DE19857247C1 - Piezoelektrischer Aktor - Google Patents

Piezoelektrischer Aktor

Info

Publication number
DE19857247C1
DE19857247C1 DE19857247A DE19857247A DE19857247C1 DE 19857247 C1 DE19857247 C1 DE 19857247C1 DE 19857247 A DE19857247 A DE 19857247A DE 19857247 A DE19857247 A DE 19857247A DE 19857247 C1 DE19857247 C1 DE 19857247C1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
actuator
piezoelectric actuator
actuator body
piezoelectric
heat sink
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE19857247A
Other languages
English (en)
Inventor
Rudolf Heinz
Bertram Sugg
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Priority to DE19857247A priority Critical patent/DE19857247C1/de
Priority to KR1020007008792A priority patent/KR20010040885A/ko
Priority to PCT/DE1999/003873 priority patent/WO2000036657A1/de
Priority to JP2000588814A priority patent/JP2002532658A/ja
Priority to US09/622,027 priority patent/US6333587B1/en
Priority to EP99964392A priority patent/EP1053569A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE19857247C1 publication Critical patent/DE19857247C1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/50Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02MSUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
    • F02M51/00Fuel-injection apparatus characterised by being operated electrically
    • F02M51/005Arrangement of electrical wires and connections, e.g. wire harness, sockets, plugs; Arrangement of electronic control circuits in or on fuel injection apparatus
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02MSUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
    • F02M51/00Fuel-injection apparatus characterised by being operated electrically
    • F02M51/06Injectors peculiar thereto with means directly operating the valve needle
    • F02M51/0603Injectors peculiar thereto with means directly operating the valve needle using piezoelectric or magnetostrictive operating means
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/88Mounts; Supports; Enclosures; Casings
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02MSUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
    • F02M63/00Other fuel-injection apparatus having pertinent characteristics not provided for in groups F02M39/00 - F02M57/00 or F02M67/00; Details, component parts, or accessories of fuel-injection apparatus, not provided for in, or of interest apart from, the apparatus of groups F02M39/00 - F02M61/00 or F02M67/00; Combination of fuel pump with other devices, e.g. lubricating oil pump
    • F02M63/0012Valves
    • F02M63/0014Valves characterised by the valve actuating means
    • F02M63/0015Valves characterised by the valve actuating means electrical, e.g. using solenoid
    • F02M63/0026Valves characterised by the valve actuating means electrical, e.g. using solenoid using piezoelectric or magnetostrictive actuators

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Fuel-Injection Apparatus (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft einen piezoelektrischen Aktor (1), insbesondere zur Betätigung von Steuerventilen oder Einspritzventilen an Verbrennungsmotoren in Kraftfahrzeugen, mit einem piezoelektrischen Aktorkörper (1) insbesondere in Form eines vielschichtigen Laminats aus aufeinandergeschichteten Lagen piezoelektrischen Materials und dazwischenliegenden metallischen bzw. elektrisch leitenden, als Elektroden dienenden Schichten, wobei eine der Stirnseiten des Aktorkörpers (1) an einem gut wärmeleitenden oder metallischen Aktorfuß (6) festgelegt ist, wobei der piezoelektrische Aktor dadurch gekennzeichnet ist, dass wenigstens ein gute wärmeleitfähiger Kühlkörper (5; 5.1, 5.2) gut wärmeleitend mit den Seitenflächen des Aktorkörpers (1) und mit dem Aktorfuß (6) verbunden ist.

Description

Stand der Technik
Die Erfindung geht aus von einem piezoelektrischen Aktor insbesondere zur Betätigung von Steuerventilen oder Einspritzventilen an Verbrennungsmotoren in Kraftfahrzeugen, mit einem piezoelektrischen Aktorkörper insbesondere in Form eines vielschichtigen Laminats aus aufeinandergeschichteten Lagen piezoelektrischen Materials und dazwischenliegenden metallischen bzw. elektrisch leitenden, als Elektroden dienenden Schichten, wobei eine der Stirnseiten des Aktorkörpers an einem gut wärmeleitenden oder metallischen Aktorfuß festgelegt ist.
Ein derartiger piezoelektrischer Aktor ist zum Beispiel bekannt aus der DE 196 50 900 A1 der Robert Bosch GmbH.
Wie allgemein bekannt, können piezoelektrische Aktoren zum Beispiel für Einspritzventile eines Kraftfahrzeugmotors sowie in Bremssystemen mit Antiblockiersystem und Antischlupfregelungen eingesetzt werden.
Derartige mit piezoelektrischen Aktoren ausgestattete Einspritzventile besitzen eine durch ein stößelartiges Verschlussorgan gesteuerte Einspritzdüse. Am Stößel ist eine düsenseitige Wirkfläche angeordnet, die vom Druck des der Düse zugeführten Kraftstoffs beaufschlagt wird, wobei die Druckkräfte den Stößel in Öffnungsrichtung des Verschlussorganes zu drängen suchen. Der Stößel ragt mit einem plungerartigen Ende, dessen Querschnitt größer ist als die vorgenannte Wirkfläche, in eine Steuerkammer hinein. Der dort wirksame Druck sucht den Stößel in Schließrichtung des Verschlussorganes zu bewegen. Die Steuerkammer ist über eine Eingangsdrossel mit der unter hohem Druck stehenden Kraftstoffzufuhr und über ein in der Regel gedrosseltes bzw. mit einer Ausgangsdrossel kombiniertes Auslassventil mit einer nur geringen druckaufweisenden Kraftstoffrückführleitung verbunden. Bei geschlossenem Auslassventil steht in der Steuerkammer ein hoher Druck an, durch den der Stößel gegen den Druck an seiner düsenseitigen Wirkfläche in Schließrichtung des Verschlussorganes bewegt bzw. in Verschlussstellung gehalten wird. Beim Öffnen des Auslassventiles fällt der Druck in der Steuerkammer ab, wobei das Maß des Druckabfalles durch die Bemessung der Eingangsdrossel und des Drosselwiderstandes des geöffneten Ausgangsventiles bzw. der damit kombinierten Ausgangsdrossel bestimmt wird. Im Ergebnis vermindert sich der Druck in der Steuerkammer bei geöffnetem Auslassventil derart, dass der Stößel aufgrund der an seiner düsenseitigen Wirkfläche wirksamen Druckkräfte in Öffnungsrichtung des Verschlussorgans bewegt bzw. in Offenstellung gehalten wird.
Im Vergleich mit elektromagnetisch betätigten Einspritzventilen können piezoelektrische Aktoren schneller schalten. Allerdings muss beim Aufbau eines piezoelektrischen Aktors beachtet werden, dass durch innere Verluste im piezoelektrischen Körper des Aktors Verlustwärme entsteht, die abgeführt werden muss, damit sich der Aktor nicht überhitzt. Da die Keramikmaterialien der Piezokeramik eine schlechte Wärmeleitfähigkeit haben, ist bei langen Aktoren, deren Länge größer ist als ihre Breite, die Ableitung innerhalb des im wesentlichen aus Keramikmaterial bestehenden Aktorkörpers ungünstig.
Aufgaben und Vorteile der Erfindung
Es ist deshalb Aufgabe der Erfindung, einen gattungsgemäßen piezoelektrischen Aktor, insbesondere langen Aktor, so zu ermöglichen, dass eine Kühlung im Betrieb desselben ohne flüssige Medien möglich ist, dass eine einfache Montage des piezoelektrischen Aktors möglich, keine flüssigen Kühlmittel und keine besonderen Dichtungen notwendig sind.
Ein erfindungsgemäßer piezoelektrischer Aktor vermeidet somit eine durch die Verlustleistung desselben bedingte Überhitzung, kommt ohne flüssige Kühlmedien und ohne die dafür notwendigen Abdichtungen und Kühlmittelwege aus, wodurch eine Leckage solcher Kühlmittel nicht möglich ist und die Montage des piezoelektrischen Aktors vereinfacht und dieser dadurch kostengünstig hergestellt werden kann.
Die Erfindung liegt darin, dass wenigstens ein gut wärmeleitfähiger Kühlkörper gut wärmeleitend mit den Seitenflächen des Aktorkörpers und mit dem Aktorfuß verbunden ist.
Bei der Erfindung lässt sich in vorteilhafter Weise ausnützen, dass die elektrischen Zuleitungen zu den metallischen bzw. elektrisch leitenden Elektroden des als vielschichtiges Laminat ausgeführten Aktorkörpers zu diesem nur an zwei Seiten desselben geführt sind, so dass die zwei anderen gegenüberliegenden Seitenflächen des Aktorkörpers frei bleiben und gut wärmeleitend mit dem genannten Kühlkörper oder den Kühlkörpern verbunden werden können.
Bevorzugt besteht oder bestehen der oder die Kühlkörper aus Metall, insbesondere bevorzugt aus Kupfer.
Dabei können entweder zwei separate Kühlkörper oder ein einziger U-förmiger Kühlkörper, der so gestaltet ist, dass er am Bodenabschnitt seiner U-Form mit der zum Aktorfuß weisenden Stirnseite des Aktorkörpers verbunden ist, mit den beiden gegenüberliegenden Seitenflächen des Aktorkörpers verbunden sein. Diese Verbindung geschieht bevorzugt durch einen elastischen, wärmeleitfähigen Klebstoff zwischen dem Kühlkörper und den Seitenflächen des Aktorkörpers. Ein solcher wärmeleitfähiger Klebstoff besteht zum Beispiel aus einem Silikon-Elastomer, das gegebenenfalls mit einem elektrisch isolierenden, wärmeleitfähigen Füllstoff, zum Beispiel mit AlN oder Al2O3 gefüllt ist.
Damit die beim Anlegen der elektrischen Spannung verursachte Dehnung oder Schrumpfung des Aktorkörpers ohne Reißen des elastischen wärmeleitfähigen Klebstoffs ausführbar ist, können die an die Seitenflächen des Aktorkörpers angrenzenden Abschnitte des oder der Kühlkörper wellenförmig sein, das heißt die Form eines metallischen Wellenbandes haben.
Um die gute Wärmeleitfähigkeit des oder der Kühlkörper auszunutzen und die von ihnen geleitete Wärme auch abzuführen, ist der oder die Kühlkörper mit dem Aktorfuß verlötet oder verschweißt oder alternativ mit demselben durch einen Silberleitkleber wärmeleitend verbunden. Dadurch wird die vom piezoelektrischen Aktor erzeugte Verlustwärme vom Kühlkörper zum gut wärmeleitfähigen Aktorfuß sicher abgeleitet.
Wenn ein Aktorkörper verwendet wird, dessen beide Stirnseiten durch je eine Bandfeder vorgespannt sind, die entlang den von den Kühlkörpern nicht bedeckten Seitenflächen im Abstand vom Aktorkörper liegen, bietet es sich an, auch die Bandfedern zur Wärmeableitung zu nutzen, da diese auch am Aktorfuß festgelegt sind. Dazu werden die Zwischenräume zwischen dem Aktorkörper und den Bandfedern mit wärmeleitfähigem Elastomer ausgefüllt, gegebenenfalls unter Zusatz eines wärmeleitenden Füllstoffes. Außerdem können auch die elektrischen Anschlüsse der Elektroden des piezoelektrischen Aktorkörpers zusätzlich zur Wärmeableitung herangezogen werden, falls diese elektrischen Anschlussleitungen einen ausreichend großen Leitungsquerschnitt haben.
Es ist zu bemerken, dass die oben erwähnten Formen des oder der Kühlkörper lediglich beispielhaft sind und dass andere zweckmässige Formen, beispielsweise bei Aktorkörpern mit rundem Querschnitt verwendet werden können.
Nachstehend werden verschiedenen Ausführungsbeispiele eines erfindungsgemäß gestalteten piezoelektrischen Aktors anhand der Zeichnung näher erläutert.
Zeichnung
Fig. 1 zeigt schematisch und in Form eines Teilschnittes ein erstes Ausführungsbeispiel eines piezoelektrischen Aktors;
Fig. 2 zeigt einen Querschnitt durch die in Fig. 1 gezeigte Ausführungsform des erfindungsgemäßen piezoelektrischen Aktors längs der Schnittebene II-II, und
Fig. 3A-3E zeigt verschiedene weitere Ausführungsformen des erfindungsgemäß vorgesehenen Kühlkörpers.
Ausführungsbeispiele
Bei dem in Fig. 1 als Teilschnitt in Längsrichtung dargestellten ersten Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen piezoelektrischen Aktors ist ein Aktorkörper 1, der die Form eines vielschichtigen Laminats aus aufeinandergeschichteten Lagen piezoelektrischen Materials und dazwischenliegenden metallischen bzw. elektrisch leitenden, als Elektroden dienenden Schichten haben kann, zwischen einem oberen Ringflansch 10 und einem Aktorfuß 6 durch zwei gewellte Federbänder 8 eingespannt. Der Aktorkörper 1 mit den gewellten Federbändern 8 sitzt in einem metallischen Gehäuse 3, an dessen Unterseite Klemmen sitzen zur Verbindung mit Elektrodenzuleitungen 7.
Wenn der Aktorkörper 1 mit einer pulsierenden elektrischen Spannung an seinen Elektroden beaufschlagt wird, führt er analog pulsierende Hübe unter Änderung des Abstandes zwischen seinen zwischen dem Ringflansch 10 und dem Aktorfuß 6 durch die Federbänder 8 eingespannten Stirnseiten aus.
Die im Betrieb des Aktors entstehende Wärme kann nur in geringem Maße nach oben durch den Ringflansch 10 und den Fortsatz 12 der daruntersitzenden Stößelplatte abgeführt werden. Außerdem ist wegen der schlechten Wärmeleitfähigkeit der für den Aktorkörper 1 verwendeten Keramik bei Aktoren, wie in Fig. 1 gezeigt, deren Länge größer als ihre Breite ist, die Ableitung der Wärme innerhalb der Keramik des Aktorkörpers 1 ungünstig.
Aus diesem Grund ist ein metallischer oder bevorzugt aus Kupfer bestehender Kühlkörper 5 gut wärmeleitend mit den Seitenflächen des Aktorkörpers 1 und mit dem Aktorfuß 6 verbunden. Diese gut wärmeleitende Verbindung ist bei dem in Fig. 1 gezeigten Ausführungsbeispiel durch eine Löt- oder Schweißnaht 11 ausgeführt. Es ist zu erwähnen, dass auf der entgegengesetzen Seite des Aktorkörpers 1, die in Fig. 1 nicht sichtbar ist, ein gleicher Kühlkörper 5 angebracht ist. Bei dem in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel sind außerdem die Zwischenräume zwischen den senkrecht zur Zeichenebene stehenden Seitenflächen des Aktorkörpers 1 und den Federbändern 8 mit einem wärmeleitfähigen Elastomer 9 ausgefüllt, dem ein wärmeleitender Füllstoff zugesetzt ist. Dadurch wird die Wärme zusätzlich durch das Federband 8 zum Aktorfuß 6 abgeleitet, mit dem die Bandfedern 8 wärmeleitend verbunden sind.
Die in Fig. 2 dargestellte Querschnittsansicht des in Fig. 1 gezeigten Ausführungsbeispiels längs der in Fig. 1 ersichtlichen Schnittebene II-II zeigt, dass die Kühlkörper 5 mit zwei gegenüberliegenden Seitenflächen des Aktorkörpers 1, der hier einen quadratischen Querschnitt hat, durch einen elastischen wärmeleitfähigen Klebstoff 4 angeklebt sind. Dieser wärmeleitfähige Klebstoff 4 besteht zum Beispiel aus Silikon-Elastomer das mit einem wärmeleitfähigen Füllstoff gefüllt ist. Silikon-Elastomer hat den Vorteil, dass es hochelastisch ist und somit die Hübe des Aktorkörpers 1 elastisch ausgleicht. Die Querschnittsansicht in Fig. 2 zeigt auch, dass die Elektrodenzuleitungen 7.1, 7.2 an die Seitenflächen des Aktorkörpers 1 führen, die nicht vom Kühlkörper 5 bedeckt sind.
Die Form und die Art der Befestigung des Kühlkörpers bzw. der Kühlkörper 5 am Aktorsockel 6 so, dass eine gut wärmeleitende Verbindung zwischen Kühlkörper 5 und Aktorsockel 6 entsteht, können variieren, was nachfolgend anhand Fig. 3A-3E erläutert wird.
Gemäß Fig. 3A ist ein einstückiger U-förmiger gewinkelter metallischer Kühlkörper 5, bevorzugt aus Kupfer mit dem Boden des U-Profils am Aktorsockel 6 wärmeübertragend befestigt.
Gemäß Fig. 3B sind ein linker Kühlkörper 5.1 und ein rechter Kühlkörper 5.2 durch eine Löt- oder Schweißverbindung 11 wärmeleitend mit dem Aktorfuß 6 verbunden.
Auch in Fig. 3C sind ein linker Kühlkörper 5.1 und ein rechter Kühlkörper 5.2 durch eine Löt- oder Schweißverbindung 11 jeweils mit dem Aktorfuß 6 wärmeleitend verbunden, wobei jedoch die unteren Abschnitte der Kühlkörper 5.1, 5.2 nach außen abgewinkelt sind.
Das in Fig. 3D gezeigte Ausführungsbeispiel unterscheidet sich von den bisher beschriebenen dadurch, dass zwei Kühlkörper 5.1 und 5.2 durch Silberleitkleber 13 mit dem Aktorfuß 6 wärmeleitend verbunden sind.
Bei dem in Fig. 3E gezeigten Ausführungsbeispiel sind ein linker Kühlkörper 5.1 und ein rechter Kühlkörper 5.2 in Form eines Wellenbandes ausgeführt und durch eine Löt- oder Schweißverbindung 11 wärmeleitend mit dem Aktorfuß 6 verbunden. Die als Kühlkörper fungierenden elastischen Metallwellenbänder 5.1 und 5.2 bewirken, dass jeder Kühlkörper elastisch den Aktorhüben folgen kann. Dadurch wird die Beanspruchung des Klebemittels 4 gemindert.
Bei allen in Fig. 3A-3E gezeigten Ausführungsbeispielen kann ein elastischer wärmeleitfähiger Klebstoff, zum Beispiel Silikon-Elastomer zum Verbinden des oder der Kühlkörper 5 bzw. 5.1, 5.2 mit dem Aktorkörper 1 dienen. Dieser Silikon-Elastomer-Klebstoff kann mit wärmeleitfähigen Füllstoff gefüllt sein.
Wie oben bereits anhand des in Fig. 1 gezeigten Ausführungsbeispiel erläutert wurde, können zusätzlich die Bandfedern 8 zur seitlichen Wärmeabfuhr vom Aktorkörper 1 genutzt werden, indem die Zwischenräume zwischen Aktorkörper 1 und Federband 8 mit wärmeleitfähigem Elastomer aufgefüllt sind.
Als weitere zusätzliche Wärmeableitmöglichkeit können auch die Elektrodenleitungen 7 verwendet werden, sofern diese einen ausreichend großen Kabelquerschnitt haben.
Zusammenfassend wird mit dem oben erläuterten metallischen Kühlkörper oder den Kühlkörpern die Wärmeabfuhr vom piezoelektrischen Aktor ermöglicht, ohne dass flüssige Kühlmedien notwendig sind. Dadurch ist der Aktor leichter montierbar und es können keine Leckagen vorkommen. Es sind keine besonderen Dichtungen notwendig, und der gesamte piezoelektrische Aktormodul lässt sich dadurch kostengünstig fertigen.
Ein erfindungsgemäß gestalteter piezoelektrischer Aktor lässt sich zum Beispiel zur Betätigung der Einspritzventile für eine Common-Rail-Einspritzung in Diesel-PKW oder -NKW verwenden.

Claims (12)

1. Piezoelektrischer Aktor, insbesondere zur Betätigung von Steuerventilen oder Einspritzventilen an Verbrennungsmotoren in Kraftfahrzeugen, mit einem piezoelektrischen Aktorkörper (1) insbesondere in Form eines vielschichtigen Laminats aus aufeinandergeschichteten Lagen piezoelektrischen Materials und dazwischenliegenden metallischen bzw. elektrisch leitenden, als Elektroden dienenden Schichten, wobei eine der Stirnseiten des Aktorkörpers (1) an einem gut wärmeleitenden oder metallischen Aktorfuß (6) festgelegt ist, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens ein gut wärmeleitfähiger Kühlkörper (5; 5.1, 5.2) gut wärmeleitend mit den Seitenflächen des Aktorkörpers (1) und mit dem Aktorfuß (6) verbunden ist.
2. Piezoelektrischer Aktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der oder die Kühlkörper (5; 5.1, 5.2) aus Metall, bevorzugt Kupfer, besteht bzw. bestehen.
3. Piezoelektrischer Aktor nach Anspruch 1 oder 2, wobei der Aktorkörper (1) einen rechteckigen oder quadratischen Querschnitt hat, dadurch gekennzeichnet, dass der oder die Kühlkörper (5; 5.1, 5.2) mit zwei gegenüberliegenden Seitenflächen des Aktorkörpers verbunden ist bzw. sind.
4. Piezoelektrischer Aktor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass zwei separate Kühlkörper (5.1 und 5.2) mit zwei gegenüberliegenden Seitenflächen des Aktorkörpers (1) verbunden sind.
5. Piezoelektrischer Aktor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass ein einziger U-förmiger Kühlkörper (5) so gestaltet ist, dass er mit zwei gegenüberliegenden Seitenflächen des Aktorkörpers (1) und mit dessen zum Aktorfuß (6) weisenden Stirnseite verbunden ist.
6. Piezoelektrischer Aktor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die an die Seitenflächen des Aktorkörpers (1) angrenzenden Abschnitte des oder der Kühlkörper (5; 5.1, 5.2) die Form eines Wellenbandes haben.
7. Piezoelektrischer Aktor nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der oder die Kühlkörper (5; 5.1, 5.2) mit einem elastischen wärmeleitfähigen Klebstoff (4) an den gegenüberliegenden Seitenflächen des Aktorkörpers (1) angeklebt ist bzw. sind.
8. Piezoelektrischer Aktor nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der wärmeleitfähige Klebstoff (4) aus einem Silikon-Elastomer besteht.
9. Piezoelektrischer Aktor nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Silikon Elastomer mit wärmeleitfähigem Füllstoff gefüllt ist.
10. Piezoelektrischer Aktor nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass der oder die Kühlkörper (5; 5.1, 5.2) mit dem Aktorfuß (6) verlötet oder verschweißt ist bzw. sind.
11. Piezoelektrischer Aktor nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet dass der oder die Kühlkörper (5; 5.1, 5.2) mit dem Aktorfuß (6) durch einen Silberleitkleber verbunden sind.
12. Piezoelektrischer Aktor, wobei eine die beiden Stirnseiten des Aktorkörpers (1) vorspannende Bandfeder (8) vorgesehen ist, die entlang den von dem oder den Fühlkörper(n) (5; 5.1, 5.2) nicht bedeckten Seitenflächen im Abstand vom Aktorkörper (1) liegt, dadurch gekennzeichnet, dass die Zwischenräume zwischen diesen Seitenflächen des Aktorkörpers (1) und der Bandfeder (8) mit wärmeleitfähigem Elastomer, gegebenenfalls mit zugesetzten wärmeleitendem Füllstoff ausgefüllt sind.
DE19857247A 1998-12-11 1998-12-11 Piezoelektrischer Aktor Expired - Lifetime DE19857247C1 (de)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19857247A DE19857247C1 (de) 1998-12-11 1998-12-11 Piezoelektrischer Aktor
KR1020007008792A KR20010040885A (ko) 1998-12-11 1999-12-03 압전 액추에이터
PCT/DE1999/003873 WO2000036657A1 (de) 1998-12-11 1999-12-03 Piezoelektrischer aktor
JP2000588814A JP2002532658A (ja) 1998-12-11 1999-12-03 圧電式のアクチュエータ
US09/622,027 US6333587B1 (en) 1998-12-11 1999-12-03 Piezoelectric actuator
EP99964392A EP1053569A1 (de) 1998-12-11 1999-12-03 Piezoelektrischer aktor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19857247A DE19857247C1 (de) 1998-12-11 1998-12-11 Piezoelektrischer Aktor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE19857247C1 true DE19857247C1 (de) 2000-01-27

Family

ID=7890781

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19857247A Expired - Lifetime DE19857247C1 (de) 1998-12-11 1998-12-11 Piezoelektrischer Aktor

Country Status (6)

Country Link
US (1) US6333587B1 (de)
EP (1) EP1053569A1 (de)
JP (1) JP2002532658A (de)
KR (1) KR20010040885A (de)
DE (1) DE19857247C1 (de)
WO (1) WO2000036657A1 (de)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1150363A3 (de) * 2000-04-20 2001-12-05 Tokin Ceramics Corporation Piezoelektrisches Vielschichtaktor-Bauelement mit einem an seiner Aussenelektrode befestigten leitenden Element
DE10048430A1 (de) * 2000-09-29 2002-04-25 Bosch Gmbh Robert Piezoelektrischer Aktor
DE10259801A1 (de) * 2002-12-19 2004-07-01 Robert Bosch Gmbh Brennstoffeinspritzventil
DE102005046174A1 (de) * 2005-09-27 2007-04-05 Siemens Ag Spannfeder
WO2007118726A1 (de) * 2006-04-19 2007-10-25 Robert Bosch Gmbh Aktormodul
WO2011020844A1 (de) * 2009-08-20 2011-02-24 Continental Automotive Gmbh Optimierte aktuatoreinheit für ein einspritzventil
EP1919005A3 (de) * 2006-10-31 2011-11-02 Robert Bosch Gmbh Anordnung eines Piezoaktors in einer Hülse eines Piezoaktormoduls
WO2020216414A1 (de) * 2019-04-25 2020-10-29 Pi Ceramic Gmbh Aktuator

Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19914411A1 (de) * 1999-03-30 2000-10-12 Bosch Gmbh Robert Piezoelektrischer Aktor
DE19928176A1 (de) * 1999-06-19 2001-01-04 Bosch Gmbh Robert Piezoaktor
DE10025997A1 (de) * 2000-05-25 2001-12-06 Bosch Gmbh Robert Piezoaktor
DE60142818D1 (de) * 2000-05-31 2010-09-30 Denso Corp Piezoelektrisches Bauelement für eine Einspritzvorrichtung
DE10211107A1 (de) * 2001-07-12 2003-02-13 Ceramtec Ag Monolithischer Vielschichtaktor in einem Gehäuse
DE10230032A1 (de) * 2002-07-04 2004-01-22 Daimlerchrysler Ag Piezoelektrischer Aktor für umströmende Medien sowie Verwendung eines entsprechenden piezoelektrischen Aktors
DE10231624A1 (de) * 2002-07-12 2004-01-29 Robert Bosch Gmbh Piezoelektrisches Bauelement
DE10233906A1 (de) * 2002-07-25 2004-02-19 Siemens Ag Einspritzmodul
US7235916B2 (en) * 2004-06-03 2007-06-26 Zippy Technology Corp. Piezoelectric blades anchoring structure
JP4786326B2 (ja) * 2004-12-20 2011-10-05 Next I&D株式会社 液滴射出装置
DE102005013912A1 (de) * 2005-03-24 2006-09-28 Siemens Ag Piezoaktor
JP4793568B2 (ja) * 2005-07-08 2011-10-12 セイコーエプソン株式会社 アクチュエータ装置、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
EP1854996B1 (de) * 2006-05-08 2008-11-05 Continental Automotive GmbH Piezo-Aktor, Verfahren zum Herstellen eines Piezo-Aktors und Einspritzsystem mit einem solchen
DE102006026152A1 (de) * 2006-06-06 2007-12-13 Robert Bosch Gmbh Anordnung mit einem beschichteten Piezoaktor
DE102006043027A1 (de) * 2006-09-13 2008-03-27 Epcos Ag Verspannelement und Piezoaktor mit dem Verspannelement
DE102006047606A1 (de) * 2006-10-09 2008-04-10 Robert Bosch Gmbh Aktormodul mit einem umhüllten Piezoaktor
US20090134240A1 (en) * 2007-11-27 2009-05-28 Caterpillar Inc. Method of making piezoelectrically actuated device
US8100346B2 (en) 2007-11-30 2012-01-24 Caterpillar Inc. Piezoelectric actuator with multi-function spring and device using same
US8324785B2 (en) * 2009-11-10 2012-12-04 The Regents Of The University Of California Piezoelectric actuators
US9130149B2 (en) 2010-08-26 2015-09-08 Kyocera Corporation Piezoelectric actuator for suppressing disconnection
KR101195531B1 (ko) 2011-03-18 2012-10-30 숭실대학교산학협력단 열전소자를 구비한 피에조 인젝터
JP5717869B2 (ja) * 2011-10-31 2015-05-13 京セラ株式会社 圧電アクチュエータ
JP6029063B2 (ja) * 2013-01-25 2016-11-24 秋田県 並進機構を用いたアクチュエータの減衰方法およびアクチュエータ
BR112020022990A2 (pt) * 2018-05-11 2021-02-02 Matthews International Corporation microválvula e conjunto de jateamento
WO2019215668A1 (en) 2018-05-11 2019-11-14 Matthews International Corporation Micro-valves for use in jetting assemblies
CN116394655A (zh) 2018-05-11 2023-07-07 马修斯国际公司 用于密封喷射组件中使用的微型阀的系统和方法
US11639057B2 (en) 2018-05-11 2023-05-02 Matthews International Corporation Methods of fabricating micro-valves and jetting assemblies including such micro-valves
US10994535B2 (en) 2018-05-11 2021-05-04 Matthews International Corporation Systems and methods for controlling operation of micro-valves for use in jetting assemblies

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4113667A1 (de) * 1991-04-26 1992-11-05 Fraunhofer Ges Forschung Piezo-stellantrieb
US5295288A (en) * 1992-02-18 1994-03-22 Caterpillar Inc. Method of making coating surrounding a piezoelectric solid state motor stack
DE19626671C1 (de) * 1996-07-03 1997-10-16 Fraunhofer Ges Forschung Piezoelektrischer Leistungsaktor mit Kühlung und Verfahren zu seiner Herstellung
DE19650900A1 (de) * 1996-12-07 1998-06-10 Bosch Gmbh Robert Piezoelektrischer Aktuator

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3598506A (en) * 1969-04-23 1971-08-10 Physics Int Co Electrostrictive actuator
US4011474A (en) * 1974-10-03 1977-03-08 Pz Technology, Inc. Piezoelectric stack insulation
US4752712A (en) * 1985-06-10 1988-06-21 Nippon Soken, Inc. Piezoelectric laminate stack
JPS6427228A (en) * 1987-03-25 1989-01-30 Oki Electric Ind Co Ltd Forming method for fine pattern of semiconductor element
JP2893736B2 (ja) * 1989-07-27 1999-05-24 日本電気株式会社 圧電素子の熱膨張特性安定化法
JP2508321B2 (ja) * 1989-12-04 1996-06-19 日本電気株式会社 圧電アクチュエ―タおよびその製造方法
JP2545639B2 (ja) * 1990-07-30 1996-10-23 富士通株式会社 積層型圧電素子
JPH05218519A (ja) * 1992-02-03 1993-08-27 Nec Corp 電歪効果素子
JPH08172227A (ja) * 1994-12-19 1996-07-02 Sumitomo Metal Ind Ltd 積層型圧電アクチュエータ及びその製造方法
JP3506596B2 (ja) * 1998-01-29 2004-03-15 京セラ株式会社 積層型圧電アクチュエータ
JP3506609B2 (ja) * 1998-06-30 2004-03-15 京セラ株式会社 積層型圧電アクチュエータ
JP2000134958A (ja) * 1998-10-29 2000-05-12 Kyocera Corp 圧電アクチュエータ装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4113667A1 (de) * 1991-04-26 1992-11-05 Fraunhofer Ges Forschung Piezo-stellantrieb
US5295288A (en) * 1992-02-18 1994-03-22 Caterpillar Inc. Method of making coating surrounding a piezoelectric solid state motor stack
DE19626671C1 (de) * 1996-07-03 1997-10-16 Fraunhofer Ges Forschung Piezoelektrischer Leistungsaktor mit Kühlung und Verfahren zu seiner Herstellung
DE19650900A1 (de) * 1996-12-07 1998-06-10 Bosch Gmbh Robert Piezoelektrischer Aktuator

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1150363A3 (de) * 2000-04-20 2001-12-05 Tokin Ceramics Corporation Piezoelektrisches Vielschichtaktor-Bauelement mit einem an seiner Aussenelektrode befestigten leitenden Element
DE10048430A1 (de) * 2000-09-29 2002-04-25 Bosch Gmbh Robert Piezoelektrischer Aktor
DE10259801A1 (de) * 2002-12-19 2004-07-01 Robert Bosch Gmbh Brennstoffeinspritzventil
DE102005046174A1 (de) * 2005-09-27 2007-04-05 Siemens Ag Spannfeder
DE102005046174B4 (de) * 2005-09-27 2008-12-04 Siemens Ag Spannfeder
WO2007118726A1 (de) * 2006-04-19 2007-10-25 Robert Bosch Gmbh Aktormodul
EP1919005A3 (de) * 2006-10-31 2011-11-02 Robert Bosch Gmbh Anordnung eines Piezoaktors in einer Hülse eines Piezoaktormoduls
WO2011020844A1 (de) * 2009-08-20 2011-02-24 Continental Automotive Gmbh Optimierte aktuatoreinheit für ein einspritzventil
WO2020216414A1 (de) * 2019-04-25 2020-10-29 Pi Ceramic Gmbh Aktuator

Also Published As

Publication number Publication date
KR20010040885A (ko) 2001-05-15
US6333587B1 (en) 2001-12-25
WO2000036657A1 (de) 2000-06-22
EP1053569A1 (de) 2000-11-22
JP2002532658A (ja) 2002-10-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19857247C1 (de) Piezoelektrischer Aktor
EP1053425B1 (de) Piezoelektrischer antrieb
EP1053423B1 (de) Piezoelektrischer aktor
EP1053424B1 (de) Piezoelektrischer aktor
EP1051761B1 (de) Piezoelektrischer aktor
EP2308274B1 (de) Leiterplatine mit elektronischem bauelement
DE10245109A1 (de) Injektor, insbesondere Kraftstoff-Einspritzventil, mit einem piezoelektrischen Aktor
DE19849203A1 (de) Brennstoffeinspritzventil
DE102013214988A1 (de) Thermoelektrisches Modul
DE102019128721A1 (de) Leistungselektronikvorrichtung für eine fremderregte Synchronmaschine und Kraftfahrzeug
EP1525628A2 (de) Piezoelektrischer aktor für umströmende medien sowie verwendung eines entsprechenden piezoelektrischen aktors
DE102004022351B4 (de) Dehnstoffelement
WO2010055071A1 (de) Piezoaktor in vielschichtbauweise und verfahren zur befestigung einer aussenelektrode bei einem piezoaktor
DE102018218667A1 (de) PTC-Heizmodul und ein Verfahren zum Herstellen des PTC-Heizmoduls
DE19909451A1 (de) Injektor mit einem Piezo-Mehrlagenaktor
DE102005014163B4 (de) Piezoelektrische Aktoreinheit mit verbesserter Wärmeleitfähigkeit sowie Kraftstoffinjektor
EP2984689B1 (de) Piezoelektrische aktoreinrichtung und damit ausgestattetes ventil
DE102005013912A1 (de) Piezoaktor
EP2417346B1 (de) Piezoelektrischer aktor und brennstoffeinspritzventil
EP1510686B1 (de) Heizeinrichtung für ein zu beheizendes Medium
DE102010061946A1 (de) Piezoelektrisches Aktormodul und Brennstoffeinspritzventil
DE102008004246A1 (de) Piezoelektrisches Aktormodul
DE102005011366A1 (de) Piezoelektrische Aktoreinheit mit verbesserter Wärmeleitfähigkeit sowie Kraftstoffinjektor
DE102005005552A1 (de) Brennstoffeinspritzventil
DE102005046124A1 (de) Piezoelektrischer Aktor

Legal Events

Date Code Title Description
8100 Publication of patent without earlier publication of application
D1 Grant (no unexamined application published) patent law 81
8364 No opposition during term of opposition
R071 Expiry of right