WO2006112150A1

WO2006112150A1 - リニア駆動装置

Info

Publication number: WO2006112150A1
Application number: PCT/JP2006/303546
Authority: WO
Inventors: Kazuhiko Ueda
Original assignee: Sharp Kabushiki Kaisha
Priority date: 2005-03-30
Filing date: 2006-02-27
Publication date: 2006-10-26
Also published as: CN101151785A; JP2006280128A; KR100887036B1; JP3792245B1; KR20070116935A; US7649285B2; CN101151785B; US20090079276A1

Abstract

　カップ状スリーブ（１４）は、その主成分が樹脂であり、その先端に複数に分割された永久磁石（１５）がインサート成形されている。また、カップ状スリーブ（１４）は、その内周面に沿うように、永久磁石（１５）が設けられていない内周面に、樹脂を主成分とする補助リング（５０）が設けられている。補助リング（５０）は、永久磁石（１５）の内周面と同一の内周面、または、永久磁石（１５）の内周面よりも外側に位置する内周面を有し、カップ状スリーブ（１４）の樹脂成形のときに、カップ状スリーブ（１４）を構成する樹脂が内側に収縮することを防止する。したがって、永久磁石（１５）を支持する樹脂とシリンダとが接触することが防止される。それにより、ピストンの往復運動に支障が生じることが抑制されたリニア駆動装置が得られる。

Description

明細書

リニア駆動装置

技術分野

[0001] 本発明は、ピストンが往復運動するリニア駆動装置に関するものである。

背景技術

[0002] 従来から、リニアモータによって生成された磁界の変化に起因して往復運動するマグネット組品に連結されたピストンを有するリニア駆動装置がリニア圧縮機およびスタ一リング冷凍機等に用いられている。

特許文献 1：特開 2004— 297858号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0003] 上記のようなリニア駆動装置の製造工程においては、マグネット組品を構成する永久磁石とカップ状スリーブの榭脂とがインサート成型によって結合される。このインサート成型においては、永久磁石の収縮率と樹脂の収縮率とが異なる。つまり、インサート成型時に、永久磁石はほとんど収縮しないが、榭脂は大きく収縮する。そのため、永久磁石の内周面よりも永久磁石を支持するカップ状スリーブを構成する榭脂の内周面が内側に位置することになる。この場合、ピストンとともにマグネット組品が往復運動すると、内ヨークとカップ状スリーブを構成する榭脂の内周面とが接触することがある。その結果、ピストンの往復運動に支障が生じることがある。

[0004] また、マグネット組品の永久磁石が複数の磁石片を周方向に配列することによって構成される場合には、磁石片同士の間隔部に樹脂が流れ込み難ければ、その部分の榭脂に空洞が形成される。その結果、磁石片が榭脂から外れることによって、ピストンの往復運動に支障が生じることがある。

[0005] また、ピストンの駆動時に永久磁石の内周面が内ヨークに接触した場合、ピストンの往復運動に支障をきたすことがある。これを防止するためにカップ状スリーブ全体を外周側に大きくすると、カップ状スリーブの外周面が他の部材に接触し、ピストンの往復運動に支障をきたす。また、そのカップ状スリーブが組み込まれたリニアモータの外径が大きくなつてしまったり、内ヨークと外ヨークとの間の距離が拡大されてしまう結果、モータ性能が低下したりする。

[0006] 本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、ピストンの往復運動に支障が生じ難いコンパクトなリニア駆動装置を提供することである。

課題を解決するための手段

[0007] 本発明の一の局面のリニア駆動装置は、シリンダと、シリンダ内を往復運動するビストンと、シリンダの外部に設けられ、ピストンを往復運動させるリニアモータとを備えている。また、リニア駆動装置は、ピストンと連結され、リニアモータの可動子として機能する、榭脂を主成分とするカップ状スリーブを備えている。さらに、リニア駆動装置は、カップ状スリーブの開放端側の内周面に一体成型されリニアモータが生成する磁界によって往復運動する永久磁石を備えている。また、カップ状スリーブ内周面の永久磁石が設けられていない部分には、永久磁石の内周面と同一径か、永久磁石の内周面より大きヽ径の内周面を有するリング状部材が設けられて、る。

[0008] 上記の構成によれば、カップ状スリーブの榭脂成型のときに、リング状部材によって、カップ状スリーブ内周面の永久磁石が設けられていない部分が内側に収縮することが防止される。したがって、永久磁石の内周面よりも、内径の小さい円筒部を有するカップ状スリーブが製形されることが防止される。その結果、ピストンが往復運動するときに、円筒部の内周面が内ヨークの外周面等と接触することが防止される。つまり、ピストンの往復運動に支障が生じることが防止される。

[0009] 本発明の他の局面のリニア駆動装置は、シリンダと、シリンダ内を往復運動するビストンと、シリンダの外部に設けられ、ピストンを往復運動させるリニアモータとを備えている。また、リニア駆動装置は、ピストンと連結されリニアモータの可動子として機能する榭脂製のカップ状スリーブを備えている。さらに、リニア駆動装置は、カップ状スリーブの開放端側の内周面に一体成型されリニアモータが生成する磁界によって往復運動する永久磁石と備えている。また、永久磁石は複数の磁石片が周方向に配列されており、磁石片同士の間隔の外側が内側に対して大きくなつて!、る。

[0010] 上記の構成によれば、磁石片のインサート成型において磁石片同士の間隔部へ榭脂が流れ込み易くなる。その結果、カップ状スリーブの磁石片同士の間隔部に空洞ができることが防止される。その結果、磁石片が榭脂から外れることが防止される。したがって、ピストンの往復運動に支障が生じることが防止される。

[0011] 本発明のさらに他の局面のリニア駆動装置は、シリンダと、シリンダ内を往復運動するピストンと、シリンダの外部に設けられ、ピストンを往復運動させるリニアモータとを備えている。また、リニア駆動装置は、ピストンと連結されリニアモータの可動子として機能する榭脂製のカップ状スリーブを備えている。また、リニア駆動装置は、カップ状スリーブの開放端側の内周面に一体成型され、リニアモータが生成する磁界によつて往復運動する永久磁石を備えている。また、永久磁石の表面に摩擦係数が低くなるように表面処理が施されて!/、る。

[0012] 上記の構成によれば、マグネットを榭脂材料でインサート成型する際、永久磁石と榭脂との間に生じる摩擦力が小さくなるため、榭脂の流動性が良くなり、永久磁石の外周側に設けられる榭脂の厚さを小さくすることができる。ピストンの外周面と外ヨークとの接触のおそれを低減することができるため、ピストンの往復運動に支障が生じることが防止される。また、内ヨークと外ヨークとの間の距離を狭めることが可能となり、リニァモータ特性を向上させることができる。

[0013] 本発明のまたさらに他の局面のリニア駆動装置は、シリンダと、シリンダ内を往復運動するピストンと、シリンダの外部に設けられ、ピストンを往復運動させるリニアモータとを備えている。また、リニア駆動装置は、ピストンと連結され、リニアモータの可動子として機能する榭脂製のカップ状スリーブを備えている。また、リニア駆動装置は、力ップ状スリーブの開放端側の内周面に一体成型されリニアモータが生成する磁界によって往復運動する永久磁石を備えている。また、カップ状スリーブの内周面には、永久磁石の内周面を覆う榭脂製のリング状部材が設けられている。

[0014] 上記の構成によれば、永久磁石の内周面がリング状部材によって覆われているため、永久磁石の内周面が損傷することが防止される。また、リング部材が軸方向に略同一肉厚であれば、リング状部材を押出し成型でき部品コストを低減できる。発明の効果

[0015] 本発明によれば、ピストンの往復運動に支障が生じ難いコンパクトなリニア駆動装置が得られる。 [0016] この発明の上記および他の目的、特徴、局面および利点は、添付の図面と関連して理解されるこの発明に関する次の詳細な説明から明らかとなるであろう。

図面の簡単な説明

[0017] [図 1]実施の形態 1のスターリング冷凍機の構造を示す断面図である。

[図 2]実施の形態のカップ状スリーブの縦断面図である。

[図 3]実施の形態のカップ状スリーブの横面図である。

[図 4]実施の形態のカップ状スリーブの他の例の横部分断面図である。

[図 5]実施の形態のカップ状スリーブのさらに他の例の横部分断面図である。

[図 6]実施の形態のカップ状スリーブの他の例の横断面図である。

[図 7]実施の形態のカップ状スリーブのさらに他の例の横断面図である。

[図 8]実施の形態のカップ状スリーブのスリットを説明するための側面図である。

[図 9]実施の形態のカップ状スリーブの位置決めスリットを説明するための上面図である。

[図 10]実施の形態のカップ状スリーブの下面図である。

[図 11]実施の形態のカップ状スリーブとピストンとの取付け方法を説明するための図である。

[図 12]実施の形態のカップ状スリーブとピストンとが取付けられた状態を説明するための図である。

[図 13]実施の形態 2のリニア圧縮機の構造を示す断面図である。

符号の説明

[0018] 1 ピストン、 3 シリンダ、 14 カップ状スリーブ、 15 永久磁石、 50, 51, 52 補助リング。

発明を実施するための最良の形態

[0019] (実施の形態 1)

以下、図 1を参照しながら、本発明の実施の形態のリニア駆動装置の一例であるスターリング冷凍機を説明する。

[0020] 図 1は、実施の形態のスターリング冷凍機 40を示す断面図である。スターリング冷凍機 40においては、 2つの部分で構成されている円筒形状のシリンダ 3内に、円柱形のピストン 1およびディスプレーサ 2が嵌め込まれている。ピストン 1とディスプレーサ 2とは、圧縮空間 9を介して設けられ、共通の駆動軸として軸 Yを有している。

[0021] ディスプレーサ 2の先端側に膨張空間 10が形成されている。圧縮空間 9と膨張空間 10とはヘリウム等の作動媒体が流通する媒体流通路 11を介して連通している。媒体流通路 11内には、再生器 12が設けられている。再生器 12は、作動媒体の熱を蓄積するとともに、蓄積した熱を作動媒体に供給する。シリンダ 3の略中間には鍔部 (フランジ） 3aが設けられている。鍔部 3aにはドーム状の耐圧容器 4が取り付けられることによって密閉されたバウンス空間（背面空間） 8が形成されている。

[0022] ピストン 1は後端側で支持パネ 5と一体ィ匕されている。ディスプレーサ 2はピストン 1 の中心孔 laを貫通するロッド 2aを介して支持パネ 6と一体ィ匕されている。支持パネ 5 と支持パネ 6とはボルトおよびナット 22により連結されている。後述するように、ピストン 1が往復運動すると、ディスプレーサ 2は、ピストン 1とディスプレーサ 2との間に生じる作動流体の圧力変動によって、ピストン 1に対して所定の位相差を有する状態で往復運動を行なう。

[0023] バウンス空間 8内のシリンダ 3の外側には内側ヨーク 18が嵌め込まれている。内側ョーク 18は隙間 19を介して外側ヨーク 17に対向してヽる。外側ヨーク 17の内側には駆動用コイル 16が嵌め込まれている。隙間 19には環状の永久磁石 15が移動可能に設けられている。永久磁石 15はカップ状スリーブ 14を介してピストン 1と一体ィ匕されている。内側ヨーク 18、外側ヨーク 17、および駆動用コイル 16、永久磁石 15によつて、ピストン 1を軸 Yに沿って移動させるリニアモータ 13 (M)が構成されている。

[0024] 駆動用コイル 16には、リード線 20および 21が接続されている。リード線 20および 2 1は、耐圧容器 4の壁面を貫通し、交流電力生成装置のインバータ回路 100に接続されて!/、る。マイクロコンピュータ 1000がインバータ回路 100を制御することによってリニアモータ 13 (M)に駆動電力が供給される。

[0025] 上記構成のスターリング冷凍機 40は、リニアモータ 13 (M)によってピストン 1が往復運動すると、ピストン 1に対して所定の位相差を有する状態でディスプレーサ 2が往復運動する。これにより、圧縮空間 9と膨張空間 10との間を作動媒体が移動する。その結果、逆スターリングサイクルが形成される。 [0026] 上述の本実施の形態のスターリング冷凍機 40は、交流電力生成装置のインバータ回路 100によって所定の交流波形の駆動電圧がリニアモータ 13 (M)に印加されると、ピストン 1がその所定の交流波形の駆動電圧に対応した周期およびストロークで往復運動を行なう。したがって、リニアモータ 13に印加される駆動電圧を制御することにより、ピストン 1の往復運動の周期およびストロークを制御することが可能である。

[0027] 次に、上記本実施の形態のフリーピストン型スターリング冷凍機の動作原理をより詳細に説明する。

[0028] ピストン 1は、リニアモータ 13により駆動される。ピストン 1は、支持パネ 5に弹性的に支持されている。そのため、ピストン 1は、その位置と時間との関係が正弦波を描くように運動する。

[0029] また、ピストン 1の動きにより、圧縮空間 9内の作動ガスは、その圧力と時間との関係が正弦波を描くように運動する。圧縮空間 9内で圧縮された作動ガスは、まず、放熱用熱交換部としての圧縮空間 9から熱を放出する。次に、圧縮された作動ガスは、デイスプレーサ 2の周囲に設けられた再生器 12で冷却される。その後、圧縮された作動ガスは、再生器 12から吸熱用熱交換部としての膨張空間 10へ流入する。

[0030] 膨張空間 10の作動ガスは、ピストン 1の動きにより膨張する。膨張した作動ガスは、その温度が低下する。膨張空間 10内の作動ガスは、その圧力と時間との関係が正弦波を描くように運動する。膨張空間 10内の作動ガスの圧力と時間との関係を示す正弦波は、圧縮空間 9内の作動ガスの圧力と時間との関係を示す正弦波に対して、所定の位相差を有する波形であるが、同じ周期で変化する波形である。すなわちデイスプレーサ 2はピストン 1に対して所定の位相差を有する状態で往復運動する。

[0031] マイクロコンピュータ 1000からインバータ回路 100へ出力される PWM制御信号は、デジタル信号すなわちパルス波形である。このパルス波形は、インバータ回路 100 にお、てアナログ信号すなわち交流波形に変換される。この交流波形の周波数が、スターリング冷凍機 40のピストン 1の周波数になる。

[0032] なお、デジタル信号をアナログ信号に変換するときには、上述したように PWMが用いられる。つまり、マイクロコンピュータ 1000から順次出力される複数のパルスは、その幅が、小さいものから大きなものへと除々に変化し、ピークの幅になった後、除々に小さなものへ戻っていくように構成されている。それにより、交流波形が生成される。

[0033] 本実施の形態のリニア駆動装置においては、図 2および図 3に示すように、永久磁石 15と、永久磁石 15を支持するカップ状スリーブ 14と、永久磁石 15に隣接して設けられ、永久磁石 15の内周面と同一の内周面を有する補助リング 50とが一体成型されている。ただし、補助リング 50の内周面は永久磁石 15の内周面よりも外側に位置していてもよい。補助リング 50は、カップ状スリーブ 14の内周面に沿って設けられた円筒状の榭脂成型部材である。補助リング 50は、必ずしも榭脂製である必要は無ぐ軽量であれば金属製でも良ぐカップ状スリーブ 14を成型する榭脂の収縮によって永久磁石 15の内径よりも小さくならないものであれば材質を問わない。

[0034] また、カップ状スリーブ 14の開放端側においては、永久磁石 15が、複数に分割された状態で設置され、榭脂にインサート成型されている。したがって、永久磁石 15を構成する複数の磁石片同士の間には、カップ状スリーブ 14の開放端部を構成する榭脂が充填されている。また、複数の磁石片の外周面の全体を覆うようにカップ状スリーブ 14の開放端部の榭脂部分が円筒状に形成されている。なお、前述の複数の磁石片のそれぞれの表面には、ニッケルめっき、または、アルミコーティングなどの成型榭脂との摩擦係数を小さくするための処理が施されている。したがって、永久磁石 15と成型時に流動する榭脂との間の摩擦力が小さくなるため、永久磁石 15の外側の榭脂の厚さ (肉厚)が薄くても十分に榭脂を流動させることができ空洞の無い成型が可能となる。そのため、永久磁石 15が移動する隙間 19が同じであればカップ状スリーブ 14の外周面と他の部品（外側ヨーク 17)との接触のおそれを低減することができる。その結果、ピストン 1の往復運動に支障が生じることが防止される。また、内'外ョーク間距離 (隙間 19)を狭めることができ、リニアモータの特性向上が図れる。

[0035] 但し、図 4に示すように、本実施の形態のカップ状スリーブ 14の開放端部は、永久磁石 15を構成する磁石片同士の間において、榭脂が外周方向に突出している突出部 14aを有していてもよい。このような形状に対応した金型が用いられれば、磁石片同士の間に樹脂が流れ込み易くなる。したがって、カップ状スリーブ 14の榭脂成型に不良 (空洞）が生じることが防止される。その結果、磁石片がピストン 1の駆動中に榭脂から外れ、ピストン 1の往復運動に支障が生じることが防止される。 [0036] また、永久磁石 15同士の間に樹脂が流れ込み易くするためには、図 5に示すように、複数の永久磁石 15のそれぞれの外側の角部 15aが面取りされて、ることが望ましい。そうすることで、隣接する永久磁石 15同士の間隔部の外周側の間隔が内周側の間隔に比較して大きくなり、榭脂が外周側から内周側に向力つて流れ込み易くなる。また、図 4および図 5に示すような構造が採用されれば、カップ状スリーブ 14の機械的強度を向上させることができる。

[0037] さらに、補助リング 50の構造は、図 6および図 7に示すように、複数の永久磁石 15 の内周面の全体を覆う構造であってもよい。図 6には、カップ状スリーブ 14の内周面と永久磁石 15との段差を解消するように、円筒状の補助リング 52がー体成型された構造が示されている。また、図 7には、シリンダ 3の駆動方向に沿って肉厚がほぼ一定の補助リング 51がー体成型された構造が示されている。図 6および図 7に示すような補助リング 51または 52であれば、永久磁石 15の内周面が補助リング 51または 52 によって覆われているため、永久磁石 15の内周面が損傷することが防止される。また、補助リング 51のように、肉厚が一定の円筒状部材であれば、押出し成型によって製造することができ、型および部品に要する費用を低減することができる。

[0038] また、本実施の形態のカップ状スリーブ 14の先端部には、図 8および図 9に示すように、永久磁石 15を榭脂内にインサート成型するときに永久磁石 15を位置決めしておくために金型に設けられたリブ形状に対応するスリット 140が形成されている。このように、永久磁石 15を位置決めするためのリブを成型金型に設けておけば、永久磁石 15の位置決めが容易になる。

[0039] また、図 10〜図 12に示すように、本実施の形態のカップ状スリーブ 14とピストン 1とは、雄ねじ 142によって結合される。雄ねじ 142は、カップ状スリーブ 14の底面にインサート成形されたスリーブ状メタル 141を貫通し、ピストン 1に設けられた雌ネジに螺合される。この構造によれば、雄ねじ 142とメタル 141との間の結合が強固であるため、往復運動および経年劣化によってピストン 1とカップ状スリーブ 14との位置ずれが生じることが抑制される。

[0040] (実施の形態 2)

次に、図 13を用いて、本発明の実施の形態のリニア駆動装置の他の一例のリニア圧縮機を説明する。

[0041] 図 13に示すように、リニア圧縮機 540は、ケーシング 541内に設置されたシリンダ 5 42と、該シリンダ 542内で往復動するピストン 543と、シリンダ 542の外周部に設置されピストン 543を駆動するリニアモータ 501と、ピストン 543を付勢するピストンスプリング (板パネ） 546と、シリンダを支持する支持機構部とを備える。

[0042] リニアモータ 501は、シリンダ 542の外周部に設置されたインナーヨーク 530と、該インナーヨーク 530の外側に配置されるアウターヨーク 504と、インナーヨーク 530とアウターヨーク 504との間に配置されたコイル 508およびカップ状スリーブ 532と、ァウタ一ヨーク 504を挟持する第 1および第 2クランプリング 502および 503と、第 1および第 2クランプリング 502および 503との間を所定間隔で連結するスぺーサ（図示せず）と、ピストンスプリング 546を支持する支持部 516とを有する。

[0043] インナーヨーク 530は、シリンダ 542の外周を取り囲むように設けられ、該インナーョーク 530を取り囲むように円筒状のカップ状スリーブ 532が配置されている。カップ状スリーブ 532は、ピストン 543と接続され、先端に永久磁石 531を構成する複数の磁石片を有する。複数の磁石片のそれぞれはインナーヨーク 530とアウターヨーク 504 との間に配置されている。また、カップ状スリーブ 532の永久磁石 531が設けられていない内周面には円筒状の補助リング 500が設けられている。補助リング 500は、実施の形態 1の補助リング 50と同様の構造である。

[0044] 第 1クランプリング 502は、ピストンスプリング 546を支持する支持部 516を有する。

該支持部 516に取付けられた支持部材を介してピストンスプリング 546が支持部 516 と接続される。

[0045] また、リニア圧縮機 540においては、シリンダ 542、ピストン 543、および対向面（54 7)によって圧縮空間 544が構成されている。シリンダ 542は、ケーシング 541内で支持機構部により支持されるが、該支持機構部は、図 13の例では、ケーシング 541の内部に固定される支持板 549と、該支持板 549上に搭載されシリンダ 542を支持するコイルスプリング 548とで構成される。

[0046] また、シリンダ 542の一端側にプレート 547を介してヘッドカバー 545を固定する。

圧縮空間 544内では、該ヘッドカバー 545とピストン 543の頭部とによって冷媒が圧縮される。

[0047] 次に、上記の構造のリニア圧縮機の動作について説明する。まず、コイル 508に通電すると、カップ状スリーブ 532の永久磁石 531との間に推力が発生し、この推力によりカップ状スリーブ 532がシリンダ 542の軸方向に沿って移動する。このときカップ状スリーブ 532はピストン 543と接続されているので、カップ状スリーブ 532ととも〖こピストン 543も、シリンダ 542の軸方向に移動する。

[0048] 冷媒は、図示しない吸入管力らケーシング 541内に導入され、ヘッドカバー 545およびプレート 547内の通路を通過して圧縮空間 544内に入る。この圧縮空間 544内で、冷媒はピストン 543により圧縮され、その後、図示しない吐出管を通って外部に吐出される。

[0049] 本実施の形態のカップ状スリーブ 532および永久磁石 531等は、図 2〜図 12を用いて説明した実施の形態 1のカップ状スリーブ 14および永久磁石 15等と同様の構造である。したがって、本実施の形態のリニア圧縮機のリニア駆動装置においても、実施の形態 1のリニア駆動装置によって得られる効果と同様の効果を得ることができる。

[0050] この発明を詳細に説明し示してきた力これは例示のためのみであって、限定ととつてはならず、発明の精神と範囲は添付の請求の範囲によってのみ限定されることが明らかに理解されるであろう。

Claims

請求の範囲

[1] シリンダ（3, 542)と、

前記シリンダ（3, 542)内を往復運動するピストン（1, 543)と、

前記シリンダ（3, 542)の外部に設けられ、前記ピストン（1, 543)を往復運動させるリニアモータ（13, 501)と、

前記ピストン（1, 543)と連結され、前記リニアモータ（13, 501)の可動子として機能する榭脂製のカップ状スリーブ（14, 532)と、

前記カップ状スリーブ（14, 532)の開放端側の内周面に一体成型され、前記リニァモータ（13, 501)が生成する磁界によって往復運動する永久磁石（15, 531)とを備え、

前記カップ状スリーブ（14, 532)の前記永久磁石（15, 531)が設けられていない内周面に、前記永久磁石（15, 531)の内周面と同一径力、または、前記永久磁石（ 15, 531)の内周面より大きい径の内周面を有するリング状部材（50, 500)がー体成型された、リニア駆動装置。

[2] シリンダ（3, 542)と、

前記シリンダ（3, 542)の外部に設けられ、前記ピストン（1, 543)を往復運動させるリニアモータ（13)と、

前記永久磁石（15, 531)は、複数の磁石片が周方向に配列されており、前記複数の磁石片同士の間隔の外側が内側に対して大きくなつて、る、リニア駆動装置。

[3] シリンダ（3, 542)と、

前記シリンダ（3, 542)内を往復運動するピストン（1, 543)と、前記シリンダ（3, 542)の外部に設けられ、前記ピストン（1, 543)を往復運動させるリニアモータ（13, 501)と、

前記カップ状スリーブ（14, 532)の開放端側の内周面に沿って設けられ、前記リニァモータ（13, 501)が生成する磁界によって往復運動する永久磁石（15, 531)とを備え、

前記永久磁石（15, 531)の表面に摩擦係数が低くなるように表面処理が施されている、リニア駆動装置。

[4] シリンダ（3, 542)と、

前記カップ状スリーブ（14, 532)の内周面には、榭脂を主成分とし、前記永久磁石 (15, 531)の内周面を覆うリング状部材 (51, 52)が設けられた、リニア駆動装置。

[5] 前記リング部材（51)は、軸方向に略同一肉厚である、請求項 4に記載のリニア駆動装置。