WO2008096518A1 - 遮熱部材下端面と原料融液面との間の距離の測定方法、及びその距離の制御方法 - Google Patents

遮熱部材下端面と原料融液面との間の距離の測定方法、及びその距離の制御方法 Download PDF

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Abstract

　本発明は、チョクラルスキー法によりルツボ内の原料融液４に磁場を印加しながらシリコン単結晶を引上げる際に、原料融液面４上方に位置する遮熱部材１４の下端に基準反射体１８を設け、遮熱部材１４の下端面と原料融液面４との間の距離を測定する方法であって、遮熱部材下端面と原料融液面との間の距離Ａを実測し、基準反射体１８の原料融液面に反射した鏡像の位置Ｒ１を定点観測機１９で観測した後、シリコン単結晶引上げ中に、鏡像の移動距離Ｂを定点観測機１９で測定し、実測値Ａと鏡像の移動距離Ｂから遮熱部材下端面と原料融液面との間の距離を算出することを特徴とする遮熱部材下端面と原料融液面との間の距離の測定方法である。これにより、遮熱部材下端面と原料融液面との間の距離を安定してより正確に測定することのできる遮熱部材下端面と原料融液面との間の距離の測定方法が提供される。
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