JPH057034A - レーザ装置 - Google Patents
レーザ装置Info
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- JPH057034A JPH057034A JP18154291A JP18154291A JPH057034A JP H057034 A JPH057034 A JP H057034A JP 18154291 A JP18154291 A JP 18154291A JP 18154291 A JP18154291 A JP 18154291A JP H057034 A JPH057034 A JP H057034A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 狭帯域化用光学素子が雰囲気中の塵埃によっ
て損傷されるのを防止する。 【構成】狭帯域化用光学素子であるプリズム２４、２
６、エタロン２８や回折格子２２を容器３０に収納する
とともに、容器３０の内部に気体清浄器３４を設け、容
器内の気体４４を浄化する。
て損傷されるのを防止する。 【構成】狭帯域化用光学素子であるプリズム２４、２
６、エタロン２８や回折格子２２を容器３０に収納する
とともに、容器３０の内部に気体清浄器３４を設け、容
器内の気体４４を浄化する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、発振したレーザ光から
目的とする波長を選択できる狭帯域化用光学素子を有す
るレーザ装置に関する。
目的とする波長を選択できる狭帯域化用光学素子を有す
るレーザ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】大規模集積回路などの半導体装置製造用
の縮小投影露光装置（以下、ステッパと称する）の光源
として、エキシマレーザが注目されている。これは、
（ａ）エキシマレーザの波長が短い（例えば、ＫｒＦの
発振波長は約２４８．４ｎｍである）ため、光露光の限
界を０．５μｍ以下にすることが可能性であること、
（ｂ）同じ解像度であれば、従来使用していた水銀ラン
プのｇ線やｉ線に比較して焦点深度が深いこと、（ｃ）
レンズの開口数（ＮＡ）が小さくて済み、露光領域を大
きくとることができること、（ｄ）大きな出力が得られ
ること、等の多くの利点を期待できることによる。
の縮小投影露光装置（以下、ステッパと称する）の光源
として、エキシマレーザが注目されている。これは、
（ａ）エキシマレーザの波長が短い（例えば、ＫｒＦの
発振波長は約２４８．４ｎｍである）ため、光露光の限
界を０．５μｍ以下にすることが可能性であること、
（ｂ）同じ解像度であれば、従来使用していた水銀ラン
プのｇ線やｉ線に比較して焦点深度が深いこと、（ｃ）
レンズの開口数（ＮＡ）が小さくて済み、露光領域を大
きくとることができること、（ｄ）大きな出力が得られ
ること、等の多くの利点を期待できることによる。
【０００３】半導体装置は、近年、ますます高密度化さ
れており、極めて微細な加工が行われる。このため、ス
テッパの光源として利用されるエキシマレーザについて
は、線幅を３ｐｍ以下とすることが要求されている。そ
こで、ステッパ用エキシマレーザにおいては、発振した
レーザ光を狭帯域化用光学素子であるエタロン、プリズ
ムビームエキスパンダ、回折格子（グレーティング）
等、またはこれらの組み合わせを用いてビームの狭帯域
化を図っている。
れており、極めて微細な加工が行われる。このため、ス
テッパの光源として利用されるエキシマレーザについて
は、線幅を３ｐｍ以下とすることが要求されている。そ
こで、ステッパ用エキシマレーザにおいては、発振した
レーザ光を狭帯域化用光学素子であるエタロン、プリズ
ムビームエキスパンダ、回折格子（グレーティング）
等、またはこれらの組み合わせを用いてビームの狭帯域
化を図っている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ステッパ用
光源は、大きな出力パワーが要求されるため、上記の狭
帯域化用光学素子に入力する光のエネルギー量も大きな
ものとなっている。このため、狭帯域化用光学素子は、
入射する高エネルギーのレーザ光によって損傷、劣化し
て素子の寿命が短くなり、レーザ装置の出力効率、稼働
率を低下させる。そして、狭帯域化用光学素子の損傷、
劣化を早める大きな要因として、光学素子が置かれた雰
囲気中の塵埃がある。すなわち、素子に付着した塵埃
は、レーザ光を吸収して発熱し、素子の損傷を引き起こ
す。
光源は、大きな出力パワーが要求されるため、上記の狭
帯域化用光学素子に入力する光のエネルギー量も大きな
ものとなっている。このため、狭帯域化用光学素子は、
入射する高エネルギーのレーザ光によって損傷、劣化し
て素子の寿命が短くなり、レーザ装置の出力効率、稼働
率を低下させる。そして、狭帯域化用光学素子の損傷、
劣化を早める大きな要因として、光学素子が置かれた雰
囲気中の塵埃がある。すなわち、素子に付着した塵埃
は、レーザ光を吸収して発熱し、素子の損傷を引き起こ
す。
【０００５】本発明は、前記従来技術の欠点を解消する
ためになれたもので、狭帯域化用光学素子が雰囲気中の
塵埃によって損傷されるのを防止することができるレー
ザ装置を提供することを目的としている。
ためになれたもので、狭帯域化用光学素子が雰囲気中の
塵埃によって損傷されるのを防止することができるレー
ザ装置を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明に係るレーザ装置は、発振されたレーザ光
から特定の波長を選択する狭帯域化用光学素子を備えた
レーザ装置において、前記狭帯域化用光学素子を収納す
る容器と、この容器内の気体を浄化する気体清浄器とを
設けたことを特徴としている。
めに、本発明に係るレーザ装置は、発振されたレーザ光
から特定の波長を選択する狭帯域化用光学素子を備えた
レーザ装置において、前記狭帯域化用光学素子を収納す
る容器と、この容器内の気体を浄化する気体清浄器とを
設けたことを特徴としている。
【０００７】気体清浄器は、容器内の気体を循環させる
気体循環機とフィルタとから構成してよい。そして、気
体循環機は、送風機である軸流ファン、シロッコファ
ン、クロスフローファン等のファンまたはターボブロ
ア、リングブロア等のブロアや、ダイヤフラムポンプ、
ロータリポンプ等のエアポンプなどを用いることができ
る。また、気体清浄器として、静電集塵器や電気集塵機
等を用いてもよい。
気体循環機とフィルタとから構成してよい。そして、気
体循環機は、送風機である軸流ファン、シロッコファ
ン、クロスフローファン等のファンまたはターボブロ
ア、リングブロア等のブロアや、ダイヤフラムポンプ、
ロータリポンプ等のエアポンプなどを用いることができ
る。また、気体清浄器として、静電集塵器や電気集塵機
等を用いてもよい。
【０００８】さらに、容器には、外部の気体を流入させ
る流入口と容器内の気体を流出させる流出口とを形成
し、流入口に上記したような気体清浄器を接続し、外部
から容器に流入させ気体を気体清浄器によって浄化して
もよい。
る流入口と容器内の気体を流出させる流出口とを形成
し、流入口に上記したような気体清浄器を接続し、外部
から容器に流入させ気体を気体清浄器によって浄化して
もよい。
【０００９】
【作用】上記の如く構成した本発明は、気体清浄器が狭
帯域化用光学素子を収納した容器内の気体中に存在する
塵埃を除去し、気体を清浄化する。このため、容器内の
光学素子には、塵埃が付着することがなく、塵埃による
光学素子の損傷を防止することができる。
帯域化用光学素子を収納した容器内の気体中に存在する
塵埃を除去し、気体を清浄化する。このため、容器内の
光学素子には、塵埃が付着することがなく、塵埃による
光学素子の損傷を防止することができる。
【００１０】また、狭帯域化用光学素子を収納した容器
に外部の気体を流入させ、内部の気体を排出させるとと
もに、容器に流入する気体を気体清浄器によって浄化す
ることにより、塵埃による光学素子の損傷を防ぐことが
できるばかりでなく、光学素子の冷却が図れ、光学素子
の熱的影響によるレーザ出力の変動等を防止することが
できる。
に外部の気体を流入させ、内部の気体を排出させるとと
もに、容器に流入する気体を気体清浄器によって浄化す
ることにより、塵埃による光学素子の損傷を防ぐことが
できるばかりでなく、光学素子の冷却が図れ、光学素子
の熱的影響によるレーザ出力の変動等を防止することが
できる。
【００１１】
【実施例】本発明に係るレーザ装置の好ましい実施例
を、添付図面に従って詳説する。図１は、本発明の第１
実施例に係るエキシマレーザ装置の説明図である。
を、添付図面に従って詳説する。図１は、本発明の第１
実施例に係るエキシマレーザ装置の説明図である。
【００１２】図１において、レーザ装置１０は、レーザ
ヘッド１２にＫｒＦ等のガス状レーザ媒質が収納してあ
る。そして、レーザヘッド１２の両端には、窓１４、１
６が設けてあり、レーザヘッド内のレーザ媒質を放電励
起して発生させたレーザ光１８を、窓１４、１６から出
射することができるようにしてある。
ヘッド１２にＫｒＦ等のガス状レーザ媒質が収納してあ
る。そして、レーザヘッド１２の両端には、窓１４、１
６が設けてあり、レーザヘッド内のレーザ媒質を放電励
起して発生させたレーザ光１８を、窓１４、１６から出
射することができるようにしてある。
【００１３】窓１４は、出力窓となっていて、この出力
窓１４の前方に出力ミラー２０が配置してある。また、
この出力ミラー２０は、窓１６の後方（図の右方）に設
けた回折格子２２と共振器を構成している。そして、回
折格子２２は、プリズム２４、２６、エタロン２８と同
様に、レーザヘッド１２から出射されたレーザ光から、
所定の波長のレーザ光を選択する狭帯域化用光学素子で
あって、容器３０にプリズム２４、２６、エタロン２８
とともに収納されている。
窓１４の前方に出力ミラー２０が配置してある。また、
この出力ミラー２０は、窓１６の後方（図の右方）に設
けた回折格子２２と共振器を構成している。そして、回
折格子２２は、プリズム２４、２６、エタロン２８と同
様に、レーザヘッド１２から出射されたレーザ光から、
所定の波長のレーザ光を選択する狭帯域化用光学素子で
あって、容器３０にプリズム２４、２６、エタロン２８
とともに収納されている。
【００１４】容器３０には、レーザヘッド１２に設けた
窓１６に対面して窓３２が形成してあり、窓１６から出
射されたレーザ光１８をプリズム２４、２６とエタロン
２８を介して回折格子２２に入射し、さらに回折格子２
２から反射されたレーザ光を窓１６を介してレーザヘッ
ド１２に入射する。一方、容器３０の底部には、気体清
浄器３４が配置してある。
窓１６に対面して窓３２が形成してあり、窓１６から出
射されたレーザ光１８をプリズム２４、２６とエタロン
２８を介して回折格子２２に入射し、さらに回折格子２
２から反射されたレーザ光を窓１６を介してレーザヘッ
ド１２に入射する。一方、容器３０の底部には、気体清
浄器３４が配置してある。
【００１５】気体清浄器３４は、ケーシング３６の内部
に、気体循環機である軸流ファン３８が上向きに設けて
ある。そして、ケーシング３６には、下部にフィルタ４
０を取り付けた吸込口が形成してあり、上部にフィルタ
４２を取り付けた吹出口が設けてあって、軸流ファン３
８が循環させる容器３０内の気体４４に含まれる塵埃を
除去し、気体４４を浄化できるようにしてある。
に、気体循環機である軸流ファン３８が上向きに設けて
ある。そして、ケーシング３６には、下部にフィルタ４
０を取り付けた吸込口が形成してあり、上部にフィルタ
４２を取り付けた吹出口が設けてあって、軸流ファン３
８が循環させる容器３０内の気体４４に含まれる塵埃を
除去し、気体４４を浄化できるようにしてある。
【００１６】上記の如く構成した実施例は、気体清浄器
３４の軸流ファン３８を駆動すると、容器３０の気体４
４がケーシング３６の下部に形成した吸込口から、フィ
ルタ４０を透過してケーシング内に流入し、ケーシング
３６の上部の吹出口から、フィルタ４２を透過して吹き
出され、容器３０内を循環する。そして、容器３０の内
部を循環する気体４４は、フィルタ４０、４２によって
塵埃が除去され、浄化される。
３４の軸流ファン３８を駆動すると、容器３０の気体４
４がケーシング３６の下部に形成した吸込口から、フィ
ルタ４０を透過してケーシング内に流入し、ケーシング
３６の上部の吹出口から、フィルタ４２を透過して吹き
出され、容器３０内を循環する。そして、容器３０の内
部を循環する気体４４は、フィルタ４０、４２によって
塵埃が除去され、浄化される。
【００１７】このため、狭帯域化用光学素子であるプリ
ズム２４、２６、エタロン２８や回折格子２２に塵埃が
付着することがなく、従来生じていた塵埃のレーザ光１
８による発熱に伴うエタロン２８等の光学素子の損傷、
劣化の防止が図れる。この結果、容器内の塵埃の影響に
よるレーザ装置１０の出力効率の低下や稼働率の低下を
防ぐことができる。
ズム２４、２６、エタロン２８や回折格子２２に塵埃が
付着することがなく、従来生じていた塵埃のレーザ光１
８による発熱に伴うエタロン２８等の光学素子の損傷、
劣化の防止が図れる。この結果、容器内の塵埃の影響に
よるレーザ装置１０の出力効率の低下や稼働率の低下を
防ぐことができる。
【００１８】図２は、第２実施例を示したものである。
本実施例は、気体清浄器３４が容器３０の下端外部に取
り付けてある。気体清浄器３４は、吸込口４６と吹出口
４８とを介して容器３０に連通しており、軸流ファン３
８を駆動することにより、容器内の気体４４を循環する
ことができるようになっている。そして、軸流ファン３
８の吸込側と吹出側とには、気体４４を浄化するフィル
タ５０、５２が配設してあり、上記第１実施例と同様の
効果が得られるようにしてある。
本実施例は、気体清浄器３４が容器３０の下端外部に取
り付けてある。気体清浄器３４は、吸込口４６と吹出口
４８とを介して容器３０に連通しており、軸流ファン３
８を駆動することにより、容器内の気体４４を循環する
ことができるようになっている。そして、軸流ファン３
８の吸込側と吹出側とには、気体４４を浄化するフィル
タ５０、５２が配設してあり、上記第１実施例と同様の
効果が得られるようにしてある。
【００１９】図３は、第３実施例を示したものである。
本実施例は、気体清浄器３４の気体循環機としてシロッ
コファン５４が用いられている。そして、シロッコファ
ン５４の吸込口に対応した部分のケーシング３６に吸込
口を設け、ケーシング吸込口に、吸引する気体４４を浄
化するフィルタ５６が取り付けてある。また、ケーシン
グ３６の吹出口にもフィルタ５８が設けてあり、容器３
０に戻す気体４４を浄化するようにしている。
本実施例は、気体清浄器３４の気体循環機としてシロッ
コファン５４が用いられている。そして、シロッコファ
ン５４の吸込口に対応した部分のケーシング３６に吸込
口を設け、ケーシング吸込口に、吸引する気体４４を浄
化するフィルタ５６が取り付けてある。また、ケーシン
グ３６の吹出口にもフィルタ５８が設けてあり、容器３
０に戻す気体４４を浄化するようにしている。
【００２０】図４は、第４実施例を示したものである。
本実施例は、気体清浄器３４の気体循環機がダイヤフラ
ムポンプ、ロータリポンプ等のエアポンプ６０となって
いる。このエアポンプ６０は、吸引管６２と吐出管６４
とを介して容器３０に連通し、容器３０内の気体を循環
させる。そして、吐出管６４には、フィルタ６６が配置
してあり、エアポンプ６０が吐出した気体４４を浄化で
きるようにしてある。本実施例も、前記実施例と同様の
効果を奏することができる。
本実施例は、気体清浄器３４の気体循環機がダイヤフラ
ムポンプ、ロータリポンプ等のエアポンプ６０となって
いる。このエアポンプ６０は、吸引管６２と吐出管６４
とを介して容器３０に連通し、容器３０内の気体を循環
させる。そして、吐出管６４には、フィルタ６６が配置
してあり、エアポンプ６０が吐出した気体４４を浄化で
きるようにしてある。本実施例も、前記実施例と同様の
効果を奏することができる。
【００２１】図５は、第５実施例の説明図である。本実
施例は、容器３０の上部に外気６８を流入させる流入口
７０が形成してあり、容器３０の下部に容器内の空気７
１を排出する流出口７２が設けてある。そして、流入口
７０には、気体清浄器３４が取り付けてあり、容器３０
に供給する外気６８を除塵し、容器３０に清浄空気７４
が流入するようになっている。
施例は、容器３０の上部に外気６８を流入させる流入口
７０が形成してあり、容器３０の下部に容器内の空気７
１を排出する流出口７２が設けてある。そして、流入口
７０には、気体清浄器３４が取り付けてあり、容器３０
に供給する外気６８を除塵し、容器３０に清浄空気７４
が流入するようになっている。
【００２２】すなわち、容器３０の流入口７０に取り付
けた気体清浄器３４は、ケーシング３６の吸込口と吹出
口とにフィルタ５０、５２が設けてあり、これらのフィ
ルタ５０、５２がケーシング３６の内部に配置した軸流
ファン３８が吸い込み、吹き出す外気６８を浄化し、清
浄空気７４にして容器３０に供給するようにしてある。
また、容器３０の流出口７２には、弁などの流量調節器
７６が設けてあり、流出口７２からの排気量を調節でき
るようにしてある。
けた気体清浄器３４は、ケーシング３６の吸込口と吹出
口とにフィルタ５０、５２が設けてあり、これらのフィ
ルタ５０、５２がケーシング３６の内部に配置した軸流
ファン３８が吸い込み、吹き出す外気６８を浄化し、清
浄空気７４にして容器３０に供給するようにしてある。
また、容器３０の流出口７２には、弁などの流量調節器
７６が設けてあり、流出口７２からの排気量を調節でき
るようにしてある。
【００２３】本実施例においては、外気６８を浄化して
容器３０に供給するとともに、容器内の空気７１を排出
できるようにしてあるため、狭帯域化用光学素子に塵埃
が付着するのを防止することができるばかりでなく、容
器内を冷却する効果が得られ、プリズム２４、２６、エ
タロン２８、回折格子２２などの狭帯域化用光学素子の
温度上昇防止して、光学素子の熱変形等によるレーザ光
１８への影響が生じるのを防ぐことができる。なお、本
実施例においては、流入口７０から容器３０に流入する
外気６８の量と、流出口７２から外部に排出する空気７
１の量とを調節することにより、容器内の圧力を一定に
保持し、圧力変化による光学素子への影響を避けること
が望ましい。
容器３０に供給するとともに、容器内の空気７１を排出
できるようにしてあるため、狭帯域化用光学素子に塵埃
が付着するのを防止することができるばかりでなく、容
器内を冷却する効果が得られ、プリズム２４、２６、エ
タロン２８、回折格子２２などの狭帯域化用光学素子の
温度上昇防止して、光学素子の熱変形等によるレーザ光
１８への影響が生じるのを防ぐことができる。なお、本
実施例においては、流入口７０から容器３０に流入する
外気６８の量と、流出口７２から外部に排出する空気７
１の量とを調節することにより、容器内の圧力を一定に
保持し、圧力変化による光学素子への影響を避けること
が望ましい。
【００２４】前記各実施例においては、気体循環機とし
て軸流ファン３８、シロッコファン５４、エアポンプ６
０を用いた場合について説明したが、クロスフローファ
ン等の他のファンやターボブロア、リングブロア等のブ
ロアを用いてもよい。また、気体清浄器３４として静電
集塵機や電気集塵機等を用いてもよい。さらに、前記実
施例においては、エキシマレーザ装置について説明した
が、Ａｒガスレーザ装置や色素レーザ装置等、狭帯域化
用光学素子を使用した他のレーザ装置についても適用す
ることができる。
て軸流ファン３８、シロッコファン５４、エアポンプ６
０を用いた場合について説明したが、クロスフローファ
ン等の他のファンやターボブロア、リングブロア等のブ
ロアを用いてもよい。また、気体清浄器３４として静電
集塵機や電気集塵機等を用いてもよい。さらに、前記実
施例においては、エキシマレーザ装置について説明した
が、Ａｒガスレーザ装置や色素レーザ装置等、狭帯域化
用光学素子を使用した他のレーザ装置についても適用す
ることができる。
【００２５】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれ
ば、狭帯域化用光学素子を収納した容器内に存在する塵
埃を、気体清浄器によって除去するようにしたので、容
器内の光学素子に塵埃が付着することがなく、塵埃がレ
ーザ光を吸収して発熱し、光学素子に損傷を与えるのを
防止することができる。
ば、狭帯域化用光学素子を収納した容器内に存在する塵
埃を、気体清浄器によって除去するようにしたので、容
器内の光学素子に塵埃が付着することがなく、塵埃がレ
ーザ光を吸収して発熱し、光学素子に損傷を与えるのを
防止することができる。
【００２６】また、狭帯域化用光学素子を収納した容器
に外部の気体を流入させ、内部の気体を排出させるとと
もに、容器に流入する気体を気体清浄器によって浄化す
ることにより、塵埃による光学素子の損傷を防ぐことが
できるばかりでなく、光学素子の冷却を図れ、光学素子
の熱的影響によるレーザ出力の変動等を防止することが
できる。
に外部の気体を流入させ、内部の気体を排出させるとと
もに、容器に流入する気体を気体清浄器によって浄化す
ることにより、塵埃による光学素子の損傷を防ぐことが
できるばかりでなく、光学素子の冷却を図れ、光学素子
の熱的影響によるレーザ出力の変動等を防止することが
できる。
【図１】本発明の第１実施例の説明図である。
【図２】本発明の第２実施例の説明図である。
【図３】本発明の第３実施例の説明図である。
【図４】本発明の第４実施例の説明図である。
【図５】本発明の第５実施例の説明図である。
１０……レーザ装置
１２……レーザヘッド
２２、２４、２６、２８……狭帯域化用光学素子（プリ
ズム、エタロン、回折格子） ３０……容器 ３４……気体清浄器 ４０、４２、５０、５２、５６、５８、６６……フィル
タ ３８……軸流ファン ４４……気体 ５４……シロッコファン ６０……エアポンプ ７０……流入口 ７２……流出口
ズム、エタロン、回折格子） ３０……容器 ３４……気体清浄器 ４０、４２、５０、５２、５６、５８、６６……フィル
タ ３８……軸流ファン ４４……気体 ５４……シロッコファン ６０……エアポンプ ７０……流入口 ７２……流出口
Claims (6)
- 【請求項１】 発振されたレーザ光から特定の波長を選
択する狭帯域化用光学素子を備えたレーザ装置におい
て、前記狭帯域化用光学素子を収納する容器と、この容
器内の気体を浄化する気体清浄器とを設けたことを特徴
とするレーザ装置。 - 【請求項２】 前記気体清浄器は、前記容器内の気体を
循環させる気体循環機とフィルタとからなることを特徴
とする請求項１に記載のレーザ装置。 - 【請求項３】 前記気体循環機は、送風機であることを
特徴とする請求項２に記載のレーザ装置。 - 【請求項４】 前記気体循環機は、エアポンプであるこ
とを特徴とする請求項２に記載のレーザ装置。 - 【請求項５】 前記気体清浄器は、前記容器内に配置し
た静電集塵器であることを特徴とする請求項１に記載の
レーザ装置。 - 【請求項６】 請求項１に記載のレーザ装置において、
前記容器は外部の気体を流入させる流入口と容器内の気
体を流出させる流出口とが形成されており、前記気体清
浄器が前記容器の前記流入口に接続してあることを特徴
とするレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18154291A JPH057034A (ja) | 1991-06-27 | 1991-06-27 | レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18154291A JPH057034A (ja) | 1991-06-27 | 1991-06-27 | レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH057034A true JPH057034A (ja) | 1993-01-14 |
Family
ID=16102606
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18154291A Pending JPH057034A (ja) | 1991-06-27 | 1991-06-27 | レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH057034A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1218985A1 (en) * | 1999-09-03 | 2002-07-03 | Cymer, Inc. | High power gas discharge laser with line narrowing unit |
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| CN114849375A (zh) * | 2022-04-14 | 2022-08-05 | 芯三代半导体科技(苏州)有限公司 | 一种用于碳化硅外延设备的tm腔的净化装置及设备 |
| CN115282697A (zh) * | 2022-10-10 | 2022-11-04 | 武汉锐科光纤激光技术股份有限公司 | 固体腔的空气净化器 |
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1991
- 1991-06-27 JP JP18154291A patent/JPH057034A/ja active Pending
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