JPH05167135A - エキシマレーザ装置 - Google Patents
エキシマレーザ装置Info
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- JPH05167135A JPH05167135A JP3352805A JP35280591A JPH05167135A JP H05167135 A JPH05167135 A JP H05167135A JP 3352805 A JP3352805 A JP 3352805A JP 35280591 A JP35280591 A JP 35280591A JP H05167135 A JPH05167135 A JP H05167135A
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- Japan
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- housing
- laser
- flange
- laser chamber
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- Prior art date
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- Lasers (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 エキシマレーザ装置に係わり、特には、縮小
投影露光装置用の光源として用いられるエキシマレーザ
装置の改良に関する。 【構成】 レーザの共振器として使用されている光学素
子および出力レーザ光の検出器に使用されている光学素
子を少なくとも一個の筺体手段で囲い、清浄気体で前記
筺体内をパージするエキシマレーザ装置において、レー
ザチャンバ手段と前記筺体手段の間または前記筺体手段
間のつなぎ伸縮可能の管ユニットを用いる。また、レー
ザチャンバの外側に複数のインバーロッドでフロント側
プレートとリア側のプレートを固定するインバータロッ
ドユニットと、少なくともフロントミラーを固定し、筺
体で囲われ前記フロント側プレートに固定されたフロン
ト側筺体部と、少なくともリアミラーまたは狭帯域化素
子を固定し、筺体で囲われ前記リア側プレートに固定さ
れたリア側筺体部と、前記フロント側プレートと前記レ
ーザチャンバおよびリア側プレートと前記レーザチャン
バの間の少なくともいずれかに伸縮可能の管ユニットを
配設している。
投影露光装置用の光源として用いられるエキシマレーザ
装置の改良に関する。 【構成】 レーザの共振器として使用されている光学素
子および出力レーザ光の検出器に使用されている光学素
子を少なくとも一個の筺体手段で囲い、清浄気体で前記
筺体内をパージするエキシマレーザ装置において、レー
ザチャンバ手段と前記筺体手段の間または前記筺体手段
間のつなぎ伸縮可能の管ユニットを用いる。また、レー
ザチャンバの外側に複数のインバーロッドでフロント側
プレートとリア側のプレートを固定するインバータロッ
ドユニットと、少なくともフロントミラーを固定し、筺
体で囲われ前記フロント側プレートに固定されたフロン
ト側筺体部と、少なくともリアミラーまたは狭帯域化素
子を固定し、筺体で囲われ前記リア側プレートに固定さ
れたリア側筺体部と、前記フロント側プレートと前記レ
ーザチャンバおよびリア側プレートと前記レーザチャン
バの間の少なくともいずれかに伸縮可能の管ユニットを
配設している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、エキシマレーザ装置に
係わり、特には、縮小投影露光装置用の光源として用い
られるエキシマレーザ装置の改良に関する。
係わり、特には、縮小投影露光装置用の光源として用い
られるエキシマレーザ装置の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、エキシマレーザ２００はレーザチ
ャンバ２０１を介してフロントミラー２０２とリアミラ
ー２０３で共振器を組んでレーザ発振させている。図６
（ａ）は外部ミラーによるものであり、レーザチャンバ
ー２０１のウインド２０４、フロントミラー２０２、リ
アミラー２０３、および出力モニタ用のビームスプリッ
タ２０５よりなる。また、図６（ｂ）は内部ミラーによ
るものであり、フロントミラー２０７、リアミラー２０
８、およびビームスプリッタ２０９よりなる。上記の外
部ミラーおよび内部ミラーともにいずれもミラーはクリ
ーンな環境下で配置されていない。
ャンバ２０１を介してフロントミラー２０２とリアミラ
ー２０３で共振器を組んでレーザ発振させている。図６
（ａ）は外部ミラーによるものであり、レーザチャンバ
ー２０１のウインド２０４、フロントミラー２０２、リ
アミラー２０３、および出力モニタ用のビームスプリッ
タ２０５よりなる。また、図６（ｂ）は内部ミラーによ
るものであり、フロントミラー２０７、リアミラー２０
８、およびビームスプリッタ２０９よりなる。上記の外
部ミラーおよび内部ミラーともにいずれもミラーはクリ
ーンな環境下で配置されていない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、エキシ
マレーザ光は紫外線のレーザ光であるため光学素子は非
常に微量なダストまたは有機物質または酸素等の化学物
質によって損傷を受け、光学素子の寿命が短くなるとい
う問題がある。さらに、光学素子がクリーンな環境下に
おかれたとしても光学素子のホルダやレーザ筺体の表面
にレーザの散乱光が照射されることによりアブレージョ
ンまたは蒸発が起こり、ダストや化学物質が発生し光学
素子を損傷している。
マレーザ光は紫外線のレーザ光であるため光学素子は非
常に微量なダストまたは有機物質または酸素等の化学物
質によって損傷を受け、光学素子の寿命が短くなるとい
う問題がある。さらに、光学素子がクリーンな環境下に
おかれたとしても光学素子のホルダやレーザ筺体の表面
にレーザの散乱光が照射されることによりアブレージョ
ンまたは蒸発が起こり、ダストや化学物質が発生し光学
素子を損傷している。
【０００４】さらに、上記問題を解決するために図７の
ようにレーザの共振器として使用されている光学素子お
よび出力レーザ光の検出器に使用されている光学素子を
筺体２１０、２１１で囲い、清浄気体２１２で筺体内を
パージすることにより光学素子をクリーンな環境に配置
することを提案しているが、レーザチャンバ２１３が発
熱して熱膨張するためにフロントミラー２１４とリアミ
ラー２１５の光軸２１６が狂ってしまい出力の低下の原
因となっている。また、放電電極または予備電離電極の
消耗によりレーザチャンバ内に金属フッ化物等のダスト
が発生してレーザのウインド２１６が汚れ定期的にクリ
ーニングする必要があるためフロント側またはリア側の
筺体２１０、２１１を外してからウインド２１６をクリ
ーニングする必要がある。したがって、レーザのウイン
ド２１６をクリーニングする時間が非常に長くなるとい
う問題がある。
ようにレーザの共振器として使用されている光学素子お
よび出力レーザ光の検出器に使用されている光学素子を
筺体２１０、２１１で囲い、清浄気体２１２で筺体内を
パージすることにより光学素子をクリーンな環境に配置
することを提案しているが、レーザチャンバ２１３が発
熱して熱膨張するためにフロントミラー２１４とリアミ
ラー２１５の光軸２１６が狂ってしまい出力の低下の原
因となっている。また、放電電極または予備電離電極の
消耗によりレーザチャンバ内に金属フッ化物等のダスト
が発生してレーザのウインド２１６が汚れ定期的にクリ
ーニングする必要があるためフロント側またはリア側の
筺体２１０、２１１を外してからウインド２１６をクリ
ーニングする必要がある。したがって、レーザのウイン
ド２１６をクリーニングする時間が非常に長くなるとい
う問題がある。
【０００５】本発明は上記従来の問題点に着目し、光学
素子をクリーンに保持しつつ発熱膨張によるアライメン
ト狂いの発生を防止できるようにしたエキシマレーザ装
置の提供を目的としている。
素子をクリーンに保持しつつ発熱膨張によるアライメン
ト狂いの発生を防止できるようにしたエキシマレーザ装
置の提供を目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、レーザの共振器として使用されている
光学素子および出力レーザ光の検出器に使用されている
光学素子を少なくとも一個の筺体手段で囲い、清浄気体
で前記筺体内をパージするエキシマレーザ装置におい
て、レーザチャンバ手段と前記筺体手段の間または前記
筺体手段間のつなぎに伸縮可能の管ユニットを用いる。
また、レーザチャンバの外側に複数のインバーロッドで
フロント側プレートとリア側のプレートを固定するイン
バータロッドユニットと、少なくともフロントミラーを
固定し、筺体で囲われ前記フロント側プレートに固定さ
れたフロント側筺体部と、少なくともリアミラーまたは
狭帯域化素子を固定し、筺体で囲われ前記リア側プレー
トに固定されたリア側筺体部と、前記フロント側プレー
トと前記レーザチャンバおよびリア側プレートと前記レ
ーザチャンバの間の少なくともいずれかに伸縮可能の管
ユニットを配設している。
に、本発明では、レーザの共振器として使用されている
光学素子および出力レーザ光の検出器に使用されている
光学素子を少なくとも一個の筺体手段で囲い、清浄気体
で前記筺体内をパージするエキシマレーザ装置におい
て、レーザチャンバ手段と前記筺体手段の間または前記
筺体手段間のつなぎに伸縮可能の管ユニットを用いる。
また、レーザチャンバの外側に複数のインバーロッドで
フロント側プレートとリア側のプレートを固定するイン
バータロッドユニットと、少なくともフロントミラーを
固定し、筺体で囲われ前記フロント側プレートに固定さ
れたフロント側筺体部と、少なくともリアミラーまたは
狭帯域化素子を固定し、筺体で囲われ前記リア側プレー
トに固定されたリア側筺体部と、前記フロント側プレー
トと前記レーザチャンバおよびリア側プレートと前記レ
ーザチャンバの間の少なくともいずれかに伸縮可能の管
ユニットを配設している。
【０００７】
【作用】上記構成によれば、レーザチャンバと光学素子
が入った筺体をつなぐ手段として伸縮可能の管を使用す
ることにより、光学素子をクリーンな環境に設置出来る
とともに、レーザチャンバの発熱にともなう熱膨張によ
るアライメントの狂いがなくなり、レーザチャンバのウ
インドの脱着が容易となる。
が入った筺体をつなぐ手段として伸縮可能の管を使用す
ることにより、光学素子をクリーンな環境に設置出来る
とともに、レーザチャンバの発熱にともなう熱膨張によ
るアライメントの狂いがなくなり、レーザチャンバのウ
インドの脱着が容易となる。
【０００８】
【実施例】以下に、本発明に係わるエキシマレーザ装置
の実施例につき、図面を参照して詳細に説明する。
の実施例につき、図面を参照して詳細に説明する。
【０００９】図１は、本発明のエキシマレーザ装置の１
実施例を示す構成図であり、外部ミラーの自然発振の実
施例を示す。図１において、エキシマレーザ装置１はレ
ーザチャンバー部５と、フロント側筺体部２０、リア側
筺体部３０と、清浄気体供給部３５からなる。レーザチ
ャンバー部５は、レーザチャンバーユニット６と、イン
バーロッドユニット１０と、伸縮可能な管ユニット１５
とからなる。レーザチャンバーユニット６はレーザチャ
ンバー７と、レーザチャンバー７に固設されたフロント
側ウインド８およびリア側ウインド９からなる。インバ
ーロッドユニット１０はフロント側プレート１１と、イ
ンバーロッド１２と、リア側プレート１３からなり、フ
ロント側プレート１１とリア側プレート１３はインバー
ロッド１２により固定されている。伸縮可能な管ユニッ
ト１５はレーザチャンバー９に固設された第一のフラン
ジ１６ａ、１６ｂと、フロント側プレート１１に固設さ
れた第二のフランジ１７ａ、あるいはリア側プレート１
３に固設された第二のフランジ１７ｂと、第一のフラン
ジ１６ａと第二のフランジ１７ａあるいは第一のフラン
ジ１６ｂと第二の１７ｂとの間に装着されるリング１８
からなり、第二のフランジ１７ａ、１７ｂの内方にリン
グ１８が固設されており、さらに、リング１８の内方に
第一のフランジ１６ａ、１６ｂの外径が枢密に当接さ
れ、リング１８と第二のフランジ１６ａ、１６ｂは図示
の左右方向に慴動自在に嵌合されている。
実施例を示す構成図であり、外部ミラーの自然発振の実
施例を示す。図１において、エキシマレーザ装置１はレ
ーザチャンバー部５と、フロント側筺体部２０、リア側
筺体部３０と、清浄気体供給部３５からなる。レーザチ
ャンバー部５は、レーザチャンバーユニット６と、イン
バーロッドユニット１０と、伸縮可能な管ユニット１５
とからなる。レーザチャンバーユニット６はレーザチャ
ンバー７と、レーザチャンバー７に固設されたフロント
側ウインド８およびリア側ウインド９からなる。インバ
ーロッドユニット１０はフロント側プレート１１と、イ
ンバーロッド１２と、リア側プレート１３からなり、フ
ロント側プレート１１とリア側プレート１３はインバー
ロッド１２により固定されている。伸縮可能な管ユニッ
ト１５はレーザチャンバー９に固設された第一のフラン
ジ１６ａ、１６ｂと、フロント側プレート１１に固設さ
れた第二のフランジ１７ａ、あるいはリア側プレート１
３に固設された第二のフランジ１７ｂと、第一のフラン
ジ１６ａと第二のフランジ１７ａあるいは第一のフラン
ジ１６ｂと第二の１７ｂとの間に装着されるリング１８
からなり、第二のフランジ１７ａ、１７ｂの内方にリン
グ１８が固設されており、さらに、リング１８の内方に
第一のフランジ１６ａ、１６ｂの外径が枢密に当接さ
れ、リング１８と第二のフランジ１６ａ、１６ｂは図示
の左右方向に慴動自在に嵌合されている。
【００１０】フロント側筺体部２０はフロントミラー２
１と、出力光サンプル用のビームスプリッタ２２と、集
光レンズ２３と、拡散板２４およびコーン２５およびフ
ォトダイオード２６と、ウインド２７と、フロント側プ
レート１１に固設されるフロント側筺体２８とからな
る。リア側筺体部３０はリアミラー３１と、リア側プレ
ート１３に固設されるリア側筺体３２とからなる。
１と、出力光サンプル用のビームスプリッタ２２と、集
光レンズ２３と、拡散板２４およびコーン２５およびフ
ォトダイオード２６と、ウインド２７と、フロント側プ
レート１１に固設されるフロント側筺体２８とからな
る。リア側筺体部３０はリアミラー３１と、リア側プレ
ート１３に固設されるリア側筺体３２とからなる。
【００１１】さらに、フロント側筺体２８とリア側筺体
３２は配管３６、３７により清浄気体供給装置３９に接
続されている。フロント側筺体部２０では、フロント側
ウインド７と、フロントミラー２１と、出力光サンプル
用のビームスプリッタ２２と、集光レンズ２３と、拡散
板２４およびコーン２５およびフォトダイオード２６
と、ウインド２７とが清浄気体でパージされている。ま
た、同様にリア側筺体部３０ではリア側ウインド８とリ
アミラー３１とが清浄気体でパージされている。
３２は配管３６、３７により清浄気体供給装置３９に接
続されている。フロント側筺体部２０では、フロント側
ウインド７と、フロントミラー２１と、出力光サンプル
用のビームスプリッタ２２と、集光レンズ２３と、拡散
板２４およびコーン２５およびフォトダイオード２６
と、ウインド２７とが清浄気体でパージされている。ま
た、同様にリア側筺体部３０ではリア側ウインド８とリ
アミラー３１とが清浄気体でパージされている。
【００１２】上記構成において、次に作動について説明
する。レーザチャンバー７内で放電励起したレーザ発振
光は清浄気体でパージされているフロントミラー２１と
リアミラー３１とで共振され、出力光は清浄気体でパー
ジされているウインド２７を介して出力される。出力の
検出は、上記と同様に清浄気体でパージされている出力
光サンプル用のビームスプリッタ２２により分岐され集
光レンズ２３を介して拡散板２４上に集められ、拡散板
２４により拡散されたレーザ光はコーン２５により反射
されフォトダイオード２６に集められその光強度をフォ
トダイオード２６により検出している。
する。レーザチャンバー７内で放電励起したレーザ発振
光は清浄気体でパージされているフロントミラー２１と
リアミラー３１とで共振され、出力光は清浄気体でパー
ジされているウインド２７を介して出力される。出力の
検出は、上記と同様に清浄気体でパージされている出力
光サンプル用のビームスプリッタ２２により分岐され集
光レンズ２３を介して拡散板２４上に集められ、拡散板
２４により拡散されたレーザ光はコーン２５により反射
されフォトダイオード２６に集められその光強度をフォ
トダイオード２６により検出している。
【００１３】なお、所定の時間、出力光を発するとウイ
ンド８が汚れ等により曇るため清掃をする必要がある。
このために、レーザチャンバー７は取扱が容易になるよ
うにアルミ等の軽金属で構成されている。従って、出力
光を発するためにレーザチャンバー７は温度が上昇し、
膨張が生ずる。この膨張を逃がすために、レーザチャン
バ７と光学素子が入ったフロント側筺体部２０あるいは
リア側筺体部３０を伸縮可能な管ユニット１５を使用す
る。
ンド８が汚れ等により曇るため清掃をする必要がある。
このために、レーザチャンバー７は取扱が容易になるよ
うにアルミ等の軽金属で構成されている。従って、出力
光を発するためにレーザチャンバー７は温度が上昇し、
膨張が生ずる。この膨張を逃がすために、レーザチャン
バ７と光学素子が入ったフロント側筺体部２０あるいは
リア側筺体部３０を伸縮可能な管ユニット１５を使用す
る。
【００１４】なお、この実施例ではパワーモニターとし
て上記の例を示したが、この実施例に限定されることな
く、パワーモニターの光学素子をフロント側筺体部２０
またはリア側筺体部３０内に配置しても良い。さらに、
内部ミラーの場合には、パワーモニターの光学素子がフ
ロント側にある場合はレーザチャンバを介してフロント
ミラーとパワーモニターの光学素子を筺体で囲い、その
筺体内を清浄気体でパージしても良い。
て上記の例を示したが、この実施例に限定されることな
く、パワーモニターの光学素子をフロント側筺体部２０
またはリア側筺体部３０内に配置しても良い。さらに、
内部ミラーの場合には、パワーモニターの光学素子がフ
ロント側にある場合はレーザチャンバを介してフロント
ミラーとパワーモニターの光学素子を筺体で囲い、その
筺体内を清浄気体でパージしても良い。
【００１５】図２は本発明の狭帯域エキシマレーザ装置
の１実施例を示す構成図である。なお、前記実施例と同
一部品は同一符号を付し説明を省略する。図２におい
て、狭帯域エキシマレーザ装置４０はレーザチャンバー
部５と、フロント側筺体部５０と、伸縮自在の管ユニッ
ト６０、リア側筺体部７０と、清浄気体供給部３５から
なる。フロント側筺体部５０には、波長検出用のビーム
スプリツタ５１と、集光レンズ５２と、拡散板５３およ
びモニタエタロン５４および集光レンズ５５およびライ
ンセンサあるいはエリアセンサ５６と、ウインド２７
と、後述する伸縮自在の管ユニット６０のフランジ６１
を固設しているフロント側筺体５７と、前記と同様にフ
ォトダイオード等からなる。伸縮自在の管ユニット６０
はフロント側筺体５７に固設しているフランジ６１と、
フロント側プレートに固設されておりフロントミラー２
１を収容する筺体６２と、筺体６２に固設されているフ
ランジ６３と、フランジ６１に固設されフランジ６１と
フランジ６３の間に装着されるリング６４からなる。フ
ランジ６１の内方にリング６４が固設されており、さら
に、リング６４の内方にフランジ６３の外径が枢密に当
接され、リング６４とフランジ６３は図示の左右方向に
慴動自在に嵌合されている。
の１実施例を示す構成図である。なお、前記実施例と同
一部品は同一符号を付し説明を省略する。図２におい
て、狭帯域エキシマレーザ装置４０はレーザチャンバー
部５と、フロント側筺体部５０と、伸縮自在の管ユニッ
ト６０、リア側筺体部７０と、清浄気体供給部３５から
なる。フロント側筺体部５０には、波長検出用のビーム
スプリツタ５１と、集光レンズ５２と、拡散板５３およ
びモニタエタロン５４および集光レンズ５５およびライ
ンセンサあるいはエリアセンサ５６と、ウインド２７
と、後述する伸縮自在の管ユニット６０のフランジ６１
を固設しているフロント側筺体５７と、前記と同様にフ
ォトダイオード等からなる。伸縮自在の管ユニット６０
はフロント側筺体５７に固設しているフランジ６１と、
フロント側プレートに固設されておりフロントミラー２
１を収容する筺体６２と、筺体６２に固設されているフ
ランジ６３と、フランジ６１に固設されフランジ６１と
フランジ６３の間に装着されるリング６４からなる。フ
ランジ６１の内方にリング６４が固設されており、さら
に、リング６４の内方にフランジ６３の外径が枢密に当
接され、リング６４とフランジ６３は図示の左右方向に
慴動自在に嵌合されている。
【００１６】リア側筺体部７０はフリズム７１、７２お
よびグレーティング７３と、チャンバー７に固設される
リア側筺体７４とからなる。さらに、フロント側筺体５
７とリア側筺体７４は配管３６、３７により清浄気体供
給装置３９に接続されている。フロント側筺体部５０で
は、フロント側ウインド８と、フロントミラー２１と、
出力光サンプル用のビームスプリッタ２２と、集光レン
ズ２３と、拡散板２４およびコーン２５およびフォトダ
イオード２６と、ウインド２７と、波長検出用のビーム
スプリッタ５１と、集光レンズ５２と、拡散板５３およ
びモニタエタロン５４および集光レンズ５５およびライ
ンセンサあるいはエリアセンサ５６とが清浄気体でパー
ジされている。また、同様にリア側筺体部７０ではリア
側ウインド９と、プリズム７１、７２およびグレーティ
ング７３とが清浄気体でパージされている。
よびグレーティング７３と、チャンバー７に固設される
リア側筺体７４とからなる。さらに、フロント側筺体５
７とリア側筺体７４は配管３６、３７により清浄気体供
給装置３９に接続されている。フロント側筺体部５０で
は、フロント側ウインド８と、フロントミラー２１と、
出力光サンプル用のビームスプリッタ２２と、集光レン
ズ２３と、拡散板２４およびコーン２５およびフォトダ
イオード２６と、ウインド２７と、波長検出用のビーム
スプリッタ５１と、集光レンズ５２と、拡散板５３およ
びモニタエタロン５４および集光レンズ５５およびライ
ンセンサあるいはエリアセンサ５６とが清浄気体でパー
ジされている。また、同様にリア側筺体部７０ではリア
側ウインド９と、プリズム７１、７２およびグレーティ
ング７３とが清浄気体でパージされている。
【００１７】上記構成において、次に作動について説明
する。レーザチャンバー７内で放電励起された光はプリ
ズム７１、７２によりビームをエキスパンドし、その光
をグレーディング７３に入反射させたリトロー配置の狭
帯域化方式により狭帯域発振させ、フロントミラー２１
から出力したレーザ光をビームスプリッタ２２によりサ
ンプルして集光レンズ２３を介して拡散板２４上に集め
られ、拡散板２４により拡散されたレーザ光はコーン２
５により反射されフォトダイオード２６に集められその
光強度をフォトダイオード２６により検出している。
する。レーザチャンバー７内で放電励起された光はプリ
ズム７１、７２によりビームをエキスパンドし、その光
をグレーディング７３に入反射させたリトロー配置の狭
帯域化方式により狭帯域発振させ、フロントミラー２１
から出力したレーザ光をビームスプリッタ２２によりサ
ンプルして集光レンズ２３を介して拡散板２４上に集め
られ、拡散板２４により拡散されたレーザ光はコーン２
５により反射されフォトダイオード２６に集められその
光強度をフォトダイオード２６により検出している。
【００１８】さらに、ビームスプリッタ５１によりサン
プルされた光は集光レンズ５２および拡散板５３を介し
てモニタエタロン５４を透過し、集光レンズ５５の焦点
の位置に配置されたラインセンサあるいはエリアセンサ
５６により干渉縞を検出して波長を検出している。
プルされた光は集光レンズ５２および拡散板５３を介し
てモニタエタロン５４を透過し、集光レンズ５５の焦点
の位置に配置されたラインセンサあるいはエリアセンサ
５６により干渉縞を検出して波長を検出している。
【００１９】なお、前記エキシマレーザ装置の１実施例
と同様にフロント側筺体部５０あるいはリア側筺体部７
０を伸縮可能な管ユニット１５およびフロント側筺体部
５０とレーザチャンバー部５との間に伸縮自在の管ユニ
ット６０が使用されている。
と同様にフロント側筺体部５０あるいはリア側筺体部７
０を伸縮可能な管ユニット１５およびフロント側筺体部
５０とレーザチャンバー部５との間に伸縮自在の管ユニ
ット６０が使用されている。
【００２０】なお、この実施例では狭帯域化素子として
プリズムおよびグレーティングを用いた例を示したが、
この実施例に限定されることなく、例えば、エタロンと
リアミラーまたはプリズム、エタロンおよびグレーティ
ング等を組み合わせても良い。また、波長検出器として
モニタエタロン方式を示したが、他の波長検出方式、例
えば回折格子型分光器等でも良い。
プリズムおよびグレーティングを用いた例を示したが、
この実施例に限定されることなく、例えば、エタロンと
リアミラーまたはプリズム、エタロンおよびグレーティ
ング等を組み合わせても良い。また、波長検出器として
モニタエタロン方式を示したが、他の波長検出方式、例
えば回折格子型分光器等でも良い。
【００２１】図３は伸縮可能な管ユニット１５あるいは
６０の詳細な構成の第１実施例を示す。図３において、
レーザチャンバー７にはウインド８が着脱可能に装着さ
れている。ウインド８はウインドケース８１の溝８２に
Ｏリング８３とともに挿入され、ウインド８はボルト８
４によりレーザチャンバー７に装着されている。
６０の詳細な構成の第１実施例を示す。図３において、
レーザチャンバー７にはウインド８が着脱可能に装着さ
れている。ウインド８はウインドケース８１の溝８２に
Ｏリング８３とともに挿入され、ウインド８はボルト８
４によりレーザチャンバー７に装着されている。
【００２２】また、ウインドケース８１にはレーザチャ
ンバー７とウインドケース８１との間をガスが漏れない
ようにＯリング溝８５が削成され、溝にはＯリング８６
が装着されている。
ンバー７とウインドケース８１との間をガスが漏れない
ようにＯリング溝８５が削成され、溝にはＯリング８６
が装着されている。
【００２３】管ユニット１５は、ウインドケース８１の
外方に配設されたフランジ１６ａがレーザチャンバー７
にサムスクリュー９１で装着されており、また、フラン
ジ１７ａはフロント側プレート１１にサムスクリュー９
２で装着されている。さらに管ユニット１５のリング１
８はフランジ１７ａの内方にリング９３に押されて固定
され、リング９３はフランジ１７ａにボルト９４で装着
されている。リング１８の内径にフランジ１６ａの外径
が枢密に当接され、リング１８とフランジ１６ａは図示
の左右方向に慴動自在に嵌合されている。
外方に配設されたフランジ１６ａがレーザチャンバー７
にサムスクリュー９１で装着されており、また、フラン
ジ１７ａはフロント側プレート１１にサムスクリュー９
２で装着されている。さらに管ユニット１５のリング１
８はフランジ１７ａの内方にリング９３に押されて固定
され、リング９３はフランジ１７ａにボルト９４で装着
されている。リング１８の内径にフランジ１６ａの外径
が枢密に当接され、リング１８とフランジ１６ａは図示
の左右方向に慴動自在に嵌合されている。
【００２４】上記構成において、ウインド８の汚れの清
掃、あるいは、交換等のときには、フロント側プレート
１１のサムスクリュー９２を緩めてはずし、フランジ１
７ａを図示の右方にスライドさせてレーザチャンバーユ
ニット６をインバーロッドユニット１０の外方に取り出
す。レーザチャンバーユニット６を取り出した後に、フ
ランジ１６ａのサムスクリュー９１を外し、その後にウ
インドケース８１のボルト８４を外し、ウインドケース
８１を取り出しウインド８の清掃あるいは交換を行う。
掃、あるいは、交換等のときには、フロント側プレート
１１のサムスクリュー９２を緩めてはずし、フランジ１
７ａを図示の右方にスライドさせてレーザチャンバーユ
ニット６をインバーロッドユニット１０の外方に取り出
す。レーザチャンバーユニット６を取り出した後に、フ
ランジ１６ａのサムスクリュー９１を外し、その後にウ
インドケース８１のボルト８４を外し、ウインドケース
８１を取り出しウインド８の清掃あるいは交換を行う。
【００２５】図４は、伸縮可能な管ユニット１５あるい
は６０の詳細な構成の第２実施例を示す。図４におい
て、管ユニット１５は、ウインドケース８１の外方に配
設されたジャバラ等からなるダクト１０１が、サムスク
リュー１０２によりフロント側プレート１１に、サムス
クリュー１０３でレーザチャンバー７に装着されてい
る。
は６０の詳細な構成の第２実施例を示す。図４におい
て、管ユニット１５は、ウインドケース８１の外方に配
設されたジャバラ等からなるダクト１０１が、サムスク
リュー１０２によりフロント側プレート１１に、サムス
クリュー１０３でレーザチャンバー７に装着されてい
る。
【００２６】上記構成において、ウインド８の汚れの清
掃、あるいは、交換等のときには、フロント側プレート
１１のサムスクリュー１０２を緩めてはずし、ジャバラ
等のダクト１０１を図示の右方にスライドさせてレーザ
チャンバーユニット６をインバーロッドユニット１０の
外方に取り出す。以下前記第１実施例と同様にウインド
８の清掃あるいは交換を行う。
掃、あるいは、交換等のときには、フロント側プレート
１１のサムスクリュー１０２を緩めてはずし、ジャバラ
等のダクト１０１を図示の右方にスライドさせてレーザ
チャンバーユニット６をインバーロッドユニット１０の
外方に取り出す。以下前記第１実施例と同様にウインド
８の清掃あるいは交換を行う。
【００２７】図５は伸縮可能な管ユニット１５あるいは
６０の詳細な構成の第３実施例を示す。図５において、
管ユニット１５は、ウインドケース８１の外方に配設さ
れたジャバラ等からなるダクト１０１が、永久磁石１０
５によりフロント側プレート１１に、また永久磁石１０
６でレーザチャンバー７に装着されている。
６０の詳細な構成の第３実施例を示す。図５において、
管ユニット１５は、ウインドケース８１の外方に配設さ
れたジャバラ等からなるダクト１０１が、永久磁石１０
５によりフロント側プレート１１に、また永久磁石１０
６でレーザチャンバー７に装着されている。
【００２８】上記構成において、ウインド８の汚れの清
掃、あるいは、交換等のときには、フロント側プレート
１１側の永久磁石１０５よりダクト１０１をはずし、ジ
ャバラ等のダクト１０１を図示の右方にスライドさせて
レーザチャンバーユニット６をインバーロッドユニット
１０の外方に取り出す。以下前記第１実施例と同様にウ
インド８の清掃あるいは交換を行う。
掃、あるいは、交換等のときには、フロント側プレート
１１側の永久磁石１０５よりダクト１０１をはずし、ジ
ャバラ等のダクト１０１を図示の右方にスライドさせて
レーザチャンバーユニット６をインバーロッドユニット
１０の外方に取り出す。以下前記第１実施例と同様にウ
インド８の清掃あるいは交換を行う。
【００２９】さらに、上記実施例で示した筺体および光
学素子の図示しないホルダはメッキする場合は表面処理
として、ニッケル、コバルト、クロム、金または白金属
等の酸化して変質しない金属をメッキすると良い。筺体
および光学素子のホルダの材質をアルミニュウムとした
場合は有機色素を充填しない。例えば、白アルマイト処
理が良い。黒アルマイト処理ではレーザ光が照射される
ことにより、光学素子に対して有害な有機物質を発生す
るために適していない。また、筺体および光学素子のホ
ルダの材質をステンレスとしても良い。
学素子の図示しないホルダはメッキする場合は表面処理
として、ニッケル、コバルト、クロム、金または白金属
等の酸化して変質しない金属をメッキすると良い。筺体
および光学素子のホルダの材質をアルミニュウムとした
場合は有機色素を充填しない。例えば、白アルマイト処
理が良い。黒アルマイト処理ではレーザ光が照射される
ことにより、光学素子に対して有害な有機物質を発生す
るために適していない。また、筺体および光学素子のホ
ルダの材質をステンレスとしても良い。
【００３０】清浄気体の例として窒素あるいはヘリュウ
ム等の不活性ガスまたは空気等のレーザ光に反応および
吸収しない気体をＨＥＰＡ等のフィルタを透過して清浄
気体としても良い。
ム等の不活性ガスまたは空気等のレーザ光に反応および
吸収しない気体をＨＥＰＡ等のフィルタを透過して清浄
気体としても良い。
【００３１】さらに、筺体内の密閉度はその内部が清浄
気体で満たされる程度でも良い。もし、筺体内の密閉度
を高くした場合には清浄気体の小さい排出口を配設すれ
ば良い。
気体で満たされる程度でも良い。もし、筺体内の密閉度
を高くした場合には清浄気体の小さい排出口を配設すれ
ば良い。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
レーザチャンバと光学素子が入った筺体をつなぐ手段と
して伸縮可能の管を使用することにより、光学素子をク
リーンな環境に設置出来るとともに、レーザチャンバの
発熱にともなう熱膨張によるアライメントの狂いがなく
なり、レーザチャンバのウインドの脱着が容易となると
いう優れた効果が得られる。
レーザチャンバと光学素子が入った筺体をつなぐ手段と
して伸縮可能の管を使用することにより、光学素子をク
リーンな環境に設置出来るとともに、レーザチャンバの
発熱にともなう熱膨張によるアライメントの狂いがなく
なり、レーザチャンバのウインドの脱着が容易となると
いう優れた効果が得られる。
【図１】本発明のエキシマレーザ装置の１実施例を示す
構成図。
構成図。
【図２】本発明の狭帯域発振エキシマレーザ装置の１実
施例を示す構成図。
施例を示す構成図。
【図３】本発明の伸縮自在の管ユニットの詳細な第１実
施例を示す拡大断面図。
施例を示す拡大断面図。
【図４】本発明の伸縮自在の管ユニットの詳細な第２実
施例を示す拡大断面図。
施例を示す拡大断面図。
【図５】本発明の伸縮自在の管ユニットの詳細な第３実
施例を示す拡大断面図。
施例を示す拡大断面図。
【図６】従来のエキシマレーザ装置の実施例を示す構成
図。
図。
【図７】従来のエキシマレーザ装置のパージの実施例を
示す構成図。
示す構成図。
１ エキシマレーザ装置、 ５ レーザチャンバー部、 ６ レーザチャンバーユニット、 ７ レーザチャンバー、 １０ インバーロッドユニット、 １１ フロント側プレート、 １３ リア側プレート、 １５、６０ 伸縮可能な管ユニット、 ２０、５０ フロント側筺体部、 ２８、５７ フロント側筺体、 ３０、７０ リア側筺体部、 ３２、７４ リア側筺体、 ３５ 清浄気体供給部、 ３９ 清浄気体供給装置、 ４０ 狭帯域エキシマレーザ装置、 ６２ 筺体、
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/027 Ｈ０１Ｓ 3/08 7352−4Ｍ Ｈ０１Ｌ 21/30 ３１１ Ｓ 8934−4Ｍ Ｈ０１Ｓ 3/08 Ｚ
Claims (5)
- 【請求項１】 レーザの共振器として使用されている光
学素子および出力レーザ光の検出器に使用されている光
学素子を少なくとも一個の筺体手段で囲い、清浄気体で
前記筺体内をパージするエキシマレーザ装置において、
レーザチャンバ手段と前記筺体手段の間または前記筺体
手段間のつなぎに伸縮可能の管ユニットを用いることを
特徴とするエキシマレーザ装置。 - 【請求項２】 レーザチャンバの外側に複数のインバー
ロッドでフロント側プレートとリア側のプレートを固定
するインバータロッドユニットと、少なくともフロント
ミラーを固定し、筺体で囲われ前記フロント側プレート
に固定されたフロント側筺体部と、少なくともリアミラ
ーまたは狭帯域化素子を固定し、筺体で囲われ前記リア
側プレートに固定されたリア側筺体部と、前記フロント
側プレートと前記レーザチャンバおよびリア側プレート
と前記レーザチャンバの間の少なくともいずれかに伸縮
可能の管ユニットを配設したことを特徴とするエキシマ
レーザ装置。 - 【請求項３】 伸縮可能の管としてダクトを使用した請
求項１または請求項２記載のエキシマレーザ装置。 - 【請求項４】 伸縮可能の管として、レーザチャンバ側
に第一のフランジ部を、筺体側に第二のフランジ部を装
着し、かつ、前記第二のフランジの内径よりも第一のフ
ランジの外径を小さくするとともに前記第一のフランジ
と第二のフランジが互いに枢密に慴動するように前記第
二のフランジにリングを枢密に挿入した請求項１または
請求項２記載のエキシマレーザ装置。 - 【請求項５】 伸縮可能の管を固定する手段として永久
磁石を用いた請求項１または請求項２または請求項３ま
たは請求項４記載のエキシマレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35280591A JP3644506B2 (ja) | 1991-12-16 | 1991-12-16 | 紫外線レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35280591A JP3644506B2 (ja) | 1991-12-16 | 1991-12-16 | 紫外線レーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05167135A true JPH05167135A (ja) | 1993-07-02 |
| JP3644506B2 JP3644506B2 (ja) | 2005-04-27 |
Family
ID=18426558
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35280591A Expired - Lifetime JP3644506B2 (ja) | 1991-12-16 | 1991-12-16 | 紫外線レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3644506B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102629728A (zh) * | 2012-04-05 | 2012-08-08 | 清华大学 | 采用柔性约束的固体激光器 |
| US8698111B2 (en) | 2010-10-29 | 2014-04-15 | Gigaphonton Inc. | Extreme ultraviolet light generation system |
| WO2017199395A1 (ja) * | 2016-05-19 | 2017-11-23 | ギガフォトン株式会社 | 波長検出装置 |
| JP2023507266A (ja) * | 2019-12-20 | 2023-02-22 | サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー | エキシマ放電チャンバ窓の塵埃付着を減らすための方向付けられたガスパージ |
-
1991
- 1991-12-16 JP JP35280591A patent/JP3644506B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8698111B2 (en) | 2010-10-29 | 2014-04-15 | Gigaphonton Inc. | Extreme ultraviolet light generation system |
| CN102629728A (zh) * | 2012-04-05 | 2012-08-08 | 清华大学 | 采用柔性约束的固体激光器 |
| WO2017199395A1 (ja) * | 2016-05-19 | 2017-11-23 | ギガフォトン株式会社 | 波長検出装置 |
| CN109073463A (zh) * | 2016-05-19 | 2018-12-21 | 极光先进雷射株式会社 | 波长检测装置 |
| JPWO2017199395A1 (ja) * | 2016-05-19 | 2019-03-22 | ギガフォトン株式会社 | 波長検出装置 |
| US10890484B2 (en) | 2016-05-19 | 2021-01-12 | Gigaphoton Inc. | Wavelength measuring device |
| JP2023507266A (ja) * | 2019-12-20 | 2023-02-22 | サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー | エキシマ放電チャンバ窓の塵埃付着を減らすための方向付けられたガスパージ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3644506B2 (ja) | 2005-04-27 |
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