会社 液滴吐出装置
JP2006192410A (ja) * 2005-01-17 2006-07-27 Sharp Corp 液体噴射装置
JP4339290B2 (ja) * 2005-07-29 2009-10-07 アンリツ株式会社 変位測定装置

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