JP4929817B2 - 基準反射体と融液面との距離の測定方法、及びこれを用いた融液面位置の制御方法、並びにシリコン単結晶の製造装置 - Google Patents
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Description
さらに、特許文献4には、基準反射体の鏡像の安定性を得るためにルツボ回転による原料融液の湾曲を考慮する方法が示されている。
そして、基準反射体と融液面との相対距離の測定結果が不正確であると、融液面と遮熱部材との間隔を精度よく所定の間隔になるように制御することができない。その結果、所望品質のシリコン単結晶を生産性良く製造できなくなる。
また、本発明では、基準反射体の実像と融液面に反射した基準反射体の鏡像の画像を検出手段で捉え、該捉えた基準反射体の実像と鏡像の画像を別々の画像として処理する。このため、実像と鏡像の画像のそれぞれに対して、2値化レベルを適切なレベルに設定することが可能となる。よって、シリコン単結晶の引上げにともない鏡像の明るさが変化等する場合でも、より正確に基準反射体と融液面との相対距離を測定することができる。
このように、本発明によれば、融液面の振動を十分に抑えることができ、しかも、実像と鏡像の画像のそれぞれに対して、2値化レベルを適切なレベルに設定することが可能であるので、基準反射体と融液面との相対距離をより安定してより正確に測定することができる。
尚、ここで、本発明における「基準反射体」とは、融液面に鏡像を反射させ、実像と鏡像の距離を測定することで、融液面位置を検出するためのものであり、基準反射体と融液面との相対距離を制御することで、融液面と遮熱部材等との間隔を制御できるものである。基準反射体は、例えば、遮熱部材自体であっても良いし、後述のように、遮熱部材下端に取り付けた突起物であっても良いが、これらに限定されない。
また、本発明のシリコン単結晶の製造装置は、検出手段により、基準反射体の実像と融液面に反射した基準反射体の鏡像の画像を捉え、該捉えた基準反射体の実像と鏡像の画像を別々の画像として処理するものである。このため、実像と鏡像の画像のそれぞれに対して、2値化レベルを適切なレベルに設定することが可能となる。
そして、融液面位置の制御用演算装置により、基準反射体の実像と鏡像の相対距離を算出することで、基準反射体と融液面との相対距離を測定する。このため、シリコン単結晶の引上げにともない鏡像の明るさが変化等する場合でも、より正確に基準反射体と融液面との相対距離を測定することができる。
さらに、該測定結果に基づいて、前記基準反射体と融液面との相対距離を制御する。このため、基準反射体と融液面との相対距離を高精度で測定してより安定してより正確に制御することができる。
すなわち、本発明のシリコン単結晶の製造装置では、この測定結果に基づき、融液面と遮熱部材との間隔を精度よく所定の間隔になるように制御することができる。このため、結晶成長軸方向の結晶軸温度勾配を極めて高精度に制御することが可能となり、高品質のシリコン単結晶を効率的に高い生産性で製造することができる。
前述のように、従来、CZ炉内に基準反射体を配置し、該基準反射体の実像と融液面に反射した基準反射体の鏡像の相対距離を測定することにより、基準反射体と融液面の距離を測定することが行われている。この測定は、基準反射体の実像と基準反射体の鏡像の画像を光学式カメラなどの検出手段で捉え、該捉えた基準反射体の実像と鏡像の明暗を、一定の閾値(2値化レベルの閾値)を決めて2つのレベルに量子化(2値化処理)することにより行われている。
また、例えば、直径300mm以上のシリコン単結晶を製造する場合に、融液面が振動し、正確な融液面の位置を安定して検出することができないという問題もあった。
このように、基準反射体と融液面との相対距離の測定結果が不正確であると、融液面と遮熱部材との間隔を精度よく所定の間隔になるように制御することができない。その結果、所望品質のシリコン単結晶を生産性良く製造できなくなる。
図1は、本発明のシリコン単結晶の製造装置の一例を示す概略図である。
このシリコン単結晶製造装置40は、シリコン単結晶3の引上げ中に原料融液15に磁場を印加する磁石30と、原料融液15を収容する石英ルツボ9と、融液面の上方に配置され融液面に鏡像を反射させる基準反射体5と、基準反射体5の実像と鏡像の画像を捉える検出手段14と、基準反射体5と融液面との相対距離を制御する融液面位置の制御用演算装置21とを具備する。
先ず、石英ルツボ9内に高純度の多結晶シリコン原料を収容し、黒鉛ルツボ8の周囲に配置されたヒーター7によりシリコンの融点(約1420℃)以上に加熱溶融され、原料融液15とする。そして、この原料融液15に種結晶11を接融した後、引上げワイヤ13をワイヤ巻取り機構(不図示)によって静かに巻取り、絞り部を形成した後に、結晶径を拡大して一定の直径を持つ定径部を育成させる。この時、引上げ中のシリコン単結晶3の直径制御は、検出手段で捉えた画像をもとに、直径制御用の演算装置22により行う。
尚、検出手段14は、特に限定されないが、例えば通常用いられる光学式カメラ(CCDカメラ等)が挙げられる。
先ず、基準反射体5の実像と融液面に反射した基準反射体5の鏡像が捉えられるように光学式カメラ14の設置角度を設定する。そして絞り開始時に基準反射体5の実像と融液面に反射した基準反射体5の鏡像の2値化レベルの閾値をそれぞれ別々に調節する。すなわち、1台の光学式カメラで得られた画像に、基準反射体5の実像と鏡像とで別々のエリアを設定する。そして、予め基準反射体5の実像と融液面に反射した基準反射体5の鏡像との間の測定値(電圧値)を求めておき、融液面位置を移動させて、基準反射体5の実像と融液面に反射した基準反射体5の鏡像との間の測定値(電圧値)の変動量から、例えば1mmの測定値(電圧値)を求め、基準反射体5の実像と融液面に反射した基準反射体5の鏡像との間の測定値(電圧値)から基準反射体5と融液面との距離を算出する。これにより、基準反射体と融液面との距離を測定することができる。
尚、2値化レベルの閾値は、例えば次のようにして設定する。先ず、結晶を引上げ始める絞りの時に閾値を動かし正常の測定ができる最下限の閾値と最上限の閾値を求める。そして、中間より低めの最下限から25%ぐらいに閾値を設定しておく。結晶の成長の初めは閾値の最適値が少し下がりその後直胴後半では少しずつ上昇するため、それを見越して閾値を設定する。
一方、前述の図3のように、従来は、検出手段でとらえた画像を実像および鏡像も含めて1つの画像として扱い、閾値も1つしか設定できなかった。従って、図3(a)から図3(b)のように鏡像の明るさが変動すると、ノイズレベルが閾値に達し、正確に相対距離を測定できなくなる。
このとき、図4に示すように、突起物5の先端を、ルツボ側にテーパー形状とするのが好ましい。原料融液15からの輻射率は0.318であるのに対して、石英ルツボ9の壁からの輻射率は0.855と高い。このため、ルツボ側にテーパー形状とすることで、突起物5は、石英ルツボ9の壁からの輻射を受けることができ、融液面に反射する鏡像の輝度をより一層高めることができる。
このため、融液面と遮熱部材との間隔を高精度で所定の間隔になるように制御することができる
(実施例1)
シリコン単結晶の製造装置として、図1のシリコン単結晶の製造装置40を用いた。基準反射体5は、シリコン単結晶からなり、表面をエッチング処理した突起状のものであり、その先端を、水平方向に対し40°の角度を有する平面形状としたものを用いた。この基準反射体5の表面の光沢度は60%であった。そして、この突起状の基準反射体5を、遮熱部材4の下端(融液面側)に、石英ルツボ9からの輻射を受けることができるようにルツボ側にテーパー形状となるように取り付けた。
測定は、磁場を印加しつつ、融液面を9mm下降させ、次に、融液面を9mm上昇させている間に行った。
そして、測定は、基準反射体5の実像と融液面に反射した基準反射体5の鏡像の画像を光学式カメラ14で捉え、捉えた基準反射体5の実像と鏡像の画像を別々の画像として処理し(所謂、2エリア分割方式の処理)、処理した画像から基準反射体5の実像と鏡像の相対距離を算出することで行った。
遮熱部材4の融液面側に表面の光沢度が40%の突起状の基準反射体5を取り付け、また、測定を、磁場を印加しつつ、融液面を10mm下降させ、次に、融液面を10mm上昇させている間に行った以外は、実施例1と同じ条件で基準反射体と融液面との距離の測定を行った。
その測定結果を図6に示す。図6から、実施例1にはやや劣るものの、基準反射体と融液面との相対距離を所定値に対し高い精度で測定できたことが判る。
遮熱部材4の融液面側に表面の光沢度が90%の突起状の基準反射体5を取り付け、また、測定を、磁場を印加しつつ、融液面を10mm下降させ、次に、融液面を10mm上昇させている間に行った以外は、実施例1と同じ条件で基準反射体と融液面との距離の測定を行った。
その測定結果を図7に示す。図7から、基準反射体と融液面との相対距離を、所定値に対し±0.5mm以内の極めて高精度で測定できたことが判る。
測定を、磁場を印加しつつ、融液面を16mm下降させ、次に、融液面を16mm上昇させている間に行い、また、光学式カメラ14で捉えた基準反射体5の実像と鏡像の画像を1つの画像として処理(所謂、従来の1エリア方式の処理)した以外は、実施例1と同じ条件で基準反射体と融液面との距離の測定を行った。
その測定結果を図8に示す。図8から、基準反射体と融液面との相対距離を、所定値に対し高い精度で測定できなかったことが判る。尚、図8中の点線は、理想状態の時の計算値である。
測定を、磁場を印加せず、融液面を16mm下降させ、次に、融液面を16mm上昇させている間に行った以外は、実施例1と同じ条件で基準反射体と融液面との距離の測定を行った。
その結果を図9に示す。図9に示されるように、融液表面の振動により原料融液に映った鏡像を検出することができず、遮熱部材下端と原料融液に映った鏡像までの距離を測定することができなかった。尚、図9中の点線は、理想状態の時の計算値である。
次に、図1のシリコン単結晶の製造装置40を用いて、直径300mmの無欠陥シリコン単結晶を引上げた。この時、中心磁場強度が4000ガウスの磁場を印加した。
基準反射体5として、シリコン単結晶からなり、表面をエッチング処理した突起状のものであり、その先端を、水平方向に対し40°の角度を有する平面形状としたものを用いた。この基準反射体5の表面の光沢度は60%であった。そして、この突起状の基準反射体5を、遮熱部材4の下端(融液面側)に、石英ルツボ9からの輻射を受けることができるようにルツボ側にテーパー形状となるように取り付けておいた。
また、シリコン単結晶を引上げる際に、融液面上方に配置した基準反射体と融液面との相対距離を測定した。
測定は、基準反射体5の実像と融液面に反射した基準反射体5の鏡像の画像を光学式カメラ14で捉え、捉えた基準反射体5の実像と鏡像の画像を別々の画像として処理し(所謂、2エリア分割方式の処理)、処理した画像から基準反射体5の実像と鏡像の相対距離を算出することで行った。
そして、この測定結果に基づいて、基準反射体と融液面との相対距離を制御しつつ(遮熱部材と湯面との間隔:25mm)、全面にgrown−in欠陥のないシリコン単結晶の引上げを行った。
その結果、基準反射体と融液面との相対距離を±1mm以内に制御することができ、融液面と遮熱部材との間隔を精度よく所定の間隔(25mm)になるように制御することができた。得られたシリコン単結晶を縦割りにして欠陥測定をしたところ、全域で所望の無欠陥結晶が得られ、高品質の無欠陥シリコン単結晶を効率的に高い生産性で製造することができた。
4…遮熱部材、 5…基準反射体、 7…ヒーター、 8…黒鉛ルツボ、
9…石英ルツボ、 10…断熱材、 11…種結晶、
12…シードチャック、 13…引上げワイヤ、
14…検出手段、 15…原料融液、 16…ルツボ軸、
21…融液面位置の制御用演算装置、 22…直径制御用の演算装置、
23…ルツボ移動手段、 24…引上げチャンバー、 30…磁石、
40…シリコン単結晶製造装置。
Claims (17)
- CZ(チョクラルスキー)法によりルツボ内の原料融液からシリコン単結晶を引上げる際に、融液面上方に配置した基準反射体と融液面との相対距離を測定する方法であって、少なくとも、前記シリコン単結晶の引上げを、磁場を印加しながら行い、前記基準反射体の実像と融液面に反射した該基準反射体の鏡像の画像を検出手段で捉え、該捉えた基準反射体の実像と鏡像の画像を別々の画像として扱うことで、前記実像と前記鏡像の2値化レベルの閾値をそれぞれ別々に調節して処理し、該処理した画像から前記基準反射体の実像と鏡像の相対距離を算出することで、基準反射体と融液面との相対距離を測定することを特徴とする基準反射体と融液面との距離の測定方法。
- 前記印加する磁場を、中心磁場強度が2000〜5000ガウスの磁場とすることを特徴とする請求項1に記載の基準反射体と融液面との距離の測定方法。
- 前記基準反射体を、融液面上方の遮熱部材下端に取り付けた突起物とすることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の基準反射体と融液面との距離の測定方法。
- 前記遮熱部材下端に取り付けた突起物を、シリコン結晶、石英材、SiCをコートした炭素材、熱分解炭素をコートした炭素材のいずれかからなるものとすることを特徴とする請求項3に記載の基準反射体と融液面との距離の測定方法。
- 前記遮熱部材下端に取り付けた突起物の先端を、水平方向に対し0〜70°の角度を有する平面形状とすることを特徴とする請求項3又は請求項4に記載の基準反射体と融液面との距離の測定方法。
- 前記遮熱部材下端に取り付けた突起物を、シリコン単結晶からなるものとし、かつ、表面をエッチング処理したものとすることを特徴とする請求項3乃至請求項5のいずれか1項に記載の基準反射体と融液面との距離の測定方法。
- 前記基準反射体を、表面の光沢度が50%以上であるものとすることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の基準反射体と融液面との距離の測定方法。
- 前記引上げるシリコン単結晶を、直径300mm以上のものとすることを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載の基準反射体と融液面との距離の測定方法。
- 少なくとも、請求項1乃至請求項8のいずれか1項に記載の方法により基準反射体と融液面との相対距離を測定し、該測定結果に基づいて、前記基準反射体と融液面との相対距離を制御することを特徴とする融液面位置の制御方法。
- 前記基準反射体と融液面との相対距離を所定値に対し±1mm以内に制御することを特徴とする請求項9に記載の融液面位置の制御方法。
- 少なくとも、請求項9又は請求項10に記載の方法により融液面位置を制御しつつ、CZ法によりシリコン単結晶を引上げることを特徴とするシリコン単結晶の製造方法。
- CZ法によるシリコン単結晶の製造装置であって、少なくとも、シリコン単結晶の引上げ中に原料融液に磁場を印加する磁石と、原料融液を収容するルツボと、融液面の上方に配置され融液面に鏡像を反射させる基準反射体と、前記基準反射体の実像と鏡像の画像を捉える検出手段と、前記基準反射体と融液面との相対距離を制御する融液面位置の制御用演算装置とを具備し、前記検出手段により、前記基準反射体の実像と融液面に反射した基準反射体の鏡像の画像を捉え、該捉えた基準反射体の実像と鏡像の画像を別々の画像として扱うことで、前記実像と前記鏡像の2値化レベルの閾値をそれぞれ別々に調節して処理し、前記融液面位置の制御用演算装置により、前記基準反射体の実像と鏡像の相対距離を算出することで、基準反射体と融液面との相対距離を測定し、該測定結果に基づいて、前記基準反射体と融液面との相対距離を制御するものであることを特徴とするシリコン単結晶の製造装置。
- 前記基準反射体が、融液面上方の遮熱部材下端に取り付けた突起物であることを特徴とする請求項12に記載のシリコン単結晶の製造装置。
- 前記遮熱部材下端に取り付けた突起物が、シリコン結晶、石英材、SiCをコートした炭素材、熱分解炭素をコートした炭素材のいずれかからなるものであることを特徴とする請求項13に記載のシリコン単結晶の製造装置。
- 前記遮熱部材下端に取り付けた突起物の先端が、水平方向に対し0〜70°の角度を有する平面形状のものであることを特徴とする請求項13又は請求項14に記載のシリコン単結晶の製造装置。
- 前記遮熱部材下端に取り付けた突起物が、シリコン単結晶からなるものであり、かつ、表面をエッチング処理したものであることを特徴とする請求項13乃至請求項15のいずれか1項に記載のシリコン単結晶の製造装置。
- 前記基準反射体が、表面の光沢度が50%以上のものであることを特徴とする請求項12乃至請求項16のいずれか1項に記載のシリコン単結晶の製造装置。
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