JP3850864B1 - 基板搬送用容器の内壁構造 - Google Patents

Abstract

【課題】主要部分が発泡合成樹脂から形成された基板搬送用容器の内壁構造であって、容器本体に対するガラス基板の装着および取出しが容易であるとともに、搬送中の基板の不用意な上下方向への移動を防止し、かつ、基板の欠けや割れなどを生じさせる虞の少ない基板搬送用容器の内壁構造を提供する。
【解決手段】容器本体の基板収容部は、矩形平板状の発泡合成樹脂製の内側断熱板１２と、この内側断熱板１２の表面を覆う薄いシート部材１６とから構成されるとともに、前記内側断熱板１２と前記シート部材１６とに形成された基板係止溝の凹凸部に、内方の内側断熱板と外方の樹脂シートとの間にクッション用隙間Ｈが確保されている。
【選択図】図１２

Description

本発明は略矩形状の液晶用ガラス基板などを多数枚収容して搬送するのに好適な基板搬送用容器の内壁構造に関する。

一般に、液晶用ガラス基板などの基板を製造工程等の都合で他の場所に移す場合には、基板同士を互いに接触させないように、また汚染を防止し安全に搬送できるように、多数枚収容した状態で蓋が密に被嵌される基板搬送用容器が使用されている。

このような基板搬送用容器の中には、略直方体形状の容器本体と、容器本体の開口部に装着される蓋体とが、ともに発泡合成樹脂から形成されたものがある（例えば、特許文献１）。

特許文献１の基板搬送用容器では、発泡合成樹脂製の容器本体内面に形成された基板支持溝に、直接ガラス基板が係止された状態で運搬されている。そのため、搬送途中でガラス基板に擦れなどが生じると、特に、ガラス基板と直接接触する容器本体内面の支持溝部分が劣化し易く、結果として発泡合成樹脂製の基板支持溝が削られて発泡体がゴミとしてガラス基板に付着してしまうという問題があった。

また、このような発泡合成樹脂製の基板搬送用容器を用いて、仮に遠方まで液晶用ガラス基板を搬送する場合には、基板に割れや欠けなどが生じない状態で安全に運搬する必要がある。

一方、容器本体内部に、ポリエチレンフィルムからなる保護フィルムを別途、付設した基板搬送用容器も提供されている（特許文献２）。
この特許文献２の場合は、図１３に示したように、予め形成された平板状のポリエチレンフィルム２１２Ｂに加熱成形により発泡体側の内壁２１１の溝２１２ａの形状に合った溝を形成し、この凹凸の溝が形成された保護フィルム２１２ｂを溝２１２ａの成形と同時に加熱融着させ、これにより溝２１２ａの内面を被覆する構造である。このような構成であれば、特許文献１の場合と異なり、ガラス基板が直接発泡体の内壁２１１に接触することがないので、発泡体によるゴミの形成を防止することができる。
特開平７−１３２９８６号公報 特開２００５−８１９４号公報

しかしながら、特許文献２の場合は、発泡体の内壁２１１に保護フィルム２１２ｂが密に貼り合わされる構造であるため、内壁２１１と保護フィルム２１２ｂとは常に一体的に動くことになる。したがって、容器本体の内壁２１１に衝撃が加わったと場合に、保護フィルム２１２ｂは緩衝材の機能を果たすことができず、その衝撃が直接基板に伝達されてしまう。その結果、基板に欠けや割れをなどを生じさせてしまうという問題があった。

さらに、特許文献２では、互いに対向する一対の基板係止溝２１２ｂの幅ｓが、ボックス本体の上部（基板挿入の入口部）から下部（基板挿入の最終部）にわたって略同じ長さに設定されている。

このように基板係止溝の幅ｓが基板の挿入方向の入口から、挿入した部分の最後に至る
まで同じ広さに形成されていると、基板が若干傾いて挿入されてしまった場合に、基板が破損されてしまうという問題があった。

また、基板が破損されずに基板係止溝の最後まで安全に装着されたとしても、基板の搬送中に、ガラス基板が例えば上下方向に小刻みに弾んだ場合などには、基板の周囲に遊び用のスペースがないことから、その衝撃で基板が破損されてしまうという問題もあった。

本発明はこのような実情に鑑み、主要部分が発泡合成樹脂から形成された基板搬送用容器であって、容器本体に対するガラス基板の装着および取出しが容易であるとともに、搬送中の基板の不用意な上下方向への移動を防止し、かつ、基板の欠けや割れなどを生じさせる虞の少ない基板搬送用容器の内壁構造を提供することを目的としている。

上記目的を達成するための本発明に係る基板搬送用容器の内部構造は、
有底角筒状の一方面が開口して形成された合成樹脂製の容器本体と、
前記容器本体の前記一方面の開口を覆うように着脱自在に装着される合成樹脂製の蓋体と、から構成され、
略矩形平板状のガラス基板が、少なくとも前記容器本体内の底壁および一対の側壁から
なる３辺に所定間隔離間して形成された基板係止溝に係止された状態で搬送される基板搬送用容器の内壁構造であって、
前記容器本体内の基板収容部は、略矩形平板状の発泡合成樹脂製の内側断熱板とこの内側断熱板の平面を覆う薄いシート部材とから構成されるともに、前記内側断熱板は、上方から下方に向かって、その厚さが若干薄くなるように形成されており、かつ前記内側断熱板と前記シート部材とに形成された基板係止溝の凹凸面間にクッション用隙間が確保されていることを特徴としている。

係る構成による本発明によれば、シート部材と発泡合成樹脂製の内側断熱板との間のクッション用隙間によりシート部材と内側断熱板との間に緩衝作用を発揮させることができる。また、ガラス基板が衝撃により振動しても、その振動をシート部材の許容された範囲内での変形により吸収することができる。したがって、通常の搬送時に、ガラス基板が不用意に振動しても割れや欠けの発生を防止することができる。また、内側断熱板およびシート部材がボックス状の一体品で形成されたものではなく、矩形の板状物であれば、形成が容易であるとともに、寸法精度を維持することが容易である。

また、本発明では、前記蓋体は、発砲合成樹脂製の蓋体本体と、この蓋体本体の内面を覆う蓋体用シート部材とから構成され、前記蓋体本体の天井部に、基板収容溝が所定のピッチで形成されているとともに、この蓋体の内面に着脱自在に装着された前記蓋体用シート部材に、前記蓋体本体の天井部に形成された基板収容溝に対応する基板収容溝が形成され、かつ前記蓋体本体の天井部に形成された基板収容溝と前記蓋体用シート部材に形成された基板収容溝との間にクッション用隙間が確保されていることが好ましい。

このような構成であれば、ガラス基板の上部が係止される蓋体側でもクッション用隙間が確保されているので、ガラス基板が特に、上下方向に振動した場合の衝撃を極力吸収するとともに割れ欠けを防止することができる。

本発明に係る基板搬送用容器の内壁構造では、シート部材と内側断熱板との間に構成されるクッション用隙間で緩衝作用が発揮されるので、搬送時の振動などにより基板が小刻みに上下しても、その力が基板に当接するシート部材に伝達されると、シート部材が凹んだり変形したりして、その力を吸収することができる。また、振動による力の伝達が解除されれば、変形したシート部材を元の状態に復帰させることができる。このようにして、
ガラス基板の割れ欠けなどを可及的に防止できる。

また、蓋体側にもクッション用隙間が確保されていれば、上下方向に振動した場合の衝撃力を極力吸収し割れ欠けを一層防止することが可能になる。

以下、図面を参照しながら本発明の一実施例について説明する。
図１は、本発明の一実施例による内壁構造を備えた基板搬送用容器の正面図、図２は図１に示した基板搬送用容器から蓋体を取り外したときの容器本体の平面図である。図３は図１に示した基板搬送用容器の分解組立断面図、図４は基板搬送用容器の短手方向の断面図、図５は基板搬送用容器の長手方向の断面図である。

本実施例の基板搬送用容器を概略的に説明すれば、発泡合成樹脂からなる箱型の外容器の内部に板状の断熱材を二層構造となるように配置し、さらにその内側の内面全体に樹脂製のシートを配置したものである。

すなわち、本実施例の内壁構造を備えた基板搬送用容器２は、図１および図２に示したように、一方面が開口して形成された発泡合成樹脂製の容器本体４と、この容器本体４の上部の開口４ｆを覆うように着脱自在に装着される発泡合成樹脂製の蓋体６とから構成されている。なお、以下の説明で、容器本体４の外容器５０とは、基板搬送用容器２から、蓋体６を取り外した容器本体４の中で、最も外方の最外殻を構成する上部が開口した角筒状の発泡合成樹脂の部分を示している。

すなわち、容器本体４の最外殻を構成する発泡合成樹脂製の外容器５０は、図１および図３に示したように、外表面に帯状の凹所２２，２２が形成されている。これら帯状の凹所２２は、蓋体６の外表面に形成された凹所６ａ、６ａに連続して形成されている。そして、凹所２２および凹所６ａには、容器本体４と蓋体６とが一体的に組み付けられた場合に、締付けバンドが通されて梱包される。

このような外容器５０は、底壁部４ａと、底壁部４ａから一体的に立ち上げられた一対の長側壁部４ｂ、４ｃと、同じく底壁部４ａから一体的に立ち上げられた一対の短側壁部４ｄ，４ｅとから構成されている。

このような外容器５０の口部４ｇには、図３〜図５に示したように、横方向に水平突起４ｈが形成されている。この水平突起４ｈに蓋体６の内周面に形成された図示しない凹溝が嵌合されることにより、蓋体６が容器本体４に密に嵌合され脱落が防止されている。

外容器５０の周囲４つの内壁面は、略平坦に形成されているが、外容器５０の底壁部４ａの上面には、図５に示したように、２つの突起４ｉ，４ｉが所定間隔離間して形成されている。

外容器５０には、底壁部４ａと、一対の長側壁部４ｂ、４ｃと、一対の短側壁部４ｄ，４ｅとの内面側に、板状の内側断熱板２０、１０，１０、１２，１２がそれぞれ配置されている。なお、底壁部４ａには、底上げ部材８が選択的に配置される。このように底上げ部材８が配置される場合、その上に内側断熱板２０が配置される。底上げ部材８は、図６に拡大して示したように、所定の板厚を備えた発泡合成樹脂からなるもので、このように、板状の底上げ部材８を用意すれば、底上げ部材８の有る場合と無い場合とで、容器内部の空間高さを２段階に調整することできる。したがって、大小異なる大きさの基板を収容することが可能になる。

なお、底上げ部材８の上面には、一対の突起８ａ，８ａが所定間隔離間して形成されている。この突起８ａ，８ａの離間距離は、外容器５０の突起４ｉ，４ｉの離間距離と等しく形成されている。また、底上げ部材８の裏面には、突起８ａの直下に位置して、凹部８ｂ、８ｂが形成されている。

したがって、このような底上げ部材８を外容器５０の内部に設置すれば、底上げ部材８の凹部８ｂが外容器５０の突起４ｉに位置決めされ、互いに嵌合される。これにより、底上げ部材８は、外容器５０に対し移動不能に設置される。

一方、外容器５０の内方に配置される底面用内側断熱板２０と、長側壁用内側断熱板１０、１０と、短側壁用内側断熱板１２、１２の各内側表面は、それぞれ樹脂製のシート部材１８、１４、１６により覆われている。なお、これら樹脂製のシート部材１８、１４、１６は、殆ど厚みがないため、図２、図４、図５などでは、内側断熱板２０、１０，１２と一体的に示されている。

図７は底壁部における内側断熱材２０とシート部材１８との関係を示し、図８は長側壁における内側断熱材１０とシート部材１４との関係を示し、図９は短側壁における内側断熱材１２とシート部材１６との関係をそれぞれ示したものである。

以下に、これらの各構成要素について具体的に説明する。
図７に示したように、底壁部では、樹脂製の薄いシート部材１８が底面用の内側断熱板２０の上面を覆うように着脱自在に設置される。樹脂製のシート部材１８は、裏面側から見れば内方が窪んだ凹所となっている。逆に、シート部材１８の表面形状は内側断熱材２０の外形状と略同様に形成されている。

底面用の内側断熱材２０には、複数本の突条２１が上面に形成されることにより、隣接する突条２１間に基板係止溝２０ａが所定のピッチで形成されている。
一方、内側断熱材２０の一対の短辺には、水平方向に延びる凸部２０ｂが中央部と両端部に形成されることにより、これら凸部２０ｂの中間部に凹部が形成されている。そして、この凹部に指などを入れ易くすることにより、取り入れ取り外しの作業性の便が図られている。一方、内側断熱材２０の長辺側には、中央部に凸部２０ｃが形成されることにより、凸部２０ｃの両側に凹所２０ｄ、２０ｄが形成されている。これらの凹所２０ｄは、後述するように、乾燥剤の収容空間として使用される。

一方、底面用の内側断熱材２０の上面に着脱自在に装着される薄い樹脂製のシート部材１８の外側面には、内側断熱材２０の突条２１に対応する凹所（図７の状態で見れば外側に突出した突条１９であり、この裏側が凹所となっている）が所定間隔置きに形成されている。さらに、シート部材１８の一方の長辺側には、スリット２３，２３が形成され、これらのスリット２３を介して内方に指などが入るように構成されている。そして、シート部材１８を内側断熱板２０に被せた場合に、スリット２３を介して内側断熱板２０の凹所２０ｄに乾燥剤を入れることが可能にされている。

次に、図８、図１０を参照して長側壁の構造について説明する。
長側壁では、シート部材１４の内側面が内側断熱板１０の外形状と略同様に形成されている。すなわち、内側断熱材１０の表面には、薄い丸形の突起体１０ａが複数個（実施例では３×５＝１５個）形成されている。また、この突起体１０ａを取り囲む形成領域Ｔ（Ａ×Ｂ）の範囲は、外周部Ｒの部分に比べて若干肉が厚く形成されている。

このように、内側断熱板１０の中央表面に突起体１０ａを散在して設け、かつその形成領域Ｔの厚さを周囲に比べて厚く設定することにより、内側断熱板１０に反りが形成され
るのが防止されている。一方、内側断熱板１０の外周部Ｒの板厚は、図１０に示したように、上方から下方に向かうにしたがって若干薄く形成されている（Ｄ＞ｄ）。このように内側断熱板１０の形状は、底壁部に近い先端部が若干楔状に尖って形成されている。

シート部材１４は、内側断熱板１０を被せることができるように、外径寸法が若干大きく形成されている。また、内側断熱板１０の突起１０ａに対応する部分は、丸型凹所ではなく、縦横の格子３２（縁取り線）から囲まれる凹所となっている。なお、この格子３２の線を、図８において内側断熱板１０側から見れば、内側断熱板１０側に突出して見えるものである。さらに、シート部材１４の上縁部に設けられた舌片１４ａが内側断熱板１０の背面部に折り曲げられることにより、内側断熱板１０に対して移動不能に位置決めされる。

次に、図９、図１１、図１２を参照しながら、短側壁の内側断熱板１２とシート部材１６との組付けについて説明する。
先ず、図９に示したように、短側壁用の内側断熱板１２には、多数の基板係止溝１２ａが長さ方向に連続して形成されている。この基板係止溝１２ａの幅ｆは、上側と下側で同一である。しかしながら、図１１に示したように、内側断熱板１２の厚さは、上部と下部で厚さが異なり、上方から下方に向かうにしたがって若干、薄く形成されている（Ｅ＞ｅ）。このように内側断熱板１２も内側断熱板１０の場合と同様に先端部が若干楔状に尖って形成されている。

薄い樹脂製のシート部材１６は、内側断熱材１２の表面を覆うことができるように、外径寸法が内側断熱板１２より若干大きく形成されている。また、溝１６ａの幅ｇは、上側と下側で同一に設定されている。

このようなシート部材１６は、図１２に示したように、内側断熱材１２の外表面に対して遊びの部分が確保されている。すなわち、内側断熱材１２とシート部材１６との凹凸面にクッション用隙間Ｈが確保されている。したがって、ｇの部分に基板が挟持された場合に、このクッション用隙間Ｈにより、図１２の状態で左右方向に基板が振動しても、その左右方向に基板の移動が可能にされている。さらに、図１２の状態で上下方向に基板が振動しても、その上下方向に基板の移動が可能にされている。よって、これらのクッション用隙間Ｈが内側断熱材１２とシート部材１６との間に確保されていることにより、基板搬送用容器に急に大きな力が作用した場合でも、基板の移動が可能になっている。また、その急な力が解除されると、シート部材１６の変形も元の状態に復帰する。

図９に示したように、シート部材１６が内側断熱材１２の外側に装着された場合に、上縁部の舌片１６ｂが、内側断熱板１２の背面部に折り曲げられることにより、内側断熱板１２に対して移動不能に位置決めされることは、上記シート部材１４と同様である。

本実施例による基板搬送用容器２の各構成要素は、上記のように構成されているが、以下に組付け順序について説明する。なお、組付けの順番はこれに限定されるものではない。また、以下の説明では、底上げ部材８を用いる場合について説明する。

先ず、一対の長側壁に配置される発泡合成樹脂製の内側断熱板１０、１０と薄いシート部材１４、１４と、一対の短側壁の内側断熱板１２、１２と薄いシート部材１６、１６とを予め組付けておく。同様に、底面用の内側断熱板２０と薄いシート部材１８とを予め組付けておく。こうして、外容器５０の内側に配置される各ユニットが形成されたら、先ず、底上げ部材８を外容器５０内に挿入する。このとき、底上げ部材８の突起８ａ，８ａを外容器５０の突起４ｉ，４ｉに合わせるように配置する。

次いで、底面用のユニットすなわち図７に示した内側断熱板２０とシート部材１８とのユニットが、底上げ部材８の上に配置される。これにより、底面が構成される。
次に、短側壁用のユニットすなわち図９に示した内側断熱板１２とシート部材１６とのユニットを短側壁に組付ける。

さらに、長側壁用のユニットすなわち図８に示した内側断熱板１０とシート部材１４とのユニットを長側壁に組付ける。
これにより、全ての構成要素が組み付けられ、容器本体４の組付けが完了する。なお、シリカゲルなどの乾燥剤を容器内に設置する場合には、底壁部に配置されたシート部材１８のスリット２３からシリカゲルなどの乾燥剤を内部に挿入すれば、凹所２０ｄ内に乾燥剤を収容することができる。しかも、入口がスリット２３であるため、その乾燥剤が不用意に外方に飛び出してしまうことが防止される。

こうして、基板搬送用容器２が構成される。
本実施例の内壁構造を備えた基板搬送用容器２は、上記のような構成を有しており、この容器内に基板を格納して安全に搬送することができる。すなわち、本実施例の内壁構造を備えた基板搬送用容器２は、耐衝撃性および耐熱性に優れた発泡合成樹脂で容器本体部および蓋体が形成されているので、外部からの衝撃および外部の温度変化などから基板を保護することができるのは勿論のこと、格納された基板によって生じる内部応力（主として基板の自重によって生じる応力）に対しても、容器内の該当壁面などに僅かな空隙を形成して配置されたシート部材の可撓性によって吸収することができ、格納基板をより安全に搬送あるいは保管することができる。

また、例えば、ガラス基板を容器本体４内に挿入するにあたり、基板の角部が当接するシート部材１６の容器外方に配置される内側断熱板１０、１２の板厚は、開口部の上部ほど厚く、下方に近づくほど薄く形成されていることから、ガラス基板を入口付近で位置決めしてからの挿入が容易である。また、基板の挿入が完了すれば、上部側（開口部側）の幅狭部で挟持されているので、この溝部からの基板の不用意な飛び出しが防止されている。また、基板の挿入に際し、基板が少し挿入されれば、内部の広さは入口より広くなっているので、若干基板が曲がって入っても、その曲がりを吸収することができる。逆に、運搬中に容器本体に振動が生じ、その振動で基板が容器本体から飛び出そうとしても、開口部は幅が狭くなっているので、基板の飛び出しを防止することができる。さらに、基板が若干曲がって挿入されるようなことがあるとしても樹脂製のシート部材と内部の内側断熱板との間に、図１２に示したように隙間Ｈが確保されているので、基板はシート部材１６を内側断熱板１２に押し付けるように変形するので、基板に反力が強く作用することがない。よって、基板の割れ欠けなどを可及的に防止することができる。

また、底上げ部材８を用いることにより、搬送しようとする基板に対応させて容器の深さを調整することができ、容器内に余分な空間が形成されないようにすることができるので、より安全に基板を搬送することができる。

なお、上記実施例による蓋体６の構成については、詳しく説明していないが、この蓋体６に関しても容器本体４側と略同様に形成されている。すなわち、蓋体６では、容器本体４と異なり、板状の内側断熱板が設けられていない。しかしながら、発泡合成樹脂製の蓋体本体（容器本体では、外容器に相当する発泡体）の内部に、一方面が開口した箱状の薄いシート部材が介在されている。これにより、蓋体６は、発泡体と樹脂製のシート部材との二重構造となっている。即ち、図１２の断面を蓋体の図として見れば、発泡合成樹脂からなる蓋体本体１２に、薄いシート部材１６が嵌合されている。このような場合には、蓋体本体１２とシート部材１６に、それぞれ基板装着溝を設けられ、ｇの幅にガラス基板の上端部が当接される。このような蓋体６を用意すれば、ガラス基板を装着する場合に、ガ
ラス基板の上端側を保持することができる。なお、その場合に、ガラス基板の上端が上下左右方向に移動可能であることは容器本体４の場合と同様である。

本発明の基板搬送用容器は、上記実施例に何ら限定されず、様々な改変を行なうことができる。
例えば、基板搬送用容器に気体交換口を設け、この基板搬送用容器内の空気を窒素ガス、アルゴンガスなどの不活性ガスで置換することもできる。

本発明の基板搬送用容器は、通常の場合、格納されているガラス基板が起立するように使用されるが、このような基板搬送用容器の積み込み方向を明確にするために、容器の外方に、積み込み方向を明示する印を付すこともできる。

本実施例の基板搬送用容器は、例えば、ガラス基板の移動の際に好適に使用されるが、移動時だけに限定されず、保管時などにも使用することができるのは、勿論である。
このような基板搬送用容器は、液晶基板、液晶用ガラス基板、配線基板、回路基板などの基板を安全に移送、保管することができる。

さらに、底上げ部材８を使用しない場合は、大きな基板を収容することができる。

図１は本発明の一実施例に係る内壁構造を備えた基板搬送用容器の正面図である。 図２は図１の基板搬送用容器から、上部の蓋体を取り外して、内部を見たときの容器本体の平面図である。 図３は図１に示した基板搬送用容器の分解斜視図である。 図４は図１を長手方向の線で切断したときの断面図である。 図５は図４のＢ−Ｂ線方向の断面図である。 図６は図３に示した底上げ部材の拡大斜視図である。 図７は図３において底壁部に配置される内側断熱板とシート部材との組付けを示した分解斜視図である。 図８は図３において長側壁部に配置される内側断熱板とシート部材との組付けを示した分解斜視図である。 図９は図３において短側壁部に配置される内側断熱板とシート部材との組付けを示した分解斜視図である。 図１０は長側壁用の内側断熱材の側面図である。 図１１は短側壁用の内側断熱材の側面図である。 図１２は図９に示した短側壁用の内側断熱材と樹脂シートとを組付けた状態での拡大断面図であり、ｇの部分にガラス基板が配置される説明図である。 図１３は従来の搬送容器の構造を示すもので、図１３（Ａ）は加熱される前のポリエチレンフィルムの断面図、図１３（Ｂ）は加熱された保護フィルムの断面図、図１３（Ｃ）は加熱された保護フィルムと発泡体の内壁との取付け構造を示す断面図である。

符号の説明

２ 基板搬送用容器
４ 容器本体
４ａ 底壁部
４ｂ、４ｃ 長側壁部
４ｄ、４ｅ 短側壁部
４ｆ 開口
４ｇ 口部
４ｈ 水平突起
４ｉ 突起
６ 蓋体
６ａ 凹所
８ 底上げ部材
８ａ 突起
８ｂ 凹部
１０ 長壁用の内側断熱板
１２ 短壁用の内側断熱板
１４ シート部材
１６ シート部材
１８ シート部材
２０ 底面用の内側断熱板
２０ａ 基板係止溝
２１ 突条
２２ 凹所
５０ 外容器
Ｈ 隙間

Claims (2)

1. 有底角筒状の一方面が開口して形成された合成樹脂製の容器本体と、
   前記容器本体の前記一方面の開口を覆うように着脱自在に装着される合成樹脂製の蓋体と、から構成され、
   略矩形平板状のガラス基板が、少なくとも前記容器本体内の底壁および一対の側壁からなる３辺に所定間隔離間して形成された基板係止溝に係止された状態で搬送される基板搬送用容器の内壁構造であって、
   前記容器本体内の基板収容部は、略矩形平板状の発泡合成樹脂製の内側断熱板とこの内側断熱板の平面を覆う薄いシート部材とから構成されるともに、前記内側断熱板は、上方から下方に向かって、その厚さが若干薄くなるように形成されており、かつ前記内側断熱板と前記シート部材とに形成された基板係止溝の凹凸面間にクッション用隙間が確保されていることを特徴とする基板搬送用容器の内壁構造。
2. 前記蓋体は、発砲合成樹脂製の蓋体本体と、この蓋体本体の内面を覆う蓋体用シート部材とから構成され、前記蓋体本体の天井部に、基板収容溝が所定のピッチで形成されているとともに、この蓋体の内面に着脱自在に装着された前記蓋体用シート部材に、前記蓋体本体の天井部に形成された基板収容溝に対応する基板収容溝が形成され、且つ前記蓋体本体の天井部に形成された基板収容溝と前記蓋体用シート部材に形成された基板収容溝との間にクッション用隙間が確保されていることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送用容器の内壁構造。
   

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