JPH0396356U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0396356U JPH0396356U JP340190U JP340190U JPH0396356U JP H0396356 U JPH0396356 U JP H0396356U JP 340190 U JP340190 U JP 340190U JP 340190 U JP340190 U JP 340190U JP H0396356 U JPH0396356 U JP H0396356U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- melt surface
- telescope
- silicon
- height
- measuring
- Prior art date
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- Pending
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- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 3
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例に関するシリコン融液
面の高さ測定器の縦断面図である。 １１……気密容器、１２……石英ガラス窓、１
３……シリコン単結晶、１４……融液、１５……
るつぼ、２１，２１′……望遠鏡、２２……移動
治具、２３……石英ガラス製の部材、２４，２４
′……融液面、２５，２５′……反射光、３０…
…部材の下端部、３１，３１′……前記部材の下
端部の反射像。
面の高さ測定器の縦断面図である。 １１……気密容器、１２……石英ガラス窓、１
３……シリコン単結晶、１４……融液、１５……
るつぼ、２１，２１′……望遠鏡、２２……移動
治具、２３……石英ガラス製の部材、２４，２４
′……融液面、２５，２５′……反射光、３０…
…部材の下端部、３１，３１′……前記部材の下
端部の反射像。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) シリコン原料をるつぼ内に供給しながら単
結晶を育成する、シリコン単結晶の連続チヨクラ
ルスキー法によるシリコン単結晶引き上げ装置に
おいて、融液面上に鉛直に設けられた観測基準と
なる部材と、前記部材の特定箇所の融液面による
反射像とを石英ガラス製の覗き窓を通して外部か
ら観察できる望遠鏡と、前記望遠鏡の観測方向を
固定したまま、前記部材の前記特定箇所および融
液面の変動によつて位置の変動する前記反射像を
観測できる位置に前記望遠鏡を直線的に移動させ
る移動治具と、を有し、前記望遠鏡の移動方向と
前記部材の中心軸が鉛直面面上にあるように構成
されてあるシリコン融液面の高さ測定器。 (2) 前記移動治具が前記望遠鏡を水平方向に移
動できるものであることを特徴とした、第１項記
載のシリコン融液面の高さ測定器。 (3) 前記部材に石英製ガラス棒を用いることを
特徴とした、第１項記載のシリコン融液面の高さ
測定器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP340190U JPH0396356U (ja) | 1990-01-18 | 1990-01-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP340190U JPH0396356U (ja) | 1990-01-18 | 1990-01-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0396356U true JPH0396356U (ja) | 1991-10-02 |
Family
ID=31507223
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP340190U Pending JPH0396356U (ja) | 1990-01-18 | 1990-01-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0396356U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008096518A1 (ja) * | 2007-02-08 | 2008-08-14 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | 遮熱部材下端面と原料融液面との間の距離の測定方法、及びその距離の制御方法 |
-
1990
- 1990-01-18 JP JP340190U patent/JPH0396356U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008096518A1 (ja) * | 2007-02-08 | 2008-08-14 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | 遮熱部材下端面と原料融液面との間の距離の測定方法、及びその距離の制御方法 |
| JP2008195545A (ja) * | 2007-02-08 | 2008-08-28 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 遮熱部材下端面と原料融液面との間の距離の測定方法、及びその距離の制御方法 |
| US9260796B2 (en) | 2007-02-08 | 2016-02-16 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Method for measuring distance between lower end surface of heat insulating member and surface of raw material melt and method for controlling thereof |
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