JP2010243559A - 光源装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光源装置は、外気の侵入を防止する筺体50の内部に、レーザ光を出射するレーザ出力部2と、レーザ出力部2から出射されたレーザ光を紫外光に波長変換する波長変換部3とを備える。筺体50には、レーザ出力部2と波長変換部3とを仕切る仕切り壁54が設けられるとともに、仕切り壁54にレーザ出力部2から出射されたレーザ光を透過するが気体の流通を遮断する窓部55a,55bが設けられ、レーザ出力部2から出射されたレーザ光La1,La2が、窓部55a,55bを介して波長変換部3に入射されるように構成される。
【選択図】図1
Description
2 レーザ出力部
3 波長変換部
10 レーザ光発生部
11 レーザ光源
20 光増幅部
21,22 ファイバー光増幅器
30 波長変換光学系
50 筺体
53 出力窓
54 仕切り壁
55 窓部(55a:第1の窓部、55b:第2の窓部)
Claims (3)
- 外気の侵入を防止するように構成された筺体内部に、
所定波長のレーザ光を出射するレーザ出力部と、
前記レーザ出力部から出射されたレーザ光を紫外光に波長変換する波長変換部と、
前記レーザ出力部と前記波長変換部とを仕切る仕切り壁と、
前記仕切り壁に設けられ、前記レーザ出力部から出射されたレーザ光を透過するが気体の流通を遮断する窓部とを備え、
前記レーザ出力部から出射されたレーザ光が、前記窓部を介して前記波長変換部に入射されるように構成したことを特徴とする光源装置。 - 前記レーザ出力部は、前記所定波長のレーザ光を発生するレーザ光源と、前記レーザ光源により発生されたレーザ光を増幅するファイバー光増幅器とを備えて構成されることを特徴とする請求項1に記載の光源装置。
- 前記所定波長は、赤外〜可視領域内であることを特徴とする請求項1または2に記載の光源装置。
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2009
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