JP6029063B2 - 並進機構を用いたアクチュエータの減衰方法およびアクチュエータ - Google Patents
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Description
図1は、第1の実施形態に係るアクチュエータを示している。アクチュエータ10は、積層型の圧電素子12と、圧電素子12の推力や変位を直線運動として伝達する並進機構14とを備えている。圧電素子12は、その積層方向(A方向)に沿って伸縮し、発生推力を伝達する。並進機構14は、角柱形状の支持部16、この支持部16と隙間を置いてほぼ平行に対向した角柱形状の可動子18、および支持部16と可動子18との間を延び互いに平行に対向する一対の角柱形状の弾性バネ支持部20a、20bを有し、全体としてほぼ矩形枠状に形成されている。圧電素子12は、支持部16と可動子18との間に設置され、その長手方向下端が支持部16に固定され、上端が可動子18に固定されている。そして、圧電素子12は、その伸縮方向Aが支持部16と直交する方向となるように、また、一対の弾性バネ支持部20a、20bと平行となるように配置されている。
図10は、第2の実施形態に係るアクチュエータを示している。本実施形態によれば、弾性体あるいは粘弾性体および拘束部材は、並進機構14の前面側あるいは後面側のいずれか、あるいは、両面に、固定される。すなわち、拘束部材30は、弾性体あるいは粘弾性体よりも剛性の高いアルミニウム、ステンレス鋼等の金属あるいはセラミック等により角柱ブロックやL字型アングル板に形成され、少なくも拘束部材の2面に弾性体あるいは粘弾性体32が塗布され、粘弾性体層を形成している。例えば、拘束部材30は、上下動作による座屈に耐えうる剛性を有する板厚1〜5mm程度のL字型アングル板で形成され、単に並進機構14を拘束するだけではなく、大きな剛性を有している。粘弾性体32の層厚は0.04〜0.2mm程度に形成されている。
図11および図12は、第3の実施形態に係るアクチュエータを示す斜視図および平面図である。第1の実施形態に係るアクチュエータは、いわゆる縦型に構成され、第3の実施形態に係るアクチュエータは、いわゆる横型に構成されている。ただし、可動方向が重力方向又は重力に直交方向など、設置方向や形態は問わない。
なお、並進機構14を均一に変形させ減衰性を向上させるには、並進機構14の可動子の両側に弾性体あるいは粘弾性体および拘束部材を配置することが望ましいが、片側のみに設けた場合でも弾性体あるいは粘弾性体が架橋された面積に応じて大きな減衰効果を得ることができる。
図13は、第4の実施形態に係るアクチュエータを示している。本実施形態によれば、
支持部16が垂直上方に突出する延出部16aを有している点を除いて、並進機構14の構成は、前述した第3の実施形態と同一であり、減衰機構の構成が第3の実施形態と相違している。弾性体あるいは粘弾性体および拘束部材30は、並進機構14の上面側に固定される。すなわち、拘束部材30は、弾性体あるいは粘弾性体よりも剛性の高いアルミニウム合金、ステンレス鋼等の金属あるいはセラミック等によりL字型アングル板に形成され、更に、前方へ突出する細長い板状の突出部30cを一体に有している。少なくも拘束部材30の2面に弾性体あるいは粘弾性体32が塗布され、粘弾性体層を形成している。例えば、拘束部材30は、上下動作による座屈に耐えうる剛性を有する板厚1〜5mm程度のL字型アングル板で形成され、単に並進機構14を拘束するだけではなく、大きな剛性を有している。粘弾性体32の層厚は0.04〜0.2mm程度に形成されている。
アクチュエータ10の他の構成は前述した第3の実施形態と同一であり、その詳細な説明は省略する。
上記のように構成されたアクチュエータ10は、水平に設置する場合に限らず、図15に示すように、拘束部材30の背面部分を水平な設置部50に固定支持することにより、アクチュエータ10を重力方向に吊り下げた状態で使用することができる。
18… 可動子、20a、20b…弾性バネ支持部、21a、21b…バネ部、
24a、24b、25a、25b…板バネ、26a、26b…バネスリット、
30、30a、30b、34、34a、34b…拘束部材、32、36…粘弾性体、
31a…主面、31b…下面、31c、31e…前面
Claims (14)
- 圧電素子と、この圧電素子の変位に応じて変位する可動部を有し、前記圧電素子の変位量を直接直線運動として伝達する並進機構と、を備えたアクチュエータの共振ピークの振動値を低減するアクチュエータの減衰方法において、
少なくとも2面を有する拘束部材の1面を弾性体あるいは粘弾性体を介して前記可動部に固定し、前記拘束部材の他の面を弾性体あるいは粘弾性体を介して前記並進機構の支持部に固定し、前記弾性体あるいは粘弾性体の変形による歪により前記可動部の振動エネルギーを熱エネルギーに変換して前記アクチュエータの共振ピークの振幅値を低減することを特徴とするアクチュエータの減衰方法。 - 前記並進機構は、前記圧電素子が固定された支持部と、前記支持部から前記圧電素子の変位方向と平行な方向に延出し互いに隙間を置いて対向する一対の弾性バネ支持部と、を備え、前記可動部は、前記支持部と隙間を置いて対向し前記圧電素子に固定された可動子と、前記可動子を前記圧電素子の変位方向と平行な方向に直動可能に支持する前記弾性バネ支持部のバネ部と、を備え、
前記拘束部材の1面を弾性体あるいは粘弾性体を介して前記可動子に固定し、他の1面を弾性体あるいは粘弾性体を介して前記支持部に固定することを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータの減衰方法。 - 前記並進機構は、前記圧電素子が固定された支持部と、前記支持部から前記圧電素子の変位方向と平行な方向に延出し互いに隙間を置いて対向する一対の弾性バネ支持部と、を備え、前記可動部は、前記支持部と隙間を置いて対向し前記圧電素子に固定された可動子と、前記可動子を前記圧電素子の変位方向と平行な方向に直動可能に支持する前記弾性バネ支持部のバネ部と、を備え、
前記拘束部材の1面を弾性体あるいは粘弾性体を介して前記可動子および前記弾性バネ支持部の側面に架橋して固定し、他の1面を弾性体あるいは粘弾性体を介して前記支持部に固定することを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータの減衰方法。 - 前記並進機構は、前記圧電素子が固定された支持部と、前記支持部から前記圧電素子の変位方向と平行な方向に延出し互いに隙間を置いて対向する一対の弾性バネ支持部と、を備え、前記可動部は、前記支持部と隙間を置いて対向し前記圧電素子に固定された可動子と、前記可動子を前記圧電素子の変位方向と平行な方向に直動可能に支持する前記弾性バネ支持部のバネ部と、を備え、
前記拘束部材の1面を弾性体あるいは粘弾性体を介して前記可動子および前記一対の弾性バネ支持部の前面に架橋して固定し、他の1面を弾性体あるいは粘弾性体を介して前記支持部に固定することを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータの減衰方法。 - 前記並進機構は、前記圧電素子が固定された支持部と、前記支持部から前記圧電素子の変位方向と平行な方向に延出し互いに隙間を置いて対向する一対の弾性バネ支持部と、を備え、前記可動部は、前記支持部に隙間を置いて対向し前記圧電素子に固定された可動子と、前記可動子を前記圧電素子の変位方向と平行な方向に直動可能に支持する前記弾性バネ支持部のバネ部と、を備え、前記拘束部材は角柱状に形成され、
前記拘束部材の1面を弾性体あるいは粘弾性体を介して前記可動子に固定し、前記拘束部材の他の1面または2面を弾性体あるいは粘弾性体を介して前記弾性バネ支持部に固定することを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータの減衰方法。 - 前記並進機構は、前記圧電素子が固定された支持部と、前記支持部から前記圧電素子の変位方向と平行な方向に延出し互いに隙間を置いて対向する一対の弾性バネ支持部と、を備え、前記可動部は、前記支持部に隙間を置いて対向し前記圧電素子に固定された可動子と、前記可動子を前記圧電素子の変位方向と平行な方向に直動可能に支持する前記弾性バネ支持部のバネ部と、を備え、
前記拘束部材の1面を弾性体あるいは粘弾性体を介して前記可動子および前記一対の弾性バネ支持部の上面に架橋して固定し、前記拘束部材の他の1面または2面を弾性体あるいは粘弾性体を介して前記支持部および弾性バネ支持部に固定することを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータの減衰方法。 - 前記拘束部材を、前記弾性体あるいは粘弾性体よりも剛性の高い金属あるいはセラミックスで形成し、アクチュエータの機械剛性を上げ、並進動作以外の運動を抑制することを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1項に記載のアクチュエータの減衰方法。
- 圧電素子と、
前記圧電素子の変位に応じて変位する可動部を有し、前記圧電素子の変位量を直接直線運動として伝達する並進機構と、
少なくとも2面を有し、1面が弾性体あるいは粘弾性体を介して前記可動部に固定され、他の面が弾性体あるいは粘弾性体を介して前記並進機構の支持部に固定され、前記弾性体あるいは粘弾性体の変形による歪により前記可動部の振動エネルギーを熱エネルギーに変換して前記アクチュエータの共振ピークの振幅値を低減する拘束部材と、を備えることを特徴とするアクチュエータ。 - 前記並進機構は、前記圧電素子が固定された支持部と、前記支持部から前記圧電素子の変位方向と平行な方向に延出し互いに隙間を置いて対向する一対の弾性バネ支持部と、を備え、前記可動部は、前記支持部と隙間を置いて対向し前記圧電素子に固定された可動子と、前記可動子を前記圧電素子の変位方向と平行な方向に直動可能に支持する前記弾性バネ支持部のバネ部と、を備え、
前記拘束部材の1面は、前記弾性体あるいは粘弾性体を介して前記可動子に固定され、前記拘束部材の他の1面は、前記弾性体あるいは粘弾性体を介して前記支持部に固定されていることを特徴とする請求項8に記載のアクチュエータ。 - 前記並進機構は、前記圧電素子が固定された支持部と、前記支持部から前記圧電素子の変位方向と平行な方向に延出し互いに隙間を置いて対向する一対の弾性バネ支持部と、を備え、前記可動部は、前記支持部と隙間を置いて対向し前記圧電素子に固定された可動子と、前記可動子を前記圧電素子の変位方向と平行な方向に直動可能に支持する前記弾性バネ支持部のバネ部と、を備え、
前記拘束部材の1面は、前記弾性体あるいは粘弾性体を介して前記可動子および前記弾性バネ支持部の側面に架橋して固定され、前記拘束部材の他の1面は、前記弾性体あるいは粘弾性体を介して前記支持部に固定されていることを特徴とする請求項8に記載のアクチュエータ。 - 前記並進機構は、前記圧電素子が固定された支持部と、前記支持部から前記圧電素子の変位方向と平行な方向に延出し互いに隙間を置いて対向する一対の弾性バネ支持部と、を備え、前記可動部は、前記支持部と隙間を置いて対向し前記圧電素子に固定された可動子と、前記可動子を前記圧電素子の変位方向と平行な方向に直動可能に支持する前記弾性バネ支持部のバネ部と、を備え、
前記拘束部材の1面は、前記弾性体あるいは粘弾性体を介して前記可動子および前記弾性バネ支持部の前面に架橋して固定され、前記拘束部材の他の1面は、前記弾性体あるいは粘弾性体を介して前記支持部に固定されていることを特徴とする請求項8に記載のアクチュエータ。 - 前記並進機構は、前記圧電素子が固定された支持部と、前記支持部から前記圧電素子の変位方向と平行な方向に延出し互いに隙間を置いて対向する一対の弾性バネ支持部と、を備え、前記可動部は、前記支持部と隙間を置いて対向し前記圧電素子に固定された可動子と、前記可動子を前記圧電素子の変位方向と平行な方向に直動可能に支持する前記弾性バネ支持部のバネ部と、を備え、前記拘束部材は角柱状に形成され、
前記拘束部材の1面は、前記弾性体あるいは粘弾性体を介して前記可動子に固定され、前記拘束部材の他の1面または2面は、前記弾性体あるいは粘弾性体を介して前記弾性バネ支持部に固定されていることを特徴とする請求項8に記載のアクチュエータ。 - 前記並進機構は、前記圧電素子が固定された支持部と、前記支持部から前記圧電素子の変位方向と平行な方向に延出し互いに隙間を置いて対向する一対の弾性バネ支持部と、を備え、前記可動部は、前記支持部と隙間を置いて対向し前記圧電素子に固定された可動子と、前記可動子を前記圧電素子の変位方向と平行な方向に直動可能に支持する前記弾性バネ支持部のバネ部と、を備え、
前記拘束部材の1面は、前記弾性体あるいは粘弾性体を介して前記可動子および前記一対の弾性バネ支持部の上面に架橋して固定され、前記拘束部材の他の1面または2面は前記弾性体あるいは粘弾性体を介して前記支持部および弾性バネ支持部に固定されている特徴とする請求項8に記載のアクチュエータ。 - 前記拘束部材は、前記弾性体あるいは粘弾性体よりも剛性の高い材料および形状で形成されていることを特徴とする請求項8ないし13のいずれか1項に記載のアクチュエータ。
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Families Citing this family (2)
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Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4416349A (en) * | 1981-09-30 | 1983-11-22 | The Boeing Company | Viscoelastically damped reinforced skin structures |
US4425980A (en) * | 1981-12-14 | 1984-01-17 | The Boeing Company | Beam dampers for damping the vibrations of the skin of reinforced structures |
JPS631385A (ja) * | 1986-06-19 | 1988-01-06 | Nippon Denki Sanei Kk | 圧電セラミツク・アクチユエ−タ |
JPS6348321A (ja) * | 1986-08-15 | 1988-03-01 | Nippon Steel Corp | 制振材料用粘弾性樹脂の製法 |
JPH0587189A (ja) * | 1991-09-26 | 1993-04-06 | Nissan Motor Co Ltd | 振動吸収装置 |
US5315203A (en) * | 1992-04-07 | 1994-05-24 | Mcdonnell Douglas Corporation | Apparatus for passive damping of a structure |
US5838092A (en) * | 1995-09-01 | 1998-11-17 | The Penn State Research Foundation | Apparatus and method for vibration control using active constrained layer edge elements |
US6134113A (en) * | 1997-08-28 | 2000-10-17 | Mills; Richard E. | Energy absorbing viscoelastic spacer for reducing vibration to disk drives |
US5955823A (en) * | 1998-05-12 | 1999-09-21 | Ultra Sonus Ab | High power ultrasonic transducer |
JP3788053B2 (ja) * | 1998-07-28 | 2006-06-21 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 電気機械変換素子を使用したアクチエ−タ |
DE19857247C1 (de) * | 1998-12-11 | 2000-01-27 | Bosch Gmbh Robert | Piezoelektrischer Aktor |
JP2002112562A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-12 | Minolta Co Ltd | 駆動装置 |
AU2003243697A1 (en) * | 2002-06-21 | 2004-01-06 | Viking Technologies, L.C. | Uni-body piezoelectric motor |
JP4310516B2 (ja) * | 2004-01-19 | 2009-08-12 | 清水建設株式会社 | 構造体の形状制御方法 |
JP3612670B1 (ja) * | 2004-03-15 | 2005-01-19 | 秋田県 | アクチュエータの減衰方法およびアクチュエータ |
US7219410B2 (en) * | 2004-12-20 | 2007-05-22 | General Electric Company | High speed linear motion mechanism |
US20080026245A1 (en) * | 2006-07-25 | 2008-01-31 | Yuji Saga | Vibration damping material, structural laminates, and processes for making same |
JP4898551B2 (ja) * | 2006-07-27 | 2012-03-14 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | 圧電アクチュエータおよびそれを用いた走査型プローブ顕微鏡 |
EP2076062B1 (en) * | 2006-10-20 | 2018-01-17 | Murata Manufacturing Co. Ltd. | Ultrasonic sensor |
JP5191939B2 (ja) * | 2009-03-31 | 2013-05-08 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器用アクチュエータ装置 |
JP5582839B2 (ja) * | 2010-03-29 | 2014-09-03 | 京セラ株式会社 | 圧電駆動装置およびこれを備えた触覚提示デバイス用振動駆動装置 |
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