WO2006129502A1 - 固体レーザ装置 - Google Patents

固体レーザ装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2006129502A1
WO2006129502A1 PCT/JP2006/310040 JP2006310040W WO2006129502A1 WO 2006129502 A1 WO2006129502 A1 WO 2006129502A1 JP 2006310040 W JP2006310040 W JP 2006310040W WO 2006129502 A1 WO2006129502 A1 WO 2006129502A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
solid
state laser
laser device
laser light
optical
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2006/310040
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Shuichi Fujikawa
Junji Kano
Kazuki Kuba
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to US11/916,114 priority Critical patent/US20090141746A1/en
Priority to JP2007518911A priority patent/JP4803176B2/ja
Priority to DE112006001413T priority patent/DE112006001413T5/de
Publication of WO2006129502A1 publication Critical patent/WO2006129502A1/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/025—Constructional details of solid state lasers, e.g. housings or mountings
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/005—Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/005—Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
    • H01S3/0092—Nonlinear frequency conversion, e.g. second harmonic generation [SHG] or sum- or difference-frequency generation outside the laser cavity
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/025—Constructional details of solid state lasers, e.g. housings or mountings
    • H01S3/027—Constructional details of solid state lasers, e.g. housings or mountings comprising a special atmosphere inside the housing
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H01S3/06—Construction or shape of active medium
    • H01S3/07—Construction or shape of active medium consisting of a plurality of parts, e.g. segments
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
    • H01S3/091—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping
    • H01S3/094—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light
    • H01S3/0941—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light of a laser diode
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/11—Mode locking; Q-switching; Other giant-pulse techniques, e.g. cavity dumping
    • H01S3/1123—Q-switching
    • H01S3/117—Q-switching using intracavity acousto-optic devices

Definitions

  • the present invention relates to high reliability of a solid-state laser device.
  • the solid-state laser device has a problem in that the optical components installed in the optical path are contaminated by the mixing of dust from the outside of the optical path, and the transmittance of the laser light is reduced. In addition, there is a problem that dust adhering to the surface of the optical component scatters the laser beam passing through the optical component, thereby reducing the condensing property of the laser beam. In addition, there is a problem in that deposits on the surface of the optical component absorb the laser light, destroy the coating applied to the surface of the optical component, and damage the base material of the optical component.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Laid-Open No. 5-7043 (paragraphs 0013 to 0017, FIG. 1)
  • Patent Document 2 JP-A-8-332586 (paragraph 0028, FIG. 1)
  • the container for housing the optical system can be small, and the optical system is arranged. It is possible to seal the container.
  • the number of optical elements increases, the optical system becomes larger, and the container for accommodating the optical system becomes larger or more than one, and the optical system is arranged. It was difficult to completely seal the container.
  • there are many electrical wiring and cooling pipes necessary for driving and cooling the optical elements and a large number of wiring holes or piping holes are required inside the container. It was practically impossible to completely seal the container containing the optical system.
  • the optical system is covered with a substantially sealed cover, the covers are connected by a duct, and the laser is placed in the duct.
  • a dustproof structure that allows light to pass through was adopted, a sufficient dustproof effect could not be obtained. Therefore, the method of placing the laser device in an environment where the cleanliness of the external atmosphere is controlled, such as a clean room, and making the influence of dust almost completely sealed is generally used.
  • a clean noreme is required, which increases costs, increases the installation area, and limits the installation location.
  • the present invention has been made in order to solve an enormous problem, and in a simple, small, and inexpensive configuration, prevents optical components from deteriorating and dew condensation, and stably emits laser light.
  • An object of the present invention is to provide a highly reliable solid-state laser device that can be supplied. Means for solving the problem
  • the solid-state laser device has a laser light source having a solid-state laser medium and an optical resonator, an optical system that transmits or blocks laser light emitted from the laser light source, and a substantially sealed structure.
  • the ambient atmosphere of the optical system that transmits or shields the laser light can always be maintained in a clean state, so that the cleanliness of the external atmosphere such as a clean nolem is managed. Even if it is not placed in the environment, it is possible to prevent deterioration of the optical parts and damage of the optical parts due to the attachment of foreign matter, and to improve the reliability of the solid-state laser device.
  • FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of a solid-state laser apparatus according to Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 2 is a schematic diagram showing a configuration of a solid-state laser apparatus according to Embodiment 2 of the present invention.
  • FIG. 3 is a schematic diagram showing a configuration of a solid-state laser apparatus according to Embodiment 3 of the present invention.
  • FIG. 4 is a schematic diagram showing a configuration of a solid-state laser apparatus according to Embodiment 4 of the present invention.
  • FIG. 1 is a schematic diagram showing the configuration of the solid-state laser apparatus according to Embodiment 1 of the present invention.
  • reference numeral 1 denotes an external casing having a substantially sealed structure, which also serves as a protective casing for preventing leakage of laser light and scattered light to the outside.
  • substantially sealed structure means a foreign matter intrusion protection class defined in accordance with IEC standard 529, and means a structure having a sealing property equivalent to IP21 to IP56 or that class (the same shall apply hereinafter).
  • Reference numeral 2 denotes an internal casing disposed in the external casing 1.
  • a dehumidifier that is a dehumidifying means installed on the side wall surface of the external housing 1
  • the moisture in the outer casing 1 is discharged out of the outer casing 1.
  • 301 and 302 are dotted lines schematically showing the moisture 301 in the outer casing 1 and the moisture 302 released to the outside of the outer casing 1.
  • a SP polymer dehumidifier mouth seal manufactured by Ryosai Tech Niki Co., Ltd., which uses a solid polymer electrolyte membrane for the dehumidifier 3 and electrolyzes the moisture 301 in the outer casing 1, is used. ing.
  • an air purification unit which is a clean air supply means disposed on the top plate portion of the inner casing 2, and is a pre-filter 40 1 that removes dust having a particle size of several tens to several hundred microns in advance, and an external casing 1 It consists of a fan 402 that introduces the air into the internal housing 2 and a main filter 403 that can remove dust with a particle size of 10 microns or less.
  • glass wool is used for the pre-filter 401, and the main filter 403 is capable of collecting 99.97% or more of particles having a particle size of 0.3 micron. (Efficiency Particle Air Filter) filter is used.
  • Reference numerals 5a and 5b denote cavity units, and the rod-type solid laser media 501a and 501b and the rod-type solid laser media 501a and 501b are optically excited inside the cavity units 5a and 5b, which are substantially sealed by a cover.
  • Semiconductor lasers 502a and 502b which are excitation light sources for this purpose, are provided.
  • YAG (yttrium aluminum garnet) crystal doped with Nd (neodymium) as an active medium is used for the rod-type solid state laser media 501a and 501b, and a single cavity is used. Approximately 500W of laser power can be extracted from the units 501a and 501b. Also, force not shown in FIG.
  • Reference numeral 6 denotes a TR (Total Reflector) unit, which holds the total reflection mirror 601 and the total reflection mirror 601 inside the substantially sealed cover, and is provided with an angle adjustment mechanism for the total reflection mirror 601.
  • a holder 602 is provided.
  • 7 is a PR (Partial Reflector) unit.
  • a total reflection mirror holder 702 that holds the partial reflection mirror 701 and is provided with an angle adjustment mechanism of the partial reflection mirror 701 is provided.
  • the total reflection mirror 601 and the partial reflection mirror 701 constitute an optical resonator, and generate laser light 8 from rod-type solid laser media 501a and 501b optically excited by the semiconductor lasers 502a and 502b.
  • Reference numeral 901 denotes a collimating lens disposed in the inner casing 2, which collimates the laser light 8.
  • Reference numeral 902 denotes a collimating lens holder which holds the collimating lens 901 and is provided with an adjustment mechanism for the vertical and horizontal directions of the collimating lens 901.
  • 10 is a process shirter unit arranged in the inner housing 2. The process shatter mirror 101 is inserted into and retracted from the optical axis of the laser beam 8 by the servo motor 102, so that the laser beam 8 Controls the emission and blocking of.
  • 11 is a safety shirter unit installed in the internal housing 2.
  • the servo motor 112 is used to retract the safety shirter mirror 111 from the optical axis force of the laser beam 8, and when the laser is stopped, By inserting the shatter mirror 111 into the optical axis of the laser beam 8, the laser beam 8 is reliably prevented from being emitted to the outside.
  • Reference numeral 12 denotes a fiber incidence unit.
  • the coupling lens 121 holds the coupling lens 121 and the coupling lens 121 inside a substantially sealed cover, and has a mechanism for adjusting the vertical, horizontal, and optical axis directions of the coupling lens 121.
  • a holder 122 is provided.
  • 13 is an optical fiber that transmits laser light
  • 131 is an incident side fiber connector disposed on the laser light incident side of the optical fiber 13
  • 132 is an emission side disposed on the laser light emitting side of the optical fiber 13. It is a fiber connector.
  • the incident-side fiber connector 131 is firmly fixed to the fiber incident unit 12 by a receptor knob 123 disposed in the fiber incident unit 12.
  • the laser beam 8 collimated by the collimator lens 901 is collected by the coupling lens 121 and introduced into the optical fiber 13.
  • a gasket 14 made of urethane rubber is used to maintain hermeticity.
  • 15a, 15b, 15c, 15d, and 15e are beam ducts provided to prevent leakage of the laser beam 8 and scattered light between the units.
  • a silicone rubber O-ring is used to maintain the sealing performance.
  • the inner casing 2 is provided in the outer casing 1 having a substantially sealed structure, and the air in the outer casing 1 is cleaned by the air cleaning unit 4 in the inner casing 2.
  • the air pressure in the internal housing 2 is higher than the air pressure in the external housing 1, so even if it is not placed in a clean room or other environment where the cleanliness of the external atmosphere is controlled, In addition to preventing the entry of foreign matter such as dust, the atmosphere around the optical components installed in the inner housing 2 can be kept clean. Even when outgas is generated in the internal housing 2, high-power laser light exceeding lkW is installed in the internal housing 2 because it is discharged from the exhaust port 201 together with clean air.
  • the PR unit 7 and the fiber incident unit 12 communicate with each other via the beam ducts 15 d and 15 e having a sealed structure, so that the PR unit 7 and the fiber incident unit 12 are also in the PR unit 7 and the fiber incident unit 12. It is always filled with clean air, and the same effect as when placed in the inner housing 2 can be obtained.
  • the air in the outer casing 1 having a substantially sealed structure is circulated through the air purification unit 4, the environment in which the amount of dust is not controlled. Even if it is installed, the filter in the air cleaning unit 4 can be prevented from clogging in a short time, and the decrease in productivity and the increase in running cost due to replacement of consumable parts can be suppressed. Also, even when the external housing 1 and the internal housing 2 are opened due to maintenance, etc., the air cleanliness can be restored in a short time, so the downtime required for maintenance can be further reduced. .
  • the dehumidifier 3 by providing an opening in the side wall of the outer casing 1 and installing the dehumidifier 3, moisture contained in the air in the outer casing 1 is moved out of the outer casing 1. Since it is configured to discharge, even when installed in an environment where the temperature and humidity are not controlled, the relative humidity in the external housing 1 is always kept below the set value, and condensation of optical components is prevented. In addition to preventing this, it is possible to always supply a stable laser beam regardless of the surrounding environment.
  • the laser light source including the cavity units 5a, 5b, the TR unit 6, and the PR unit 7 in the single external housing 1 that also serves as the protective housing, and the laser light source Departure
  • An optical system for coupling the laser beam 8 to the optical fiber 13 is provided, and an internal housing 2 is provided in the external housing 1, and the optical system is disposed in the internal housing 2. Therefore, the cleanliness of the air around the optical component can be effectively improved and the life of the optical component can be extended with a simple and compact configuration.
  • the optical axis of the laser light source and the optical axis of the optical system do not deviate. This makes it possible to transmit laser light with excellent reliability and to provide a stable laser light.
  • FIG. 2 is a schematic diagram showing the configuration of the solid-state laser apparatus according to Embodiment 2 of the present invention.
  • two internal housings 2a and 2b are provided in a single external housing 1 having a substantially sealed structure.
  • the same collimating lens 901 as in the first embodiment the process shirt unit 10 and the safety shirt unit 11 are arranged.
  • a laser light source including two cavity units 5a and 5b, a total reflection mirror 601 and a partial reflection mirror 701 is disposed.
  • First inner casing 2a and second inner casing Since the housing 2b communicates with the beam duct 15a, even if the air purification unit 4 is installed in only one of the first and second inner housings 2a and 2b, If the air cleanliness of the air cleaning unit 4 is maintained, the same effect as this embodiment can be obtained. Since the number of units can be reduced, manufacturing, assembly and running costs can be reduced.
  • any air purification unit 4 is clogged with a filter. Even if the function deteriorates due to the above or the function is stopped due to a failure, the air cleanliness in each internal housing 2 is maintained, and the risk for the failure of the air purification unit 4 can be reduced. In addition, even when the internal housing 2 is opened to the outside air due to maintenance or the like, the cleanliness can be recovered in a short time at the time of restoration, so that the downtime associated with maintenance can be shortened.
  • FIG. 3 is a schematic diagram showing the configuration of the solid-state laser apparatus according to Embodiment 3 of the present invention.
  • the internal casings 2a, 2b, the collimating lens 901, the process shirter unit 10, and the safety shirter unit 11, which are units constituting an optical system for transmitting the laser light 8 to the optical fiber 13, are provided.
  • 2c is installed separately.
  • the inner casings 2a, 2b, and 2c are individually provided for each unit that is removed by force if the same effect as in the first to second embodiments can be obtained.
  • the collimator lens 901, the process shirt unit 10 and the safety shirt unit 11 are respectively shown in the internal casings 2a, 2b and 2c.
  • the unit installed in the internal housing 2 is not limited to this.
  • a unit for dividing the laser light 8 into a plurality of optical paths may be installed in the internal housing 2.
  • a unit including an optical component that transmits or reflects the laser beam 8 is provided in the outer casing 1. If installed in the internal housing 2 and the surroundings of the optical components are kept clean with an air cleaning unit, the optical components are effectively prevented from being deteriorated and damaged, and a solid laser with excellent reliability. A device can be obtained. What is necessary is just to design suitably according to purposes, such as a size, a structure, and a maintenance method, about the number of the internal housing
  • FIG. 4 is a schematic diagram showing the configuration of the solid-state laser apparatus according to Embodiment 4 of the present invention.
  • a configuration is shown in which the second harmonic is generated by a wavelength conversion technique using a nonlinear optical crystal.
  • 161 is an acousto-optic element disposed between the rod-type solid-state laser medium 501 and the total reflection mirror 601 in the first inner casing 2a.
  • Q switch pulse oscillation is performed by applying modulation to.
  • Reference numeral 162 denotes an acoustooptic device holder that holds the acoustooptic device 161 and is provided with an angle adjustment mechanism for the acoustooptic device 161.
  • the rod-type solid laser medium 501 uses a YAG (yttrium aluminum garnet) crystal doped with Nd (neodymium), and is installed in the first inner casing 2a.
  • the laser light source emits fundamental pulse light 8 with a wavelength of 1064 nm (nanometer) and a panoramic width of 60 to 70 ns (nanoseconds).
  • Reference numeral 171 denotes a condensing lens that is installed in the second inner casing 2b and condenses the fundamental pulsed light 8.
  • 172 holds the condensing lens 171 and It is a condensing lens holder provided with an adjustment mechanism for the direction.
  • 181 is a non-linear optical crystal. In this embodiment, a 15 mm long LBO (lithium triborate) crystal is used in the second harmonic generation with a fundamental wavelength of 1064 nm to obtain a type 2 phase matching condition.
  • Reference numeral 182 denotes a nonlinear optical crystal holder that holds the nonlinear optical crystal 181 and is provided with a temperature adjustment function for the nonlinear crystal 181.
  • 211 is a separate mirror with a two-wavelength coating that reflects light with a wavelength of 1064 nm and transmits light with a wavelength of 532 nm. It is installed at an incident angle of 45 degrees with respect to the optical axis of harmonic 19.
  • 212 is a separate mirror holder for holding a separate mirror. Of the fundamental waveless light 8 incident on the nonlinear optical crystal 181, a part is converted into the second harmonic wave 19, and the rest is transmitted through the nonlinear optical crystal 181 while maintaining the wavelength of 1064 nm.
  • the laser light emitted from the nonlinear optical crystal 181 includes a fundamental pulse light 8 having a wavelength of 1064 nm and a second harmonic 19 having a wavelength of 532 nm. Separate the fundamental pulse light 8 and the second harmonic 19 by allowing the laser light that includes the fundamental pulse light 8 and the second harmonic 19 to enter the separate mirror 211 and transmitting only the second harmonic 19. Can do.
  • the fundamental wave light 8 incident on the separate mirror 211 is reflected by the separate mirror 211, and the optical axis is bent at a right angle.
  • the fundamental pulse light 8 reflected by the separate mirror 211 is absorbed by a damper disposed in the second inner casing 2b.
  • the second harmonic 19 separated from the fundamental pulse light 8 by the separate mirror 211 is collimated by the collimating lens 901 installed in the third inner housing 2c, and the exit window 221, the outside The light is emitted to the outside through the emission port 24 provided on the side wall surface of the housing 1.
  • Reference numeral 222 denotes an exit window holder for fixing the exit window 221 to the side wall of the third inner housing 2c.
  • a fluoro rubber O-ring is used to secure the exit window 221 at the fixing section. It is sealed to maintain the airtightness.
  • Reference numeral 23 denotes a ring-shaped packing made of foaming PTFE (tetrafluoroethylene), which maintains the sealing property at the outlet 24.
  • an external housing 1 having a substantially sealed structure is provided, and the relative humidity in the external housing 1 is controlled to a specified value or less using a dehumidifier 3, and the external housing 1
  • the internal housing 2 is installed in the inner housing 2, optical components are arranged in the inner housing 2, and the purified air is circulated using the air cleaning unit 4 installed on the top plate of the inner housing 2.
  • the wavelength conversion efficiency to the second harmonic 19 is substantially proportional to the square of the fundamental wave incident intensity with respect to the nonlinear optical crystal 181. Therefore, in order to obtain high wavelength conversion efficiency, it is necessary to narrow down the fundamental wave pulse light 8 to a small diameter by the condenser lens 171. For this reason, even when a slight amount of foreign matter such as dust adheres to the incident surface of the nonlinear optical crystal 181, the nonlinear optical crystal 181 is easily destroyed by the irradiation of the condensed fundamental wave pulse light 8. Furthermore, since the LBO crystal used as the nonlinear optical crystal 181 in this embodiment has a hygroscopic property, when used in a high humidity environment, it absorbs moisture in the air and promotes deterioration such as discoloration.
  • the ambient atmosphere of the non-linear optical crystal 181 that can be obtained by force is obtained by using clean, powerful humidity-controlled air that can achieve the same effect as in the first to third embodiments. Therefore, it is possible to suppress the deterioration of the nonlinear optical crystal 181 and to collect the fundamental wave pulse light 8 with a small diameter and make it incident on the nonlinear optical crystal 18 1. Wavelength conversion can be performed efficiently while preventing damage and destruction of the crystal 181 and maintaining high reliability.
  • the configuration in which the LBO crystal is used as the nonlinear optical crystal 181 that generates the second harmonic is shown, but the type of the nonlinear optical crystal 181 is not limited to this. .
  • the nonlinear optical crystal 181 if a KTP (botadium titanyl phosphor) crystal is used for the nonlinear optical crystal 181, the absorption coefficient of the fundamental wave increases, but since it has a high nonlinearity constant, even if the fundamental wave has a low output, it is relatively High wavelength conversion efficiency can be obtained, and if the reversal polarization type LN (lithium niobate) crystal is used, the interaction length (coherent length) can be increased. Even if it is used, wavelength conversion can be performed efficiently.
  • an appropriate nonlinear optical crystal may be selected according to the desired specifications and performance.
  • the configuration for generating the second harmonic has been described.
  • the type of wavelength conversion is not limited to this, and higher third harmonics, fourth, and fourth harmonics are not limited thereto.
  • the same effect as in the present embodiment can be obtained.
  • the same effect can be obtained not only for harmonic generation but also for wavelength conversion by optical parametric oscillation and sum frequency mixing. Needless to say.
  • a non-linear optical crystal that performs wavelength conversion is installed in the inner casing 2, the same effects as in the present embodiment can be obtained.
  • the configuration for performing Q-switch pulse oscillation using the acousto-optic element 161 has been described, but the configuration for performing Q-switch pulse oscillation using an electro-optic element is also illustrated. The same effect as that of the embodiment can be obtained. Further, the present invention may be applied to a mode-locked laser as a configuration for generating a high peak pulse.
  • an oscillator that is a laser light source, and a pulse of laser light extracted from the oscillator
  • An internal housing 2 is provided for each of the pulse expander that extends the width, the regenerative amplifier that amplifies the laser light with the expanded pulse width, and the pulse compressor that compresses the pulse width of the amplified laser light. If the cleanliness within 2 and the humidity are controlled, the same effects as in the present embodiment can be obtained.
  • the semiconductor laser is used as the excitation light source for optically exciting the rod-type solid laser medium.
  • the type of excitation light source is not limited to this. However, even if a discharge lamp is used as the excitation light source, the same effect can be obtained.
  • a rod-type YAG (yttrium aluminum nitride garnet) crystal doped with Nd (neodymium) is used as the solid laser medium used for the laser light source.
  • the base material, active medium, and shape of the solid-state laser medium are not limited to this.
  • a single crystal of alumina doped with Ti (titanium) or Cr (chromium) may be used as the solid laser medium, or a slab type YAG (yttrium aluminum garnet) crystal doped with Yb (yttrium). You can do it.
  • the present invention can also be applied to a configuration in which a so-called semiconductor laser that uses a semiconductor as a solid-state laser medium is used as a laser light source.
  • the force of the HEPA filter showing the configuration using the HEPA filter as the main filter of the air purifier unit is limited to this type. It ’s not something.
  • a ULPA Ultra Low Penetration Air Filter
  • the dust collection rate can be further increased.
  • you want to remove organic component substances and ionic substances you can also use a chemical filter.
  • the most appropriate air cleaning method should be selected according to the impurities and dust to be removed.
  • the air cleaning unit is installed on the top plate of the internal housing. However, the location of the air cleaning unit with respect to the internal housing is the same. It is not limited to this, and it may be arranged at an optimal position according to the arrangement of the laser light source and optical system.
  • Embodiments 1 to 4 the configuration using a solid polymer electrolyte membrane type dehumidifier is shown, but the configuration of the dehumidifier is not limited to this.
  • the same effect can be obtained by installing silica gel as a desiccant in the external housing.
  • the humidity in the external housing can be maintained substantially constant even when the apparatus is stopped or during a power failure.
  • a detector is provided to monitor the humidity of the external housing and the amount of dust in the internal housing, and an interlock mechanism that stops the device when the humidity and the amount of dust reach specified values or more. Etc., the reliability of the solid-state laser device can be further improved. Industrial applicability
  • the wavelength conversion laser device according to the present invention is suitable when it is difficult to prepare a clean room or the like for the installation of the laser device.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lasers (AREA)
  • Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)

Abstract

　固体レーザ装置において、略密閉構造を有する単一の外部筐体（１）を備え、前記外部筐体（１）内に単数もしくは複数の内部筐体（２）を設け、前記内部筐体（２）の一部もしくは全部に外部筐体（１）内の空気を浄化し内部筐体（２）内に供給する空気清浄ユニット（４）を備え、前記外部筐体（１）内に、固体レーザ媒質（５０１）ならびに光共振器を含むレーザ光源（５、６、７）、ならびに前記レーザ光源より発せられたレーザ光（８）を伝送、もしくは遮断する光学系（１０、１１、９０１）を配設するとともに、前記レーザ光源（５，６，７）、および前記光学系（１０、１１、９０１）、もしくはその一部を、前記内部筐体（２）内へ収納することにより、簡易、小型かつ安価な構成のもとで、光学部品の劣化、ならびに結露を防止し、安定にレーザ光を供給することができる。

Description

明 細 書
固体レーザ装置
技術分野
[0001] この発明は、固体レーザ装置の高信頼化に関する。
背景技術
[0002] 固体レーザ装置では、光路外部からの粉塵の混入によって、光路中に設置される 光学部品が汚染され、レーザ光の透過率が低下するという問題点があった。また光 学部品表面に付着した粉塵が、この光学部品を通過するレーザ光を散乱し、レーザ 光の集光性を低下させるという問題点があった。また、光学部品表面への付着物が レーザ光を吸収し、光学部品表面に施したコーティングを破壊するとともに、光学部 品の母材に対しても損傷を与えるという問題点があった。
[0003] そこで、従来の固体レーザカ卩ェ装置においては、粉塵を除去するために、密閉さ れた容器内に光学素子を配置し、この容器内に気体清浄器を設け、容器内の気体 を浄化することで、上記問題を解決していた (例えば、特許文献 1)。また、光学系を カバーで覆レ、、ダストフィルタを介して外部より導入した清浄化気体によってカバー 内部を加圧することで、光学系への粉塵付着を防止していた (例えば、特許文献 2)。
[0004] 特許文献 1 :特開平 5— 7043号公報 (第 0013乃至第 0017段落、第 1図）
特許文献 2 :特開平 8— 332586号公報 (第 0028段落、第 1図）
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0005] レーザ光路への粉塵の混入を防止するためには、特許文献 1に記載のように、光 学系を完全に密閉した容器に配することが望ましい。しかし、完全密閉構造とするた めには、 Oリング等シール手段が必要になることに加え、堅固な箱体構造にて光学部 品周囲を覆う必要があるため、構成が複雑になり、保守性が低下するとともに、製造 コストも増加するという問題点があった。
[0006] ただし、特許文献 1に記載されたように、光学素子数が少ない光学系を有した小型 のレーザ装置においては、光学系を収容する容器も小さくて済み、光学系を配した 容器を密閉することは可能である。一方、例えば出力が lkWを超えるような大型のレ 一ザ装置においては、光学素子数が多くなり光学系が大型化し、光学系を収容する 容器が大型化もしくは複数必要となり、光学系を配した容器の完全密閉化は困難で あった。また、光学素子が増加することにより、光学素子の駆動や冷却に必要な電気 配線や冷却配管も多ぐ容器内部への配線もしくは配管用の穴が多数必要であり、 容器の密閉度の低下を招く要因となり、光学系を収容する容器を完全に密閉するこ とは実際上不可能であった。
[0007] そのため、光学系を収容する容器の完全密閉が困難なレーザ装置については、光 学系を略密閉されたカバーで覆い、各カバー間をダクトで連通し、そのダクト内にレ 一ザ光を通す防塵構造を採用したが、十分な防塵効果は得られなかった。そこで、 レーザ装置をクリーンルーム等外部雰囲気の清浄度が管理された環境中へ配置し、 粉塵の影響を完全密閉に近い状態にするという方法が一般的に用いられており、レ 一ザ装置の設置にクリーンノレーム等が必要となり、コストや設置面積の増加、設置場 所が限定される等が問題となっていた。
[0008] また、特許文献 2に記載のように、外気を浄化して光学系を収容する容器内に送り 込み容器内を正圧にする場合、容器の完全密閉は必要でないので大型のレーザ装 置にも摘要できる。しかし、外部の空気を直接浄化して容器内に送り込んでいるため 、クリーンルーム等へ配置しない限り、浄化するダストフィルタの目詰まりが短時間で 発生し、消耗部品交換にともなう生産性の低下やランニングコストの増加をもたらすと レ、う問題点がある。
[0009] さらに、従来のレーザ装置においては、光学系の雰囲気湿度が管理されておらず、 レーザ装置の周囲温度の上昇によって光学部品に結露が発生し、光学部品表面の コーティングが劣化するとともに、結露した光学部品を通過するレーザ光の集光性を 低下させるという問題点があった。
[0010] この発明は、力かる問題点を解決するためになされたものであり、簡易、小型かつ 安価な構成のもとで、光学部品の劣化、ならびに結露を防止し、安定にレーザ光を 供給することが可能な、信頼性の高い固体レーザ装置を提供することを目的としてい る。 課題を解決するための手段
[0011] この発明に係る固体レーザ装置においては、固体レーザ媒質と光共振器を有した レーザ光源と、前記レーザ光源より発せられたレーザ光を伝送または遮断する光学 系と、略密閉構造を有し前記レーザ光源と前記光学系を内部に配置する外部筐体と 、前記外部筐体内部に設けられ前記レーザ光源、前記光学系または前記光学系の 一部を内部に配置する単数もしくは複数の内部筐体と、前記外部筐体内の空気を浄 化し、前記内部筐体内にこの浄化した空気を供給し、前記内部筐体内の気圧を前記 外部筐体内の気圧よりも高くする清浄空気供給手段と、を備えたものである。 発明の効果
[0012] この発明は以上説明したように、レーザ光を伝送もしくは遮蔽する光学系の周囲雰 囲気を、常に清浄な状態に維持することができるので、クリーンノレーム等外部雰囲気 の清浄度が管理された環境中へ配置しなくても、光学部品の劣化、ならびに異物付 着にともなう光学部品の損傷を防止し、固体レーザ装置の信頼性向上を図ることがで きる効果がある。
図面の簡単な説明
[0013] [図 1]この発明の実施の形態 1における固体レーザ装置の構成を示す模式図である。
[図 2]この発明の実施の形態 2における固体レーザ装置の構成を示す模式図である。
[図 3]この発明の実施の形態 3における固体レーザ装置の構成を示す模式図である。
[図 4]この発明の実施の形態 4における固体レーザ装置の構成を示す模式図である。 発明を実施するための最良の形態
[0014] 実施の形態 1.
図 1は、この発明の実施の形態 1における固体レーザ装置の構成を示す模式図で ある。図 1において、 1は略密閉構造を有する外部筐体で、レーザ光、ならびに散乱 光の外部への漏洩を防止する保護筐体を兼ねる。ここで、略密閉構造とは IEC規格 529に基づき規定された異物浸入保護等級で、 IP21乃至 IP56、もしくは当該等級 相当の密閉性を有した構造を意味する (以下同様)。 2は、外部筐体 1内に配設され た内部筐体である。 3は、外部筐体 1の側壁面に設置された除湿手段である除湿機 で、外部筐体 1内の水分を外部筐体 1外へ放出する。 301、 302は、外部筐体 1内の 水分 301、ならびに外部筐体 1外へ放出される水分 302を、模式的に示した点線で ある。なお本実施の形態では、除湿機 3に固体高分子電解質膜を利用し、外部筐体 1内の水分 301を電気分解する菱彩テク二力株式会社製の SP除湿機口サールを使 用している。 4は、内部筐体 2の天板部に配設された清浄空気供給手段である空気 清浄ユニットで、粒径数 10乃至数 100ミクロンの粉塵を予め除去するプレフィルタ 40 1、外部筐体 1内の空気を内部筐体 2中へ導入するファン 402、粒径 10ミクロン以下 の粉塵まで除去することができるメインフィルタ 403から構成されてレ、る。本実施の形 態では、プレフィルタ 401には、グラスウールを使用しており、またメインフィルタ 403 には、粒径 0· 3ミクロンの粒子を 99. 97%以上捕集することができる HEPA (High Efficiency Particle Air Filter)フィルタを使用している。 404は、外部筐体 1中 の空気、 405は、空気清浄ユニット 4によって内部筐体 2中へ導入される空気、 406 は、内部筐体 2の排気口 201から外部筐体 1中へ排出される空気を示す一点鎖線で ある。ここで、排気口 201は特別に設けなくとも、内部筐体 2への配線や配管に伴う隙 間等を利用しても力まわない。
5a、 5bは、キヤビティユニットを示しており、カバーにより略密閉されたキヤビティュ ニット 5a、 5bの内部には、ロッド型固体レーザ媒質 501a、 501b,ならびにロッド型固 体レーザ媒質 501a、 501bを光励起するための励起光源である半導体レーザ 502a 、 502bが配設されている。なお本実施の形態においては、ロッド型固体レーザ媒質 501a, 501bに活性媒質として Nd (ネオジゥム）がドープされた YAG (イットリウムァ ルミニゥムガーネット）結晶を使用しており、単一のキヤビティユニット 501a、 501b力 ら約 500Wのレーザ出力を取り出すことができる。また図 1中には図示してはいない 力 実際のキヤビティユニット 5a、 5b中には、ロッド型固体レーザ媒質 501a、 501bを 固定するための手段や、半導体レーザ 502a、 502bを冷却するための手段等が設置 されている。 6は TR (Total Reflector)ユニットであり、略密閉されたカバー内部に 、全反射鏡 601、ならびに全反射鏡 601を保持し、かつ全反射鏡 601の角度調整機 構が設けられた全反射鏡ホルダ 602が配設されている。 7は PR (Partial Reflector )ユニットで、 TRユニット 6と同じく略密閉されたカバー内部に、部分反射鏡 701、なら びに部分反射鏡 701を保持し、かつ部分反射鏡 701の角度調整機構が設けられた 全反射鏡ホルダ 702が配設されている。なお全反射鏡 601と部分反射鏡 701は光共 振器を構成しており、半導体レーザ 502a、 502bによって光励起されたロッド型固体 レーザ媒質 501a、 501bより、レーザ光 8を発生させる。
[0016] 901は、内部筐体 2中に配設されたコリメートレンズで、レーザ光 8を平行化する。 9 02は、コリメートレンズ 901を保持し、かつコリメートレンズ 901の上下、水平方向に対 する調整機構が設けられたコリメートレンズホルダである。 10は、内部筐体 2中に配 設されたプロセスシャツタユニットで、プロセスシャツタミラー 101を、サーボモータ 10 2によって、レーザ光 8の光軸中に挿入、退避させることで、レーザ光 8の出射、遮断 を制御する。 11は、内部筐体 2中に配設された安全シャツタユニットで、レーザ運転 中はサーボモータ 112によって、安全シャツタミラー 111をレーザ光 8の光軸力ら退避 させ、レーザ停止時には、安全シャツタミラー 111をレーザ光 8の光軸中へ挿入する ことにより、レーザ光 8が外部へ出射することを確実に防止する。
[0017] 12はファイバ入射ユニットで、略密閉されたカバー内部に、結合レンズ 121、ならび に結合レンズ 121を保持し、かつ結合レンズ 121の上下、水平、光軸方向に対する 調整機構を有する結合レンズホルダ 122が配設されている。 13は、レーザ光を伝送 する光ファイバで、 131は光ファイバ 13のレーザ光入射側に配設された入射側フアイ ノ コネクタ、 132は光ファイバ 13のレーザ光出射側に配設された出射側ファイバコネ クタである。入射側ファイバコネクタ 131は、ファイバ入射ユニット 12に配設されたレ セプタクノレ 123によって、ファイバ入射ユニット 12へ堅固に固定されている。コリメート レンズ 901によって平行化されたレーザ光 8を、結合レンズ 121によって集光し、光フ アイバ 13中へ導入する。なお、光ファイバ 13を外部筐体 1の外側へ取り出すための 開口部では、ウレタンゴム製のパッキン 14を使用し、密閉性を維持している。 15a、 1 5b、 15c, 15d、 15eは、各ユニット間において、レーザ光 8、ならびに散乱光の漏洩 を防止するために設けたビームダクトであり、図示はしていなレ、が、各ユニットとの接 続部では、シリコンゴム製の Oリングを使用し、密閉性を維持している。
[0018] 本実施の形態によれば、略密閉構造を有する外部筐体 1中に内部筐体 2を設け、 空気清浄ユニット 4により外部筐体 1内の空気を清浄化して内部筐体 2中へ供給する ことにより、内部筐体 2内の気圧を外部筐体 1内の気圧より高めているので、クリーン ルーム等外部雰囲気の清浄度が管理された環境中へ配置しなくても、内部筐体 2中 への粉塵等異物の浸入を防止するとともに、内部筐体 2中に設置された光学部品周 囲の雰囲気を常に清浄な状態に維持することができる。また、内部筐体 2中でアウト ガスが発生した場合であっても、清浄な空気とともに排気口 201から排出されるため 、 lkWを越える高出力レーザ光を、内部筐体 2中に設置された光学部品で透過もし くは反射させた場合であっても、光学部品の劣化、ならびに損傷を効果的に防止し、 長寿命化を図ることができる。また定期的に実施する光学部品のクリーニング周期を 長くすることができるので、装置のメンテナンスに要するダウンタイムの短縮が可能で あることに加え、ランニングコストの低減も図ることができる。また本実施の形態では、 PRユニット 7、ならびにファイバ入射ユニット 12は、密閉構造を有するビームダクト 15 d、 15eを介してそれぞれ連通しているため、 PRユニット 7、ならびにファイバ入射ュ ニット 12中も常に清浄な空気で満たされ、内部筐体 2中に配置した場合と同様な効 果を得ることができる。
[0019] また本実施の形態によれば、略密閉構造を有する外部筐体 1内の空気を、空気清 浄ユニット 4を介して循環させる構成としているため、粉塵量が管理されていない環境 に設置された場合であっても、空気清浄ユニット 4中のフィルタが短時間で目詰まり することを防止し、消耗部品交換にともなう生産性の低下やランニングコストの増加を 抑えることができる。またメンテナンス等により、外部筐体 1、内部筐体 2を開放した場 合であっても、短時間で空気の清浄度が回復するため、メンテナンスに要するダウン タイムを更に短縮することが可能である。
[0020] また本実施の形態によれば、外部筐体 1の側壁に開口を設け、除湿機 3を設置する ことにより、外部筐体 1中の空気に含まれる水分を外部筐体 1外へ排出する構成とし ているので、温度および湿度が管理されていない環境に設置された場合であっても 、外部筐体 1内の相対湿度は、常に設定値以下に維持され、光学部品の結露を防 止するとともに、周囲環境に依らず常に安定したレーザ光の供給が可能になる。
[0021] なお本実施の形態によれば、保護筐体を兼ねた単一の外部筐体 1中に、キヤビティ ユニット 5a、 5b、 TRユニット 6、 PRユニット 7からなるレーザ光源と、レーザ光源より発 せられたレーザ光 8を光ファイバ 13へ結合するための光学系の両者を配設するととも に、外部筐体 1中に内部筐体 2を設け、該内部筐体 2中へ光学系を配設する構成と しているため、簡易、かつコンパクトな構成のもとで、光学部品周囲の空気清浄度を 効果的に改善し、光学部品の長寿命化を図ることができる。更に、振動や機械的な 外乱が生じた場合であっても、レーザ光源の光軸と光学系の光軸は乖離することが ないため、光軸ずれにともなう光ファイバ 13の入射端面での損傷を防止し、信頼性 に優れたレーザ光のファイバ伝送を行レ、、安定したレーザ光の供給が可能になる。
[0022] 実施の形態 2.
図 2は、この発明の実施の形態 2における固体レーザ装置の構成を示す模式図で ある。本実施の形態においては、略密閉構造を有する単一の外部筐体 1中に、 2つ の内部筐体 2a、 2bを設けている。第 1の内部筐体 2a中には、前記実施の形態 1と同 じぐコリメートレンズ 901、ならびにプロセスシャツタユニット 10、安全シャツタユニット 11が配設されている。また第 2の内部筐体 2b中には、 2台のキヤビティユニット 5a、 5 b、ならびに全反射鏡 601、部分反射鏡 701からなるレーザ光源が配設されている。
[0023] 本実施の形態に示すように、単一の外部筐体 1中に複数の内部筐体 2a、 2bを設け る構成としても、前記実施の形態 1と同様な効果が得られるば力りでなぐキヤビティ ユニット 5a、 5bを内部筐体 2b中に配設すれば、キヤビティユニット 5a、 5b単体での 密閉性に対する要求を緩和することができるば力^でな 励起光源として使用する 半導体レーザ 501a、 501bの発光部周囲を常に清浄な状態に維持することができる ので、半導体レーザ 501a、 501bの劣化を効果的に防止し、長寿命化を図ることが できる。更に全反射鏡 601、部分反射鏡 701、キヤビティユニット 5a、 5b間の光路を、 ビームダクトにて密閉する必要がないため、レーザ光源の組立、ならびに保守調整が 容易なるという効果もある。
[0024] なお本実施の形態においては、第 1、第 2の内部筐体 2a、 2bにそれぞれ空気清浄 ユニット 、 4bを設置する構成を示した力 第 1の内部筐体 2aと第 2の内部筐体 2b は、ビームダクト 15aによって連通しているため、第 1、第 2の内部筐体 2a、 2bのうち、 どちらか一方にのみ空気清浄ユニット 4を設置しても、内部筐体 4内の空気洗浄度を 維持し、本実施の形態と同様な効果が得られるば力りでなぐ空気清浄ユニット 4の 台数を削減できるので、製造、組立ならびにランニングコストの低減を図ることができ る。
[0025] 一方、本実施の形態と同様に、複数個の内部筐体 2に対し、複数個の空気清浄ュ ニット 4を設置する構成とすれば、任意の空気清浄ユニット 4が、フィルタ目詰まり等に より機能が低下、もしくは故障により機能を停止した場合であっても、各内部筐体 2内 の空気清浄度が維持され、空気清浄ユニット 4の故障に対するリスクを低減すること ができる。また、メンテナンス等によって内部筐体 2を外気へ開放した際にも、復旧時 に短時間で清浄度を回復できるので、メンテナンスにともなうダウンタイムを短縮する ことができるという効果がある。
[0026] なお単一の内部筐体 2に対し、複数の空気清浄ユニット 4を設置する構成としても、 空気清浄ユニット 4の故障に対するリスクを低減し、外気開放時の清浄度回復時間を 短縮することができる効果があることは言うまでもない。
[0027] 実施の形態 3.
図 3は、この発明の実施の形態 3における固体レーザ装置の構成を示す模式図で ある。本実施の形態においては、レーザ光 8を光ファイバ 13へ伝送する光学系を構 成するユニットであるコリメートレンズ 901、プロセスシャツタユニット 10、安全シャツタ ユニット 11に対し、内部筐体 2a、 2b、 2cを個別に設置している。本実施の形態によ つても、前記実施の形態 1乃至実施の形態 2と同様な効果が得られるば力りでなぐ 各ユニットに対し個別に内部筐体 2a、 2b、 2cを設けているので、各ユニットのメンテ ナンス作業を実施する際、対象となるユニット部分のみ内部筐体 2を開放すればよい ので、他のユニットの内部筐体 2中へ、粉塵等が浸入するリスクを効果的に低減し、 更に信頼性を高めることができる。
[0028] なお本実施の形態においては、内部筐体 2a、 2b、 2c中へ、それぞれコリメートレン ズ 901、プロセスシャツタユニット 10、安全シャツタユニット 11を収容する構成にっレヽ て示したが、内部筐体 2中に設置するユニットはこれに限るものではなレ、。例えば、複 数の光ファイバ 13にレーザ光 8を結合する構成であれば、レーザ光 8を複数の光路 へ分割するためのユニットを内部筐体 2内に設置してもよい。
[0029] 要はレーザ光 8を透過、もしくは反射する光学部品を含むユニットを、外部筐体 1中 に設置された内部筐体 2中へ設置し、空気清浄ユニットにより光学部品周囲を清浄な 状態に維持すれば、光学部品の劣化、損傷を効果的に防止し、信頼性に優れた固 体レーザ装置を得ることができる。外部筐体 1中へ配置する内部筐体 2の個数、内部 筐体内に配置する光学部品の数、種類については、大きさや構成、メンテナンス方 法等目的に応じて適宜設計すればよい。例えば、レーザ光源と光学系の両者を、単 一の内部筐体 2中へ設置する構成としてもよい。
[0030] 実施の形態 4.
図 4は、この発明の実施の形態 4における固体レーザ装置の構成を示す模式図で ある。なお本実施の形態においては、非線形光学結晶を用いた波長変換技術により 、第 2高調波を発生する構成を示している。図 4中、 161は、第 1の内部筐体 2a中に おいて、ロッド型固体レーザ媒質 501と全反射鏡 601の間に配設された音響光学素 子で、一定の周期で共振器損失に変調を与えることで、 Qスィッチパルス発振を行う 。 162は、音響光学素子 161を保持し、かつ音響光学素子 161の角度調整機構が 設けられた音響光学素子ホルダである。本実施の形態においても、ロッド型固体レー ザ媒質 501には、 Nd (ネオジゥム）がドープされた YAG (イットリウムアルミニウムガー ネット）結晶を使用しており、第 1の内部筐体 2a中に設置されたレーザ光源からは、 波長が 1064nm (ナノメータ）で、パノレス幅力 60乃至 70ns (ナノ秒）程度の基本波パ ルス光 8が発せられる。
[0031] 171は、第 2の内部筐体 2b中に設置され基本波パルス光 8を集光する集光レンズ、 172は、集光レンズ 171を保持し、かつ集光レンズ 171の上下、水平方向に対する 調整機構が設けられた集光レンズホルダである。 181は非線形光学結晶で、本実施 の形態では、基本波波長 1064nmの第 2高調波発生において、タイプ 2型の位相整 合条件が得られる長さ 15mmの LBO (リチウムトリボレイト）結晶を使用している。 182 は、非線形光学結晶 181を保持し、かつ非線形結晶 181に対する温度調整機能が 設けられた非線形光学結晶ホルダである。集光レンズ 171によって集光された基本 波パルス光 8が、非線形光学結晶 181へ入射すると、基本波パルス光 8の一部が波 長 532nmの第 2高調波 19に変換される。 211は、波長 1064nmの光は反射し、波 長 532nmの波長は透過する 2波長コーティングが施されたセパレートミラーで、第 2 高調波 19の光軸に対し、入射角度 45度に設置されている。 212は、セパレートミラ 一を保持するセパレートミラーホルダである。非線形光学結晶 181に入射した基本波 ノ^レス光 8のうち、一部は第 2高調波 19に変換され、残りは 1064nmの波長を維持し たまま非線形光学結晶 181を透過する。従って、非線形光学結晶 181から出射する レーザ光には、波長 1064nmの基本波パルス光 8と、波長 532nmの第 2高調波 19 が混在している。基本波パルス光 8と第 2高調波 19が混在したレーザ光をセパレート ミラー 211へ入射させ、第 2高調波 19のみ透過させることで、基本波パルス光 8と第 2 高調波 19を分離することができる。セパレートミラー 211に入射した基本波ノ ルス光 8は、セパレートミラー 211によって反射作用を被り、光軸が直角に折り曲げられる。 なお、セパレートミラー 211によって反射された基本波パルス光 8は、図示はしていな いが同じく第 2の内部筐体 2b中に配設されたダンバによって吸収される。
[0032] セパレートミラー 211によって、基本波パルス光 8から分離された第 2高調波 19は、 第 3の内部筐体 2c中に設置されたコリメートレンズ 901によって平行化され、出射窓 2 21、外部筐体 1の側壁面に設けられた出射口 24を通じ外部へ出射する。なお 222 は、出射窓 221を第 3の内部筐体 2cの側壁へ固定するための出射窓ホルダであり、 図示はしていないが、弗素ゴム性の〇リングを使用し出射窓 221固定部での密閉性 が保たれるようシールしている。 23は、発泡性の PTFE (四弗化工チレン）にて作製し たリング状のパッキンであり、出射口 24における密閉性を維持している。
[0033] 本実施の形態に示すように、 Qスィッチパルス発振を行うレーザ光源を使用した場 合、平均出力が比較的低い場合であっても、パルス光の尖頭出力は高ぐ湿度にと もなう光学部品の劣化や、異物付着にともなう光学部品の損傷に対するリスクは増大 する。本実施の形態に示すように、略密閉構造を有する外部筐体 1を設け、外部筐 体 1内の相対湿度を、除湿機 3を用いて規定値以下に管理するとともに、外部筐体 1 中に内部筐体 2を設け、内部筐体 2内に光学部品を配設し、内部筐体 2の天板部に 設置した空気清浄ユニット 4を用いて、清浄化した空気を循環させる構成とすれば、 前記実施の形態 1乃至実施の形態 3と同様な効果が得られるば力りでなぐ Qスイツ チパルス発振を行うレーザ光源を使用した場合であっても、光学部品の劣化、損傷 に対するリスクを低減し、高い信頼性のもとで、安定に高尖頭出力の Qスィッチパル ス光を供給することが可能になる。
[0034] また、第 2高調波 19への波長変換効率は、非線形光学結晶 181に対する基本波 入射強度の二乗に略比例する。従って、高い波長変換効率を得るためには、基本波 パルス光 8を、集光レンズ 171によって細径にまで絞り込む必要がある。このため、僅 かな粉塵等異物が非線形光学結晶 181の入射面に付着した場合であつても、集光 された基本波パルス光 8の照射によって、非線形光学結晶 181は容易に破壊される 。更に、本実施の形態にて非線形光学結晶 181として使用している LBO結晶は吸湿 性を有するため、湿度の高い環境中で使用した場合、空気中の水分を吸収し変色等 劣化が促進される。本実施の形態によれば、前記実施の形態 1乃至実施の形態 3と 同様な効果が得られるば力りでなぐ非線形光学結晶 181の周囲雰囲気を、清浄、 力つ湿度が管理された空気にて維持することが可能になるので、非線形光学結晶 1 81の劣化を抑制するとともに、基本波パルス光 8を細径に集光し非線形光学結晶 18 1に入射させる場合であっても、非線形光学結晶 181の損傷、破壊を防止し、高い信 頼性を維持しながら、効率よく波長変換を行うことができる。
[0035] 本実施の形態においては、第 2高調波の発生を行う非線形光学結晶 181に、 LBO 結晶を使用する構成を示したが、非線形光学結晶 181の種類はこれに限るものでは なレ、。例えば、非線形光学結晶 181に KTP (ボタジゥムタイタニルフォスファ）結晶を 使用すれば、基本波の吸収係数は大きくなるものの、高い非線形定数を有するため 、基本波が低出力であっても比較的高い波長変換効率を得ることができるし、周期反 転分極型の LN (リチウムナイオベート）結晶を使用すれば、相互作用長（コヒーレント 長）を長くすることができるので、連続発振の基本波を使用した場合であっても、効率 よく波長変換を行うことができる。要は所望する仕様、性能に応じて、適切な非線形 光学結晶を選定すればよい。
[0036] また、本実施の形態においては、第 2高調波を発生させる構成について示したが、 波長変換の種類はこれに限るものではなぐ更に高次の第 3高調波や、第 4、第 5高 調波を発生させる構成においても、非線形光学結晶を内部筐体 2中へ配置すれば、 本実施の形態と同様な効果を得ることができる。また高調波発生に限らず、光パラメト リック発振や和周波混合による波長変換についても、同様な効果が得られることは言 うまでもない。要は、波長変換を行う非線形光学結晶を内部筐体 2内に設置すれば、 本実施の形態と同様な効果を得ることができる。
[0037] また、本実施の形態においては、音響光学素子 161を用いて Qスィッチパルス発振 を行う構成について示したが、電気光学素子を使用して Qスィッチパルス発振を行う 構成についても、本実施の形態と同様な効果を得ることができる。また高尖頭パルス を発生する構成として、モード同期レーザに対し本発明を適用してもよい。例えば、 K LM (カーレンズモード同期）技術を使用した超短パルス光を CPA (チヤープパルス 増幅)方式にて増幅する構成に対しては、レーザ光源である発振器、発振器から取り 出したレーザ光のパルス幅を延長するパルス拡張器、パルス幅が拡張されたレーザ 光を増幅する再生増幅器、増幅されたレーザ光のパルス幅を圧縮するパルス圧縮器 に対し、それぞれ内部筐体 2を設け、内部筐体 2内の清浄度、ならびに湿度を管理 すれば、本実施の形態と同様な効果を得ることができる。
[0038] なお、前記実施の形態 1乃至実施の形態 4においては、ロッド型固体レーザ媒質を 光励起する励起光源として、半導体レーザを使用する構成を示したが、励起光源の 種類はこれに限るものではなぐ励起光源として放電ランプを使用しても、同様な効 果を得ることができる。
[0039] また、前記実施の形態 1乃至実施の形態 4においては、レーザ光源に使用する固 体レーザ媒質に、 Nd (ネオジゥム）がドープされたロッド型の YAG (イットリウムアルミ ニゥムガーネット)結晶を使用する構成を示したが、固体レーザ媒質の母材、活性媒 質、形状はこれに限るものではない。例えば、固体レーザ媒質として Ti (チタン)や Cr (クロム）をドープしたアルミナの単結晶を使用してもよいし、 Yb (イットリビゥム）をドー プしたスラブ型の YAG (イットリウムアルミニウムガーネット）結晶を使用してもよレ、。ま た、固体レーザ媒質として半導体を利用する所謂半導体レーザをレーザ光源として 使用する構成に対しても、本発明は適用することができる。
[0040] また、前記実施の形態 1乃至実施の形態 4においては、いずれも空気清浄器ュニッ トのメインフィルタとして、 HEPAフィルタを使用する構成を示した力 空気清浄ュニッ トの種類はこれに限るものではなレ、。例えば、メインフィルタとして ULPA (Ultra Lo w Penetration Air Filter)フィルタを使用すれば、更に集塵率を高めることがで きるし、有機成分物質やイオン性物質等を除去したい場合には、ケミカルフィルタを 併用してもよレ、。要は除去すべき不純物や粉塵に応じ、最適な空気清浄方法を選定 すればよい。また、前記実施の形態 1乃至実施の形態 4においては、いずれも空気 清浄ユニットを内部筐体の天板部に設置する構成を示したが、内部筐体に対する空 気清浄ユニットの設置個所はこれに限るものではな レーザ光源や光学系の配置 に応じ、最適な位置に配置すればよい。
[0041] また、前記実施の形態 1乃至実施の形態 4においては、いずれも固体高分子電解 質膜方式の除湿機を使用する構成を示したが、除湿機の構成はこれに限るものでは なぐ例えば、外部筐体内に乾燥剤であるシリカゲルを設置しても、同様な効果が得 られる。更に、除湿機を駆動するための電源が必要ないため、装置停止時や停電時 であっても、外部筐体内の湿度を略一定に維持することができる。
[0042] また、外部筐体の湿度、ならびに内部筐体内の粉塵量をモニタするための検出器 を設け、湿度、および粉塵量が規定値以上に達した場合に、装置を停止させるインタ ロック機構等を設ければ、更に固体レーザ装置の信頼性の向上が可能である。 産業上の利用可能性
[0043] この発明に係る波長変換レーザ装置は、レーザ装置の設置のためにクリーンルー ム等を準備するのが困難な場合に適している。

Claims

請求の範囲
[1] 固体レーザ媒質と光共振器を有したレーザ光源と、
前記レーザ光源より発せられたレーザ光を伝送または遮断する光学系と、 略密閉構造を有し前記レーザ光源と前記光学系を内部に配置する外部筐体と、 前記外部筐体内部に設けられ前記レーザ光源、前記光学系または前記光学系の一 部を内部に配置する単数もしくは複数の内部筐体と、
前記外部筐体内の空気を浄化し、前記内部筐体内にこの浄化した空気を供給し、前 記内部筐体内の気圧を前記外部筐体内の気圧よりも高くする清浄空気供給手段と、 を備えたことを特徴とする固体レーザ装置。
[2] 前記内部筐体に、前記清浄空気供給手段より前記内部筐体内に供給された浄化空 気を前記外部筐体内に排気する排気口を設けたことを特徴とする請求項 1に記載の 固体レーザ装置。
[3] 前記内部筐体と、略密閉構造を有し前記光学系の一部を内部に設けたユニットとを ダクトで連通したことを特徴とする請求項 1または 2のいずれかに記載の固体レーザ 装置。
[4] 前記内部筐体を複数備え、前記内部筐体間をダクトで連通したことを特徴とする請求 項 1または 2のいずれかに記載の固体レーザ装置。
[5] 前記複数の内部筐体のうち一部の内部筐体のみに前記清浄空気供給手段を設けた ことを特徴とする請求項 4に記載の固体レーザ装置。
[6] 1つの前記内部筐体に複数の前記清浄空気供給手段を設けたことを特徴とする請求 項 1〜5のいずれかに記載の固体レーザ装置。
[7] 前記外部筐体内の水分を除去する除湿手段を備えたことを特徴とする請求項：!〜 6 のいずれかに記載の固体レーザ装置。
[8] 非線形光学結晶を前記内部筐体内に配置したことを特徴とする請求項:!〜 7のいず れかに記載の固体レーザ装置。
[9] 前記固体レーザ媒質を光励起する励起光源が半導体レーザであることを特徴とする 請求項：!〜 8のいずれかに記載の固体レーザ装置。
[10] 前記固体レーザ媒質が半導体であることを特徴とする請求項 1〜8のいずれかに記 載の固体レーザ装置。
[11] 前記レーザ光源が Qスィッチパルス発振を行うことを特徴とする請求項 1〜： 10のいず れかに記載の固体レーザ装置。
[12] レーザ光源がモード同期パルス発振を行うことを特徴とする請求項 1〜： 10のいずれ かに記載の固体レーザ装置。
PCT/JP2006/310040 2005-06-02 2006-05-19 固体レーザ装置 Ceased WO2006129502A1 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11/916,114 US20090141746A1 (en) 2005-06-02 2006-05-19 Solid-state laser device
JP2007518911A JP4803176B2 (ja) 2005-06-02 2006-05-19 固体レーザ装置
DE112006001413T DE112006001413T5 (de) 2005-06-02 2006-05-19 Festkörper-Lasergerät

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005162607 2005-06-02
JP2005-162607 2005-06-02

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2006129502A1 true WO2006129502A1 (ja) 2006-12-07

Family

ID=37481432

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2006/310040 Ceased WO2006129502A1 (ja) 2005-06-02 2006-05-19 固体レーザ装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20090141746A1 (ja)
JP (1) JP4803176B2 (ja)
CN (1) CN101189766A (ja)
DE (1) DE112006001413T5 (ja)
WO (1) WO2006129502A1 (ja)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008244084A (ja) * 2007-03-27 2008-10-09 Gigaphoton Inc 紫外線ガスレーザ装置
WO2009049978A3 (de) * 2007-10-10 2009-08-20 Bosch Gmbh Robert Lasermodul
EP2031712A3 (en) * 2007-08-30 2011-08-17 The Boeing Company Minimizing wavefront errors in resonators with thin disk lasers
JP2011211234A (ja) * 2011-06-24 2011-10-20 Gigaphoton Inc 紫外線ガスレーザ装置
US8699128B2 (en) * 2009-10-16 2014-04-15 Olympus Corporation Laser scanning microscope
JP2017045753A (ja) * 2015-08-24 2017-03-02 ファナック株式会社 保守作業用の温度管理機能を有するレーザ装置
JP2020516073A (ja) * 2017-03-29 2020-05-28 アイピージー フォトニクス コーポレーション 小型ブラッグ格子パルス成形器を有するチャープパルス増幅レーザーシステム及び、これを近変換限界パルスを発生させるために動作させる方法
JP2022190278A (ja) * 2021-06-14 2022-12-26 シヤチハタ株式会社 光学式距離測定装置の較正装置

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7768678B2 (en) * 2006-05-15 2010-08-03 Xerox Corporation Systems, methods and devices for rotating images
WO2011162776A1 (en) * 2010-06-25 2011-12-29 Markem-Imaje Corporation Ingress protected laser
DE102011007730B4 (de) * 2011-04-20 2017-03-30 Trumpf Laser Gmbh Laservorrichtung mit einem gasgespülten Laserresonator und zugehöriges Spülverfahren
US9116445B2 (en) 2012-11-29 2015-08-25 Kla-Tencor Corporation Resonant cavity conditioning for improved nonlinear crystal performance
CN103701014A (zh) * 2013-12-26 2014-04-02 中国科学院半导体研究所 便携式激光器专用工具箱
CN104733986B (zh) * 2015-03-31 2018-01-16 无锡庆源激光科技有限公司 具有独立智能控温功能的紫外激光器壳体总成
JP6285404B2 (ja) * 2015-12-04 2018-02-28 ファナック株式会社 結露防止機能を有するレーザ装置
CN108603984A (zh) * 2016-03-23 2018-09-28 松下知识产权经营株式会社 光纤空间耦合装置
CN107052595A (zh) * 2017-03-28 2017-08-18 长葛市大阳纸业有限公司 接装纸激光打孔机
CN107482424A (zh) * 2017-08-10 2017-12-15 苏州川普光电有限公司 激光器恒温恒湿稳定系统
JP6687663B2 (ja) * 2018-04-12 2020-04-28 ファナック株式会社 筐体の内部の熱を外部に放出する熱移動装置を備えるレーザ装置
CN114843868B (zh) * 2018-04-23 2025-12-16 极光先进雷射株式会社 激光腔和电子器件的制造方法
WO2020071562A1 (ja) * 2018-10-05 2020-04-09 英弘精機株式会社 気象観測用ライダー
US10852494B2 (en) * 2018-12-11 2020-12-01 The Boeing Company Avionics pluggable active optical connector
CN110600975A (zh) * 2019-09-06 2019-12-20 南京罗默激光科技有限公司 一种固体激光器用空气净化装置及固体激光器
CN110932061B (zh) * 2020-02-20 2021-04-27 南京泰普森自动化设备有限公司 激光装置
CN112775540B (zh) * 2021-01-08 2024-05-24 桂林电子科技大学 一种直耦式水导激光耦合系统及方法
CN115282697A (zh) * 2022-10-10 2022-11-04 武汉锐科光纤激光技术股份有限公司 固体腔的空气净化器
CN116632638A (zh) * 2023-04-28 2023-08-22 济南金威刻科技发展有限公司 一种多波长交叉锁模飞秒激光器核心插件

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5624168U (ja) * 1979-07-30 1981-03-04
JPH057034A (ja) * 1991-06-27 1993-01-14 Komatsu Ltd レーザ装置
JPH05115569A (ja) * 1991-10-25 1993-05-14 Olympus Optical Co Ltd レーザー装置
JPH06224524A (ja) * 1992-11-02 1994-08-12 Mitsubishi Electric Corp レーザ装置、レーザプロセッシング装置およびビームパターン解析方法
JPH08332586A (ja) * 1995-06-05 1996-12-17 Mitsubishi Electric Corp レーザ加工装置
JPH10284790A (ja) * 1997-04-03 1998-10-23 Komatsu Ltd 狭帯域化光学素子用ハウジング装置
JPH1126858A (ja) * 1997-07-04 1999-01-29 Toshiba Corp Ｑスイッチ発振固体レーザ装置の制御方法及びｑスイッチ発振固体レーザ装置
JP2000187107A (ja) * 1998-12-24 2000-07-04 Nippei Toyama Corp レーザ加工機のミラー冷却装置
JP2001210899A (ja) * 2000-01-28 2001-08-03 Mitsui Chemicals Inc 半導体レーザ励起固体レーザ装置
JP2001251002A (ja) * 2000-03-03 2001-09-14 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> レーザ装置
JP2003060268A (ja) * 2001-08-21 2003-02-28 Mitsubishi Electric Corp 固体レーザ装置
JP2003283024A (ja) * 2002-03-25 2003-10-03 Fujitsu Ltd 波長可変レーザ

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4271757A (en) * 1979-05-18 1981-06-09 Markem Corporation Rotary offset article printing system

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5624168U (ja) * 1979-07-30 1981-03-04
JPH057034A (ja) * 1991-06-27 1993-01-14 Komatsu Ltd レーザ装置
JPH05115569A (ja) * 1991-10-25 1993-05-14 Olympus Optical Co Ltd レーザー装置
JPH06224524A (ja) * 1992-11-02 1994-08-12 Mitsubishi Electric Corp レーザ装置、レーザプロセッシング装置およびビームパターン解析方法
JPH08332586A (ja) * 1995-06-05 1996-12-17 Mitsubishi Electric Corp レーザ加工装置
JPH10284790A (ja) * 1997-04-03 1998-10-23 Komatsu Ltd 狭帯域化光学素子用ハウジング装置
JPH1126858A (ja) * 1997-07-04 1999-01-29 Toshiba Corp Ｑスイッチ発振固体レーザ装置の制御方法及びｑスイッチ発振固体レーザ装置
JP2000187107A (ja) * 1998-12-24 2000-07-04 Nippei Toyama Corp レーザ加工機のミラー冷却装置
JP2001210899A (ja) * 2000-01-28 2001-08-03 Mitsui Chemicals Inc 半導体レーザ励起固体レーザ装置
JP2001251002A (ja) * 2000-03-03 2001-09-14 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> レーザ装置
JP2003060268A (ja) * 2001-08-21 2003-02-28 Mitsubishi Electric Corp 固体レーザ装置
JP2003283024A (ja) * 2002-03-25 2003-10-03 Fujitsu Ltd 波長可変レーザ

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008244084A (ja) * 2007-03-27 2008-10-09 Gigaphoton Inc 紫外線ガスレーザ装置
EP2031712A3 (en) * 2007-08-30 2011-08-17 The Boeing Company Minimizing wavefront errors in resonators with thin disk lasers
WO2009049978A3 (de) * 2007-10-10 2009-08-20 Bosch Gmbh Robert Lasermodul
US8699128B2 (en) * 2009-10-16 2014-04-15 Olympus Corporation Laser scanning microscope
JP2011211234A (ja) * 2011-06-24 2011-10-20 Gigaphoton Inc 紫外線ガスレーザ装置
JP2017045753A (ja) * 2015-08-24 2017-03-02 ファナック株式会社 保守作業用の温度管理機能を有するレーザ装置
JP2020516073A (ja) * 2017-03-29 2020-05-28 アイピージー フォトニクス コーポレーション 小型ブラッグ格子パルス成形器を有するチャープパルス増幅レーザーシステム及び、これを近変換限界パルスを発生させるために動作させる方法
JP7189146B2 (ja) 2017-03-29 2022-12-13 アイピージー フォトニクス コーポレーション 小型ブラッグ格子パルス成形器を有するチャープパルス増幅レーザーシステム及び、これを近変換限界パルスを発生させるために動作させる方法
JP2022190278A (ja) * 2021-06-14 2022-12-26 シヤチハタ株式会社 光学式距離測定装置の較正装置
JP7718651B2 (ja) 2021-06-14 2025-08-05 シヤチハタ株式会社 恒温槽

Also Published As

Publication number Publication date
DE112006001413T5 (de) 2008-04-30
JPWO2006129502A1 (ja) 2008-12-25
CN101189766A (zh) 2008-05-28
US20090141746A1 (en) 2009-06-04
JP4803176B2 (ja) 2011-10-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4803176B2 (ja) 固体レーザ装置
EP2888790B1 (en) High power solid-state laser with replaceable module for uv generation
US6671303B1 (en) Closed-loop purging system for laser
US11165215B2 (en) Purging system for a laser system
US6667828B2 (en) Apparatus and method using a nonlinear optical crystal
JP7169062B2 (ja) レーザ加工装置及びレーザ発振器
JP2020514793A (ja) 高温光学分子汚染防止ゲッターシステム
JP2004317566A (ja) レーザ装置及びレーザ波長変換装置
US7075965B2 (en) Wavelength conversion laser apparatus
JP2008242184A (ja) 波長変換装置、紫外線レーザ装置およびレーザ加工装置
WO2013153704A1 (ja) レーザ装置
US6798813B2 (en) Closed-loop purging system for laser
US7088751B2 (en) Solid-state laser apparatus
JP7169063B2 (ja) レーザ加工装置及びレーザ発振器
JP2010243559A (ja) 光源装置
JPH02156583A (ja) レーザダイオード励起固体レーザ
JP2000305119A (ja) 波長変換用光学素子
JPH01218081A (ja) レーザ発振装置
JP2007123322A (ja) レーザ装置並びにレーザ装置の運転方法
JP2001024258A (ja) レーザ発振装置
JP2000252554A (ja) 真空紫外レーザ
JPH0195579A (ja) 気体レーザ装置
JP2010212570A (ja) レーザ発振装置
JPWO2015125634A1 (ja) 波長変換装置

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 200680019748.X

Country of ref document: CN

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
DPE1 Request for preliminary examination filed after expiration of 19th month from priority date (pct application filed from 20040101)
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2007518911

Country of ref document: JP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1120060014137

Country of ref document: DE

RET De translation (de og part 6b)

Ref document number: 112006001413

Country of ref document: DE

Date of ref document: 20080430

Kind code of ref document: P

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 06756396

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 11916114

Country of ref document: US

REG Reference to national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: 8607