WO2007066560A1 - 振動制御用質量体 - Google Patents

Abstract

　ステージ等の移動体の高速移動に伴う振動を高精度に制御するために用いられる質量体において、大型で、かつ、複雑な形状を付与することが可能な振動制御用質量体を提供する。振動制御用質量体（１００）は、複数の板状部材（１０、２０）を備え、この複数の部材（１０、２０）の各々がタングステン合金からなり、このタングステン合金は主成分としてタングステンを８０質量％以上９９質量％以下含む。振動制御用質量体（１００）は、移動体を有するステージ装置において移動体の移動に伴う振動を制御するために用いられる。

Description

術分野

０００1 この 、一般的には振動制御用 量体に関し、特定的には、半導体 置、 ラット ネ ディスプ イ等の イスを製造するために用 られる の 動体を有するステ ジ 置に組み込まれる振動制御用 量体に関するものである。

０００2 来 ら、たとえば、半導体 置の 程として 光工程にお ては、 スクま たは を保持して移動する移動体( ク ステ ジまたは ステ ジ)を高 速度で高 度に移動さ て タ ンの 行われる。 動体の 動に伴 動を 制御するために質量体が用 られて る。

０００3 たとえば、 2 5 3 486 ( )には、 置を スダン として ステ ジに備えた 置が記載されて る。この スダン は、 質量体と 性体とが連結された を有する。 量体の 料としてタングステン 鉛などの 重の きなものを用 ることが例示されて る。

０００4 また、たとえば、 2 5 72 52 ( 2)には、 置を スダ ン として ステ ジに備えた 置が記載されて る。この スダン は、質量体と 性体とが接続されて 向に連 動する 、同一の 量体に第2の 性体が接続されて 向とは異なる 2 向に連 動する 2 とを有する。

０００5 なお、小型 生装置に使用される振動 ， ， に用 られる 食性タング ステン 合金とその製 、 7 5 285 ( 3)に記 載されて る。

1 2 5 3 486

2 2 5 72 52

3 7 5 285 報

発明の 明が解決しよ とする課題

０００6 年、ウ サイズの に伴 、上記の 置では、ステ ジサイズ の が要求されて る。このため、ステ ジの 動に伴 動を制御するための 量体に対しても大型 が要求されて る。

０００7 また、ステ ジサイズの とともに装置 成の ン クト が要求されて る。

この 求に応じるためには、質量体に複雑な形状を付与することが求められて る。 ０００8 し し、露光 ステ ジ 置にお て、ステ ジ等の移動体の 動に 伴 動を高 度に制御することができ、大型で、 、複雑な形状を付与すること が可能な一 の としての 量体を製造することは困難である。

０００9 そこで、この 明の 、ステ ジ等の移動体の 動に伴 動を高 度 に制御するために用 られる 量体にお て、大型で、 、複雑な形状を付与す ることが可能な振動制御用 量体を提供することである。

題を解決するための

００1０ この 明に従 た 動制御用 量体は、複数の を備え、この 数の の がタングステン 金 らなり、このタングステン 主成分としてタングステンを8 上99 。

００11 この 明に従 た 動制御用 量体にお ては、タングステン 、

超え 8 下の 有量で二 、鉄、 ト らなる 選ば れた少な とも 種の金 、不可避的 とを含むのが好まし 。

００12 また、この 明に従 た 動制御用 量体にお ては、タングステン タング

3

ステンを9 上98 、比重が 7 O c 上 8 8 c 3 下であるのが好まし 。

００13 さらに、この 明に従 た 動制御用 量体は、 を有するのが好まし 。 ００14 この 明に従 た 動制御用 量体は移動 能であり、複数の 接合された 数の を含み、複数の の 動制御用 量体の 動方向に対してほぼ 直であるのが好まし 。

００15 この 合、板状 を有するのが好まし 。

００16 この 明に従 た 動制御用 量体にお ては、複数の 、 に 締結 されて るのが好まし 。この 合、ネジ 体をタングステン 金で 成してもよ が 、 の 上や低 スト を図るためには、 デン ステン ス鋼のよ 、 タングステン 金よりも比重の さ 金属または合金で を形成することになる。こ れにより、振動制御用 量体の 体の け 度、すなわち、振動制御用 量体の 体の 量をその 表面で 定される形状の 積で除した値は低下する。 要以 上に部 を増やしたり、 の数を増やした場合、この け 度が大き 低下す る恐れがある。ネジの数を過度に減らすと、見 け 度を大き することができるが、 振動制御用 量体の 性が不足する恐れがある。これらを考慮した場合、好ま

3

見 け 度の 、 6 5 c 上 8 8 3

c 下である。また、 は、 3

見 け 度の 上と 点 らは、密度が c 上の金 または合金 ら なるのが好まし 、 性の 上と 点 らは、引張 度が4 2

上であ る金属または合金 らなるのが好まし 。

００17 この 合、振動制御用 量体は移動 能であり、 の む方向は 動制御 用 量体の 動方向にほぼ平行であるのが好まし 。ここで、 の む方向とは、 動制御用 量体を構成する複数の を接合するために を締める場合 、または、 動制御用 量体を構成する複数の を分離するために を緩 める場合に が移動する方向を 。

００18 この 明に従 た 動制御用 量体にお ては、複数の 合されて るのが好まし 。

００19 また、この 明に従 た 動制御用 量体にお ては、複数の け接 合されて るのが好まし 。

００2０ さらに、この 明に従 た 動制御用 量体にお ては、複数の 接着 に より接合されて るのが好まし 。

００21 この 明に従 た 動制御用 量体は、複数の を収容する 器をさらに備え 、この タングステン 金と異なる材料 らなるのが好まし 。

００22 この 明に従 た 動制御用 量体は、移動体を有するステ ジ 置にお て移 動体の 動に伴 動を制御するために用 られるのが好まし 。

００23 この 合、移動体が スクまたは を保持して移動するものであり、ステ ジ 置であるのが好ま 。

００24 また、この 合、振動制御用 量体は、ステ ジ 置に連結するための

を有し、この の みが5 上5 下であるのが好ま 。この の 、 明にお て 動制御用 量体に要求される材質であれば、振 動制御用 量体のその他の部分と同じ 質でもよ 、異な た 質でもよ 。

明の

００25 この 明によれば、振動制御用 量体が複数の 付 ら 成されるので、相対的 に小さな を組み合わ ることによ て全体として大型のものを製造することがで きる。また、この 数の の がタングステン 金 らなるので、金属タングステ ンよりも機械 工が容易であり、四部 有する複雑な形状に加工することができる 。また、振動制御用 量体が複数の の み合わ で構成されるので、 タ ングステン 金が単純なほぼ 方体形状であ ても、組み合わ た全体としての 状で 部などを有する複雑な形状を容易に形成することができる。さらに、このタング ステン 主成分としてタングステンを8 上99 むので、高 重を有し、 性の 動制御用 量体を得ることができる。 ００26 の 明の 動制御用 量体の 体形状として一 の 施の 態を示す 略 的な である。

2 された 数の 材 らなる振動制御用 量体の の 施の 態を示す 略的な である。

3 された 数の 材 らなる振動制御用 量体のも の 施の 態を 示す 略的な である。

4 された 数の 材 らなる振動制御用 量体の別の実施の 態を示す 略的な である。

5 の 明の 動制御用 量体とステ ジ 置の 品との 結構造の の 施の 態を示す部分断面図である。

6 の 明の 動制御用 量体とステ ジ 置の 品との 結構造のも の 施の 態を示す部分断面図( ) 底面図( )である。 7 の 明の 動制御用 量体とステ ジ 置の 品との 結構造の別の 実施の 態を示す部分断面図( ) 底面図( )である。

8 の 明の 動制御用 量体とステ ジ 置の 品との 結構造のさら に別の実施の 態を示す部分断面図( ) 底面図( )である。

9 された 数の 材 らなる振動制御用 量体のさらに別の実施の 態を 示す 略的な である。

号の

００27 2 2 2 22 ぎ 3 23 3 22 、 4 24 32 、3 器、4 5 6 7 2 動制御 用 量体、4 5 6 7 動制御用 量体 体部、42 52 63 64 73 74 75 、62 72 、5 アガイド、5 2 。

明を実施するための 良の

００28 、露光 ステ ジ 置にお て移動体の 動に伴 動を制 御するために用 られる振動制御用 量体にお て、大型 することができるととも に、複雑な形状を付与することができ、相対的に比重が高 、 性の ものを得る ために以下のとおり検討した。

００29 来 ら、小型 生装置に使用される振動 の 性体の 料として、タングス テン 合金が用 られて る。し し、一 の 型のタングステン 合金を 製造しよ とすると、 程にお て不均一な 行われるために部分的に巣 が生じてしま 。また、一 の 型のタングステン 合金を製造することは、製造 スト、生産能力の 点 ら実用的ではな 。

００3０ 上の考察に基 て、 振動制御用 量体の 性に着目して 究を重ねた。その 果、振動制御用 量体を 数の に分割して構成し、そ の 数の の をタングステン 金で 成しても、上記の 性を満足する ことを見出した。このよ 発明 の 見に基 て はなされたものである。 ００31 この 明の 動制御用 量体は、複数の 材 ら 成され、この 数の の がタングステン 金 らなり、このタングステン 主成分としてタングステンを8 上99 。このよ に構成することにより、小片のタングステン 金を 数個、製造し、組み合わ ることによ て、全体として 動制御用 量体を 大型 することができるとともに、金属タングステンよりも機械 工が容易であるので 複雑な形状を付与することができ、また 数の の み合わ で構成されるので、 タングステン 金が単純なほぼ 方体形状であ ても、組み合わ た全体とし ての 状で 部などを有する複雑な形状を容易に形成することができ、相対的に比 重が高 、 性の ものを得るこ ができる。タングステンの 有量が99 超えると、性状が タングステンに近 なり、硬 て タングステン 金になるので、 性の ものを得ることができな 。

3

００32 なお、 の の 54 3

c 上27 c 下、重量は 5 下が好まし 3

。 の の 積が27 c よりも大き 、重量が5 よりも大き 場合には、 の 量が重 なり、 ンド ングが困難になる。 の の 積 3

が54 c よりも 、さ 、重量が よりも 、さ 場合には、部品点数が増える ことによ て が大き なるので、振動制御用 量体の 体としての 度 が悪 なる。

3

００33 また、振動制御用 量体全体の 27 c 上54 c 下、重量は5 下が好まし 。 動制御用 量体全体の 積と重量が上記の では、振動制御用 量体を 数の で構成することによ て、 え て ストが高 なる恐れがあり、振動制御用 量体全体の 積と重量が上記の を超えると、部品点数が増えることによ て 度が悪 なる恐れがある。

００34 この 明の 動制御用 量体にお ては、タングステン 、 超え 8 下の 有量で二 、鉄、 および ト らなる より選ばれた少 な とも 種の金 、不可避的 とを含むのが好まし 。

００35 また、この 明の 動制御用 量体にお ては、タングステン タングステン を9 上98 、比重が 7 O 3

c 上であるのが好ま 。また、タングステン 、 ッケ 、鉄、 および ト らなる より選ばれ た少な も 種の金 、不可避的 を含み、これらの 計の 有量が2 上 下であるのが好まし 。このよ にタングステンを9 上 有するタングステン 金 ら複数の を形成することによ て、比重をより高 することができ、振動 ネ ギを減少さ る効率を高めることができる。また、タングス テンを98 有することによ てタングステン 金の を高めることが できる。これらのこと ら、振動制御用 量体の ン クト を図ることができる。なお 、この 明のタングステン 、 明の 果を損なわな 限度にお て、 、 ケ 、鉄、 、 ト 外の他の元素を含んで てもよ 、たとえば、 ンガン、 デン、 ン、 ウム、ク ム、チタン、 ナジウム、 オ 、タンタ 等の元素 を含んで てもよ 。

００36 さらに好まし は、 ッケ 、タングステンおよび を除 た残部との

率が5 5～9汀である。このよ な組成にすることにより、タングステン 金の を さらに高めることができ、 の 成が容易になる。

００37 最も好ま タングステン 金の 、タングステン 95～98 、 ッケ ～4・ 5 、 ・ 2～2・ 5 、および、残部が不可避的 である 。このよ な組成にすることにより、比重が高 、強度が高 タングステン 金を高 造することができる。なお、上記 囲の鉄の 部または全部を トで き換えてもよ 。この 合、タングステン 金に耐食性を付与することができ る。

００38 は、この 明の 動制御用 量体の 体形状として一 の 施の 態を示す 略的な である。 にお て数 各部の 法例( )を示す。 ００39 に示すよ に、振動制御用 量体 は、四部 を有する。このよ に構成 することによ て、ステ ジ 置にお て移動体を移動さ るための として ア タ等の周辺装置を振動制御用 量体 の に配置することができる ので、ステ ジ 置の 成の ン クト を図ることができる。なお、振動制御用 量体 にねじ穴を形成してもよ 。このねじ穴を用 て、ステ ジ等の移動体に 取り付けることができる。なお、複数の 部を振動制御用 量体 に設けてもよ ００4０ 2は、分割された 数の 付 らなる振動制御用 量体の の 施の 態を 示す 略的な である。

００41 2に示すよ に、振動制御用 量体 は Pで示される方向に移動 能で ある。 動制御用 量体 は接合された 数の と2 を含む。

と2 はタングステン 金 らなる。 と2 は、互 に組み合わ られ る ぎ 2と22を有する。 数の は Pで示される方向に整列し て 合されて る。したが て、複数の の 4は振動制御用 量 体 の 動方向Pに対してほぼ 直である。また、複数の 2 は Pで 示される方向に整列して 合されて る。したが て、複数の 2 の

24は振動制御用 量体 の 動方向Pに対してほぼ 直である。このよ に振動 制御用 量体 の 動方向に対してほぼ 直になるよ に接合 4 24を配置 することによ て、接合 4 24に生じる ん 力を低減することができ、複数の と2 と らなる振動制御用 量体 の 体としての 性を高めること ができる。

００42 この 合、板状 は を有し、板状 2 は 2 を有する。

と2 はタングステン 金 らなる。タングステン タングステンよりも機械 工が容易であるため、 と2 、 状の ぎ 2と22等の複雑な形状 を容易に付与することができる。また、互 に組み合わ られる と2 に 状を付与することによ て、組み合わ 時の位 度を向上さ ることができ る。なお、組み合わ 面の加 平面 ・ 5 よりも 、 aで 6・ 3 よりも するのが好ま 。

００43 動制御用 量体 にお ては、複数の は互 に 3により締結さ れ、複数の 2 は互 に 23により締結され、複数の と2 とは互 に 3 により締結されて る。このよ に複数の と2 で締結すること により、全体として複雑な形状を有する振動制御用 量体 を容易に 価に 構成することができる。

００44 この 合、振動制御用 量体 は Pで示される方向に移動 能であり、振 動制御用 量体 を構成する複数の と2 とを接合するために 3と23 を締める場合、または、振動制御用 量体 を構成する複数の 2 を分 離するために 3と23を緩める場合に 3と23が移動する方向、すなわち、 3と23の む方向は振動制御用 量体 の 動方向Pにほぼ平行である。 に構成することにより、 ん 力を低減することができ、複数の と 2 と らなる振動制御用 量体 の 体としての 性を高めることができる。 ００45 また、このよ タングステン 士の 合には、密 3

度が c 上の金 または合金 らなる を用 ると、振動制御用 量体 の 体としての 重が 相対的に低下する割合を することができる。 体的には、 の 質として、相 対的に高 重を有し、加工 の な 、タングステン 金、

金等を挙げることができる。

００46 3は、分割された 数の 材 らなる振動制御用 量体のも の 施の 態を示す 略的な である。

００47 3に示す 動制御用 量体 では、 2の 動制御用 量体 異なり、 用 な で、複数の は接合 4で に拡散 合され、複数の 2 は接合 24で に拡散 合され、複数の と2 とは接合 32で に 拡散 合されて る。その他の構 、 2の 動制御用 量体 同様である。 このよ に複数の と2 とを拡散 合して一体 することにより、全体として複 雑な形状を有する振動制御用 量体 を容易に 価に形成することができる 。 、温度 4 C 上の真 または水素ガス 囲気中で 間以上 処理を施すことにより行われる。

００48 また、 3に示す 動制御用 量体 にお ては、複数の は接合 4 で に けされ、複数の 2 は接合 24で に けされ、複数の と2 とは接合 32で に けされて てもよ 。このよ に複数の と2 け接合して一体化することにより、全体として複雑な形状を有する振 動制御用 量体 を容易に 価に形成することができる。 け接合は、 表面に二 め きを施した 数の と2 とを に配置し、 材を用 て5 ～ Cの 度で行われる。

００49 さらに、 3に示す 動制御用 量体 にお ては、複数の は接合

4で に高分子 合物 の 合され、複数の 2 は接合 24で に高分子 の 合され、複数の と2 とは接合 32で に高分子 の 合されて てもよ 。このよ に複数の 2 とを接着 合して 体 することにより、全体として複雑な形状を有する振動 制御用 量体 を容易に 価に形成することができる。なお、接着 、有 機ガスを発生さ な ものを用 るのが好まし 。

００5０ 4は、分割された 数の 付 らなる振動制御用 量体の別の実施の 態を示 す 略的な である。

００5 4に示すよ に、振動制御用 量体 は、複数の 2 を収容する 3 をさらに備える。この 3 はタングステン 金と異なる材料 らなる。 4に示 す 動制御用 量体 ０は、複数の と2 とが互 に接合されて な 点を 除 ては、 2の 動制御用 量体 同様の 成を有する。このよ に複数の と2 とを直接 合しな で 3 内に収納することによ て一体 して るの で、複数の と2 を接合するためのねじ 工、メッキ の 理工程を ことができる。これにより、全体として複雑な形状を有する振動制御用 量体 を容易に より安価に構成することができる。

００52 この 明の 動制御用 量体 は、移動体を有するステ ジ 置にお て移動 体の 動に伴 動を制御するために用 られる。これにより、大型の を保持す る移動ステ ジ等をより ン クトに、 ストで製造することができる。

００53 この 合、移動体が スクまたは を保持して移動するものであり、ステ ジ 置 が 置であるのが好まし 。特に、半導体 置の 程で用 られる 置、プラズ ディスプ イの製 程で用 られる に本 明の 動制御 用 量体 を適用することにより、上記の 果をより発揮することができる。

００54 5は、この 明の 動制御用 量体とステ ジ 置の 品との 結構造の の 施の 態を示す部分断面図である。

００55 5に示すよ に、振動制御用 量体4 は、ステ ジ 置の 品としての アガイド5 2に連結されて る。 アガイド5 2は、ステ ジ 体に取り付けら れた 5 に沿 て移動する。したが て、移動体に取り付けられる振動制御用 4 は、 アガイド5 2を介在して 5 に沿 て移動する。

００56 この 合、振動制御用 量体4 を アガイド5 2に取り付けるためには、振動制 御用 量体 体部4 に長 ネジ穴を形成し、連結 42を 入して アガイド 5 2に振動制御用 量体 体部4 を締結する必要がある。このとき、ネジ 連結 42の 在により振動制御用 量体4 の 体としての 重が相対的に低下す る。なお、この 合、 アガイド5 2の 動制御用 量体 体部4 に対する わ を〒 ために 43を振動制御用 量体 体部4 に固着する必要がある。 ００57 6は、この 明の 動制御用 量体とステ ジ 置の 品との 結構造の も 施 態を示す部分断面図( 底面図( である。

００58 6に示すよ に、長 ネジ 連結 の 在により振動制御用 量体5 の 体としての 重が相対的に低下することを防止するために、4本の相対的に短

52によ て 動制御用 量体 体部5 を ランジ きの アガイド5 2に取り付けることが考えられる。し し、この 合、 アガイド5 2の ランジ 分を 4本の連 52によ て 動制御用 量体 体部5 に締結する必要があるの で、 ランジ 分の 相当する分、振動制御用 量体5 の 面の 積が増加 する。これにより、ステ ジ 置の が困難になる。なお、この 合も、 アガイ ド5 2の 動制御用 量体5 に対する わ を〒 ために2本の 53を振 動制御用 量体 体部5 に固着する必要がある。

００59 7は、この 明の 動制御用 量体とステ ジ 置の 品との 結構造の 別の実施の 態を示す部分断面図( ) 底面図( )である。

００6０ 7に示すよ に、ネジ 連結 の 在により振動制御用 量体6 の 体と しての 重が相対的に低下することを防止するとともに、振動制御用 量体6 の 面の 積があまり増加しな よ にするために、振動制御用 量体 体部6 同様 の 質の 62を介在さ て 動制御用 量体 体部6 を アガイド5 2 に取り付けることが考えられる。この 合、4本の相対的に短 63によ て 動制御用 量体 体部6 連結 62とを連結し、4本の相対的に短

64によ て アガイド5 2 連結 62とを連結する。なお、この 合も、 アガイド5 2の 動制御用 量体6 に対する わ を〒 ために2本の 66を連結 62に固着する必要がある。こ とき、ピ 66 連結 63 ネジ との 置が すると 題がある。

００61 8は、この 明の 動制御用 量体とステ ジ 置の 品との 結構造の さらに別の実施の 態を示す部分断面図( ) 底面図( )である。

００62 8に示すよ に、ネジ 連結 の 在により振動制御用 量体7 の 体と しての 重が相対的に低下することを防止するとともに、振動制御用 量体7 の 面の 積があまり増加しな よ にし、ヒ を用 な で アガイド5 2の 動制御 用 量体7 に対する わ を〒 ために、振動制御用 量体 体部7 同じ 質の 状の 72を介在さ て 動制御用 量体 体部7 を アガ イド5 2に取り付けることが考えられる。この 合、4本の相対的に短 7 3、 75によ て 動制御用 量体 体部7 連結 72とを連結し、4本の相対的 に短 74によ て アガイド5 2 連結 72とを連結する。

００63 上のこと ら、 明の 動制御用 量体が、移動体を有するステ ジ 置に お て移動体の 動に伴 動を制御するために用 られる場合、まず、振動制御 用 量体に可動部 として アガイドを取付ける必要がある。この 合、通常、 を用 て 動制御用 量体に アガイドが締結される。この は、移動体の 進、急停止の 撃に耐え得るために の 材料で作製されることが求められ る。すなわち、振動制御用 量体を構成するタングステン 金のよ 材質で を 作製すると、 が変形したり、 したりする恐れがある。 すると、たとえば、ステ ン ス鋼のよ 衝撃 の 材料で を作製すると、ネジ 連結 の 在 により振動制御用 量体の 体としての 重が相対的に低下することになる。たとえ ば、 5に示すよ に、振動制御用 量体4 を一体で構成すると、連結 42の さが長 なる。このため、振動制御用 量体の 体としての 生じる。ま た、たとえば、 6に示すよ に、振動制御用 量体5 を一体で構成し、連結 52の さを短 すると、 ランジ きの アガイド5 2を用 る必要があり、 ランジ 分の 相当する分、振動制御用 量体5 の 面の 積が増加する。これに より、ステ ジ 置の が困難になる。そこで、ネジ 連結 の 在により 振動制御用 量体の 体としての 重が相対的に低下することを防止するとともに、 振動制御用 量体の 面の 積があまり増加しな よ にするために、 7または 8に示すよ に、連結 63 64 73 74 75を用 て、連結 62 72を介在 さ て 動制御用 量体 体部6 7 を アガイド5 2に締結する必要がある。 ００64 この 合、連結 62 72の は、移動体の 進、急停止に耐え得る だけの 低限度の みでなければならず、また、ネジ 連結 の 在による 振動制御用 量体の 体としての 失をできるだけ小さ し、 、 に加え られる メントを小さ するためには、一定の 囲に限定されなければならな 。こ のよ 条件を満足するためには、連結 62 72の は、 5 上5 下の 囲内であるのが好まし 、振動制御用 量体の 体としての 重が相 対的に低下するのをより 果的に防止するためには35 下であるのがさらに好 まし 。

００65 また、連結 の 、 8に示すよ に 型 、または 状にすることに よ て、ステ ジ との わ 、すなわち、 アガイド5 2との わ を 容易に 度よ ことができる。

００66 は、移動体の 進、急停止に耐え得るために の 材料で 作製されることが求められるので、その 質としてはステン ス鋼を用 るのが好まし ００67 9は、 8に示される振動制御用 量体7 が組み込まれた、複数の 付 らなる 振動制御用 量体のさらに別の実施の 態を示す 略的な である。

００68 9に示すよ に、振動制御用 量体2 は、複数のほぼ 方体形状をした

を組み合わ て大型 すればよ 。 9にお て各部の 法例( )が示されて る。ネジ22 を用 て、ほぼ 方体形状の を接合して一体 することにより、高 寸法 度の 動制御用 量体2 を容易に 価に形成することができる。 の の 連結 を除 て54 3

c 上27 3

c 下、重量は 上 5 下であるのが好まし 。 積 3

が27 c よりも大き 、重量が5 よりも大き 場合には、 の 量が重 なり、 ンド ングが困難になる。 積が54 c

重量が よりも 、さ 場合には、部付点数が増えることによ て が大き なるので振動制御用 量体の 体としての 度が悪 なる。 ００69 、タングステン 金を 、 ングセンタなどの 来の 工によ り あけと 法調整を〒 ことによ て作製される。この 、各部 の 表面を平 面 によ て研磨 工する。たとえば、 9に示されるよ 振動制御用 量体 2 を組立てる場合、 2 ( )の部分の ( ・ 25、 25)が重要である。この 度を満たさな 場合には、振動制御用 量体2 に アガイドを取付ける際に不具合が生じる。 体物で加工する場合には、放電 機などの大型設備が必要となる。 9に示される構成では、 方体の を平面 度よ 工し、特に部 2 を 度に加工することによ て、各部 を組み立てた際に振動制御用 量体全体として満足した精度を容易に得ることがで きる。すなわち、各部 の 、直角度および ・ 下、面 aを ・ 6 下、穴 ・ 5 下とし、特に、部 2 の 、直角度およ び ・ 下、長手方向の 5 下にすることによ て、 一体 して 動制御用 量体2 を構成した場合、図9に示される 2 ( ) の部分の ( ・ 25、 25)を達成することができる。

００7０ 下、この 明の に て説明する。

００71 ( )

まず、質量 率でタングステン(W) 97 、 ッケ ( ) 2 、 ( e) 配合し、 キサで3 合した。その 、上記の 日で 分けした。タイラ( e ) メッ が 5 の 日を用 た。

００72 分けによ て分離された 5 アンダ の 水圧 ( P)に よ て成形 、 5 X3 X の きさの を得た。 水圧 形の 、圧力 ・ 5 o c ( o )、保持 6 秒で あ た。

００73 られた成形 を帯鋸で切断した後、 石を用 て平面 ( ライス

)を行 た。

００74 その 、加工された成形 を水素ガス 囲気中 3

( )で最高温度が 4 5 Cになるよ に 2 した。

００75 られた ライス 工することにより、 で示す 法の 動制御用 量 体 を構成する各部 と2 を作製した。J S 6の 3 23 3 を 入するためのねじ穴は、 ングセンタ( )を用 て あけ加工することにより 成した。 と2 の ・ 5 下、面 aは6・ 3 下、 穴 ・ 5 下であ た。

００76 このよ にして作製された各部 と2 を組み合わ て、J S 6のタングス テン 金製の 3 23 3 を用 て 合した。 られた 動制御用 量体 を矢印Pで示す方向に移動 で移動さ ても、各部 と2 は互 に分離することな 、一体 された 動制御用 量体 が高 性を有することが 確認された。

００77 ( 2)

まず、質量 率でタングステン(W) 97 、 ッケ ( ) 2 、 ( e) 配合し、 キサで3 合した。その 、上記の 日で 分けした。タイラ( e ) メッ が 5 の 日を用 た。

００78 分けによ て分離 れた 5 アンダ の 水圧 ( P)に よ て成形 、所定の きさの を得た。 水圧 形の 、圧力 ・ 5 o c ・ o )、保持 6 秒であ た。

００79 られた成形 を帯鋸で切断した後、 石を用 て平面 ( ライス

)を行 た。

００8０ その 、加工された成形 を水素ガス 囲気中 3

( )で最高温度が 4 5 Cになるよ に 2 した。

3

００81 られた (タングステン 金の 8・ 5 cC を ライス 工すること により、 8で示す ( )の 動制御用 量体7 を構成する振動制御用 量 体 体部7 連結 72を作製した。 動制御用 量体 体部7 に S 8の 73 75を 入するための4個のネジ ( 8、等 2 )を、連 結 72には8個の貫 ( 4 、深さ8 の グ 穴が付 た がし g )を、それぞれ、 ングセンタ( C)を用 て あけ加工することにより 成した。 動制御用 量体 体部7 連結 72の ・ 5 下、 面 aは6・ 3a 下、穴 ・ 5 下であ た。 73 74 75の S S S3 4のステン ス鋼を用 た。このよ にして得られた 動制御用 量体7 の 2 であ た。 ００82 8で示す が3 3 45 6 の5 類の 動制御 用 量体7 を作製し、それぞれ、 アガイド5 2を取付けて、ステ ジ 上の 5 に沿 て2 secの 度で移動さ た。 始時と停止時の 速度は9 2

・ secであ た。 スト クを として、 動制御用 量 体を上記の 件で移動と停止を繰り返し、繰り返し回数が サイク 、5 サイク 、 サイク の 点で、連結 73 74 75で締結された 所を確認した。 ００83 その 果、 が3 の 動制御用 量体7 では、繰り返し回数が サイク の 点で連結 72に亀裂が生じた。 が 3 45 の 動 制御用 量体7 では、繰り返し回数が サイク の 点でも異常が認められな た。 が6 の 動制御用 量体7 では、繰り返し回数が5 サイク の 点で振動制御用 量体 体部7 連結 72との間で ・ 3 度の ずれが発生して た。 上の結果 ら、連結 62 72の は、5 上5 下の 囲内であるのが好ま とがわ る。

００84 上に開示された実施の 態や実施 はす ての点で 示であ て制限 なも のではな と考慮される きである。 明の 、以上の実施の 態や実施 ではな 、請求の 囲によ て され、請求の 等の および 囲内での す ての 形を含むものと意図される。

上の利用 性

００85 この 明に従 た 動制御用 量体は、半導体 置、プラズ ディスプ イ等の イスを製造するために用 られる の 動体を有するステ ジ 置に組 み込まれて られる。

Claims

求の

数の ( 2 7 )を備え、この 数の ( 2 7 )の がタング ステン 金 らなり、このタングステン 主成分としてタングステンを8 上99 、振動制御用 量体( 2 )

2 タングステン 、 超え 8 下の 有量で二 、鉄 、 および らなる より選ばれた少な とも 種の金 、不可避的 とを含む、請求 に記載の 動制御用 量体( 2 )

3 タングステン タングステンを9 上98 、比重が

請求 に記載の 動制御用 量体( 2 )4 動制御用 量体は ( )を有する、請求 に記載の 動制御用 量体( )

5 動制御用 量体は移動 能であり、前記 数の 接合された 数の

( 2 )を含み、前記 数の ( 2 )の ( 4 24)は 動制御用 量体( )の 動方向(P)に対してほぼ 直である、請求 に記 載の 動制御用 量体( )

6 ( 2 )は ( 2 )を有する、請求 5に記載の 動制御用 量体( )

7 数の ( 2 7 )は、 ( 3 23 3 22 )により締結されて 、請求 に記載の 動制御用 量体( 2 )

8 動制御用 量体は移動 能であり、前記 ( 3 23)の む方向は 動制御用 量体の 動方向(P)にほぼ平行である、請求 7に記載の 動制御 用 量体( )

9 数の ( 2 )は 合されて る、請求 に記載の 動制御用 量体( )

０ 数の ( 2 )は け接合されて る、請求 に記載の 動制御 用 量体( )

数の ( 2 )は接着 により接合されて る、請求 に記載の 動 制御用 量体( ) 2 数の ( 2 )を収容する (3 )をさらに備え、この (3 )はタ ングステン 金と異なる材料 らなる、請求 に記載の 動制御用 量体( )3 動体を有するステ ジ 置にお て移動体の 動に伴 動を制御するために 用 られる、請求 に記載の 動制御用 量体( 2 )

4 動体が スクまたは を保持して移動するものであり、前記ステ ジ 置 が 置である、請求 3に記載 動制御用 量体( 2

5 ステ ジ (5 2)に連結するための (62 72)を有し、この の みが5 上5 下である、請求 3に記載の 動制御用 量体(2 6 7 )