CN116868456A - 腔装置、气体激光装置和电子器件的制造方法 - Google Patents

Abstract

腔装置(CH)具有：壳体(30)，其封入激光气体；一对放电电极(32a、32b)，它们通过被施加电压而利用激光气体产生光；窗口(31a、31b)，其被配置于壳体(30)的壁面，光透过该窗口；第1风扇(46)，其使激光气体在一对放电电极(32a、32b)之间流动；过滤器(53a、53b)；以及第2风扇(311、321)，其通过来自第1风扇(46)的驱动源(46a)的驱动力而与第1风扇(46)一起旋转。此外，腔装置(CH)具有：风扇侧流路(313、323)，由过滤器(53a、53b)过滤的激光气体借助第2风扇(311、321)在该风扇侧流路中流动，风扇侧流路使该激光气体的一部分向远离窗口(31a、31b)的方向流动；以及窗口侧流路(315、325)，其与风扇侧流路(313、323)连通，使借助第2风扇(311、321)从风扇侧流路(313、323)流动的激光气体向窗口(31a、31b)侧流动。

Description

腔装置、气体激光装置和电子器件的制造方法

技术领域

本公开涉及腔装置、气体激光装置和电子器件的制造方法。

背景技术

近年来，在半导体曝光装置中，随着半导体集成电路的微细化和高集成化，要求分辨率的提高。因此，从曝光用光源发射的光的短波长化得以发展。例如，作为曝光用的气体激光装置，使用输出波长大约为248nm的激光的KrF准分子激光装置、以及输出波长大约为193nm的激光的ArF准分子激光装置。

KrF准分子激光装置和ArF准分子激光装置的自然振荡光的谱线宽度较宽，大约为350pm～400pm。因此，在利用使KrF和ArF激光这种紫外线透过的材料构成投影透镜时，有时产生色差。其结果，分辨率可能降低。因此，需要将从气体激光装置输出的激光的谱线宽度窄带化到能够无视色差的程度。因此，在气体激光装置的激光谐振器内，为了使谱线宽度窄带化，有时具有包含窄带化元件(标准具、光栅等)的窄带化模块(Line Narrowing Module：LNM)。下面，将谱线宽度被窄带化的气体激光装置称为窄带化气体激光装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平6-132582号公报

专利文献2：日本特开平6-152030号公报

专利文献3：日本特开平6-237029号公报

专利文献4：日本特公平7-118556号公报

发明内容

本公开的一个方式的腔装置也可以具有：壳体，其封入激光气体；一对放电电极，它们在壳体的内部空间中彼此对置地配置，通过被施加电压而利用激光气体产生光；窗口，其被配置于壳体的壁面，光透过窗口；第1风扇，其被配置于内部空间，使激光气体在一对放电电极之间流动；过滤器，其被配置于内部空间；第2风扇，其通过来自第1风扇的驱动源的驱动力而与第1风扇一起旋转；风扇侧流路，其被设置于内部空间，由过滤器过滤的激光气体借助第2风扇在风扇侧流路中流动，风扇侧流路使该激光气体的一部分向远离窗口的方向流动；以及窗口侧流路，其被设置于内部空间，与风扇侧流路连通，使借助第2风扇从风扇侧流路流动的激光气体向窗口侧流动。

本公开的一个方式的气体激光装置也可以具有腔装置，腔装置具有：壳体，其封入激光气体；一对放电电极，它们在壳体的内部空间中彼此对置地配置，通过被施加电压而利用激光气体产生光；窗口，其被配置于壳体的壁面，光透过窗口；第1风扇，其被配置于内部空间，使激光气体在一对放电电极之间流动；过滤器，其被配置于内部空间；第2风扇，其通过来自第1风扇的驱动源的驱动力而与第1风扇一起旋转；风扇侧流路，其被设置于内部空间，由过滤器过滤的激光气体借助第2风扇在风扇侧流路中流动，风扇侧流路使该激光气体的一部分向远离窗口的方向流动；以及窗口侧流路，其被设置于内部空间，与风扇侧流路连通，使借助第2风扇从风扇侧流路流动的激光气体向窗口侧流动。

本公开的一个方式的电子器件的制造方法也可以通过具有腔装置的气体激光装置生成激光，将激光输出到曝光装置，在曝光装置内在感光基板上曝光激光，以制造电子器件，腔装置具有：壳体，其封入激光气体；一对放电电极，它们在壳体的内部空间中彼此对置地配置，通过被施加电压而利用激光气体产生光；窗口，其被配置于壳体的壁面，光透过窗口；第1风扇，其被配置于内部空间，使激光气体在一对放电电极之间流动；过滤器，其被配置于内部空间，对激光气体进行过滤；第2风扇，其通过来自第1风扇的驱动源的驱动力而与第1风扇一起旋转；过滤器，其被配置于内部空间；第2风扇，其通过来自第1风扇的驱动源的驱动力而与第1风扇一起旋转；风扇侧流路，其被设置于内部空间，由过滤器过滤的激光气体借助第2风扇在风扇侧流路中流动，风扇侧流路使该激光气体的一部分向远离窗口的方向流动；以及窗口侧流路，其被设置于内部空间，与风扇侧流路连通，使借助第2风扇从风扇侧流路流动的激光气体向窗口侧流动。

附图说明

下面，参照附图将本公开的若干个实施方式作为简单例子进行说明。

图1是示出电子器件的制造装置的整体的概略结构例的示意图。

图2是示出比较例的气体激光装置的整体的概略结构例的示意图。

图3是从绝缘部侧朝向横流风扇侧观察图2所示的腔装置的壳体的内部空间的图。

图4是图2所示的腔装置的与激光的行进方向垂直的剖视图。

图5是从绝缘部侧朝向横流风扇侧观察实施方式1的腔装置的壳体的内部空间的图。

图6是从配置有电极的内部空间观察到的分隔壁和前侧流路的立体图。

图7是从窗口侧的内部空间观察到的分隔壁和前侧流路的立体图。

图8是从绝缘部侧朝向横流风扇侧观察实施方式2的腔装置的壳体的内部空间的图。

具体实施方式

1.电子器件的曝光工序中使用的电子器件的制造装置的说明

2.比较例的气体激光装置的说明

2.1 结构

2.2 动作

2.3 课题

3.实施方式1的腔装置的说明

3.1 结构

3.2 动作

3.3作用/效果

4.实施方式2的腔装置的说明

4.1结构

4.2作用/效果

下面，参照附图对本公开的实施方式进行详细说明。

以下说明的实施方式示出本公开的几个例子，不限定本公开的内容。此外，各实施方式中说明的结构和动作并不一定全都是本公开的结构和动作所必须的。另外，对相同结构要素标注相同参照标号并省略重复说明。

1.电子器件的曝光工序中使用的电子器件的制造装置的说明

图1是示出电子器件的曝光工序中使用的电子器件的制造装置的整体的概略结构例的示意图。如图1所示，曝光工序中使用的制造装置包含气体激光装置100和曝光装置200。曝光装置200包含照明光学系统210和投影光学系统220，该照明光学系统210包含多个镜211、212、213。照明光学系统210通过从气体激光装置100入射的激光对掩模版台RT的掩模版图案进行照明。投影光学系统220对透过掩模版的激光进行缩小投影，使其在被配置于工件台WT上的未图示的工件上成像。工件是被涂布了光致抗蚀剂的半导体晶片等感光基板。曝光装置200使掩模版台RT和工件台WT同步地平行移动，由此在工件上曝光反映了掩模版图案的激光。通过以上这种曝光工序在半导体晶片上转印器件图案，由此能够制造作为电子器件的半导体器件。

2.比较例的气体激光装置的说明

2.1结构

对比较例的气体激光装置100进行说明。另外，本公开的比较例是申请人认识到仅申请人知道的方式，不是申请人自己承认的公知例。

图2是示出本例的气体激光装置100的整体的概略结构例的示意图。气体激光装置100例如是使用包含氩(Ar)、氟(F₂)和氖(Ne)的混合气体的ArF准分子激光装置。该情况下，气体激光装置100输出中心波长大约为193nm的脉冲激光。气体激光装置100也可以是ArF准分子激光装置以外的气体激光装置，例如也可以是使用包含氪(Kr)、F₂和Ne的混合气体的KrF准分子激光装置。该情况下，气体激光装置100出射中心波长大约为248nm的脉冲激光。包含作为激光介质的Ar、F₂和Ne的混合气体、包含作为激光介质的Kr、F₂和Ne的混合气体有时被称为激光气体。另外，在ArF准分子激光装置和KrF准分子激光装置中分别使用的混合气体中，也可以代替Ne而使用氦(He)。

本例的气体激光装置100包含壳体110、被配置于壳体110的内部空间的激光振荡器130、监视器模块150、未图示的激光气体供给装置、未图示的激光气体排气装置和激光处理器190作为主要结构。

激光振荡器130包含腔装置CH、充电器141、脉冲功率模块143、后镜145和输出耦合镜147作为主要结构。

在图2中，示出从与激光的行进方向大致垂直的方向观察到的腔装置CH的内部结构。图3是从绝缘部33侧朝向横流风扇46侧观察腔装置CH的壳体30的内部空间的图。图4是图2所示的腔装置CH的与激光的行进方向垂直的剖视图。腔装置CH具有壳体30、一对窗口31a、31b、一对电极32a、32b、绝缘部33、馈通孔34、电极保持架部36、横流风扇46、热交换器47、压力传感器48和过滤箱50作为主要结构。

壳体30封入上述的激光气体。此外，壳体30包含通过激光气体的激励而产生光的内部空间。激光气体从激光气体供给装置经由未图示的配管被供给到壳体30的内部空间。通过激光气体的激励而产生的光向窗口31a、31b行进。

窗口31a位于从气体激光装置100朝向曝光装置200的激光的行进方向上的前侧，窗口31b位于该行进方向上的后侧。窗口31a、31b以相对于激光的行进方向成布儒斯特角的方式倾斜，以抑制激光的P偏振光的反射。窗口31a被配置于壳体30的前侧的壁面，窗口31b被配置于壳体30的后侧的壁面。具体而言，如图3所示，窗口31a被与前侧的壁面连接的筒状的保持架31c保持，通过保持架31c被配置成与该壁面的开口30a对置。此外，窗口31b被与保持架31c相同结构的与后侧的壁面连接的保持架31d保持，通过保持架31d被配置成与该壁面的开口30b对置。

电极32a、32b的长度方向沿着激光的行进方向，电极32a、32b在壳体30的内部空间中彼此对置地配置。壳体30中的电极32a与电极32b之间的空间被窗口31a和窗口31b夹着。电极32a、32b是用于通过辉光放电来激励激光介质的放电电极。在本例中，电极32a为阴极，电极32b为阳极。

电极32a被绝缘部33支承。绝缘部33堵住与壳体30连续的开口。绝缘部33包含绝缘体。绝缘体例如能够举出与F₂气体的反应性低的氧化铝陶瓷。此外，在绝缘部33配置有由导电部件构成的馈通孔34。馈通孔34将从脉冲功率模块143供给的电压施加给电极32a。

电极32b被电极保持架部36支承，并且与电极保持架部36电连接。在图3中，为了图示的清晰化，省略电极保持架部36的图示。此外，如图4所示，电极保持架部36经由复位板37与壳体30电连接。

在以电极保持架部36为基准而与电极32b侧相反一侧的、壳体30的内部空间配置有横流风扇46。在壳体30的内部空间中，配置有横流风扇46的空间与电极32a、32b之间的空间连通。横流风扇46与被配置于壳体30的外部的马达46a连接。当马达46a旋转时，横流风扇46旋转。横流风扇46通过旋转使激光气体在电极32a、32b之间流动。在图4中，利用粗线的箭头示出激光气体的流动，激光气体借助横流风扇46按照横流风扇46、电极32a与电极32b之间、热交换器47和横流风扇46的顺序循环。马达46a的启动、关闭、转速通过激光处理器190的控制来调节。因此，激光处理器190通过控制马达46a，能够调节在壳体30的内部空间中循环的激光气体的循环速度。

在横流风扇46的旁边配置有热交换器47。借助横流风扇46而流动的激光气体的大部分通过该热交换器47，通过热交换器47去除激光气体的热。

如图3和图4所示，过滤箱50被配置于以横流风扇46为基准而与热交换器47相反一侧的壳体30的壁面。过滤箱50包含：流入口51，其在激光的行进方向上与和壳体30的大致中央连续的开口30c连通；以及流出口51a、51b，其与被设置于壳体30的前侧和后侧各自的壁面内的流路30d、30e连通。此外，在过滤箱50的内部空间中，在流入口51与前侧的流出口51a侧之间配置有前侧的过滤器53a，在流入口51侧与后侧的流出口51b之间配置有后侧的过滤器53b。过滤器53a和过滤器53b如图3中虚线所示，为彼此相同的形状和长度，对分别通过过滤器53a和过滤器53b的激光气体进行过滤，从激光气体中去除后述的微粒。

流路30d与在壳体30的前侧的壁面内设置的前侧的吹扫室30g连通，吹扫室30g经由该壁面的开口30j与壳体30的内部空间连通，并且经由开口30a与保持架31c的内部空间连通。吹扫室还被设置于后侧的壁面内，与吹扫室30g同样，后侧的吹扫室30h与流路30e连通，经由该壁面的开口30k与壳体30的内部空间连通，并且经由开口30b与保持架31d的内部空间连通。

在吹扫室30g配置有前侧的筒部件60a。筒部件60a的长度方向沿着激光的行进方向。筒部件60a的一端与开口30j分开，与流路30d相比位于保持架31c侧。筒部件60a的另一端以包围保持架31c的开口的方式与保持架31c的缘部连接。与吹扫室30g同样，在吹扫室30h配置有后侧的筒部件60b。

筒部件60a包含被配置于筒部件60a的内周面的多个板部件61。各个板部件61在板部件61的面内方向沿着与筒部件60a的长度方向大致垂直的方向配置的状态下，隔开规定的间隔地在筒部件60a的长度方向上并列配置。因此，板部件61隔开间隙地配置。此外，各个板部件61中开口63连续。各个开口63被配置于相同的直线上。通过上述这种包含开口63的板部件61的排列，在筒部件60a设置有迷宫构造。激光通过该连续的开口63。在图3中，为了容易观察，简略地图示了板部件61和开口63，仅对1个板部件61和1个开口63标注标号，其他板部件61和其他开口63的标号被省略。筒部件60b为与筒部件60a相同的结构。

返回图2，继续说明本例的气体激光装置100。充电器141是以规定的电压对被设置于脉冲功率模块143中的未图示的电容器进行充电的直流电源装置。充电器141被配置于壳体30的外部，与脉冲功率模块143连接。脉冲功率模块143包含由激光处理器190控制的开关143a。当开关143a通过该控制而从断开变成接通时，脉冲功率模块143使从充电器141施加的电压升压，生成脉冲状的高电压，将该高电压施加给电极32a、32b。当被施加高电压时，电极32a与电极32b之间的绝缘被击穿，产生放电。通过该放电的能量，壳体30内的激光介质被激励，生成激励能级的准分子。然后，在准分子跃迁到解离成2个原子的基态能级时，发射与该能级差对应的光。被发射的光向窗口31a、31b行进。

后镜145与窗口31b对置，输出耦合镜147与窗口31a对置。在后镜145涂敷有高反射膜，在输出耦合镜147涂敷有部分反射膜。后镜145使从窗口31b出射的激光以高反射率反射而返回到壳体30。输出耦合镜147使从窗口31a输出的激光中的一部分透过，使另外一部分反射而经由窗口31a返回到壳体30的内部空间。输出耦合镜147例如由在氟化钙的基板上形成有电介质多层膜的元件构成。

因此，利用后镜145和输出耦合镜147构成法布里-珀罗型的激光谐振器，壳体30被配置于激光谐振器的光路上。因此，从壳体30出射的激光在后镜145与输出耦合镜147之间往复。往复的激光每当通过电极32a与电极32b之间的激光增益空间时被放大。被放大的光的一部分作为脉冲激光而透过输出耦合镜147。

后镜145被固定于与壳体30的后侧连接的壳体145a的内部空间。此外，输出耦合镜147被固定于与壳体30的前侧连接的光路管147a的内部空间。

另外，也可以使窗口31b具有后镜145的功能。该情况下，保持架31d成为柔性构造，能够对入射到窗口31b的激光的角度进行调整。此外，也可以使窗口31a具有输出耦合镜147的功能。该情况下，保持架31c成为柔性构造，能够对入射到窗口31b的激光的角度进行调整。此外，也可以代替后镜145而配置使激光窄带化的未图示的窄带化模块。窄带化模块包含棱镜、光栅和旋转台。棱镜、光栅和旋转台被配置于壳体145a的内部空间。

棱镜使从窗口31b出射的光的射束宽度扩大，使该光入射到光栅。此外，棱镜使来自光栅的反射光的射束宽度缩小，并且使该光经由窗口31b返回到壳体30的内部空间。棱镜配置有至少1个即可。

光栅的表面由高反射率的材料构成，在表面以规定间隔设置有多个槽。光栅是色散光学元件。各槽的截面形状例如为直角三角形。从棱镜入射到光栅的光被这些槽反射，并且向与光的波长对应的方向衍射。光栅被进行利特罗配置，以使从棱镜入射到光栅的光的入射角和期望波长的衍射光的衍射角一致。由此，期望的波长附近的光经由棱镜返回到壳体30。

旋转台支承棱镜，使棱镜旋转。通过使棱镜旋转，光相对于光栅的入射角被变更。因此，通过使棱镜旋转，能够选择从光栅经由棱镜返回到壳体30的光的波长。

利用隔着壳体30设置的输出耦合镜147和光栅构成激光谐振器，壳体30被配置于激光谐振器的光路上。因此，从壳体30出射的光在光栅与输出耦合镜147之间往复。

监视器模块150被配置于透过输出耦合镜147的脉冲激光的光路上。监视器模块150包含壳体151、被配置于壳体151的内部空间的分束器152、聚光透镜153和光传感器154作为主要结构。开口与壳体151连续，以包围该开口的方式连接有光路管147a。因此，壳体151的内部空间通过该开口与光路管147a的内部空间连通。

分束器152使透过输出耦合镜147的脉冲激光以高透射率透过出射窗口161，并且使脉冲激光的一部分朝向聚光透镜153反射。聚光透镜153使脉冲激光会聚于光传感器154的受光面。光传感器154计测入射到受光面的脉冲激光的脉冲能量E。光传感器154与激光处理器190电连接，将表示与计测的脉冲能量E有关的数据的信号输出到激光处理器190。

开口与监视器模块150的壳体151中的与连接有光路管147a的一侧相反一侧连续，以包围该开口的方式连接有光路管161a。因此，壳体151的内部空间和光路管161a的内部空间彼此连通。此外，光路管161a与壳体110连接。在壳体110中的被光路管161a包围的位置设置有出射窗口161。透过监视器模块150的分束器152的光从出射窗口161向壳体110的外部的曝光装置200出射。

在光路管147a、161a、壳体145a、151的内部空间被填充有吹扫气体。吹扫气体包含氧等杂质少的高纯度氮等非活性气体。吹扫气体从在壳体110的外部配置的未图示的吹扫气体供给源通过未图示的配管被供给到光路管147a、161a、壳体145a、151的内部空间。

压力传感器48计测壳体30的内部空间的压力。压力传感器48与激光处理器190电连接，将表示与计测的压力有关的数据的信号输出到激光处理器190。

激光气体供给装置从在壳体110的外部配置的未图示的激光气体供给源经由未图示的配管被供给激光气体。在激光气体供给装置设置有未图示的阀、流量调节阀，并且连接有与壳体30连接的其他配管。激光气体供给装置根据来自激光处理器190的控制信号，将多个气体经由该其他配管供给到壳体30的内部空间。在激光气体排气装置连接有与壳体30连接的配管。激光气体排气装置包含未图示的排气泵，通过排气泵经由配管将壳体30的内部空间的气体排放到壳体110的内部空间内。

此外，在壳体110设置有排气管道111。气体从排气管道111被排放到壳体110的外部。该气体是通过激光气体排气装置从壳体30的内部空间排放到壳体110的内部空间的气体、通过未图示的结构从光路管147a、161a内等排放到壳体110的内部空间的气体。

本公开的激光处理器190是包含存储有控制程序的存储装置和执行控制程序的CPU的处理装置。激光处理器190是为了执行本公开中包含的各种处理而特别地构成或被编程的。此外，激光处理器190对气体激光装置100整体进行控制。此外，激光处理器190与曝光装置200的曝光处理器电连接，在与曝光处理器之间发送接收各种信号。

2.2动作

接着，对比较例的气体激光装置100的动作进行说明。

在气体激光装置100出射脉冲激光之前的状态下，从未图示的吹扫气体供给源向光路管147a、161a的内部空间、壳体145a、151的内部空间填充吹扫气体。此外，从未图示的激光气体供给装置向壳体30的内部空间供给激光气体。在被供给激光气体后，激光处理器190对马达46a进行控制，使横流风扇46旋转。通过横流风扇46的旋转，激光气体在壳体30的内部空间循环。

在气体激光装置100出射脉冲激光时，激光处理器190对充电器141设定规定的充电电压，并且接通开关143a。由此，脉冲功率模块143利用被充电器141保持的电能生成脉冲状的高电压，对电极32a与电极32b之间施加高电压。在被施加高电压时，电极32a与电极32b之间的绝缘被击穿而产生放电。在产生放电时，通过该放电的能量，电极32a与电极32b之间的激光气体中包含的激光介质成为激励状态，在返回基态时发射自然发射光。该光的一部分为紫外线，透过窗口31b的光在后镜145处被反射。在后镜145处被反射的光再次从窗口31b向壳体30的内部空间传播。通过向壳体30的内部空间传播的光，激励状态的激光介质产生受激发射，光被放大。光透过窗口31a，向输出耦合镜147行进。光的一部分透过输出耦合镜147，光的其余的一部分被输出耦合镜147反射而透过窗口31a向壳体30的内部空间传播。向壳体30的内部空间传播的光如上所述向后镜145行进。这样，激光在后镜145与输出耦合镜147之间往复，每当通过壳体30的内部空间中的放电空间时被放大。然后，激光的一部分作为脉冲激光透过输出耦合镜147，向分束器152行进。

向分束器152行进的脉冲激光中的一部分在分束器152处被反射。被反射的脉冲激光被光传感器154接收，光传感器154计测接收的脉冲激光的脉冲能量E。光传感器154将表示与计测的脉冲能量E有关的数据的信号输出到激光处理器190。激光处理器190对充电器141的充电电压进行反馈控制，以使脉冲能量E与目标脉冲能量Et之差ΔE处于容许范围内。在差ΔE处于容许范围内时，透过分束器152和出射窗口161而入射到曝光装置200。该脉冲激光是ArF激光，该ArF激光是中心波长大约为193nm的紫外线。

另外，壳体30的内部空间的压力由压力传感器48来计测，来自压力传感器48的表示与压力有关的数据的信号被输入到激光处理器190。激光处理器190在充电电压高于容许范围的最大值的情况下，根据来自压力传感器48的信号对激光气体供给装置进行控制，将激光气体供给到壳体30的内部空间，直到壳体30的内部空间的压力成为规定压力为止。此外，激光处理器190在充电电压低于容许范围的最小值的情况下，根据该信号对激光气体排气装置进行控制，从壳体30的内部空间排放激光气体，直到该压力成为规定压力为止。

但是，在如上所述在电极32a与电极32b之间产生放电时，由于基于放电而引起的溅射或热，从电极32a、32b产生金属粉末和蒸气。金属粉末和蒸气与激光气体中的F₂气体反应而生成氟化物。作为氟化物的微粒与激光气体一起，借助横流风扇46在壳体30的内部空间中循环。通过循环，在开口30c与开口30j或开口30k之间产生压力差，通过该压力差，包含微粒的激光气体的一部分从开口30c和流入口51向过滤箱50流动。在图4中利用虚线的箭头示出从壳体30的内部空间朝向过滤箱50的激光气体的流动。

向过滤箱50流动的激光气体中的一部分向过滤器53a流动而被过滤，微粒被从激光气体中去除。去除微粒后的激光气体通过流路30d向吹扫室30g流动。所流动的激光气体的一部分通过开口30j向壳体30的内部空间流动。此外，激光气体的另外一部分吹拂窗口31a。然后，激光气体的另外一部分被窗口31a弹回，通过开口30j向壳体30的内部空间流动。但是，壳体30的内部空间中浮游的微粒有时从开口30j通过吹扫室30g向窗口31a流动。为了抑制这种微粒附着于窗口31a，配置筒部件60a。来自开口30j的包含微粒的激光气体在筒部件60a中通过开口63时被压缩，在通过相邻的板部件61的间隙后，压缩被释放而膨胀。激光气体随着在筒部件60a的内部空间中沿着筒部件60a的长度方向行进而反复进行压缩和膨胀，通过反复进行压缩和膨胀，激光气体中包含的微粒的一部分附着于板部件61和筒部件60a的内周面而被去除。去除了微粒后的激光气体向窗口31a流动，并且吹拂窗口31a。因此，抑制从开口30j流动来的微粒附着于窗口31a。在上述中，使用前侧说明了激光气体的流动和吹拂，但是，后侧的激光气体的流动和吹拂也是同样的。因此，通过向窗口31b吹拂激光气体，抑制微粒附着于窗口31b。

2.3课题

在比较例的腔装置CH中，仅通过驱动横流风扇46而产生的压力差引起的激光气体的流动，向过滤箱50流动的激光气体的流量可能不足。该情况下，从吹扫室30g、30g经由开口30j、30k向壳体30的内部空间流动的激光气体的流量减少，微粒有时从壳体30的内部空间经由开口30j、30k向窗口31a、31b行进。在筒部件60a和筒部件60b中仅去除激光气体中的微粒的一部分，因此，微粒附着于窗口31a、31b，窗口31a、31b的透射率有时由于微粒而降低。当透射率降低时，从气体激光装置100朝向曝光装置200出射的脉冲激光的能量密度有时降低。因此，气体激光装置100的可靠性可能降低。当气体激光装置100的脉冲能量变大时，由于电极面积的增加等而产生的微粒增加，因此，该流量不足更加显著。

因此，在以下的实施方式中，例示了能够抑制气体激光装置100的可靠性降低的腔装置CH。

3.实施方式1的腔装置的说明

接着，对实施方式1的腔装置CH进行说明。另外，对与上述说明的结构相同的结构标注相同标号，除了特别说明的情况以外，省略重复的说明。此外，在一部分附图中，为了容易观察，有时省略或简略地记载部件的一部分。

3.1结构

图5是从绝缘部33侧朝向横流风扇46侧观察本实施方式的腔装置CH的壳体30的内部空间的图。在本实施方式的腔装置CH中，与比较例的腔装置CH不同，未设置过滤箱50、流路30d、30e和吹扫室30g、30h。

腔装置CH具有被设置于壳体30的内部空间的分隔壁81、83。分隔壁81被设置于电极32a、32b与前侧的壁面之间，分隔壁83被设置于电极32a、32b与后侧的壁面之间。此外，分隔壁81的主面与壳体30的前侧的壁面相面对，分隔壁83的主面与壳体30的后侧的壁面相面对。这种分隔壁81、83将壳体30的内部空间分隔成3个内部空间301、303、305。内部空间301是分隔壁81与壳体30的前侧的壁面之间的前窗口侧的空间，内部空间303是分隔壁83与壳体30的后侧的壁面之间的后窗口侧的空间。内部空间301与前侧的壁面相接，内部空间303与后侧的壁面相接。内部空间305是内部空间301与内部空间303之间、具体而言为分隔壁81与分隔壁83之间的电极32a、32b侧的空间。内部空间305是以分隔壁81为基准而与内部空间301相反一侧的内部空间，是以分隔壁83为基准而与内部空间303相反一侧的内部空间。内部空间301和内部空间303为彼此相同的大小，内部空间305比内部空间301、305大。

在内部空间305配置有电极32a、32b、电极保持架部36、作为第1风扇的横流风扇46、热交换器47和压力传感器48。在图5中，与图3同样，为了图示的清晰化，省略电极32b、电极保持架部36和压力传感器48的图示。

在本实施方式的腔装置CH中，横流风扇46和热交换器47与比较例相反地被配置于内部空间305。此外，在内部空间305中，与比较例的壳体30的内部空间不同，配置有过滤器53a、53b。过滤器53a、53b被配置于以热交换器47为基准而与横流风扇46相反的一侧。在本实施方式的腔装置CH中，横流风扇46使激光气体按照横流风扇46、电极32a与电极32b之间、过滤器53a、53b、热交换器47和横流风扇46的顺序循环。因此，过滤器53a、53b对借助横流风扇46流动且分别通过该过滤器53a、53b的激光气体进行过滤，从激光气体中去除微粒。过滤器53a以堵住与分隔壁81连续的开口81a的方式在内部空间305中与分隔壁81相邻地配置，过滤器53b以堵住与分隔壁83连续的开口83a的方式在内部空间305中与分隔壁81相邻地配置。在图5中，利用虚线示出开口81a、83a。过滤器53a、53b和开口81a、83a在激光的行进方向上被配置于相同的直线上。过滤器53a、53b比比较例的各个过滤器短。另外，过滤器53a、过滤器53b也可以比比较例的各个过滤器长，还可以是相同的长度。或者，也可以是，1个过滤器以堵住开口81a、83a的方式被配置于开口81a、83a之间。

本实施方式的腔装置CH具有第2风扇、配置有第2风扇的风扇侧流路、以及与风扇侧流路连通且使激光气体向窗口侧流动的窗口侧流路，它们分别被配置于前侧和后侧。下面，将前侧的第2风扇、风扇侧流路和窗口侧流路设为第2风扇311、流路313和流路315来进行说明。此外，将后侧的第2风扇、风扇侧流路和窗口侧流路作为第2风扇321、流路323和流路325来进行说明。下面，使用前侧的第2风扇311、流路313和流路315进行说明，但是，后侧的第2风扇321、流路323和流路325为与前侧的第2风扇311、流路313和流路315相同的结构。因此，第2风扇321、流路323和流路325能够得到与第2风扇311、流路313和流路315相同的动作/作用/效果。

图6是从内部空间305观察到的分隔壁81和流路313的立体图，图7是从内部空间301观察到的分隔壁81和流路313的立体图。

在流路313配置有第2风扇311，由过滤器53a过滤的激光气体借助第2风扇311在流路313中流动。本实施方式的流路313通过分隔壁81的开口81a、81b、81c被设置于内部空间301和内部空间305。这种流路313包含被设置于内部空间301的第1流路313a、被设置于内部空间305的第2流路313b、以及被设置于内部空间301的第3流路313c。第1流路313a、第2流路313b和第3流路313c分别是由分隔壁81和板材包围的空间。第1流路313a、第2流路313b和第3流路313c沿着分隔壁81的平面方向设置。

第1流路313a的一端经由开口81a和过滤器53a与内部空间305连通，内部空间305的激光气体从内部空间305经由作为第1开口的开口81a流入第1流路313a。此外，第1流路313a的另一端与和分隔壁81连续的开口81b连通。开口81b比开口81a小，位于比开口81a靠下方的位置。在图5中，利用虚线示出被第3流路313c遮挡的第1流路313a的一部分，在图6中，利用虚线示出被分隔壁81遮挡的第1流路313a的一部分。此外，在图5中，为了容易观察附图，省略开口81b的图示，在图6和图7中，利用虚线示出开口81b。

第2流路313b的一端经由作为第2开口的开口81b与第1流路313a连通，第1流路313a的激光气体从第1流路313a经由作为第2开口的开口81b流入第2流路313b。此外，第2流路313b的另一端与和分隔壁81连续的作为第3开口的开口81c连通。在图7中，利用虚线示出被分隔壁81遮挡的第2流路313b的一部分。开口81c比开口81b大，比开口81a小。开口81c在以开口81b为基准而与开口81a相反的一侧位于与开口81a大致相同的高度位置。在图5中，利用虚线示出开口81c。

第3流路313c的一端经由开口81c与第2流路313b连通，第2流路313b的激光气体从第2流路313b经由作为第3开口的开口81c流入第3流路313c。此外，第3流路313c的另一端与流路315的分隔壁83侧的一端连通，并且经由开口81d与内部空间305连通。这种第3流路313c使激光气体的一部分经由开口81d向内部空间305流动，使激光气体的另外一部分向流路315流动。因此，第3流路313c使激光气体的一部分向远离窗口31a的方向流动，使激光气体的另外一部分向窗口31a侧流动。开口81d比开口81c大，比开口81a小。开口81d位于开口81b的上方。

第2风扇311例如是离心风扇，在第3流路313c中与开口81c相邻地配置。第2风扇311的配置位置为流路313的大致中间位置。但是，横流风扇46的驱动轴46b贯穿插入于第2流路313b、开口81c、第3流路313c中，驱动轴46b的末端由被配置于壳体30的外部的轴承46c保持。这种驱动轴46b与第2风扇311连结，第2风扇311通过驱动轴46b的旋转而旋转。因此，在通过作为横流风扇46的动力源的马达46a的驱动力而使驱动轴46b和横流风扇46旋转时，第2风扇311通过该驱动力而与横流风扇46一起向相同方向旋转。第2风扇311通过旋转使流路313内的激光气体向流路315流动。

流路315为筒状的部件的内部空间，被设置于内部空间301。流路315的长度方向沿着激光的行进方向。流路315被设置于内部空间301。流路315的一端与第3流路313c连通，流路315的另一端以包围开口30a的方式与壳体30的前侧的壁面连接。在沿着脉冲激光的行进方向观察的情况下，窗口31a与以下各部重叠：开口81d、开口81d与第3流路313c的连通部、第3流路313c与流路315的连通部、以及流路315。流路315使借助第2风扇311从流路315的第3流路313c流动的激光气体向窗口31a侧流动。此外，流路315使被窗口31a弹回的激光气体向远离窗口31a的方向流动，具体而言，使该激光气体经由开口81d向内部空间305流动。

在流路315配置有筒部件60a。筒部件60a与窗口31a被配置于同轴上。筒部件60a比流路315短。筒部件60a的一端从分隔壁81分开，与第3流路313c相比位于窗口31a侧。筒部件60a的另一端以包围开口30a的方式与壳体30的前侧的壁面连接。

在图5中，将与第1流路313a、第2流路313b和第3流路313c分别对应的流路323中的各个流路表示为第1流路323a、第2流路323b和第3流路323c。此外，将与开口81a、81b、81c、81d对应的开口表示为开口83a、83b、83c、83d。

3.2动作

接着，对本实施方式中的横流风扇46和第2风扇311的动作进行说明。

当马达46a旋转时，与马达46a和横流风扇46连结的驱动轴46b旋转。由此，横流风扇46通过来自马达46a的驱动力而旋转。此外，第2风扇311与驱动轴46b连结，因此，通过来自马达46a的驱动力，在横流风扇46的旋转的同时向相同方向旋转。由此，激光气体的大部分借助横流风扇46的旋转而按照横流风扇46、电极32a与电极32b之间、过滤器53a、53b、热交换器47和横流风扇46的顺序循环。此外，激光气体的另外一部分借助横流风扇46和第2风扇311的旋转而通过过滤器53a和开口81a向流路313流动。激光气体被过滤器53a过滤，在通过过滤从激光气体中去除了激光气体中包含的微粒的状态下向流路313流动。

在流路313中，激光气体借助第2风扇311按照第1流路313a、开口81b、第2流路313b、开口81c和第3流路313c的顺序流动。在第3流路313c的另一端侧，激光气体的行进方向与开口81d和流路315的轴向大致正交。该轴向是激光的行进方向。此外，在第3流路313c的另一端，激光气体碰撞位于激光气体的行进方向上的第3流路313c的内周面。通过碰撞，激光气体的一部分通过开口81d向内部空间305流动，激光气体的另外一部分向流路315流动。

在流路315中，激光气体向筒部件60a流动，向窗口31a流动，并且吹拂窗口31a。吹拂窗口31a的激光气体被窗口31a弹回，通过筒部件60a、流路315和开口81d向内部空间305流动。

3.3作用/效果

在本实施方式的腔装置CH中，第2风扇311通过来自马达46a的驱动力而与横流风扇46一起旋转，该马达46a是横流风扇46的驱动源。由过滤器53a过滤的激光气体借助第2风扇311向作为风扇侧流路的流路313流动。该激光气体的一部分向远离窗口31a的方向流动，另外一部分向作为窗口侧流路的流路315流动。向流路315流动的激光气体通过流路315向窗口31a侧流动，并且被窗口31a弹回，通过流路315向远离窗口31a的方向流动。

在本实施方式的腔装置CH中，流路313中的激光气体的流量通过第2风扇311而增加。因此，即使电极32a、32b侧的内部空间305中的包含微粒的激光气体要向窗口31a行进，该激光气体也被如上所述流量增加且向远离窗口31a的方向流动的激光气体推回到内部空间305。由此，能够抑制微粒从内部空间305朝向窗口31a行进，能够抑制微粒附着于窗口31a。此外，向窗口31a流动的激光气体在去除了微粒的状态下吹拂窗口31a，因此，能够通过吹拂来抑制微粒的附着。在如上所述抑制附着时，能够抑制由于附着而引起的窗口31a的透射率降低。此外，当抑制透射率降低时，能够抑制从气体激光装置100朝向曝光装置200出射的脉冲激光的能量密度降低，能够抑制气体激光装置100的可靠性降低。

此外，第2风扇311与横流风扇46一起旋转，该情况下，横流风扇46和第2风扇311能够由共同的马达46a来驱动。由此，与马达46a分别被配置于横流风扇46和第2风扇311的情况相比，马达46a的数量能够减少，能够抑制腔装置CH的成本，腔装置CH能够成为小型。

此外，在本实施方式的腔装置CH中，流路313被设置于内部空间301和比内部空间301大的内部空间305，流路315被设置于内部空间301。内部空间305比内部空间301大，因此，在内部空间305中，与内部空间301相比，容易确保多余的空间。因此，在上述的结构的情况下，流路313的一部分能够容易地被配置于内部空间301。此外，流路313的另外一部分被配置于内部空间305，因此，与流路313和流路315的整体被配置于内部空间301的情况相比，在内部空间301中配置各个流路的空间能够变大。由此，流路313的一部分和流路315能够容易地被配置于内部空间301。进而，流路313的一部分被配置于内部空间305，因此，内部空间301能够减小，壳体30的长度方向的长度能够变短。

此外，在本实施方式的腔装置CH中，第3流路313c还使激光气体经由被设置于以第3流路313c为基准而与流路315相反一侧的开口81d向与第3流路313c连通的内部空间305流动。内部空间305中的微粒有时借助横流风扇46从内部空间305经由开口81d、第3流路313c和流路315向窗口31a行进。在上述的结构中，在第3流路313c中流动的激光气体的一部分以推回微粒的方式向内部空间305流动，因此，能够抑制微粒从内部空间305流入窗口31a。

此外，在本实施方式的腔装置CH中，在沿着脉冲激光的行进方向观察的情况下，窗口31a与以下各部重叠：开口81d、开口81d与第3流路313c的连通部、第3流路313c与流路315的连通部、流路315。该情况下，脉冲激光从内部空间305通过开口81d、第3流路313c、流路315向窗口31a行进，因此，能够不需要将供脉冲激光通过的开口与开口81d分开地设置于分隔壁81。

此外，在本实施方式的腔装置CH中，第3流路313c在比壳体30的前侧的壁面侧更靠分隔壁81侧与流路315连通。该情况下，跟第3流路313c在壳体30的前侧的壁面侧与流路315连通的情况相比，能够抑制微粒从内部空间305经由开口81d流入流路315。

此外，在本实施方式的腔装置CH中，过滤器53a在内部空间305中覆盖开口81a。根据该结构，与过滤器53a以不覆盖开口81a的方式被配置于内部空间305的情况相比，能够抑制微粒朝向流路313行进。当抑制微粒朝向流路313行进时，能够抑制流路313、315中的微粒的堆积、以及微粒通过流路313、315朝向窗口31a行进。

此外，在本实施方式的腔装置CH中，筒部件60a被配置于流路315。筒部件60a包含多个板部件61，多个板部件61的开口63连续，各个板部件61隔开间隔地在筒部件60a的长度方向上并列配置。由此，激光气体随着在筒部件60a的内部空间中行进而反复进行压缩和膨胀，激光气体中包含的微粒能够附着于板部件61，能够进一步从激光气体中去除微粒。

此外，在本实施方式的腔装置CH中，第2风扇311与横流风扇46的驱动轴46b连结，通过驱动轴46b的旋转而旋转。根据该结构，第2风扇311能够与横流风扇46同时旋转。此外，在该结构中，与驱动轴46b分别单独配置于横流风扇46和第2风扇311的情况相比，驱动轴46b的数量能够减少，能够抑制腔装置CH的成本，腔装置CH能够成为小型。

在本实施方式的腔装置CH中，将横流风扇46设为第1风扇进行了说明，但是，第1风扇也可以是回流风扇。此外，将第2风扇311设为离心风扇进行了说明，但是，第2风扇311也可以是西洛克风扇。

4.实施方式2的腔装置的说明

接着，对实施方式2的腔装置CH进行说明。另外，对与上述说明的结构相同的结构标注相同标号，除了特别说明的情况以外，省略重复的说明。

4.1结构

图8是从绝缘部33侧朝向横流风扇46侧观察本实施方式的壳体30的内部空间的图。在本实施方式的腔装置CH中，流路313、315、323、325各自的结构与实施方式1各自的结构不同。下面，使用流路313、315进行说明，但是，流路323、325为与流路313、315相同的结构。因此，流路323、325能够得到与流路313、315相同的动作/作用/效果。

本实施方式的流路313包含第1流路313a和第2流路313b，第1流路313a和第2流路313b分别被设置于内部空间301，即流路313的整体被设置于内部空间301。因此，未在本实施方式的分隔壁81设置使流路313中的各个流路连通的实施方式1中说明的开口81b、81c。

第2流路313b是由壳体30的前侧的壁面和板材包围的空间，沿着壁面设置。第2流路313b的一端与第1流路313a的另一端连通，第2流路313b的另一端与开口30a连通。在第2流路313b的一端侧配置有第2风扇311，在第2流路313b的另一端侧配置有筒部件60a。

流路315被配置于以筒部件60a为基准而与壳体30的前侧的壁面相反的一侧。流路315的一端于在第2流路313b中流动的激光气体的行进方向的侧方与第2流路313b的另一端连通。第2流路313b的激光气体从第2流路313b沿着筒部件60a的外周面流入流路315。本实施方式的开口81d被设置于以流路315为基准而与第2流路313b相反的一侧，流路315的直径比开口81d大，流路315的另一端以包围开口81d的方式与分隔壁81连接。在沿着脉冲激光的行进方向观察的情况下，窗口31a与以下各部重叠：开口81d、开口81d与流路315的连通部、流路315和筒部件60a的内部空间。流路315使从第2流路313b如上所述沿着筒部件60a的外周面流动的激光气体的一部分经由筒部件60a的内部空间向窗口31a侧流动。此外，流路315使激光气体的另外一部分经由开口81d向内部空间305流动。此外，流路315使从窗口31a弹回而经由筒部件60a返回到流路315的激光气体经由开口81d向内部空间305流动。上述这种流路313在比分隔壁81侧靠壳体30的前侧的壁面侧与第2流路313b连通。在本实施方式的分隔壁81未设置开口81b、81c，因此，开口81d是分隔壁81的第2开口。

在本实施方式的流路313中，激光气体借助第2风扇311按照第1流路313a、第2流路313b的顺序流动。在第2流路313b的另一端，激光气体在脉冲激光的行进方向上沿着筒部件60a的外周面向流路315流动。向流路315流动的激光气体的一部分通过开口81d向内部空间305流动。此外，如上所述，流路315的直径比开口81d大，因此，激光气体的另外一部分与分隔壁81中的流路315的周面和开口81d的缘部之间的壁面发生碰撞。通过碰撞，激光气体经由流路315和筒部件60a向窗口31a流动。因此，与第2流路313b连通的流路315使激光气体经由被设置于第2流路313b的筒部件60a向窗口31a流动。因此，第2流路313b使激光气体的一部分经由流路315和开口81d向远离窗口31a的方向流动，使激光气体的一部分经由流路315向窗口31a侧流动。流路315中的激光气体吹拂窗口31a。吹拂窗口31a的激光气体被窗口31a弹回。流路315使从窗口31a弹回的激光气体向远离窗口31a的方向流动，具体而言，使激光气体经由开口81d向内部空间305流动。

4.2作用/效果

在本实施方式的腔装置CH中，流路313和流路315被配置于内部空间301。因此，能够不需要在分隔壁81设置开口81b、81c。此外，流路313和流路315未被配置于内部空间305，因此，能够抑制基于横流风扇46的气体的流动由于流路313和流路315而紊乱。

上述说明不是限制，而是简单的例示。因此，本领域技术人员明白能够在不脱离权利要求书的情况下对本公开的实施方式施加变更。此外，本领域技术人员还明白组合本公开的实施方式进行使用。

只要没有明确记载，则本说明书和权利要求书整体所使用的用语应该解释为“非限定性”用语。例如，“包含”、“有”、“具有”、“具备”等用语应该解释为“不将被记载的结构要素以外的结构要素的存在除外”。此外，修饰词“一个”应该解释为意味着“至少一个”或“一个或一个以上”。此外，“A、B和C中的至少一方”这样的用语应该解释为“A”、“B”、“C”、“A+B”、“A+C”、“B+C”或“A+B+C”，进而，应该解释为还包含它们和“A”、“B”、“C”以外的部分的组合。

Claims (20)

1.一种腔装置，其具有：

壳体，其封入激光气体；

一对放电电极，它们在所述壳体的内部空间中彼此对置地配置，通过被施加电压而利用所述激光气体产生光；

窗口，其被配置于所述壳体的壁面，所述光透过所述窗口；

第1风扇，其被配置于所述内部空间，使所述激光气体在所述一对放电电极之间流动；

过滤器，其被配置于所述内部空间；

第2风扇，其通过来自所述第1风扇的驱动源的驱动力而与所述第1风扇一起旋转；

风扇侧流路，其被设置于所述内部空间，由所述过滤器过滤的所述激光气体借助所述第2风扇在所述风扇侧流路中流动，该风扇侧流路使该激光气体的一部分向远离所述窗口的方向流动；以及

窗口侧流路，其被设置于所述内部空间，与所述风扇侧流路连通，使借助所述第2风扇从所述风扇侧流路流动的所述激光气体向所述窗口侧流动。

2.根据权利要求1所述的腔装置，其中，

所述腔装置具有分隔壁，所述分隔壁被设置于设置有所述窗口的所述壁面与所述放电电极之间，将所述内部空间分隔成窗口侧内部空间和比所述窗口侧内部空间大的电极侧内部空间，该窗口侧内部空间与设置有所述窗口的所述壁面相接，所述放电电极位于所述电极侧内部空间，

所述风扇侧流路穿过所述分隔壁而被设置于所述窗口侧内部空间和所述电极侧内部空间，

所述窗口侧流路被设置于所述窗口侧内部空间。

3.根据权利要求2所述的腔装置，其中，

所述风扇侧流路包含：

第1流路，其设置于所述窗口侧内部空间，所述电极侧内部空间的所述激光气体经由所述分隔壁的第1开口流入所述第1流路；

第2流路，其设置于所述电极侧内部空间，所述第1流路的所述激光气体经由所述分隔壁的第2开口流入所述第2流路；以及

第3流路，其设置于所述窗口侧内部空间，所述第2流路的所述激光气体经由所述分隔壁的第3开口流入所述第3流路，该第3流路使该激光气体向所述窗口侧流路流动。

4.根据权利要求3所述的腔装置，其中，

所述第2风扇被配置于所述第3流路。

5.根据权利要求3所述的腔装置，其中，

所述过滤器在所述电极侧内部空间中覆盖所述第1开口。

6.根据权利要求3所述的腔装置，其中，

所述腔装置还具有被配置于所述窗口侧流路的筒部件，

所述筒部件包含多个板部件，所述多个板部件被配置于所述筒部件的内部空间，并且所述多个板部件的开口连续，

各个所述板部件隔开间隔地在所述光的行进方向上并列配置。

7.根据权利要求3所述的腔装置，其中，

所述第3流路使所述激光气体经由所述分隔壁的第4开口向所述电极侧内部空间流动。

8.根据权利要求7所述的腔装置，其中，

在沿着所述光的行进方向观察的情况下，所述窗口与如下各部重叠：所述第4开口、所述第4开口与所述第3流路的连通部、所述第3流路与所述窗口侧流路的连通部、所述窗口侧流路。

9.根据权利要求1所述的腔装置，其中，

所述腔装置具有分隔壁，所述分隔壁被设置于设置有所述窗口的所述壁面与所述放电电极之间，

所述风扇侧流路和所述窗口侧流路被设置于所述内部空间中的、所述分隔壁与设置有所述窗口的所述壁面之间的窗口侧内部空间。

10.根据权利要求9所述的腔装置，其中，

所述第2风扇被配置于所述风扇侧流路。

11.根据权利要求9所述的腔装置，其中，

电极侧内部空间的所述激光气体经由所述分隔壁的第1开口流入所述风扇侧流路，该电极侧内部空间位于以所述分隔壁为基准而与所述窗口侧内部空间相反的一侧，所述放电电极位于该电极侧内部空间，

所述过滤器在所述电极侧内部空间中覆盖所述第1开口。

12.根据权利要求9所述的腔装置，其中，

所述腔装置还具有被配置于所述风扇侧流路的筒部件，

所述筒部件包含多个板部件，所述多个板部件被配置于所述筒部件的内部空间，并且所述多个板部件的开口连续，

各个所述板部件隔开间隔地在所述光的行进方向上并列配置。

13.根据权利要求9所述的腔装置，其中，

所述风扇侧流路使所述激光气体经由所述窗口侧流路和所述分隔壁的第2开口向电极侧内部空间流动，该电极侧内部空间位于以所述分隔壁为基准而与所述窗口侧内部空间相反的一侧，所述放电电极位于该电极侧内部空间。

14.根据权利要求1所述的腔装置，其中，

所述第2风扇与所述第1风扇的驱动轴连结，通过所述驱动轴的旋转而旋转。

15.根据权利要求1所述的腔装置，其中，

所述第2风扇是离心风扇。

16.根据权利要求1所述的腔装置，其中，

所述第2风扇是西洛克风扇。

17.一种气体激光装置，其具有腔装置，其中，

所述腔装置具有：

壳体，其封入激光气体；

一对放电电极，它们在所述壳体的内部空间中彼此对置地配置，通过被施加电压而利用所述激光气体产生光；

窗口，其被配置于所述壳体的壁面，所述光透过所述窗口；

第1风扇，其被配置于所述内部空间，使所述激光气体在所述一对放电电极之间流动；

过滤器，其被配置于所述内部空间；

第2风扇，其通过来自所述第1风扇的驱动源的驱动力而与所述第1风扇一起旋转；

风扇侧流路，其被设置于所述内部空间，由所述过滤器过滤的所述激光气体借助所述第2风扇在所述风扇侧流路中流动，该风扇侧流路使该激光气体的一部分向远离所述窗口的方向流动；以及

窗口侧流路，其被设置于所述内部空间，与所述风扇侧流路连通，使借助所述第2风扇从所述风扇侧流路流动的所述激光气体向所述窗口侧流动。

18.根据权利要求17所述的气体激光装置，其中，

所述气体激光装置是准分子激光装置。

19.一种电子器件的制造方法，其包含以下步骤：

通过具有腔装置的气体激光装置生成激光，

将所述激光输出到曝光装置，

在所述曝光装置内在感光基板上曝光所述激光，以制造电子器件，

所述腔装置具有：

壳体，其封入激光气体；

一对放电电极，它们在所述壳体的内部空间中彼此对置地配置，通过被施加电压而利用所述激光气体产生光；

窗口，其被配置于所述壳体的壁面，所述光透过所述窗口；

第1风扇，其被配置于所述内部空间，使所述激光气体在所述一对放电电极之间流动；

过滤器，其被配置于所述内部空间；

第2风扇，其通过来自所述第1风扇的驱动源的驱动力而与所述第1风扇一起旋转；

风扇侧流路，其被设置于所述内部空间，由所述过滤器过滤的所述激光气体借助所述第2风扇在所述风扇侧流路中流动，该风扇侧流路使该激光气体的一部分向远离所述窗口的方向流动；以及

窗口侧流路，其被设置于所述内部空间，与所述风扇侧流路连通，使借助所述第2风扇从所述风扇侧流路流动的所述激光气体向所述窗口侧流动。

20.根据权利要求19所述的电子器件的制造方法，其中，

所述气体激光装置是准分子激光装置。