CN202968760U - 一种蓝宝石单晶炉的测温装置 - Google Patents
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Abstract
一种蓝宝石单晶炉的测温装置，包括炉体、炉盖，炉体内设有容纳溶液的钳锅，其中炉盖上设有观测孔，观测孔上设有红外测温仪。本实用新型安装方便，连接简单；测温精确，变化灵敏；性能稳定，不易损坏。最明显的效果是能让长晶工程师直接从显示器上读取溶液中心表面温度，再通过引晶时工艺需求的温度来调整电压大小，从而控制加热器功率，改变炉内溶液温度，在最短的时间内把溶液温度控制在最佳的引晶温度，下降籽晶提升机构，使籽晶接触溶液，此时最佳的溶液温度保证了快速准确的引晶，从而缩短时间、人力、能耗，保证生产品质及制程进度。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种蓝宝石单晶炉，尤其是一种用于蓝宝石单晶炉的测温装置。
背景技术
目前国内外泡生法的蓝宝石长晶炉只有在加热器部位安装有热电偶测温装置，其只能测试加热器的表面温度，而溶液实际温度无法准确显示，因此对长晶过程中的引晶温度很难掌握，基本靠长晶工程师的多年实际操作经验来判断溶液温度，需要多次试验才能掌握最佳的长晶温度，可能需要几个小时甚至十几小时来调整温度，稍有不慎籽晶都会融化，这样既花费了人力增加了原料成本又延长了长晶时间增加了能耗。
发明内容
本实用新型要解决上述现有技术的缺点，提供一种蓝宝石单晶炉的测温装置，解决在实际长晶过程中快速准确掌握最佳引晶温度，准确反映出溶液表面实际温度，方便操作工准确掌握引晶最佳温度。
本实用新型解决其技术问题采用的技术方案：这种蓝宝石单晶炉的测温装置，包括炉体、炉盖，炉体内设有容纳溶液的钳锅，其中炉盖上设有观测孔，观测孔上设有红外测温仪。通过红外测温仪直接检测钳锅内溶液的温度，从而可以快速准确掌握最佳引晶温度。
其中炉盖上调节红外测温仪角度的摆动机构，其中红外测温仪安装在该摆动机构上。这样可方便调节红外测温仪的观测角度，使其精确地对准钳锅内的溶液。
其中红外测温仪包括红外测温器，红外测温器上设有光学系统，红外测温器连接信号处理器，信号处理器连接温度显示器。
其中光学系统包括目镜、分化板、分光片和物镜。
本实用新型有益的效果是：本实用新型安装方便，连接简单；测温精确，变化灵敏；性能稳定，不易损坏。最明显的效果是能让长晶工程师直接从显示器上读取溶液中心表面温度，再通过引晶时工艺需求的温度来调整电压大小，从而控制加热器功率，改变炉内溶液温度，在最短的时间内把溶液温度控制在最佳的引晶温度，下降籽晶提升机构，使籽晶接触溶液，此时最佳的溶液温度保证了快速准确的引晶，从而缩短时间、人力、能耗，保证生产品质及制程进度。
附图说明
图1为本实用新型内部的结构示意图；
图2为本实用新型红外测温仪的原理图；
图3为本实用新型光学系统的原理图。
附图标记说明：炉体1，炉盖2，钳锅3，溶液4，观测孔5，红外测温仪6，摆动机构7，被测目标8，光学系统9，目镜9-1，分化板9-2，分光片9-3，物镜9-4，红外探测器10，信号处理器11，温度显示器12。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步说明：
参照附图：这种蓝宝石单晶炉的测温装置，包括炉体1、炉盖2，炉体1内设有容纳溶液4的钳锅3，其中炉盖2上设有观测孔5，观测孔5上设有红外测温仪6。其中炉盖2上调节红外测温仪6角度的摆动机构7，其中红外测温仪6安装在该摆动机构7上。
其中红外测温仪6包括红外探测器10，红外探测器10上设有光学系统9，红外探测器10连接信号处理器11，信号处理器11连接温度显示器12。其中光学系统9包括目镜9-1、分化板9-2、分光片9-3和物镜9-4。
本实用新型是在原有蓝宝石长晶炉盖2中心部位安装一套短波高温红外双色测温仪6，该红外测温仪6工作波长0.8～1.08μm，测温范围600～3000℃，适合液态溶液的测量，不受炉体1内部的热场变化的影响，光学测温探头封装在紧凑型的机械外壳中，通过可以180°左右旋转机械装置把他固定在炉盖2中心原有籽晶提升机构附近的观测孔5上。工作时把红外测温仪探头旋转至中心观测孔正上方，红外探测波正好对准溶液中心位置，可以非接触测试溶液表面温度；红外测温仪6的电源及信号线连接至信号处理器11，再由信号处理器11输出至温度显示器12。
虽然本实用新型已通过参考优选的实施例进行了图示和描述，但是，本专业普通技术人员应当了解，在权利要求书的范围内，可作形式和细节上的各种各样变化。
Claims (4)
1. 一种蓝宝石单晶炉的测温装置，包括炉体（1）、炉盖（2），炉体（1）内设有容纳溶液（4）的钳锅（3），其特征是：所述炉盖（2）上设有观测孔（5），观测孔（5）上设有红外测温仪（6）。
2. 根据权利要求1所述的蓝宝石单晶炉的测温装置，其特征是：所述炉盖（2）上调节红外测温仪（6）角度的摆动机构（7），所述红外测温仪（6）安装在该摆动机构（7）上。
3. 根据权利要求1所述的蓝宝石单晶炉的测温装置，其特征是：所述红外测温仪（6）包括红外探测器（10），红外探测器（10）上设有光学系统（9），红外探测器（10）连接信号处理器（11），信号处理器（11）连接温度显示器（12）。
4.根据权利要求3所述的蓝宝石单晶炉的测温装置，其特征是：所述光学系统（9）包括目镜（9-1）、分化板（9-2）、分光片（9-3）和物镜（9-4）。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201220744874 CN202968760U (zh) | 2012-12-29 | 2012-12-29 | 一种蓝宝石单晶炉的测温装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201220744874 CN202968760U (zh) | 2012-12-29 | 2012-12-29 | 一种蓝宝石单晶炉的测温装置 |
Publications (1)
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|---|---|
| CN202968760U true CN202968760U (zh) | 2013-06-05 |
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ID=48509860
Family Applications (1)
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| CN 201220744874 Expired - Fee Related CN202968760U (zh) | 2012-12-29 | 2012-12-29 | 一种蓝宝石单晶炉的测温装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN202968760U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104264216A (zh) * | 2014-10-12 | 2015-01-07 | 刘瑜 | 一种高可靠性泡生法蓝宝石晶体生长的自动引晶工艺 |
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2012
- 2012-12-29 CN CN 201220744874 patent/CN202968760U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104264216A (zh) * | 2014-10-12 | 2015-01-07 | 刘瑜 | 一种高可靠性泡生法蓝宝石晶体生长的自动引晶工艺 |
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Granted publication date: 20130605 Termination date: 20141229 |
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