WO2009107294A1 - ローラー型ナノインプリント装置、ローラー型ナノインプリント装置用金型ロール、ローラー型ナノインプリント装置用固定ロール、及び、ナノインプリントシートの製造方法 - Google Patents

ローラー型ナノインプリント装置、ローラー型ナノインプリント装置用金型ロール、ローラー型ナノインプリント装置用固定ロール、及び、ナノインプリントシートの製造方法 Download PDF

Info

Publication number
WO2009107294A1
WO2009107294A1 PCT/JP2008/071030 JP2008071030W WO2009107294A1 WO 2009107294 A1 WO2009107294 A1 WO 2009107294A1 JP 2008071030 W JP2008071030 W JP 2008071030W WO 2009107294 A1 WO2009107294 A1 WO 2009107294A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
roll
mold roll
mold
peripheral surface
film
Prior art date
Application number
PCT/JP2008/071030
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
山田信明
藤井暁義
林秀和
田口登喜生
Original Assignee
シャープ株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by シャープ株式会社 filed Critical シャープ株式会社
Priority to US12/734,381 priority Critical patent/US8673193B2/en
Priority to BRPI0822215-0A priority patent/BRPI0822215A2/pt
Priority to CN200880122606.5A priority patent/CN101909859B/zh
Priority to EP08872863.9A priority patent/EP2246177B1/en
Priority to JP2010500533A priority patent/JP4875203B2/ja
Publication of WO2009107294A1 publication Critical patent/WO2009107294A1/ja

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
    • B29C59/02—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing
    • B29C59/04—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing using rollers or endless belts
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
    • B29D11/00—Producing optical elements, e.g. lenses or prisms
    • B29D11/00009—Production of simple or compound lenses
    • B29D11/00317—Production of lenses with markings or patterns
    • B29D11/00346—Production of lenses with markings or patterns having nanosize structures or features, e.g. fillers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82—NANOTECHNOLOGY
    • B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82—NANOTECHNOLOGY
    • B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/0002—Lithographic processes using patterning methods other than those involving the exposure to radiation, e.g. by stamping
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
    • B29C59/02—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing
    • B29C59/022—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing characterised by the disposition or the configuration, e.g. dimensions, of the embossments or the shaping tools therefor
    • B29C2059/023—Microembossing

Definitions

  • the present invention relates to a roller-type nanoimprint apparatus, a mold roll for a roller-type nanoimprint apparatus, a fixed roll for a roller-type nanoimprint apparatus, and a method for producing a nanoimprint sheet. More specifically, a roller-type nanoimprint apparatus suitable for producing a surface-treated resin sheet capable of obtaining a low reflectance, a mold roll for a roller-type nanoimprint apparatus, a fixed roll for a roller-type nanoimprint apparatus, and a nanoimprint sheet It is related with the manufacturing method.
  • nano-imprint technology a technology for transferring the shape by pressing nanometer-sized (1-1000 ⁇ m) irregularities (hereinafter also referred to as “nanostructures”) engraved in a mold onto a resin material applied on a substrate. Attention has been paid to research aimed at application to optical materials, IC miniaturization, clinical test substrates, and the like.
  • Advantages of nanoimprint technology include the ability to produce parts with various features at lower costs compared to conventional patterning technology using lithography and etching. This is because the configuration of the device used in the nanoimprint technology is simple and cheap compared to the device used in the conventional technology, and it is possible to manufacture a large number of parts having the same shape in a short time.
  • Known nanoimprint technology methods include thermal nanoimprint technology and UV nanoimprint technology.
  • a thin film of an ultraviolet curable resin is formed on a transparent substrate, a mold having a nanostructure is pressed onto the thin film, and then irradiated with ultraviolet rays, thereby forming a metal on the transparent substrate.
  • a thin film having a nano structure with an inverted shape of a mold is formed.
  • a thin film having a nanostructure In order to manufacture a thin film having a nanostructure at a low price by nanoimprint technology, it is preferable to use roll-to-roll processing rather than batch processing. According to the roll-to-roll process, a thin film having a nanostructure can be continuously produced using a mold roll.
  • small mold rolls 52 are sequentially slid horizontally and applied onto a large mold roll 51 while continuing the pattern.
  • a method is disclosed in which a pattern is transferred to an ultraviolet curable resin and a pattern is formed on a large mold roll 51 (see, for example, Patent Document 1).
  • the formed nanostructure in order to continue the pattern in the large roll 51, the formed nanostructure basically has a seam, and a nanostructure larger than the width of the small mold roll 52 is formed. Not suitable for.
  • rolls used for roll-to-roll processing methods for producing rolls (for example, see Patent Documents 2 and 3) in which a concavo-convex pattern is directly formed on a roll material are disclosed in fields other than nanoimprint technology.
  • this method when this method is applied to the nanoimprint technology, the mold roll formed with the nanostructure must be provided with a bearing mechanism for connecting the mold roll and the nanoimprint apparatus, and the mold roll is expensive. It becomes a problem in mass production.
  • the mold roll is not permanently used in the nanoimprint apparatus, and needs to be replaced after a certain period of use, so that it is strongly required to be inexpensive. For this, it is effective to simplify the structure of the die roll as an exchange member by making the die roll cylindrical. On the other hand, in order to prevent the thickness of the film to which the nanostructure is transferred from becoming uneven, it is necessary to transfer the nanostructure while uniformly pressing the surface of the film to be transferred.
  • a method for attaching to a nanoimprint apparatus capable of controlling the position and orientation of the mold roll with high accuracy is required.
  • the position and orientation of the mold roll are controlled with high accuracy and the mold roll can be easily attached and detached. It was difficult to achieve both.
  • the present invention has been made in view of the above situation, and can prevent the thickness of a film to be transferred onto which a nanostructure has been transferred by a mold roll from becoming non-uniform, and facilitate the mold roll. It is an object of the present invention to provide a roller-type nanoimprint apparatus, a roller roll for nanoimprint apparatus, a fixing roll for roller-type nanoimprint apparatus, and a method for producing a nanoimprint sheet.
  • the present inventors have made various studies on a roller-type nanoimprint apparatus using a cylindrical mold roll, and have focused on a method for attaching the mold roll to the nanoimprint apparatus. Then, using an elastic film that can be expanded by injecting fluid, the mold roll is attached and detached while the elastic film is contracted, and the mold roll is held from the inside while the elastic film is expanded. It has been found that the thickness of the film to which the nanostructure is transferred by the mold roll can be prevented from becoming non-uniform, and that the mold roll can be easily replaced. The inventors have arrived at the present invention by conceiving that the problem can be solved.
  • the present invention is a roller-type nanoimprint apparatus that continuously forms nanometer-size protrusions on the surface of a film to be transferred by rotating the mold roll, and the mold roll has a nanometer on the outer peripheral surface.
  • the nanoimprint apparatus has a fluid container including an elastic film that can be expanded by injecting fluid in a region surrounded by an inner peripheral surface of the mold roll.
  • a roller-type nanoimprint apparatus (hereinafter referred to as “first nanoimprint apparatus according to the present invention”), in which the mold roll is attached and detached while the elastic film is contracted, and the elastic film is expanded and the mold roll is held from the inside. It is also called.)
  • the pressing of the transferred film and the releasing from the transferred film are continuously performed.
  • a product having nanometer-sized protrusions formed on the surface can be manufactured at high speed and in large quantities.
  • a seamless (seamless) surface structure can be formed.
  • the film to be transferred is capable of forming a nanometer-size projection having an inverted shape of a nanometer-size depression formed on the outer peripheral surface of the mold roll by embossing the mold roll It is not specifically limited, For example, sheet-like resin is suitable. When transferring to a resin, it is preferable to carry out a curing treatment after embossing on an uncured or semi-cured resin.
  • a surface structure in which a nanometer-sized depression is formed and a surface structure in which a nanometer-size protrusion is formed are also referred to as a nanostructure. Examples of the nanostructure include a moth-eye structure and a wire grid structure.
  • the first nanoimprint apparatus of the present invention has a fluid container including an elastic film that can be expanded by injecting fluid in a region surrounded by an inner peripheral surface of a mold roll.
  • the fluid container is not particularly limited as long as it has a structure capable of inflating the elastic membrane by injecting a fluid.
  • the fluid container may be a bag-like elastic membrane, or a rigid container.
  • the opening may be sealed with an elastic film.
  • the pressure of the fluid it is possible to uniformly apply pressure to the inner peripheral surface of the mold roll to hold the mold roll, and thus it is possible to obtain a film to be transferred having a uniform thickness.
  • the elastic film contracts and the mold roll can be attached and detached, so that the mold roll can be easily replaced.
  • the first roller-type nanoimprint apparatus of the present invention is not particularly limited by other members as long as it includes the above-described mold roll and fluid container as constituent elements.
  • the first roller-type nanoimprint apparatus of the present invention for example, (1) a hollow roll that can be attached to the apparatus and has an opening is formed, and the elastic film is a bag.
  • the fluid container is an elastic bag made of the bag-like elastic film, and the nanoimprint apparatus has the hollow roll disposed in a region surrounded by the inner peripheral surface of the mold roll, An elastic bag is arranged in the hollow roll, and the mold roll is held by inflating the elastic bag and bringing the exposed portion from the opening of the hollow roll into contact with the inner peripheral surface of the mold roll. A mode in which the mold roll is rotated by rotating the hollow roll while holding the roll.
  • the fluid container can be attached to the nanoimprint apparatus and has a hollow roll formed with an opening.
  • the nanoimprint apparatus holds the mold roll by inflating the elastic film and bringing it into contact with the inner peripheral surface of the mold roll, and holding the mold roll.
  • the elastic membrane has a bag shape
  • the fluid container is an elastic bag made of the bag-like elastic membrane, and is attached around the rotating body, and the nanoimprint apparatus inflates the elastic bag.
  • the mold roll is held by bringing it into contact with the inner peripheral surface of the mold roll, and the mold roll is rotated by rotating the rotating body while holding the mold roll.
  • an elastic body is provided on the surface facing the inner peripheral surface of the mold roll, except for the portion where the opening is formed. A form is mentioned. According to this aspect, even when the mold roll and the hollow roll are in contact with each other, the elastic body functions as a buffer material, and unevenness occurs in the thickness of the film to be transferred, and the hollow roll and the mold roll are It can be prevented from being damaged.
  • a plurality of openings formed in the hollow roll is preferably formed from the viewpoint of stably holding the mold roll.
  • the plurality of openings are preferably substantially uniform in size, and are preferably provided at substantially uniform intervals.
  • a preferable form of the rotating body includes a form in which an elastic body is provided on a region of the outer peripheral surface where the elastic bag is not attached. According to this embodiment, even when the mold roll and the rotating body are in contact with each other, the elastic body functions as a buffer material, and unevenness occurs in the thickness of the film to be transferred, and the rotating body and the mold roll are It can be prevented from being damaged.
  • a preferable form of the mold roll includes a form in which a seam is not substantially formed.
  • a mold pattern composed of nanometer-sized depressions formed on the outer peripheral surface of the mold roll is continuously formed on the outer peripheral surface of the mold roll.
  • nanometer-sized protrusions can be formed substantially seamlessly on the surface of the transfer film.
  • the “substantially no seam is formed” may be a state where the presence of the seam cannot be detected optically. It is preferable that the linear step is not formed on the outer peripheral surface of the mold roll at a height exceeding 0.6 ⁇ m.
  • variety exceeding 0.6 micrometer is preferable.
  • a mold roll having substantially no seam can be obtained when a mold pattern is directly formed on the outer peripheral surface of a cylindrical roll material.
  • both ends of a plate-shaped roll material on which a mold pattern is formed in advance are joined, a seam is formed at the joined portion.
  • tube is mentioned.
  • a substantially seamless mold roll can be formed, and the above-described effects can be obtained.
  • cutting polishing is preferably used.
  • a method for cutting and polishing the surface of the aluminum tube a method in which a diamond cutting tool is slid in the direction of the rotation axis and continuously cut with respect to the rotated aluminum tube is preferable. Line marks remain on the surface of the mold roll made from the aluminum tube polished by such a method.
  • the line scar is a size that cannot be visually confirmed, but can be confirmed, for example, by observing the surface with a scanning electron microscope (SEM). Further, according to the anodizing method, a conical depression having a nanometer size can be formed on the outer peripheral surface of the aluminum tube. Such a depression can be obtained only by using an anodic oxidation method, and an oxide film is planarly formed by chemical oxidation.
  • the present invention also relates to a mold roll suitably used in the first roller type nanoimprint apparatus of the present invention.
  • the first mold roll of the present invention is for a roller-type nanoimprint apparatus for continuously forming nanometer-size protrusions on the surface of a film to be transferred by performing pressing on the film to be transferred while rotating.
  • the mold roll is a cylindrical body having a nanometer-sized depression formed on the outer peripheral surface thereof, and a member disposed in a region surrounded by the inner peripheral surface of the mold roll.
  • This is a roller roll for a nanoimprint apparatus having an alignment mechanism used for positioning. Examples of the positioning mechanism include a fitting structure and a hook.
  • the mold roll can be easily attached and detached, and the mold roll can be prevented from slipping and shifting when the mold is pressed. Can be prevented.
  • the second mold roll of the present invention is for a roller-type nanoimprint apparatus for continuously forming nanometer-sized protrusions on the surface of a film to be transferred by performing stamping on the film to be transferred while rotating.
  • a die roll wherein the die roll is cut and polished on an outer peripheral surface of a cylindrical aluminum tube formed by extrusion, and further, etching and anodization are alternately repeated to form a cone on the outer peripheral surface.
  • It is a die roll for a roller-type nanoimprint apparatus in which a depression of a shape is formed at a depth smaller than the wavelength of light.
  • Extrusion is suitable as a method for producing a cylindrical aluminum tube, but an aluminum tube produced by extrusion may have irregularities larger than nanometer size on its surface.
  • the surface smoothness of the aluminum tube after anodization can be ensured by cutting and polishing the aluminum tube before anodizing.
  • streak-like traces along the circumferential direction may remain according to the cutting and polishing, and streak-like traces along the extending direction of the pipe may remain according to the extrusion process.
  • the inner peripheral surface of the pipe is rarely subjected to surface processing, traces of extrusion are likely to remain on the inner peripheral surface of the pipe.
  • the present invention also relates to a fixed roll suitably used in the first roller type nanoimprint apparatus of the present invention.
  • the first fixed roll of the present invention continuously forms nanometer-size projections on the surface of the film to be transferred by rotating a cylindrical mold roll having nanometer-size depressions formed on the outer peripheral surface.
  • It is a fixed roll for a roller type nanoimprint apparatus, and the fixed roll is arranged in a region (inside the cylinder) surrounded by the inner peripheral surface of the mold roll, and can be expanded by injecting fluid.
  • the film roll is attached, the mold roll is attached and detached with the elastic film contracted, and the elastic roll expands and the fixed roll rotates while holding the mold roll from the inside to rotate the mold roll.
  • This is a fixed roll for a roller-type nanoimprint apparatus that has a positioning mechanism used for positioning with a mold roll. Examples of the positioning mechanism include a fitting structure and a hook. According to the first fixed roll of the present invention, since the mold roll can be positioned by the positioning mechanism, the mold roll can be easily attached and detached, and the mold roll can be prevented from slipping and slipping when the mold is pushed. can do
  • the second fixed roll of the present invention continuously forms nanometer-size protrusions on the surface of the film to be transferred by rotating a cylindrical mold roll having nanometer-size depressions formed on the outer peripheral surface thereof.
  • a fixed roll for a roller-type nanoimprint apparatus wherein the fixed roll is disposed in a region surrounded by an inner peripheral surface of the mold roll, and is attached with an elastic film that can be expanded by fluid injection.
  • the mold roll is attached and detached while the elastic film is contracted, and the mold roll is rotated by rotating the fixed roll while the elastic film expands and holds the mold roll from the inside.
  • a roller-type nanoimprint apparatus fixing roll provided with a bearing.
  • the mold roll can be switched to a free state and rotated when the mold roll is displaced from the position set by impact or the like.
  • the apparatus it is possible to adjust the apparatus so as to return it faster to the set position.
  • it can prevent that a metal mold
  • the elastic film may constitute a part of the fixing roll or may be a separate member from the fixing roll.
  • the present invention preferably also relates to a method for producing a nanoimprint sheet using the first roller-type nanoimprint apparatus of the present invention. That is, a method for producing a nanoimprint sheet having nanometer-sized protrusions formed on the surface, the manufacturing method comprising a cylindrical mold roll having a nanometer-sized depression formed on the outer peripheral surface, and the mold A fluid container provided with an elastic membrane that is provided in a region surrounded by the inner peripheral surface of the roll and that can be expanded by injecting fluid, and the mold roll can be attached and detached while the elastic membrane is contracted.
  • a method for producing a nanoimprint sheet in which the mold roll is held from the inside in a state where the elastic film is expanded and the mold roll is continuously pressed while the mold roll is rotated (hereinafter referred to as the present invention).
  • the present invention a method for producing a nanoimprint sheet, in which the mold roll is held from the inside in a state where the elastic film is expanded and the mold roll is continuously pressed while the mold roll is rotated.
  • the present invention a method for producing a nanoimprint sheet, in which the mold roll is held from the inside in a state where the elastic film is expanded and the mold roll is continuously pressed while the mold roll is rotated.
  • the nanoimprint sheet is not particularly limited as long as a nanometer-size projection is formed on the surface, and for example, a resin sheet is suitable.
  • the nanoimprint sheet can be suitably used as an antireflection film, for example.
  • the above manufacturing method may be a method of continuously embossing the nanoimprint sheet while rotating the mold roll.
  • the present inventors rotate the mold roll while holding the mold roll by at least three pinch rolls (holding rolls) arranged substantially rotationally symmetrical with respect to the rotation center (rotation axis) of the mold roll. It has been found that the thickness of the film to which the nanostructure is transferred by the mold roll can be prevented from becoming non-uniform depending on the structure, and that the mold roll can be easily replaced. That is, the present invention is a roller-type nanoimprint apparatus that continuously forms nanometer-size protrusions on the surface of a film to be transferred by rotating the mold roll, and the mold roll has a nanometer on the outer peripheral surface. The nanoimprint apparatus is configured to hold the mold roll by at least three pinch rolls arranged substantially rotationally symmetrically with respect to the rotation center of the mold roll.
  • a roller-type nanoimprint apparatus to be rotated (hereinafter also referred to as a second nanoimprint apparatus of the present invention).
  • a second nanoimprint apparatus of the present invention it is not necessary to use a fixed roll, so that the mold roll can be easily replaced.
  • the pinch roll rotates the mold roll by rotating the film to be transferred together with the mold roll while pressing the film to be transferred from both sides (both main surface sides) with a constant pressure.
  • the membrane can be sent out.
  • the mold roll has substantially no seam. Moreover, it is preferable that the said mold roll forms the said nanometer size hollow by the anodic oxidation method in the outer peripheral surface of the grind
  • the second mold roll of the present invention and the second fixed roll of the present invention are also suitably used in the second nanoimprint apparatus of the present invention.
  • the present invention also preferably relates to a method for producing a nanoimprint sheet using the second roller-type nanoimprint apparatus of the present invention. That is, a method for producing a nanoimprint sheet having nanometer-sized protrusions formed on the surface, the manufacturing method comprising a cylindrical mold roll having a nanometer-sized depression formed on the outer peripheral surface, and the mold And at least three pinch rolls arranged substantially rotationally symmetrical with respect to the rotation center of the roll, and the mold roll is held by the at least three pinch rolls,
  • a nanoimprint sheet manufacturing method (hereinafter, also referred to as a second sheet manufacturing method of the present invention) in which at least three pinch rolls are continuously embossed on the transfer film is also one aspect of the present invention. is there.
  • a nanoimprint sheet having a uniform film thickness can be manufactured at low cost.
  • the manufacturing method may be a method in which the nanoimprint sheet is continuously pressed while the mold roll and the at least three pinch rolls are rotated.
  • roller-type nanoimprint apparatus of the present invention it is possible to prevent the thickness of the film to be transferred onto which the nanostructure has been transferred by the mold roll from becoming uneven, and to easily replace the mold roll. Can do.
  • FIG. 1 is an explanatory diagram illustrating an overall configuration of a roller-type nanoimprint apparatus according to the first embodiment.
  • the belt-shaped base film 12 is sent out from the base film roll 11 in the direction indicated by the arrow in FIG.
  • an uncured resin is applied by the die coater 14.
  • the base film 12 moves by a half circumference along the outer peripheral surface of the cylindrical mold roll 15. At this time, the resin applied to the base film 12 contacts the outer peripheral surface of the mold roll 15.
  • a material of the base film 12 For example, a triacetyl cellulose (TAC) and a polyethylene terephthalate (PET) can be used.
  • TAC triacetyl cellulose
  • PET polyethylene terephthalate
  • the resin a resin that is cured by an energy ray such as an electromagnetic wave such as an ultraviolet ray or visible light is suitable. In the present embodiment, an ultraviolet curable resin is used.
  • the mold roll 15 is a cylindrical body in which a plurality of substantially conical (cone-shaped) holes having a depth of about 200 nm (the bottom surface of the cone is on the aluminum surface side) are formed on the outer peripheral surface.
  • the dimensions of the cylinder are an inner diameter of 250 mm, an outer diameter of 260 mm, and a length of 400 mm.
  • Such a mold roll 15 is prepared by cutting and polishing the outer peripheral surface of a cylindrical aluminum tube produced by extrusion, and then forming an aluminum anode on the smooth aluminum surface (outer peripheral surface) of the obtained polished aluminum tube. It can be produced by repeatedly performing oxidation and etching three times. Since the die roll 15 is produced by simultaneously anodizing and etching the outer periphery of a cylindrical aluminum tube, it has a seamless (seamless) nanostructure. Therefore, the seamless nanostructure can be continuously transferred to the ultraviolet curable resin.
  • a cylindrical pinch roll 16 is disposed at a position where the base film 12 first contacts the outer peripheral surface of the mold roll 15 so as to face the outer peripheral surface of the mold roll 15. At this position, the base film 12 is sandwiched between the mold roll 15 and the pinch roll 16, and the mold roll 15 and the ultraviolet curable resin are brought into pressure contact with each other, whereby the surface shape of the mold roll 15 is ultraviolet curable. Transferred to resin. In order to sandwich the base film 12 uniformly between the mold roll 15 and the pinch roll 16, the width of the base film 12 is smaller than the length of the mold roll 15 and the pinch roll 16.
  • the pinch roll 16 is made of rubber.
  • the base film 12 moves along the pinch roll 17 arranged so as to face the outer peripheral surface of the mold roll 15, and is cured by UV curing.
  • the film is peeled from the mold roll 15 together with the film of the conductive resin.
  • the lamination film 19 supplied from the lamination film roll 18 is bonded to the side on which the resin film of the base film 12 is disposed by the pinch roll 20.
  • the laminated film roll 21 is produced by winding up the laminated film of the base film 12, the ultraviolet curable resin film having a nanostructure, and the lamination film 19. By laminating the lamination film 19, dust adheres to the resin film surface and scratches are prevented.
  • the resin film (transfer target film) 31 of the laminated film roll 21 produced in this way has a large number of approximately conical protrusions 32 with a height of about 200 nm and a distance between vertices of about 200 nm. It has a formed surface structure.
  • a surface structure is generally referred to as a “moth-eye structure”, and a film having a moth-eye structure has, for example, an ultra-low reflection that can make the visible light reflectance about 0.15%.
  • a membrane Known as a membrane.
  • the refractive index of the interface has an air refractive index on the film surface as shown in FIG. From the refractive index of 1.0, it can be considered that it gradually increases gradually until it becomes equal to the refractive index of the constituent material of the film (in the case of the resin film 31, 1.5). As a result, there is substantially no refractive index interface, and the reflectance at the film interface is extremely reduced.
  • the mold roll 15 shown in FIG. 4A is attached to the nanoimprint apparatus using a metal fixed roll 151 and a rubber balloon 156 shown in FIG. 4B.
  • the structure of the mold is used compared to the case where a metal column directly attached in the nanoimprint apparatus is used for the mold. Can be simplified, and the mold can be manufactured at low cost.
  • the polished aluminum tube a mirror-finished surface obtained by cutting the surface of a cylindrical aluminum tube formed by extrusion with high accuracy is available at low cost.
  • the mold roll 15 is attached to and detached from the fixed roll 151, only the mold roll 15 can be replaced and maintained, so that the running cost of the nanoimprint apparatus can be reduced.
  • FIG. 5 is a schematic perspective view showing a state in which the fixed roll is inserted into the cylinder of the mold roll.
  • FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing a state (at the time of attachment / detachment) in which the fixed roll is inserted into the cylinder of the mold roll in the first embodiment.
  • FIG. 7 is a schematic cross-sectional view showing a state (at the time of fixing) in which a fixing roll is inserted into the cylinder of the mold roll in the first embodiment.
  • the fixed roll 151 includes a hollow body portion 151a in which a rubber balloon 156 is enclosed, and a shaft portion 151b extending from both end faces thereof.
  • the body part 151a is cylindrical, and both ends of the cylinder are constituted by wall surfaces.
  • a plurality of openings formed in parallel to the rotation axis direction of the fixed roll 151 that is, the extending direction of the shaft portion 151b are formed in the body portion 151a.
  • the opening of the body portion 151a is preferably provided in parallel to the rotation axis direction of the fixed roll 151 so that the resin is easily pressurized with an equal pressure.
  • the plurality of openings are formed with an equal size and are arranged at equal intervals.
  • the opening shape of the body portion 151a is preferably not angular.
  • the outer diameter of the trunk portion 151a is 246 mm, and the length of the trunk portion 151a is 400 mm.
  • the shaft portion 151b is inserted into a shaft mounting portion in the nanoimprint apparatus. Due to the power supplied through the shaft mounting portion, the fixed roll 151 can rotate with the extending direction of the shaft portion 151b as the rotation axis.
  • the rubber balloon 156 disposed in the body portion 151 a of the fixing roll 151 is for fixing the mold roll 15.
  • the cylindrical mold roll 15 is attached around the body portion 151a of the fixed roll 151 by inserting the fixed roll 151 into the cylinder.
  • the rubber balloon 156 is kept in a deflated state as shown in FIG.
  • the mold roll 15 is removed, the rubber balloon 156 is kept in a deflated state.
  • a fluid is injected into the rubber balloon 156 through the pressure port 256, and as shown in FIG. 7, from the opening formed in the body portion 151a of the fixed roll 151.
  • the rubber balloon 156 is inflated until the rubber balloon 156 protrudes and is pressed against the inner peripheral surface of the mold roll 15. That is, in this embodiment, the fixed roll 151 is a hollow roll, and the rubber balloon 156 is an elastic bag.
  • a fluid for inflating the rubber balloon 156 for example, a gas such as air or a liquid such as water can be used.
  • the shape of the pressure port 256 is preferably point-symmetric with respect to the rotation axis in order to pressurize the mold roll 15 uniformly.
  • a plurality of pressurizing openings 256 be arranged in the vicinity of the rotation axis or point-symmetrically with respect to the rotation axis.
  • the mold roll 15 and the pinch roll 16 are Even when the nanostructure is transferred with the substrate film 12 sandwiched therebetween, it is possible to prevent the resin on the substrate film 12 from being pressed with a uniform pressure and causing variations in the film thickness of the resin film 31.
  • the film thickness of the resin film 31 produced in this embodiment was measured, it was 10 ⁇ 0.7 ⁇ m, and the film thickness was excellent.
  • the prepared resin film 31 is pasted with glue (refractive index 1.50) on a black acrylic plate (refractive index 1.49) having a smooth surface, and this is illuminated under a white light source to change the observation angle.
  • glue reffractive index 1.50
  • a black acrylic plate reffractive index 1.409 having a smooth surface
  • Such a resin film 31 is suitably attached as an antireflection film to a surface used for display of a screen of a display device, a show window, etc., or a surface decorated with a building material or the like.
  • the display device include a liquid crystal display device, an organic electroluminescence display device, and a plasma display device.
  • the mold roll 15 can be easily fixed by injecting fluid, and the mold roll 15 can be easily released by discharging the fluid. be able to.
  • a rubber plate 251 that is an elastic body may be attached to the outer peripheral surface of the body portion 151 a of the fixed roll 151 except for the opening.
  • the rubber plate 251 has a role of a stopper (buffer material) that prevents contact between the fixed roll 151 and the mold roll 15.
  • a stopper buffer material
  • the thickness of the rubber plate 251 is, for example, 0.5 mm.
  • the rubber plate 251 is disposed on the outer peripheral surface of the body portion 151 a of the fixed roll 151, but is exposed from the inner peripheral surface of the mold roll 15 or the outer peripheral surface of the body portion 151 a of the fixed roll 151.
  • the rubber balloon 156 may be disposed on the surface.
  • the elastic body is not particularly limited as long as it can relieve the impact, and for example, a spring may be used instead of the rubber plate 251.
  • the linear protrusion structure 151 c is formed on the outer peripheral surface of the body portion of the fixed roll 151, and the linear protrusion structure 151 c is attached to the inner peripheral surface of the mold roll 15 when the fixed roll 151 is mounted.
  • the linear groove structure 15c may be formed at a corresponding position.
  • the linear protrusion structure 151c is provided with a height enough to fit the linear groove structure 15c with a gap in a state where the mold roll 15 is attached around the fixed roll 151. Then, when the mold roll 15 is mounted on the fixed roll 151, the linear protrusion structure 151c and the linear groove structure 15c are loosely fitted, thereby positioning the mold roll 15 roughly with respect to the fixed roll 151. Can do.
  • the mold roll 15 can be held with high accuracy with respect to the fixed roll 151. Therefore, for example, when the large-area resin film 31 is produced using the large mold roll 15 having a length in the rotation axis direction of 1 meter or more, the mold roll 15 can be easily attached and detached.
  • linear protrusion structures 151c are provided on the outer peripheral surface of the body portion of the fixed roll 151.
  • the inner peripheral surface of the mold roll 15 is provided.
  • four linear groove structures 15c are provided, the number of fitting structures formed by a combination of the linear protrusion structures 151c and the linear groove structures 15c is not particularly limited.
  • linear protrusion structures 151 c and linear groove structures 15 c extending in the rotation axis direction of the respective rolls 15 and 151 are provided only at the end portions.
  • a linear protrusion structure and a linear groove structure extending from one end to the other end of each roll 15, 151 may be provided.
  • the fitting structure of the pattern extended in the circumferential direction of a roll it is possible to prevent the deviation
  • the fitting structure may have a linear groove structure on the outer peripheral surface of the fixed roll 151 and a linear protrusion structure on the inner peripheral surface of the mold roll 15. Furthermore, instead of a fitting structure formed by a combination of a pair of linear protrusion structures and a linear groove structure, a fitting structure in which three or more linear protrusion structures are engaged may be used.
  • the fixed roll 151 has two parallel linear protrusion structures on the outer peripheral surface
  • the inner peripheral surface of the mold roll 15 has one linear protrusion structure
  • a bearing 151 d may be attached to the shaft portion of the fixed roll 151.
  • the die roll 15 When the die roll 15 is displaced from the position set by impact or the like by attaching the bearing 151d, the die roll 15 that is normally forcedly rotated by the power of the nanoimprint apparatus is in a free state (fixed) The state can be switched to a state in which no power is supplied via the roll 151), and the device can be adjusted to return to the set position more quickly.
  • FIG. 11 is a schematic cross-sectional view showing a state (at the time of attachment / detachment) in which a fixed roll is inserted into a cylinder of a mold roll in the second embodiment.
  • FIG. 12 is a schematic cross-sectional view showing a state (at the time of fixing) in which a fixed roll is inserted into a cylinder of a mold roll in the second embodiment.
  • the roller-type nanoimprint apparatus of Embodiment 2 has the same structure as the roller-type nanoimprint apparatus of Embodiment 1 except for a fixed roll.
  • the fixed roll 152 covers the opening formed in the hollow body portion 152a with a rubber plate (rubber sheet) 157 so that the entire inside of the body portion 152a of the fixed roll 152 is a container for receiving a press-fit fluid. It is said. That is, in this embodiment, the fixed roll 152 is a hollow roll, and the rubber plate 157 is an elastic film. According to this embodiment, since the fixed roll 152 itself is used as a container for pressurization, the pressurizing port 257 can be directly formed on the fixed roll and directly connected to the fluid injection portion in the roller type nanoimprint apparatus. As a result, the strength of the fluid passage itself and the connection portion can be increased. Below, the detailed structure of the fixed roll which concerns on this embodiment is demonstrated.
  • the fixed roll 152 of the present embodiment includes a hollow body portion 152a and shaft portions 152b extending from both end faces thereof.
  • the trunk portion 152a is cylindrical, and both ends of the cylinder are constituted by wall surfaces.
  • a plurality of openings are formed in parallel to the rotation axis direction of the fixed roll 152, that is, the extending direction of the shaft portion 152b.
  • the opening formed in the body portion 152a is covered with the rubber plate 157.
  • the opening formed in the fixed roll 152 is preferably provided in parallel to the rotation axis direction of the fixed roll 152 so that the resin is easily pressurized with an equal pressure.
  • the plurality of openings are formed with an equal size and are arranged at equal intervals.
  • the outer diameter of the trunk portion 152a is 246 mm, and the length of the trunk portion 152a is 400 mm.
  • the shaft portion 152b is inserted into a shaft mounting portion in the nanoimprint apparatus. Due to the power supplied through the shaft mounting portion, the fixed roll 152 can rotate about the extending direction of the shaft portion 152b as a rotation axis.
  • a rubber plate 157 covering the opening of the body portion 152 a is for fixing the mold roll 15.
  • the cylindrical mold roll 15 is attached around the body portion 152 a of the fixed roll 152 by inserting the fixed roll 152 into the cylinder.
  • a fluid is injected into the mold roll 15 through the pressure port 257, and the rubber covering the opening formed in the body portion 152a of the fixed roll 152 as shown in FIG.
  • the plate 257 is expanded until it is pressed against the inner peripheral surface of the mold roll 15.
  • a gas such as air or a liquid such as water can be used.
  • the mold roll 15 of the present embodiment since uniform fluid pressure is applied to the inner peripheral surface of the mold roll 15 via the rubber plate 157, the mold roll 15 and the pinch roll 16 Even when the nanostructure is transferred with the substrate film 12 sandwiched therebetween, it is possible to prevent the resin on the substrate film 12 from being pressed with a uniform pressure and causing variations in the film thickness of the resin film 31.
  • the film thickness of the resin film 31 produced in this embodiment was measured, it was 10 ⁇ 0.2 ⁇ m, and the film thickness uniformity was excellent. Further, as in the case of the first embodiment, the unevenness of the film thickness of the resin film 31 and the unevenness of the display quality associated therewith were not confirmed.
  • the mold roll 15 can be easily fixed by injecting fluid, and the mold roll 15 can be easily released by discharging the fluid. be able to.
  • the rubber plate 157 is attached to the inner peripheral surface side of the fixed roll 152.
  • This form is more advantageous in terms of bonding strength than the form attached to the outer peripheral surface side of the fixed roll 152.
  • a rubber plate may be attached to the outer peripheral surface of the body portion 152a of the fixed roll 152.
  • a rubber plate as a stopper (cushioning material) for preventing contact between the roll 152 and the mold roll 15 and a rubber plate 157 provided for holding the mold roll 15 may be integrated.
  • FIG. 13 is a schematic perspective view illustrating the structure of a fixed roll according to the third embodiment.
  • the fixed roll 153 according to the present embodiment a plurality of circular openings of the same size are formed at equal intervals in the body portion.
  • a rubber balloon may be disposed in the fixed roll 153 as in the first embodiment as the elastic film 258, and a rubber plate is disposed so as to cover the opening of the fixed roll 153 as in the second embodiment. May be.
  • the fixed roll of the present embodiment can be used in place of the fixed roll of the first embodiment in the roller nanoimprint apparatus of the first embodiment.
  • FIG. 14 is a schematic perspective view illustrating the structure of the fixed roll according to the fourth embodiment
  • FIG. 15 is a schematic cross-sectional view illustrating a state in which a rubber tube is wound around the fixed roll according to the fourth embodiment
  • the fixed roll 154 according to the present embodiment has a structure in which a pair of discs 154a are attached to the rotating shaft 154b with a space therebetween. And it inserts in the cylindrical metal mold
  • the fixed roll of the present embodiment can be used in place of the fixed roll of the first embodiment in the roller nanoimprint apparatus of the first embodiment.
  • a rubber plate that is an elastic body may be attached to the outer peripheral surface of the disk 154 a of the fixed roll 154.
  • the rubber plate has a role of a stopper (buffer material) that prevents contact between the fixed roll 154 and the mold roll 15.
  • a stopper buffer material
  • the thickness of the rubber plate is, for example, 0.5 mm.
  • the rubber plate may be disposed on the inner peripheral surface of the mold roll 15.
  • the elastic body is not particularly limited as long as it can relieve the impact, and for example, a spring may be used instead of the rubber plate.
  • FIG. 16 is an explanatory diagram illustrating the overall configuration of the roller nanoimprint apparatus according to the fifth embodiment.
  • three pinch rolls 26, 27, and 28 are rotationally symmetrical with respect to the rotation center of the mold roll 25 (at intervals of 120 °) around the mold roll 25 without providing a fixed roll.
  • the die roll 25 is held only by the pinch rolls 26, 27 and 28.
  • the mold roll 25 is rotated by the rotation of the pinch rolls 26, 27, and 28, and the base film 12 is moved.
  • the first and third pinch rolls 26 and 27 are also provided in the roller-type nanoimprint apparatus according to the first embodiment.
  • the first pinch roll 26 is for transferring the nanostructure to the resin on the base film 12.
  • the third pinch roll 27 is for peeling the mold roll 15 and the resin on the base film 12.
  • the second pinch roll 28 is for stabilizing the arrangement of the mold roll 25.
  • the first, second, and third pinch rolls 26, 27, and 28 press the mold roll 25 uniformly.
  • the pressure cylinders of the pinch rolls 26, 27, and 28 have the same structure and are pressurized with the same fluid pressure (in the same system).
  • the irradiation of ultraviolet rays is performed by the first pinch roll 26 and the second pinch roll. It is performed in two steps between the roll 28 and between the second pinch roll 28 and the third pinch roll 27.
  • the white arrow in FIG. 16 has shown the irradiation direction of the ultraviolet-ray.
  • the number of pinch rolls may be four or more as long as the mold rolls 25 are arranged rotationally symmetrical so as not to be eccentric.
  • the mold roll 25 receives an upward force from the base film 12, and thus travels stably. I can't.
  • the mold roll when pressing a mold roll with three or more pinch rolls, the mold roll can be held without using a fixed roll.
  • a fixed roll When a fixed roll is not used in this way, it is preferable to provide a side slip prevention mechanism so that the mold roll does not shake in the direction of the rotation axis when transferring the nanostructure.
  • a stopper 181 as shown in FIG. May be provided.
  • the mold roll 25 can be rotated by rotating the pinch rolls 26, 27, and 28, so that it is necessary to transmit rotational power from the fixed roll to the mold roll 25. Absent. Therefore, it is preferable that a bearing is attached to the fixed roll, and the fixed roll is attached to the roller-type nanoimprint apparatus via the bearing.
  • the roller-type nanoimprint apparatus includes: For example, it may be composed of only a mechanism unit that holds and rotates a mold roll such as a fixed roll or a rubber balloon, and a mechanism unit that performs mold pressing such as a pinch roll or a mold roll.
  • the roller-type nanoimprint apparatus of Comparative Example 1 has the same structure as the roller-type nanoimprint apparatus of Embodiment 1 except for a fixed roll.
  • the same mold roll as that of Embodiment 1 is put on a metal roll, a spacer (wedge) is inserted into the space between the mold roll and the metal roll, and further, between the mold roll and the metal roll.
  • the curable resin was cured to bond them together.
  • a die roll was attached in the roller type nanoimprint apparatus, and the moth eye structure was produced similarly to the first embodiment.
  • the film thickness distribution of the resin film was 12 ⁇ 1.8 ⁇ m.
  • FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing a surface structure of a resin film produced in Embodiment 1.
  • FIG. It is explanatory drawing which shows the change of the refractive index in the interface of the surface structure of the resin film shown by FIG. 2, and an air layer.
  • (A) is a perspective schematic diagram which shows the structure of the metal mold
  • (b) is a perspective schematic diagram which shows the structure of the fixed roll which concerns on Embodiment 1.
  • Embodiment 1 it is a cross-sectional schematic diagram which shows the state (at the time of attachment or detachment) which inserted the fixed roll in the cylinder of the mold roll.
  • Embodiment 1 it is a cross-sectional schematic diagram which shows the state (at the time of fixation) which inserted the fixed roll in the cylinder of a metal mold
  • Embodiment 1 it is a cross-sectional schematic diagram which shows an example of the form by which the rubber plate was affixed on the outer peripheral surface of the trunk
  • (A) is a perspective schematic diagram which shows an example of the fixed roll in which the linear protrusion structure was formed in the outer peripheral surface of a fuselage
  • (b) is the metal mold
  • it is a cross-sectional schematic diagram which shows the state (at the time of attachment or detachment) which inserted the fixed roll in the cylinder of the metal mold
  • Embodiment 2 it is a cross-sectional schematic diagram which shows the state (at the time of fixation) which inserted the fixed roll in the cylinder of the mold roll. It is a perspective schematic diagram which shows the structure of the fixed roll which concerns on Embodiment 3. FIG. It is a perspective schematic diagram which shows the structure of the fixed roll which concerns on Embodiment 4. FIG. It is a cross-sectional schematic diagram which shows the state which wound the rubber tube around the fixed roll which concerns on Embodiment 4. FIG. It is explanatory drawing which shows the whole structure of the roller type nanoimprint apparatus which concerns on Embodiment 5.
  • Embodiment 5 it is a perspective exploded view which shows typically an example of the form which has arrange
  • Base film roll 12 Base film 13a, 13b, 16, 17, 20, 26, 27, 28 Pinch roll 14 Die coater 15, 25 Mold roll 15c Linear groove structure 18 Lamination film roll 19 Lamination film 21 Laminated film Roll 31 Resin film 32 Protrusion 51 Large mold roll 52 Small mold roll 151, 152, 153, 154 Fixed roll 151a, 152a Body part 151b, 152b Shaft part 151c Linear protrusion structure 151d Bearing 154a Disk 154b Rotating shaft 156 Rubber balloons 157 and 251 Rubber plate 181 Stopper 256 and 257 Pressure port 258 Elastic membrane 259 Rubber tube

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Ophthalmology & Optometry (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
  • Micromachines (AREA)

Abstract

本発明は、金型ロールによりナノ構造が転写された被転写膜の厚みが不均一になることを防止することができ、また、金型ロールを容易に交換することができるローラー型ナノインプリント装置を提供する。本発明は、金型ロールを回転させることで被転写膜の表面にナノメートルサイズの突起を連続的に形成するローラー型ナノインプリント装置であって、上記金型ロールは、外周面にナノメートルサイズの窪みが形成された円筒体であり、上記ナノインプリント装置は、上記金型ロールの内周面に囲まれた領域に、流体の注入により膨張可能な弾性膜を備える流体容器を有し、上記弾性膜を収縮させた状態で金型ロールの着脱を行い、上記弾性膜を膨張させた状態で金型ロールを内側から保持するローラー型ナノインプリント装置である。

Description

ローラー型ナノインプリント装置、ローラー型ナノインプリント装置用金型ロール、ローラー型ナノインプリント装置用固定ロール、及び、ナノインプリントシートの製造方法
本発明は、ローラー型ナノインプリント装置、ローラー型ナノインプリント装置用金型ロール、ローラー型ナノインプリント装置用固定ロール、及び、ナノインプリントシートの製造方法に関する。より詳しくは、低反射率が得られる表面処理がなされた樹脂シートを製造するのに好適なローラー型ナノインプリント装置、ローラー型ナノインプリント装置用金型ロール、ローラー型ナノインプリント装置用固定ロール、及び、ナノインプリントシートの製造方法に関するものである。
金型に刻み込んだナノメートルサイズ（１～１０００μｍ）の凹凸（以下、「ナノ構造」ともいう。）を、基板上に塗布した樹脂材料に押し付けて形状を転写する技術、いわゆるナノインプリント技術が、近年注目されており、光学材料、ＩＣの微細化、臨床検査基板等への応用を目指す研究がなされている。ナノインプリント技術の利点としては、さまざまな特徴を備える部品を、リソグラフィとエッチングを使う従来のパターン形成技術に比べて低コストで作れる点が挙げられる。この理由としては、ナノインプリント技術で使われる装置の構成が簡便で従来技術で使われる装置に比べて安いことや、同じ形状の部品を短時間で大量に製造することが可能なことが挙げられる。
ナノインプリント技術の方式としては、熱ナノインプリント技術、ＵＶナノインプリント技術等が知られている。例えば、ＵＶナノインプリント技術は、透明基板上に紫外線硬化樹脂の薄膜を成膜し、該薄膜上に、ナノ構造を有する金型を押し付けて、その後に紫外線を照射することにより、透明基板上に金型の反転形状のナノ構造を有する薄膜を形成するものである。研究段階でこれらの方式を用いる場合には、平らな金型を用い、バッチ処理によりナノ構造を形成するのが一般的である。
ナノインプリント技術により、大量に安く、ナノ構造を有する薄膜を製造するためには、バッチ処理よりもロール・ツー・ロール処理を用いる方が好適である。ロール・ツー・ロール処理によれば、金型ロールを用いて連続的にナノ構造を有する薄膜を製造することができる。
ロール・ツー・ロール処理を用いたナノインプリント技術としては、例えば、図１８に示すように、小型の金型ロール５２を順次、横にスライドさせてパターンを継ぎながら大型の金型ロール５１上に塗布した紫外線硬化樹脂にパターンを転写し、大型の金型ロール５１上にパターンを形成する方法が開示されている（例えば、特許文献１参照。）。しかしながら、この方法では、大型ロール５１内でパターンを継ぐために、基本的に、形成されるナノ構造は継ぎ目を有するものとなり、小型の金型ロール５２の幅よりも大きなナノ構造を形成するのには適していない。
ロール・ツー・ロール処理に用いるロールに関し、ナノインプリント技術以外の分野において、ロール材に凹凸パターンを直接形成するロールの作製方法（例えば、特許文献２、３参照。）が開示されている。しかしながら、この方法をナノインプリント技術に応用する場合、ナノ構造が形成された金型ロールに、金型ロールとナノインプリント装置を連結するための軸受け機構等を備え付けなければならず、金型ロールが高価になってしまうことが量産上の問題となる。
また、凹凸パターンを有する円筒状の部材をロールに取り付ける方法（例えば、特許文献４の図７参照。）が開示されている。しかしながら、この方法によっては、ナノ構造を、金型ロールの外周を一周させてつなぎ合わせることは難しく、継ぎ目をなくすことは困難であった。
これに対し、ナノ構造を有する光学材料の製造技術の分野において、陽極酸化により表面にナノサイズの穴を形成したアルミニウム基板を金型として用いる方法が知られている（例えば、特許文献５～８参照。）。なお、光学材料において、ナノ構造の一種として「モスアイ構造」が知られている。モスアイ構造は、例えば、透明基板の表面にナノメートルサイズのコーン状の突起を多数形成したものが挙げられる。このようなモスアイ構造によれば、空気層から透明基板にかけて屈折率が連続的に変化するために、入射光は光学的な表面と認識しなくなり、反射光を激減させることができる（例えば、特許文献６～９参照。）。
この陽極酸化を用いる方法によれば、ナノメートルサイズの窪みを表面に、ランダムに、ほぼ均一に形成することが可能であり、円柱状又は円筒状の金型ロールの表面に、連続生産に必要な継ぎ目のない（シームレスな）ナノ構造を形成することができる（例えば、特許文献８の図１９参照。）。
特開２００７－２０３５７６号公報 特開２００５－１４４６９８号公報 特開２００５－１６１５３１号公報 特開２００７－２８１０９９号公報 特表２００３－５３１９６２号公報 特開２００３－４３２０３号公報 特開２００５－１５６６９５号公報 国際公開第２００６／０５９６８６号パンフレット 特開２００１－２６４５２０号公報
しかしながら、金型ロールは、ナノインプリント装置において永続的に使用されるものではなく、一定期間の使用の後、交換が必要となるため、安価であることが強く求められる。これに対しては、金型ロールを円筒状にして、交換部材である金型ロールの構造を単純化することが有効である。一方で、ナノ構造が転写される被転写膜の厚みが不均一になることを防止するために、被転写膜の表面を均一に加圧しながらナノ構造の転写を行う必要があり、円筒状の金型ロールを用いる場合、金型ロールの位置及び向きを高精度に制御できるナノインプリント装置への取り付け方法が求められる。これに対し、ボルト等のねじ、スプロケット等の締め付け治具、スペーサーといった装着機構を用いる方法では、金型ロールの位置及び向きを高精度に制御することと、金型ロールの容易な着脱とを両立することは困難であった。
本発明は、上記現状に鑑みてなされたものであり、金型ロールによりナノ構造が転写された被転写膜の厚みが不均一になることを防止することができ、また、金型ロールを容易に交換することができるローラー型ナノインプリント装置、ローラー型ナノインプリント装置用金型ロール、ローラー型ナノインプリント装置用固定ロール、及び、ナノインプリントシートの製造方法を提供することを目的とするものである。
本発明者らは、円筒状の金型ロールを用いるローラー型ナノインプリント装置について種々検討したところ、ナノインプリント装置への金型ロールの取り付け方法に着目した。そして、流体の注入により膨張可能な弾性膜を用い、上記弾性膜を収縮させた状態で金型ロールの着脱を行い、上記弾性膜を膨張させた状態で金型ロールを内側から保持することにより、金型ロールによりナノ構造が転写された被転写膜の厚みが不均一になることを防止することができ、また、金型ロールを容易に交換することができることを見いだし、上記課題をみごとに解決することができることに想到し、本発明に到達したものである。
すなわち、本発明は、金型ロールを回転させることで被転写膜の表面にナノメートルサイズの突起を連続的に形成するローラー型ナノインプリント装置であって、上記金型ロールは、外周面にナノメートルサイズの窪みが形成された円筒体であり、上記ナノインプリント装置は、上記金型ロールの内周面に囲まれた領域に、流体の注入により膨張可能な弾性膜を備える流体容器を有し、上記弾性膜を収縮させた状態で金型ロールの着脱を行い、上記弾性膜を膨張させた状態で金型ロールを内側から保持するローラー型ナノインプリント装置（以下、「本発明の第１のナノインプリント装置」ともいう。）である。
本発明においては、外周面にナノメートルサイズの窪みが形成された円筒体の金型ロールを回転させることにより、被転写膜に対する型押し、及び、被転写膜からの離型を連続的に行うことができ、その結果、表面にナノメートルサイズの突起が形成された製品を高速かつ大量に製造することができる。また、円筒体の金型ロールを回転させる方法によれば、シームレスな（継ぎ目のない）表面構造を形成することができる。
被転写膜は、金型ロールを型押しすることで、金型ロールの外周面に形成されたナノメートルサイズの窪みの反転形状を有するナノメートルサイズの突起を形成することができるものであれば特に限定されず、例えば、シート状の樹脂が好適である。樹脂に転写を行う場合、未硬化又は半硬化の樹脂に型押しした後、硬化処理を行うことが好ましい。
本明細書において、ナノメートルサイズの窪みとは、深さが１ｎｍ以上、１μｍ（＝１０００ｎｍ）未満の窪みをいい、ナノメートルサイズの突起とは、高さが１ｎｍ以上、１μｍ（＝１０００ｎｍ）未満の突起をいう。また、本明細書においては、ナノメートルサイズの窪みが形成された表面構造、及び、ナノメートルサイズの突起が形成された表面構造をナノ構造ともいう。ナノ構造としては、モスアイ構造、ワイヤーグリッド構造等が挙げられる。
本発明の第１のナノインプリント装置は、金型ロールの内周面に囲まれた領域に、流体の注入により膨張可能な弾性膜を備える流体容器を有する。流体容器は流体を注入して弾性膜を膨張させることができる構造を有していれば特に限定されず、例えば、弾性膜を袋状にしたものであってもよいし、剛体からなる容器の開口部を弾性膜で封止したものであってもよい。このような流体容器を用いることによって、弾性膜を収縮させた状態で金型ロールの着脱を行い、弾性膜を膨張させた状態で金型ロールを内側から保持することが可能となる。そして、流体の圧力を利用することにより、金型ロールの内周面に均等に圧力を印加して金型ロールを保持することができるので、均一な厚さの被転写膜を得ることができる。また、流体を流体容器から排出すれば弾性膜が収縮し、金型ロールの着脱が可能となることから、金型ロールを容易に交換することができる。
本発明の第１のローラー型ナノインプリント装置は、上述の金型ロール、及び、流体容器を構成要素として備えるものである限り、その他の部材により特に限定されるものではない。
本発明の第１のローラー型ナノインプリント装置の好適な形態としては、例えば、（１）該装置に取り付け可能であり、かつ開口が形成された中空の中空ロールを有し、上記弾性膜は、袋状であり、上記流体容器は、上記袋状の弾性膜からなる弾性袋であり、上記ナノインプリント装置は、上記金型ロールの内周面に囲まれた領域に、上記中空ロールが配置され、上記中空ロール内に弾性袋が配置されており、上記弾性袋を膨張させて中空ロールの開口から露出させた部分を金型ロールの内周面に接触させることにより金型ロールを保持し、金型ロールを保持した状態で中空ロールを回転させることにより金型ロールを回転させる形態、（２）上記流体容器は、上記ナノインプリント装置に取り付け可能であり、かつ開口が形成された中空ロールの該開口を上記弾性膜により塞いだものであり、上記ナノインプリント装置は、弾性膜を膨張させて金型ロールの内周面に接触させることにより金型ロールを保持し、金型ロールを保持した状態で中空ロールを回転させることにより金型ロールを回転させる形態、（３）該装置に取り付け可能であり、かつ金型ロールの内周面に囲まれた領域に配置された回転体を有し、上記弾性膜は、袋状であり、上記流体容器は、上記袋状の弾性膜からなる弾性袋であり、かつ上記回転体の周囲に取り付けられ、上記ナノインプリント装置は、上記弾性袋を膨張させて金型ロールの内周面に接触させることにより金型ロールを保持し、金型ロールを保持した状態で回転体を回転させることにより金型ロールを回転させる形態が挙げられる。
上記（１）及び（２）の形態において、中空ロールの好ましい形態としては、開口が形成された部分を除いて、金型ロールの内周面と対向する面上に弾性体が設けられている形態が挙げられる。この形態によれば、金型ロールと中空ロールとが接触した場合であっても、弾性体が緩衝材として機能し、被転写膜の厚みにむらが生じることや、中空ロール及び金型ロールが損傷することを防止できる。
上記中空ロールに形成される開口は、金型ロールを安定して保持する観点から、複数形成されることが好ましい。複数の開口は、実質的に均一な大きさであることが好ましく、また、実質的に均一の間隔で設けられていることが好ましい。
また、上記（３）の形態において、回転体の好ましい形態としては、外周面の上記弾性袋が取り付けられていない領域上に弾性体が設けられている形態が挙げられる。この形態によれば、金型ロールと回転体とが接触した場合であっても、弾性体が緩衝材として機能し、被転写膜の厚みにむらが生じることや、回転体及び金型ロールが損傷することを防止できる。
上記金型ロールの好ましい形態としては、実質的に継ぎ目が形成されていない形態が挙げられる。この形態では、金型ロールの外周面に形成されたナノメートルサイズの窪みから構成される金型パターンが、金型ロールの外周面に連続的に形成される。この形態によれば、被転写膜の表面にナノメートルサイズの突起を実質的に継ぎ目なく形成することができ、例えば、被転写膜を超低反射膜として表示装置に貼り付けて用いる場合には、表示むらの発生を防止することができる。なお、「実質的に継ぎ目が形成されていない」状態とは、光学的に継ぎ目の存在が検出できない状態であればよい。金型ロールの外周面に、線状の段差が０．６μｍを超える高さで形成されていない状態が好ましい。また、金型ロールの外周面に、金型パターンのない線状の領域が０．６μｍを超える幅で形成されていない状態が好ましい。実質的に継ぎ目が形成されていない形態の金型ロールは、円筒状のロール材の外周面に金型パターンを直接形成した場合に得ることができる。一方、金型パターンを予め形成した板状のロール材の両端を接合した場合には、接合部分において継ぎ目が形成されることになる。
また、上記金型ロールの好ましい形態としては、研磨されたアルミニウム管の外周面に、陽極酸化法により上記ナノメートルサイズの窪みを形成した形態が挙げられる。この形態によれば、実質的に継ぎ目のない金型ロールを形成することができ、上述の効果を得ることができる。研磨方法としては、切削研磨が好適に用いられる。アルミニウム管の表面を切削研磨する方法としては、回転させたアルミニウム管に対し、ダイヤモンド製のバイトを回転軸方向に滑らせて連続的に切削していく方法が好適である。このような方法で研磨されたアルミニウム管から作製された金型ロールの表面には線条痕が残ることになる。線条痕は、目視では確認できない大きさであるが、例えば走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で表面観察することにより確認することができる。また、陽極酸化法によれば、アルミニウム管の外周面にナノメートルサイズの円錐形状の窪みを形成することができる。そのような窪みは、陽極酸化法を用いることではじめて得られるものであり、化学的な酸化では、平面的に酸化膜が形成される。
本発明はまた、本発明の第１のローラー型ナノインプリント装置において好適に用いられる金型ロールに関するものでもある。
本発明の第１の金型ロールは、回転しながら被転写膜への型押しを行うことにより、ナノメートルサイズの突起を被転写膜の表面に連続的に形成するためのローラー型ナノインプリント装置用金型ロールであって、上記金型ロールは、外周面にナノメートルサイズの窪みが形成された円筒体であり、かつ金型ロールの内周面に囲まれた領域に配置される部材との位置決めに用いられる位置あわせ機構を有するローラー型ナノインプリント装置用金型ロールである。上記位置あわせ機構としては、例えば、嵌合構造、フックが挙げられる。本発明の第１の金型ロールによれば、位置あわせ機構により金型ロールを位置決めすることができるので、金型ロールの着脱が容易になり、型押し時の金型ロールの滑り、ずれを防止することができる。
本発明の第２の金型ロールは、回転しながら被転写膜への型押しを行うことにより、ナノメートルサイズの突起を被転写膜の表面に連続的に形成するためのローラー型ナノインプリント装置用金型ロールであって、上記金型ロールは、押出加工により形成された円筒状のアルミニウム管の外周面を切削研磨し、更にエッチングと陽極酸化とを交互に繰り返すことにより、上記外周面に円錐形の窪みを光の波長よりも小さな深さで形成したものであるローラー型ナノインプリント装置用金型ロールである。円筒状のアルミニウム管の製造方法としては、押出加工が好適であるが、押出加工により製造されたアルミニウム管は、その表面にナノメートルサイズよりも大きな凹凸が存在することがある。これに対し、アルミニウム管を陽極酸化する前に、切削研磨しておくことで陽極酸化後のアルミニウム管の表面平滑性を確保することができる。その結果、被転写膜の表面にナノメートルサイズよりも大きな凹凸が形成されることを防止できるので、外部光線の散乱が生じ、被転写膜の表面が白化してしまう現象が抑制される。したがって、例えば、被転写膜を超低反射膜として表示装置に貼り付けて用いる場合には、表示むらの発生を防止することができる。なお、切削研磨によれば、円周方向に沿った筋状の痕跡が残ることがあり、押出加工によれば、管の延伸方向に沿った筋状の痕跡が残ることがある。このように、切削研磨の痕跡と押出加工の痕跡とは判別可能である。また、管の内周面は表面加工されることが少ないので、管の内周面に押出加工の痕跡が残りやすい。
本発明はまた、本発明の第１のローラー型ナノインプリント装置において好適に用いられる固定ロールに関するものでもある。
本発明の第１の固定ロールは、ナノメートルサイズの窪みが外周面に形成された円筒状の金型ロールを回転させることでナノメートルサイズの突起を被転写膜の表面に連続的に形成するローラー型ナノインプリント装置用の固定ロールであって、上記固定ロールは、上記金型ロールの内周面に囲まれた領域（筒内）に配置されるものであり、流体の注入により膨張可能な弾性膜が取り付けられ、上記弾性膜を収縮させた状態で金型ロールが着脱され、上記弾性膜が膨張して金型ロールを内側から保持した状態で固定ロールが回転することにより金型ロールを回転させるものであり、かつ金型ロールとの位置決めに用いられる位置あわせ機構を有するローラー型ナノインプリント装置用固定ロールである。上記位置あわせ機構としては、例えば、嵌合構造、フックが挙げられる。本発明の第１の固定ロールによれば、位置あわせ機構により金型ロールを位置決めすることができるので、金型ロールの着脱が容易になり、型押し時の金型ロールの滑り、ずれを防止することができる。
本発明の第２の固定ロールは、ナノメートルサイズの窪みが外周面に形成された円筒状の金型ロールを回転させることでナノメートルサイズの突起を被転写膜の表面に連続的に形成するローラー型ナノインプリント装置用の固定ロールであって、上記固定ロールは、上記金型ロールの内周面に囲まれた領域に配置されるものであり、流体の注入により膨張可能な弾性膜が取り付けられ、上記弾性膜を収縮させた状態で金型ロールが着脱され、上記弾性膜が膨張して金型ロールを内側から保持した状態で固定ロールが回転することにより金型ロールを回転させるものであり、かつベアリングが設けられたものであるローラー型ナノインプリント装置用固定ロールである。本発明の第２の固定ロールによれば、ベアリングを用いることにより、金型ロールが衝撃等により設定された位置からずれた場合に、金型ロールをフリーな状態に切り替えて回転させることができ、これにより設定された位置により早く戻す装置調整が可能になる。また、金型ロール及び固定ロールが回転軸方向でずれることを防止できる。
なお、本発明のローラー型ナノインプリント装置用固定ロールにおいて、弾性膜は、固定ロールの一部を構成するものであってもよいし、固定ロールとは別部材であってもよい。
本発明はまた、好ましくは本発明の第１のローラー型ナノインプリント装置を用いるナノインプリントシートの製造方法に関するものでもある。すなわち、ナノメートルサイズの突起が表面に形成されたナノインプリントシートの製造方法であって、上記製造方法は、外周面にナノメートルサイズの窪みが形成された円筒状の金型ロールと、上記金型ロールの内周面に囲まれた領域に設けられ、かつ流体の注入により膨張可能な弾性膜を備える流体容器とを用いるものであり、上記弾性膜を収縮させた状態で金型ロールの着脱を行い、上記弾性膜を膨張させた状態で金型ロールを内側から保持し、かつ金型ロールを回転させながら被転写膜への型押しを連続的に行うナノインプリントシートの製造方法（以下、本発明の第１のシート製造方法ともいう。）もまた本発明の１つである。本発明の第１のシート製造方法によれば、均一な膜厚のナノインプリントシートを安価に製造することができる。上記ナノインプリントシートは、ナノメートルサイズの突起が表面に形成されたシートであれば特に限定されず、例えば、樹脂シートが好適である。ナノインプリントシートは、例えば、反射防止フィルムとして好適に用いることができる。なお、上記製造方法は、金型ロールを回転させながらナノインプリントシートへの型押しを連続的に行う方法であってもよい。
また、本発明者らは、金型ロールの回転中心（回転軸）に対して実質的に回転対称に配置された少なくとも３つのピンチロール（保持ロール）により、金型ロールを保持しつつ回転させる構造によっても、金型ロールによりナノ構造が転写された被転写膜の厚みが不均一になることを防止することができ、また、金型ロールを容易に交換することができることを見いだした。すなわち、本発明は、金型ロールを回転させることで被転写膜の表面にナノメートルサイズの突起を連続的に形成するローラー型ナノインプリント装置であって、上記金型ロールは、外周面にナノメートルサイズの窪みが形成された円筒体であり、上記ナノインプリント装置は、上記金型ロールの回転中心に対して実質的に回転対称に配置された少なくとも３つのピンチロールにより、金型ロールを保持しつつ回転させるローラー型ナノインプリント装置でもある（以下、本発明の第２のナノインプリント装置ともいう。）。本発明の第２のナノインプリント装置によれば、固定ロールを用いる必要がないことから、金型ロールの交換が容易である。
本発明の第２のナノインプリント装置において、ピンチロールは、金型ロールとともに被転写膜を両側（両主面側）から一定の圧力で押えつつ回転することにより、金型ロールを回転させ、被転写膜を送り出すことができる。このようなピンチロールを実質的に回転対称に少なくとも３つ配置することにより、ピンチロールのみによって金型ロールを安定的に保持することが可能である。
本発明の第１のナノインプリント装置の場合と同様に、本発明の第２のナノインプリント装置において、上記金型ロールは、実質的に継ぎ目が形成されていないことが好ましい。また、上記金型ロールは、研磨されたアルミニウム管の外周面に、陽極酸化法により上記ナノメートルサイズの窪みを形成したものであることが好ましい。
また、本発明の第２の金型ロール、並びに、本発明の第２の固定ロールは、本発明の第２のナノインプリント装置においても好適に用いられる。
本発明はまた、好ましくは本発明の第２のローラー型ナノインプリント装置を用いるナノインプリントシートの製造方法に関するものでもある。すなわち、ナノメートルサイズの突起が表面に形成されたナノインプリントシートの製造方法であって、上記製造方法は、外周面にナノメートルサイズの窪みが形成された円筒状の金型ロールと、上記金型ロールの回転中心に対して実質的に回転対称に配置された少なくとも３つのピンチロールとを用いるものであり、上記金型ロールは、上記少なくとも３つのピンチロールにより保持され、上記金型ロール及び上記少なくとも３つのピンチロールを回転させながら被転写膜への型押しを連続的に行うナノインプリントシートの製造方法（以下、本発明の第２のシート製造方法ともいう。）もまた本発明の１つである。本発明の第２のシート製造方法によれば、均一な膜厚のナノインプリントシートを安価に製造することができる。なお、上記製造方法は、上記金型ロール及び上記少なくとも３つのピンチロールを回転させながら、ナノインプリントシートへの型押しを連続的に行う方法であってもよい。
本発明のローラー型ナノインプリント装置によれば、金型ロールによりナノ構造が転写された被転写膜の厚みが不均一になることを防止することができ、また、金型ロールを容易に交換することができる。
以下に実施形態を掲げ、本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施形態のみに限定されるものではない。
実施形態１
図１は、実施形態１に係るローラー型ナノインプリント装置の全体構成を示す説明図である。
本実施形態のローラー型ナノインプリント装置においては、まず、基材フィルムロール１１を回転させつつ、基材フィルムロール１１からベルト状の基材フィルム１２が、図１中の矢印が指す方向に送り出される。次に、基材フィルム１２は、テンションを調節する一対のピンチロール１３ａ，１３ｂを通った後、ダイコーター１４により未硬化の樹脂が塗布される。続いて、基材フィルム１２は、円筒状の金型ロール１５の外周面に沿って半周分移動する。このとき、基材フィルム１２に塗布された樹脂が金型ロール１５の外周面と接する。
基材フィルム１２の材質としては特に限定されず、例えば、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）を用いることができる。樹脂としては、紫外線、可視光等の電磁波等のエネルギー線により硬化する樹脂が好適であり、本実施形態においては、紫外線硬化性樹脂を用いた。
金型ロール１５は、深さ約２００ｎｍの略円錐形状（コーン形状）の複数の穴（円錐の底面がアルミニウム表面側）が外周面に形成された円筒体である。円筒の寸法は、内径２５０ｍｍ、外径２６０ｍｍ、長さ４００ｍｍである。このような金型ロール１５は、押出加工により作製された円筒状のアルミニウム管の外周面を切削研磨した後、得られた研磨アルミニウム管の平滑なアルミニウム表面（外周面）に対し、アルミニウムの陽極酸化とエッチングとを３回繰り返し実施することにより作製することができる。金型ロール１５は、円筒状のアルミニウム管の外周を同時に陽極酸化及びエッチングして作製されたものであるため、継ぎ目のない（シームレスな）ナノ構造を有する。したがって、紫外線硬化性樹脂に対し、継ぎ目のないナノ構造を連続的に転写することができる。
基材フィルム１２が金型ロール１５の外周面と最初に接する位置には、金型ロール１５の外周面と対向するように円柱状のピンチロール１６が配置されている。この位置において、金型ロール１５とピンチロール１６とで基材フィルム１２を挟み込み、金型ロール１５と紫外線硬化性樹脂とを加圧密着させることにより、金型ロール１５の表面形状が紫外線硬化性樹脂に転写される。金型ロール１５とピンチロール１６とで基材フィルム１２を均一に挟み込むために、基材フィルム１２の幅は、金型ロール１５及びピンチロール１６の長さよりも小さい。また、ピンチロール１６は、ゴム製である。
基材フィルム１２が金型ロール１５の外周面に沿って移動する間に、金型ロール１５の下方から、紫外線が照射される。これにより、紫外線硬化性樹脂は、金型ロール１５のナノメートルサイズの凹凸の反転形状を有した状態で硬化される。なお、図１中の白抜き矢印は、紫外線の照射方向を示している。
金型ロール１５の外周面に沿って半周分移動後、基材フィルム１２は、金型ロール１５の外周面と対向するように配置されたピンチロール１７に沿って移動し、硬化された紫外線硬化性樹脂の膜とともに金型ロール１５から剥離される。続いて、ラミネーションフィルムロール１８から供給されたラミネーションフィルム１９が、ピンチロール２０により、基材フィルム１２の樹脂膜が配置された側に貼り合わせされる。最後に、基材フィルム１２、ナノ構造を有する紫外線硬化性樹脂膜、及び、ラミネーションフィルム１９の積層フィルムが巻き取られて積層フィルムロール２１が作製される。ラミネーションフィルム１９を貼り合わせることにより、樹脂膜表面にホコリが付着したり、傷がつくことを防止する。
このようにして作製された積層フィルムロール２１の樹脂膜（被転写膜）３１は、図２に示すように、高さ約２００ｎｍの略円錐形状の突起３２が、頂点間の距離約２００ｎｍで多数形成された表面構造を有している。このような表面構造は、一般に「モスアイ（蛾の目）構造」と呼ばれることがあり、モスアイ構造を有する膜は、例えば可視光の反射率を０．１５％程度にすることができる超低反射膜として知られている。モスアイ構造を有する膜においては、可視光の波長の長さ（３８０～７８０ｎｍ）よりも小さな突起が存在することにより、図３に示すように、界面の屈折率が、膜の表面上の空気の屈折率である１．０から、膜の構成材料の屈折率（樹脂膜３１の場合、１．５）と同等になるまで連続的に徐々に大きくなっているとみなすことができる。その結果、実質的には屈折率界面が存在せず、膜の界面での反射率が極端に減少する。
図４（ａ）に示される金型ロール１５は、図４（ｂ）に示される金属製の固定ロール１５１及びゴムバルーン１５６を用いてナノインプリント装置内に取り付けられる。本実施形態においては、金属管の表面にナノ構造を形成することによって金型を作製していることから、ナノインプリント装置内に直接取り付けられる金属柱を金型に用いる場合よりも、金型の構造を単純化することができ、金型を安価に作製することができる。研磨アルミニウム管については、押出加工により形成された円筒状のアルミニウム管の表面を高精度に切削することで鏡面化したものが安価に入手可能である。また、金型ロール１５を固定ロール１５１に着脱する方式を採用することによって、金型ロール１５のみの取替え、メンテナンスができるためナノインプリント装置のランニングコストを低減することができる。
図５は、金型ロールの筒内に固定ロールを挿入した状態を示す斜視模式図である。また、図６は、実施形態１において、金型ロールの筒内に固定ロールを挿入した状態（着脱時）を示す断面模式図である。更に、図７は、実施形態１において、金型ロールの筒内に固定ロールを挿入した状態（固定時）を示す断面模式図である。
固定ロール１５１は、ゴムバルーン１５６が封入される中空の胴体部１５１ａと、その両端面から伸びる軸部１５１ｂとから構成される。胴体部１５１ａは、円筒状であり、筒の両端は壁面で構成されている。また、胴体部１５１ａには、固定ロール１５１の回転軸方向、すなわち軸部１５１ｂの延伸方向に対して平行に形成された複数の開口が形成されている。胴体部１５１ａの開口は、樹脂が均等な圧力で加圧されやすいように、固定ロール１５１の回転軸方向に対して平行に設けられることが好ましい。また、同様の理由で、複数の開口は、均等な大きさで形成され、均等な間隔で配置されることが好ましい。更に、ゴムバルーン１５６が傷つくことを防止するために、胴体部１５１ａの開口形状は角張っていないことが好ましい。胴体部１５１ａの外径は２４６ｍｍであり、胴体部１５１ａの長さは４００ｍｍである。軸部１５１ｂは、ナノインプリント装置内の軸取り付け部に挿入される。軸取り付け部を通じて供給される動力により、固定ロール１５１は、軸部１５１ｂの延伸方向を回転軸として回転可能である。
固定ロール１５１の胴体部１５１ａ内に配置されたゴムバルーン１５６は、金型ロール１５の固定を行うためのものである。円筒状の金型ロール１５は、筒内に固定ロール１５１を挿入することによって、固定ロール１５１の胴体部１５１ａの周囲に取り付けられる。この金型ロール１５の取り付けの際には、図６に示すように、ゴムバルーン１５６をしぼんだ状態にしておく。同様に、金型ロール１５の取り外しの際にも、ゴムバルーン１５６をしぼんだ状態にしておく。次に、金型ロール１５の固定を行う際には、ゴムバルーン１５６内に加圧口２５６を通じて流体を注入し、図７に示すように、固定ロール１５１の胴体部１５１ａに形成された開口からゴムバルーン１５６がはみ出て金型ロール１５の内周面に押しつけられるまでゴムバルーン１５６を膨ませる。すなわち、本実施形態において、固定ロール１５１は中空ロールであり、ゴムバルーン１５６は弾性袋である。ゴムバルーン１５６を膨張させるための流体としては、例えば、空気等の気体、水等の液体を用いることができる。
加圧口２５６の形状としては、金型ロール１５を均一に加圧するために、回転軸に対して点対称であることが好ましい。また、加圧口２５６の配置としては、金型ロール１５を均一に加圧するために、回転軸の近傍、又は、回転軸に対して点対称に複数配置されていることが好ましい。
本実施形態の金型ロール１５の固定方法によれば、金型ロール１５の内周面に、ゴムバルーン１５６内の流体により、均一な圧力が加えられるため、金型ロール１５とピンチロール１６とで基材フィルム１２を挟み込んでナノ構造を転写する際においても、基材フィルム１２上の樹脂が均一な圧力で加圧され、樹脂膜３１の膜厚のばらつきが生じることを防止できる。本実施形態において作製された樹脂膜３１の膜厚を測定したところ、１０±０．７μｍであり、膜厚の均一性において優れていた。また、表面が平滑な黒いアクリル板（屈折率１．４９）の上に、作製した樹脂膜３１を糊（屈折率１．５０）で貼り付け、これを白色光源下に照らして、観察角度を変化させながら目視により観察した結果、膜厚のむら、及び、それに付随して生じる表示品位のむらは確認されなかった。このような樹脂膜３１は、表示装置の画面、ショーウインドウ等の表示に用いられる面や、建築資材等の装飾が施された面に対し、反射防止膜として好適に取り付けられる。表示装置としては、例えば、液晶表示装置、有機エレクトロルミネッセンス表示装置、プラズマ表示装置が挙げられる。
また、本実施形態の金型ロール１５を固定する方法によれば、流体の注入により金型ロール１５を容易に固定することができ、流体の排出により金型ロール１５の固定を容易に解除することができる。
本実施形態においては、図８に示すように、固定ロール１５１の胴体部１５１ａの外周面に開口部を除いて、弾性体であるゴム板２５１が貼り付けられてもよい。ゴム板２５１は、固定ロール１５１と金型ロール１５との接触を防止するストッパー（緩衝材）の役割を有する。ゴム板２５１を設けることにより、ナノ構造を転写する際に、固定ロール１５１と金型ロール１５とが接触して樹脂膜３１の厚みむらを引き起こすことや、固定ロール１５１、金型ロール１５が損傷することを防止することができる。ゴム板２５１の厚みは、例えば、０．５ｍｍである。本実施形態において、ゴム板２５１は、固定ロール１５１の胴体部１５１ａの外周面に配置されたが、金型ロール１５の内周面、又は、固定ロール１５１の胴体部１５１ａの外周面から露出したゴムバルーン１５６の表面に配置されてもよい。また、弾性体としては、衝撃を緩和することができるものであれば特に限定されず、ゴム板２５１の代わりに例えばバネを用いてもよい。
また、図９に示すように、固定ロール１５１の胴体部の外周面に線状突起構造１５１ｃを形成すると共に、金型ロール１５の内周面の、固定ロール１５１装着時に線状突起構造１５１ｃと対応する位置に線状溝構造１５ｃを形成してもよい。線状突起構造１５１ｃは、固定ロール１５１の周囲に金型ロール１５を取り付けた状態で、線状溝構造１５ｃに対し、隙間を有しつつ嵌合する程度の高さで設けられる。そして、固定ロール１５１に金型ロール１５を装着する際に線状突起構造１５１ｃと線状溝構造１５ｃとが緩く嵌合することで、固定ロール１５１に対して金型ロール１５を粗く位置決めすることができる。その後、ゴムバルーン１５６を膨張させることで、固定ロール１５１に対して金型ロール１５を高精度に保持することができる。したがって、例えば回転軸方向の長さが１メートル以上の大型の金型ロール１５を用いて大面積の樹脂膜３１を生産する場合に、金型ロール１５の着脱を容易にすることができる。
なお、図９（ａ）の例では、固定ロール１５１の胴体部の外周面に４つの線状突起構造１５１ｃが設けられ、図９（ｂ）の例では、金型ロール１５の内周面に４つの線状溝構造１５ｃが設けられているが、線状突起構造１５１ｃ及び線状溝構造１５ｃの組み合わせからなる嵌合構造の数は特に限定されない。
嵌合構造の形状及び配置は特に限定されず、図９のように、端部のみに、各ロール１５，１５１の回転軸方向に伸びる線状突起構造１５１ｃ及び線状溝構造１５ｃが設けられてもよいし、各ロール１５，１５１の一端から他端まで伸びる線状突起構造及び線状溝構造が設けられてもよい。図９の線状突起構造１５１ｃ及び線状溝構造１５ｃによれば、金型ロール１５と固定ロール１５１との間で生じる円周方向（回転方向）での滑りを防止することができる。また、ロールの円周方向に伸びるパターンの嵌合構造によれば、回転軸方向でのロールのずれを防止することが可能である。更に、ロールの回転軸方向及び円周方向の両方に伸びる平面的パターンの嵌合構造によれば、ロールの円周方向での滑り、及び、回転軸方向でのずれの両方を防止することが可能である。
また、嵌合構造は、固定ロール１５１の外周面に線状溝構造を有し、金型ロール１５の内周面に線状突起構造を有するものであってもよい。更に、一対の線状突起構造及び線状溝構造の組み合わせからなる嵌合構造に代えて、３つ以上の線状突起構造を噛み合わせる嵌合構造を用いてもよい。例えば、固定ロール１５１の外周面に２つの平行な線状突起構造を有し、金型ロール１５の内周面に１つの線状突起構造を有し、固定ロール１５１側の２つの線状構造間に金型ロール１５側の線状突起構造を挿入する形態としてもよい。
また、図１０に示すように、固定ロール１５１の軸部にベアリング１５１ｄを取り付けてもよい。ベアリング１５１ｄを取り付けることにより、金型ロール１５が衝撃等により設定された位置からずれた場合に、通常はナノインプリント装置の動力により強制的に回転させられている金型ロール１５をフリーな状態（固定ロール１５１を介して動力が供給されない状態）に切り替えて回転させることができ、これにより設定された位置により早く戻す装置調整が可能になる。
実施形態２
図１１は、実施形態２において、金型ロールの筒内に固定ロールを挿入した状態（着脱時）を示す断面模式図である。図１２は、実施形態２において、金型ロールの筒内に固定ロールを挿入した状態（固定時）を示す断面模式図である。
実施形態２のローラー型ナノインプリント装置は、固定ロールを除いて、実施形態１のローラー型ナノインプリント装置と同様の構造を有する。本実施形態に係る固定ロール１５２は、中空の胴体部１５２ａに形成された開口をゴム板（ゴム製のシート）１５７で覆うことにより、固定ロール１５２の胴体部１５２ａ内全体を圧入流体の受け入れ容器としている。すなわち、本実施形態において、固定ロール１５２は中空ロールであり、ゴム板１５７は弾性膜である。この形態によれば、固定ロール１５２自体を加圧用の容器として用いることから、加圧口２５７を固定ロールに直接形成してローラー型ナノインプリント装置内の流体注入部に直結することができる。その結果、流体の通路自体及び接続部の強度を高めることができる。以下に本実施形態に係る固定ロールの詳細な構造を説明する。
本実施形態の固定ロール１５２は、中空の胴体部１５２ａと、その両端面から伸びる軸部１５２ｂとから構成される。胴体部１５２ａは、円筒状であり、筒の両端は壁面で構成されている。また、胴体部１５２ａには、固定ロール１５２の回転軸方向、すなわち軸部１５２ｂの延伸方向に対して平行に複数の開口が形成されている。本実施形態では、胴体部１５２ａに形成された開口がゴム板１５７で覆われている。固定ロール１５２に形成される開口は、樹脂が均等な圧力で加圧されやすいように、固定ロール１５２の回転軸方向に対して平行に設けられることが好ましい。また、同様の理由で、複数の開口は、均等な大きさで形成され、均等な間隔で配置されることが好ましい。胴体部１５２ａの外径は２４６ｍｍであり、胴体部１５２ａの長さは４００ｍｍである。軸部１５２ｂは、ナノインプリント装置内の軸取り付け部に挿入される。軸取り付け部を通じて供給される動力により、固定ロール１５２は、軸部１５２ｂの延伸方向を回転軸として回転可能である。
胴体部１５２ａの開口を覆うゴム板１５７は、金型ロール１５の固定を行うためのものである。円筒状の金型ロール１５は、筒内に固定ロール１５２を挿入することによって、図１１に示すように、固定ロール１５２の胴体部１５２ａの周囲に取り付けられる。金型ロール１５の固定を行う際には、金型ロール１５内に加圧口２５７を通じて流体を注入し、図１２に示すように、固定ロール１５２の胴体部１５２ａに形成された開口を覆うゴム板２５７を、金型ロール１５の内周面に押しつけられるまで膨ませる。固定ロール１５２に注入される流体としては、例えば、空気等の気体、水等の液体を用いることができる。
本実施形態の金型ロール１５を固定する方法によれば、金型ロール１５の内周面に、ゴム板１５７を介して均一な流体圧力が加えられるため、金型ロール１５とピンチロール１６とで基材フィルム１２を挟み込んでナノ構造を転写する際においても、基材フィルム１２上の樹脂が均一な圧力で加圧され、樹脂膜３１の膜厚のばらつきが生じることを防止できる。本実施形態において作製された樹脂膜３１の膜厚を測定したところ、１０±０．２μｍであり、膜厚の均一性において優れていた。また、実施形態１の場合と同様に、樹脂膜３１の膜厚のむら、及び、それに付随する表示品位のむらは確認されなかった。
また、本実施形態の金型ロール１５を固定する方法によれば、流体の注入により金型ロール１５を容易に固定することができ、流体の排出により金型ロール１５の固定を容易に解除することができる。
本実施形態において、ゴム板１５７は、固定ロール１５２の内周面側に貼り付けられている。この形態は、固定ロール１５２の外周面側に貼り付けた形態よりも接合強度の点で有利である。一方、本実施形態において、固定ロール１５２と金型ロール１５との接触を防止するストッパーとして、固定ロール１５２の胴体部１５２ａの外周面にゴム板が貼り付けてもよく、この場合には、固定ロール１５２と金型ロール１５との接触を防止するストッパー（緩衝材）としてのゴム板と、金型ロール１５の保持のために設けるゴム板１５７とを一体のものとしてもよい。
実施形態３
図１３は、実施形態３に係る固定ロールの構造を示す斜視模式図である。
本実施形態に係る固定ロール１５３は、胴体部に、均等な間隔で、同じ大きさの円形の開口が複数形成されている。この形態においては、弾性膜２５８として、実施形態１のように固定ロール１５３内にゴムバルーンを配置してもよく、実施形態２のように、固定ロール１５３の開口を覆うようにゴム板を配置してもよい。本実施形態の固定ロールは、実施形態１のローラー型ナノインプリント装置において、実施形態１の固定ロールの代わりに用いることができる。
実施形態４
図１４は、実施形態４に係る固定ロールの構造を示す斜視模式図であり、図１５は、実施形態４に係る固定ロールにゴムチューブを巻き付けた状態を示す断面模式図である。
本実施形態に係る固定ロール１５４は、回転軸１５４ｂに、間隔を空けて一対の円板１５４ａが取り付けられた構造を有している。そして、この円板１５４ａ間の回転軸１５４ｂにゴムチューブ２５９を巻き付けた状態で円筒状の金型ロール１５に挿入される。本形態においても、ゴムチューブ２５９を膨張させることにより金型ロール１５を内側から保持することができ、ゴムチューブ２５９を収縮させることにより金型ロール１５の着脱が可能である。すなわち、本実施形態において、固定ロール１５４は回転体であり、ゴムチューブ２５９は弾性袋である。本実施形態の固定ロールは、実施形態１のローラー型ナノインプリント装置において、実施形態１の固定ロールの代わりに用いることができる。
本実施形態においては、固定ロール１５４の円板１５４ａの外周面に、弾性体であるゴム板が貼り付けられてもよい。ゴム板は、固定ロール１５４と金型ロール１５との接触を防止するストッパー（緩衝材）の役割を有する。ゴム板を設けることにより、ナノ構造を転写する際に、固定ロール１５４と金型ロール１５とが接触して樹脂膜３１の厚みむらを引き起こすことや、固定ロール１５４、金型ロール１５が損傷することを防止することができる。ゴム板の厚みは、例えば、０．５ｍｍである。本実施形態において、ゴム板は、金型ロール１５の内周面に配置されてもよい。また、弾性体としては、衝撃を緩和することができるものであれば特に限定されず、ゴム板の代わりに例えばバネを用いてもよい。
実施形態５
図１６は、実施形態５に係るローラー型ナノインプリント装置の全体構成を示す説明図である。
本実施形態においては、固定ロールを設けずに、金型ロール２５の周囲に３本のピンチロール２６，２７，２８を金型ロール２５の回転中心に対して回転対称に（１２０°間隔で）設けることによりピンチロール２６，２７，２８のみで金型ロール２５を保持している。そして、ピンチロール２６，２７，２８の回転により、金型ロール２５を回転させ、基材フィルム１２を移動させる。
第１及び第３のピンチロール２６，２７は、実施形態１に係るローラー型ナノインプリント装置においても設けられていたものである。第１のピンチロール２６は、基材フィルム１２上の樹脂にナノ構造を転写するためのものである。第３のピンチロール２７は、金型ロール１５と基材フィルム１２上の樹脂とを剥離させるためのものである。第２のピンチロール２８は、金型ロール２５の配置を安定化させるためのものである。
本実施形態において、第１、第２及び第３のピンチロール２６，２７，２８は、均一に金型ロール２５を加圧することが好ましい。例えば、ピンチロール２６，２７，２８の加圧シリンダーの構造を同じにし、かつ同じ流体圧力で（同一系統で）加圧する形態が好適である。
また、本実施形態では、３本のピンチロール２６，２７，２８を金型ロール２５の回転中心に対して回転対称に設けるため、紫外線の照射は、第１のピンチロール２６と第２のピンチロール２８との間、第２のピンチロール２８と第３のピンチロール２７との間の２回に分けて行われる。なお、図１６中の白抜き矢印は、紫外線の照射方向を示している。
なお、ピンチロールの本数は、金型ロール２５が偏芯しないように回転対称に配置するのであれば、４本以上にしてもよい。なお、固定ロールを設けない場合、図１のように、２本のピンチロールのみで金型ロール２５を保持すると、金型ロール２５が基材フィルム１２から上向きの力を受けるため、安定走行することができない。
本実施形態のように、３本以上のピンチロールで金型ロールを押す場合、固定ロールを用いずに金型ロールを保持することができる。このように固定ロールを用いない場合には、ナノ構造を転写する際に金型ロールが回転軸方向にぶれないように、横滑り防止機構を設けることが好ましく、例えば、図１７のようなストッパー１８１を設けてもよい。一方、固定ロールを用いる場合には、ピンチロール２６，２７，２８を回転させることにより金型ロール２５を回転させることができるので、固定ロールから金型ロール２５に回転の動力を伝達する必要がない。したがって、固定ロールにベアリングが取り付けられ、固定ロールはベアリングを介してローラー型ナノインプリント装置内に取り付けられることが好ましい。
なお、実施形態１～５に係るローラー型ナノインプリント装置は、基材フィルム１２の送り出しから基材フィルム１２の巻き取りまでを一貫して行うものであるが、本発明に係るローラー型ナノインプリント装置は、例えば、固定ロール、ゴムバルーン等の金型ロールを保持して回転させる機構部、及び、ピンチロール、金型ロール等の型押しを行う機構部のみからなるものであってもよい。
比較例１
比較例１のローラー型ナノインプリント装置は、固定ロールを除いて、実施形態１のローラー型ナノインプリント装置と同様の構造を有する。本比較例においては、実施形態１と同じ金型ロールを金属ロールに被せ、該金型ロールと金属ロールとの間の空間にスペーサー（楔）を差し込み、更に金型ロールと金属ロールとの間に硬化性樹脂を注入後、該硬化性樹脂を硬化させることにより両者を接着した。そして、金型ロールをローラー型ナノインプリント装置内に取り付け、実施形態１と同様に、モスアイ構造を作製した。その結果、樹脂膜の膜厚分布は、１２±１．８μｍであった。また、表面が平滑な黒いアクリル板（屈折率１．４９）の上に、作製した樹脂膜を糊（屈折率１．５０）で貼り付け、これを白色光源下に照らして、観察角度を変化させながら目視により観察した結果、膜厚差に起因する干渉色が観察された。
本願は、２００８年２月２７日に出願された日本国特許出願２００８－０４６６６７号を基礎として、パリ条約ないし移行する国における法規に基づく優先権を主張するものである。該出願の内容は、その全体が本願中に参照として組み込まれている。
実施形態１に係るローラー型ナノインプリント装置の全体構成を示す説明図である。 実施形態１で作製された樹脂膜の表面構造を示す断面模式図である。 図２に示された樹脂膜の表面構造と空気層との界面における屈折率の変化を示す説明図である。 （ａ）は、実施形態１に係る金型ロールの構成を示す斜視模式図であり、（ｂ）は、実施形態１に係る固定ロールの構成を示す斜視模式図である。 実施形態１において、金型ロールの筒内に固定ロールを挿入した状態を示す斜視模式図である。 実施形態１において、金型ロールの筒内に固定ロールを挿入した状態（着脱時）を示す断面模式図である。 実施形態１において、金型ロールの筒内に固定ロールを挿入した状態（固定時）を示す断面模式図である。 実施形態１において、固定ロールの胴体部の外周面にゴム板が貼り付けられた形態の一例を示す断面模式図である。 （ａ）は、胴体部の外周面に線状突起構造が形成された固定ロールの一例を示す斜視模式図であり、（ｂ）は、内周面に線状溝構造が形成された金型ロールの一例を示す斜視模式図である（実施形態１）。 軸部にベアリングが取り付けられた固定ロールの一例を示す斜視模式図である（実施形態１）。 実施形態２において、金型ロールの筒内に固定ロールを挿入した状態（着脱時）を示す断面模式図である。 実施形態２において、金型ロールの筒内に固定ロールを挿入した状態（固定時）を示す断面模式図である。 実施形態３に係る固定ロールの構造を示す斜視模式図である。 実施形態４に係る固定ロールの構造を示す斜視模式図である。 実施形態４に係る固定ロールにゴムチューブを巻き付けた状態を示す断面模式図である。 実施形態５に係るローラー型ナノインプリント装置の全体構成を示す説明図である。 実施形態５において、金型ロールの両側面に、横滑り防止機構としてストッパーを配置した形態の一例を模式的に示す斜視分解図である。 小型の金型ロールのパターンを大型の金型ロール上に塗布した紫外線硬化樹脂に転写する方法を示す概略図である。図中のハッチングは、パターンが形成された領域を示している。
符号の説明
１１　基材フィルムロール
１２　基材フィルム
１３ａ，１３ｂ，１６，１７，２０，２６，２７，２８　ピンチロール
１４　ダイコーター
１５，２５　金型ロール
１５ｃ　線状溝構造
１８　ラミネーションフィルムロール
１９　ラミネーションフィルム
２１　積層フィルムロール
３１　樹脂膜
３２　突起
５１　大型の金型ロール
５２　小型の金型ロール
１５１，１５２，１５３，１５４　固定ロール
１５１ａ，１５２ａ　胴体部
１５１ｂ，１５２ｂ　軸部
１５１ｃ　線状突起構造
１５１ｄ　ベアリング
１５４ａ　円板
１５４ｂ　回転軸
１５６　ゴムバルーン
１５７，２５１　ゴム板
１８１　ストッパー
２５６，２５７　加圧口
２５８　弾性膜
２５９　ゴムチューブ

Claims (17)

  1. 金型ロールを回転させることで被転写膜の表面にナノメートルサイズの突起を連続的に形成するローラー型ナノインプリント装置であって、
    該金型ロールは、外周面にナノメートルサイズの窪みが形成された円筒体であり、
    該ナノインプリント装置は、該金型ロールの内周面に囲まれた領域に、流体の注入により膨張可能な弾性膜を備える流体容器を有し、
    該弾性膜を収縮させた状態で金型ロールの着脱を行い、該弾性膜を膨張させた状態で金型ロールを内側から保持する
    ことを特徴とするローラー型ナノインプリント装置。
  2. 前記ナノインプリント装置は、該装置に取り付け可能であり、かつ開口が形成された中空の中空ロールを有し、
    前記弾性膜は、袋状であり、
    前記流体容器は、該袋状の弾性膜からなる弾性袋であり、
    該ナノインプリント装置は、該金型ロールの内周面に囲まれた領域に、該中空ロールが配置され、該中空ロール内に弾性袋が配置されており、
    該弾性袋を膨張させて中空ロールの開口から露出させた部分を金型ロールの内周面に接触させることにより金型ロールを保持し、金型ロールを保持した状態で中空ロールを回転させることにより金型ロールを回転させる
    ことを特徴とする請求項１記載のローラー型ナノインプリント装置。
  3. 前記流体容器は、前記ナノインプリント装置に取り付け可能であり、かつ開口が形成された中空ロールの該開口を前記弾性膜により塞いだものであり、
    前記ナノインプリント装置は、弾性膜を膨張させて金型ロールの内周面に接触させることにより金型ロールを保持し、金型ロールを保持した状態で中空ロールを回転させることにより金型ロールを回転させる
    ことを特徴とする請求項１記載のローラー型ナノインプリント装置。
  4. 前記中空ロールは、開口が形成された部分を除いて、金型ロールの内周面と対向する面上に弾性体が設けられていることを特徴とする請求項２又は３記載のローラー型ナノインプリント装置。
  5. 前記ナノインプリント装置は、該装置に取り付け可能であり、かつ金型ロールの内周面に囲まれた領域に配置された回転体を有し、
    前記弾性膜は、袋状であり、
    前記流体容器は、該袋状の弾性膜からなる弾性袋であり、かつ該回転体の周囲に取り付けられ、該ナノインプリント装置は、該弾性袋を膨張させて金型ロールの内周面に接触させることにより金型ロールを保持し、金型ロールを保持した状態で回転体を回転させることにより金型ロールを回転させる
    ことを特徴とする請求項１記載のローラー型ナノインプリント装置。
  6. 前記回転体は、外周面の前記弾性袋が取り付けられていない領域上に弾性体が設けられていることを特徴とする請求項５記載のローラー型ナノインプリント装置。
  7. 前記金型ロールは、実質的に継ぎ目が形成されていないことを特徴とする請求項１～６のいずれかに記載のローラー型ナノインプリント装置。
  8. 前記金型ロールは、研磨されたアルミニウム管の外周面に、陽極酸化法により前記ナノメートルサイズの窪みを形成したものであることを特徴とする請求項１～７のいずれかに記載のローラー型ナノインプリント装置。
  9. 回転しながら被転写膜への型押しを行うことにより、ナノメートルサイズの突起を被転写膜の表面に連続的に形成するためのローラー型ナノインプリント装置用金型ロールであって、
    該金型ロールは、外周面にナノメートルサイズの窪みが形成された円筒体であり、かつ金型ロールの内周面に囲まれた領域に配置される部材との位置決めに用いられる位置あわせ機構を有することを特徴とするローラー型ナノインプリント装置用金型ロール。
  10. 回転しながら被転写膜への型押しを行うことにより、ナノメートルサイズの突起を被転写膜の表面に連続的に形成するためのローラー型ナノインプリント装置用金型ロールであって、
    該金型ロールは、押出加工により形成された円筒状のアルミニウム管の外周面を切削研磨し、更にエッチングと陽極酸化とを交互に繰り返すことにより、該外周面に円錐形の窪みを光の波長よりも小さな深さで形成したものであることを特徴とするローラー型ナノインプリント装置用金型ロール。
  11. ナノメートルサイズの窪みが外周面に形成された円筒状の金型ロールを回転させることでナノメートルサイズの突起を被転写膜の表面に連続的に形成するローラー型ナノインプリント装置用の固定ロールであって、
    該固定ロールは、該金型ロールの内周面に囲まれた領域に配置されるものであり、
    流体の注入により膨張可能な弾性膜が取り付けられ、
    該弾性膜を収縮させた状態で金型ロールが着脱され、該弾性膜が膨張して金型ロールを内側から保持した状態で固定ロールが回転することにより金型ロールを回転させるものであり、かつ
    金型ロールとの位置決めに用いられる位置あわせ機構を有する
    ことを特徴とするローラー型ナノインプリント装置用固定ロール。
  12. ナノメートルサイズの窪みが外周面に形成された円筒状の金型ロールを回転させることでナノメートルサイズの突起を被転写膜の表面に連続的に形成するローラー型ナノインプリント装置用の固定ロールであって、
    該固定ロールは、該金型ロールの内周面に囲まれた領域に配置されるものであり、
    流体の注入により膨張可能な弾性膜が取り付けられ、
    該弾性膜を収縮させた状態で金型ロールが着脱され、該弾性膜が膨張して金型ロールを内側から保持した状態で固定ロールが回転することにより金型ロールを回転させるものであり、かつ
    ベアリングが設けられたものである
    ことを特徴とするローラー型ナノインプリント装置用固定ロール。
  13. ナノメートルサイズの突起が表面に形成されたナノインプリントシートの製造方法であって、
    該製造方法は、外周面にナノメートルサイズの窪みが形成された円筒状の金型ロールと、該金型ロールの内周面に囲まれた領域に設けられ、かつ流体の注入により膨張可能な弾性膜を備える流体容器とを用いるものであり、
    該弾性膜を収縮させた状態で金型ロールの着脱を行い、該弾性膜を膨張させた状態で金型ロールを内側から保持し、かつ
    金型ロールを回転させながら被転写膜への型押しを連続的に行う
    ことを特徴とするナノインプリントシートの製造方法。
  14. 金型ロールを回転させることで被転写膜の表面にナノメートルサイズの突起を連続的に形成するローラー型ナノインプリント装置であって、
    該金型ロールは、外周面にナノメートルサイズの窪みが形成された円筒体であり、
    該ナノインプリント装置は、該金型ロールの回転中心に対して実質的に回転対称に配置された少なくとも３つのピンチロールにより、金型ロールを保持しつつ回転させる
    ことを特徴とするローラー型ナノインプリント装置。
  15. 前記金型ロールは、実質的に継ぎ目が形成されていないことを特徴とする請求項１４記載のローラー型ナノインプリント装置。
  16. 前記金型ロールは、研磨されたアルミニウム管の外周面に、陽極酸化法により前記ナノメートルサイズの窪みを形成したものであることを特徴とする請求項１４記載のローラー型ナノインプリント装置。
  17. ナノメートルサイズの突起が表面に形成されたナノインプリントシートの製造方法であって、
    該製造方法は、外周面にナノメートルサイズの窪みが形成された円筒状の金型ロールと、該金型ロールの回転中心に対して実質的に回転対称に配置された少なくとも３つのピンチロールとを用いるものであり、
    該金型ロールは、該少なくとも３つのピンチロールにより保持され、
    該金型ロール及び該少なくとも３つのピンチロールを回転させながら被転写膜への型押しを連続的に行う
    ことを特徴とするナノインプリントシートの製造方法。
PCT/JP2008/071030 2008-02-27 2008-11-19 ローラー型ナノインプリント装置、ローラー型ナノインプリント装置用金型ロール、ローラー型ナノインプリント装置用固定ロール、及び、ナノインプリントシートの製造方法 WO2009107294A1 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US12/734,381 US8673193B2 (en) 2008-02-27 2008-11-19 Roller nanoimprint apparatus, mold roller for use in roller nanoimprint apparatus, fixing roller for use in roller nanoimprint apparatus, and production method of nanoimprint sheet
BRPI0822215-0A BRPI0822215A2 (pt) 2008-02-27 2008-11-19 Aparelho de nanolitografia de rolo, rolo de molde para utilização em aparelho de nanolitografia de rolo, rolo de fixação para utilização em aparelho de nanolitografia de rolo, e método de produção de folha de nanolitografia
CN200880122606.5A CN101909859B (zh) 2008-02-27 2008-11-19 辊型纳米压印装置、辊型纳米压印装置用模具辊、辊型纳米压印装置用固定辊以及纳米压印片的制造方法
EP08872863.9A EP2246177B1 (en) 2008-02-27 2008-11-19 Roller type nano-imprint device, mold roll for the roller type nano-imprint device, fixed roll for the roller type nano-imprint device, and nano-imprint sheet manufacturing method
JP2010500533A JP4875203B2 (ja) 2008-02-27 2008-11-19 ローラー型ナノインプリント装置及びナノインプリントシートの製造方法

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008-046667 2008-02-27
JP2008046667 2008-02-27

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2009107294A1 true WO2009107294A1 (ja) 2009-09-03

Family

ID=41015701

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2008/071030 WO2009107294A1 (ja) 2008-02-27 2008-11-19 ローラー型ナノインプリント装置、ローラー型ナノインプリント装置用金型ロール、ローラー型ナノインプリント装置用固定ロール、及び、ナノインプリントシートの製造方法

Country Status (6)

Country Link
US (2) US8673193B2 (ja)
EP (2) EP2348359B1 (ja)
JP (2) JP4875203B2 (ja)
CN (1) CN101909859B (ja)
BR (1) BRPI0822215A2 (ja)
WO (1) WO2009107294A1 (ja)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011105206A1 (ja) * 2010-02-24 2011-09-01 シャープ株式会社 型および型の製造方法ならびに反射防止膜の製造方法
CN102687239A (zh) * 2009-10-28 2012-09-19 韩国机械研究院 辊印装置
USRE43694E1 (en) 2000-04-28 2012-10-02 Sharp Kabushiki Kaisha Stamping tool, casting mold and methods for structuring a surface of a work piece
JP2013515378A (ja) * 2009-12-22 2013-05-02 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー 加圧ローラーを使用するマイクロコンタクトプリンティングのための装置及び方法
US8597767B2 (en) 2008-03-04 2013-12-03 Sharp Kabushiki Kaisha Optical element, roller type nanoimprinting apparatus, and process for producing die roll
JP5616969B2 (ja) * 2010-08-30 2014-10-29 シャープ株式会社 型の製造方法および反射防止材の製造方法
WO2015022916A1 (ja) * 2013-08-14 2015-02-19 三菱レイヨン株式会社 ナノインプリント用モールドの製造方法、および反射防止物品
WO2015022935A1 (ja) * 2013-08-14 2015-02-19 三菱レイヨン株式会社 円柱状ナノインプリント用モールドの製造方法、およびナノインプリント用再生モールドの製造方法
EP2554717A4 (en) * 2010-03-31 2016-08-31 Sharp Kk MATRIX, PROCESS FOR PRODUCING MATRIX, AND PROCESS FOR PRODUCING ANTIREFLECTION FILM
CN116088266A (zh) * 2023-03-23 2023-05-09 青岛天仁微纳科技有限责任公司 用于薄膜的纳米压印设备

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011149864A1 (en) * 2010-05-24 2011-12-01 Web Industries, Inc. Microfluidic surfaces and devices
EP2602089B1 (en) * 2010-08-06 2017-12-20 Soken Chemical & Engineering Co., Ltd. Resin mold for nanoimprinting and manufacturing method thereof
JP5616191B2 (ja) * 2010-10-10 2014-10-29 株式会社Ｄｎｐファインケミカル ナノ構造体作製用型体及びその製造方法
KR101787079B1 (ko) * 2010-11-04 2017-10-19 미래나노텍(주) 패턴 형성 장치 및 방법
US9315916B2 (en) * 2010-11-30 2016-04-19 Sharp Kabushiki Kaisha Electrode structure, substrate holder, and method for forming anodic oxidation layer
KR101037903B1 (ko) 2010-12-09 2011-05-30 한국기계연구원 롤프린팅/롤임프린팅용 롤 제조방법
JP5566949B2 (ja) * 2011-05-20 2014-08-06 株式会社日本製鋼所 シート成形用ロール及びシート成形方法
KR101238521B1 (ko) * 2011-07-13 2013-02-28 인하대학교 산학협력단 반사 방지 필름 제조 장치 및 방법
JPWO2013054832A1 (ja) * 2011-10-14 2015-03-30 三菱レイヨン株式会社 光学シート製造用ロール状金型の製造方法、光学シート製造方法、電子表示装置、及びアルミニウム母材の鏡面加工方法
US8771572B2 (en) * 2011-10-31 2014-07-08 Oracle International Corporation Methods for manufacturing an embosser drum for use in pre-formatting optical tape media
US9956720B2 (en) * 2012-09-27 2018-05-01 North Carolina State University Methods and systems for fast imprinting of nanometer scale features in a workpiece
US9831362B2 (en) 2013-03-29 2017-11-28 The Hong Kong University Of Science And Technology Roll-to-roll fabrication of ordered three-dimensional nanostructure array, related techniques, materials and products
JP6252053B2 (ja) * 2013-09-09 2017-12-27 大日本印刷株式会社 表面増強ラマン散乱測定用基板、及びその製造方法
TWI482963B (zh) * 2014-03-05 2015-05-01 Coretronic Corp 親水膜片及其製造方法以及具有該親水膜片的生物感測器
DE202014104604U1 (de) * 2014-04-09 2015-07-13 Kuka Systems Gmbh Applikator
KR102436260B1 (ko) * 2015-05-04 2022-08-26 삼성디스플레이 주식회사 표시장치용 라미네이션 장치
TWI594870B (zh) * 2015-07-23 2017-08-11 Aurotek Corp Rolling device
US10875337B2 (en) * 2016-07-14 2020-12-29 Morphotonics Holding B.V. Apparatus for imprinting discrete substrates with a flexible stamp
KR102024886B1 (ko) * 2016-11-04 2019-11-04 주식회사 엘지화학 라미네이션 장치
CN109109264A (zh) * 2017-06-23 2019-01-01 苏州路熙光电科技有限公司 一种凸镜多层注塑的工艺方法
CN109109275A (zh) * 2017-06-23 2019-01-01 苏州路熙光电科技有限公司 一种民用led凸镜的工艺方法
CN107416763B (zh) * 2017-08-18 2019-04-16 西安交通大学 复杂腔体内表面微纳结构的自适应随形制造方法
KR102202657B1 (ko) * 2017-09-14 2021-01-13 (주)엘지하우시스 수성 표면처리제 제조방법 및 이로부터 제조된 수성 표면처리제
CN110018612B (zh) * 2018-01-10 2024-05-28 长春工业大学 一种可制备复杂微结构的纳米压印装置
IT201900019328A1 (it) * 2019-10-18 2021-04-18 Macpi S P A Pressing Div Metodo e dispositivo per applicare una pellicola ad un articolo tridimensionale
US20220396025A1 (en) * 2019-11-26 2022-12-15 Morphotonics Holding B.V. Unbalanced roller
CN111169161A (zh) * 2020-01-20 2020-05-19 东莞市汇盟智能科技有限公司 一种新型卷对卷uv转印机
KR102415098B1 (ko) * 2021-12-13 2022-06-30 한국기계연구원 형상 적응형 임프린트 스탬프 장비 및 임프린트 방법
CN114248342B (zh) * 2022-02-07 2023-03-31 东莞市志橙半导体材料有限公司 一种异形半导体管芯非导电保护管的制备方法

Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0516230A (ja) * 1990-10-19 1993-01-26 Canon Inc 成形ロール及びその製造方法、光記録媒体用基板シートの製造装置
JP2001264520A (ja) 2000-03-16 2001-09-26 Dainippon Printing Co Ltd 反射防止フィルム、偏光素子、および表示装置、ならびに反射防止フィルムの製造方法
JP2002079535A (ja) * 2000-06-28 2002-03-19 Ricoh Co Ltd 円筒成形型及びその製造方法並びに円筒膜の製造方法
JP2003043203A (ja) 2001-08-01 2003-02-13 Hitachi Maxell Ltd 反射防止膜、その製造方法、反射防止膜製造用スタンパ、その製造方法、スタンパ製造用鋳型及びその製造方法
JP2003531962A (ja) 2000-04-28 2003-10-28 アルコーブ サーフィシーズ ゲーエムベーハー 型押し具、これを製造する方法、加工物の表面を構築する方法、及び陽極酸化表面層の使用
JP2004223724A (ja) * 2003-01-20 2004-08-12 Dainippon Printing Co Ltd ガラス製のエンボスロール
JP2005144698A (ja) 2003-11-11 2005-06-09 Fuji Photo Film Co Ltd 凹凸状シートの製造方法及び製造装置
JP2005156695A (ja) 2003-11-21 2005-06-16 Kanagawa Acad Of Sci & Technol 反射防止膜及びその製造方法、並びに反射防止膜作製用スタンパ及びその製造方法
JP2005161531A (ja) 2003-11-28 2005-06-23 Fuji Photo Film Co Ltd 凹凸状シートの製造方法及び製造装置
WO2006059686A1 (ja) 2004-12-03 2006-06-08 Sharp Kabushiki Kaisha 反射防止材、光学素子、および表示装置ならびにスタンパの製造方法およびスタンパを用いた反射防止材の製造方法
JP2007086283A (ja) * 2005-09-21 2007-04-05 Kanagawa Acad Of Sci & Technol 反射防止膜及びその製造方法、並びに反射防止膜作製用スタンパ及びその製造方法
JP2007203576A (ja) 2006-02-01 2007-08-16 Oji Paper Co Ltd ロール式インプリント装置用の広幅ナノインプリントロールの製造方法
JP2007281099A (ja) 2006-04-04 2007-10-25 Meisho Kiko Kk ナノインプリント装置およびナノインプリント方法

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2331743A (en) * 1942-05-23 1943-10-12 Marathon Paper Mills Co Roll spindle
US2849192A (en) * 1955-10-20 1958-08-26 Us Shaft Company Core engaging shaft
GB1203629A (en) * 1966-11-30 1970-08-26 Stenay Papeterie Improved rolling or calendering roll
IT1203476B (it) * 1987-04-15 1989-02-15 Componenti Grafici Srl Perfezionamenti in rulli flessibili per macchine rotative
US5249949A (en) * 1989-09-11 1993-10-05 Eastman Kodak Company Apparatus for texturizing toner image bearing receiving sheets
EP0481753B1 (en) 1990-10-19 1996-07-10 Canon Kabushiki Kaisha Molding roll, method for manufacturing it, and apparatus for forming substrate sheet for optical recording medium
CA2052074A1 (en) 1990-10-29 1992-04-30 Victor Vali Integrated optics gyroscope sensor
JPH0671763B2 (ja) 1991-02-21 1994-09-14 筒中プラスチック工業株式会社 ポリカーボネート樹脂シートの熱成形方法
JP3160941B2 (ja) 1991-06-17 2001-04-25 東レ株式会社 カルバゾール誘導体および免疫抑制剤
TW298574B (ja) * 1994-03-08 1997-02-21 Syfal Srl
US5507228A (en) * 1994-10-03 1996-04-16 Schulz; Werner Printing cylinder
US5811137A (en) * 1995-02-17 1998-09-22 Casa Herrera, Inc. Dough Sheeter having independant internally-driven self-powered rollers
EP0818301B1 (en) * 1996-06-26 2001-11-21 Idemitsu Petrochemical Co., Ltd. Method of embossing a sheet and embossing apparatus
US6832547B2 (en) 1996-10-16 2004-12-21 Fort James Corporation Embossing system including sleeved rolls
DE69823083T2 (de) * 1997-02-28 2004-08-26 Chiba Machine Industry Corp., Nagareyama Verfahren und Vorrichtung zum Formen von Folienprodukten
US7066234B2 (en) * 2001-04-25 2006-06-27 Alcove Surfaces Gmbh Stamping tool, casting mold and methods for structuring a surface of a work piece
JP2002079523A (ja) 2000-09-04 2002-03-19 Seiko Epson Corp 眼鏡レンズの製造方法
US6905119B2 (en) * 2002-06-19 2005-06-14 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Pressurized roller
US20040159977A1 (en) * 2003-02-18 2004-08-19 Perfetto Robert S. Method and apparatus for applying a decorative pattern to a surface
US7070406B2 (en) 2003-04-29 2006-07-04 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Apparatus for embossing a flexible substrate with a pattern carried by an optically transparent compliant media
TW570290U (en) * 2003-05-02 2004-01-01 Ind Tech Res Inst Uniform pressing device for nanometer transfer-print
US20050104253A1 (en) * 2003-11-11 2005-05-19 Ryuichi Katsumoto Production method and production apparatus of pattern-indented sheet
CN101043953A (zh) * 2004-10-22 2007-09-26 皇家飞利浦电子股份有限公司 带有压力控制的辊子微接触印刷机
TW200705541A (en) * 2005-07-25 2007-02-01 Li Bing Huan Manufacturing method of nano-sticker
US20070126148A1 (en) * 2005-12-02 2007-06-07 General Electric Company Microstructured embossing drum and articles made therefrom
JP5016230B2 (ja) 2006-02-14 2012-09-05 花王株式会社 染毛用又は毛髪脱色用第２剤組成物
JP2008046667A (ja) 2006-08-10 2008-02-28 Toshiba Corp 水道プラント運用システム

Patent Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0516230A (ja) * 1990-10-19 1993-01-26 Canon Inc 成形ロール及びその製造方法、光記録媒体用基板シートの製造装置
JP2001264520A (ja) 2000-03-16 2001-09-26 Dainippon Printing Co Ltd 反射防止フィルム、偏光素子、および表示装置、ならびに反射防止フィルムの製造方法
JP2003531962A (ja) 2000-04-28 2003-10-28 アルコーブ サーフィシーズ ゲーエムベーハー 型押し具、これを製造する方法、加工物の表面を構築する方法、及び陽極酸化表面層の使用
JP2002079535A (ja) * 2000-06-28 2002-03-19 Ricoh Co Ltd 円筒成形型及びその製造方法並びに円筒膜の製造方法
JP2003043203A (ja) 2001-08-01 2003-02-13 Hitachi Maxell Ltd 反射防止膜、その製造方法、反射防止膜製造用スタンパ、その製造方法、スタンパ製造用鋳型及びその製造方法
JP2004223724A (ja) * 2003-01-20 2004-08-12 Dainippon Printing Co Ltd ガラス製のエンボスロール
JP2005144698A (ja) 2003-11-11 2005-06-09 Fuji Photo Film Co Ltd 凹凸状シートの製造方法及び製造装置
JP2005156695A (ja) 2003-11-21 2005-06-16 Kanagawa Acad Of Sci & Technol 反射防止膜及びその製造方法、並びに反射防止膜作製用スタンパ及びその製造方法
JP2005161531A (ja) 2003-11-28 2005-06-23 Fuji Photo Film Co Ltd 凹凸状シートの製造方法及び製造装置
WO2006059686A1 (ja) 2004-12-03 2006-06-08 Sharp Kabushiki Kaisha 反射防止材、光学素子、および表示装置ならびにスタンパの製造方法およびスタンパを用いた反射防止材の製造方法
JP2007086283A (ja) * 2005-09-21 2007-04-05 Kanagawa Acad Of Sci & Technol 反射防止膜及びその製造方法、並びに反射防止膜作製用スタンパ及びその製造方法
JP2007203576A (ja) 2006-02-01 2007-08-16 Oji Paper Co Ltd ロール式インプリント装置用の広幅ナノインプリントロールの製造方法
JP2007281099A (ja) 2006-04-04 2007-10-25 Meisho Kiko Kk ナノインプリント装置およびナノインプリント方法

Cited By (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
USRE43694E1 (en) 2000-04-28 2012-10-02 Sharp Kabushiki Kaisha Stamping tool, casting mold and methods for structuring a surface of a work piece
USRE46606E1 (en) 2000-04-28 2017-11-14 Sharp Kabushiki Kaisha Stamping tool, casting mold and methods for structuring a surface of a work piece
USRE44830E1 (en) 2000-04-28 2014-04-08 Sharp Kabushiki Kaisha Stamping tool, casting mold and methods for structuring a surface of a work piece
US8597767B2 (en) 2008-03-04 2013-12-03 Sharp Kabushiki Kaisha Optical element, roller type nanoimprinting apparatus, and process for producing die roll
CN102687239A (zh) * 2009-10-28 2012-09-19 韩国机械研究院 辊印装置
US8950324B2 (en) 2009-12-22 2015-02-10 3M Innovative Properties Company Apparatus and method for microcontact printing using a pressurized roller
JP2013515378A (ja) * 2009-12-22 2013-05-02 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー 加圧ローラーを使用するマイクロコンタクトプリンティングのための装置及び方法
TWI465758B (zh) * 2010-02-24 2014-12-21 Sharp Kk 模具及模具之製造方法與抗反射膜之製造方法
WO2011105206A1 (ja) * 2010-02-24 2011-09-01 シャープ株式会社 型および型の製造方法ならびに反射防止膜の製造方法
JP5053465B2 (ja) * 2010-02-24 2012-10-17 シャープ株式会社 型および型の製造方法ならびに反射防止膜の製造方法
US9193096B2 (en) 2010-02-24 2015-11-24 Sharp Kabushiki Kaisha Die, die production method, and production of antireflection film
EP2554717A4 (en) * 2010-03-31 2016-08-31 Sharp Kk MATRIX, PROCESS FOR PRODUCING MATRIX, AND PROCESS FOR PRODUCING ANTIREFLECTION FILM
JP5616969B2 (ja) * 2010-08-30 2014-10-29 シャープ株式会社 型の製造方法および反射防止材の製造方法
US8999133B2 (en) 2010-08-30 2015-04-07 Sharp Kabushiki Kaisha Method for forming anodized layer and mold production method
WO2015022916A1 (ja) * 2013-08-14 2015-02-19 三菱レイヨン株式会社 ナノインプリント用モールドの製造方法、および反射防止物品
US9457493B2 (en) 2013-08-14 2016-10-04 Mitsubishi Rayon Co., Ltd. Method for producing cylindrical nanoimprinting mold and method for producing nanoimprinting reproduction mold
JPWO2015022935A1 (ja) * 2013-08-14 2017-03-02 三菱レイヨン株式会社 円柱状ナノインプリント用モールドの製造方法、およびナノインプリント用再生モールドの製造方法
WO2015022935A1 (ja) * 2013-08-14 2015-02-19 三菱レイヨン株式会社 円柱状ナノインプリント用モールドの製造方法、およびナノインプリント用再生モールドの製造方法
US9890466B2 (en) 2013-08-14 2018-02-13 Mitsubishi Chemical Corporation Method for producing mold for nanoimprinting and anti-reflective article
KR101879797B1 (ko) * 2013-08-14 2018-07-18 미쯔비시 케미컬 주식회사 원기둥형상 나노임프린트용 몰드의 제조방법 및 나노임프린트용 재생 몰드의 제조방법
CN116088266A (zh) * 2023-03-23 2023-05-09 青岛天仁微纳科技有限责任公司 用于薄膜的纳米压印设备

Also Published As

Publication number Publication date
US8673193B2 (en) 2014-03-18
US20100258978A1 (en) 2010-10-14
EP2246177A1 (en) 2010-11-03
BRPI0822215A2 (pt) 2015-06-23
EP2348359B1 (en) 2013-04-24
CN101909859B (zh) 2015-02-04
JP4875203B2 (ja) 2012-02-15
JPWO2009107294A1 (ja) 2011-06-30
JP4521479B1 (ja) 2010-08-11
US20100272845A1 (en) 2010-10-28
EP2246177B1 (en) 2018-06-06
US7938640B2 (en) 2011-05-10
EP2246177A4 (en) 2012-02-29
EP2348359A1 (en) 2011-07-27
JP2010188731A (ja) 2010-09-02
CN101909859A (zh) 2010-12-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4875203B2 (ja) ローラー型ナノインプリント装置及びナノインプリントシートの製造方法
JP5073050B2 (ja) 光学素子、ローラー型ナノインプリント装置及び金型ロールの製造方法
WO2010071055A1 (ja) ローラー型インプリント装置、及び、インプリントシートの製造方法
WO2017059745A1 (zh) 大面积微纳图形化的装置和方法
JP4964985B2 (ja) ナノインプリントフィルムの製造方法
TWI501860B (zh) A stamping die, a method of manufacturing the same, an embossing device, and an embossing method
TWI588009B (zh) A method of manufacturing a stamper, a stamper, and a stamper With components
JP2015021975A (ja) 光学フィルム用転写体、光学フィルム用転写体の製造方法
WO2014010516A1 (ja) インプリント方法、及びインプリント装置
WO2014010517A1 (ja) インプリント方法、及びインプリント装置
WO2016051928A1 (ja) インプリント用テンプレート及びその製造方法
JP2015021976A (ja) 光学フィルム用転写体、光学フィルム用転写体の製造方法
JP2008194977A (ja) 成形体の製造方法及び製造装置
TW201719200A (zh) 一體式光學膜總成及製造方法
JP2012061832A (ja) 積層体の製造方法、原盤および転写装置
JP2012086515A (ja) 積層体、成型素子、および光学素子
JP2010225785A (ja) インプリント用の転写フィルムの製造方法、及びインプリント用の転写フィルム
JP5363165B2 (ja) 微細凹凸パターンの形成方法及び形成装置
TW201607735A (zh) 壓印用轉寫滾筒體
TW201504698A (zh) 導光板的製造方法及導光板
JP2017007184A (ja) フィルム状微細構造体の製造方法及び転写装置
TW201441050A (zh) 光學複合膜之製造設備及製造方法
JP6515568B2 (ja) 光学フィルムの製造方法
JP2014017392A (ja) インプリント方法、及びインプリント装置
JP2015018009A (ja) 光学フィルム、画像表示装置、光学フィルム用賦型金型、光学フィルムの製造方法及び光学フィルム用賦型金型の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 200880122606.5

Country of ref document: CN

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 08872863

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2010500533

Country of ref document: JP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 12734381

Country of ref document: US

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 3358/DELNP/2010

Country of ref document: IN

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2008872863

Country of ref document: EP

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

ENP Entry into the national phase

Ref document number: PI0822215

Country of ref document: BR

Kind code of ref document: A2

Effective date: 20100826