JPH0224033A - Ｘｙテーブル - Google Patents
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- JPH0224033A JPH0224033A JP17098688A JP17098688A JPH0224033A JP H0224033 A JPH0224033 A JP H0224033A JP 17098688 A JP17098688 A JP 17098688A JP 17098688 A JP17098688 A JP 17098688A JP H0224033 A JPH0224033 A JP H0224033A
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- 230000036316 preload Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/40—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using ball, roller or wheel arrangements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
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- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
- B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、工業用ロボット等を載架してＸＹ平面上を移
動するＸＹテーブルに関するものである。
動するＸＹテーブルに関するものである。
［従来の技術］
従来この種のテーブルは、固定部上に設けられたガイド
に沿ってＸ方向に直線移動する下部テーブルと、この下
部テーブル上に載置され下部テーブルとは直交するＹ方
向に移動され、下部テーブルの移動とを合せて２次元方
向に平面運動をする上部テーブルとからなり、下部テー
ブル用の駆動モーターは固定部上に設置し、上部テーブ
ル用の駆動モーターは下部テーブル上に載置したものが
あった。しかしながら、上記構造のＸＹテーブルはその
下部テーブルの上に上部テーブル及びこの上部テーブル
を駆動する・ための駆動モーターが搭載されるため、こ
の下部テーブルを駆動する駆動モーターに大きな荷重が
作用する他、この下部テーブルにはその全体の土山に応
じた大きな慣性力が作用し、特に高速往復運動が要求さ
れる際に高精度の動きが得にくいという欠点を有してい
た。
に沿ってＸ方向に直線移動する下部テーブルと、この下
部テーブル上に載置され下部テーブルとは直交するＹ方
向に移動され、下部テーブルの移動とを合せて２次元方
向に平面運動をする上部テーブルとからなり、下部テー
ブル用の駆動モーターは固定部上に設置し、上部テーブ
ル用の駆動モーターは下部テーブル上に載置したものが
あった。しかしながら、上記構造のＸＹテーブルはその
下部テーブルの上に上部テーブル及びこの上部テーブル
を駆動する・ための駆動モーターが搭載されるため、こ
の下部テーブルを駆動する駆動モーターに大きな荷重が
作用する他、この下部テーブルにはその全体の土山に応
じた大きな慣性力が作用し、特に高速往復運動が要求さ
れる際に高精度の動きが得にくいという欠点を有してい
た。
また、この欠点を解決したものとして、第１のモーター
によってＸ方向に直進駆動を与えられ、固定部上を１次
元運動する第１のテーブルと、第２のモーターによって
Ｙ方向に直進駆動を与えられ、固定部上を１次元運動す
る第２のテーブルと、第２テーブル上にＸ方向に運動可
能に載置され、第２テーブルの運動と合せて２次元運動
をする移動台と、移動台をＹ方向に移動可能に第１テー
ブルに連結し、かつ、第１テーブルの運動を移動台に伝
達する連結手段とから構成されるＸＹテーブルが知られ
ている（特公昭５９−５２５４０ ）。このＸＹテーブ
ルにおいては、移動板をＸ方向に駆動する第１モーター
を固定部上に設置し、第１テーブル及びこれと移動板と
を連結する連結手段を介してＸ方向の駆動力を移動板に
伝達する。このため第２テーブル上の重量が第１モータ
ーの重四分だけ軽くなり、第２テーブルに作用する慣性
力がその分軽減されるので、第２テーブル上に載置され
た移動板の送り及び停止の精度が向上した。
によってＸ方向に直進駆動を与えられ、固定部上を１次
元運動する第１のテーブルと、第２のモーターによって
Ｙ方向に直進駆動を与えられ、固定部上を１次元運動す
る第２のテーブルと、第２テーブル上にＸ方向に運動可
能に載置され、第２テーブルの運動と合せて２次元運動
をする移動台と、移動台をＹ方向に移動可能に第１テー
ブルに連結し、かつ、第１テーブルの運動を移動台に伝
達する連結手段とから構成されるＸＹテーブルが知られ
ている（特公昭５９−５２５４０ ）。このＸＹテーブ
ルにおいては、移動板をＸ方向に駆動する第１モーター
を固定部上に設置し、第１テーブル及びこれと移動板と
を連結する連結手段を介してＸ方向の駆動力を移動板に
伝達する。このため第２テーブル上の重量が第１モータ
ーの重四分だけ軽くなり、第２テーブルに作用する慣性
力がその分軽減されるので、第２テーブル上に載置され
た移動板の送り及び停止の精度が向上した。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、上記構造のＸＹテーブルにおいては、第
２テーブルと移動台は重ね合せ構造となっているため、
第２モーターはこれら第２テーブルと移動台の両方を移
動させなければならず、特に高速往復運動が要求される
今日では依然として第２モーターに対する負荷が大きく
、移動台にＹ方向に作用する慣性力によってＹ方向の送
り及び停止の精度をある一定以上向上させることができ
ないほか、移動台の高さを低く押えることができないと
いう問題点を有していた。
２テーブルと移動台は重ね合せ構造となっているため、
第２モーターはこれら第２テーブルと移動台の両方を移
動させなければならず、特に高速往復運動が要求される
今日では依然として第２モーターに対する負荷が大きく
、移動台にＹ方向に作用する慣性力によってＹ方向の送
り及び停止の精度をある一定以上向上させることができ
ないほか、移動台の高さを低く押えることができないと
いう問題点を有していた。
本発明は、この様な点に鑑みてなされたものであり、移
動台の２次元移動手段を改良することにより、移動台の
Ｘ方向及びＹ方向の送り及び停止の精度を確保し、且つ
、移動台の高さを押えてコンパクトなＸＹテーブルを得
ることを目的としている。
動台の２次元移動手段を改良することにより、移動台の
Ｘ方向及びＹ方向の送り及び停止の精度を確保し、且つ
、移動台の高さを押えてコンパクトなＸＹテーブルを得
ることを目的としている。
［課題を解決するための手段１
上記目的を達成するために、本発明におけるＸＹテーブ
ルは、下面側に２次元移動手段を有して平面内をＸ方向
及びＹ方向に移動可能な移動テーブルと、この移動テー
ブルの近傍に配設され、下面側に１次元移動手段を有し
てＸ方向のみ移動可能な駆動テーブルと、この駆動テー
ブルと上記移動テーブルとの間をＹ方向に移動可能に連
結し、駆動テーブルのＸ方向移動を上記移動テーブルに
伝達する連結手段とを備えており、上記移動テーブルの
２次元移動手段が、移動テーブルの下面側にそのＸ方向
に沿って設けられた下向き軌道台と、その下方にＹ方向
に沿って配設された上向き軌道台と、これら下向き軌道
台と上向き軌道台の交差点でこれら下向き軌道台と上向
き軌道台を跨ぎ、転動体を介して各下向き軌道台と上向
き軌道台に対しそれぞれ四方向の荷重を負荷しながら摺
動する直交直線摺動台とで構成されていることを特徴と
するものである。
ルは、下面側に２次元移動手段を有して平面内をＸ方向
及びＹ方向に移動可能な移動テーブルと、この移動テー
ブルの近傍に配設され、下面側に１次元移動手段を有し
てＸ方向のみ移動可能な駆動テーブルと、この駆動テー
ブルと上記移動テーブルとの間をＹ方向に移動可能に連
結し、駆動テーブルのＸ方向移動を上記移動テーブルに
伝達する連結手段とを備えており、上記移動テーブルの
２次元移動手段が、移動テーブルの下面側にそのＸ方向
に沿って設けられた下向き軌道台と、その下方にＹ方向
に沿って配設された上向き軌道台と、これら下向き軌道
台と上向き軌道台の交差点でこれら下向き軌道台と上向
き軌道台を跨ぎ、転動体を介して各下向き軌道台と上向
き軌道台に対しそれぞれ四方向の荷重を負荷しながら摺
動する直交直線摺動台とで構成されていることを特徴と
するものである。
この様な技術的手段において、上記駆動テーブルの１次
元移動手段としては、駆動テーブルが抵抗なくＸ方向に
摺動可能であれば適宜設計変更して差支えないが、外部
から荷重が作用する際のテーブルのガタつきを防ぐため
に、Ｘ方向に沿って配設された軌道台と、この軌道台を
跨ぐように配設され、内面側に設けられた転動体を介し
て四方向の荷重を負荷しながら摺動する摺動台とで構成
されるのが好ましい。
元移動手段としては、駆動テーブルが抵抗なくＸ方向に
摺動可能であれば適宜設計変更して差支えないが、外部
から荷重が作用する際のテーブルのガタつきを防ぐため
に、Ｘ方向に沿って配設された軌道台と、この軌道台を
跨ぐように配設され、内面側に設けられた転動体を介し
て四方向の荷重を負荷しながら摺動する摺動台とで構成
されるのが好ましい。
また、上記軌道台及び摺動台としては、作用する四方向
の荷重を負荷可能であれば形状構成等を適宜選択して差
支えなく、例えば、軌道台はその両側部長さ方向に沿っ
て転動体が転走する転走溝を有し、摺動台は、少なくと
も下面側又は上面側の一方に軌道台の格上半分の凸部が
嵌合する凹部が形成され、その内壁には軌道台の各転走
溝に相対応する位置に負荷転走溝を有すると共にこれら
各負荷転走溝に対応した無負荷転走部を有する摺動台本
体と、この摺動台本体の前後両端面に取付けられ、内面
側には上記負荷転走溝と無負荷転走部の両端部間を連通
連結して転動体無限軌道を形成する案内溝を有する一対
の蓋体と、上記転動体無限軌道内を循環し、摺動台本体
の負荷転走溝と軌道台の転走溝に沿って摺動台本体を案
内する多数の転動体とで構成してもよい。
の荷重を負荷可能であれば形状構成等を適宜選択して差
支えなく、例えば、軌道台はその両側部長さ方向に沿っ
て転動体が転走する転走溝を有し、摺動台は、少なくと
も下面側又は上面側の一方に軌道台の格上半分の凸部が
嵌合する凹部が形成され、その内壁には軌道台の各転走
溝に相対応する位置に負荷転走溝を有すると共にこれら
各負荷転走溝に対応した無負荷転走部を有する摺動台本
体と、この摺動台本体の前後両端面に取付けられ、内面
側には上記負荷転走溝と無負荷転走部の両端部間を連通
連結して転動体無限軌道を形成する案内溝を有する一対
の蓋体と、上記転動体無限軌道内を循環し、摺動台本体
の負荷転走溝と軌道台の転走溝に沿って摺動台本体を案
内する多数の転動体とで構成してもよい。
また、上記連結手段としては、駆動テーブルのＸ方向移
動量を正確に移動テーブルに伝達し、且つ、移動テーブ
ルをＹ方向に自在に移動可能に駆動テーブルに連結する
ものであれば、適宜選定構成して構わない。
動量を正確に移動テーブルに伝達し、且つ、移動テーブ
ルをＹ方向に自在に移動可能に駆動テーブルに連結する
ものであれば、適宜選定構成して構わない。
［作用］
上記技術的手段は次の様に作用する。
直交直線摺動台は、互いに直交する上向き軌道台及び下
向き軌道台に跨がり、内面側に有する複数の転動体を介
して、上向き軌道台上をＹ方向に摺動すると共に下向き
軌道台をＸ方向に搬送可能な機能を有している。これに
より、テーブルの重ね合せ構造を用いずに移動テーブル
の２次元移動を達成可能である。
向き軌道台に跨がり、内面側に有する複数の転動体を介
して、上向き軌道台上をＹ方向に摺動すると共に下向き
軌道台をＸ方向に搬送可能な機能を有している。これに
より、テーブルの重ね合せ構造を用いずに移動テーブル
の２次元移動を達成可能である。
また、軌道台上を４方向の荷重を負荷しながら摺動する
摺動台は、その摺動台内面側に設けられ軌道台に沿って
転勤する複数の転動体に予圧を付与できるので、摺動台
に外部から荷重が作用した際に摺動台内部に隙間が形成
されるのを防ぎ、摺動台が軌道台に対してガタつくのを
防止可能である。
摺動台は、その摺動台内面側に設けられ軌道台に沿って
転勤する複数の転動体に予圧を付与できるので、摺動台
に外部から荷重が作用した際に摺動台内部に隙間が形成
されるのを防ぎ、摺動台が軌道台に対してガタつくのを
防止可能である。
［実施例］
以下、添附図面に示す実施例に基づいて、本発明を具体
的に説明する。
的に説明する。
第１図に示すように、この実施例のＸＹテーブルは、第
１モーター（１）で駆動を与えられ、下面側にはベツド
又はテーブル等の固定部（５）上をＸ方向に移動可能な
１次元移動手段を有してベツド又はテーブル等の固定部
（５）上をＸ方向に移動可能な駆動テーブル（６）と、
第２モーター（２）でＸ方向と直交するＹ方向の駆動を
与えられ、ＸＹ両方向に移動可能な２次元移動手段を有
して固定部（５）上をＸＹ両方向に移動可能な移動テー
ブル（１１）と、上記移動テーブル（１１）下面にその
Ｙ方向に沿って取付けられた軌道台（２０）と、この軌
道台（２０）を跨ぐように配設され、内面側に設けられ
たボール列（２２）を介して四方向の荷重を負荷しなが
ら摺動する摺動台（２３）と、この摺動台（２３）と上
記駆動テーブル（６）とを連結する連結腕（２４）とで
構成されている。
１モーター（１）で駆動を与えられ、下面側にはベツド
又はテーブル等の固定部（５）上をＸ方向に移動可能な
１次元移動手段を有してベツド又はテーブル等の固定部
（５）上をＸ方向に移動可能な駆動テーブル（６）と、
第２モーター（２）でＸ方向と直交するＹ方向の駆動を
与えられ、ＸＹ両方向に移動可能な２次元移動手段を有
して固定部（５）上をＸＹ両方向に移動可能な移動テー
ブル（１１）と、上記移動テーブル（１１）下面にその
Ｙ方向に沿って取付けられた軌道台（２０）と、この軌
道台（２０）を跨ぐように配設され、内面側に設けられ
たボール列（２２）を介して四方向の荷重を負荷しなが
ら摺動する摺動台（２３）と、この摺動台（２３）と上
記駆動テーブル（６）とを連結する連結腕（２４）とで
構成されている。
第２図及び第３図に示すように、駆動テーブル（６）は
略平板形状であり、そのＸ方向の一端には連結腕（２４
）を取付けるための切欠部がＹ方向に沿って形成されて
いる。駆動テーブル（６）下面には複数のボール列を具
備する４基の摺動台（８）が、駆動テーブル（６）上面
より垂直に貫通する固定ボルトによってＸ方向に囲動可
能に固定されており、このＰＩＪｖＪ台（８）が固定部
（５）上にＸ方向に沿って固定された二条の軌道台（９
）上を摺動することによって、駆動テーブル（６）が自
在にＸ方向に移動可能となる。なお、駆動テーブル（６
）は、固定部（５）にブラケット（３）を介して固定さ
れ、制＠装置（図示せず）から出力される指令信号に基
づいて駆動される第１モーター（１）からの回転動力を
、送りネジ（１５）及び送りナツト（１６）を介して、
直線運動の動力として受取り、上記軌道台（９）上を駆
動される（第５図参照）。
略平板形状であり、そのＸ方向の一端には連結腕（２４
）を取付けるための切欠部がＹ方向に沿って形成されて
いる。駆動テーブル（６）下面には複数のボール列を具
備する４基の摺動台（８）が、駆動テーブル（６）上面
より垂直に貫通する固定ボルトによってＸ方向に囲動可
能に固定されており、このＰＩＪｖＪ台（８）が固定部
（５）上にＸ方向に沿って固定された二条の軌道台（９
）上を摺動することによって、駆動テーブル（６）が自
在にＸ方向に移動可能となる。なお、駆動テーブル（６
）は、固定部（５）にブラケット（３）を介して固定さ
れ、制＠装置（図示せず）から出力される指令信号に基
づいて駆動される第１モーター（１）からの回転動力を
、送りネジ（１５）及び送りナツト（１６）を介して、
直線運動の動力として受取り、上記軌道台（９）上を駆
動される（第５図参照）。
第５図及び第６図に示すように、移動テーブル（１１）
の下面には二条の下向き軌道台（１２）がＸ方向に沿っ
て固定ボルトで固定されており、また、移動テーブル（
１１）の下面側の固定部（５）上にはＹ方向に沿って二
条の上向き軌道台（２１）が固定ボルトで固定されてい
る。これら下向き軌道台（１２）と上向き軌道台（１３
）の４つの交差点には、４基の直交直線摺動台（１４）
が組込まれており、この直交直線摺動台（１４）は、そ
の略下半分がＹ方向に沿って転％）Ｊするボール列（２
８）を複数備えたＹ方向転走部（３０）となっており、
また、路上半分はＸ方向に沿って転動するボール列（２
９）を複数備えたＸ方向転走部（３１）となっている〈
第７図、第８図参照）。
の下面には二条の下向き軌道台（１２）がＸ方向に沿っ
て固定ボルトで固定されており、また、移動テーブル（
１１）の下面側の固定部（５）上にはＹ方向に沿って二
条の上向き軌道台（２１）が固定ボルトで固定されてい
る。これら下向き軌道台（１２）と上向き軌道台（１３
）の４つの交差点には、４基の直交直線摺動台（１４）
が組込まれており、この直交直線摺動台（１４）は、そ
の略下半分がＹ方向に沿って転％）Ｊするボール列（２
８）を複数備えたＹ方向転走部（３０）となっており、
また、路上半分はＸ方向に沿って転動するボール列（２
９）を複数備えたＸ方向転走部（３１）となっている〈
第７図、第８図参照）。
また、直交直線摺動台（１４）は、固定部（５）にブラ
ケット（３）を介して固定され、制御装置（図示せず）
から出力される指令信号に基づいて駆動される第２モー
ター（２）の回転動力を、送りネジ（１５）及び送りナ
ツト（１６）を介して、Ｙ方向の直線運動の動力として
受取り、移動テーブル（１１）をＸ方向に移動自在に担
持したままＹ方向に駆動される。
ケット（３）を介して固定され、制御装置（図示せず）
から出力される指令信号に基づいて駆動される第２モー
ター（２）の回転動力を、送りネジ（１５）及び送りナ
ツト（１６）を介して、Ｙ方向の直線運動の動力として
受取り、移動テーブル（１１）をＸ方向に移動自在に担
持したままＹ方向に駆動される。
これにより、移動テーブル（１１）は重ね合せ構造を用
いずにＸＹ両方向に移動可能となるので、第２モーター
がＹ方向に駆動する重量が軽くなり、移動テーブル（１
１）に作用する慣性力が軽減されるので、移動テーブル
（１１）のＹ方向の送り及び停止の精度が向上する。
いずにＸＹ両方向に移動可能となるので、第２モーター
がＹ方向に駆動する重量が軽くなり、移動テーブル（１
１）に作用する慣性力が軽減されるので、移動テーブル
（１１）のＹ方向の送り及び停止の精度が向上する。
第３図及び第９図に示すように、上記移動テーブル（１
１）下面の側方には、Ｙ方向に沿って軌道台（２０）が
固定ボルト（２１）で固定されており、この軌道台（２
０）には軌道台（２０）に沿って転勤する複数のボール
列（２２）を有する摺動台（２３）が組込まれている。
１）下面の側方には、Ｙ方向に沿って軌道台（２０）が
固定ボルト（２１）で固定されており、この軌道台（２
０）には軌道台（２０）に沿って転勤する複数のボール
列（２２）を有する摺動台（２３）が組込まれている。
駆動テーブル（６）と上記摺動台（２３）を連結する連
結腕（２４）は長方形の略平板形状であり、連結腕（２
４）上面の中央付近には側面に上記摺動台（２３）の取
付は基準面を有する突起部（２５）が形成される一方、
側端部にも突起部（２６）が形成され、摺動台（２３）
側面に予圧を付与するための調節ボルト（２７）が取付
けられている。この連結腕（２４）の一方の端部は上面
から下面に垂直に貫通する固定ボルトで駆動テーブル（
１１）上に固定され、また、他方の端部は、上記摺動台
（２３）がその側面を上記突起部（２５）側面に当接さ
せるように調節後、連結腕（２４）下面から上面に垂直
に貫通づる固定ボルト（２８）によって摺動台（２３）
に固定されている。これにより、移動テーブル（１１）
はＹ方向に移動可能に駆動テーブル（６）と連結される
ので、ＸＹテーブル使用時において移動テーブル（１１
）は、第２モーター（２）によって直交直線摺動台（１
４）と共にＹ方向に駆動され、かつ、第１モーター（１
）によって駆動テーブル（６）と共にＸ方向に駆動され
、合せて２次元の平面移動をすることとなる。
結腕（２４）は長方形の略平板形状であり、連結腕（２
４）上面の中央付近には側面に上記摺動台（２３）の取
付は基準面を有する突起部（２５）が形成される一方、
側端部にも突起部（２６）が形成され、摺動台（２３）
側面に予圧を付与するための調節ボルト（２７）が取付
けられている。この連結腕（２４）の一方の端部は上面
から下面に垂直に貫通する固定ボルトで駆動テーブル（
１１）上に固定され、また、他方の端部は、上記摺動台
（２３）がその側面を上記突起部（２５）側面に当接さ
せるように調節後、連結腕（２４）下面から上面に垂直
に貫通づる固定ボルト（２８）によって摺動台（２３）
に固定されている。これにより、移動テーブル（１１）
はＹ方向に移動可能に駆動テーブル（６）と連結される
ので、ＸＹテーブル使用時において移動テーブル（１１
）は、第２モーター（２）によって直交直線摺動台（１
４）と共にＹ方向に駆動され、かつ、第１モーター（１
）によって駆動テーブル（６）と共にＸ方向に駆動され
、合せて２次元の平面移動をすることとなる。
上記の様に構成されたＸＹテーブルの各摺動台（８，１
４，２３）は、上述したように、その内部に軌道台に沿
って転勤する複数のボール列を有しており、このボール
列を摺動台に作用するラジアル荷重、逆ラジアル荷重、
横方向荷重の四方向の荷重を負荷可能なように配置し、
個々のボールに予圧を付与してその弾性変形を利用すれ
ば、摺動台に外部から荷重が作用した際に、摺動台内部
に隙間が形成されるのを防ぎ、摺動台が軌道台に対して
ガタつくのを防止可能である。このため、移動テーブル
（１１）と駆動テーブル（６）の移動手段を構成する各
摺動台（８及び１４）は、送り及び停止におけるテーブ
ル（６１１）の位置精度を向上させると共に、高速往復
運動におけるテーブル（６，１１）の運動追従性を向上
させる。また、移動テーブル（１１）と駆動テーブル（
６）の連結手段を構成する摺動台（２３）は、駆動テー
ブル（６）の送り及び停止の精度を直接に移動テーブル
（１１）のＸ方向の送り及び停止の精度に反映させる。
４，２３）は、上述したように、その内部に軌道台に沿
って転勤する複数のボール列を有しており、このボール
列を摺動台に作用するラジアル荷重、逆ラジアル荷重、
横方向荷重の四方向の荷重を負荷可能なように配置し、
個々のボールに予圧を付与してその弾性変形を利用すれ
ば、摺動台に外部から荷重が作用した際に、摺動台内部
に隙間が形成されるのを防ぎ、摺動台が軌道台に対して
ガタつくのを防止可能である。このため、移動テーブル
（１１）と駆動テーブル（６）の移動手段を構成する各
摺動台（８及び１４）は、送り及び停止におけるテーブ
ル（６１１）の位置精度を向上させると共に、高速往復
運動におけるテーブル（６，１１）の運動追従性を向上
させる。また、移動テーブル（１１）と駆動テーブル（
６）の連結手段を構成する摺動台（２３）は、駆動テー
ブル（６）の送り及び停止の精度を直接に移動テーブル
（１１）のＸ方向の送り及び停止の精度に反映させる。
尚、上記実施例においては各摺動台に具備される転動体
としてボールを使用した場合について説明したが、転動
体としては円筒コロ又は球面コロを使用しても同様の効
果が得られる。
としてボールを使用した場合について説明したが、転動
体としては円筒コロ又は球面コロを使用しても同様の効
果が得られる。
［発明の効果］
本発明のＸＹテーブルによれば、移動テーブルの２次元
移動手段を直交直線摺動台によって構成することにより
、重ね合せ構造を用いずに２次元移動を達成可能であり
、移動テーブルの移動手段自体の重量が軽減されるので
、移動テーブルに作用する慣性力が減少し移動テーブル
のＹ方向位置精度が向上すると共に、移動テーブルのテ
ーブル高さが低くなり、コンパクトなＸＹテーブルが得
られる。
移動手段を直交直線摺動台によって構成することにより
、重ね合せ構造を用いずに２次元移動を達成可能であり
、移動テーブルの移動手段自体の重量が軽減されるので
、移動テーブルに作用する慣性力が減少し移動テーブル
のＹ方向位置精度が向上すると共に、移動テーブルのテ
ーブル高さが低くなり、コンパクトなＸＹテーブルが得
られる。
また、駆動テーブル及び移動テーブルの移動手段である
摺動台は、四方向の荷重を負荷しながら軌道台上を摺動
し、その層動台内面側に設けられた転動体に予圧を付与
することができるので、外部から荷重が作用した際の摺
動台の内部隙間の形成を防ぎ、駆動テーブルと移動テー
ブルの送り及び停止における位置精度、及び高速運動時
における運動追従性を向上させる。
摺動台は、四方向の荷重を負荷しながら軌道台上を摺動
し、その層動台内面側に設けられた転動体に予圧を付与
することができるので、外部から荷重が作用した際の摺
動台の内部隙間の形成を防ぎ、駆動テーブルと移動テー
ブルの送り及び停止における位置精度、及び高速運動時
における運動追従性を向上させる。
第１図は本発明におけるＸＹテーブルの第１実施例を示
す概略斜視図、第２図、第３図及び第４図はその平面図
、正面図及び側面図、第５図は第２図のＡ−Ａ断面図、
第６図は第２図のＢ−Ｂ断面図、第７図は移動テーブル
の移動手段である直交直線Ｐｉ初台を示す側面図、第８
図は第７図のＥＥ断面図、第９図は第２図のｃ−ｃ断面
図、第１０図は第２図のＤ−Ｄ断面図である。 ［符＠説明］ １：第１モーター ２：第２モーター ５：固定部 ６：駆動テーブル ８；駆動テーブル摺動台 ９：駆動テーブル軌道台 １１：移動テーブル １２：下向き軌道台 １３：上向き軌道台 １４；直交直線摺動台 １５・送りネジ １６：送りナツト ２０：連結手段用軌道台 連結手段用摺動台 連結腕 連結腕中央垂下部 連結腕側端垂下部 調節ボルト
す概略斜視図、第２図、第３図及び第４図はその平面図
、正面図及び側面図、第５図は第２図のＡ−Ａ断面図、
第６図は第２図のＢ−Ｂ断面図、第７図は移動テーブル
の移動手段である直交直線Ｐｉ初台を示す側面図、第８
図は第７図のＥＥ断面図、第９図は第２図のｃ−ｃ断面
図、第１０図は第２図のＤ−Ｄ断面図である。 ［符＠説明］ １：第１モーター ２：第２モーター ５：固定部 ６：駆動テーブル ８；駆動テーブル摺動台 ９：駆動テーブル軌道台 １１：移動テーブル １２：下向き軌道台 １３：上向き軌道台 １４；直交直線摺動台 １５・送りネジ １６：送りナツト ２０：連結手段用軌道台 連結手段用摺動台 連結腕 連結腕中央垂下部 連結腕側端垂下部 調節ボルト
Claims (3)
- （１）下面側に２次元移動手段を有して平面内をＸ方向
及びＹ方向に移動可能な移動テーブル（１１）と、この
移動テーブル（１１）の近傍に配設され、下面側に１次
元移動手段を有してＸ方向のみ移動可能な駆動テーブル
（６）と、この駆動テーブル（６）と上記移動テーブル
（１１）との間をＹ方向に移動可能に連結し、駆動テー
ブル（６）のＸ方向移動を上記移動テーブル（１１）に
伝達する連結手段とを備えており、上記移動テーブル（
１１）の２次元移動手段が、移動テーブル（１１）下面
にそのＸ方向に沿つて設けられた下向き軌道台（１２）
と、その下方にＹ方向に沿つて配設された上向き軌道台
（１３）と、これら下向き軌道台（１２）と上向き軌道
台（１３）の交差点でこれら下向き軌道台（１２）と上
向き軌道台（１３）を跨ぎ、複数の転動体を介して各下
向き軌道台（１２）と上向き軌道台（１３）に対しそれ
ぞれ四方向の荷重を負荷しながら摺動する直交直線摺動
台（１４）とで構成されることを特徴とするＸＹテーブ
ル。 - （２）駆動テーブル（６）の１次元移動手段が、そのＸ
方向に沿って配設された軌道台（９）と、この軌道台（
９）を跨ぐように配設され、内面側に設けられた複数の
転動体を介して四方向の荷重を負荷しながら摺動する摺
動台（８）とで構成されていることを特徴とする請求項
（１）記載のＸＹテーブル。 - （３）軌道台（９、１２、１３）は、その両側部長さ方
向に沿つて転動体が転走する転走溝を有し、摺動台（８
、１４）は、少なくとも下面側又は上面側の一方に軌道
台（９、１２、１３）の路上半分の凸部が嵌合する凹部
が形成され、その内壁には軌道台（９、１２、１３）の
各転走溝に相対応する位置に負荷転走溝を有すると共に
これら各負荷転走溝に対応した無負荷転走部を有する摺
動台本体と、この摺動台本体の前後両端面に取付けられ
、内面側には上記負荷転走溝と無負荷転走部の両端部間
を連通連結して転動体無限軌道を形成する案内溝を有す
る一対の蓋体と、上記転動体無限軌道内を循環し、摺動
台本体の負荷転走溝と軌道台の転走溝との間で荷重を負
荷しつつ軌道台（９、１２、１３）に沿つて摺動台本体
を案内する多数の転動体とで構成されていることを特徴
とする請求項（１）及び（２）記載のＸＹテーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17098688A JPH0224033A (ja) | 1988-07-11 | 1988-07-11 | Ｘｙテーブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17098688A JPH0224033A (ja) | 1988-07-11 | 1988-07-11 | Ｘｙテーブル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0224033A true JPH0224033A (ja) | 1990-01-26 |
Family
ID=15915007
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17098688A Pending JPH0224033A (ja) | 1988-07-11 | 1988-07-11 | Ｘｙテーブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0224033A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5317997A (en) * | 1992-12-03 | 1994-06-07 | Komatsu Zenoah Co. | Air inlet system of an engine |
| US5453727A (en) * | 1991-07-16 | 1995-09-26 | Asahi Kasai Kogyo Kabushiki Kaisha | Semiconductor sensors and method for fabricating the same |
| US6854401B2 (en) * | 2003-02-28 | 2005-02-15 | Kun Yi Lin | Working table having stable support |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5952540A (ja) * | 1982-09-20 | 1984-03-27 | 株式会社富士電機総合研究所 | 電磁式粉砕混合等処理装置 |
| JPS6228146A (ja) * | 1985-07-26 | 1987-02-06 | Hiroshi Teramachi | リニアモ−タ付ｘｙテ−ブル |
-
1988
- 1988-07-11 JP JP17098688A patent/JPH0224033A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5952540A (ja) * | 1982-09-20 | 1984-03-27 | 株式会社富士電機総合研究所 | 電磁式粉砕混合等処理装置 |
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5453727A (en) * | 1991-07-16 | 1995-09-26 | Asahi Kasai Kogyo Kabushiki Kaisha | Semiconductor sensors and method for fabricating the same |
| US5317997A (en) * | 1992-12-03 | 1994-06-07 | Komatsu Zenoah Co. | Air inlet system of an engine |
| US6854401B2 (en) * | 2003-02-28 | 2005-02-15 | Kun Yi Lin | Working table having stable support |
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