JPS61249241A - 送りメネジの支持機構 - Google Patents
送りメネジの支持機構Info
- Publication number
- JPS61249241A JPS61249241A JP60089841A JP8984185A JPS61249241A JP S61249241 A JPS61249241 A JP S61249241A JP 60089841 A JP60089841 A JP 60089841A JP 8984185 A JP8984185 A JP 8984185A JP S61249241 A JPS61249241 A JP S61249241A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- screw
- thin plates
- stage
- secured
- plates
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/34—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
- B23Q5/38—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously
- B23Q5/40—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously by feed shaft, e.g. lead screw
- B23Q5/408—Nut bearings therefor
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16H—GEARING
- F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
- F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
- F16H25/20—Screw mechanisms
- F16H25/24—Elements essential to such mechanisms, e.g. screws, nuts
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16H—GEARING
- F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
- F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
- F16H25/20—Screw mechanisms
- F16H25/24—Elements essential to such mechanisms, e.g. screws, nuts
- F16H2025/2445—Supports or other means for compensating misalignment or offset between screw and nut
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は、工作機械や電子ビーム描画装置等のステージ
を移動させる送り機構に係！Ｄ、＠にこのステージを正
確に移動させるためのメネジの支持機構に関する。
を移動させる送り機構に係！Ｄ、＠にこのステージを正
確に移動させるためのメネジの支持機構に関する。
ステージ移動用としてネジは広く使用されているが、従
来は通常、ネジ軸の一端或いは両端を台へ回転可能に支
持すると共に１ネジ軸に噛み合うメネジをステージに固
着しネジ軸を回転させることによシステージを台との間
に設けたガイドで案内して移動させる。この際ネジ軸或
いはネジ軸を支持する軸受の偏心によシ、メネジを介し
てその偏心変位に相当する力で移動側のステージを変位
させ、これがステージの移動精度を劣化させていた。
来は通常、ネジ軸の一端或いは両端を台へ回転可能に支
持すると共に１ネジ軸に噛み合うメネジをステージに固
着しネジ軸を回転させることによシステージを台との間
に設けたガイドで案内して移動させる。この際ネジ軸或
いはネジ軸を支持する軸受の偏心によシ、メネジを介し
てその偏心変位に相当する力で移動側のステージを変位
させ、これがステージの移動精度を劣化させていた。
本考案の目的は、ネジ軸等の偏心回転に影響されること
なく推力のみをステージに伝達させることによシ、高精
度かつ真直度の高い送りを与えることのできる送りメネ
ジの支持機構を提供することにある。
なく推力のみをステージに伝達させることによシ、高精
度かつ真直度の高い送りを与えることのできる送りメネ
ジの支持機構を提供することにある。
本発明の他の目的は、ネジ軸を介して入ってくる振動を
吸収するようＫした送りメネジの支持機構を提供するこ
とＫある。
吸収するようＫした送りメネジの支持機構を提供するこ
とＫある。
本発明における送りメネジの支持機構は、移動体に取付
けたメネジをネジ軸に噛み合せることくよシ移動体を移
動させる装置に：おいて、ネジ軸の軸方向に対しては大
きい剛性を有するがネジ軸に対し垂直な面内ではバネ作
用によシ、それぞれ直交する方向へ容易に変形する２組
のバネ部材を介して移動体にメネジを取付けるようにし
九ことを特徴にしている。
けたメネジをネジ軸に噛み合せることくよシ移動体を移
動させる装置に：おいて、ネジ軸の軸方向に対しては大
きい剛性を有するがネジ軸に対し垂直な面内ではバネ作
用によシ、それぞれ直交する方向へ容易に変形する２組
のバネ部材を介して移動体にメネジを取付けるようにし
九ことを特徴にしている。
以下本発明の一実施例を示した第１図ないし第３図につ
いて説明する。不図示の台へ回転可能に支持されたネジ
軸１１にはメネジ１２が噛み合りておル、メネジ１２は
第１図において上下面の中央部ＫＲけ九凸部１３および
１４がバネ部材である薄板１５および１６の中央に接し
ネジ１７１１によシ固着されている。メネジ１２の左右
に置かれかつ薄板１５等よ〕厚くて強固な中間プレート
１８および１９に薄板１５および１６の両端がネジ１７
ｂＫよシ固着されておシ、中間プレート１８および１９
はその中央部に設けた凸部２０および２１が薄板１５等
と同じ厚さのバネ部材である薄板２２および２３に接し
かつネジ１７Ｃによシ固着されている。薄板２２および
２３は移動体であるステージ２４の凸部２５ないし２８
に接しネジ１７ｄＫよシ固着されている。
いて説明する。不図示の台へ回転可能に支持されたネジ
軸１１にはメネジ１２が噛み合りておル、メネジ１２は
第１図において上下面の中央部ＫＲけ九凸部１３および
１４がバネ部材である薄板１５および１６の中央に接し
ネジ１７１１によシ固着されている。メネジ１２の左右
に置かれかつ薄板１５等よ〕厚くて強固な中間プレート
１８および１９に薄板１５および１６の両端がネジ１７
ｂＫよシ固着されておシ、中間プレート１８および１９
はその中央部に設けた凸部２０および２１が薄板１５等
と同じ厚さのバネ部材である薄板２２および２３に接し
かつネジ１７Ｃによシ固着されている。薄板２２および
２３は移動体であるステージ２４の凸部２５ないし２８
に接しネジ１７ｄＫよシ固着されている。
次に前述した実施例の動作を説明する。ネジ軸１１を回
転させるとメネジ１２に従ってステージ２４は第２図に
おいて左右動する。この際、メネジ１２はネジ軸１１や
同ネジ軸１１を支持する軸受の偏心による荷重を受け、
偏心荷重が第１図において上下方向のとき薄板１５およ
び１６は薄いため、これを受はバネ部材として中央と両
端の固定部との間でたわみステージ２４に対してはバネ
定数分の僅かな力が作用するだけである。偏心荷重が左
右方向のときは同様に薄板２２および２３がたわみかつ
ステージ２４に対してバネ定数分の僅かな力が作用する
だけである。偏心荷重が斜方向のときは全ての薄板１５
・１６−２２・２３がたわむ、ｔた薄板１５・１６＠２
２・２３は第２図に示すようにネジ軸１１の軸方向く置
かれ、該方向には比較的長くなっておシ、この方向く対
する剛性は強いためネジ軸方向の力はネジ軸１１からメ
、ネジ１２へ支障なく伝達される。
転させるとメネジ１２に従ってステージ２４は第２図に
おいて左右動する。この際、メネジ１２はネジ軸１１や
同ネジ軸１１を支持する軸受の偏心による荷重を受け、
偏心荷重が第１図において上下方向のとき薄板１５およ
び１６は薄いため、これを受はバネ部材として中央と両
端の固定部との間でたわみステージ２４に対してはバネ
定数分の僅かな力が作用するだけである。偏心荷重が左
右方向のときは同様に薄板２２および２３がたわみかつ
ステージ２４に対してバネ定数分の僅かな力が作用する
だけである。偏心荷重が斜方向のときは全ての薄板１５
・１６−２２・２３がたわむ、ｔた薄板１５・１６＠２
２・２３は第２図に示すようにネジ軸１１の軸方向く置
かれ、該方向には比較的長くなっておシ、この方向く対
する剛性は強いためネジ軸方向の力はネジ軸１１からメ
、ネジ１２へ支障なく伝達される。
なお薄板１５・１６・２２・２３にサイレンタロイ等の
吸振材を使用することによシ効率良く振−動を吸収する
ことが可能である。
吸振材を使用することによシ効率良く振−動を吸収する
ことが可能である。
Ｉ 第４図は本発明の他の実施例を示しこの例では、上
下方向の薄板３１および３２は片持状をなし、その下端
は中間プレー）１Ｂお上び１９の中央の凸部２０および
２１にネジ１７Ｃによシ固着され、その上端はステージ
２４Ａの凸部３３および３４にネジ１７ｄＫよ〕固着さ
れておシ、動作は前述した第１実施例と同じくネジ軸１
１等の偏心荷重は薄板１５・１６・３１・３２によシ吸
収される。
下方向の薄板３１および３２は片持状をなし、その下端
は中間プレー）１Ｂお上び１９の中央の凸部２０および
２１にネジ１７Ｃによシ固着され、その上端はステージ
２４Ａの凸部３３および３４にネジ１７ｄＫよ〕固着さ
れておシ、動作は前述した第１実施例と同じくネジ軸１
１等の偏心荷重は薄板１５・１６・３１・３２によシ吸
収される。
第５図も本発明の他の実施例を示しこの例では、バネ部
材゛として薄板の代シに非変形部３６ａおよび３６ｂ等
を挾んだ変形部３７ａおよび３７ｂ等からなるバネ部材
３８にしたものであシ、バネ部材３８はステージ２４Ｂ
にネジ３９によシ取付けられている。動作は第１実施例
と同じである。
材゛として薄板の代シに非変形部３６ａおよび３６ｂ等
を挾んだ変形部３７ａおよび３７ｂ等からなるバネ部材
３８にしたものであシ、バネ部材３８はステージ２４Ｂ
にネジ３９によシ取付けられている。動作は第１実施例
と同じである。
第６図はさらに本発明の他の実施例を示しこの例では、
上下方向の薄板は２枚の片持状にし左右方向は１枚の両
持状にした例で、上下方向の薄板４１および４２の下側
はメネジ１２Ａの左右に設けた凸部４３および４４にネ
ジ１７ａによシ固着され、薄板４１および４２の上側は
薄板４１等よりは厚い中間プレート４５ヘネジ１７ｂに
よシ固着され、中間プレート４５の中央の凸部４６は左
右方向の薄板４７の中央にネジ１７Ｃによル固着され、
薄板４７はステージ２４Ｃの２個の凸部４８および４９
ヘネジ１７ｄによシ固着されている。−動作は第１実施
例と同じである。
上下方向の薄板は２枚の片持状にし左右方向は１枚の両
持状にした例で、上下方向の薄板４１および４２の下側
はメネジ１２Ａの左右に設けた凸部４３および４４にネ
ジ１７ａによシ固着され、薄板４１および４２の上側は
薄板４１等よりは厚い中間プレート４５ヘネジ１７ｂに
よシ固着され、中間プレート４５の中央の凸部４６は左
右方向の薄板４７の中央にネジ１７Ｃによル固着され、
薄板４７はステージ２４Ｃの２個の凸部４８および４９
ヘネジ１７ｄによシ固着されている。−動作は第１実施
例と同じである。
本発明における送りメネジの支持機構は以上説明したよ
うに１ネジ軸方向く平面を置いた薄板のようにネジ軸方
向の剛性は強いが、ネジ軸に対し直角な面内ではそれぞ
れ直交する方向へ容易に変形する２組′のバネ部材を介
してメネジを移動体であるステージに取付けるよう忙し
た。これによ）ネジ軸や同ネジ軸を支持する軸受に偏心
があシメネジが偏心荷重を受けてもバネ部材がほとんど
吸収しステージにはバネ定数分の僅かな力が作用するだ
け圧したため極めて真直度の高い高精度なステージ移動
が可能になる利点を有する。
うに１ネジ軸方向く平面を置いた薄板のようにネジ軸方
向の剛性は強いが、ネジ軸に対し直角な面内ではそれぞ
れ直交する方向へ容易に変形する２組′のバネ部材を介
してメネジを移動体であるステージに取付けるよう忙し
た。これによ）ネジ軸や同ネジ軸を支持する軸受に偏心
があシメネジが偏心荷重を受けてもバネ部材がほとんど
吸収しステージにはバネ定数分の僅かな力が作用するだ
け圧したため極めて真直度の高い高精度なステージ移動
が可能になる利点を有する。
Ｍ１図ないし第３図は本発明の一実施例を示し第１図は
側面図、第２図は第１図の２−２＃断面図、第３図は第
１図の３−３線断面図、第４図ないし第６図は本発明の
それぞれ異なる他の実施例の側面図である。 １１・・・ネジ軸、１２・１２Ａ・・・メネジ、１５・
１６・２２・２３−３１・３２・３９・４１・４２・４
７・・・バネ部材。
側面図、第２図は第１図の２−２＃断面図、第３図は第
１図の３−３線断面図、第４図ないし第６図は本発明の
それぞれ異なる他の実施例の側面図である。 １１・・・ネジ軸、１２・１２Ａ・・・メネジ、１５・
１６・２２・２３−３１・３２・３９・４１・４２・４
７・・・バネ部材。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）移動体に取付けたメネジをネジ軸に噛み合せること
により前記移動体を移動させる装置において、ネジ軸の
軸方向に対しては大きい剛性を有するが前記ネジ軸に対
し垂直な面内ではバネ作用によりそれぞれ直交する方向
へ容易に変形する２組のバネ部材を介して移動体にメネ
ジを取付けるようにした送りメネジの支持機構。 ２）バネ部材として吸振材を使用したことを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の送りメネジの支持機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60089841A JPS61249241A (ja) | 1985-04-25 | 1985-04-25 | 送りメネジの支持機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60089841A JPS61249241A (ja) | 1985-04-25 | 1985-04-25 | 送りメネジの支持機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61249241A true JPS61249241A (ja) | 1986-11-06 |
Family
ID=13981986
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60089841A Pending JPS61249241A (ja) | 1985-04-25 | 1985-04-25 | 送りメネジの支持機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61249241A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0435204A2 (en) * | 1989-12-25 | 1991-07-03 | Toyoda Koki Kabushiki Kaisha | Screw-nut feed mechanism |
| JPH03270844A (ja) * | 1990-03-20 | 1991-12-03 | Nippon Seiko Kk | スライドテーブル機構 |
| JP4571730B2 (ja) * | 1999-07-29 | 2010-10-27 | Ｔｈｋ株式会社 | 相対可動装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54133700A (en) * | 1978-04-10 | 1979-10-17 | Hitachi Ltd | Working table |
-
1985
- 1985-04-25 JP JP60089841A patent/JPS61249241A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54133700A (en) * | 1978-04-10 | 1979-10-17 | Hitachi Ltd | Working table |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0435204A2 (en) * | 1989-12-25 | 1991-07-03 | Toyoda Koki Kabushiki Kaisha | Screw-nut feed mechanism |
| JPH03270844A (ja) * | 1990-03-20 | 1991-12-03 | Nippon Seiko Kk | スライドテーブル機構 |
| JP4571730B2 (ja) * | 1999-07-29 | 2010-10-27 | Ｔｈｋ株式会社 | 相対可動装置 |
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