KR20200101266A

KR20200101266A - 변위 확대 장치

Info

Publication number: KR20200101266A
Application number: KR1020190176525A
Authority: KR
Inventors: 다카오 미즈우치
Original assignee: 아즈빌주식회사
Priority date: 2019-02-19
Filing date: 2019-12-27
Publication date: 2020-08-27
Also published as: US20200266331A1; JP2020137238A; US11476406B2; JP7248445B2; CN111585467A

Abstract

본 발명은 변위 확대 장치의 생산성을 높이는 것을 목적으로 한다.
제1 링크부(5)를, 제1 강체(剛體; 8)와, 제1 강체(8)를 지지부(3) 및 가동부(4)에 각각 연결하는 제1 판스프링(7)으로 구성한다. 제2 링크부(6)를, 제2 강체(10)와, 제2 강체(10)를 지지부(3) 및 가동부(4)에 각각 연결하는 제2 판스프링(9)으로 구성한다. 이 구성에 있어서, 제1 강체(8) 및 제2 강체(10)는, 제1 판스프링(7) 및 제2 판스프링(9)의 휘어짐을 억제하는 역할을 수행한다. 또한, 제1 판스프링(7) 및 제2 판스프링(9)의, 지지부(3)와의 이음부(J1, J2) 및 가동부(4)와의 이음부(J3, J4)는, 탄성 힌지의 역할을 수행한다. 이에 의해, 프레이즈 가공 등의 범용적인 가공 방법을 채용하여, 간단히 제작할 수 있게 되며, 생산성이 높아지게 된다.

Description

변위 확대 장치{APPARATUS FOR AMPLIFYING DISPLACEMENT}

본 발명은 변위 확대 장치에 관한 것으로, 특히 압전 소자 및 변위 확대 기구를 구비한 변위 확대 장치에 관한 것이다.

종래부터, 변위 확대 장치로서, 압전 소자 및 변위 확대 기구를 구비한 변위 확대 장치가 이용되고 있다. 도 7 및 도 8에, 종래의 변위 확대 장치의 평면도 및 사시도를 도시한다(예컨대, 특허문헌 1 참조.). 이 변위 확대 장치(200)는, 압전 소자(21)와, 압전 소자(21)의 변위를 확대하는 변위 확대 기구(22)를 구비하고 있다.

변위 확대 기구(22)는, 압전 소자(21)를 지지하는 지지부(23)와, 이 지지부(23)와 간극을 두고 대략 평행하게 대향하여 설치된 각기둥 형상의 가동부(24)와, 지지부(23)와 가동부(24)를 연결하는, 서로 평행한 한 쌍의 링크부[제1 링크부(25) 및 제2 링크부(26)]를 갖고, 이들은 일체로 형성되어 있다.

제1 링크부(25)는, 각기둥 형상으로 형성되고, 그 양단은, 폭이 좁게 된 탄성 힌지(27₁, 27₂)를 통해 지지부(23) 및 가동부(24)에 연결되어 있다. 또한, 제2 링크부(26)는 두께가 얇은 기둥으로 되어 있고, 판스프링으로서 작용한다. 압전 소자(21)는, 지지부(23)에 일체적으로 설치된 대좌부(臺座部; 23a)의 측벽면(23a1)과, 제1 링크부(25)의 측면에 일체적으로 돌출되어 형성되어 있는 수압면(受壓面; 25a) 사이에 고정되어 있다.

이 변위 확대 장치(200)에 있어서, 압전 소자(21)가 화살표(C)의 방향으로 미소 변위하면, 그 변위에 의해 발생하는 힘이 수압면(25a)을 통해 제1 링크부(25)에 전달된다. 그러면, 압전 소자(21)로부터의 힘을 받은 제1 링크부(25)가, 지레의 원리로, 탄성 힌지(27₁)를 지점으로 하여 비스듬히 기울고, 이것에 추종하여 제2 링크부(26)도 비스듬히 기울어, 가동부(24)가 화살표(D)의 방향으로 이동한다.

즉, 이 변위 확대 장치(200)에서는, 압전 소자(21)가 미소 변위하면, 지지부(23), 가동부(24), 제1 링크부(25) 및 제2 링크부(26)에 의해 형성된 대략 직사각형 프레임 형상의 변위 확대 기구(22)가 평행 사변형의 프레임 형상으로 변위한다. 이에 의해, 압전 소자(21)의 변위량이 변위 확대 기구(22)에 의해 확대되고, 가동부(24)의 변위량으로서 출력된다.

[특허문헌 1] 일본 특허 제5025949호 공보

이 변위 확대 장치(200)에서는, 지지부(23), 가동부(24), 제1 링크부(25) 및 제2 링크부(26)가 일체화되어 있고, 이 일체화된 하나의 부품 중에 탄성 힌지(27₁, 27₂)를 만들어 넣을 필요가 있다. 그러나, 탄성 힌지(27₁, 27₂)의 폭은 좁아, 프레이즈 가공 등의 범용적인 가공 방법으로 만들어 넣는 것은 어렵다. 이 때문에, 종래에 있어서는, 와이어 커트 가공과 같은 특수한 가공 방법을 채용하고 있으나, 이 가공 방법은, 가공성이 나빠, 생산성을 악화시키는 원인이 되고 있었다.

본 발명은 이러한 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 점은, 생산성을 높일 수 있는 변위 확대 장치를 제공하는 것에 있다.

이러한 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 따른 변위 확대 장치는, 압전 소자(1)와, 상기 압전 소자의 변위량을 확대하는 변위 확대 기구(2)를 구비하고, 상기 변위 확대 기구는, 상기 압전 소자를 지지하는 지지부(3)와, 상기 지지부에 간극을 두고 대향하여 설치된 가동부(4)와, 상기 지지부와 상기 가동부를 연결하는 서로 평행한 한 쌍의 링크부(5, 6)를 구비하며, 상기 압전 소자는, 상기 지지부와 상기 가동부의 대향 방향에 대해 직교하는 방향을 상기 압전 소자의 변위 방향으로 하여 상기 지지부에 부착되고, 상기 한 쌍의 링크부 중 한쪽(5)은, 상기 압전 소자의 변위에 의해 발생하는 힘을 받는 수압면(8a1)을 갖는 제1 강체(剛體; 8)와, 상기 제1 강체를 상기 지지부 및 상기 가동부에 각각 연결하는 제1 판스프링(7)을 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 있어서, 압전 소자가 미소 변위하면, 그 변위에 의해 발생하는 힘이 제1 강체의 수압면을 통해 한 쌍의 링크부 중 한쪽(제1 링크부)에 전달된다. 그러면, 압전 소자로부터의 힘을 받은 제1 링크부가, 지레의 원리로, 제1 판스프링의 지지부와의 이음부를 지지점으로 하여 비스듬히 기울고, 이것에 추종하여 한 쌍의 링크부 중 다른쪽(제2 링크부)이 비스듬히 기울어, 지지부와 가동부의 대향 방향에 직교하는 방향으로 가동부가 이동한다.

본 발명에 있어서, 제1 강체는, 제1 판스프링의 휘어짐을 억제하는 역할을 수행한다. 또한, 제1 판스프링의, 지지부와의 이음부 및 가동부와의 이음부는, 탄성 힌지의 역할을 수행한다. 이에 의해, 본 발명에서는, 하나의 부품 중에 폭이 좁은 탄성 힌지를 만들어 넣을 필요가 없고, 프레이즈 가공 등의 범용적인 가공 방법을 채용할 수 있게 된다.

본 발명에 있어서, 제1 판스프링은, 1장의 판스프링(7₀)을 포함하는 것으로 하거나, 2장의 판스프링(7₁, 7₂)을 포함하는 것으로 하거나 해도 좋다. 1장의 판스프링으로 하는 경우, 그 1장의 판스프링을 지지부와 가동부 사이에 가설하고, 지지부에 그 판스프링의 일단을 고정하고, 가동부에 그 판스프링의 타단을 고정하도록 한다. 2장의 판스프링으로 하는 경우, 지지부에 1장째의 판스프링의 일단을 고정하고, 제1 강체에 1장째의 판스프링의 타단을 고정하도록 한다. 또한, 가동부에 2장째의 판스프링의 일단을 고정하고, 제1 강체에 2장째의 판스프링의 타단을 고정하도록 한다.

또한, 본 발명에 있어서, 한 쌍의 링크부 중 다른쪽(6)을, 지지부와 가동부 사이에 위치하는 제2 강체(10)와, 제2 강체를 지지부 및 가동부에 각각 연결하는 제2 판스프링(9)으로 구성하도록 해도 좋다.

한편, 상기 설명에서는, 일례로서, 발명의 구성 요소에 대응하는 도면 상의 구성 요소를, 괄호를 붙인 참조 부호에 의해 나타내고 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 한 쌍의 링크부 중 한쪽을, 압전 소자의 변위에 의해 발생하는 힘을 받는 수압면을 갖는 제1 강체와, 제1 강체를 지지부 및 가동부에 각각 연결하는 제1 판스프링으로 구성하도록 했기 때문에, 하나의 부품 중에 폭이 좁은 탄성 힌지를 만들어 넣을 필요가 없고, 프레이즈 가공 등의 범용적인 가공 방법을 채용하여, 간단히 제작할 수 있게 되며, 생산성이 높아지게 된다.

도 1은 본 발명의 실시형태 1에 따른 변위 확대 장치의 주요부를 도시한 평면도이다.
도 2는 실시형태 1의 변위 확대 장치의 측면도이다.
도 3은 실시형태 1의 변위 확대 장치에 있어서 압전 소자를 미소 변위시킨 상태를 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시형태 2에 따른 변위 확대 장치의 주요부를 도시한 평면도이다.
도 5는 본 발명의 실시형태 1에 따른 변위 확대 장치의 변형예를 도시한 평면도이다.
도 6은 본 발명의 실시형태 2에 따른 변위 확대 장치의 변형예를 도시한 평면도이다.
도 7은 종래의 변위 확대 장치의 평면도이다.
도 8은 종래의 변위 확대 장치의 사시도이다.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 기초하여 상세히 설명한다.

〔실시형태 1〕

도 1은 본 발명의 실시형태 1에 따른 변위 확대 장치(100)의 주요부를 도시한 평면도이고, 도 2는 측면도이다. 이 변위 확대 장치(100)는, 압전 소자(1)와, 압전 소자(1)의 변위를 확대하는 변위 확대 기구(2)를 구비하고 있다.

이 변위 확대 장치(100)에 있어서, 압전 소자(1)로서는, PZT(PbZrO₃-PbTiO₃)로 대표되는 압전 재료를 다층으로 적층한 적층형의 압전 소자를 이용하고 있다.

또한, 변위 확대 기구(2)는, 압전 소자(1)를 지지하는 지지부(3)와, 이 지지부(3)와 간극을 두고 대략 평행하게 대향하여 설치된 각기둥 형상의 가동부(4)와, 지지부(3)와 가동부(4)의 대향 방향에 대해 직교하는 방향으로, 지지부(3)와 가동부(4) 사이의 간극을 사이에 두고 대향하여 설치된, 지지부(3)와 가동부(4)를 연결하는, 서로 평행한 한 쌍의 링크부[제1 링크부(5) 및 제2 링크부(6)]를 갖고 있다.

제1 링크부(5)는, 각기둥 형상의 제1 강체(8)와, 이 제1 강체(8)를 지지부(3) 및 가동부(4)에 각각 연결하는 제1 판스프링(7)으로 구성되어 있다. 제2 링크부(6)는, 각기둥 형상의 제2 강체(10)와, 이 제2 강체(10)를 지지부(3) 및 가동부(4)에 각각 연결하는 제2 판스프링(9)으로 구성되어 있다.

제1 링크부(5)에 있어서, 제1 판스프링(7)은, 지지부(3)와 가동부(4) 사이에 가설된 1장의 판스프링으로 되어 있고(이하, 이 1장의 판스프링을 부호 7₀으로 나타냄), 이 판스프링(7₀)의 일단이 지지부(3)에 나사(11)에 의해 고정되고, 판스프링(7₀)의 타단이 가동부(4)에 나사(12)에 의해 고정되어 있다. 제1 강체(8)는, 지지부(3)와 가동부(4) 사이의 간극에 위치하고, 판스프링(7₀)의, 지지부(3)와 가동부(4) 사이의 부분에, 나사(13, 14)에 의해 고정되어 있다.

제2 링크부(6)에 있어서, 제2 판스프링(9)은, 지지부(3)와 가동부(4) 사이에 가설된 1장의 판스프링으로 되어 있고(이하, 이 1장의 판스프링을 부호 9₀으로 나타냄), 판스프링(9₀)의 일단이 지지부(3)에 나사(15)에 의해 고정되고, 판스프링(9₀)의 타단이 가동부(4)에 나사(16)에 의해 고정되어 있다. 제2 강체(10)는, 지지부(3)와 가동부(4) 사이의 간극에 위치하고, 판스프링(9₀)의, 지지부(3)와 가동부(4) 사이의 부분에, 나사(17, 18)에 의해 고정되어 있다.

지지부(3)는, 가동부(4)측으로 돌출된 대좌부(3a)를 구비하고 있고, 이 대좌부(3a)의 측벽면(3a1)과 제1 강체(8)의 수압면(8a1) 사이에 압전 소자(1)가 고정되어 있다. 제1 강체(8)에는, 압전 소자(1)측으로 돌출된 볼록부(8a)가 형성되어 있고, 이 볼록부(8a)의 선단면이 압전 소자(1)에 접하는 수압면(8a1)으로 되어 있다. 또한, 제1 강체(8)에 있어서, 볼록부(8a)는, 제1 강체(8)와 연결되는 근원 부분(8a2)의 폭이 좁게 되어 있다.

이 변위 확대 장치(100)에 있어서, 지지부(3), 가동부(4), 제1 강체(8) 및 제2 강체(10)는 탄소강으로 되어 있고, 판스프링(7₀) 및 판스프링(9₀)은 SS재(일반 구조용 압연 강재)로 되어 있다. 한편, 판스프링(7₀) 및 판스프링(9₀)을 스프링강으로 하거나, 스테인리스강으로 하거나, 혹은 세라믹이나 CFRP(탄소 섬유 강화 수지)로 해도 좋고, 지지부(3), 가동부(4), 제1 강체(8) 및 제2 강체(10)도 금속제에 상응하는 고강성 재료이면 되고, 탄소강에 한정되는 것은 아니다. 또한, 제1 강체(8) 및 제2 강체(10)의 길이를 변경함으로써, 판스프링(7₀) 및 판스프링(9₀)에 대한 강성을 조정하도록 해도 좋다.

이 변위 확대 장치(100)에 있어서, 압전 소자(1)가 화살표(A)의 방향으로 미소 변위하면, 그 변위에 의해 발생하는 힘이 제1 강체(8)의 수압면(8a1)을 통해 제1 링크부(5)에 전달된다. 그러면, 압전 소자(1)로부터의 힘을 받은 제1 링크부(5)가, 지레의 원리로, 판스프링(7₀)의 지지부(3)와의 이음부(J1)를 지지점으로 하여 비스듬히 기울고(도 3 참조), 이것에 추종하여 제2 링크부(6)가 비스듬히 기울어, 가동부(4)가 화살표(B)의 방향으로 이동한다.

즉, 이 변위 확대 장치(100)에서는, 압전 소자(1)가 미소 변위하면, 지지부(3), 가동부(4), 제1 링크부(5) 및 제2 링크부(6)에 의해 형성된 대략 직사각형 프레임 형상의 변위 확대 기구(2)가, 평행 사변형의 프레임 형상으로 변위한다. 이에 의해, 압전 소자(1)의 변위량이 변위 확대 기구(2)에 의해 확대되어, 가동부(4)의 변위량으로서 출력된다. 본 실시형태에 있어서, 가동부(4)의 변위량은 34 ㎛ 정도로 되고, 변위 확대율은 2.2배로 되어 있다.

이 변위 확대 장치(100)에 있어서, 제1 강체(8) 및 제2 강체(10)는, 판스프링(7₀) 및 판스프링(9₀)의 휘어짐을 억제하는 역할을 수행한다. 또한, 판스프링(7₀) 및 판스프링(9₀)의 지지부(3)와의 이음부(J1, J2), 가동부(4)와의 이음부(J3, J4)는, 탄성 힌지의 역할을 수행한다. 이에 의해, 이 변위 확대 장치(100)에서는, 하나의 부품 중에 폭이 좁은 탄성 힌지를 만들어 넣을 필요가 없고, 프레이즈 가공 등의 범용적인 가공 방법을 채용하여, 간단히 제작할 수 있게 되며, 생산성이 높아지게 된다.

한편, 이 변위 확대 장치(100)에서는, 압전 소자(1)로부터의 힘을 효율적으로 제1 링크부(5)에 전달시킬 수 있도록, 제1 강체(8)의 볼록부(8a)의 근원 부분(8a2)의 폭을 좁게 하고 있다. 또한, 프레이즈 가공으로도 형성할 수 있도록, 근원 부분(8a2)의 절삭폭을 넓게 하고 있다.

또한, 이 예에서는, 볼록부(8a)의 근원 부분(8a2)의 폭을 좁게 하고 있으나, 반드시 좁게 하지 않아도 좋다. 즉, 볼록부(8a) 전체를 수압면(8a1)의 폭과 동일하게 해도 좋다. 단, 볼록부(8a) 전체를 수압면(8a1)의 폭과 동일하게 하면, 압전 소자(1)로부터의 힘을 받을 때에 굽힘 모멘트가 발생하기 때문에, 제1 링크부(5)에 전달되는 힘은 작아진다.

〔실시형태 2〕

도 4에, 본 발명의 실시형태 2에 따른 변위 확대 장치(101)의 주요부의 평면도를 도시한다. 이 변위 확대 장치(101)에서는, 제1 판스프링(7)을, 2장의 판스프링(7₁과 7₂)으로 구성하고, 판스프링(7₁)의 일단을 지지부(3)에 고정하고, 판스프링(7₁)의 타단을 제1 강체(8)에 고정하고 있다. 또한, 판스프링(7₂)의 일단을 가동부(4)에 고정하고, 판스프링(7₂)의 타단을 제1 강체(8)에 고정하고 있다. 이 구성에 있어서, 판스프링(7₁)이 본 발명에서 말하는 제1 지지부측 판스프링에 해당하고, 판스프링(7₂)이 제1 가동부측 판스프링에 해당한다.

또한, 제2 판스프링부(9)를, 2장의 판스프링(9₁과 9₂)으로 구성하고, 판스프링(9₁)의 일단을 지지부(3)에 고정하고, 판스프링(9₁)의 타단을 제2 강체(10)에 고정하고 있다. 또한, 판스프링(9₂)의 일단을 가동부(4)에 고정하고, 판스프링(9₂)의 타단을 제2 강체(10)에 고정하고 있다. 이 구성에 있어서, 판스프링(9₁)이 본 발명에서 말하는 제2 지지부측 판스프링에 해당하고, 판스프링(9₂)이 제2 가동부측 판스프링에 해당한다.

이 변위 확대 장치(101)에 있어서, 제1 강체(8) 및 제2 강체(10)는, 판스프링(7₁, 7₂) 및 판스프링(9₁, 9₂)의 휘어짐을 억제하는 역할을 수행한다. 또한, 판스프링(7₁, 7₂) 및 판스프링(9₁, 9₂)의, 지지부(3)와의 이음부(J1, J2) 및 가동부(4)와의 이음부(J3, J4)는, 탄성 힌지의 역할을 수행한다. 이에 의해, 이 실시형태 2의 변위 확대 장치(101)에서도, 실시형태 1의 변위 확대 장치(100)와 마찬가지로, 하나의 부품 중에 폭이 좁은 탄성 힌지를 만들어 넣을 필요가 없고, 프레이즈 가공 등의 범용적인 가공 방법을 채용하여, 간단히 제작할 수 있게 되며, 생산성이 높아지게 된다.

한편, 도 1에 도시된 변위 확대 장치(100)에서는, 제2 링크부(6)를 제2 판스프링(9)과 제2 강체(10)로 구성하도록 하였으나, 도 5에 변위 확대 장치(100')로서 도시한 바와 같이, 종래의 변위 확대 장치(200)(도 7)에 있어서의 제2 링크부(26)와 마찬가지로, 제2 링크부(6)를, 지지부(3)와 가동부(4)와 일체로 형성된 두께가 얇은 기둥으로 하여, 판스프링으로서 작용시키도록 해도 좋다. 도 4에 도시된 변위 확대 장치(101)에서도, 도 6에 변위 확대 장치(101')로서 도시한 바와 같이, 동일한 구조를 채용할 수 있다.

〔실시형태의 확장〕

이상, 실시형태를 참조하여 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 전술한 실시형태에 한정되는 것이 아니다. 본 발명의 구성이나 상세에서는, 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 당업자가 이해할 수 있는 여러 가지 변경을 행할 수 있다.

1: 압전 소자 2: 변위 확대 기구
3: 지지부 3a: 대좌부
3a1: 측벽면 4: 가동부
5: 제1 링크부 6: 제2 링크부
7: 제1 판스프링 7₀, 7₁, 7₂: 판스프링
8: 제1 강체 8a: 볼록부
8a1: 수압면 8a2: 근원 부분
9: 제2 판스프링 9₀, 9₁, 9₂: 판스프링
10: 제2 강체
100, 100', 101, 101': 변위 확대 장치

Claims

압전 소자와,
상기 압전 소자의 변위량을 확대하는 변위 확대 기구
를 구비하는 변위 확대 장치로서,
상기 변위 확대 기구는,
상기 압전 소자를 지지하는 지지부와,
상기 지지부에 간극을 두고 대향하여 설치된 가동부와,
상기 지지부와 상기 가동부를 연결하는 서로 평행한 한 쌍의 링크부
를 구비하고,
상기 압전 소자는, 상기 지지부와 상기 가동부의 대향 방향에 대해 직교하는 방향을 상기 압전 소자의 변위 방향으로 하여 상기 지지부에 부착되고,
상기 한 쌍의 링크부 중 한쪽은,
상기 압전 소자의 변위에 의해 발생하는 힘을 받는 수압면(受壓面)을 갖는 제1 강체와,
상기 제1 강체를 상기 지지부 및 상기 가동부에 각각 연결하는 제1 판스프링
을 구비하는 것을 특징으로 하는 변위 확대 장치.
제1항에 있어서,
상기 제1 판스프링은,
상기 지지부와 상기 가동부 사이에 가설되고, 상기 지지부에 그 일단이 고정되며, 상기 가동부에 그 타단이 고정되는, 1장의 판스프링
을 포함하고,
상기 제1 강체는, 상기 제1 판스프링의, 상기 지지부와 상기 가동부 사이의 부분에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 변위 확대 장치.
제1항에 있어서,
상기 제1 판스프링은,
상기 지지부와 상기 제1 강체를 연결하는 제1 지지부측 판스프링과,
상기 가동부와 상기 제1 강체를 연결하는 제1 가동부측 판스프링
을 포함하는 것을 특징으로 하는 변위 확대 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 한 쌍의 링크부 중 다른쪽은,
상기 지지부와 상기 가동부 사이에 위치하는 제2 강체와,
상기 제2 강체를, 상기 지지부 및 상기 가동부에 각각 연결하는 제2 판스프링
을 구비하는 것을 특징으로 하는 변위 확대 장치.
제4항에 있어서,
상기 제2 판스프링은,
상기 지지부와 상기 가동부 사이에 가설되고, 상기 지지부에 그 일단이 고정되며, 상기 가동부에 그 타단이 고정되는, 1장의 판스프링
을 포함하고,
상기 제2 강체는, 상기 제2 판스프링의, 상기 지지부와 상기 가동부 사이의 부분에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 변위 확대 장치.
제4항에 있어서,
상기 제2 판스프링은,
상기 지지부와 상기 제2 강체를 연결하는 제2 지지부측 판스프링과,
상기 가동부와 상기 제2 강체를 연결하는 제2 가동부측 판스프링
을 포함하는 것을 특징으로 하는 변위 확대 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 지지부는,
상기 가동부측으로 돌출된 대좌부(臺座部)
를 구비하고,
상기 압전 소자는, 상기 대좌부의 측벽면과 상기 제1 강체의 수압면 사이에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 변위 확대 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 강체는,
상기 압전 소자측으로 돌출된 볼록부
를 구비하고,
상기 제1 강체의 볼록부는, 그 선단면이 상기 수압면으로서 상기 압전 소자에 접하고 있는 것을 특징으로 하는 변위 확대 장치.
제8항에 있어서, 상기 제1 강체의 볼록부는, 상기 제1 강체와 연결되는 근원의 부분의 폭이 좁게 되어 있는 것을 특징으로 하는 변위 확대 장치.