JPWO2006129502A1 - 固体レーザ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、この発明の実施の形態1における固体レーザ装置の構成を示す模式図である。図1において、1は略密閉構造を有する外部筐体で、レーザ光、ならびに散乱光の外部への漏洩を防止する保護筐体を兼ねる。ここで、略密閉構造とはIEC規格529に基づき規定された異物浸入保護等級で、IP21乃至IP56、もしくは当該等級相当の密閉性を有した構造を意味する(以下同様)。2は、外部筐体1内に配設された内部筐体である。3は、外部筐体1の側壁面に設置された除湿手段である除湿機で、外部筐体1内の水分を外部筐体1外へ放出する。301、302は、外部筐体1内の水分301、ならびに外部筐体1外へ放出される水分302を、模式的に示した点線である。なお本実施の形態では、除湿機3に固体高分子電解質膜を利用し、外部筐体1内の水分301を電気分解する菱彩テクニカ株式会社製のSP除湿機ロサールを使用している。4は、内部筐体2の天板部に配設された清浄空気供給手段である空気清浄ユニットで、粒径数10乃至数100ミクロンの粉塵を予め除去するプレフィルタ401、外部筐体1内の空気を内部筐体2中へ導入するファン402、粒径10ミクロン以下の粉塵まで除去することができるメインフィルタ403から構成されている。本実施の形態では、プレフィルタ401には、グラスウールを使用しており、またメインフィルタ403には、粒径0.3ミクロンの粒子を99.97%以上捕集することができるHEPA(High Efficiency Particle Air Filter)フィルタを使用している。404は、外部筐体1中の空気、405は、空気清浄ユニット4によって内部筐体2中へ導入される空気、406は、内部筐体2の排気口201から外部筐体1中へ排出される空気を示す一点鎖線である。ここで、排気口201は特別に設けなくとも、内部筐体2への配線や配管に伴う隙間等を利用してもかまわない。
図2は、この発明の実施の形態2における固体レーザ装置の構成を示す模式図である。本実施の形態においては、略密閉構造を有する単一の外部筐体1中に、2つの内部筐体2a、2bを設けている。第1の内部筐体2a中には、前記実施の形態1と同じく、コリメートレンズ901、ならびにプロセスシャッタユニット10、安全シャッタユニット11が配設されている。また第2の内部筐体2b中には、2台のキャビティユニット5a、5b、ならびに全反射鏡601、部分反射鏡701からなるレーザ光源が配設されている。
図3は、この発明の実施の形態3における固体レーザ装置の構成を示す模式図である。本実施の形態においては、レーザ光8を光ファイバ13へ伝送する光学系を構成するユニットであるコリメートレンズ901、プロセスシャッタユニット10、安全シャッタユニット11に対し、内部筐体2a、2b、2cを個別に設置している。本実施の形態によっても、前記実施の形態1乃至実施の形態2と同様な効果が得られるばかりでなく、各ユニットに対し個別に内部筐体2a、2b、2cを設けているので、各ユニットのメンテナンス作業を実施する際、対象となるユニット部分のみ内部筐体2を開放すればよいので、他のユニットの内部筐体2中へ、粉塵等が浸入するリスクを効果的に低減し、更に信頼性を高めることができる。
図4は、この発明の実施の形態4における固体レーザ装置の構成を示す模式図である。なお本実施の形態においては、非線形光学結晶を用いた波長変換技術により、第2高調波を発生する構成を示している。図4中、161は、第1の内部筐体2a中において、ロッド型固体レーザ媒質501と全反射鏡601の間に配設された音響光学素子で、一定の周期で共振器損失に変調を与えることで、Qスイッチパルス発振を行う。162は、音響光学素子161を保持し、かつ音響光学素子161の角度調整機構が設けられた音響光学素子ホルダである。本実施の形態においても、ロッド型固体レーザ媒質501には、Nd(ネオジウム)がドープされたYAG(イットリウムアルミニウムガーネット)結晶を使用しており、第1の内部筐体2a中に設置されたレーザ光源からは、波長が1064nm(ナノメータ)で、パルス幅が60乃至70ns(ナノ秒)程度の基本波パルス光8が発せられる。
Claims (12)
- 固体レーザ媒質と光共振器を有したレーザ光源と、
前記レーザ光源より発せられたレーザ光を伝送または遮断する光学系と、
略密閉構造を有し前記レーザ光源と前記光学系を内部に配置する外部筐体と、
前記外部筐体内部に設けられ前記レーザ光源、前記光学系または前記光学系の一部を内部に配置する単数もしくは複数の内部筐体と、
前記外部筐体内の空気を浄化し、前記内部筐体内にこの浄化した空気を供給し、前記内部筐体内の気圧を前記外部筐体内の気圧よりも高くする清浄空気供給手段と、
を備えたことを特徴とする固体レーザ装置。 - 前記内部筐体に、前記清浄空気供給手段より前記内部筐体内に供給された浄化空気を前記外部筐体内に排気する排気口を設けたことを特徴とする請求項1に記載の固体レーザ装置。
- 前記内部筐体と、略密閉構造を有し前記光学系の一部を内部に設けたユニットとをダクトで連通したことを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の固体レーザ装置。
- 前記内部筐体を複数備え、前記内部筐体間をダクトで連通したことを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の固体レーザ装置。
- 前記複数の内部筐体のうち一部の内部筐体のみに前記清浄空気供給手段を設けたことを特徴とする請求項4に記載の固体レーザ装置。
- 1つの前記内部筐体に複数の前記清浄空気供給手段を設けたことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の固体レーザ装置。
- 前記外部筐体内の水分を除去する除湿手段を備えたことを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の固体レーザ装置。
- 非線形光学結晶を前記内部筐体内に配置したことを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の固体レーザ装置。
- 前記固体レーザ媒質を光励起する励起光源が半導体レーザであることを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の固体レーザ装置。
- 前記固体レーザ媒質が半導体であることを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の固体レーザ装置。
- 前記レーザ光源がQスイッチパルス発振を行うことを特徴とする請求項1〜10のいずれかに記載の固体レーザ装置。
- レーザ光源がモード同期パルス発振を行うことを特徴とする請求項1〜10のいずれかに記載の固体レーザ装置。
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