WO2005124789A1

WO2005124789A1 - Ｘｙガイドテーブル

Info

Publication number: WO2005124789A1
Application number: PCT/JP2005/010779
Authority: WO
Inventors: Katsuyoshi Muto
Original assignee: Thk Co., Ltd.
Priority date: 2004-06-15
Filing date: 2005-06-13
Publication date: 2005-12-29
Also published as: JPWO2005124789A1; CN100590746C; EP1768131B1; CN101002284A; US20080217828A1; DE602005016414D1; US7637487B2; EP1768131A1; EP1768131A4; JP4510007B2

Abstract

　ボール転走面が形成されている部位の剛性を高めることで、ボールとボール転走溝の隙間を排除し、上部プレートを下部プレートに対してガタつくことなくＸ方向及びＹ方向へ案内することが可能であり、しかも極めて薄型に形成することが可能なＸＹガイドテーブルを提供する。ボールを介して互いに組付けられた下部プレート、中間プレート及び上部プレートを有し、前記下部プレート及び上部プレートは、夫々、断面略矩形状の一対のレールボディ及びこれらレールボディに挟まれた収容溝を有して略チャネル状に形成され、収容溝に面する各レールボディの側面にはボールの転走溝が形成され、これらプレートは各々の収容溝を互いに対向させ且つ直交させるようにして積み重ねられ、前記中間プレートは略矩形状に形成され、下半体が下部プレートの収容溝内に遊嵌する一方、上半体が上部プレートの収容溝内に遊嵌している。

Description

明細書

XYガイドテーブル

技術分野

[0001] 本発明は、装置筐体などの固定部に対して取り付けられ、例えば製品の検査ステージゃ加工テーブル等の可動体を X方向及び Y方向へ自在に案内するための XY ガイドテーブルに係り、特に、軽荷重用途に適した小型で且つ高精度な XYガイドテ一ブルに関する。

背景技術

[0002] 従来より、工作機械のワークテーブルを互いに直交する X方向及び Y方向へ自在に移動させる装置として、直線案内装置を利用した所謂ビルトアップ型の XYガイドテ一ブルが知られている。具体的には、ベッドやコラムなどの固定部上に X方向に沿つて軌道レールを配設すると共に、この軌道レールに沿って移動する下部テーブルを設け、更に、この下部テーブル上に Y方向に沿って軌道レールを配設すると共に、この軌道レールに沿って移動する上部テーブルを設けて構成されており、力かる上部テーブルを固定部に対して X方向及び Y方向へ自在に移動させることが可能となつている。

[0003] このような構造の XYガイドテーブルは、前記下部テーブル及び上部テーブルの移動を支承している直線案内装置の負荷荷重を任意に選定することにより、軽荷重用途カも重荷重用途にまで柔軟に対応することが可能であると共に、軌道レールの長さを選定することにより、上部テーブルのストローク量を長尺化することも可能である。しかし、 X方向へ移動する下部テーブルの上に Y方向の軌道レールを配設して、ること力、下部テーブルそれ自体に高い剛性が必要とされ、更に、固定部から上部テ一ブルまでの高さも高くならざるを得ないことから、 XYガイドテーブルが大型化、重量ィ匕してしまうといった問題点があった。

[0004] 一方、特開平 5— 18415号公報には、薄肉鋼板をプレスカ卩ェすることによって小型ィ匕、軽量ィ匕を図った XYガイドテーブルが開示されている。具体的には、鋼板の両端部をプレスカ卩ェによって曲げ起こすことによりチャネル状の下部プレート及び上部プレートを形成する一方、周囲四辺のうちの対向する二辺を下側に、残る二辺を上側に向けて曲げ起こした中間プレートを形成し、曲げ起こした側壁部が互ヽに対向するように前記上部プレート、中間プレート及び下部プレートを組み合わせたものが知られている。互いに対向する側壁部の間にはボールが配置され、力かるボールが側壁部を転走することにより、中間プレートが下部プレートに対して X方向へ移動し、上部プレートが中間プレートに対して Y方向へ自在に移動することが可能となっている。特許文献 1：特開平 5— 18415号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0005] しかし、この従来の小型 XYガイドテーブルでは、下部ブレート、中間プレート及び上部プレートを薄肉鋼板のプレスカ卩ェによって製作しており、ボール転走溝は鋼板を曲げ起こした側壁部に形成されている。このため、プレス力卩ェの精度が悪いと、ボールとボール転走溝との間に隙間が生じてしまい、下部プレートに対して中間プレートが、中間プレートに対して上部プレートがガタついてしまい、下部プレートに対して上部プレートを高精度に運動させることができないといった不具合があった。

[0006] 少し大きめの直径のボールを選択し、ボール転走溝を転走するボールに対して予圧を与えてやれば、ボールとボール転走溝との間の隙間は排除され、前述のような下部プレートに対する上部プレートのガタつきは防止することが可能である力ボール転走溝がプレスカ卩ェによって曲げ起こされた側壁部に形成されていることから、大きな直径のボールを選択すると、ボールがボール転走溝に接触して圧縮される以前に各プレートの側壁部が変形してしま、、ボールに十分な予圧を与えることができな V、と、つた不具合もあった。

[0007] このため、プレス加工の加工精度を向上させると共に、各プレートに成形される鋼板の剛性を高めることが必要であった。もっとも、これらの点はプレス力卩ェの利点、すなわち良好な生産性、低コストというメリットを減殺するものであり、 XYガイドテーブルの製作コストの上昇につながるものであった。課題を解決するための手段

[0008] 本発明はこのような問題点に鑑みなされたものであり、その目的とするところは、ボ一ル転走面が形成されてヽる部位の剛性を高めることで、ボールとボール転走溝の隙間を排除し、上部プレートを下部プレートに対してガタつくことなく X方向及び Y方向へ案内することが可能であり、し力も極めて薄型に形成することが可能な χγガイドテーブルを提供することにある。

[0009] すなわち、本発明 XYガイドテーブルは、下部プレートと、この下部プレートに多数の転動体を介して組付けられて X方向へ移動自在な中間プレートと、この中間プレートに対して多数の転動体を介して組付けられて前記 X方向と直交する Y方向へ移動自在な上部プレートとから構成された XYガイドテーブルにお、て、前記下部プレート及び上部プレートは、夫々、締結部材の取付孔が形成された断面略矩形状の一対のレールボディ及びこれらレールボディを結合する連結板部を有し、一対のレールボディの間に前記連結板部の幅に対応した収容溝を有する略チャネル状に形成され、収容溝に面する各レールボディの側面には転動体の転走溝が形成され、これら上部プレート及び下部プレートは各々の収容溝を互いに対向させ且つ直交させるようにして積み重ねられ、前記中間プレートは略矩形状に形成され、下半体が下部プレートの収容溝内に遊嵌する一方、上半体が上部プレートの収容溝内に遊嵌し、下部プレート及び上部プレートのレールボディに形成された転動体転走溝と対向する位置に転動体転走溝が形成されてヽるものである。

[0010] このような技術的手段によれば、固定部に対して固定される下部プレート、可動体に対して固定される上部プレートはいずれも収容溝を有して略チャネル状に形成され、各々の収容溝を互いに対向させ、且つ、これら収容溝を多直交させるようにして積み重ねられていることから、これら収容溝によって形成された空間に中間プレートを配置することができ、下部プレートと上部プレートとを僅かな隙間で対向させて積み重ねることが可能となり、極めて薄、XYガイドテーブルを提供することが可能となる。

[0011] また、下部プレート及び上部プレートは、夫々、連結板部の両側に断面略矩形状の一対のレールボディを配置することによって略チャネル状に形成されており、各レールボディの側面にボール転走溝が形成されて、るが、力かるレールボディに締結部材の取付孔を形成することにより、下部プレートはレールボディを介して固定部に、上部プレートはレールボディを介して可動体に固定される。このため、下部プレート及び上部プレートのボール転走溝の形成部位に対しては十分な剛性を与えることができ、ボールとボール転走溝との隙間を排除し、下部プレートに対する上部プレートのガタつきを防止することが可能となる。カロえて、ボールに予圧を与えることも可能となり、上部プレートを下部プレートに対して高い剛性で精度よく案内することが可能となる。

図面の簡単な説明

[0012] [図 1]本発明の XYガイドテーブルの実施例を示す斜視図である。

[図 2]図 1に示した XYガイドテーブルの平面図である。

[図 3]図 2の ΠΙ矢視図である。

[図 4]図 2の IV矢視図である。

[図 5]図 1に示した XYガイドテーブルに駆動手段として超音波モータを組み込んだ様子を示す斜視図である。

[図 6]図 5に示した XYガイドテーブルの平面図である。

[図 7]図 6の VII矢視図である。

[図 8]図 6の VIII矢視図である。

[図 9]超音波モータの構造を示す分解斜視図である。

[図 10]超音波モータの動作原理を説明する図である。

[図 11]図 1に示した XYガイドテーブルに駆動手段としてボールねじを組み込んだ様子を示す斜視図である。

符号の説明

[0013] 1—XYガイドテープノレ、 2…下部プレート、 3…中間プレート、 4…上部プレート、 5 …ボール、 20, 40· ··収容溝、 21, 41· ··レールボディ、 22· ··連結底板、 42· ··連結天板

発明を実施するための最良の形態

[0014] 以下、添付図面に基づいて本発明の XYガイドテーブルを詳細に説明する。

図 1は本発明を適用した XYガイドテーブルの第一実施例を示す斜視図であり、図

2はこのテーブルの平面図、図 3は図 2の ΠΙ矢視図、図 4は図 2の IV矢視図である。

[0015] この XYガイドテーブル 1は、機械装置の筐体やベッド等の固定部に固定される下部プレート 2と、多数のボール 5を介してこの下部プレート 2に組付けられた中間プレート 3と、多数のボール 5を介してこの中間プレート 3に組付けられた上部プレート 4とから構成されており、前記中間プレート 3は下部プレート 2に対して X方向へ、前記上部プレート 4は中間プレート 3に対して Y方向へ移動自在に設けられている。従って、力かる上部プレート 4に対して検査ステージや搬送テーブル等の可動体を固定することで、この可動体を前記固定部に対して X方向及び Y方向へ自在に移動させることが可能となっている。

[0016] 前記下部プレート 2は厚さ 5mm程度の矩形状の金属板を加工して形成されており、その上面の中央には前記中間プレート 3の幅よりも僅かに大きな幅の収容溝 20が X方向に沿って形成されて、る。 X方向における収容溝 20の両端は開放されており、これにより下部プレート 2の Y方向に沿った断面は略チャネル状をなしている。また、前記下部プレート 2は収容溝 20の両側に断面略矩形状に形成された一対のレールボディ 21, 21を具備しており、これら一対のレールボディ 21, 21が収容溝 20の幅に対応した連結底板 22によって結合されて、る。

[0017] 一方、前記上部プレート 4は下部プレート 2と全く同じ形状に形成されている力その表裏が反転して下面側に収容溝 40が形成されており、し力も該収容溝 40は X方向と直交する Y方向に沿って形成されている。すなわち、前記下部プレート 4は厚さ 5 mm程度の矩形状の金属板を加工して形成されており、その下面の中央には前記中間プレート 3の幅よりも僅かに大きな幅の収容溝 40が Y方向に沿って形成されている。 Y方向における収容溝 40の両端は開放されており、これにより上部プレート 4の X 方向に沿った断面は略チャネル状をなしている。また、前記上部プレート 4は収容溝 40の両側に断面略矩形状に形成された一対のレールボディ 41, 41を具備しており、これら一対のレールボディ 41, 41が収容溝 40の幅に対応した連結天板 42によつて結合されている。

[0018] 前記下部プレート 2及び上部プレート 4の各レールボディ 21, 41には、前記収容溝 20, 40に面した側面に前記ボール 5の転走溝 50が形成されている。下部プレート 2 のボール転走溝 50は X方向に沿って、上部プレート 4のボール転走溝 50は Y方向に沿って形成されて、る。これらのボール転走溝 50は 2つのボール転走面が略 90° で交わった所謂ゴシックアーチ状の断面をなしている。また、各レールボディ 21, 41 には固定ねじが螺合するタップ孔 23, 43が設けられている。下部プレート 2のレールボディ 21に形成されたタップ孔 23は、力かる下部プレート 2を固定部にねじ止めする際に利用され、上部プレート 4のタップ孔 43は可動体を上部プレート 4にねじ止めする際に利用される。

[0019] 一方、前記中間プレート 3はその厚さが下部プレート 2及び上部プレート 4の収容溝 20, 40の深さの 2倍程度の矩形状に形成されており、下半体は下部プレート 2の収容溝 20に遊嵌し、上半体は上部プレート 4の収容溝 40に遊嵌している。この中間プレート 3の下半体の側面には下部プレート 2のボール転走溝 50と対向する位置に、 X 方向に沿ってボール転走溝 51が形成されており、これら下部プレート 2のボール転走溝 50と中間プレート 3のボール転走溝 51との間には多数のボール 5が配置されている。また、同様にして、中間プレート 3の上半体の側面には上部プレート 4のボール転走溝 50と対向する位置に、 Y方向に沿ってボール転走溝 52が形成されており、これら上部プレート 4のボール転走溝 50と中間プレート 3のボール転走溝 52との間には多数のボール 5が配置されて!、る。

[0020] 中間プレート 3に形成されたこれら 4条のボール転走溝 51, 52は、夫々、 2つのボ一ル転走面が略 90° で交わった所謂ゴシックアーチ状の断面をなしている。各ボール 5は下部プレート 2又は上部プレート 4のボール転走溝 50と中間プレート 3のボール転走溝 51, 52との間で荷重を負荷しながら転走する。また、同一のボール転走溝を転走する一群のボール 5は薄板状のボールケージ 53に所定の間隔をおいて配列されており、中間プレート 3に形成された 4条のボール転走溝 51, 52の長手方向の両端には、前記ボールケージ 53を係止するストッパーピン 54が立設されている。このボールケージ 53は金属薄板を打ち抜ヽて形成したものであっても良!ヽし、合成樹脂の射出成形等によって形成したものであっても良い。これにより、下部プレート 2に対して上部プレート 4を X方向及び Y方向へ移動させた際に、ボール 5が上部プレート 4 と中間プレート 3との間、下部プレート 2と中間プレート 3との間から転がり落ちるのを防止している。

[0021] 前記下部プレート 2及び上部プレート 4は、厚さ 5mm程度の矩形状の金属板材に対し、フライス盤等を用いた切削加工で前記収容溝 20, 40を形成し、次いでレールボディ 21, 41にタップ孔 23, 43をカ卩ェし、最後にボール転走溝 50を研削加工して形成されている。もっとも、金属板材に切削加工を用いて収容溝 20, 40を形成するのではなぐ金属射出成形 (MIM成形)を用いてチャネル状の下部プレート 2及び上部プレート 4を制作するようにしても良い。

[0022] 以上の構成によれば、下部プレート 2と中間プレート 3の間に配置されたボール 5、中間プレート 3と上部プレート 4との間に配置されたボール 5が荷重を負荷しながら転走することにより、中間プレート 3は下部プレート 2の収容溝 20内を X方向へ自在に移動することができ、また、上部プレート 4は中間プレート 3に対して Y方向へ自在に移動することができ、結果として上部プレート 4にねじ止めした可動体を固定部に対して X方向及び Y方向へ自在に移動させることが可能となる。

[0023] そして、この実施例の XYガイドテーブル 1では、中間プレート 3の上半体が上部プレート 4の収容溝 40に遊嵌し、下半体が下部プレート 2の収容溝 20に遊嵌しており、また、上部プレート 4及び下部プレート 2は収容溝 20, 40に面したレールボディ 21, 41の側面にボール転走溝 50を有しており、各プレート 2, 4の移動を支承する軸受部が収容溝 20, 40内に位置しているので、これら上部プレート 4と下部プレート 2とが極僅かな隙間で積み重ねられている。これにより、極めて薄型の XYガイドテーブルを構成することが可能となって、る。

[0024] また、図 4に示すように、下部プレート 2に具備された一対のレールボディ 21は矩形状に形成されると共に固定部に対して固定ねじ 6を用いてねじ止めされており、ボール転走溝 50はこのレールボディ 21の側面に対して形成されている。しかもこれら一対のレールボディ 21の間隔は連結底板 22によって一定に保たれている。従って、下部プレート 2のボール転走溝 50に対して荷重が作用したとしても、かかるボール転走溝 50が形成されているレールボディ 21が変位することはない。一方、中間プレート 3 は矩形状の金属板部材の側面に対してボール転走溝 51, 52を形成して、るのみなので、その剛性は高ぐかかるボール転走溝 51, 52に荷重が作用したとしても、何ら変形を生じることがない。

[0025] このため、ボール 5を介して下部プレート 2と中間プレート 3とを組み合わせた際に、ボール 5とボール転走溝との間に隙間が生じることがなぐまた、ボールに対して予圧を付与することも可能となるので、下部プレートに対して中間プレートを高精度に移動させることができるちのである。

[0026] また、上部プレート 4に関しても、かかる上部プレート 4に具備された一対のレールボディ 41は矩形状に形成されると共に図示外の可動体に対してねじ止めされて使用され、ボール転走溝 50はこのレールボディ 41の側面に対して形成されている。し力もこれら一対のレールボディ 41の間隔は連結天板 42によって一定に保たれている。従つて、上部プレート 4のボール転走溝 50に対して荷重が作用したとしても、かかるボ一ル転走溝 50が形成されているレールボディ 41が変位することはない。すなわち、下部プレート 2と同様、ボール 5を介して上部プレート 4と中間プレート 3とを組み合わせた際に、ボール 5とボール転走溝 50との間に隙間が生じることがなぐまた、ボール 5に対して予圧を付与することも可能となるので、中間プレート 3に対して上部プレート 4を高精度に移動させることができるものである。

[0027] このように本発明の XYガイドテーブル 1によれば、ボール転走面 50, 51, 52力形成されている部位の剛性を高めることで、ボール 5とボール転走溝 50, 51, 52の隙間を排除し、上部プレート 4を下部プレート 2に対してガタつくことなく X方向及び Y方向へ案内することが可能であり、し力も該テーブル 1を極めて薄型に形成することが可能となる。

[0028] 尚、前記実施例では各ボールがケージに配列された状態でボール転走溝を転走しており、ボール転走溝の長さによって下部プレートに対する中間プレートのストローク量、中間プレートに対する上部プレートのストローク量が制限されてしまう。しかし、本発明の XTガイドテーブルでは、例えば、中間プレートにボールの無限循環路を形成することにより、中間プレートが下部プレートに対してストロークに制限なく移動できるように構成することもできる。また、同様にして上部プレートが中間プレートに対してストロークに制限なく移動できるように構成することもできる。

[0029] また、前記実施例では下部プレートと中間プレート、中間プレートと上部プレートの間に介装される転動体としてボールを使用した力ローラであっても差し支えない。口ーラを使用する場合は、回転軸方向が 90° ずつ異なるローラを交互に配置した所言胃クロスローラタイプとすることができる。

[0030] 図 5乃至図 8は、図 1に示した本発明の XYガイドテーブルに対し、中間プレート 3及び上部プレート 4を駆動する手段を設けたものを示している。下部プレート 2、中間プレート 3及び上部プレート 4の構造は図 1に示した例と全く同じなので、その説明は省略する。

[0031] 中間プレート 3を下部プレート 2に対して X方向へ、上部プレート 4を中間プレート 3 に対して Y方向へ駆動するものとして、図 5に示す例では超音波リニアモータ 7を用いている。超音波リニアモータ 7は、図 9に示すように、圧電素子を具備した固定子 7 0と、この固定子 70に対して圧接する金属板金製の可動子 71とから構成されている。前記固定子 70は圧電素子 72上に弾性体力もなる振動体 73を積層したものであり、力かる振動体 73には複数の櫛歯 74が可動子 71の搬送方向に沿って配列されている。前記圧電素子 72に対して特定周波数の交流電圧を印加すると、かかる圧電素子 72が歪むことによって、前記振動体 73を構成する個々の櫛歯 74の先端には図 1 0に示すような楕円運動が生じ、それによつて矢線 P方向あるいは矢線 Q方向の進行波が前記振動体 73に形成される。これにより、固定子 70の振動体 73に圧接する可動子 71が矢線 P方向又は矢線 Q方向へ搬送されることになる。

[0032] このように構成される超音波リニアモータ 7の可動子 71は下部プレート 2の収容溝 2 0の中央に、固定子 70は可動子 71と対向する位置で中間プレート 3の下半体に取り付けられる。下部プレート 2の収容溝 20の中央、すなわち連結底板 22の中央には X 方向に沿って可動子 71を固定するための溝が形成されており、可動子 71はこの溝に嵌合している。可動子 71それ自体は単なる金属薄板なので、連結底板 22の厚みよりも薄ぐ連結底板 22に埋めて固定することが可能である。また、超音波モータ 7の固定子 70は圧電素子 72に印加する周波数を選定することにより、十分に薄く形成することができるので、中間プレート 3の下半体に埋め込むことが可能である。また、同様にして、超音波リニアモータ 7の可動子 71は上部プレート 4の収容溝 40の中央に、固定子 70は可動子 71と対向する位置で中間プレート 3の上半体に取り付けられる。

[0033] これにより、下部プレート 2、中間プレート 3及び上部プレート 4の厚さや大きさを変更することなぐ図 1に示した XYガイドテーブル 1に対して超音波モータ 7を組み込むことができ、力かる超音波モータ 7を駆動することにより、中間プレート 3を下部プレート 2に対して X方向へ、上部プレート 4を中間プレート 3に対して Y方向へ自在に送ることが可能となる。すなわち、二次元平面内で自在に位置決めすることが可能な極めてコンパクトな構造の XYガイドテーブルを得ることができるものである。

[0034] 更に、本発明の XYガイドテーブルを二次元平面内で位置決めするに当たっては、超音波モータ 7を使用せず、図 11に示すようにボールねじを使用することも可能である。この図 11に示す例では、下部プレート 2の側方にモータ取り付け部となるベースプレート 25を突設し、このベースプレート 25上にはサポート軸受 26を介してボールねじのねじ軸 27を回転自在に取り付け、ベースプレート 25上に固定された第 1モータ 28の出力軸と前記ねじ軸 27を結合している。一方、前記ねじ軸 27にはボールねじを構成するナット部材 29が螺合されており、このナット部材 29は第 1駆動アーム 24を介して中間プレート 3と連結されている。前記第 1駆動アーム 24は中間プレート 3の上半体に結合されており、前記第 1モータ 28を回転駆動すると、その回転がボールねじ 27によって第 1駆動アーム 24の直線運動に変換され、中間プレート 3が X方向へ駆動される。

[0035] また、前記上部プレート 4の側方にはサイドフランジ部 45が突設されており、このサイドフランジ部 45の下面側にはサポート軸受 46を介してボールねじのねじ軸 47が回転自在に取り付けされ、サイドフランジ部 45に垂下された第 2モータ 48の出力軸と前記ねじ軸 47が結合されている。一方、このねじ軸 47にはボールねじを構成するナット部材 49が螺合されており、このナット部材 49は第 2駆動アーム 44を介して中間プレート 3と連結されている。前記第 2駆動アーム 44は中間プレート 3の下半体に結合されており、前記第 2モータ 48を回転駆動すると、その回転がボールねじによって第 2 駆動アーム 44の直線運動に変換され、中間プレート 3が Y方向へ駆動される。

[0036] このような構成によれば、第 1モータ 28及び第 2モータ 48に対して任意の回転量、回転方向を与えることにより、上部プレート 4を下部プレート 2に対して自在に X方向及び Y方向へ移動させ、任意の位置に位置決めすることが可能となる。

Claims

請求の範囲

[1] 下部プレートと、この下部プレートに多数の転動体を介して組付けられて X方向へ移動自在な中間プレートと、この中間プレートに対して多数の転動体を介して組付けられて前記 X方向と直交する Y方向へ移動自在な上部プレートとから構成された XYガイドテープノレにおいて、

前記下部プレート及び上部プレートは、夫々、締結部材の取付孔が形成された断面略矩形状の一対のレールボディ及びこれらレールボディを結合する連結板部を有し、一対のレールボディの間に前記連結板部の幅に対応した収容溝を有する略チヤネル状に形成され、収容溝に面する各レールボディの側面には転動体の転走溝が形成され、

これら上部プレート及び下部プレートは各々の収容溝を互いに対向させ且つ直交させるようにして積み重ねられ、

前記中間プレートは略矩形状に形成され、下半体が下部プレートの収容溝内に遊嵌する一方、上半体が上部プレートの収容溝内に遊嵌し、下部プレート及び上部プレートのレールボディに形成された転動体転走溝と対向する位置に転動体転走溝が形成されていることを特徴とする XYガイドテーブル。

[2] 前記下部プレート及び上部プレートは同一形状且つ同一の大きさに形成され、前記上部プレートの X方向及び Y方向への移動可能範囲の中央においてはみ出すことなく互いに重なり合うことをて、ることを特徴とする請求項 1記載の XYガイドテーブル。

[3] 前記下部プレートのレールボディと中間プレートの下半体との間、前記上部プレートのレールボディと中間プレートの上半体との間には、夫々、前記転動体転走溝を転走する多数の転動体を整列させる転動体ケージが配設されていることを特徴とする請求項 1記載の XYガイドテーブル。

[4] 前記中間プレートの下半体には前記下部テーブルを X方向へ駆動する超音波モータが、前記中間プレートの下半体には前記上部テーブルを Y方向へ駆動する超音波モータが夫々組み込まれて、ることを特徴とする請求項 1記載の XYガイドテーブル。

[5] 前記下部プレートには第 1モータ及びこの第 1モータの回転運動を前記中間プレートの X方向の直線運動に変換するボールねじが設けられる一方、前記上部プレートには第 2モータ及びこの第 2モータの回転運動を前記中間プレートの Y方向の直線運動に変換するボールねじが設けられることを特徴とする請求項 1記載の ΧΥガイドテ一ブル。