JP2019078685A - Ledチップの検査方法、その検査装置及びledディスプレイの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
先ず、複数のマイクロLEDチップ6が設けられたサファイア基板7が、その裏面を吸着されてウエハ保持部1に保持される。この場合、サファイア基板7は、縁部に例えばノッチが設けられた基準面を基準として所定の向きに設置される。
先ず、第1ステップとして、図4(a)に示すように、アライメント手段3を起動して、撮像カメラによりサファイア基板7に形成されたアライメントマークと検査用配線基板11に形成されたアライメントマークとを観察しながら、両アライメントマークが一定の位置関係となるようにウエハ保持部1を水平方向に2次元移動及び回動させてアライメントが実施される。これにより、複数のマイクロLEDチップ6の接点10と検査用配線基板11の複数の第1の電極パッド12とが合致する。
先ず、図8を参照してLEDアレイ基板16の製造の第1の実施例について説明する。
上述のようにしてマイクロLEDチップ6の検査工程(第1ステップ〜第3ステップ)が終了し、良否判定された複数のマイクロLEDチップ6は、サファイア基板7から取り外されることなく次のLEDディスプレイの製造工程に回される。
まず、図11(a)に示すように、少なくとも近紫外から青色波長帯の光を透過する、例えばガラス基板又はアクリル樹脂等のプラスチック基板から成る透明基板25上に隔壁27用の透明な感光性樹脂を塗布したのち、フォトマスクを使用して露光し、現像して各蛍光発光層24の形成位置に対応させて、例えば図5に示すようなストライプ状の開口31を設け、高さ対幅のアスペクト比が3以上の透明な隔壁27をmin20μm程度の高さで形成する。この場合、使用する感光性樹脂は、例えば日本化薬株式会社製のSU−8 3000等の高アスペクト材料が望ましい。
先ず、図12(a)に示すように、LEDアレイ基板16上に蛍光発光層アレイ17が位置決め配置される。詳細には、LEDアレイ基板16上に形成されたアライメントマークと、蛍光発光層アレイ17上に形成されたアライメントマークとを使用して、蛍光発光層アレイ17の各色対応の蛍光発光層24がLEDアレイ基板16上の対応するマイクロLEDチップ6上に位置するようにアライメントが実施される。
また、区分けされた領域33,34,35に対応させて、図16(b)に示すように複数の赤色LEDチップ列32Rを形成した赤色対応のサファイア基板7R、複数の緑色LEDチップ列32Gを形成した緑色対応のサファイア基板7G及び複数の青色LEDチップ列32Bを形成した青色対応のサファイア基板7Bが夫々準備される。なお、これらのサファイア基板7は、本発明のLEDチップの検査方法により、マイクロLEDチップ6の良否検査が実施済みのものである。ここでは、全てのマイクロLEDチップ6が良品と判定されたものである場合について述べる。
先ず、図16(a)に示す表示用配線基板18の領域33に、図17(a)に示すように赤色対応のサファイア基板7Rが位置決め載置される。そして、図17(a)に矢印で示すように、赤色LED配置領域に対応する赤色LEDチップ列32Rにレーザ光29が照射される。これにより、図17(b)に示すように当該赤色LEDチップ列32RのマイクロLEDチップ6がリフトオフされて表示用配線基板18上に残る。
図16(a)に示す表示用配線基板18の領域33に、図18(a)に示すように青色対応のサファイア基板7Bが、領域34に赤色対応のサファイア基板7Rが、領域35に緑色対応のサファイア基板7Gが夫々位置決めして載置される。
図16(a)に示す表示用配線基板18の領域33に、図19(a)に示すように緑色対応のサファイア基板7Gが、領域34に青色対応のサファイア基板7Bが、領域35に赤色対応のサファイア基板7Rが夫々位置決めして載置される。
2…配線基板保持部
3…アライメント手段
4…押圧手段
5…判定装置
6…マイクロLEDチップ(LEDチップ)
6a…不良品のマイクロLEDチップ
6b…予備のマイクロLEDチップ
7…サファイア基板(ウエハ又は基板)
10…接点
11…検査用配線基板(配線基板)
12…第1の電極パッド(電極パッド)
13…第1の弾性突起部(弾性突起部)
18…表示用配線基板(配線基板)
19…第2の電極パッド(電極パッド)
20…第2の弾性突起部(弾性突起部)
23…接着剤層
29…レーザ光
Claims (10)
- ウエハに形成された複数のLED(light emitting diode)チップの検査方法であって、
前記ウエハ上の複数の前記LEDチップの接点と、該接点に対応して配線基板に設けられた複数の電極パッドとが合致するように前記ウエハを前記配線基板上に位置決め載置する第1ステップと、
複数の前記LEDチップの前記接点と前記配線基板の複数の前記電極パッドとを電気接続させる第2ステップと、
前記配線基板を介して複数の前記LEDチップに通電し、該LEDチップの良否を判定する第3ステップと、
を行うことを特徴とするLEDチップの検査方法。 - 前記LEDチップの前記接点と前記配線基板の前記電極パッドとの電気接続は、前記電極パッドに形成された導電性の弾性突起部を介して行われることを特徴とする請求項1記載のLEDチップの検査方法。
- 前記LEDチップは、透明なウエハに形成されたマイクロLEDチップであることを特徴とする請求項1又は2記載のLEDチップの検査方法。
- 複数のLEDチップを形成したウエハを保持するウエハ保持部と、
前記ウエハ保持部に対向して配置され、複数の前記LEDチップの接点に対応して電極パッドを設けた配線基板を保持する配線基板保持部と、
前記ウエハ上の複数の前記LEDチップの接点と前記配線基板に設けられた複数の電極パッドとが合致するように前記ウエハを前記配線基板に対して位置決めするアライメント手段と、
前記ウエハ及び前記配線基板の少なくとも何れか一方を押圧して、複数の前記LEDチップの前記接点と前記配線基板の前記電極パッドとを電気接続させる押圧手段と、
前記配線基板を介して複数の前記LEDチップに通電し、該LEDチップの良否を判定する判定装置と、
を備えたLEDチップの検査装置。 - 透明なウエハに形成された複数のマイクロLEDチップを配線基板に実装するLEDディスプレイの製造方法であって、
前記ウエハ上の複数の前記マイクロLEDチップの接点と、該接点に対応して検査用配線基板に設けられた第1の電極パッドとが合致するように前記ウエハを前記検査用配線基板上に位置決め載置する第1ステップと、
前記ウエハを押圧して複数の前記マイクロLEDチップの前記接点と前記検査用配線基板の前記第1の電極パッドとを電気接続させる第2ステップと、
前記検査用配線基板を介して複数の前記マイクロLEDチップに通電し、該マイクロLEDチップの良否を判別する第3ステップと、
前記ウエハ上の複数の前記マイクロLEDチップの接点と、該接点に対応して表示用配線基板に設けられた第2の電極パッドとが合致するように前記ウエハを前記表示用配線基板上に位置決め載置する第4ステップと、
前記ウエハ側からレーザ光を照射し、良品と判定されたマイクロLEDチップを前記ウエハから選択的にリフトオフして前記表示用配線基板に実装する第5ステップと、
を含むことを特徴とするLEDディスプレイの製造方法。 - 前記第2ステップにおいて、前記マイクロLEDチップの前記接点と前記検査用配線基板の前記第1の電極パッドとの電気接続は、前記第1の電極パッドに形成された導電性の第1の弾性突起部を介して行われることを特徴とする請求項5記載のLEDディスプレイの製造方法。
- 前記第5ステップは、不良と判定され、リフトオフされなかった前記マイクロLEDチップに対応した前記表示用配線基板上の抜け部分に予備のマイクロLEDチップを供給した後、前記マイクロLEDチップを加圧して該マイクロLEDチップの前記接点と前記表示用配線基板の前記第2の電極パッドとを電気接続させた状態で、前記表示用配線基板の前記第2の電極パッドの周囲に設けられた接着剤層を硬化させて前記マイクロLEDチップを前記表示用配線基板に固定することを特徴とする請求項5又は6記載のLEDディスプレイの製造方法。
- 前記マイクロLEDチップの前記接点と前記表示用配線基板の前記第2の電極パッドとの電気接続は、前記第2の電極パッド上に形成された導電性の第2の弾性突起部を介して行われることを特徴とする請求項7記載のLEDディスプレイの製造方法。
- 前記接着剤層は、露光及び現像によりパターニングが可能な感光性接着剤であり、前記表示用配線基板に予め設けられていることを特徴とする請求項7又は8記載のLEDディスプレイの製造方法。
- 前記検査用配線基板に替えて前記表示用配線基板が使用されると共に、前記第4ステップが省略されて前記第3ステップに次いで前記第5ステップが実施されることを特徴とする請求項5〜9のいずれか1項に記載のLEDディスプレイの製造方法。
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