WO2005109016A1

WO2005109016A1 - Ｔｃｐハンドリング装置

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Publication number: WO2005109016A1
Application number: PCT/JP2004/006680
Authority: WO
Inventors: Hisashi Murano; Kiyoshi Shimizu; Syuuichi Kaneko
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2004-05-12
Filing date: 2004-05-12
Publication date: 2005-11-17
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Abstract

　テープ上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープ５を、プッシャユニット３によって支持しつつ、テストヘッドに電気的に接続されているプローブカード８に押圧し、ＴＣＰの外部端子をプローブ８１に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドラ２において、プッシャユニット３は、トルクモータ４１と、そのトルクモータ４１の駆動によってキャリアテープ５に所定の張力を付与することのできるテンションスプロケット３５ａとを備えており、トルクモータ４１の駆動軸４１１と、テンションスプロケット３５ａの回転軸３５１との間には、振動を吸収することのできる接続部材（フレキシブルカップリング）４３が介在している。

Description

T C Pハンドリング装置技術分野

本発明は、 I Cデバイスの 1種である T C P (Tape Carrier Packag e) や C〇 F (Chip On Film) (以下、 T C P、 C〇 F、その他 TAB (Tape Automated Bonding)実明装技術によって製造されたデバイスを纏めて「T C P」という。）を試験するのに用いられる T C Pハンドリング装置に関するものである。書背景技術

I Cデバイス等の電子部品の製造過程においては、最終的に製造された I Cデバイスやその中間段階にあるデバイス等の性能や機能を試験する電子部品試験装置が必要であり、 TC Pの場合には、 TC P用の試験装置が使用される。

T C P用の試験装置は、一般的にテスタ本体と、テストヘッドと、 τ

C Pハンドリング装置（以下「T C Pハンドラ」という場合がある。）とから構成される。この T C Pハンドラは、テ一プ（フィルムの概念も含むものとする。以下同じ。）上に T C Pが複数形成されたキャリアテ

—プを搬送して、テストへッドに電気的に接続されでいるプローブ力一ドのプローブにキヤリアテープを押圧し、 T C Pの外部端子をプローブにコンタクトさせることにより、複数の TC Pを順次試験に付す機能を備えている。

このような T C Pハンドラは、一般的に、キャリアテープをプローブに押し付けるプッシャ本体と、キヤリァテープを支持し当該キヤリアテ 04 006680

ープを搬送するスプロケットとを備えている。スプロケッ卜には、プッシャ本体の後段側でキヤリァテープを駆動するメインスプロケットと、プッシャ本体の前段側でキヤリァテープの搬送を補助する補助スプロケットとがあり、通常、メインスプロケットはステツビングモー夕に接続され、補助スプロケットはメインスプロケットと同期回転するようになっている。

しかしながら、上記のような構成では、キヤリァテープに十分な張力を与えることができないため、キヤリァテープ搬送中にキヤリァテープがばたつき、キヤリァテープを高速で搬送することができないという問題や、キヤリァテープを停止させたときにもキヤリァテープにたるみが発生し、プローブに対する T C Pの位置合わせを正確に行うことができないという問題があった。

また、キャリアテープに張力を与えるために、補助スプロケットを強制的に若干量逆回転させる手法もあるが、その場合にはキヤリアテープに過度のストレスを与える難点があった。発明の開示

本発明は、このような実状に鑑みてなされたものであり、キャリアテープに適正な張力を付与し、キャリアテープ（T C P ) の位置決めを正確に行うことができるとともに、搬送中のキヤリァテープのばたつきを抑制することのできる T C Pハンドリング装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、第 1に本発明は、テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリアテープを、搬送装置によって搬送しつつ、プッシャによって、テストへッドに電気的に接続されているコンタクト部に押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数の T C Ρを順次試験に付すことのできる Τ C Ρハンドリング装置であって、前記搬送装置は、キャリアテープを支持して当該キャリアテープを走行および停止させるために、前記プッシャの前段側に第 1のスプロケット、後段側に第 2のスプロケットを備えており、前記第 1のスプロケットには、前記第 1のスプロケットを回転させることのできる駆動源が接続されており、前記駆動源は、前記第 1のスプロケットおよび前記第 2のスプロケットに支持されたキヤリァテープに対して、所定の張力が付与されるように制御されることを特徴とする T C Ρハンドリング装置を提供する（発明 1 ) 。

上記発明（発明 1 ) においては、第 1のスプロケットの駆動源の制御により、キヤリァテープに過度のストレスを与えることなく、適度な張力でキヤリアテープを支持することができる。それによつて、キャリアテープの停止時には、キャリアテープ（T C P ) の位置決めを正確に行うことができ、キヤリァテープの搬送時には、キヤリァテープのばたつきを抑制してキヤリアテープを高速搬送すること、ひいては T C Pハンドリング装置の処理速度の向上を図ることができる。

上記発明（発明 1 ) において、前記駆動源が前記第 1のスプロケットに付与する回転力は、前記第 2のスプロケットの回転方向とは逆方向の回転力であることが好ましい（発明 2 ) 。

上記発明（発明 1 , 2 ) において、前記第 1のスプロケットと前記駆動源との間には、振動を吸収することのできる接続部材が介在していることが好ましい（発明 3 ) 。

上記発明（ 3 ) によれば、第 1のスプロケットの駆動源の駆動軸に振動が発生したとしても、接続部材が駆動軸の振動を吸収（必ずしも振動を 1 0 0 %吸収することを意味するものではない。本明細書にて同じ。）した上で駆動軸の回転力を第 1のスプロケットに伝達することができる。これにより、第 1のスプロケットの振動が低減し、当該振動に起因するキヤリァテ一プのばたつきやキヤリァテープ（T C P ) の位置ずれが効果的に抑制される。

第 2に本発明は、テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリァテープを、搬送装置によって搬送しつつ、プッシャによって、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部に押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリング装置であって、前記搬送装置は、前記プッシャの前段側に設けられた、キヤリアテープを支持し得るスプロケットと、前記スプロケットに対しキヤリアテープの走行方向とは逆の回転方向の回転力を付与することのできる駆動源と、前記駆動源の駆動軸および前記スプロケッ卜の回転軸の間に設けられた、振動を吸収することのできる接続部材とを備えていることを特徴とする T C Pハンドリング装置を提供する（発明 4 ) 。

上記発明（発明 4 ) によれば、駆動源の駆動軸に振動が発生したとしても、接続部材が駆動軸の振動を吸収した上で駆動軸の回転カをスプロケットの回転軸に伝達することができる。これにより、スプロケットの振動が低減し、当該振動に起因するキヤリアテープのばたつきやキヤリァテープ（T C P ) の位置ずれが効果的に抑制される。

上記発明（発明 4 ) においては、前記接続部材が、少なくともねじれ方向に柔軟性を有する部材であることが好ましい（発明 5 ) 。かかる部材によれば、簡単な構造で効果的に駆動軸の振動を吸収することができる。かかる部材としては、例えば、いわゆるフレキシブルカップリングといわれる軸継手を使用することができるが、これに限定されるものではない。

上記発明（発明 4， 5 ) においては、前記接続部材が、ベローズ構造を有する部材であることが好ましい（発明 6 ) 。かかる部材によれば、ベローズ構造によって効果的に駆動軸の振動を吸収することができるとともに、駆動軸の回転力を効率的にスプロケットの回転軸に伝達することができる。

上記発明（発明 4〜6 ) において、前記駆動源はトルクモータであることが好ましい（発明 7 ) 。トルクモータによれば、上記スプロケットによる張力付与の制御が容易である。また、駆動源がトルクモー夕の場合に駆動軸に振動が発生し易いが、その振動を接続部材によって吸収することができる。

上記発明（発明 4〜 7 ) において、前記スプロケットは、キャリアテープを上側から支持するようにフレームに設けられており、前記フレームには、キヤリアテープを下側から支持しガイドするテープ支持部材が設けられていてもよい（発明 8 ) 。

上記発明（発明 8 ) によれば、スプロケットおよびテープ支持部材によってキヤリアテープを上下方向から支持することができるため、キヤリァテープの無用な挙動を効果的に防止して、より高速な搬送が可能となり、 T C Pハンドリング装置の処理速度を向上させることができるとともに、キヤリァテープの位置ずれを効果的に抑制することができる。第 2に本発明は、テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリァテープを、搬送装置によって搬送しつつ、プッシャによって、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部に押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリング装置であって、前記搬送装置は、前記プッシャの前段側およびまたは後段側にてキヤリァテープを上側から支持し搬送するスプロケットと、前記スプロケットを支持するフレ一ムとを備えており、前記フレームには、キャリアテープを下側から支持しガイドするテープ支持部材が設けられていることを特徴とする T C Pハンドリング装置を提供する（発明 9 ) 。

上記発明（発明 9 ) によれば、スプロケットおよびテープ支持部材によってキヤリァテープを上下方向から支持することができるため、キヤリアテープの無用な挙動を効果的に防止して、より高速な搬送が可能となり、 T C Pハンドリング装置の処理速度を向上させることができるとともに、スプロケットの振動等に起因するキヤリァテープの位置ずれを効果的に抑制することができる。

上記発明（発明 9 ) においては、キャリアテープを吸着保持することのできる吸着装置をさらに備えていてもよい（発明 1 0 ) 。この吸着装置は、ガイドによって位置ずれが抑制されたキヤリァテープを吸着固定することができ、したがって被試験 T C Pの位置決めを容易に行うことができる。図面の簡単な説明

図 1は、本発明の一実施形態に係る T C Pハンドラを用いた T C P試験装置を示す正面図である。

図 2は、同実施形態に係る T C Pハンドラにおけるプッシャユニットの正面図である。

図 3は、同実施形態に係る T C Pハンドラにおけるテンションスプロケットの駆動装置の断面図である。

図 4は、同実施形態に係る T C Pハンドラにおける接続部材の斜視図である。

図 5は、同実施形態に係る T C Pハンドラにおけるテープ支持部材の側面図である。

図 6は、同実施形態に係る T C Pハンドラにおけるテープ支持部材の斜視図である。発明を実施するための最良の形態

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。

本発明の一実施形態に係る T C Pハンドラを用いた T C P試験装置を図 1に示す。

T C P試験装置 1は、図示しないテスタ本体と、テス夕本体に電気的に接続されたテストヘッド 1 0と、テストヘッド 1 0の上側に設けられた T C Pハンドラ 2とから構成される。

T C Pハンドラ 2は、キャリアテープ 5上に複数形成された各 T C P を順次試験に付すものであり、本実施形態では、説明の簡略化のために T C Pを 1個ごと試験に付すものとする。ただし、本発明はこれに限定されるものではなく、キャリアテープ 5上において直列方向および Zまたは並列方向に並んだ複数の T C Pを同時に試験に付すようにしてもよい。

T C Pハンドラ 2は、巻出リール 2 1 と巻取リール 2 2とを備えており、巻出リール 2 1には試験前のキヤリアテープ 5が巻き取られている。キャリアテープ 5は、巻出リール 2 1から巻き出され、試験に付された後に巻取リール 2 2に巻き取られる。

巻出リール 2 1 と巻取リ一ル 2 2との間には、キャリアテープ 5から剥離した保護テープ 5 1を卷出リ一ル 2 1から巻取リール 2 2に架け渡す 3個のスぺーサロール 2 3 a， 2 3 b , 2 3 cが設けられている。各スぺーサロール 2 3 a , 2 3 b , 2 3 cは、保護テープ 5 1の張力を調整することができるように、それぞれ上下可動となっている。

巻出リール 2 1の下側には、テープガイド 2 4 a、巻出リミットローラ 2 5 a、イン側サブスプロケット 2 5 bおよびイン側ガイドローラ 2 2004/006680

5 cが設けられており、巻出リール 2 1から巻き出されたキャリアテ一プ 5は、テープガイド 2 4 aによってガイドされつつ、卷出リミット口 —ラ 2 5 a、ィン側サブスプロケット 2 5 bおよびィン側ガイドロ一ラ 2 5 cを経てプッシャュニット 3に搬送される。

また、巻取リール 2 2の下側には、テープガイド 2 4 b、巻取リミットロ一ラ 2 5 ： f 、アウト側サブスプロケット 2 5 eおよびアウト側ガイドロ一ラ 2 5 dが設けられており、試験に付された後のキャリアテープ 5は、アウト側ガイドローラ 2 5 d、アウト側ザブスプロケット 2 5 e および巻取リミットローラ 2 5 ίを経て、テープガイド 2 4 bによってガイドされつつ、巻取リ一ル 2 2に巻き取られる。

イン側ガイドローラ 2 5 cと、アウト側ガイドローラ 2 5 dとの間には、プッシャュニット 3が設けられており、プッシャュニット 3の前段側（図 1中左側）には第 1カメラ 6 aが、プッシャユニット 3の下側（後述するプローブカードステージ 7の内側）には第 2カメラ 6 bが、プッシャユニット 3の後段側（図 1中右側）には第 3カメラ 6 cが設けられている。また、プッシャユニット 3と第 3カメラ 6 cとの間には、マ一クパンチ 2 6 aおよびリジェクトパンチ 2 6 bが設けられている。マ一クパンチ 2 6 aは、試験の結果に基づいて、該当する T C Pにつき所定の位置に 1個または複数個の孔を開けるものであり、リジェクトパンチ 2 6 bは、試験の結果不良品であると判断された T C Pを打ち抜ぐものである。 ― - 各カメラ 6 a， 6 b , 6 cは、図示しない画像処理装置に接続されており、第 1カメラ 6 aおよび第 3カメラ 6 cは、キヤリァテープ 5上における T C Pの有無やマークパンチ 2 6 aによる孔の位置や数を判断するためのものであり、第 2カメラ 6 bは、キャリアテープ 5上の T C Pとプローブとの位置ずれの情報を取得するためのものである。本実施形態における第 2カメラ 6 bは、視野内の複数の対象についての位置ずれ情報を取得することができるようになつている。

第 2カメラ 6 bは、カメラステージ 6 1上に搭載されており、カメラステージ 6 1が有するァクチユエ一夕によって平面視縦横方向（X軸— Y軸方向）および上下方向（Z軸方向）に移動可能となっている。

T C Pハンドラ 2の本体部には、ポールねじ 3 2を回転させることのできるサーポモ一夕 3 1がブラケット 3 6 1を介して取り付けられているとともに、ポールねじ 3 2が螺合しているプッシャ本体部 3 3が 2 本の Z軸方向のリニアモーションガイド 3 7を介して取り付けられている。このプッシャ本体部 3 3は、サーポモ一夕 3 1を駆動させることにより、リニアモーションガイド 3 7にガイドされながら上下方向（Z 軸方向）に移動可能となっている。また、プッシャ本体部 3 3とプッシャユニット 3のフレーム（プッシャフレーム） 3 6とは、図示しない連動機構によって接続されており、上記のようにプッシャ本体部 3 3が上下動すると、それに伴ってプッシャフレーム 3 6も上下動するようになつている。

上記プッシャ本体部 3 3の下端部には、エアを吸引することによりキャリアテープ 5を吸着保持することのできる吸着プレート 3 4が設けられている。

プッシャフレーム 3 6におけるプッシャ本体部 3 3の前段側（図 1中左側）には、テンションスプロケット 3 5 aが設けられており、プッシャ本体部 3 3の後段側（図 1中右側）には、メインスプロケット 3 5 b が設けられている。以下、テンションスプロケット 3 5 aおよびメインスプロケット 3 5 bを纏めてプッシヤスプロケット 3 5 a , 3 5 bという場合がある。

プッシャユニット 3は、図示しないプッシャステージに接続されている。プッシャステージは、複数のポールネジを介してサーポモー夕に接続されており（図示省略）、サーポモータの駆動により、プッシャュニット 3を水平方向（X Y平面方向）に移動させることができるとともに、プッシャユニット 3を垂直軸回り（Z軸回り）に回転させることができる。

プッシャュニット 3の下側であって、テストヘッド 1 0の上部には、プロ一ブカード 8を搭載したプローブカードステージ 7が設置されている。プローブカードステージ 7は、複数のポールネジを介してサ一ポモ一夕に接続されており（図示省略）、サーポモータの駆動により、プローブカード 8を水平方向（X Y平面方向）に移動させることができるとともに、プローブ力一ド 8を垂直軸回り（Z軸回り）に回転させることができる。

複数のプローブ 8 1を備えたプローブカード 8は、ピンによってプローブカードステージ 7のカードリングに着脱自在に取り付けられている（図示省略）。なお、プローブカード 8の各プローブ 8 1は、テストヘッド 1 0を介してテスタ本体に電気的に接続されており、プローブ力ード 8の下側であって、プローブ力一ドステージ 7の内側には第 2カメラ 6 bが位置している。

この T C P試験装置 1では、キャリアテープ 5はプッシャユニット 3 の下側を通過するように搬送され、このキャリアテープ 5をプッシャュニット 3が吸着 ·支持しながらテストへッド- 1 0上のプ -—ブカード 8 に押圧する。すると、キヤリァテープ 5上の T C Pがプローブカード 8 のプローブ 8 1にコンタクトしてテスト信号が T C Pに印加され、 T C Pから読み出された応答信号は、テストへッド 1 0を通じてテスタ本体に送られる。これにより T C Pの性能や機能等が試験される。

かかる試験は、キャリアテープ 5が搬送されることにより、キャリアテープ 5上の全ての T C Pについて順次行われる。そして、試験結果に基づいてマークパンチ 2 6 aまたはリジェクトパンチ 2 6 bが駆動される。

[プッシャュニット]

図 2は、図 1に示した T C Pハンドラのプッシャュニットの正面図である。 '

上述したように、プッシャュニット 3のプッシャフレーム 3 6におけるプッシャ本体部 3 3の前段側にはテンションスプロケット 3 5 aが、後段側にはメインスプロケット 3 5 bが設けられている。

メインスプロケット 3 5 bは、正回転および逆回転可能な主駆動源、一般にステツビングモー夕により駆動され、キャリアテープ 5を所定間隔にて搬送する。一方、テンションスプロケット 3 5 aは、後述する駆動装置によってキャリアテープ 5の走行方向に負荷をかけることにより、キャリアテープ 5に所定の張力を付与する。これらのスプロケット 3 5 a , 3 5 bの駆動は、 T C Pハンドラ 2の制御部（図示省略）によつて制御される。

このようにして、テンションスプロケット 3 5 aおよびメインスプロケット 3 5 bは、プッシャ本体 3 3の両側からキヤリァテープを真つ直ぐに張り、キャリアテープ 5の位置精度を向上させる。

T C Pの試験時には、プッシャ本体部 3 3下端部の吸着プレート 3 4 によってキヤリアテープ 5を吸着保持し、テンションスプロケット 3 5 aおよびメインスプロケット 3 5 bによってキャリアテープ 5を支持しつつ、プッシャユニット 3が下方に移動し、キャリアテープ 5をプローブカード 8に押圧して、キヤリァテ一プ 5上の T C Pをプローブ力一ド 8のプローブ 8 1にコンタクトさせる。

[テンションスプロケットの駆動装置] 図 3は、図 2に示したプッシャュニットにおけるテンションスプロケットの駆動装置の側面図である。図 4は、図 3に示した駆動装置における接続部材の斜視図である。

テンションスプロケット 3 5 aの駆動装置 4は、駆動源 4 1 と、ブレ —キ部材 4 2と、接続部材 4 3と、筐体 4 4と、回転軸 4 5とを含んで構成される。

駆動源 4 1は、駆動軸 4 1 1にキヤリアテープ 5搬送方向とは逆方向の回転力（トルク）を与えるトルクモータである。駆動軸 4 1 1に与えるトルクの大きさは、駆動源 4 1に与える電圧等によって制御することができる。この駆動源 4 1は、駆動軸 4 1 1がプッシャフレーム 3 6の背面側から筐体 4 4内に差し込まれるようにして配置されており、駆動軸 4 1 1は中間ギア 4 6 , 4 7を介して回転軸 4 5に連結されている。本実施形態におけるブレーキ部材 4 2は、プッシャフレーム 3 6の背面側にて回転軸 4 5に取り付けられており、非通電時に回転軸 4 5を把持して回転軸 4 5の停止位置を保持し、通電時にその把持を解除することができるものである。

これらの駆動源 4 1およびブレーキ部材 4 2は、 T C Pハンドラ 2の制御部（図示省略）に接続されており、この制御部によって駆動が制御される。

一方、テンションスプロケット 3 5 aは、その回転軸 3 5 1がプッシャフレーム 3 6の前面側から筐体 4 4内の軸受 3 5 2に差し込まれることにより、当該軸受 3 5 2によって回転自在に支持されている。

ここで、駆動源 4 1側の回転軸 4 5と、テンションスプロケット 3 5 aの回転軸 3 5 1 とは、接続部材 4 3を介して接続されている。この接続部材 4 3は、振動を吸収する機能を有するものであり、例えば、ねじれ方向に柔軟性を有する部材（いわゆるフレキシブルカツプリング）が用いられる。本実施形態では、図 3および図 4に示されるようなベローズカップリングが採用されている。ただし接続部材 4 3はこれに限定されるものではなく、例えば、弹性部材、粘性部材その他の振動吸収部材を使用することもできる。

キャリアテープ 5の停止時において、メインスプロケット 3 5 bは、メインスプロケット 3 5 bが支持しているキヤリァテープ 5を停止状態に維持する。一方、駆動源 4 1は、駆動軸 4 1 1にキヤリアテープ 5 搬送方向とは逆方向のトルクを与えているため、中間ギア 4 6， 4 7 、接続部材 4 3および回転軸 3 5 1を介して、テンションスプロケット 3 5 aはキヤリァテープ 5をその搬送方向とは逆方向に引っ張る（見た目は停止状態にある）。ここで、駆動軸 4 1 1に与えるトルクは、駆動源 4 1に供給する電圧等を制御することで、所望の大きさに制御することができる。これによつて、キャリアテープ 5には所定の張力が付与され、キャリアテープ 5の位置ずれを防止して T C Pの位置決めを容易に行うことが可能となる。

キャリアテ一プ 5の搬送時には、メインスプロケット 3 5 bは、主駆動源によってメインスプロケット 3 5 bが支持しているキヤリアテ一プ 5を搬送方向（図 1および図 2中右方向）に移動させる。キャリアテープ 5の搬送により、メインスプロケット 3 5 bとともにキャリアテープ 5を支持しているテンションスプロケット 3 5 aには、正回転方向のガが働く。一方；駆動源 4 1は、駆動軸 4 1 1にキャリアテープ 5搬送方向とは逆方向のトルクを与えている。ただし、その逆方向のトルクの大きさは、メインスプロケット 3 5 bの主駆動源がメインスプロケット 3 5 bを駆動するトルクの大きさよりも小さいため、キャリアテープ 5 の搬送により、テンションスプロケット 3 5 aの回転軸 3 5 1、接続部材 4 3、中間ギア 4 6 , 4 7および駆動源 4 1の駆動軸 4 1 1は、駆動源 4 1によるトルクがかかった状態で正回転方向に回転する。その結果

、キャリアテープ 5には所定の張力が付与され、キャリアテープ 5のばたつきを抑制してキャリアテープ 5を高速搬送すること、ひいては T C

Pハンドラ 2による処理速度の向上が可能となる。

上記のように、テンションスプロケット 3 5 aおよびメインスプロケット 3 5 bによれば、キヤリァテープ 5の搬送中および停止中のいずれにおいても、キャリアテープ 5に対して所定の張力を付与することができる。キャリアテープ 5の張力の最適な大きさは、キャリアテープ 5の厚さ、幅、強度等； T C Pの重さ、大きさ等；搬送速度などによって異なり、テンションスプロケット 3 5 aの駆動源 4 1に与える電圧等を所定の大きさに制御することによってキャリアテープ 5の張力を調整することができる。これにより、キャリアテープ 5のスプロケット孔に過度のストレスを与えることなく、適度な張力でキヤリアテープ 5を支持することができる。なお、駆動源 4 1に与える電圧等は、キャリアテ一プ 5や駆動系の慣性モーメントを考慮して、搬送速度、搬送開始、搬送停止等の搬送条件の変更に応じて適宜変更するように制御してもよい。ここで、駆動源 4 1の駆動軸 4 1 1に与えるトルクの大きさ等によつては、駆動軸 4 1 1に振動が発生することがあり、その振動は中間ギア 4 6 , 4 7を介して回転軸 4 5に伝達される。かかる振動がテンションスプロケット 3 5' A一き一介して搬送中のキヤリァテープ 5に伝達されると、キヤリアテープ 5のばたつきや位置ずれの原因となる。

しかし、本実施形態においては、回転軸 4 5とテンションスプロケット 3 5 aの回転軸 3 5 1 との間には、振動を吸収することのできる接続部材 4 3が介在しているため、その振動は接続部材 4 3によって吸収された上で、回転軸 4 5の回転力がテンシヨンスプロケット 3 5 aの回転軸 3 5 1に伝達される。

本実施形態では、接続部材 4 3としてべローズカツプリングを使用しているため、上記回転軸 4 5の振動は効果的に吸収されるとともに、回転軸 4 5の回転力はテンションスプロケット 3 5 aの回転軸 3 5 1に効率的に伝達される。

このようにして、駆動源 4 1の駆動軸 4 1 1に振動が発生した場合であっても、その振動がテンションスプロケット 3 5 aに伝達されることが抑制され、したがって、テンションスプロケット 3 5 aの振動に起因するキヤリァテープ 5のばたつきや位置ずれが効果的に抑制される。なお、本実施形態の T C Pハンドラ 2では、駆動装置 4の接続部材 4 3はべローズカツプリングであり、かかる構成は、回転力が回転軸 4 5 からテンションスプロケット 3 5 aに伝達されるときに、回転軸 4 5の振動が効果的に吸収される点で好ましい。しかし、これに限らず、接続部材 4 3の材質および形状 ·構造は、当業者自明の範囲内にて任意に選択できる。具体的には、接続部材 4 3は、ねじり負荷等によって変形して回転軸 4 5の振動を吸収できるものであれば足りる。例えば、接続部材 4 3は、ゴム材料からなる単純な柱状部材であっても良いし、樹脂系材料からなる蛇腹状部材であっても良いし、金属材料からなるコイル状部材であっても良い（図示省略）。

[プッシャュニットのテープ支持部材]

図 5および図 6は、図 2に示したプッシャユニットのテープ支持部材の側面図（図 5 ) および斜視図（図 6 ) である。

本実施形態の T C Pハンドラ 2では、図 2に示すように、プッシャュニット 3のプッシャフレーム 3 6におけるプッシャ本体 3 3 とテンシヨンスプロケット 3 5 aとの間、およびプッシャ本体 3 3とメインスプロケット 3 5 bとの間には、一対のテープ支持部材 3 9 a， 3 9 bが設けられており、これらのテープ支持部材 3 9 a， 3 9 bによってキヤリァテープ 5が下方から支持される。

これらのテープ支持部材 3 9 a , 3 9 bは、側面視略 L字型形状を有し、その垂直部にてプッシャフレーム 3 6の壁面に固定されるとともに、その水平部をプッシャフレーム 3 6の前面側（Y軸方向）に突出させて設置されている（図 5，図 6参照）。

また、テープ支持部材 3 9 a , 3 9 bの水平部の上面側には、キヤリァテープ 5に形成された T C Pの外部端子がテープ支持部材 3 9 a , 3 9 bに接触しないように溝 3 9 1が形成されている。このテ一プ支持部材 3 9 a， 3 9 bは、搬送されるキヤリアテープ 5を下側から支持し、ガイドする機能を有する。

この T C Pハンドラ 2では、キヤリァテ一プ 5はテープ支持部材 3 9 a , 3 9 b上に掛け渡されて下側から支持されるとともに（図 2参照）、これらテープ支持部材 3 9 a , 3 9 bの前段側および後段側にて上側からプッシヤスプロケット 3 5 a , 3 5 bにより支持される。このように、キヤリァテープ 5は、プッシャュニット 3近傍にて上下方向から支持されることとなるため、キヤリァテープ 5の無用な挙動を防止して、より高速な搬送が可能となり、 T C Pハンドラ 2の処理速度を向上させることができる。また、仮に前述したようなテンションスプロケット 3 5 aの駆動源 4 1からの振動がテンションスプロケット 3 5 aに伝達ざれたとじても、キャリアテプ 5のばたつきや位置ずれは効果的に抑制される。

さらに、プッシャ本体 3 3の吸着プレート 3 4は、 T C Pの試験時にキャリアテープ 5を吸着保持することによりキャリアテープ 5を固定し、被試験 T C Pの位置決めを容易ならしめるが、キャリアテープ 5にばたつきが発生している状態では、安定した吸着ができないことがある。 6680

しかし、キャリアテープ 5は、プッシヤスプロケット 3 5 a， 3 5 bおよびテープ支持部材 3 9 a , 3 9 bによって上下方向から支持され、そのばたつきが抑制されているため、吸着プレート 3 4によるキャリアテープ 5の吸着は安定したものとなり、キャリアテープ 5の位置ずれは効果的に抑制される。これにより、被試験 T C Pの位置決めを正確に行うことができる。

なお、本実施形態の T C Pハンドラ 2では、一対のテープ支持部材 3 9 a , 3 9 bが設けられており、これらのテープ支持部材 3 9 a , 3 9 bによってキャリアテープ 5が支持されるので、単一のテープ支持部材 3 9のみが設けられる構成と比較して、キャリアテープ 5が安定的に支持される。これにより、キャリアテープ 5のばたつきや位置ずれがより効果的に抑制される。

ただし、本発明はこれに限定されるものではなく、単一のテープ支持部材 3 9のみが設けられてもよいし、より多くのテープ支持部材 3 9が設けられてもよい。また、テープ支持部材 3の形状は、側面視略 L字型形状に限定されるものではない。産業上の利用の可能性

以上説明したように、本発明に係る T C Pハンドリング装置によれば、キヤリァテープに適正な張力を付与し、キヤリァテープ（T C P ) の位置決めを正確に行うことができるとともに、搬送中のキャリアテープのばたつきを抑制することができるため、 T C Pの試験を正確に、かつ速い処理速度で行うことができる。

Claims

請求の範囲

1 . テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリァテープを、搬送装置によって搬送しつつ、プッシャによって、テストへッドに電気的に接続されているコンタクト部に押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリング装置であって、

前記搬送装置は、キヤリアテープを支持して当該キヤリアテープを走行および停止させるために、前記プッシャの前段側に第 1のスプロケット、後段側に第 2のスプロケットを備えており、

前記第 1のスプロケットには、前記第 1のスプロケットを回転させることのできる駆動源が接続されており、

前記駆動源は、前記第 1のスプロケットおよび前記第 2のスプロケットに支持されたキャリアテープに対して、所定の張力が付与されるように制御されることを特徴とする T C Pハンドリング装置。

2 . 前記駆動源が前記第 1のスプロケットに付与する回転力は、前記第 2のスプロケットの回転方向とは逆方向の回転力であることを特徴とする請求項 1に記載の T C Pハンドリング装置。

3 . 前記第 1のスプロケットと前記駆動源との間には、振動を吸収することのできる接続部材が介在していることを特徴とする請求項 1または 2に記載の T C Pハンドリング装置。

4 . テープ上に T C Pが複数形成されたキャリアテープを、搬送装置によって搬送しつつ、プッシャによって、テストへッドに電気的に接続されているコンタクト部に押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリング装置であつて、前記搬送装置は、前記プッシャの前段側に設けられた、キャリアテープを支持し得るスプロケットと、前記スプロケットに対しキャリアテ一プの走行方向とは逆の回転方向の回転力を付与することのできる駆動源と、前記駆動源の駆動軸および前記スプロケットの回転軸の間に設けられた、振動を吸収することのできる接続部材とを備えていることを特徴とする T C Pハンドリング装置。

5 . 前記接続部材が、少なくともねじれ方向に柔軟性を有する部材であることを特徴とする請求項 4に記載の T C Pハンドリング装置。

6 . 前記接続部材が、ベローズ構造を有する部材であることを特徴とする請求項 4または 5に記載の T C Pハンドリング装置。

7 .前記駆動源がトルクモー夕であることを特徴とする請求項 4〜 6のいずれかに記載の T C Pハンドリング装置。

8 . 前記スプロケットは、キヤリァテープを上側から支持するようにフレームに設けられており、前記フレームには、キヤリァテープを下側から支持しガイドするテープ支持部材が設けられていることを特徴とする請求項 4〜 7のいずれかに記載の T C Pハンドリング装置。

9 . テープ上に T C Pが複数形成されたキャリアテープを、搬送装置によって搬送しつつ、プッシャによって、テストへッドに電気的に接続されているコンタクト部に押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリング装置であって、 - 前記搬送装置は、前記プッシャの前段側およびまたは後段側にてキャリァテープを上側から支持し搬送するスプロケッ卜と、前記スプロケットを支持するフレームとを備えており、

前記フレームには、キヤリァテープを下側から支持しガイドするテ一プ支持部材が設けられていることを特徴とする τ C Pハンドリング装置。

1 0 . キヤリアテープを吸着保持することのできる吸着装置をさらに備えたことを特徴とする請求項 9に記載の T C Pハンドリング装置。