WO2008087796A1 - Appareil de maintien et procédé de maintien - Google Patents

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Masaki Tsujimoto
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Abstract

Cette invention propose un appareil de maintien comprenant un support (13), qui est fait face à un nombre important de puces (W) supportées par une feuille protectrice (S), et des moyens d'alimentation en gaz (14) pour alimenter en gaz le support (13). Le support (13) comprend une pluralité d'orifices d'éjection (25) et une partie cylindrique (23) pour décharger le gaz éjecté à partir des orifices d'éjection (25) vers le haut. Même lorsque la feuille protectrice (S) est dans un état gauchi ou un autre état défavorable, le gaz chauffé éjecté à partir des orifices d'éjection (25) agit sur la feuille protectrice (S) de façon à corriger l'état, grâce à quoi les puces (W) peuvent être maintenues dans un état de non-contact par un effet de Bernoulli.
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