WO2006038541A1 - 基板搬送用容器およびこの搬送用容器の内壁構造、ならびにこの搬送用容器に使用される底上げ部材 - Google Patents

基板搬送用容器およびこの搬送用容器の内壁構造、ならびにこの搬送用容器に使用される底上げ部材 Download PDF

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WO2006038541A1
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resin
heat insulating
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Toshiro Fujiwara
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Definitions

  • Substrate transport container inner wall structure of the transport container, and bottom raising member used for the transport container
  • the present invention is suitable for use in a substrate carrying container suitable for accommodating and carrying a large number of substantially rectangular liquid crystal glass substrates and the like, an inner wall structure of the carrying container, and the carrying container. It is related with the bottom raising member made.
  • a substrate such as a glass substrate for liquid crystal
  • the substrates are not brought into contact with each other, contamination is prevented, and the substrate is not cracked or chipped.
  • a substrate transfer container with a lid tightly fitted in a state in which a large number of sheets are accommodated is used so that it can be safely transferred in the state.
  • a substantially rectangular parallelepiped container main body and a lid attached to the opening of the container main body are both formed from a synthetic foam resin (for example, a patent Reference 1).
  • the glass substrate is transported in a state of being directly locked in the substrate support groove formed on the inner surface of the foamed synthetic resin container body. Therefore, if rubbing occurs on the glass substrate in the middle of transportation, the substrate support groove made of foamed synthetic resin is especially recommended as a result of the deterioration of the support groove portion on the inner surface of the container body that is in direct contact with the glass substrate. There existed a problem that a foam adhered to a glass substrate as garbage.
  • Patent Documents 2 and 3 a container for transporting a substrate in which a protective film having a polyethylene film force is additionally provided inside the container body.
  • a groove matching the shape of the groove 212a of the inner wall 211 on the foam side is formed on a previously formed flat polyethylene film 212B by thermoforming.
  • the protective film 212b in which the grooves are formed is heat-sealed simultaneously with the molding of the grooves 212a, thereby covering the inner surface of the grooves 212a.
  • the glass substrate directly contacts the inner wall 211 of the foam. Therefore, it is possible to prevent the formation of dust due to the foam.
  • the width S of the pair of substrate locking grooves 212b facing each other is substantially the same from the upper part (inlet part of board insertion) to the lower part (final part of board insertion) of the box body. They are set to the same length.
  • width S of the board locking groove is formed to be the same width from the entrance in the board insertion direction to the end of the inserted part in this way, when the board has been inserted with a slight inclination, There was a problem that the substrate was damaged.
  • the distance E between the substrate locking grooves 212b at both ends is the final distance in the substrate insertion direction from the vicinity of the entrance in the substrate insertion direction. Since the distance E was the same until reaching the part, it was difficult to insert in the direction of the arrow unless the substrate G was inserted straight. Even if the glass substrate G is mounted without being damaged to the end, there is no space for play around the substrate, so when the container body is subject to vertical vibrations, the glass substrate There was also the problem of damaging G.
  • Patent Document 3 Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-257681
  • a box (1) made of a foam having a foaming ratio of 3 to 30 times has a groove for supporting a substrate.
  • An invention of a board transport box in which a box-shaped grooved insertion member (2) having (2a) is disposed is disclosed.
  • this insertion member (2) for example, in paragraph [0050], “As a grooved insertion member (2), a resin sheet (ABS resin sheet or the like) is set in a mold. The compressed air molded body formed into a box shape by vacuum suction under heating is used. ”
  • This grooved insertion member (2) is denoted by reference numeral 2 in FIG.
  • the foamed resin box (1) has five surfaces corresponding to the inner wall surface and the bottom surface, and the other surface is opened. Even if we try to place the hexahedron with one side opened in this way in the foamed resin box (1), The operation of inserting the insertion member (2) of the box having substantially the same shape as the sleeve (1) into the foamed resin box (1) becomes very complicated. In addition, if the insertion member (2) is formed in a box shape in this way, the substrate support groove (2a) is formed on the side where the surfaces of the box-shaped insertion member (2) are in contact with each other. The substrate supporting groove (2a) thus fixed does not have a buffering property.
  • the insertion member (2) is a plate-like or box-like foam-molded product made of a foam, or a plate-like obtained by pressure-molding a resin sheet.
  • it is a box-shaped compressed air molded body, a plate-shaped or box-shaped molded body obtained by melt-molding a resin, or a plate-shaped or box-shaped machined obtained by machining a plate body It is described as a product.
  • a protruding groove (11a) for engagement is formed on the inner surfaces of a pair of opposing surfaces of the main body (11) of the box (1), and a plate-like grooved insertion member (2)
  • the groove (2b) that engages with the ridge (1 la) is formed on the back side of (2), the plate-like grooved insertion member (2) is removed from the box (1). It is stated that attachment and removal can be performed more smoothly.
  • the external impact is accommodated in the force box absorbed by the foamed resin box.
  • the impact caused by the vibration of the substrate is not able to be absorbed in this box because the grooved inner member that supports the substrate has poor buffering properties.
  • the substrate transport boxes described in Patent Document 1 and Patent Document 3 have a uniform size, and the size of a substrate that can be stably transported by such a substrate transport box is as follows. It is one kind and cannot be transported with different sizes.
  • Patent Document 4 Japanese Utility Model Publication No. 57-91272
  • a plurality of grooves that are attached to a pair of side surfaces facing each other and are arranged at predetermined intervals extending from the one surface to the bottom surface facing the one surface are harder than the box and are made of synthetic resin.
  • a plate-shaped member storage device is disclosed in which both ends of the plate-shaped member are mounted in the opposed grooves by a lining member formed of a material.
  • a groove is formed on a pair of opposing side surfaces of the box, and the groove has a structure in which a synthetic resin lining member is adhered to the surface of the groove formed in the box.
  • a synthetic resin lining member is adhered to the surface of the groove formed in the box.
  • Patent Document 2 Japanese Patent Laid-Open No. 2005-8194
  • Patent Document 3 Japanese Patent Laid-Open No. 7-257681
  • Patent Document 4 Japanese Utility Model Publication No. 57-91272
  • the present invention is a substrate transporting container whose main part is formed of a foamed synthetic resin, and it is easy to mount and take out a glass substrate on the container body, and it is being transported.
  • An object of the present invention is to provide a substrate transport container and its inner wall structure that prevent the substrate from inadvertently moving in the vertical direction and is less likely to cause chipping or cracking of the substrate.
  • Another object of the present invention is to provide a bottom raising member that can transport even substrates of different sizes.
  • the present invention has an object to provide a substrate transport container that does not cause damage to the substrate due to the falling of the desiccant even when the desiccant is stored.
  • a substrate carrying container according to the present invention comprises:
  • the bottom wall and this bottom wall force A pair of long side walls and a pair of short side walls raised together And a synthetic resin container body formed by opening one side of the bottomed rectangular tube, and a foamed synthetic resin detachably mounted so as to cover the opening of the one side of the container body A lid made of metal and a powerful substrate transfer container,
  • the container body is a container body
  • the bottom wall portion, the pair of long side wall portions raised integrally from the bottom wall portion, and the pair of short side wall portions are separately formed in advance so as to form a double wall made of a heat insulating material.
  • a foamed synthetic resin inner heat insulating plate is detachably disposed inside the outer container body made of foamed synthetic resin. It is characterized by the fact that the member is detachably mounted!
  • a slight gap can be formed between the resin sheet material and the foamed synthetic resin plate material.
  • a buffering action can be exerted in the meantime.
  • the vibration can be absorbed by deformation within the allowable range of the resin sheet. Therefore, even when the substrate is moved carelessly during normal conveyance, it is possible to prevent the occurrence of cracks and chips.
  • the inner heat insulating plate and the resin sheet are all rectangular plates, rather than being formed as a box-shaped integral product, it is easy to form and maintain dimensional accuracy. .
  • a foam raising synthetic resin bottom raising member previously formed separately is detachably and selectively disposed. This is preferred.
  • the positioning and fixing means for uniquely determining the assembly posture is configured. With such a configuration, it is easy to attach and remove the inner heat insulating agent and the bottom raising member to the bottom surface of the container body.
  • the positioning and fixing means may be composed of a convex portion and a concave portion.
  • Such a configuration is easy to design and easy to align.
  • the inner heat insulating plate disposed on the bottom surface of the container body may be provided with a recess for accommodating a desiccant.
  • a slit communicating with the recess is formed in the resin sheet disposed on the upper side of the inner heat insulating plate disposed on the bottom surface of the container body.
  • the desiccant can be easily taken in and out.
  • the inner wall structure of the substrate transporting container according to the present invention for achieving the above object includes a container body made of a synthetic resin having a bottomed rectangular tube shape and one surface opened, and the container body And a synthetic resin lid that is detachably mounted so as to cover the opening on one side,
  • the substrate housing part in the container body is composed of an inner heat insulating plate made of foamed synthetic resin having a substantially rectangular flat plate shape and a thin sheet member covering the surface of the inner heat insulating plate, and the inner heat insulating plate and the sheet. It is characterized in that a gap for cushioning is secured between the concave and convex surfaces of the substrate locking groove formed in the member!
  • the present invention having such a configuration, a cushioning effect can be exerted between the seat member and the inner heat insulating plate by the cushion gap between the seat member and the foamed synthetic resin inner heat insulating plate. Further, even if the glass substrate vibrates due to an impact, the vibration can be absorbed by deformation within the allowable range of the sheet member. Therefore, even when the glass substrate is inadvertently vibrated during normal conveyance, it is possible to prevent the occurrence of cracks and chips. In addition, if the inner heat insulating plate and the sheet member are not formed as a box-shaped integrated product but are a rectangular plate-shaped product, it is easy to form and maintain dimensional accuracy.
  • the lid body includes a lid body made of a synthetic foam resin and a lid sheet member that covers an inner surface of the lid body, and is formed on a ceiling portion of the lid body.
  • the substrate housing grooves are formed at a predetermined pitch, and the lid body sheet member detachably mounted on the inner surface of the lid body is provided with a corresponding substrate housing groove, and the front It is preferable that a gap for cushioning is secured between the substrate housing groove of the lid body and the substrate housing groove of the lid sheet member.
  • a substrate carrying container according to the present invention for achieving the above object is a bottom body of a square tube and a synthetic resin container body formed by opening one surface, and the one surface of the container body.
  • the container body is a container body
  • a pair of long side walls and a pair of short side walls raised integrally from the bottom wall and the pair of short side walls are separately formed in advance so as to form a double wall made of a heat insulating material.
  • An inner heat insulating plate made of foamed synthetic resin is detachably disposed inside the outer container body made of foamed synthetic resin, and is made of a resin made in advance separately inside the inner heat insulating plate.
  • the seat member is detachably mounted,
  • the inner heat insulating material is characterized in that a gradient is provided such that the thickness of the inner wall gradually decreases as the force is applied inward from the position facing the opening of the container body.
  • the present invention having such a configuration, since the distance of the substrate locking groove on the opening side is set to be short in the vicinity of the entrance, it is possible to prevent the glass substrate from vibrating in the vertical direction. In addition, it is possible to prevent the glass substrate from being cracked or chipped.
  • a substrate transport container for achieving the above object is A synthetic resin container body having a bottomed rectangular tube shape formed on one side opening; and a synthetic resin lid body detachably mounted so as to cover the opening on the one surface of the container body; Consisting of
  • An inner heat insulating plate made of foamed synthetic resin is disposed on the bottom wall portion in the container main body, and a resin sheet member formed separately in advance on the upper side thereof is detachably attached,
  • the inner heat insulating plate disposed on the bottom surface of the container body has a recess formed in the thickness direction, and a slit communicating with the recess in a sheet member that is detachably disposed on the upper portion of the inner heat insulating plate. It is characterized by being formed.
  • a desiccant is accommodated in a recess of the inner heat insulating material through a slit formed in the sheet member.
  • the glass substrate can also be protected by the desiccant such as moisture during conveyance.
  • the desiccant can be easily taken in and out, and the desiccant does not fall on the surface of the glass substrate.
  • a substrate carrying container of the present invention for achieving the above object is a bottomed rectangular tubular body made of foamed resin having an opening in one direction.
  • the wall surface substrate supporting resin sheet is held on the inner peripheral wall surface by a fall-preventing means, and is characterized in that! /
  • a substrate carrying container of the present invention for achieving the above object is a bottomed rectangular tubular body made of foamed resin having an opening in one direction, and is opposed to the bottomed rectangular tubular body.
  • Board support on inner wall A container main body formed with a groove;
  • a plate-like body made of foamed resin having a substrate support groove formed on the surface is housed in the container main body at the bottom of the container main body and is shared with the substrate support groove formed on the distribution wall of the container main body. It also has a bottom raising member for holding the substrate and preventing the wall surface substrate supporting resin sheet from falling down.
  • the bottom raising member of the substrate transport container of the present invention is preferably a bottom raising member used together with the above-described substrate transport container, and is housed in a container body made of foamed resin.
  • the container body is prepared in cooperation with a resin sheet for supporting a wall surface substrate, which is prepared by adjusting the storage depth in the container body and forming a slight gap in the opposing wall surface in the container body.
  • the holding groove for holding the substrate accommodated in the part is a foamed resin plate-like body formed on the surface.
  • a holding groove for holding the substrate to be stored is formed on a pair of opposite side wall surfaces of the container main body formed of foamed resin.
  • a wall surface substrate supporting resin sheet shaped to have a surface shape substantially the same as the surface shape of the side wall surface is disposed so as to form a slight gap with the side wall surface. ing.
  • the wall surface substrate supporting resin sheet is arranged so that a slight gap is formed without being fixed to the side wall surface, so that the container body portion and the wall surface substrate supporting resin sheet are formed.
  • a buffer space is formed to absorb vibrations generated by the stored substrate.
  • the wall surface substrate supporting resin sheet is arranged, so that not only the impact of external force but also the vibration generated by the substrate stored in the container forms a wall surface substrate supporting resin sheet and a holding groove. It is possible to store or move a substrate stored adjacent to and absorbed by a buffer gap formed between the inner wall surface and the inner wall surface in a more stable state. That is, for example, a glass substrate for liquid crystal is very thin and may be damaged by very slight stress.
  • a container for transporting the substrate made of foamed resin most of the stress applied from the outside is absorbed by the casing made of foamed resin, but the stored substrate squeezes, etc. It is difficult to absorb the internal stress caused by only the holding groove formed on the inner wall surface of the housing.
  • the substrate material or the substrate stored is carefully handled so that the substrate material or the substrate is not damaged. Damage due to internal stress generated in the substrate material or substrate occurs more frequently. In particular, this tendency increases as the liquid crystal becomes larger. In many cases, the substrate material or the substrate is damaged by such internal stress because the weight of the substrate or the substrate is related to the holding portion.
  • the substrate material to be stored or the surface of the holding groove formed on the pair of side walls of the container main body which is a portion for holding the substrate The resin sheet for supporting the wall surface substrate is arranged with a slight gap, and the holding groove of the resin sheet for supporting the wall surface substrate is not fixed to the holding groove formed in the container body, however, Further, excessive deformation of the holding groove of the wall surface substrate supporting resin sheet is prevented by the holding groove formed in the container main body.
  • the substrate material or the substrate to be stored has a certain degree of flexibility, and the substrate material or the substrate moves to the extent that the substrate material or the substrate moves within the flexibility range. Does not break.
  • the substrate material or the substrate When transporting the substrate material or the substrate, the substrate material or the substrate must be fixed, but when the substrate is fixed, this fixed portion (specifically, the substrate material sandwiched by the holding grooves). Alternatively, stress concentrates on both ends of the substrate. Therefore, the substrate material during transportation In addition, the damage to the board is excluded as described above, except for the damage caused by careless handling such as dropping. Damage that seems to have originated at both ends of the crease increases.
  • a slight gap is formed between the holding groove formed in the container main body and the holding groove of the wall surface substrate supporting resin sheet.
  • the grease sheet is not fixed to the wall surface of the container main body, and this gap acts as a buffer space that allows deformation within the flexible range of the substrate material or substrate that is stored. . Therefore, by using the substrate transport container of the present invention, it is possible to prevent damage from the stored substrate material or both ends of the substrate.
  • the wall substrate supporting resin sheet is fixed to the side wall of the container body.
  • the wall surface substrate supporting resin sheet may fall into the container before the substrate is stored.
  • This substrate transfer container is used by a substrate manufacturer or the like that handles substrate materials or substrates, and the wall surface substrate supporting resin sheet is formed in the process of reaching the substrate manufacturer from the substrate transfer container manufacturer. If it falls into the container, it is impossible to stably supply the substrate transport container having the excellent characteristics as described above.
  • a substrate manufacturer or the like often stores a substrate material or a substrate in the substrate transport container by an automatic device or the like, and transports the substrate material or the substrate as in the substrate transport container of the present invention. If the side wall shape of the foamed resin casing with the holding groove for holding the substrate is substantially the same as the surface shape of the wall surface substrate supporting resin sheet placed on this surface, mechanical In addition, it may be difficult to recognize the presence or absence of the wall surface substrate supporting resin sheet.
  • the wall surface supporting resin sheet disposed on the side surface of the container main body portion where the holding groove is formed is prevented from falling down. Means for preventing the substrate supporting resin sheet from falling is formed.
  • the substrate material or the substrate stored as described above is placed at the bottom of the container body.
  • a bottom raising member on the container body.
  • a holding groove for holding the substrate material or the substrate stored together with the holding groove formed on the inner surface of the container main body is formed on the surface of the bottom raising member.
  • a bottom substrate supporting resin sheet having a shape substantially the same as the surface shape of the bottom raising member.
  • This bottom substrate supporting resin sheet is a foamed and oil-absorbing bottom substrate supporting resin. It is preferable that the sheet is arranged so as to form a slight gap.
  • the gap formed in this way is in contact with the substrate material to be stored or the bottom of the substrate, and the spacer is also a resin for supporting the bottom substrate. Since the sheet is made of foamed resin and fixed to the bottom raising member that is made of foamed resin, it is difficult to hold the base material and the substrate to be stored tightly.
  • the substrate material and the substrate held by the grease sheet can be configured so that the stress is not concentrated on the bottom of the substrate or the like even if the substrate material or the substrate is deformed within the range of flexibility. it can.
  • Such a bottom-up member also serves as a very good fall-preventing means for the wall surface base material supporting resin sheet.
  • the bottom raising member can be adjusted in the storage depth by forming the bottom raising member of various thicknesses, and the thickness of the bottom raising member can be appropriately selected.
  • the depth can be adjusted by the bottom raising member in one type of container, so that substrate materials or substrates of different sizes can be transported stably. it can.
  • the substrate material and the holding portion of the substrate are provided in three places: a pair of side walls facing each other and a bottom raising member (or a holding groove for the bottom substrate supporting resin sheet) arranged at the lower portion, so that the substrate material is safer.
  • the substrate can be held and transported.
  • the substrate mounting and substrate taking out workability is good.
  • the cushion function is exerted in the gap formed between the resin sheet and the inner heat insulating plate, so that the substrate is moved up and down in small increments due to vibration during conveyance, and the force is transmitted to the resin sheet. Even in such a case, the resin sheet can be recessed or deformed to absorb the force. Thereby, the cracking of a board
  • the inner heat insulating plate and the resin sheet are all formed separately as a single body such as a hexahedron, it is easy to form and improve the dimensional accuracy. .
  • the desiccant in order to obtain a predetermined dimensional accuracy, it is possible to adjust between the inner heat insulating plate and the resin sheet without managing all the dimensional accuracy, and the degree of design freedom can be increased. Further, when the desiccant is accommodated, a tape or the like is not necessary, and if the desiccant is accommodated inside through the slit, the desiccant can be prevented from dropping and damaging the substrate.
  • the container body is made of foamed synthetic resin and can protect the impact force of the substrate accommodated against the impact from the outside, and can also prevent the occurrence of condensation due to a temperature difference or the like. If a clearance for the cushion is secured also on the lid side, it is possible to absorb the impact force when it vibrates in the vertical direction as much as possible and further prevent cracking.
  • the desiccant when the desiccant is accommodated, a tape or the like is unnecessary, and if the desiccant is accommodated inside through the slit, the desiccant falls. This can prevent the substrate from being damaged.
  • the substrate transport container has a wall transport substrate supporting resin sheet 1S having a shape substantially the same as the surface shape of the wall surface of the container main body holding the substrate.
  • a means for preventing the wall surface substrate supporting resin sheet from falling into the container is provided.
  • the wall surface substrate supporting resin sheet is disposed on the wall surface with a slight gap therebetween, thereby achieving this capacity. Stress generated by the substrate itself stored in the container can be absorbed by this gap, and the occurrence of damage to the substrate originating from the holding portion of the storage substrate can be significantly reduced. That is, the slight gap formed between the side surface of the container and the wall surface substrate supporting resin sheet functions as a buffer space for internal stress generated by stagnation of the stored substrate itself.
  • the wall surface substrate supporting resin sheet disposed on the surface of the container in which the substrate holding groove is formed is not in close contact with the side surface of the container. Since the wall surface supporting resin sheet is prevented from falling, the wall surface supporting resin sheet can be stably held by forming a certain gap with respect to the wall surface.
  • a bottom raising member in which a holding groove for the substrate is formed is arranged at the bottom portion that is always in contact with the substrate to be stored.
  • the surface of the bottom raising member is arranged.
  • the bottom substrate supporting resin sheet having a shape substantially the same as the shape is arranged with a slight gap formed on the surface of the bottom raising member, so that the stagnation generated on the stored substrate etc. The occurrence of deformation can be reduced, and the slight gap formed between the bottom raising member and the bottom substrate supporting resin sheet can act as a buffer space for internal stress generated in the substrate itself. This can significantly reduce the occurrence of damage to the storage board.
  • the depth of the storage space in the container can be adjusted in accordance with the substrate to be stored, and further, the inside of the lid can be relaxed in the same manner as described above.
  • the substrate can be stored more safely.
  • the storage substrate is protected from an impact from the outside because it is formed of the foamed resin.
  • the weight of the stored substrate can also absorb the internal stress caused by the stagnation and prevent the substrate from being damaged.
  • the wall surface substrate supporting resin sheet or the like is a hexahedron in which an opening is formed.
  • the support groove Even if the flexibility is impaired and a gap is formed between the wall surface and the resin sheet for supporting the wall surface substrate, the gap does not function as a buffer gap for the storage substrate. Furthermore, when trying to insert a box into the container body, it is extremely difficult to insert the box, and the work efficiency is very poor. Therefore, in the present invention, basically, the flexibility of the support groove of the resin sheet for supporting a wall surface substrate formed in substantially the same shape as the support groove formed on the wall surface of the container main body is maintained.
  • a plurality of wall surface substrate supporting resin sheets are disposed on the wall surface for each wall surface, thereby expanding the foamed surface.
  • the wall surface substrate supporting resin sheet can be easily disposed on the wall surface inside the fat container main body.
  • the substrate transport container of the present invention includes the fall-preventing means, the disposed wall surface substrate supporting resin sheet can be stably disposed on each side surface.
  • the storage substrate can be held not only on the side surface but also on the bottom surface, and the bottom raising member has a buffering property against the internal stress of the substrate, so that it is safer.
  • the substrate can be transferred to the substrate.
  • the bottom raising member is a very good fall prevention means for the side wall substrate holding resin sheet disposed on the side wall of the container main body. Furthermore, by reducing the excess space in the container, the substrate transport safety is also increased.
  • the substrate transport container of the present invention is made of foamed resin, and can protect the storage substrate against the impact of an external force, and may occur due to a temperature difference from the outside. Of course, there can be no dew condensation.
  • FIG. 1 is a front view of a substrate transfer container according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a plan view of the container body when the upper lid is removed from the substrate carrying container of FIG. 1 and the inside is viewed.
  • FIG. 3 is an exploded perspective view of the substrate transport container shown in FIG. 1.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view of FIG. 1 taken along the longitudinal line.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line BB in FIG.
  • FIG. 6 is an enlarged perspective view of the bottom raising member shown in FIG.
  • FIG. 7 is an exploded perspective view showing the assembly of the inner heat insulating plate and the sheet member arranged on the bottom wall in FIG. 3.
  • FIG. 8 is an exploded perspective view showing the assembly of the inner heat insulating plate and the sheet member arranged on the long side wall in FIG. 3.
  • FIG. 9 is an exploded perspective view showing the assembly of the inner heat insulating plate and the sheet member arranged on the short side wall in FIG.
  • FIG. 10 is a side view of an inner heat insulating material for a long side wall.
  • FIG. 11 is a side view of an inner heat insulating material for a short side wall.
  • FIG. 12 is an enlarged cross-sectional view of the short side wall inner heat insulating material and the resin sheet shown in FIG. 9 assembled together, and is an explanatory view in which a glass substrate is arranged in the portion g. is there.
  • FIG. 13 is an exploded perspective view of a substrate carrying container according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 14 is an exploded perspective view of a substrate transport container according to still another embodiment of the present invention.
  • FIG. 15 is an exploded perspective view showing an example of a bottom raising member of the present invention.
  • FIG. 16 is an explanatory view showing an enlarged state of a substrate support groove.
  • FIG. 17 is a diagram showing an example of a mode in which the surface of other wall surfaces 123a, 123b is projected to prevent the wall surface substrate supporting resin sheets 122a, 122b from falling down.
  • FIG. 18 shows the structure of a conventional transport container.
  • FIG. 18 (A) is a cross-sectional view of a polyethylene film before heating
  • FIG. 18 (B) is a cross-sectional view of a heated protective film.
  • Figure 18 (C) is a cross-sectional view of a heated protective film.
  • FIG. 19 is a schematic view when a glass substrate is inserted into a conventional transfer container.
  • FIG. 1 is a front view of a substrate transport container according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 4 is a cross-sectional view of the substrate transport container in the short direction
  • FIG. 5 is a cross-sectional view of the substrate transport container in the longitudinal direction.
  • a plate-like heat insulating material is arranged in a two-layer structure inside a box-shaped outer container made of foamed synthetic resin, and further A resin sheet is arranged on the entire inner surface.
  • the substrate transport container 2 of the present embodiment has a foamed synthetic resin container body 4 formed with an opening on one side, and an upper part of the container body 4. It is composed of a foamed synthetic resin lid 6 that is detachably mounted so as to cover the opening 4f.
  • the outer container 50 of the container body 4 is the upper part of the outermost outer shell of the container body 4 from which the lid body 6 is removed from the substrate transport container 2 is opened. Shown are the square-shaped foamed synthetic resin parts.
  • the foamed synthetic resin outer container 50 constituting the outermost shell of the container body 4 has band-shaped recesses 22 and 22 formed on the outer surface. ing. These band-like recesses 22 are formed continuously with the recesses 6a and 6a formed on the outer surface of the lid body 6. When the container body 4 and the lid body 6 are assembled together in the recess 22 and the recess 6a, a tightening band is passed and packed.
  • Such an outer container 50 is integrally raised from the bottom wall 4a, a pair of long side walls 4b and 4c raised integrally from the bottom wall 4a, and from the bottom wall 4a. And a pair of short side wall portions 4d and 4e.
  • the opening 4g of the outer container 50 has a horizontal protrusion in the lateral direction. 4h is formed.
  • a concave groove (not shown) formed on the inner peripheral surface of the lid body 6 to the horizontal protrusion 4h, the lid body 6 is closely fitted to the container body 4 and is prevented from falling off.
  • the four inner wall surfaces around the outer container 50 are substantially flat. As shown in FIG. 5, two protrusions 4i and 4i are formed on the upper surface of the bottom wall portion 4a of the outer container 50. They are formed at predetermined intervals.
  • the outer container 50 has plate-like inner heat insulating plates 20, 10, 10, 12, 12 on the inner surface side of the bottom wall portion 4a, the pair of long side wall portions 4b, 4c, and the pair of short side wall portions 4d, 4e. 12 are arranged respectively.
  • a bottom raising member 8 is selectively disposed on the bottom wall portion 4a.
  • the bottom raising member 8 is made of a foamed synthetic resin having a predetermined plate thickness as shown in FIG. 6 and is enlarged.
  • the plate-like bottom raising member 8 is prepared, the bottom raising member 8
  • a pair of protrusions 8a and 8a are formed on the upper surface of the bottom raising member 8 so as to be separated from each other by a predetermined distance.
  • the separation distance between the protrusions 8a and 8a is equal to the separation distance between the protrusions 4i and 4i of the outer container 50.
  • concave portions 8 b and 8 b are formed on the back surface of the bottom raising member 8 so as to be located immediately below the protrusion 8 a.
  • the recess 8b of the bottom raising member 8 is positioned on the protrusion 4i of the outer container 50 and fitted to each other. Thereby, the bottom raising member 8 is installed so as not to move with respect to the outer container 50.
  • these resin-made sheet members 18, 14, and 16 have almost no thickness, they are shown integrally with the inner heat insulating plates 20, 10, and 12 in FIGS.
  • FIG. 7 shows the relationship between the inner heat insulating material 20 and the sheet member 18 in the bottom wall portion
  • FIG. 8 shows the relationship between the inner heat insulating material 10 and the sheet member 14 in the long side wall
  • FIG. 9 shows the short side wall.
  • a thin sheet member 18 made of resin is detachably installed on the bottom wall portion so as to cover the upper surface of the inner heat insulating plate 20 for the bottom surface.
  • the resin-made sheet member 18 has a recess recessed inward when viewed from the back side.
  • the surface shape of the sheet member 18 may be formed in substantially the same manner as the outer shape of the inner heat insulating material 20.
  • a plurality of protrusions 21 are formed on the upper surface, so that substrate locking grooves 20a are formed at a predetermined pitch between the adjacent protrusions 21. .
  • a convex portion 20b extending in the horizontal direction is formed at the central portion and both end portions, so that a concave portion is formed at an intermediate portion between these convex portions 20b.
  • the convex portions 20c are formed in the central portion, so that the concave portions 20d and 20d are formed on both sides of the convex portion 20c.
  • a recess corresponding to the protrusion 21 of the inner heat insulating material 20 ( In the state shown in FIG. 7, the protrusions 19 project outward, and the back side is a recess) formed at predetermined intervals.
  • slits 23, 23 forming a Y-shape are formed on both sides, and the inside of the sheet member 18 is configured so that a finger or the like can enter through the slit 23. ing.
  • the sheet member 18 is put on the inner heat insulating plate 20, it is possible to put a desiccant into the recess 20d of the inner heat insulating plate 20 through the slit 23.
  • the shape of the slit 23 is not limited to this Y shape.
  • the formation area T (AXB) surrounding the protrusion 10a is slightly thicker than the outer peripheral part R! RU [0058] In this way, the protrusions 10a are provided scattered on the center surface of the inner heat insulating plate 10, and the thickness of the formation region T is set to be thicker than the surroundings, thereby warping the inner heat insulating plate 10. Is prevented from forming.
  • the thickness of the outer peripheral portion R of the inner heat insulating plate 10 is formed to become slightly thinner as it is directed downward from above (D> d).
  • the shape of the inner heat insulating plate 10 is formed such that the tip portion close to the bottom wall portion is slightly wedge-shaped.
  • the sheet member 14 is formed to have a slightly larger outer diameter so that the inner heat insulating plate 10 can be covered. Further, the portion of the inner heat insulating plate 10 corresponding to the protrusion 10a is a recess surrounded by vertical and horizontal lattices 32 (border lines) that are not round recesses. In addition, when the line of the lattice 32 is viewed from the inner heat insulating plate 10 side in FIG. 8, it can be seen protruding toward the inner heat insulating plate 10 side. Further, the tongue piece 14 a provided on the upper edge portion of the sheet member 14 is bent to the back surface portion of the inner heat insulating plate 10, so that it is positioned so as not to move with respect to the inner heat insulating plate 10.
  • the inner heat insulating plate 12 for the short side wall has a large number of substrate locking grooves 12a formed continuously in the length direction.
  • the width f of the substrate locking groove 12a is the same on the upper side and the lower side.
  • the thickness of the inner heat insulating plate 12 is different between the upper portion and the lower portion, and is formed to be slightly thinner toward the upper force and the lower portion (E> e).
  • the inner heat insulating plate 12 is also formed to have a slightly wedge-shaped tip as in the case of the inner heat insulating plate 10.
  • the thin resin sheet member 16 is formed so that the outer diameter dimension is slightly larger than that of the inner heat insulating plate 12 so as to cover the surface of the inner heat insulating material 12.
  • the width g of the groove 16a is set to be the same on the upper side and the lower side.
  • a play portion is secured against the outer surface of the inner heat insulating material 12. That is, a cushion gap H is secured on the uneven surface between the inner heat insulating material 12 and the seat member 16. Therefore, even if the board is vibrated in the left and right directions in the state shown in FIG. The substrate can be moved in the left-right direction. Furthermore, even if the substrate vibrates in the vertical direction in the state of FIG. 12, the substrate can be moved in the vertical direction. Therefore, since these cushion gaps H are secured between the inner heat insulating material 12 and the sheet member 16, the substrate can be moved even when a large force is suddenly applied to the substrate transfer container. There is. When the sudden force is released, the deformation of the sheet member 16 returns to the original state.
  • the tip portion (the first end portion) side of the glass substrate is inserted into a wide space.
  • the rear end of the glass substrate is inserted into a narrow space near the entrance.
  • Each component of the substrate transport container 2 according to the present embodiment is configured as described above.
  • the assembly order will be described below.
  • the order of assembly is not limited to this. In the following description, the case where the bottom raising member 8 is used will be described.
  • the bottom unit that is, the unit of the inner heat insulating plate 20 and the sheet member 18 shown in FIG. 7, is arranged on the bottom raising member 8. This constitutes the bottom surface.
  • the unit for the short side wall that is, the unit of the inner heat insulating plate 12 and the sheet member 16 shown in FIG. 9 is assembled to the short side wall.
  • the unit for the long side wall that is, the unit of the inner heat insulating plate 10 and the sheet member 14 shown in FIG. 8 is assembled to the long side wall.
  • the substrate transport container 2 is configured.
  • the substrate transport container of this embodiment has the above-described configuration, and the substrate can be stored in the container and transported safely. That is, since the container main body and the lid are formed of the foamed synthetic resin excellent in impact resistance and heat resistance, the substrate transport container of this embodiment has a force such as external force impact and external temperature change. Of course, it is possible to protect the board, and even with respect to internal stress caused by the stored board (mainly stress caused by the weight of the board), a slight gap is formed on the corresponding wall surface in the container. It can be absorbed by the flexibility of the formed sheet member, and can be stored in a container that transports the storage board more safely.
  • the thickness of the inner heat insulating plates 10 and 12 disposed outside the container of the sheet member 16 with which the corners of the substrate come into contact is determined by the opening. Since it is formed thinner toward the lower part and thicker toward the upper part, it is easy to insert after positioning the glass substrate near the entrance. Further, when the insertion of the substrate is completed, the substrate is sandwiched by the narrow portion on the upper side (opening portion side), so that the substrate is prevented from inadvertently protruding from the groove portion. Also, when inserting the board, if the board is inserted a little, Since it is wider than the entrance, even if the substrate is bent slightly, it can absorb the bent.
  • the depth of the container can be adjusted in accordance with the substrate to be transported, so that no extra space is formed in the container. Therefore, the substrate can be transported more safely.
  • the lid body 6 is also formed in substantially the same manner as the container body 4 side. That is, unlike the container body 4, the lid body 6 is not provided with a plate-like inner heat insulating plate. However, a thin box-like sheet member having one open surface is interposed inside a lid body made of foamed synthetic resin (in the container body, a foam corresponding to an outer container). Thus, the lid 6 has a double structure of the foam and the resin sheet member. That is, when the cross section of FIG. 12 is viewed as a view of the lid, a thin sheet member 16 is fitted to the lid body 12 made of foamed synthetic resin.
  • the lid body 12 and the sheet member 16 are each provided with a substrate mounting groove, and the upper end of the glass substrate is brought into contact with the width of g. If such a lid body 6 is prepared, the upper end side of the glass substrate can be held when the glass substrate is mounted. In this case, the upper end of the glass substrate can be moved vertically and horizontally as in the case of the container body 4.
  • the substrate transport container of the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made.
  • a gas exchange port may be provided in the substrate transport container, and the air in the substrate transport container may be replaced with an inert gas such as nitrogen gas or argon gas.
  • the stored glass substrate stands up normally.
  • a mark that clearly indicates the loading direction can be attached to the outside of the container.
  • the substrate transport container of the present embodiment is suitably used, for example, when the glass substrate is moved, but is not limited to the time of movement, and can also be used during storage. Of course.
  • Such a substrate transport container can safely transport and store a substrate such as a liquid crystal substrate, a glass substrate for liquid crystal, a wiring substrate, and a circuit substrate.
  • the position where the slit 23 is provided can be increased or decreased according to the number of desiccants.
  • the desiccant since the bottom raising member 8 is installed, if the desiccant is inserted from the slit 23, the desiccant is disposed on the top surface of the bottom raising member 8.
  • the desiccant When the bottom raising member 8 is not used The desiccant will be placed directly on the bottom surface of the outer container 50. Furthermore, when the bottom raising member 8 is not used, a large substrate can be accommodated.
  • a substrate carrying container and a bottom raising member according to another embodiment of the present invention will be described.
  • FIG. 13 is an exploded perspective view of the first substrate transport container of the present invention
  • FIG. 14 is an exploded perspective view of the second substrate transport container of the present invention
  • FIG. It is a disassembled perspective view which shows an example of a bottom raising member.
  • the same parts are assigned the same numbering.
  • a first substrate transfer container 110 of the present invention includes a foamed resin container body 112, and a foamed synthetic resin lid 145 that is openably and detachably attached to an opening 114 of the container body 112. have.
  • the container body portion 112 made of foamed resin is made of a substrate material! / Is a low-cylindrical shape that is open in one direction so that a substrate (hereinafter referred to as "substrate” in the present invention) 160 can be stored. It has the form.
  • a substrate support groove 116 for holding the substrate 160 is formed on the pair of wall surfaces 113a and 113b facing each other on the inner peripheral wall surface of the container main body 112.
  • the substrate support groove 116 is a groove formed by directing force from the opening 114 of the container main body 112 toward the bottom 117.
  • the substrate 160 can be stood and stored.
  • the substrate support grooves 116 are formed so that 1 to 45 sheets, preferably about 2 to 20 sheets, can be stored in one substrate transfer container 110. Accordingly, 1 to 45, preferably 2 to 20, substrate support grooves 116 are formed on the pair of wall surfaces 113a and 113b facing each other of the container main body 112, respectively.
  • the pitch of the substrate support grooves 116 that is, the distance from the center line of a certain substrate support groove 116 to the center line of the adjacent substrate support groove 116 is appropriately set. However, it is usually about 3 to 20 mm, preferably about 5 to 15 mm so that the plurality of substrates 160 to be stored do not come into contact with each other. Although it is possible to form the pitch narrower than 3 mm, since the container body 112 is manufactured by foaming resin molding using a mold, the substrate support groove 116 is formed when the pitch width is narrowed. The shape stability of the supporting ridge 116a to be defined may be lowered.
  • the depth of the substrate support groove 116 is usually about 5 to 45 mm, preferably about 7 to 25 mm as long as the substrate 160 to be stored can be stably held.
  • Such substrate support grooves 116 and support protrusions 116a can be formed at right angles to the wall surface 113a or the wall surface 113b, respectively, and the front end portion of the substrate support groove 116 is wider than the base end portion. It can also be formed with a taper.
  • the substrate support groove 116 as described above can be formed integrally with the container body 112, and a foamed resin foam foamed resin plate having the substrate support groove 116 is used as a container. It can also be formed separately from the main body part 112 and by fitting the foamed resin board with the substrate support groove into the corresponding wall surface of the container main body part 112. In this case, it is desirable to fit the resin plate so as to form a sheet sandwiching slit 118 described later between the both side ends of the foamed resin plate with the substrate support groove and the container body.
  • the pair of wall surfaces 113a, 113b formed with the base material support grooves 116 as described above are in contact with the other adjacent wall surfaces 123a, 123b. It is preferable that a sheet sandwiching slit 118 for sandwiching the resin sheet is formed.
  • the wall surface substrate supporting resin sheets 122a, 1 are formed on the surfaces of the pair of wall surfaces 113a, 113b formed with the substrate supporting grooves 116 as described above. 22b is arranged.
  • the wall surface substrate supporting resin sheets 122a and 122b are formed in substantially the same shape as the surface of the pair of wall surfaces 113a and 113b of the container main body 112. That is, on the wall surface substrate supporting resin sheets 122a and 122b, sheet surface supporting grooves 126 and sheet surface supporting protrusions 126a corresponding to the substrate supporting grooves 116 formed on the pair of wall surfaces 113a and 113b are formed.
  • the sheet surface support groove 126 and the sheet surface support protrusion 126a have substantially the same shape as the substrate support groove 116 and the support protrusion 116a formed on the pair of wall surfaces 113a and 113b.
  • a slight gap is formed between the wall surface substrate supporting resin sheets 122a, 122b and the wall surfaces 113a, 113b. Is formed.
  • the end portions of the wall surface substrate supporting resin sheets 122a and 122b are inserted into, for example, sheet sandwiching slits 118 formed at a contact portion between the wall surfaces 113a and 113b and another pair of wall surfaces 123a and 123b. By sandwiching them, they are arranged on the surfaces of the wall surfaces 113a and 113b. Then, in the vicinity of the substrate support groove 116 formed on the wall surfaces 113a and 113b, the wall surface substrate supporting resin sheets 122a and 122b are applied to the force wall surfaces 113a and 113b arranged to follow the form of the substrate support groove 116. Is not fixed, and a slight gap 119 is formed between them.
  • the slight gap 119 formed between the wall surfaces 113a, 113b and the wall surface substrate supporting resin sheets 122a, 122b is an internal space generated in the substrate 160 itself.
  • the storage substrate 160 can be effectively prevented from being damaged by acting as a buffer space that absorbs deformation of the substrate 160 due to stress or the like.
  • the gap 119 may be very small, for example, when the substrate 160 is stored, the wall surface and the sheet are usually about 0.01 to 1 mm, preferably about 0.01 to 0.7 mm, particularly preferably. Is arranged so as to be separated within a range of about 0.01 to 0.5 mm.
  • the width of the slightly small gap 119 may be substantially equal to the fluctuation width corresponding to the amount of stagnation of the substrate 160 because the substrate 160 is usually formed of glass or the like.
  • the wall surface substrate supporting resin sheets 122a and 122b are arranged so that the slight gaps are formed on the surfaces of the pair of wall surfaces 113a and 113b in which the substrate supporting grooves 116 are formed as described above.
  • the wall surface supporting resin sheet 122a, 122b Often falls into the container before the substrate 160 is stored.
  • the wall surface substrate supporting resin sheets 122a and 122b are connected to the resin sheet covering the other wall surfaces, and are arranged in the container body 110 as an independent sheet.
  • the easier the arrangement of the wall surface substrate supporting resin sheets 122a and 122b the more likely the sheet will fall.
  • a falling prevention means is formed in the substrate transport container 110 of the present invention.
  • the sheet sandwiching slit 118 formed at the contact portion between the pair of wall surfaces 113a and 113b in which the base material support groove 116 is formed and the other pair of adjacent wall surfaces 123a and 123b is also used as a fall prevention means.
  • a pair of other wall surfaces 123a and 123b facing each other where the substrate support groove 16 of the container main body 12 is not formed is formed as a protrusion 125a. be able to.
  • the protrusion 125a formed in this way is formed such that both ends of the wall-supporting resin sheet 122a, 122b are caught by the protrusion 129 and stopped.
  • FIG. 17 shows a mode in which trapezoidal convex portions are formed on the pair of other wall surfaces 123a and 123b facing each other as the protrusions 125a except for the edge portions.
  • the protrusion 125a is formed as a trapezoidal convex portion as described above, and the inside of the convex portion is formed in a lattice shape so as to form a gap between the surface protective resin sheet described later. You can also. Further, such a fall prevention means may be formed on the surface of the surface protecting resin sheets 124a and 124b disposed on the surfaces of the other wall surfaces 123a and 123b facing each other.
  • Figure 17 Shows an aspect in which means for preventing the protrusion 125b from falling down is formed in the longitudinal direction in the vicinity of both side edges of the surfaces of the surface-protecting grease sheets 124a and 124b. .
  • the ridge 123b has a protrusion 125a or ridge 125b to prevent it from falling into the surface protective grease sheet 124a, 124b placed on the wall surface, and usually protruding from the surface by about 2-10mm, preferably about 3-8mm! / Do it !
  • the pair of other wall surfaces 123a and 123b that do not have the substrate support groove 116 of the container main body 112 of the present invention are not in contact with the substrate 160 to be stored.
  • the other wall surfaces 123a and 123b can prevent the wall surface substrate supporting resin sheets 122a and 122b from falling down.
  • protrusions 125a should be formed as a means to prevent falling down in the vicinity of both ends of the surface protective resin sheets 124a and 124b.
  • the wall surface substrate supporting resin sheets 122a and 122b can be effectively prevented from falling before the substrate 160 is stored.
  • the surface protective resin sheets 124a, 124b arranged in this way are usually shaped into substantially the same shape as the surface shapes of the other side surfaces 123a, 123b on which this sheet is arranged! / ⁇ The
  • the surface protecting tree sheets 124a and 124bi and the ruled surfaces 123a and 123b are arranged with a slight gap.
  • the surface protective resin sheets 124a and 124b do not come into direct contact with the substrate 160, but the container main body 112 is formed by arranging the surface protective resin sheets 124a and 124b.
  • the surface protective resin sheets 124a and 124b are arranged by forming a slight gap on the surface of the side surfaces 123a and 123b. The slight gap may become a shock absorbing band against an external impact, and the heat insulating property will be improved.
  • Such a surface protective resin sheet 124a, 124b can be attached to the other side surfaces 123a, 123b.
  • both end portions of the surface protective resin sheets 124a, 124b Placed on the surface of the other side 123a, 123b by inserting into the sheet sandwiching slit can do.
  • the bottom portion 117 of the space for storing the substrate 160 of the substrate carrying container 110 of the present invention can be formed of foamed resin, but it is preferable to dispose the bottom substrate supporting resin sheet 128.
  • the first substrate transport container 110 of the present invention has the above-described configuration, but the second substrate transport container 111 of the present invention has the above-described configuration as shown in FIG.
  • a bottom raising member 130 is disposed at the bottom of the first substrate transport container 110 having the above configuration.
  • the bottom raising member 130 is made of foamed resin, and on its surface, the storage substrate is jointly formed with the substrate support groove 116 formed on the pair of wall surfaces 113a, 113b facing the container main body 112.
  • a bottom support groove 136 for holding 160 is formed.
  • the depth of the bottom support groove 136 is usually about 5 to 45 mm, preferably about 7 to 25 mm as long as it can stably hold the stored substrate 160.
  • the bottom substrate supporting resin sheet 128 disposed on the surface of the bottom raising member 130 is shaped in substantially the same shape as the surface shape of the bottom raising member 130, as shown in FIGS. .
  • the bottom substrate supporting resin sheet 128 shaped in such a shape is disposed on the surface of the bottom raising member 130 made of foamed resin.
  • a slight air gap 131 is formed between the bottom substrate supporting resin sheet 128 and the bottom raising member 130.
  • the bottom raising member 130 As shown in FIG. 14, by arranging the bottom raising member 130 having the above configuration on the bottom 117 of the substrate carrying container 110 of the present invention, the bottom supporting groove formed in the bottom raising member 130. 136 can cooperate with the substrate support grooves 116 formed on the wall surfaces 113a and 113b to stably store the stored substrate 160, and the bottom-up member 130 is a resin sheet for supporting the wall substrate. For 122a and 122b, it is a very good means of preventing falling. Such a bottom raising member 130 can also change the accommodation depth of the substrate 160 formed in the substrate carrying containers 110 and 111 of the present invention to a suitable depth. A plurality of the bottom raising members 130 may be arranged in the container main body 112.
  • the bottom raising member 130 is arranged to raise the bottom of the container, thereby reducing the excess space in the container and storing and transporting the stored substrate 160 more stably. can do.
  • the bottom support groove 136 is formed at least on the surface of the bottom raising member 130 located on the uppermost surface of the bottom raising member 130. It is only necessary that a bottom substrate supporting resin sheet 128 having a surface shape corresponding to the bottom support groove 136 is disposed on the surface of the bottom raised seat 130 located on the top surface. That is, when a plurality of bottom raising members are arranged in this way, the bottom raising member 130 arranged in the lower portion may be formed with a bottom support groove 136, and the bottom substrate is formed on the surface of the bottom raising member 130.
  • the supporting resin sheet 128 may be disposed, or a foamed resin-made plate-like body in which the resin sheet is not coordinated may be used.
  • the bottom raising member adjusts the depth accommodated by the substrate 160, and prepared foamed resin boards of various thicknesses corresponding to the substrate 160 to be stored.
  • the type of the bottom raising member 130 to be used can be appropriately selected and used.
  • the upper end of the substrate 160 is held by the lid support groove 148 formed in the lid substrate supporting resin sheet 147 in which the upper end of the stored substrate 160 is disposed inside the lid 145.
  • U preferred to be adjusted in depth, as will be.
  • a lid 145 made of foamed resin is formed so as to cover the opening 114 formed in the container main body 112 of the first and second substrate transfer containers 110 and 111 of the present invention.
  • the substrate transfer container of the present invention can be kept in a sealed state.
  • a convex portion 115 is formed on the fitting portion of the container body portion 112
  • a concave portion is formed on the fitting portion of the lid portion 145.
  • a higher airtight state can be formed by forming the fitting portion so that both are fitted.
  • a lid substrate supporting resin sheet 147 is arranged inside the lid portion 145 as described above.
  • the upper end portion of the substrate 160 to be stored is the lid substrate support. It is configured to be held by a lid support groove 148 formed in the resin sheet 147 for use.
  • the lid substrate supporting resin sheet 147 is disposed on the surface of the lid 145 so as to form a slight gap with respect to the lid 145!
  • the container main body 112 and the lid body 145 of the present invention as described above and the bottom raising member 130 are made of foamed resin, and there is no particular limitation on such foamed resin.
  • the raw material for forming these resinous foams does not need to be a single foamable resinous material.
  • a composition containing a plurality of coffins such as a composition can be used.
  • a composition in which a rubber component is blended with polystyrene as described above is supplied as high impact polystyrene.
  • the foam obtained by foaming for example, in a mold so as to have an expansion ratio of about 10 to 60 times, preferably about 20 to 50 times,
  • characteristics necessary for a substrate transport container such as good impact resistance and heat insulation are exhibited. That is, by forming a container body made of the above-mentioned foamed resin and a lid, the substrate holding container becomes about 0.26 kcalZm.hr. ° C or less, and even when the external temperature changes. It is possible to prevent the temperature in the substrate transport container from changing rapidly.
  • a skin layer is formed on the surface of the formed foam, and such a skin layer is in the vicinity of the stop portion in the thickness direction of the foamed resin. It forms a denser layer than the foam in By forming such a skin layer, the surface strength of the foamed resin becomes dust, and the strength of the foam is improved, water resistance and moisture permeability resistance are excellent, and wear resistance is further improved. Improves.
  • a skin layer is formed at a depth of about 1 mm from the surface of the foam. Such a skin layer can be formed by contacting the mold and the foamed resin when forming the foamed resin.
  • the wall surface substrate supporting resin sheets 122a and 122b, the surface protecting resin sheets 124a and 124b, the bottom substrate supporting resin sheet 128, the lid substrate supporting resin sheet 147, etc. Can be formed from a synthetic resin sheet.
  • synthetic resin sheets used here include ⁇ -olefin-resistant sheets such as polyethylene, LLDPE, polypropylene, and polybutylene, and heat such as polystyrene, polyvinyl chloride, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polycarbonate, polyester, and polyamide. Examples thereof include a sheet made of plastic resin.
  • the resin sheet to which the predetermined form as described above is applied adopts such a forming method that is preferably manufactured by various forming methods such as vacuum forming, compression forming, and extrusion forming.
  • various additives may be mix
  • additives include antistatic agents, conductive fillers, colorants, antioxidants and the like.
  • this substrate transport container may store a substrate in which a semiconductor is incorporated.
  • the agent and soot or conductive filler include conductive carbon, conductive metal, and conductive surfactant.
  • conductive carbon When such an antistatic agent and soot or conductive filler are blended, these components are used in such an amount that they do not leave the resin sheet surface and contaminate the substrate to be stored. It is used in an amount within the range of 0.1 to: LOO parts by weight with respect to 100 parts by weight of the resin component forming the resin sheet.
  • this resin sheet usually has a volume resistivity of about 10 3 to 10 12 ⁇ 'cm. Even if a board is mounted on it, its electrical characteristics will not be damaged by static electricity.
  • the resin sheet made of such a resin can be formed by, for example, vacuum forming or the like.
  • the shape is substantially the same as the surface shape.
  • a grease is provided for each wall surface of the container main body.
  • the flexibility of the bellows-like sheet surface support groove 126 of the wall surface substrate supporting resin sheet 122a, 22b in which the sheet surface support groove 126 is formed is impaired. Therefore, it is possible to use a resin sheet formed in an L shape as described above. Similarly, the flexibility of the bellows-like sheet surface support groove 126 is not impaired even in a cylindrical resin sheet with no bottom formed, and thus the resin sheet is formed into a rectangular cylinder. May be. Thus, even if the resin sheet is formed in a rectangular tube shape, there is no bottom portion, so that it is not particularly difficult to insert the sheet into the container body.
  • the bottom portion is attached to the rectangular tube-like sheet with a force, the low-angle cylindrical sheet-combining box becomes remarkably difficult to insert into the container main body, and the storage substrate has a small space.
  • the bellows-like support groove that absorbs the stress is fixed at the edge of the bottom, and the flexibility thereof is impaired. Therefore, the stress is caused by internal stress generated in the substrate itself as in the substrate transfer container of the present invention. Can not reduce the occurrence of substrate damage.
  • the substrate transport container of the present invention has the above-described configuration, and the substrate can be safely transported by storing the substrate in the container. That is, the substrate transport container of the present invention is formed of a foamed resin excellent in impact resistance and heat insulation, and the container body portion and the lid are formed, so that the force substrate such as impact of external force and external temperature change is protected. Of course, it can be used for the internal stress generated by the stored substrate (mainly the stress caused by the weight of the substrate). The sheet can be absorbed by the flexibility of the sheet, and the storage board can be stored more safely. Furthermore, the resin sheet disposed inside the substrate transport container of the present invention is not fixed to the corresponding wall surface and is disposed with a slight gap.
  • a means for preventing the resin sheet from falling into the inside is formed, and the resin sheet is securely arranged at a predetermined position. Therefore, in a substrate manufacturer or the like that actually uses the substrate transport container of the present invention, The grease sheet is placed exactly in place There is no need to check whether or not. Further, basically, the resin sheet is disposed independently of the wall surface as in the present invention, so that the installation of the resin sheet becomes very simple.
  • the depth of the container can be adjusted in accordance with the substrate to be transported, so that an extra space is not formed in the container. Therefore, the substrate can be transported more safely.
  • the substrate transport container of the present invention has the above-described configuration, but can be variously modified within a range that does not impair the object of the present invention.
  • a gas exchange port may be formed in the substrate transport container of the present invention, and the air in the substrate transport container may be replaced with an inert gas such as nitrogen gas or argon gas.
  • an inert gas such as nitrogen gas or argon gas.
  • a banding concave portion is formed on the outer peripheral portion of the substrate transporting container of the present invention to improve the sealing performance of the substrate transporting container and to prevent the lid from falling off due to carelessness. Can be easily performed.
  • the substrate transport container of the present invention is usually used so that the stored substrate stands up.
  • a container is used. It is also possible to mark the container clearly indicating the loading direction.
  • the substrate transport container of the present invention can be suitably used when the substrate is moved, but it is needless to say that it can be used not only at the time of movement but also at the time of storage.

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Abstract

[課題] 主要部が発泡合成樹脂からなる基板搬送用容器であって、容器本体に対するガラス基板の出し入れが容易であるとともに、搬送中の基板の不用意な上下方向への移動を防止し、これにより欠けや割れなどを生じさせる虞の少ない基板搬送用容器を提供すること。 [解決手段] 　基板搬送用容器の容器本体が、断熱材による二重壁を構成するように、予め別体で形成された発泡合成樹脂製の内側断熱材とシート部材とから構成され、上下方向に配置される内側断熱材は、容器本体の開口部から下方に向かう程、肉の厚さが漸次薄くなるように勾配が設けられている。さらに底面に配置される内側断熱材には、厚さ方向に凹所が形成され、その上に配置されるシート部材には、乾燥剤を挿入できるようにスリットが形成されている。                                                                               

Description

明 細 書
基板搬送用容器およびこの搬送用容器の内壁構造、ならびにこの搬送 用容器に使用される底上げ部材
技術分野
[0001] 本発明は、略矩形状の液晶用ガラス基板などを多数枚収容して搬送するのに好適 な基板搬送用容器およびこの搬送用容器の内壁構造、ならびにこの搬送用容器に 好適に使用される底上げ部材に関する。
背景技術
[0002] 一般に、液晶用ガラス基板などの基板を製造工程等の都合で他の場所に移す場 合には、基板同士を互いに接触させないように、また汚染を防止し、かつ基板に割れ や欠けなどが生じな 、状態で安全に搬送できるように、多数枚収容した状態で蓋が 密に被嵌される基板搬送用容器が使用されて!ヽる。
このような基板搬送用容器の中には、略直方体形状の容器本体と、容器本体の開 口部に装着される蓋体とが、ともに発泡合成樹脂から形成されたものがある (例えば、 特許文献 1)。
[0003] 特許文献 1の基板搬送用容器では、発泡合成樹脂製の容器本体内面に形成され た基板支持溝に、直接ガラス基板が係止された状態で運搬されている。そのため、 搬送途中でガラス基板に擦れなどが生じると、特に、ガラス基板と直接接触する容器 本体内面の支持溝部分が劣化し易ぐ結果として発泡合成樹脂製の基板支持溝が 肖 |Jられて発泡体がゴミとしてガラス基板に付着してしまうという問題があった。
[0004] 一方、容器本体内部に、ポリエチレンフィルム力もなる保護フィルムを別途、付設し た基板搬送用容器も提供されている (特許文献 2、特許文献 3)。
特許文献 2の場合は、図 18に示したように、予め形成された平板状のポリエチレン フィルム 212Bに加熱成形により発泡体側の内壁 211の溝 212aの形状に合った溝を 形成し、この凹凸の溝が形成された保護フィルム 212bを溝 212aの成形と同時にカロ 熱融着させ、これにより溝 212aの内面を被覆する構造である。このような構成であれ ば、特許文献 1の場合と異なり、ガラス基板が直接発泡体の内壁 211に接触すること がな 、ので、発泡体によるゴミの形成を防止することができる。
[0005] し力しながら、特許文献 2の場合は、発泡体の内壁 211に保護フィルム 212bが密 に貼り合わされる構造であるため、内壁 211と保護フィルム 212bとは常に一体的に 動くこと〖こなる。したがって、容器本体の内壁 211に衝撃が加わったと場合に、保護 フィルム 212bは緩衝材の機能を果たすことができず、その衝撃が直接基板に伝達さ れてしまう。その結果、基板に欠けや割れをなどを生じさせてしまうという問題があつ た。
[0006] さらに、特許文献 2では、互いに対向する一対の基板係止溝 212bの幅 Sが、ボック ス本体の上部（基板挿入の入口部）から下部（基板挿入の最終部）にわたつて略同じ 長さに設定されている。
このように基板係止溝の幅 Sが基板の挿入方向の入口から、挿入した部分の最後 に至るまで同じ広さに形成されていると、基板が若干傾いて挿入されてしまった場合 に、基板が破損されてしまうという問題があった。
[0007] さらに、特許文献 2の場合には、図 19に示したように、両端部の基板係止溝 212b の間の距離 Eが、基板挿入方向の入口付近カゝら基板挿入方向の最終部分に至るま で、同じ距離 Eであることから、基板 Gが真っ直ぐに入らないと矢印方向への挿入が 困難であった。し力も、ガラス基板 Gが最後まで破損されずに装着されたとしても、基 板の周囲に遊び用のスペースがないことから、容器本体に上下方向への振動が加わ つた場合などに、ガラス基板 Gを破損させてしまうという問題もあった。
[0008] また、特許文献 3 (特開平 7— 257681号公報）の請求項 1には、「発泡倍率 3〜30 倍の発泡体でできたボックス（ 1)の内部に、基板支持用の溝（2a)を有する箱状の溝 付き内挿部材 (2)を配置してなる基板搬送用ボックス。」の発明が開示されている。そ して、この内挿部材（2)に関しては、例えば段落〔0050〕に、「溝付き内挿部材（2)と して、榭脂シート (ABS榭脂シート等)を金型にセットし、加熱下に真空吸引して一挙 に箱状に成形した圧空成形体を用いる。」と記載されており、この溝付き内挿部材 (2 )は、特許文献 3の図 3に付番 2で示されるように、発泡榭脂製ボックス（1)の内壁面 および底面に対応する 5面を有し、他の一面が開口されている。このように一面が開 口された 6面体を発泡榭脂製ボックス（1)内に配置しょうとしても、発泡榭脂製ボック ス（1)と略同一の形状を有する箱体の内挿部材 (2)を発泡榭脂製ボックス（1)内へ 挿入する作業は、非常に煩雑になる。また、このように内挿部材（2)を箱状に形成し てしまうと、基板支持用の溝 (2a)溝が箱状内挿部材 (2)の各面が当接して形成され る辺によって固定されてしまい、このように固定された基板支持用の溝（2a)は、緩衝 '性は有していない。
[0009] この特許文献 3にお 、て、内挿部材（2)は、発泡体でできた板状または箱状の発泡 成形体であるか、榭脂シートを圧空成形して得た板状または箱状の圧空成形体であ るか、榭脂を溶融成形して得た板状または箱状の成形体であるか、板体を機械加工 して得た板状または箱状の機械加工品であると記載されている。また、段落〔0022〕 には、ボックス（1)の本体部（11)の相対する一対の面の内面側に係合用の凸条（11 a)を形成し、板状の溝付き内挿部材 (2) , (2)の裏面側に上記凸条（1 la)に係合す る条溝（2b)を形成すると、ボックス（1)に対する板状の溝付け内挿部材（2)の取り付 けおよび取り外しをより円滑に行うことができると記載されている。
[0010] し力しながら、上記特許文献 3に記載されている内挿部材（2)がボックス状である場 合には、このボックス状内挿部材 (2)を発泡榭脂製ボックス（1)内に挿入する作業が 非常に煩雑になり、また係合用の条溝を有するような厚さを有する内挿部材は、緩衝 性を示さない。
従って、特許文献 1および特許文献 3に開示されて ヽる基板搬送用ボックスにお!/ヽ ては、外部からの衝撃は、発泡榭脂製のボックスによって吸収される力 ボックス内に 収容されている基板が振動することによって生ずる衝撃は、基板を支持する溝付き内 揷部材が緩衝性に乏しいことから、このボックス内で吸収することはできない。
[0011] また、特許文献 1および特許文献 3に記載されている基板搬送用ボックスは、画一 的な大きさであり、このような基板搬送用ボックスで安定に搬送可能な基板の大きさ は一種類であり、大きさの異なるものは搬送することができない。
なお、特許文献 4 (実開昭 57— 91272号公報）には、六面体の一面に開口を有し 発泡性合成樹脂材料で形成された箱体と、該箱体の前記開口に隣り合う四側面のう ち互いに対向する一対の側面に取り付けられ、前記一面から前記一面に対向する底 面方向に延びる所定間隔で配列された複数の溝を有し、前記箱体より硬!、合成樹脂 材料で形成された内張部材とにより、前記対向する溝に板状部材の両端部を装着す ることを特徴とする板状部材の収納装置が開示されている。上記のような収納装置に は、箱体の対向する一対の側面に溝が形成され、この溝は箱体に形成された溝の表 面に合成樹脂製の内張部材を密着させた構造を有している。しかし、この溝自体に は緩衝性はない。したがって、割れや欠けを生じる虞がある。
[0012] 一方、このような発泡合成樹脂製の基板搬送用容器により遠方まで液晶用ガラス基 板を搬送する場合には、基板を湿気から守る必要がある。このため、容器本体内ある いは蓋体内に乾燥剤が収納される場合がある力 通常、このような乾燥剤は、一般に テープなどで貼着されていたため、テープの粘着力が低下して乾燥剤が落下したり すると、その乾燥剤によりガラス基板の表面に傷がついてしまうという問題があった。 特許文献 1 :特開平 7— 132986号公報
特許文献 2：特開 2005— 8194号公報
特許文献 3 :特開平 7— 257681号公報
特許文献 4：実開昭 57— 91272号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0013] 本発明はこのような実情に鑑み、主要部分が発泡合成樹脂から形成された基板搬 送用容器であって、容器本体に対するガラス基板の装着および取出しが容易である とともに、搬送中の基板の不用意な上下方向への移動を防止し、かつ、基板の欠け や割れなどを生じさせる虞の少ない基板搬送用容器およびその内壁構造を提供す ることを目的としている。
また、本発明は、大きさの異なる基板であっても搬送可能とする底上げ部材を提供 することを目的としている。
[0014] また、本発明は、乾燥剤を収納した場合でも、乾燥剤の落下に起因した基板の損 傷が生じな 、基板搬送用容器を提供することを目的として!/、る。
課題を解決するための手段
[0015] 上記目的を達成するための本発明に係る基板搬送用容器は、
底壁部とこの底壁部力 一体的に立ち上げられた一対の長側壁部と一対の短側壁 部とにより、有底角筒状で一方面が開口して形成された合成樹脂製の容器本体と、 前記容器本体の前記一方面の開口を覆うように着脱自在に装着される発泡合成榭 脂製の蓋体と、力 なる基板搬送用容器であって、
前記容器本体は、
底壁部およびこの底壁部から一体的に立ち上げられた一対の長側壁部、および一 対の短側壁部がそれぞれ断熱材による二重壁を構成するように、予め別体で形成さ れた発泡合成樹脂製の内側断熱板が発泡合成樹脂からなる外容器本体の内側に 着脱自在に配置されているとともに、これら内側断熱板に、さらに予め別体で形成さ れた榭脂製のシート部材が着脱自在に装着されて!、ることを特徴として 、る。
[0016] 係る構成による本発明によれば、榭脂シート材と発泡合成樹脂製の板材との間に 僅かな隙間を形成することができるので、この隙間の介在により榭脂シートと板材との 間に緩衝作用を発揮させることができる。また、基板自体が衝撃により振動しても、そ の振動を榭脂シートの許容された範囲内での変形により吸収することができる。した がって、通常の搬送時に、基板が不用意に移動しても割れや欠けの発生を防止する ことができる。また、内側断熱板および榭脂シートがボックス状の一体品で形成され たものではなぐ全て矩形の板状物であるため、形成が容易であるとともに、寸法精 度を維持することが容易である。
[0017] ここで、前記容器本体の底面に配置される内側断熱材の下面には、予め別体で形 成された発泡合成樹脂製の底上げ部材が、着脱自在でかつ選択的に配置されるこ とが好ましい。
このような構成であれば、必要に応じて底上げ部材を用いれば、大きさの異なるガ ラス基板の収容にも適用可能である。さらには、クッション作用も発揮するので、耐衝 撃性を向上させることができる。
[0018] また、本発明では、前記容器本体の底面とその上に配置される内側断熱材との間、 およびその底面に配置される内側断熱材と前記底上げ部材との間には、相互の組 付け姿勢を一義的に決定する位置決め固定手段が構成されて 、ることが好ま 、。 このような構成であれば、容器本体の底面に対して、内側断熱剤および底上げ部 材などの取付け取り外し作業が容易になる。 [0019] さらに、前記位置決め固定手段は、凸部と凹部とから構成されていても良い。
このような構成であれば、設計が容易でかつ位置合せも容易である。
また、前記容器本体の底面に配置される内側断熱板には、乾燥剤を収容するため の凹所が形成されて!ヽても良い。
このような凹所に乾燥材を収容しておけば、搬送中の湿気など力 ガラス基板を保 護することができる。
[0020] さらに、前記容器本体の底面に配置される内側断熱板の上部に配置される榭脂シ ートには、前記凹所に連通するスリットが形成されていることが好ましい。
このような構成であれば、乾燥材の出し入れが容易である。
また、上記目的を達成するための本発明に係る基板搬送用容器の内壁構造は、 有底角筒状で一方面が開口して形成された合成樹脂製の容器本体と、 前記容器本体の前記一方面の開口を覆うように着脱自在に装着される合成樹脂製 の蓋体と、から構成され、
略矩形平板状のガラス基板が、少なくとも前記容器本体内の底壁および一対の側 壁からなる 3辺に所定間隔離間して形成された基板係止溝に係止された状態で搬送 される基板搬送用容器の内壁構造であって、
前記容器本体内の基板収容部は、略矩形平板状の発泡合成樹脂製の内側断熱 板とこの内側断熱板の表面を覆う薄いシート部材とから構成されるとともに、前記内 側断熱板と前記シート部材とに形成された基板係止溝の凹凸面間にクッション用隙 間が確保されて!、ることを特徴として!/、る。
[0021] 係る構成による本発明によれば、シート部材と発泡合成樹脂製の内側断熱板との 間のクッション用隙間によりシート部材と内側断熱板との間に緩衝作用を発揮させる ことができる。また、ガラス基板が衝撃により振動しても、その振動をシート部材の許 容された範囲内での変形により吸収することができる。したがって、通常の搬送時に、 ガラス基板が不用意に振動しても割れや欠けの発生を防止することができる。また、 内側断熱板およびシート部材がボックス状の一体品で形成されたものではなく、矩形 の板状物であれば、形成が容易であるとともに、寸法精度を維持することが容易であ る。 [0022] また、本発明では、前記蓋体は、発泡合成樹脂製の蓋体本体と、この蓋体本体の 内面に覆う蓋体用シート部材とから構成され、前記蓋体本体の天井部に、基板収容 溝が所定のピッチで形成されているとともに、この蓋体本体の内面に着脱自在に装 着される前記蓋体用シート部材に、これに対応する基板収容溝が形成され、かつ前 記蓋体本体の基板収容溝と前記蓋体用シート部材の基板収容溝との間にクッション 用隙間が確保されて 、ることが好ま 、。
[0023] このような構成であれば、ガラス基板の上部が係止される蓋体側でもクッション用隙 間が確保されているので、ガラス基板が特に、上下方向に振動した場合の衝撃を極 力吸収するとともに割れ欠けを防止することができる。
さらに、上記目的を達成するための本発明に係る基板搬送用容器は、 有底角筒状で一方面が開口して形成された合成樹脂製の容器本体と、 前記容器本体の前記一方面の開口を覆うように着脱自在に装着される合成樹脂製 の蓋体と、から構成され、
略矩形平板状のガラス基板が、少なくとも前記容器本体内の底壁および一対の側 壁からなる 3辺に所定間隔離間して形成された基板係止溝に係止された状態で搬送 される基板搬送用容器であって、
前記容器本体は、
底壁部およびこの底壁部から一体的に立ち上げられた一対の長側壁部および一 対の短側壁部がそれぞれ断熱材による二重壁を構成するように、予め別体で形成さ れた発泡合成樹脂製の内側断熱板が発泡合成樹脂からなる外容器本体の内側に 着脱自在に配置されているとともに、これら内側断熱板のさらに内方に、予め別体で 形成された榭脂製のシート部材が着脱自在に装着され、
前記内側断熱材は、前記容器本体の前記開口部に臨む位置から内方に向力う程 、肉の厚さが漸次薄くなるように勾配が設けられていることを特徴としている。
[0024] 係る構成による本発明によれば、開口部側の基板係止溝の距離が入口付近で短く なるように設定されているので、ガラス基板の上下方向への振動を防止することがで き、ガラス基板の割れや欠けの発生を防止することができる。
また、上記目的を達成するための本発明に係る基板搬送用容器は、 有底角筒状で一方面が開口して形成された合成樹脂製の容器本体と、 前記容器本体の前記一方面の開口を覆うように着脱自在に装着される合成樹脂製 の蓋体と、から構成され、
略矩形平板状のガラス基板が、少なくとも前記容器本体内の底壁および一対の側 壁からなる 3辺に所定間隔離間して形成された基板係止溝に係止された状態で搬送 される基板搬送用容器であって、
前記容器本体内の底壁部には、発泡合成樹脂からなる内側断熱板が配置され、さ らにその上側に予め別体で形成された榭脂製のシート部材が着脱自在に装着され、 前記容器本体の底面に配置される前記内側断熱板には、厚さ方向に凹所が形成 され、かつ前記内側断熱板の上部に着脱自在に配置されるシート部材に、前記凹所 に連通するスリットが形成されて 、ることを特徴として 、る。
[0025] また、前記シート部材に形成されたスリットを介して前記内側断熱材の凹所に、乾 燥剤が収容されることが好まし 、。
係る構成による本発明によれば、乾燥剤により搬送中の湿気など力もガラス基板を 保護することができる。また、乾燥材の出し入れが容易であるとともに、乾燥剤がガラ ス基板の表面に落下してしまうようなことがない。
[0026] さらに、上記目的を達成するための本発明の基板搬送用容器は、一方向が開口し た発泡榭脂製の有底角筒状体であり、該有底角筒状体の対畤する内周壁に基板支 持溝が形成された容器本体部と、
上記容器本体部の開口を覆うように着脱自在に装着される発泡榭脂製の蓋体部と 上記容器本体部の少なくとも該基板支持溝が形成された対畤する内周壁面に、該 内周壁面に僅かな空隙を形成して配置された、該内周壁面と略同一の表面形状に 賦形された壁面基板支持用榭脂シートとを有し、
該壁面基板支持用榭脂シートが、倒れ込み防止手段によって該内周壁面に保持さ れて 、ることを特徴として！/、る。
[0027] また、上記目的を達成するための本発明の基板搬送用容器は、一方向が開口した 発泡榭脂製の有底角筒状体であり、該有底角筒状体の対畤する内周壁に基板支持 溝が形成された容器本体部と、
上記容器本体部の開口を覆うように着脱自在に装着される発泡榭脂製の蓋体部と 上記容器本体部の少なくとも該基板支持溝が形成された対畤する内周壁面に、該 内周壁面に僅かな空隙を形成して配置された、該内周壁面と略同一の表面形状に 賦形された壁面基板支持用榭脂シートと、
表面に基板支持溝が形成された発泡榭脂製の板状体であり、前記容器本体部に 収容本体部の底部に収納されて、容器本体の配収壁に形成された基板支持溝と共 同して基板を保持すると共に、上記壁面基板支持用榭脂シートの倒れ込みを防止す る底上げ部材とを有することを特徴として 、る。
[0028] さらに、本発明の基板搬送用容器の底上げ部材は、好適には、上記のような基板 搬送用容器共に用いられる底上げ部材であって、発泡榭脂製の容器本体部内に収 納されて、該容器本体部内の収納深さを調製すると共に、該容器本体内の対畤する 壁面に僅かな空隙を形成して配置される壁面基板支持用榭脂シートと共同して、該 容器本体部に収納される基板を保持する保持溝が表面に形成されている発泡榭脂 製の板状体であることを特徴として 、る。
[0029] 本発明の基板搬送用容器には、発泡榭脂製から形成された容器本体部の対畤す る一対の側壁面に、収納される基板を保持するための保持溝が形成されており、さら にこの側壁面の表面には、この側壁面の表面形状と略同一の表面形状に賦形され た壁面基板支持用榭脂シートが、側壁面と僅かな空隙を形成して配置されている。こ のように壁面基板支持用榭脂シートを、側壁面に対して固定せずに僅かな空隙が形 成されるように配置することにより、容器本体部と壁面基板支持用榭脂シートとの間 に、格納された基板により生ずる振動を吸収する緩衝空間が形成される。
[0030] 一般に、発泡樹脂からなる筐体を有する基板搬送用容器を用いることにより、外部 力 の衝撃などは発泡樹脂からなる筐体部で吸収され、格納された基板は安全に保 たれるが、このような基板搬送容器では、内部に格納された基板は、筐体内壁面に 形成された保持溝によって固定されるために、収納されて ヽる基板自体によって生 ずる振動に対しては緩和手段を有して 、な 、。 [0031] 本発明の基板搬送用容器では、発泡樹脂からなる容器本体部の基板を保持する 保持溝が形成された内壁面に、この内周壁面の表面形状と略同一の形状に賦形さ れた壁面基板支持用榭脂シートが配置されているので、外部力もの衝撃は勿論、容 器内に収納された基板によって生ずる振動は、この壁面基板支持用榭脂シートと保 持溝が形成された内壁面との間に形成された緩衝空隙によって吸収され、隣接して 格納された基板をより安定した状態で保管あるいは移動させることができる。即ち、例 えば液晶用のガラス基板は非常に薄いものであり、非常に僅かな応力によっても橈 むことがある。発泡樹脂から形成された基板搬送用の容器を用いることにより、外部 から加えられる応力の大部分はこの発泡榭脂製の筐体部によって吸収されるが、格 納された基板が橈むことなどによって生ずる内部応力を筐体の内壁面に形成された 保持溝だけで吸収することは難 Uヽ。液晶基板などの基板材料あるいは基板を取り 扱う際に、収納されている基板材料あるいは基板が破損しないように慎重に取り扱わ れており、基板材料あるいは基板の破損は、取り扱い不注意による破損よりも、基板 材料あるいは基板に生ずる内部応力による破損の方が高い発生頻度で発生する。 特に液晶が大型化するに従ってこうした傾向は高くなる。このような内部応力による基 板材料あるいは基板の破損は、これらの自重が保持部分に係ることにより生ずること が多い。
[0032] 本発明の基板搬送用容器にお!ヽては、格納される基板材料あるいは基板を保持 する部分である容器本体部の対畤する一対の側壁に形成された保持溝の表面に、 僅かな空隙を形成して壁面基板支持用榭脂シートが配置されており、容器本体部に 形成された保持溝に対して壁面基板支持用榭脂シートの保持溝は固定されておら ず、しかしながら、壁面基板支持用榭脂シートの保持溝が過度に変形するのは容器 本体部に形成された保持溝によって阻止されている。即ち、格納される基板材料ある いは基板は、ある程度の可撓性を有しており、この可撓性の範囲内で基板材料ある いは基板が動く分には、この基板材料あるいは基板は破損しない。基板材料あるい は基板を輸送する際には、基板材料あるいは基板を固定しなければならないが、基 板を固定すると、この固定された部分 (具体的には保持溝によって挟持された基板材 料あるいは基板の両端部）に応力が集中する。従って、搬送中における基板材料あ るいは基板の破損は、落下などの取り扱い不注意による破損を除くと、この基板材料 あるいは基板の破損は、上記のようにして挟持されて！ヽる両端部に端を発したと思わ れる破損が多くなる。
[0033] 本発明の基板搬送用容器では、容器本体部に形成された保持溝と壁面基板支持 用榭脂シートの保持溝との間に僅かな空隙が形成されており、壁面基板支持用榭脂 シートは、容器本体部の壁面には固定されておらず、この空隙が、格納されている基 板材料あるいは基板の有する可撓性の範囲内における変形を容認する緩衝空間と して作用する。従って、本発明の基板搬送用容器を用いることにより、格納されてい る基板材料あるいは基板の両端部からの破損を防止することができる。ところが、この ような壁面基板支持用榭脂シートを、容器本体部の側壁に配置しても、この壁面基 板支持用榭脂シートは容器本体の側壁に固定されて 、な 、ので、基板材料あるいは 基板を格納する前に、この壁面基板支持用榭脂シートが容器内に倒れてしまうことが ある。この基板搬送用容器は、基板材料あるいは基板を取り扱う基板メーカー等が使 用するものであり、この基板搬送用容器の製造者から基板メーカー等に到達する過 程で壁面基板支持用榭脂シートが容器内に倒れ込んでしまったのでは、上記のよう に優れた特性を有する基板搬送用容器を安定して供給することができな ヽ。殊に、 基板メーカー等においては、自動装置などにより、基板材料あるいは基板を、この基 板搬送用容器に格納して搬送することが多ぐ本発明の基板搬送用容器のように、 基板材料あるいは基板を保持する保持溝が形成された発泡榭脂製の筐体の側壁形 状と、この表面に配置する壁面基板支持用榭脂シートの表面形状とが略同一である 場合には、機械的に壁面基板支持用榭脂シートの有無を認識しにくいことがある。
[0034] そこで、本発明の基板搬送用容器にお!ヽては、容器本体部の保持溝が形成された 側面に配置される壁面基板支持用榭脂シートが倒れ込まないように、この壁面基板 支持用榭脂シートの倒れ込み防止手段が形成されている。
このように壁面基板支持用榭脂シートの倒れ込み防止手段を形成することにより、 本発明の基板搬送用容器の有する優れた破損防止機能を有効に活用することがで きるのである。
[0035] また、上記のように格納された基板材料あるいは基板は、容器本体部の底部にお いて、必然的に容器本体部の底部と接触するが、本発明の基板搬送用容器では、 容器本体部に底上げ部材を配置することが好まし 、。この底上げ部材に表面には、 容器本体部の内側面に形成された保持溝と共同して格納される基板材料あるいは 基板を保持する保持溝が形成されている。そして、この底上げ部材の表面形状と略 同一の形状を有する底部基板支持用榭脂シートを配置することが好ましぐこの底部 基板支持用榭脂シートは、発泡榭脂性の底面基板支持用榭脂シートが僅かな空隙 を形成して配置されていることが好ましぐこのように形成された空隙は、格納される 基板材料あるいは基板の底部と接触し、しカゝも底面基板支持用榭脂シートは、発泡 榭脂を用いて形成されて ヽる底上げ部材には固定されて ヽな ヽので、格納される基 材材料および基板をタイトに保持することがなぐ従って、この底面基板支持用榭脂 シートに保持される基板材料および基板は、この基板材料あるいは基板の有する可 橈性の範囲内にお 、て変形してもその応力が基板等の底部に集中しな 、ようにする ことができる。そして、このような底上げ部材は、壁面基材支持用榭脂シートに対する 非常に良好な倒れ込み防止手段ともなる。また、この底上げ部材は、種々の厚さの 底上げ部材を形成しておくことにより、この基板搬送用容器に格納深さを調整するこ とができ、底上げ部材の厚さを適宜選定することにより、あるいは、複数の異なる底上 げ部材を適宜組み合わせて使用することにより、一種類の容器で底上げ部材により 深さを調整することができるので異なるサイズの基板材料あるいは基板を安定に搬送 することができる。このように基板材料および基板の保持部分が対向する一対の側壁 および低部に配置された底上げ部材 (あるいは、底部基板支持用榭脂シートの保持 溝)の三箇所になり、より安全に基板材料あるいは基板を保持、搬送することができる 発明の効果
本発明に係る基板搬送用容器では、基板の装着および基板の取出し作業性が良 好である。また、榭脂シートと内側断熱板との間に構成される隙間でクッション作用が 発揮されるので、搬送時の振動などにより基板が小刻みに上下しその力が榭脂シ一 トに伝達された場合であっても、榭脂シートが凹んだり変形したりして、その力を吸収 することができる。これにより、基板の割れ欠けなどを可及的に防止できる。また、振 動による力の伝達が解除されれば、変形した榭脂シートを元の状態に復帰させること ができる。さらに、底上げ部材を用いれば、クッション作用が向上するのは勿論のこと 、一つの基板収容容器で大きさの異なるガラス基板を兼用して搬送することが可能に なる。
[0037] また、本発明の基板搬送用容器では、内側断熱板および榭脂シートが六面体のよ うな一体物ではなぐ全てが別体で形成されているので形成および寸法精度の向上 が容易である。
さらに、所定の寸法精度を出すにあたり、全ての寸法精度を管理しなくても、内側 断熱板と榭脂シートとの間で調整することができ、設計の自由度を高めることができる 。また、乾燥剤を収容する場合に、テープなどが不要であるとともにスリットを介して乾 燥剤を内部に収容すれば、その乾燥剤が落下して基板を傷つけてしまうことを防止 できる。
[0038] また、容器本体が発泡合成樹脂製で外部からの衝撃に対して収容された基板を衝 撃力も保護することができ、また温度差などによる結露の発生を防止することもできる また、蓋体側にもクッション用隙間が確保されていれば、上下方向に振動した場合の 衝撃力を極力吸収し割れ欠けを一層防止することが可能になる。
さらに、内側断熱材の肉厚を内方に向力う程、漸次薄くなるように勾配を設けること により、搬送中のガラス基板の上下方向への振動を抑えることができる。これにより、 それに起因するガラス基板の割れ欠けなどの発生を防止できる。
[0039] また、本発明に係る基板搬送用容器では、乾燥剤を収容する場合に、テープなど が不要であるとともにスリットを介して乾燥剤を内部に収容すれば、その乾燥剤が落 下して基板を傷つけてしまうことを防止できる。
本発明の基板搬送用容器は、基板搬送用容器は、基板を保持する容器本体部の 壁面に、この壁面の表面形状と略同一の形状を有する壁面基板支持用榭脂シート 1S この壁面に対して僅かな空隙を形成して配置されており、且つこの壁面基板支 持用榭脂シートが容器内に倒れ込むのを防止する手段が講じられて 、る。このように 壁面基板支持用榭脂シートを僅かな空隙を介して壁面に配置することにより、この容 器内に格納される基板自体によって生ずる応力をこの空隙によって吸収することがで き、格納基板の保持部に端を発する基板の損傷を発生を著しく低減することができる 。即ち、容器の側面と壁面基板支持用榭脂シートとの間に形成される僅かな空隙が 、格納される基板自体の橈みなどによって生ずる内部応力の緩衝空間として機能す る。
[0040] このように本発明の基板搬送用容器では、基板の保持溝が形成された容器の側面 に、この表面に配置される壁面基板支持用榭脂シートが密着していないにも拘わら ず、この壁面基板支持用榭脂シートの倒れ込み防止手段が講じられているので、壁 面基板支持用榭脂シートを壁面に対して一定の空隙を形成して安定に保持すること ができる。
さらに、本発明の基板搬送用容器においては、格納される基板と常に接触する底 部に、基板の保持溝が形成された底上げ部材が配置されており、好適には、この底 上げ部材の表面形状と略同一の形状を有する底部基板支持用榭脂シートが、底上 げ部材の表面に僅かな空隙を形成して配置されて ヽるので、格納された基板に生ず る橈みなどの変形の発生を低減することができると共に、この底上げ部材と底部基板 支持用榭脂シートとの間に形成されている僅かな空隙を、基板自体に生ずる内部応 力の緩衝空間として作用させることができ、格納基板の破損の発生を著しく低減する ことができる。
[0041] さらに、この底上げ部材を使用することにより、格納する基板にあわせて容器内の 格納空間の深さを調整することができ、さらに蓋部の内部にも、上記と同様にして緩 衝空隙を有する支持溝を形成することにより、より安全に基板を格納することができる 本発明の基板搬送用容器によれば、発泡樹脂で形成されていることから外部から の衝撃に対して格納基板を保護することは勿論、格納されて ヽる基板の自重ある ヽ はこれらの橈みなどにより生ずる基板内部の応力をも吸収して基板の破損を防止す ることがでさる。
[0042] また、上記のように壁面基板支持用榭脂シートなどは、開口部が形成された六面体
(ボックス状)のような形状で発泡榭脂製の容器本体部に挿入したのでは、支持溝の 可撓性が損なわれ、壁面と壁面基板支持用榭脂シートとの間に空隙を形成したとし ても、この空隙が格納基板に対する緩衝空隙としては機能しない。さらに、ボックス状 にして容器本体部に挿入しょうとすると、ボックスの挿入が著しく困難であり、非常に 作業効率が悪くなる。そこで、本発明では、基本的には、容器本体部の壁面に形成 された支持溝と略同一の形状に賦形された壁面基板支持用榭脂シートの支持溝の 可撓性が保持されるように (即ち、蛇腹状に形成された多数の支持溝が伸縮可能な ように)、例えば各壁面ごとに独立した複数の壁面基板支持用榭脂シートを壁面に配 置することにより、発泡榭脂製の容器本体部内部の壁面に壁面基板支持用榭脂シ ートを容易に配置することができる。しかも、本発明の基板搬送用容器は、倒れ込み 防止手段を備えているので、配置された壁面基板支持用榭脂シートを各側面に安定 した状態で配置することができる。
[0043] さらに、底上げ部材を用いることにより、格納基板を側面だけではなく底面でも保持 することができ、し力もこの底上げ部材が基板の内部応力の緩衝性を有して 、るので 、より安全に基板を搬送することができる。また、容器の格納深さを調整することがで きるので、単一の基板搬送用容器を多種類の基板の搬送に適用することが可能とな る。さらに、この底上げ部材は、容器本体部の側壁に配置された側壁基板保持用榭 脂シートに対して大変良好な倒れ込み防止手段となる。またさらに、容器内の余剰空 間を少なくすることで、基板の搬送安全性も高くなる。
[0044] なお、本発明の基板搬送用容器は、発泡榭脂製であり、外部力ゝらの衝撃に対して 格納基板を保護することができ、また外部との温度差などにより発生することがある結 露などを防止することができるのは勿論である。
図面の簡単な説明
[0045] [図 1]図 1は本発明の一実施例に係る基板搬送用容器の正面図である。
[図 2]図 2は図 1の基板搬送用容器から、上部の蓋体を取り外して、内部を見たときの 容器本体の平面図である。
[図 3]図 3は図 1に示した基板搬送用容器の分解斜視図である。
[図 4]図 4は図 1を長手方向の線で切断したときの断面図である。
[図 5]図 5は図 4の B— B線方向の断面図である。 [図 6]図 6は図 3に示した底上げ部材の拡大斜視図である。
[図 7]図 7は図 3において底壁部に配置される内側断熱板とシート部材との組付けを 示した分解斜視図である。
[図 8]図 8は図 3において長側壁部に配置される内側断熱板とシート部材との組付け を示した分解斜視図である。
[図 9]図 9は図 3において短側壁部に配置される内側断熱板とシート部材との組付け を示した分解斜視図である。
[図 10]図 10は長側壁用の内側断熱材の側面図である。
[図 11]図 11は短側壁用の内側断熱材の側面図である。
[図 12]図 12は図 9に示した短側壁用の内側断熱材と榭脂シートとを組付けた状態で の拡大断面図であり、 gの部分にガラス基板が配置される説明図である。
[図 13]図 13は、本発明の他の実施例による基板搬送用容器の分解斜視図である。
[図 14]図 14は、本発明のさらに他の実施例による基板搬送用容器の分解斜視図で ある。
[図 15]図 15は、本発明の底上げ部材の一例を示す分解斜視図である。
[図 16]図 16は、基板支持溝の状態を拡大して示す説明図である。
[図 17]図 17は、他の壁面 123a, 123bの表面を突出させて、壁面基板支持用榭脂 シート 122a, 122bの倒れ込みを防止する態様の例を示す図である。
[図 18]図 18は従来の搬送容器の構造を示すもので、図 18 (A)は加熱される前のポリ エチレンフィルムの断面図、図 18 (B)は加熱された保護フィルムの断面図、図 18 (C
)は加熱された保護フィルムと発泡体の内壁との取付け構造を示す断面図である。
[図 19]図 19は従来の搬送用容器にガラス基板を挿入したときの概略図である。
符号の説明
2 基板搬送用容器
4 容器本体
4a 底壁部
4b, 4c 長側壁部
4d、4e 短側壁部 f 開口
g 口部
h 水平突起
i 突起
蓋体
a 凹所
底上げ部材a 突起
b 凹部
0 長壁用の内側断熱板2 短壁用の内側断熱板4 シート部材
6 シート部材
8 シート部材
0 底面用の内側断熱板0a 基板係止溝
1 突条
2 凹所
0 外容器
10 (第 1の)基板搬送用容器11 (第 2の)基板搬送用容器12 容器本体部
13a' 113b —対の壁面14 開口部
15 凸部
16 基板支持溝
16a 支持凸条 118 シート挟みこみスリット
119 僅かな空隙
122a, 122b 壁面基板支持用榭脂シート
123a, 123b 他の一対の壁面
発明を実施するための最良の形態
[0047] 以下、図面を参照しながら本発明の一実施例について説明する。
図 1は、本発明の一実施例による基板搬送用容器の正面図、図 2は図 1に示した基 板搬送用容器から蓋体を取り外したときの容器本体の平面図である。図 3は図 1に示 した基板搬送用容器の分解組立断面図、図 4は基板搬送用容器の短手方向の断面 図、図 5は基板搬送用容器の長手方向の断面図である。
[0048] 本実施例の基板搬送用容器を概略的に説明すれば、発泡合成樹脂からなる箱型 の外容器の内部に板状の断熱材を二層構造となるように配置し、さらにその内側の 内面全体に榭脂製のシートを配置したものである。
すなわち、本実施例の基板搬送用容器 2は、図 1および図 2に示したように、一方 面が開口して形成された発泡合成樹脂製の容器本体 4と、この容器本体 4の上部の 開口 4fを覆うように着脱自在に装着される発泡合成樹脂製の蓋体 6とから構成されて いる。なお、以下の説明で、容器本体 4の外容器 50とは、基板搬送用容器 2から、蓋 体 6を取り外した容器本体 4の中で、最も外方の最外殻を構成する上部が開口した角 筒状の発泡合成樹脂の部分を示して ヽる。
[0049] すなわち、容器本体 4の最外殻を構成する発泡合成樹脂製の外容器 50は、図 1お よび図 3に示したように、外表面に帯状の凹所 22, 22が形成されている。これら帯状 の凹所 22は、蓋体 6の外表面に形成された凹所 6a、 6aに連続して形成されている。 そして、凹所 22および凹所 6aには、容器本体 4と蓋体 6とが一体的に組み付けられ た場合に、締付けバンドが通されて梱包される。
[0050] このような外容器 50は、底壁部 4aと、底壁部 4aから一体的に立ち上げられた一対 の長側壁部 4b、 4cと、同じく底壁部 4aから一体的に立ち上げられた一対の短側壁 部 4d, 4eとから構成されている。
このような外容器 50の口部 4gには、図 3〜図 5に示したように、横方向に水平突起 4hが形成されている。この水平突起 4hに蓋体 6の内周面に形成された図示しない凹 溝が嵌合されることにより、蓋体 6が容器本体 4に密に嵌合され脱落が防止されてい る。
[0051] 外容器 50の周囲 4つの内壁面は、略平坦に形成されている力 外容器 50の底壁 部 4aの上面には、図 5に示したように、 2つの突起 4i, 4iが所定間隔離間して形成さ れている。
外容器 50には、底壁部 4aと、一対の長側壁部 4b、 4cと、一対の短側壁部 4d, 4e との内面側に、板状の内側断熱板 20、 10, 10、 12, 12がそれぞれ配置されている。 なお、底壁部 4aには、底上げ部材 8が選択的に配置される。このように底上げ部材 8 が配置される場合、その上に内側断熱板 20が配置される。底上げ部材 8は、図 6〖こ 拡大して示したように、所定の板厚を備えた発泡合成樹脂からなるもので、このように 、板状の底上げ部材 8を用意すれば、底上げ部材 8の有る場合と無い場合とで、容 器内部の空間高さを 2段階に調整することできる。したがって、大小異なる大きさの基 板を収容することが可能になる。
[0052] なお、底上げ部材 8の上面には、一対の突起 8a, 8aが所定間隔離間して形成され ている。この突起 8a, 8aの離間距離は、外容器 50の突起 4i, 4iの離間距離と等しく 形成されている。また、底上げ部材 8の裏面には、突起 8aの直下に位置して、凹部 8 b、 8bが形成されている。
したがって、このような底上げ部材 8を外容器 50の内部に設置すれば、底上げ部材 8の凹部 8bが外容器 50の突起 4iに位置決めされ、互いに嵌合される。これにより、 底上げ部材 8は、外容器 50に対し移動不能に設置される。
[0053] 一方、外容器 50の内方に配置される底面用内側断熱板 20と、長側壁用内側断熱 板 10、 10と、短側壁用内側断熱板 12、 12の各内側表面は、それぞれ榭脂製のシー ト部材 18、 14、 16により覆われている。なお、これら榭脂製のシート部材 18、 14、 16 は、殆ど厚みがないため、図 2、図 4、図 5などでは、内側断熱板 20、 10, 12と一体 的に示されている。
[0054] 図 7は底壁部における内側断熱材 20とシート部材 18との関係を示し、図 8は長側 壁における内側断熱材 10とシート部材 14との関係を示し、図 9は短側壁における内 側断熱材 12とシート部材 16との関係をそれぞれ示したものである。
以下に、これらの各構成要素について具体的に説明する。
図 7に示したように、底壁部では、榭脂製の薄いシート部材 18が底面用の内側断 熱板 20の上面を覆うように着脱自在に設置される。榭脂製のシート部材 18は、裏面 側から見れば内方が窪んだ凹所となっている。逆に、シート部材 18の表面形状は内 側断熱材 20の外形状と略同様に形成されて ヽる。
[0055] 底面用の内側断熱材 20には、複数本の突条 21が上面に形成されることにより、隣 接する突条 21間に基板係止溝 20aが所定のピッチで形成されて ヽる。
一方、内側断熱材 20の一対の短辺には、水平方向に延びる凸部 20bが中央部と 両端部に形成されることにより、これら凸部 20bの中間部に凹部が形成されている。 そして、この凹部に指などを入れ易くすることにより、取り入れ取り外しを行なう際の作 業性の便が図られている。一方、内側断熱材 20の長辺側には、中央部に凸部 20c が形成されることにより、凸部 20cの両側に凹所 20d、 20dが形成されている。これら の凹所 20dは、後述するように、乾燥剤の収容空間として使用される。
[0056] 一方、底面用の内側断熱材 20の上面に着脱自在に装着される薄い榭脂製のシー ト部材 18の外側面には、内側断熱材 20の突条 21に対応する凹所（図 7の状態で見 れば外側に突出した突条 19であり、この裏側が凹所となっている）が所定間隔置きに 形成されている。さら〖こ、シート部材 18の一方の長辺側には、両側に Y字を構成する スリット 23, 23が形成され、これらのスリット 23を介して内方に指などが入るように構 成されている。そして、このようなスリット 23が形成されることにより、シート部材 18を内 側断熱板 20に被せた場合に、スリット 23を介して内側断熱板 20の凹所 20dに乾燥 剤を入れることが可能にされている。なお、スリット 23の形状は、この Y字状に何ら限 定されるものではない。
[0057] 次に、図 8、図 10を参照して長側壁の構造について説明する。
長側壁では、シート部材 14の内側面が内側断熱板 10の外形状と略同様に形成さ れている。すなわち、内側断熱材 10の表面には、薄い丸形の突起体 10aが複数個（ 実施例では 3 X 5 = 15個）形成されている。また、この突起体 10aを取り囲む形成領 域 T (A X B)の範囲は、外周部 Rの部分に比べて若干肉が厚く形成されて！、る。 [0058] このように、内側断熱板 10の中央表面に突起体 10aを散在して設け、かつその形 成領域 Tの厚さを周囲に比べて厚く設定することにより、内側断熱板 10に反りが形成 されるのが防止されている。一方、内側断熱板 10の外周部 Rの板厚は、図 10に示し たように、上方から下方に向力うにしたがって若干薄く形成されている（D >d)。この ように内側断熱板 10の形状は、底壁部に近い先端部が若干楔状に尖って形成され ている。
[0059] シート部材 14は、内側断熱板 10を被せることができるように、外径寸法が若干大き く形成されている。また、内側断熱板 10の突起 10aに対応する部分は、丸型凹所で はなぐ縦横の格子 32 (縁取り線)から囲まれる凹所となっている。なお、この格子 32 の線を、図 8において内側断熱板 10側から見れば、内側断熱板 10側に突出して見 えるものである。さらに、シート部材 14の上縁部に設けられた舌片 14aが内側断熱板 10の背面部に折り曲げられることにより、内側断熱板 10に対して移動不能に位置決 めされる。
[0060] 次に、図 9、図 11、図 12を参照しながら、短側壁の内側断熱板 12とシート部材 16と の組付けにっ 、て説明する。
先ず、図 9に示したように、短側壁用の内側断熱板 12には、多数の基板係止溝 12 aが長さ方向に連続して形成されている。この基板係止溝 12aの幅 fは、上側と下側 で同一である。しかしながら、図 11に示したように、内側断熱板 12の厚さは、上部と 下部で厚さが異なり、上方力 下方に向かうにしたがって若干、薄く形成されている（ E >e)。このように内側断熱板 12も内側断熱板 10の場合と同様に先端部が若干楔 状に尖って形成されている。
[0061] 薄い榭脂製のシート部材 16は、内側断熱材 12の表面を覆うことができるように、外 径寸法が内側断熱板 12より若干大きく形成されている。また、溝 16aの幅 gは、上側 と下側で同一に設定されている。
このようなシート部材 16は、図 12に示したように、内側断熱材 12の外表面に対して 遊びの部分が確保されている。すなわち、内側断熱材 12とシート部材 16との凹凸面 にクッション用隙間 Hが確保されている。したがって、 gの部分に基板が挟持された場 合に、このクッション用隙間 Hにより、図 12の状態で左右方向に基板が振動しても、 その左右方向に基板の移動が可能にされている。さらに、図 12の状態で上下方向に 基板が振動しても、その上下方向に基板の移動が可能にされている。よって、これら のクッション用隙間 Hが内側断熱材 12とシート部材 16との間に確保されていることに より、基板搬送用容器に急に大きな力が作用した場合でも、基板の移動が可能にな つている。また、その急な力が解除されると、シート部材 16の変形も元の状態に復帰 する。
[0062] 図 9に示したように、シート部材 16が内側断熱材 12の外側に装着された場合に、 上縁部の舌片 16bが、内側断熱板 12の背面部に折り曲げられることにより、内側断 熱板 12に対して移動不能に位置決めされることは、上記シート部材 14と同様である ここで、発泡合成樹脂からなる外容器 50の内側壁面は、全て底面に対して垂直に 形成されている。したがって、図 3に示したように、この外容器 50の内側壁面に、上記 内側断熱板 10および内側断熱板 12が挿入され立設されれば、容器本体 4の上部の 開口に近いほど、互いに対向する一対の側壁間の離反距離は小さぐ容器本体 4の 内部 (底部）に向力 ほど、その離反距離が大きくなる。
[0063] したがって、容器本体 4内の一対の短側壁間に跨るようにガラス基板が挿入されれ ば、ガラス基板の先端部（最初に入る方の端部)側は、広いスペース内に挿入され、 ガラス基板の後端部（手などで把持されて後から入る方の端部)側は、入口付近の狭 V、スペース内に挿入される。
本実施例による基板搬送用容器 2の各構成要素は、上記のように構成されている 力 以下に組付け順序について説明する。なお、組付けの順番はこれに限定される ものではない。また、以下の説明では、底上げ部材 8を用いる場合について説明する
[0064] 先ず、一対の長側壁に配置される発泡合成樹脂製の内側断熱板 10、 10と薄いシ 一ト部材 14、 14と、一対の短側壁の内側断熱板 12、 12と薄いシート部材 16、 16と を予め組付けておく。同様に、底面用の内側断熱板 20と薄いシート部材 18とを予め 組付けておく。こうして、外容器 50の内側に配置される各ユニットが形成されたら、先 ず、底上げ部材 8を外容器 50内に挿入する。このとき、底上げ部材 8の突起 8a, 8a を外容器 50の突起 4i, 4iに合わせるように配置する。
[0065] 次いで、底面用のユニットすなわち図 7に示した内側断熱板 20とシート部材 18との ユニットが、底上げ部材 8の上に配置される。これにより、底面が構成される。
次に、短側壁用のユニットすなわち図 9に示した内側断熱板 12とシート部材 16との ユニットを短側壁に組付ける。
さらに、長側壁用のユニットすなわち図 8に示した内側断熱板 10とシート部材 14と のユニットを長側壁に組付ける。
[0066] これにより、全ての構成要素が組み付けられ、容器本体 4の組付けが完了する。な お、シリカゲルなどの乾燥剤を容器内に設置する場合には、底壁部に配置されたシ 一ト部材 18のスリット 23からシリカゲルなどの乾燥剤を内部に挿入すれば、凹所 20d 内に乾燥剤を収容することができる。し力も、入口が Y字形のスリット 23であるため、 その乾燥剤が不用意に外方に飛び出してしまうことが防止される。したがって、遠方 に搬送する場合に、長期にわたりガラス基板を湿気カゝら保護することができる。
[0067] こうして、基板搬送用容器 2が構成される。
本実施例の基板搬送用容器は、上記のような構成を有しており、この容器内に基 板を格納して安全に搬送することができる。すなわち、本実施例の基板搬送用容器 は、耐衝撃性および耐熱性に優れた発泡合成樹脂で容器本体部および蓋体が形成 されて 、るので、外部力 の衝撃および外部の温度変化など力 基板を保護すること ができるのは勿論のこと、格納された基板によって生じる内部応力（主として基板の 自重によって生じる応力）に対しても、容器内の該当壁面などに僅かな空隙を形成し て配置されたシート部材の可撓性によって吸収することができ、格納基板をより安全 に搬送ある ヽは保管することができる。
[0068] また、例えば、ガラス基板を容器本体 4内に挿入するにあたり、基板の角部が当接 するシート部材 16の容器外方に配置される内側断熱板 10、 12の板厚は、開口部の 上部ほど厚ぐ下方に近づくほど薄く形成されていることから、ガラス基板を入口付近 で位置決めしてからの挿入が容易である。また、基板の挿入が完了すれば、上部側（ 開口部側）の幅狭部で挟持されているので、この溝部からの基板の不用意な飛び出 しが防止されている。また、基板の挿入に際し、基板が少し挿入されれば、内部の広 さは入口より広くなつているので、若干基板が曲がって入っても、その曲がりを吸収す ることができる。逆に、運搬中に容器本体に振動が生じ、その振動で基板が容器本 体力 飛び出そうとしても、開口部は幅が狭くなつているので、基板の飛び出しを防 止することができる。さらに、基板が若干曲がって挿入されるようなことがあるとしても 榭脂製のシート部材と内部の内側断熱板との間に、図 12に示したように隙間 Hが確 保されているので、基板はシート部材 16を内側断熱板 12に押し付けるように変形す るので、基板に反力が強く作用することがない。よって、基板の割れ欠けなどを可及 的に防止することができる。
[0069] また、底上げ部材 8を用いることにより、搬送しょうとする基板に対応させて容器の 深さを調整することができ、容器内に余分な空間が形成されな 、ようにすることができ るので、より安全に基板を搬送することができる。
なお、上記実施例による蓋体 6の構成については、詳しく説明していないが、この 蓋体 6に関しても容器本体 4側と略同様に形成されている。すなわち、蓋体 6では、容 器本体 4と異なり、板状の内側断熱板が設けられていない。し力しながら、発泡合成 榭脂製の蓋体本体 (容器本体では、外容器に相当する発泡体)の内部に、一方面が 開口した箱状の薄いシート部材が介在されている。これにより、蓋体 6は、発泡体と榭 脂製のシート部材との二重構造となっている。即ち、図 12の断面を蓋体の図として見 れば、発泡合成樹脂からなる蓋体本体 12に、薄いシート部材 16が嵌合されている。 このような場合には、蓋体本体 12とシート部材 16に、それぞれ基板装着溝を設けら れ、 gの幅にガラス基板の上端部が当接される。このような蓋体 6を用意すれば、ガラ ス基板を装着する場合に、ガラス基板の上端側を保持することができる。なお、その 場合に、ガラス基板の上端が上下左右方向に移動可能であることは容器本体 4の場 合と同様である。
[0070] 本発明の基板搬送用容器は、上記実施例に何ら限定されず、様々な改変を行なう ことができる。
例えば、基板搬送用容器に気体交換口を設け、この基板搬送用容器内の空気を 窒素ガス、アルゴンガスなどの不活性ガスで置換することもできる。
本発明の基板搬送用容器は、通常の場合、格納されているガラス基板が起立する ように使用されるが、このような基板搬送用容器の積み込み方向を明確にするために 、容器の外方に、積み込み方向を明示する印を付すこともできる。
[0071] 本実施例の基板搬送用容器は、例えば、ガラス基板の移動の際に好適に使用され るが、移動時だけに限定されず、保管時などにも使用することができるのは、勿論で ある。
このような基板搬送用容器は、液晶基板、液晶用ガラス基板、配線基板、回路基板 などの基板を安全に移送、保管することができる。
また、スリット 23を設ける位置は、乾燥剤の数に応じて増減できることは勿論である
[0072] また、上記実施例では、底上げ部材 8を設置したため、スリット 23から乾燥剤を挿入 すれば、その乾燥剤は底上げ部材 8の上面に配置される力 この底上げ部材 8を使 用しない場合は、乾燥剤は直接、外容器 50の底面上に配置されることになる。 さらに、底上げ部材 8を使用しない場合は、大きな基板を収容することができる。 次に、本発明の他の実施例による基板搬送用容器および底上げ部材について説 明する。
[0073] 図 13は、本発明の第 1の基板搬送用容器の分解斜視図であり、図 14は本発明の 第 2の基板搬送用容器の分解斜視図であり、図 15は本発明の底上げ部材の一例を 示す分解斜視図である。なお、以下に示す説明および図面においては、同一の部 材には同一の付番を賦してある。
本発明の第 1の基板搬送用容器 110は、発泡榭脂製の容器本体部 112と、この容 器本体部 112の開口部 114に開閉自在に装着される発泡合成樹脂製の蓋体 145と を有している。
[0074] 発泡榭脂製の容器本体部 112は、基板材料ある!/、は基板 (以下本発明では「基板 」と記載する） 160を格納できるように、一方向が開口した有低筒状の形態を有してい る。そして、この容器本体部 112の内周壁面の対畤する一対の壁面 113a, 113bに は、基板 160を保持するための基板支持溝 116が形成されている。この基板支持溝 116は、容器本体部 112の開口部 114から底部 117方向に向力つて形成された溝 である。この両壁面 113a, 113bに形成された基板支持溝 116, 116に、基板 160の 両端部を挿入することにより、基板 160を起立させて格納することができる。この基板 支持溝 116は、一つの基板搬送用容器 110に 1〜45枚、好ましくは 2〜20枚程度格 納できるように形成されている。従って、容器本体部 112の対畤する一対の壁面 113 a, 113bには、それぞれ、 1〜45本、好ましくは 2〜20本の基板支持溝 116が形成さ れている。
[0075] 図 16に拡大して示すように、この基板支持溝 116のピッチ、即ち、ある基板支持溝 116の中心線カゝら隣接する基板支持溝 116の中心線までの距離は、適宜設定する ことができるが、格納される複数の基材 160が接触しないように、通常は 3〜20mm 程度、好ましくは 5〜 15mm程度にする。このピッチを 3mmよりも狭く形成することも 可能であるが、この容器本体部 112は、金型を用いた発泡榭脂成形により製造され ることから、ピッチ幅が狭くなると、基板支持溝 116を画成する支持凸条 116aの形状 安定性が低くなることがある。
[0076] また、この基板支持溝 116の深さは、格納される基板 160を安定に保持できる深さ であればよぐ通常は 5〜45mm程度、好ましくは 7〜25mm程度である。
このような基板支持溝 116および支持凸条 116aは、それぞれ、壁面 113aあるいは 壁面 113bに対して直角に形成することもできるし、また、基板支持溝 116の先端部 が基端部よりも広くなるようにテーパーをつけて形成することもできる。
[0077] 上記のような基板支持体溝 116は、容器本体部 112と一体にして形成することもで きるし、また、この基板支持体溝 116を有する発泡榭脂発泡榭脂板を、容器本体部 1 12とは別に形成し、この基板支持体溝付き発泡榭脂板を容器本体部 112の該当壁 面に嵌め込むことにより形成することもできる。この場合に、基板支持溝付き発泡榭 脂板の両側端部と容器本体部との間に、後述するシート挟み込みスリット 118を形成 するように榭脂板を嵌め込むことが望ま U、。
[0078] このように基板支持溝付き発泡榭脂板を、容器本体部とは別体として成形すること により、容器本体部の内周面の構造が単純ィ匕されるので、容器本体部 112を成形し た後、型抜き作業が容易になるとの利点がある。
本発明の第 1の基板搬送用容器 110の上記のような基材支持溝 116が形成された 一対の壁面 113a, 113bの、隣接する他の一対の壁面 123a, 123bとの当接咅分に は、榭脂シートを挟み込むためのシート挟み込みスリット 118が形成されていることが 好ましい。
[0079] 本発明の第 1の基板搬送用容器 110において、上記のような基板支持溝 116が形 成された一対の壁面 113a, 113bの表面には、壁面基板支持用榭脂シート 122a, 1 22bが配置されている。この壁面基板支持用榭脂シート 122a、 122bは、上記容器 本体部 112の一対の壁面 113a, 113bの表面の形状と略同一の形状に形成されて いる。即ち、この壁面基板支持用榭脂シート 122a, 122bには、一対の壁面 113a, 1 13bに形成されている基板支持溝 116に対応するシート面支持溝 126およびシート 面支持凸条 126aが形成されており、このシート面支持溝 126およびシート面支持凸 条 126aは、一対の壁面 113a, 113bに形成された基板支持溝 116および支持凸条 116aと略同一の形状を有している。このような壁面基板支持用榭脂シート 122a, 12 2bを、壁面 113a, 113bの表面に配置すると、壁面基板支持用榭脂シート 122a, 1 22bと壁面 113a, 113bとの間に僅かな空隙 119が形成される。即ち、この、壁面基 板支持用榭脂シート 122a, 122bの端部を、例えば壁面 113a, 113bと隣接する他 の一対の壁面 123a, 123bとの当接部分に形成されたシート挟み込みスリット 118に 挟持させることにより、壁面 113a, 113bの表面に配置する。すると、壁面 113a, 11 3bに形成された基板支持溝 116付近では、この壁面基板支持用榭脂シート 122a, 122bは、基板支持溝 116の形態に追随して配置される力 壁面 113a, 113bには 固定されずに、両者の間には、僅かな空隙 119が形成される。
[0080] 本発明の基板搬送用容器 110において、この壁面 113a, 113bと、壁面基板支持 用榭脂シート 122a、 122bとの間に形成される僅かな空隙 119は、基板 160自体に 生じた内部応力などによる基板 160の変形などを吸収する緩衝空間として作用して 格納基板 160の破損を有効に防止することができる。この空隙 119は、非常に僅か であればよぐ例えば基板 160を格納したときに、壁面とシートとが通常は 0. 01〜1 mm程度、好ましくは 0. 01〜0. 7mm程度、特に好ましくは 0. 01〜0. 5mm程度の 範囲内で離間可能に配置されている。即ち、壁面 113a, 113bに形成されている基 板支持溝 116とシート面支持溝 126とで基板 160を保持したときに、この基板 160に 生ずる歪あるいは橈みなどによる基板 160の変動がこの空隙 119によって吸収され ればよぐ僅かな空隙 119の幅は、基板 160は通常はガラスなどで形成されているこ とから、これら基板 160の橈み量に対応する変動幅と略同等にすればよい。
[0081] このように壁面基板支持用榭脂シート 122a, 122bを、基板支持溝 116が形成され た一対の壁面 113a, 113bの表面に、上述のように僅かな空隙が形成されるように配 置することにより、基板 160自体に生じた橈みあるいは歪などによる応力に起因する 基板 160の損傷を有効に防止することができるが、このような壁面基板支持用榭脂シ ート 122a, 122bは、基板 160を収納する前には容器内に倒れ込んでしまうことが多 い。殊に、本発明では壁面基板支持用榭脂シート 122a, 122bは、他の壁面を覆う 榭脂シートとは連接されて 、な 、独立したシートとして容器本体部 110に配置するこ とにより、非常に効率よく配置することができるが、この壁面基板支持用榭脂シート 12 2a, 122bの配置が容易であるほど、シートの倒れ込みが発生し易い。
[0082] 本発明の基板搬送用容器 110には、上記のような壁面基板支持用榭脂シート 122 a, 122bの倒れ込みを防止するために、倒れ込み防止手段が形成されている。上記 のように基材支持溝 116が形成された一対の壁面 113a, 113bと隣接する他の一対 の壁面 123a, 123bとの当接部分に形成されたシート挟み込みスリット 118も倒れ込 み防止手段として機能するが、本発明ではさらに基材支持溝 116が形成された一対 の壁面 113a, 113bと隣接する他の一対の壁面 123a, 123bに倒れ込み防止手段 を形成することが望ましい。
[0083] この倒れ込み防止手段としては、図 17に示すように、容器本体部 12の基板支持溝 16が形成されていない対畤する一対の他の壁面 123a, 123b〖こ形成した突起 125a を挙げることができる。このように形成された突起 125aは、壁面基板支持用榭脂シ一 ト 122a, 122bの倒れ込み力 両端部が突起 129によって引っ掛かって止まるように 形成されている。図 17には、突起 125aとして、対畤する一対の他の壁面 123a, 123 bに縁部を除いて台形状の凸部が形成され態様が示されている。さらに、本発明では 、この突起 125aは、上記のような台形状の凸部とし、この凸部内を格子状にして後述 する表面保護用榭脂シートとの間に空隙を形成するようにすることもできる。また、こ のような倒れ込み防止手段は、対畤する一対の他の壁面 123a、 123bの表面に配置 される表面保護用榭脂シート 124a, 124bの表面に形成されていてもよい。図 17に は、表面保護用榭脂シート 124a, 124bの表面の両側縁部近傍に、容器本体部 11 2の内側に突出して縦方向に凸条 125bの倒れ込み防止手段が形成された態様が 示されている。
[0084] このような基板支持溝基板支持溝 116が形成されていない他の一対の壁面 123a、
123bある ヽは壁面に配置される表面保護用榭脂シート 124a, 124bに倒れ込み防 止のための突起 125aあるいは凸条 125bは、表面から通常は 2〜10mm、好ましく は 3〜8mm程度突出して!/、ればよ!/、。
即ち、上記のように本発明の容器本体部 112の基板支持溝 116が形成されていな ぃ対畤する一対の他の壁面 123a, 123bは、格納される基板 160と接触することは ないが、この他の壁面 123a, 123bに、たとえば図 17に示すように、表面を突出させ ることにより、壁面基板支持用榭脂シート 122a, 122bの倒れ込みを防止することが でき、また、この他の壁面 123a, 123bの表面に表面保護用榭脂シート 124a, 124b を配置する場合には、この表面保護用榭脂シート 124a, 124bの両側端部近傍に、 倒れ込み防止手段として凸条 125aを形成することにより、基板 160を収納する前に おける壁面基板支持用榭脂シート 122a, 122bの倒れ込みを有効に防止することが できる。さらに、このように配置される表面保護用榭脂シート 124a, 124bは、通常は 、このシートが配置される他の側面 123a, 123bの表面形状と略同一の形状に賦形 されて!/ヽる。さら【こ、この表面保護用樹月旨シート 124a, 124biま、ィ則面 123a, 123bの 表面に僅かな空隙を形成して配置されていることが好ましい。この表面保護用榭脂シ ート 124a, 124bは、基板 160と直接接触することはないが、この表面保護用榭脂シ ート 124a, 124bを配置することにより、容器本体部 112を形成する毛羽立ち易い発 泡榭脂と格納基板 160とが直接接触することがなぐまた、表面保護用榭脂シート 12 4a, 124bを、側面 123a, 123bの表面に僅かな空隙を形成して配置することにより、 この僅かな空隙が外部からの衝撃に対して衝撃吸収帯となることもあり、また、断熱 性も高くなる。
[0085] このような表面保護用榭脂シート 124a, 124bは、他の側面 123a, 123bに貼着す ることもできるが、例えば表面保護用榭脂シート 124a, 124bのそれぞれの両端部を 、シート挟みこみスリットに挿入することにより、他の側面 123a, 123bの表面に配置 することができる。
本発明の基板搬送用容器 110の基板 160を格納するための空間の底部 117は、 発泡樹脂で形成することもできるが、底部基板支持用榭脂シート 128を配置すること が好ましい。
[0086] 本発明の第 1の基板搬送用容器 110は、上記のような構成を有しているが、本発明 の第 2の基板搬送用容器 111は、図 14に示すように、上記のような構成を有する第 1 の基板搬送用容器 110の底部に底上げ部材 130を配置してなる。この底上げ部材 1 30は、発泡榭脂から形成されており、その表面には、容器本体部 112の対畤する一 対の壁面 113a, 113bに形成された基板支持溝 116と共同して格納基板 160を保 持するための底部支持溝 136が形成されている。この底部支持溝 136の深さは、格 納される基板 160を安定に保持できる深さであればよぐ通常は 5〜45mm程度、好 ましくは 7〜25mm程度である。
[0087] この底上げ部材 130の表面に配置される底部基板支持用榭脂シート 128は、図 14 および図 15に示すように、底上げ部材 130の表面形状と略同一の形状に賦形され ている。このような形状に賦形された底部基板支持用榭脂シート 128を、発泡榭脂か らなる底上げ部材 130の表面に配置する。この底部基板支持用榭脂シート 128と底 上げ部材 130との間には、僅かな空隙 131が形成されており、この僅かな空隙 131を 形成することにより、格納させている基板 160の振動などによる内部応力を吸収する ことができ、基板 160の破損が著しく低減される。
[0088] 図 14に示すように、上記のような形態を有する底上げ部材 130を本発明の基板搬 送用容器 110の底部 117に配置することにより、この底上げ部材 130に形成された 底部支持溝 136が、壁面 113a, 113bに形成された基板支持溝 116と共同して、格 納される基板 160を安定に保管することができると共に、この底上げ部材 130は、壁 面基板支持用榭脂シート 122a, 122bに対して、非常に良好な倒れ込み防止手段と なる。このような底上げ部材 130は、また、本発明の基板搬送用容器 110, 111に形 成される基板 160の収容深さを好適な深さに変更することができる。この底上げ部材 130は、容器本体部 112内に複数配置してもよい。即ち、この容器に格納される基板 のサイズには、多種多様なものがあり、この容器に格納可能なサイズであれば、容器 の深さに拘わりなく収納することができる。しかしながら、収納される基板 160に対し て容器が深すぎると、容器内における基板 160の安定性が悪くなる。従って、基板 1 60を収納する容器の深さは、格納しょうとする基板に対応した深さであることが望まし い。本発明の基板搬送用容器においては、底上げ部材 130を配置して容器の底上 げを行うことにより容器内の余剰の空間を減少させて、格納される基板 160をより安 定に保管 ·輸送することができる。
[0089] 本発明において、複数の底上げ材を使用する場合、少なくとも最も上面に位置する 底上げ部材 130の表面に位置する底上げ部材の表面に底部支持溝 136が形成され ていればよぐさらに少なくとも最も上面に位置する底上げ部座 130の表面に底部支 持体溝 136に対応する表面形状を有する底部基板支持用榭脂シート 128が配置さ れていればよい。即ち、このように複数の底上げ部材を配置する場合に、下部に配 置する底上げ部材 130には、底部支持溝 136が形成されていてもよいし、このような 底上げ部材 130の表面に底部基板支持用榭脂シート 128が配置されていてもよいし 、また榭脂シートが配位されていない発泡榭脂製の板状体であってもよい。上記のよ うに底上げ部材は、基板 160の収容する深さを調整するものであり、種々の厚さの発 泡榭脂製の板を用意しておいて、格納される基板 160に対応して使用する底上げ部 材 130の種類を適宜選定して使用することができる。
[0090] 特に格納される基板 160の上端部が蓋体 145の内側に配置される蓋体基板支持 用榭脂シート 147に形成されている蓋体支持溝 148によって、基板 160の上端部が 保持されるような深さを調整されて 、ることが好ま U、。
本発明の第 1および第 2の基板搬送用容器 110, 111の容器本体部 112に形成さ れている開口部 114を覆うように発泡榭脂製の蓋体 145が形成されており、この蓋体 145を容器本体部 112に嵌合して開口部 114に塞ぐことにより、本発明の基板搬送 用容器を密閉状態に保つことができる。
[0091] 即ち、上記のような本発明の第 1および第 2の基板搬送用容器 110, 111の容器本 体部 112の開口部 114が形成されている上端部と、蓋体 145の下端部とは、相互に 嵌合して、基板 160を格納する内部空間を気密状態に保持できるようにされている。 例えば容器本体部 112の嵌合部に凸部 115を形成し、蓋部 145の嵌合部に凹部を 形成して両者が嵌合するように嵌合部を形成することにより、より高い気密状態を形 成することができる。
[0092] 上記のような蓋部 145の内側には蓋体基板支持用榭脂シート 147が配置されてお りには、好適には、格納される基板 160の上端部がこの蓋体基板支持用榭脂シート 1 47に形成された蓋体支持溝 148によって保持されるようにされている。
なお、この蓋体基板支持用榭脂シート 147は、蓋体 145に対して僅かな空隙を形 成して蓋体 145の表面に配置されて!、ることが好まし!/、。
[0093] 上記のような本発明の容器本体部 112および蓋体 145、さらには底上げ部材 130 は、発泡樹脂から形成されており、このような発泡樹脂に特に制限はないが、ポリスチ レン：ポリオレフイン：ポリウレタンなど、通常榭脂発泡体として使用されて 、る発泡性 榭脂を用いて形成することができる。また、これらの榭脂発泡体を形成する原料は、 単独の発泡性榭脂原料である必要はなぐ例えば耐衝撃性を向上させるために、発 泡性のポリスチレンにゴム成分が配合された榭脂組成物などの複数の榭脂を含有す る組成物を使用することができる。上記のようなポリスチレンにゴム成分を配合した組 成物は、ハイインパクトポリスチレンなどとして供給されている。このような榭脂発泡体 原料を使用して、例えば、 10〜60倍、好ましくは、 20倍〜 50倍程度の発泡倍率に なるように、例えば型内発泡することにより、得られる発泡体は、良好な耐衝撃性、断 熱性など、基板搬送用の容器として必要な特性が発現する。即ち、上記のような発泡 榭脂からなる容器本体をおよび蓋体を形成することにより、この基板保持用容器は 0 . 26kcalZm.hr .°C程度あるいはそれ以下になり、外部の温度変化によっても基板 搬送用容器内の温度が急速に変化することを防止することができる。さらに、このよう な発泡倍率で榭脂発泡体を形成することにより、形成される発泡体の表面にはスキン 層が形成され、このようなスキン層は、発泡樹脂の厚さ方向の中止部近傍にある発泡 体よりも緻密な層を形成する。このようなスキン層を形成することにより、発泡榭脂表 面力も塵埃などが発生しに《なると共に、発泡体の強度が向上し、耐水性、耐透湿 性にも優れ、さらに耐磨耗性が向上する。このようなスキン層は発泡体の表面から lm m程度の深さで形成される。このようなスキン層は、発泡榭脂を形成する際に金型と 発泡榭脂とが接触することにより形成することができる。 [0094] また、本発明で、壁面基板支持用榭脂シート 122a, 122b,表面保護用榭脂シート 124a, 124b,底部基板支持用榭脂シート 128、蓋体基板支持用榭脂シート 147な どは、合成樹脂シートから形成することができる。ここで使用する合成樹脂シートの例 としては、ポリエチレン、 LLDPE、ポリプロピレン、ポリブチレンなどの α—ォレフイン 力 なるシート、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタレート、ポリェチ レンナフタレート、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリアミドのような熱可塑性榭脂か らなるシートなどを挙げることができる。本発明にお！/、て上記のような所定の形態が賦 与された榭脂シートは、真空成形、圧縮成形、押し出し成形などの種々の成形方法 で製造することが好ましぐこのような成形方法を採用して本発明で使用する特定の 形状に賦形された榭脂シートを製造する場合には、熱溶融製榭脂を用いることが好 ましい。また、このような榭脂シートには、各種の添加剤を配合されて入れもよい。こ のような添加剤の例としては、帯電防止剤、導電性充填剤、着色剤、酸化防止剤など を挙げることができる。特に本発明では帯電防止剤および Ζまたは導電性充填剤を 配合することが好ましい。即ち、この基板搬送用容器には、半導体が組み込まれた基 板を格納することがあり、このような場合には、摩擦などによって生ずる電位を速やか に放電除去させる必要があり、従って、帯電防止剤および Ζまたは導電性充填剤を 配合することが好ま U、。このような帯電防止剤および導電性充填剤の例としては、 導電性カーボン、導電性金属、導電性界面活性剤などを挙げることができる。このよ うな帯電防止剤および Ζまたは導電性充填剤を配合する場合には、これらの成分が 榭脂シート表面カゝら離脱して格納される基板を汚染しないような量で使用され、通常 は榭脂シートを形成する榭脂成分 100重量部に対して 0. 1〜： LOO重量部の範囲内 の量で使用される。このように帯電防止剤および Ζまたは導電性充填剤を配合する ことにより、この榭脂シートは通常は 103〜1012 Ω 'cm程度の体積固有抵抗値を有す るようになり、電子部品が実装された基板であっても静電気などによって、その電気 的特性が損なわれることがなくなる。
[0095] このような榭脂からなる榭脂シートは、上述のように例えば真空成形などによって形 成することができ、通常の場合、この榭脂シートが配置される容器本体部の壁面の表 面形状と略同一の形状に賦形される。このように容器本体部の配置壁面ごとに榭脂 シートを形成することにより、形成される榭脂シートの可撓性が損なわれることなぐ格 納される基板 160内部に生ずる内部応力を非常に効率よく吸収することができる。従 つて、本発明で使用される榭脂シートは、各配置壁面ごとに製造することが望ましい 力 例えばシート面支持溝 126が形成されたシートと、これに隣接する支持溝が形成 されていないシートとを一体に形成した L字型シートを用いても、シート面支持溝 126 が形成された壁面基板支持用榭脂シート 122a, 22bの蛇腹状のシート面支持溝 12 6の可撓性は損なわれることがないので、上記のような L字型に形成した榭脂シートを 用いることもできる。また、同様に底部が形成されていない筒状の榭脂シートにおい ても蛇腹状のシート面支持溝 126の可撓性は損なわれることがないので、このように 榭脂シートを角筒状にしてもよい。このように角筒状に榭脂シートを形成しても、底部 がないので容器本体部へのシートの挿入が特に困難になるということはない。
[0096] し力しながら、角筒状のシートに底部をつけてしまうと、この有低角筒状のシート複 合ボックスは、容器本体部への挿入が著しく困難になると共に、収納基板の応力を吸 収する蛇腹状の支持溝が底部の縁部で固定されてしまい、その可撓性が損なわれる ので、本発明の基板搬送用容器におけるような、基板自体に生ずる内部応力に起因 する基板の損傷の発生を低減することができな 、。
[0097] 本発明の基板搬送用容器は、上記のような構成を有しており、この容器内に基板を 格納して安全に基板を搬送することができる。即ち、本発明の基板搬送用容器は、 耐衝撃性および断熱性に優れた発泡樹脂で容器本体部および蓋体が形成されてい るので、外部力 の衝撃および外部の温度変化など力 基板を保護することができる のは勿論、格納された基板によって生ずる内部応力（主として基板の自重によって生 ずる応力）に対しても、容器内の該当壁面などに僅かな空隙を形成して配置された 榭脂シートの可撓性によって吸収することができ、格納基板をより安全に搬送ある ヽ は保管することができる。さら〖こ、本発明の基板搬送用容器内部に配置されている榭 脂シートは、該当壁面に固定されておらず、僅かな空隙を形成して配置されているが 、この榭脂シートが容器内に倒れ込むのを防止する手段が形成されており、この榭脂 シートは所定に位置に確実に配置されているので、本発明の基板搬送用容器を実 際に使用する基板メーカー等において、榭脂シートが所定の位置に正確に配置され ているかどうかを確認する必要はない。さらに、本発明のように基本的には榭脂シ一 トを、壁面に対して個別独立に配置することにより、榭脂シートの装着が非常に簡単 になる。
[0098] また、底上げ部材を用いることにより、搬送しょうとする基板に対応させて容器の深 さを調整することができ、容器内に余分な空間が形成されな ヽよう〖こすることができる ので、より安全に基板を搬送することができる。
本発明の基板搬送用容器は、上記のような構成を有するが、本発明の目的を損な わない範囲内で種々改変することができる。
[0099] 例えば、本発明の基板搬送用容器に気体交換口を形成して、この基板搬送用容 器内の空気を、窒素ガス、アルゴンガスなどの不活性ガスで置換することもできる。 また、本発明の基板搬送用容器の外周部にバンドかけ凹部を形成して、この基板 搬送用容器の密閉性を向上させ、さらに不注意などによる蓋体の脱落を防止するた めのバンドかけを容易に行えるようにすることができる。
[0100] 本発明の基板搬送用容器は、通常の場合、格納されている基板が起立するよう〖こ 使用されるが、このような基板搬送用容器の積み込み方向を明確にするために、容 器に積み込み方向を明示する印を賦すこともできる。
本発明の基板搬送用容器は、基板の移動の際に好適に使用することができるが、 移動時だけに限らず、保管時などにも使用することができるのは勿論である。

Claims

請求の範囲
[1] 底壁部とこの底壁部力 一体的に立ち上げられた一対の長側壁部と一対の短側壁 部とにより、有底角筒状で一方面が開口して形成された合成樹脂製の容器本体と、 前記容器本体の前記一方面の開口を覆うように着脱自在に装着される発泡合成榭 脂製の蓋体と、力 なる基板搬送用容器であって、
前記容器本体は、
底壁部およびこの底壁部力 一体的に立ち上げられた一対の長側壁部、および一 対の短側壁部がそれぞれ断熱材による二重壁を構成するように、予め別体で形成さ れた発泡合成樹脂製の内側断熱板が発泡合成樹脂からなる外容器本体の内側に 着脱自在に配置されているとともに、これら内側断熱板に、さらに予め別体で形成さ れた榭脂製のシート部材が着脱自在に装着されて!ヽることを特徴とする基板搬送用 谷器。
[2] 前記容器本体の底面に配置される内側断熱材の下面には、予め別体で形成された 発泡合成樹脂製の底上げ部材が、着脱自在でかつ選択的に配置されることを特徴と する請求項 1に記載の基板搬送用容器。
[3] 前記容器本体の底面とその上に配置される内側断熱材との間、およびその底面に 配置される内側断熱材と前記底上げ部材との間には、相互の組付け姿勢を一義的 に決定する位置決め固定手段が構成されていることを特徴とする請求項 1または 2に 記載の基板搬送用容器。
[4] 前記位置決め固定手段は、凸部と凹部とから構成されていることを特徴とする請求 項 3に記載の基板搬送用容器。
[5] 前記容器本体の底面に配置される内側断熱板には、乾燥剤を収容するための凹 所が形成されていることを特徴とする請求項 3に記載の基板搬送用容器。
[6] 前記容器本体の底面に配置される内側断熱板の上部に配置される榭脂シートには
、前記凹所に連通するスリットが形成されていることを特徴とする請求項 5に記載の基 板搬送用容器。
[7] 有底角筒状で一方面が開口して形成された合成樹脂製の容器本体と、
前記容器本体の前記一方面の開口を覆うように着脱自在に装着される合成樹脂製 の蓋体と、から構成され、
略矩形平板状のガラス基板が、少なくとも前記容器本体内の底壁および一対の側 壁からなる 3辺に所定間隔離間して形成された基板係止溝に係止された状態で搬送 される基板搬送用容器の内壁構造であって、
前記容器本体内の基板収容部は、略矩形平板状の発泡合成樹脂製の内側断熱 板とこの内側断熱板の表面を覆う薄いシート部材とから構成されるとともに、前記内 側断熱板と前記シート部材とに形成された基板係止溝の凹凸面間にクッション用隙 間が確保されていることを特徴とする基板搬送用容器の内壁構造。
[8] 前記蓋体は、発泡合成樹脂製の蓋体本体と、この蓋体本体の内面に覆う蓋体用シ 一ト部材とから構成され、前記蓋体本体の天井部に、基板収容溝が所定のピッチで 形成されているとともに、この蓋体本体の内面に着脱自在に装着される前記蓋体用 シート部材に、これに対応する基板収容溝が形成され、かつ前記蓋体本体の基板収 容溝と前記蓋体用シート部材の基板収容溝との間にクッション用隙間が確保されて いることを特徴とする請求項 7に記載の基板搬送用容器の内壁構造。
[9] 有底角筒状で一方面が開口して形成された合成樹脂製の容器本体と、
前記容器本体の前記一方面の開口を覆うように着脱自在に装着される合成樹脂製 の蓋体と、から構成され、
略矩形平板状のガラス基板が、少なくとも前記容器本体内の底壁および一対の側 壁からなる 3辺に所定間隔離間して形成された基板係止溝に係止された状態で搬送 される基板搬送用容器であって、
前記容器本体は、
底壁部およびこの底壁部から一体的に立ち上げられた一対の長側壁部および一 対の短側壁部がそれぞれ断熱材による二重壁を構成するように、予め別体で形成さ れた発泡合成樹脂製の内側断熱板が発泡合成樹脂からなる外容器本体の内側に 着脱自在に配置されているとともに、これら内側断熱板のさらに内方に、予め別体で 形成された榭脂製のシート部材が着脱自在に装着され、
前記内側断熱材は、前記容器本体の前記開口部に臨む位置から内方に向力う程 、肉の厚さが漸次薄くなるように勾配が設けられていることを特徴とする基板搬送用 容器。
[10] 有底角筒状で一方面が開口して形成された合成樹脂製の容器本体と、
前記容器本体の前記一方面の開口を覆うように着脱自在に装着される合成樹脂製 の蓋体と、から構成され、
略矩形平板状のガラス基板が、少なくとも前記容器本体内の底壁および一対の側 壁からなる 3辺に所定間隔離間して形成された基板係止溝に係止された状態で搬送 される基板搬送用容器であって、
前記容器本体内の底壁部には、発泡合成樹脂からなる内側断熱板が配置され、さ らにその上側に予め別体で形成された榭脂製のシート部材が着脱自在に装着され、 前記容器本体の底面に配置される前記内側断熱板には、厚さ方向に凹所が形成 され、かつ前記内側断熱板の上部に着脱自在に配置されるシート部材に、前記凹所 に連通するスリットが形成されていることを特徴とする基板搬送用容器。
[11] 前記シート部材に形成されたスリットを介して前記内側断熱材の凹所に、乾燥剤が 収容されていることを特徴とする請求項 10に記載の基板搬送用容器。
[12] 一方向が開口した発泡榭脂製の有底角筒状体であり、該有底角筒状体の対畤す る内周壁に基板支持溝が形成された容器本体部と、
上記容器本体部の開口を覆うように着脱自在に装着される発泡榭脂製の蓋体部と 上記容器本体部の少なくとも該基板支持溝が形成された対畤する内周壁面に、該 内周壁面に僅かな空隙を形成して配置された、該内周壁面と略同一の表面形状に 賦形された壁面基板支持用榭脂シートとを有し、
該壁面基板支持用榭脂シートが、倒れ込み防止手段によって該内周壁面に保持さ れて!ヽることを特徴とする基板搬送用容器。
[13] 上記倒れ込み防止手段が、容器本体部の基板支持体溝が形成されていない内周 壁面に形成された凸部であることを特徴とする請求項第 12項記載の基板搬送用容
[14] 上記容器本体部の基板支持体溝が形成されていない内周壁面に表面保護用榭脂 シートが配置されており、該基板支持体溝が形成されていない内周壁面に配置され た表面保護用榭脂シートに、基板支持溝が形成された対畤する内周壁面に配置さ れた壁面基板支持用榭脂シートの倒れ込み防止手段が形成されていることを特徴と する請求項第 12項記載の基板搬送用容器。
[15] 上記容器本体部の底面および Zまたは蓋体部の内周壁面に、表面保護用榭脂シ ートが配置されていることを特徴とする請求項第 12項記載の基板搬送用容器。
[16] 上記容器本体部の底面および Zまたは蓋体部の内周壁面に配置された表面保護 用榭脂シートに基板支持溝が形成されていることを特徴とする請求項第 15項記載の 基板搬送用容器。
[17] 上記容器本体部の底面、基板支持体溝が形成されている内周壁面、基板支持体 溝が形成されていない内周壁面、および、蓋体部の内周壁面に配置される榭脂シ一 トが、それぞれ配置される面の表面形状と略同一の表面形状を有するように賦形され ており、それぞれの榭脂シートが、発泡樹脂からなる当接面の表面に対して僅かな空 隙を形成して配置されていることを特徴とする請求項第 16項記載の基板搬送用容器
[18] —方向が開口した発泡榭脂製の有底角筒状体であり、該有底角筒状体の対畤す る内周壁に基板支持溝が形成された容器本体部と、
上記容器本体部の開口を覆うように着脱自在に装着される発泡榭脂製の蓋体部と 上記容器本体部の少なくとも該基板支持溝が形成された対畤する内周壁面に、該 内周壁面に僅かな空隙を形成して配置された、該内周壁面と略同一の表面形状に 賦形された壁面基板支持用榭脂シートと、
表面に基板支持溝が形成された発泡榭脂製の板状体であり、前記容器本体部に 収容本体部の底部に収納されて、容器本体の配収壁に形成された基板支持溝と共 同して基板を保持すると共に、上記壁面基板支持用榭脂シートの倒れ込みを防止す る底上げ部材とを有することを特徴とする基板搬送用容器。
[19] 上記底上げ部材の表面形状と略同一の表面形状に賦形された底部基板支持用榭 脂シートが、該底上げ部材の表面に僅かな空隙を形成して配置されていることを特 徴とする請求項第 18項記載の基板搬送用容器。
[20] 上記底上げ部材が、壁面基材支持用榭脂シートの倒れ込み防止手段であることを 特徴とする請求項第 18項または第 19項記載の基板搬送用容器。
[21] 上記壁面基材支持用榭脂シートの倒れ込み防止手段として、上記底上げ部材の ほかに、容器本体部の基板支持体溝が形成されていない内周壁面に凸部を形成す ることを特徴とする請求項第 18項または第 20項記載の基板搬送用容器。
[22] 上記容器本体部の基板支持体溝が形成されていない内周壁面に表面保護用榭脂 シートが配置されており、該基板支持体溝が形成されていない内周壁面に配置され た表面保護用榭脂シートに、基板支持溝が形成された対畤する内周壁面に配置さ れた壁面基板支持用榭脂シートの倒れ込み防止手段が形成されていることを特徴と する請求項第 18項または第 20項記載の基板搬送用容器。
[23] 上記蓋体部の内周壁面に、表面保護用榭脂シートが配置されていることを特徴と する請求項第 18項記載の基板搬送用容器。
[24] 上記蓋体部の内周壁面に配置された表面保護用榭脂シートに基板支持溝が形成 されていることを特徴とする請求項第 15項記載の基板搬送用容器。
[25] 上記基板搬送用容器が、複数の底上げ部材を収納して該基材搬送用容器の収納 深さを調整可能にされていることを特徴とする請求項第 18項記載の基板搬送用容器
[26] 発泡榭脂製の容器本体部内に収納されて、該容器本体部内の収納深さを調製す ると共に、該容器本体内の対畤する壁面に僅かな空隙を形成して配置される面壁面 基板支持用榭脂シートと共同して、該容器本体部に収納される基板を保持する保持 溝が表面に形成されている発泡榭脂製の板状体であることを特徴とする基板搬送用 容器の底上げ部材。
[27] 上記底上げ部材が、発泡榭脂製の板状体と、該発泡樹脂製の板状体の表面の形 状と略同一の形状に賦形された底部基板支持用榭脂シートとからなり、板状体の表 面に僅かな空隙して該底部基板支持用榭脂シートが配置されてなることを特徴とす る請求項第 26項記載の底上げ部材。
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