CN1954222A

CN1954222A - Tcp处理装置

Info

Publication number: CN1954222A
Application number: CNA2004800430112A
Authority: CN
Inventors: 村野寿; 清水洁; 金子修一
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2004-05-12
Filing date: 2004-05-12
Publication date: 2007-04-25
Anticipated expiration: 2024-05-12
Also published as: CN100570385C; JPWO2005109016A1; TW200538355A; WO2005109016A1

Abstract

TCP处理机(2)由推动器单元(3)支承在带上形成多个TCP的载带(5)并将其推压到与测试头电气连接的探针卡(8)上，使TCP的外部端子与探针(81)连接，由此能够顺次对多个TCP实施试验，其中，推动器单元(3)具备转矩马达(41)和能够通过该转矩马达(41)的驱动对载带(5)付与规定张力的张力链轮(35a)，在转矩马达(41)的驱动轴(411)与张力链轮(35a)的旋转轴(351)之间夹装有能够吸收振动的连接部件(柔性联轴节)43。

Description

TCP处理装置

技术领域

本发明涉及一种用于试验作为一种IC器件的TCP(Tape CarrierPackage)或COF(Chip On Film)(以下，将由TCP、COF、其它的TAB(Tape Automated Bonding)安装技术制造的器件统称为“TCP”)的TCP处理装置。

背景技术

在IC器件等电子元件的制造过程中，需要用于试验最终制造的IC器件或在中间阶段的器件等的性能或功能的电子元件试验装置，在TCP的场合，使用TCP用的试验装置。

TCP用的试验装置一般由测试器本体、测试头、TCP处理装置(以下有称为“TCP处理机”的场合)构成。该TCP处理机具有这样的功能，即，输送在带(也含有薄膜的概念，以下相同)上形成多个TCP的载带，将载带推压在与测试头电气连接的探针卡的探针上，使TCP的外部端子与探针接触，从而顺次对多个TCP进行试验。

像这样的TCP处理机，一般地具有推动器本体和链轮，该推动器本体将载带推压向探针，该链轮支承载带并输送该载带。在链轮中，有在推动器本体的后段侧驱动载带的主链轮、和在推动器本体的前段侧辅助载带输送的辅助链轮，通常，主链轮与步进马达连接，辅助链轮与主链轮同步旋转。

然而，在上述那样的构成中，由于不能够对载带付以足够的张力，所以，存在有在载带输送过程中载带抖动而不能够以高速输送载带这样的问题，或是在使载带停止时在载带上产生松弛而不能够正确地进行TCP相对于探针的对位这样的问题。

另外，为了对载带付以张力，也有强制地使辅助链轮反转若干量的手法，但是在该场合存在对载带付以过度的应力的难点。

发明内容

本发明是鉴于这样的实际情况而制成的，其目的是提供一种TCP处理装置，其可以对载带付与适当的张力，正确地进行载带(TCP)的定位，同时，可以抑制输送中的载带的抖动。

为达成上述目的，第一，本发明提供一种TCP处理装置，其通过将在带上形成多个TCP的载带由输送装置输送，同时，由推动器推压向与测试头电气连接的接触部，使TCP的外部端子与所述接触部连接，从而能够顺次地试验多个TCP，其特征在于，所述输送装置，为了支承载带并使该载带运行以及停止，在所述推动器的前段侧具有第一链轮，在后段侧具有第二链轮，在所述第一链轮上连接有能够使所述第一链轮旋转的驱动源，所述驱动源以对支承在所述第一链轮以及所述第二链轮上的载带付与规定张力的方式受到控制(发明1)。

在所述发明(发明1)中，通过第一链轮的驱动源的控制，可以不对载带付以过度的应力，能够以适度的张力支承载带。由此，在载带停止时，可以正确地进行载带(TCP)的定位，在载带的输送时，可以抑制载带的抖动而高速输送载带，进而达成TCP处理装置的处理速度的提高。

在所述发明(发明1)中，优选的是，所述驱动源付与所述第一链轮的旋转力是与所述第二链轮的旋转方向相反的方向的旋转力(发明2)。

在所述发明(发明1、2)中，优选的是，在所述第一链轮和所述驱动源之间，夹装能够吸收振动的连接部件(发明3)。

根据所述发明(3)，即使在第一链轮的驱动源的驱动轴上产生振动，也可以由连接部件吸收驱动轴的振动(并不一定意味着100％吸收振动，在本说明书中相同)，而且，能够向第一链轮传递驱动轴的旋转力。由此，降低第一链轮的振动，有效地抑制起因于该振动的载带的抖动或载带(TCP)的位置偏移。

第二，本发明提供一种TCP处理装置，通过将在带上形成多个TCP的载带由输送装置输送，同时，由推动器推压向与测试头电气连接的接触部，使TCP的外部端子与所述接触部连接，从而能够顺次地试验多个TCP，其特征在于，所述输送装置具有链轮、驱动源和连接部件；该链轮设在所述推动器的前段侧，可支承载带；该驱动源能够对所述链轮付以与载带的运转方向相反的旋转方向的旋转力；该连接部件设在所述驱动源的驱动轴以及所述链轮的旋转轴之间，能够吸收振动(发明4)。

根据所述发明(4)，即使在驱动源的驱动轴上产生振动，也可以由连接部件吸收驱动轴的振动，而且，向链轮的旋转轴传递驱动轴的旋转力。由此，降低链轮的振动，有效地抑制起因于该振动的载带的抖动或载带(TCP)的位置偏移。

在所述发明(发明4)中，优选的是，所述连接部件是至少在扭转方向具有柔软性的部件(发明5)。根据该部件，能够以简单的构造有效地吸收驱动轴的振动。作为这样的部件，例如，虽然可以使用所谓的被称为柔性联轴节的联轴节，但是并不限定于此。

在所述发明(发明4、5)中，优选的是，所述连接部件是具有波纹管构造的部件(发明6)。根据这样的部件，能够通过波纹管构造有效地吸收驱动轴的振动，同时，可以高效地向链轮的旋转轴传递驱动轴的旋转力。

在所述发明(发明4～6)中，优选的是，所述驱动源为转矩马达(发明7)。根据转矩马达，由所述链轮进行的张力付与的控制容易。另外，在驱动源为转矩马达的场合，虽然在驱动轴易于发生振动，但是可以由连接部件吸收其振动。

在所述发明(发明4～7)中也可如此设置，所述链轮以从上侧支承载带的方式设置在构架上，在所述构架中，设有从下侧支承并对其进行引导的带支承部件(发明8)。

根据所述发明(发明8)，因为能够由链轮以及带支承部件从上下方向支承载带，所以可有效地防止载带的无用的举动，可更加高速地进行输送，能够使TCP处理装置的处理速度提高，同时，可以有效地抑制载带的位置偏移。

第二，本发明提供一种TCP处理装置，通过将在带上形成多个TCP的载带由输送装置输送，同时，由推动器推压向与测试头电气连接的接触部，使TCP的外部端子与所述接触部连接，从而能够顺次地试验多个TCP，其特征在于，所述输送装置具有链轮和构架；该链轮在所述推动器的前段侧以及/或者后段侧从上侧支承并输送载带；该构架支承所述链轮；在所述构架中，设有从下侧支承并引导载带的带支承部件(发明9)。

根据所述发明(发明9)，由于能够通过链轮以及带支承部件从上下方向支承载带，所以可有效地防止载带的无用的举动，可更高速地进行输送，能够使TCP处理装置的处理速度提高，同时，可以有效地抑制由链轮的振动等引起的载带的位置偏移。

在所述发明(发明9)中，还可具备能够吸附保持载带的吸附装置(发明10)。该吸附装置可以吸附并固定由引导件抑制位置偏移的载带，因此可以容易地进行被试验TCP的定位。

附图说明

图1为示出采用本发明一实施方式的TCP处理机的TCP试验装置的正视图。

图2为该实施方式的TCP处理机中的推动器单元的正视图。

图3为该实施方式的TCP处理机中的张力链轮的驱动装置的剖面图。

图4为该实施方式的TCP处理机中的连接部件的立体图。

图5为该实施方式的TCP处理机中的带支承部件的侧视图。

图6为该实施方式的TCP处理机中的带支承部件的立体图。

具体实施方式

以下，基于附图对本发明的实施方式进行详细说明。

在图1中示出了采用本发明的一实施方式的TCP处理机的TCP试验装置。

TCP试验装置1由未图示的测试器本体、与测试器本体电气连接的测试头10、和在测试头10的上侧设置的TCP处理机2构成。

TCP处理机2顺次试验在载带5上形成的多个TCP，在本实施方式中，为了简化说明，设成为每次一个地试验TCP。但是，本发明并不限定于此，也可同时试验沿直列方向以及/或者并列方向排列在载带5上的多个TCP。

TCP处理机2具有放卷轴21和收卷轴22，在放卷轴21卷绕有试验前的载带5。载带5从放卷轴21被放出，试验后被卷绕在收卷轴22上。

在放卷轴21和收卷轴22之间设有三个隔离辊23a、23b、23c，该隔离辊将从载带5剥离的保护带51从放卷轴21转接至收卷轴22。各隔离辊23a、23b、23c分别上下可动地设置着，从而可以调整保护带51的张力。

在放卷轴21的下侧，设有带引导件24a、放线限制辊25a、输入侧副链轮25b以及输入侧引导辊25c，从放卷轴21放出的载带5由带引导件24a引导，同时，经由放线限制辊25a、输入侧副链轮25b以及输入侧引导辊25c输送至推动器单元3。

另外，在收卷轴22的下侧，设有带引导件24b、收卷限制辊25f、输出侧副链轮25e以及输出侧引导辊25d，进行试验后的载带5经由输出侧引导辊25d、输出侧副链轮25e以及收卷限制辊25f，由带引导件24b引导，同时，被卷绕在收卷轴22上。

在输入侧引导辊25c和输出侧引导辊25d之间设有推动器单元3，在推动器单元3的前段侧(图1中左侧)设有第一照相机6a，在推动器单元3的下侧(后述的探针卡台7的内侧)设有第二照相机6b，在推动器单元3的后段侧(图1中右侧)设有第三照相机6c。另外，在推动器单元3和第三照相机6c之间设有标记打孔机(マ一クパンチ)26a以及等外品打孔机(リジェクトパンチ)26b。

标记打孔机26a是基于试验的结果在该TCP上的规定位置开设一个或多个孔的设备，等外品打孔机26b是打穿被判断为试验结果不合格品的TCP的设备。

各照相机6a、6b、6c连接于未图示的图像处理装置，第一照相机6a以及第三照相机6c是用于判断载带5上的TCP的有无或者用于判断由标记打孔机26a形成的孔的位置或数量的设备，第二照相机6b是用于获取载带5上的TCP和探针的位置偏移信息的设备。本实施方式中的第二照相机6b制成可以获取视野内的多个对象的位置偏移信息。

第二照相机6b装载在照相机台61上，能够通过照相机台61所具有的致动器在平面观看的纵横方向(X轴-Y轴方向)以及上下方向(Z轴方向)移动。

在TCP处理机2的本体部，经由托架361安装有可使滚珠丝杠32旋转的伺服马达31，同时，经由两根Z轴方向的直动引导件37安装有与滚珠丝杠32螺纹接合的推动器本体部33。该推动器本体部33，通过使伺服马达31驱动，从而由直动引导件37引导，同时，可在上下方向(Z轴方向)上移动。另外，推动器本体部33和推动器单元3的构架(推动器构架)36由未图示的联动机构连接着，如果像上述那样使推动器本体部33上下移动的话，则推动器构架36也随之上下移动。

在所述推动器本体部33的下端部，设有可以通过吸引空气而吸附并保持载带5的吸附板34。

在推动器构架36中的推动器本体部33的前段侧(图1中左侧)设有张力链轮35a，在推动器本体部33的后段侧(图1中右侧)设有主链轮35b。下面，有将张力链轮35a及主链轮35b统称为推动器链轮35a、35b的场合。

推动器单元3与未图示的推动器台连接。推动器台经由多个滚珠丝杠与伺服马达连接(省略图示)，通过伺服马达的驱动可以使推动器单元3在水平方向(XY平面方向)移动，同时，可使推动器单元3绕垂直轴(绕Z轴)旋转。

在推动器单元3下侧的测试头10的上部，设置有装载了探针卡8的探针卡台7。探针卡台7经由多个滚珠丝杠而与伺服马达连接(省略图示)，通过伺服马达的驱动可使探针卡8在水平方向(XY平面方向)上移动，同时，可使探针卡8绕垂直轴(绕Z轴)旋转。

具有多个探针81的探针卡8通过销而自由装卸地安装在探针卡台7的卡环上(省略图示)。而且，探针卡8的各探针81经由测试头10与测试器本体电气连接，在探针卡8的下侧的探针卡台7的内侧定位有第二照相机6b。

在该TCP试验装置1中，载带5通过推动器单元3的下侧地被输送，由推动器单元3吸附/支承该载带5，同时，向测试头10上的探针卡8推压载带5。于是，载带5上的TCP与探针卡8的探针81接触，对TCP施加测试信号，从TCP读出的响应信号通过测试头10送入测试器本体。由此，试验TCP的性能或功能等。

通过输送载带5，对载带5上的全部TCP顺次进行这样的试验。而且，基于试验结果来驱动标记打孔机26a或者等外品打孔机26b。

[推动器单元]

图2为在图1中示出的TCP处理机的推动器单元的正视图。

像上述那样，在推动器单元3的推动器构架36中的推动器本体部33的前段侧设有张力链轮35a，在后段侧设有主链轮35b。

主链轮35b，由可正转以及反转的主驱动源，一般由步进马达驱动，按规定间隔输送载带5。另一方面，张力链轮35a，通过由后述的驱动装置在载带5的运行方向施加载荷，从而对载带5付与规定的张力。这些链轮35a、35b的驱动由TCP处理机2的控制部(省略图示)控制。

这样，张力链轮35a以及主链轮35b，从推动器本体33的两侧笔直地张拉载带，使载带5的位置精度提高。

在TCP试验时，由推动器本体部33下端部的吸附板34吸附并保持载带5，由张力链轮35a以及主链轮35b支承载带5，同时，推动器单元3向下方移动，将载带5推压向探针卡8，使载带5上的TCP与探针卡8的探针81接触。

[张力链轮的驱动装置]

图3为在图2中示出的推动器单元中的张力链轮的驱动装置的侧视图。图4为在图3中示出的驱动装置中的连接部件的立体图。

张力链轮35a的驱动装置4包括驱动源41、制动部件42、连接部件43、框体44和旋转轴45。

驱动源41为对驱动轴411施加与载带5输送方向相反的方向的旋转力(转矩)的转矩马达。对驱动轴411施加的转矩的大小可以由对驱动源41施加的电压等而控制。该驱动源41，从推动器构架36的背面侧向框体44内插入驱动轴411而配置，驱动轴411经由中间齿轮46、47与旋转轴45连结。

本实施方式中的制动部件42是这样的部件，即，在推动器构架36的背面侧安装在旋转轴45上，可以在非通电时把持旋转轴45而保持旋转轴45的停止位置，在通电时解除该把持。

这些驱动源41以及制动部件42与TCP处理机2的控制部(省略图示)连接，由该控制部控制驱动。

另一方面，张力链轮35a的旋转轴351从推动器构架36的前面侧被插入到框体44内的轴承352内，从而由该轴承352自由旋转地支承。

这里，驱动源41侧的旋转轴45和张力链轮35a的旋转轴351经由连接部件43连接。该连接部件43是具有吸收振动功能的部件，例如，采用在扭转方向具有柔软性的部件(所谓的柔性联轴节)。在本实施方式中，采用像图3以及图4中示出那样的波纹管联轴节。但是，连接部件43并不限定于此，例如，也可以使用弹性部件、粘性部件等其它振动吸收部件。

在载带5停止时，主链轮35b将主链轮35b支承的载带5维持在停止状态。另一方面，驱动源41为了对驱动轴411施加与载带5输送方向相反的方向的转矩，经由中间齿轮46、47、连接部件43以及旋转轴351，张力链轮35a向与载带5的输送方向相反的方向张拉载带5(处于停止状态)。这里，施加于驱动轴411的转矩，可以通过控制供给到驱动源41的电压等而控制在所希望的大小。由此，可以对载带5付以规定的张力，防止载带5的位置偏移，易于进行TCP的定位。

在载带5输送时，主链轮35b，由主驱动源使主链轮35b支承的载带5向输送方向(图1以及图2中右方向)移动。由载带5的输送，对与主链轮35b共同支承载带5的张力链轮35a作用正旋转方向的力。另一方面，驱动源41对驱动轴411施加与载带5输送方向相反的方向的转矩。但是，因为该反方向转矩的大小比主链轮35b的主驱动源驱动主链轮35b的转矩的大小要小，所以，通过载带5的输送，张力链轮35a的旋转轴351、连接部件43、中间齿轮46、47以及驱动源41的驱动轴411，在由驱动源41施加转矩的状态下向正旋转方向旋转。结果，可以对载带5付与规定的张力，抑制载带5的抖动而高速输送载带5，进而提高TCP处理机2的处理速度。

像上述那样，根据张力链轮35a以及主链轮35b，即使在载带5的输送过程中以及停止过程中的任意过程中，也可以对载带5付与规定的张力。载带5的张力的最适合的大小，根据载带5的厚度、宽度、强度等，TCP的重量、大小等，输送速度等而有所不同，通过将施加于张力链轮35a的驱动源41的电压等控制在规定的大小，能够调整载带5的张力。由此，不会对载带5的链轮孔施加过度的应力，能够以适度的张力支承载带5。施加于驱动源41的电压等，考虑到载带5或驱动系统的转动惯量，也可相应于输送速度、输送开始、输送停止等的输送条件的变化而加以适当的改变地进行控制。

这里，由施加于驱动源41的驱动轴411的转矩的大小等，有在驱动轴411发生振动的情况，该振动经由中间齿轮46、47传递至旋转轴45。如果该振动经由张力链轮35a传递至输送中的载带5的话，就成为了载带5发生抖动或位置偏移的原因。

然而，在本实施方式中，由于在旋转轴45和张力链轮35a的旋转轴351之间，夹装有可以吸收振动的连接部件43，所以，该振动可由连接部件43吸收，而且，旋转轴45的旋转力传递至张力链轮35a的旋转轴351。

在本实施方式中，因为作为连接部件43使用了波纹管联轴节，所以，可有效地吸收所述旋转轴45的振动，同时，旋转轴45的旋转力高效地传递至张力链轮35a的旋转轴351。

这样，即使在驱动源41的驱动轴411上产生振动的场合，也可抑制该振动传递至张力链轮35a，因此，可以有效地抑制张力链轮35a的振动引起的载带5的抖动或位置偏移。

在本实施方式的TCP处理机2中，驱动装置4的连接部件43为波纹管联轴节，这样的构成在该方面是理想的，即，旋转力从旋转轴45传递至张力链轮35a时，有效地吸收旋转轴45的振动。但是，并不限定于此，连接部件43的材质以及形状/构造，在本领域的技术人员所了解的范围内可以任意地选择。具体来讲，连接部件43只要是能够通过扭转载荷等发生变形来吸收旋转轴45的振动的部件的话即可。例如，连接部件43，可为由橡胶材料制成的单纯的柱状部件，也可为由树脂系材料制成的皱纹状部件，还可为由金属材料制成的线圈状部件(省略图示)。

[推动器单元的带支承部件]

图5以及图6为在图2中示出的推动器单元的带支承部件的侧视图(图5)以及立体图(图6)。

在本实施方式的TCP处理机2中，像图2中示出的那样，在推动器单元3的推动器构架36中的推动器本体33和张力链轮35a之间，以及在推动器本体33和主链轮35b之间，设有一对带支承部件39a、39b，由这些带支承部件39a、39b从下方支承载带5。

这些带支承部件39a、39b，具有在侧面观看时呈大致L字形状，以其垂直部固定在推动器构架36的壁面，同时，使其水平部在推动器构架36的前面侧(Y轴方向)突出而设置(参照图5、图6)。

另外，在带支承部件39a、39b的水平部的上面侧，以形成在载带5上的TCP的外部端子不与带支承部件39a、39b接触的方式形成有槽391。该带支承部件39a、39b从下侧支承所输送的载带5，具有引导的功能。

在该TCP处理机2中，载带5在带支承部件39a、39b上挂绕跨过而从下侧得到支承(参照图2)，同时，在这些带支承部件39a、39b的前段侧以及后段侧由推动器链轮35a、35b从上侧支承。这样，因为载带5在推动器单元3附近从上下方向得到支承，所以，可防止载带5的无用的举动，可以进行更高速度的输送，可使TCP处理机2的处理速度提高。另外，即使假设像前述那样的来自张力链轮35a的驱动源41的振动传递至张力链轮35a，也可有效地抑制载带5的抖动或位置偏移。

而且，推动器本体33的吸附板34在TCP的试验时由吸附并保持载带5而固定载带5，被试验TCP的定位变得容易，但是在载带5发生抖动的状态下，存在不能进行稳定吸附的情况。然而，载带5通过推动器链轮35a、35b以及带支承部件39a、39b从上下方向得到支承，抑制了其抖动，所以，使由吸附板34对载带5的吸附稳定，有效地抑制载带5的位置偏移。由此，可以正确地进行被试验TCP的定位。

在本实施方式的TCP处理机2中，设有一对带支承部件39a、39b，由这些带支承部件39a、39b支承载带5，所以，与仅设置单一的带支承部件39的构成相比较，可稳定地支承载带5。由此，可更有效地抑制载带5的抖动或位置偏移。

然而，本发明并不限定于此，也可仅设置单一的带支承部件39，或还可设置更多的带支承部件39。另外，带支承部件3的形状并不限定于在侧面观看时呈大致L字形状。

工业实用性

像以上说明的那样，根据本发明的TCP处理装置，可对载带付与适当的张力，能够正确地进行载带(TCP)的定位，同时，可以抑制输送中载带的抖动，所以可以正确地且以较快的处理速度进行TCP的试验。

Claims

1.一种TCP处理装置，所述TCP处理装置将在带上形成多个TCP的载带由输送装置输送，同时，由推动器推压到与测试头电气连接的接触部，使TCP的外部端子与所述接触部连接，由此能够顺次对多个TCP实施试验，其特征在于，

所述输送装置，为了支承载带并使该载带运行以及停止，在所述推动器的前段侧具有第一链轮，在后段侧具有第二链轮，

在所述第一链轮上连接有能够使所述第一链轮旋转的驱动源，

所述驱动源以对由所述第一链轮以及所述第二链轮支承的载带付与规定张力的方式被控制。

2.如权利要求1中所述的TCP处理装置，其特征在于，所述驱动源付与所述第一链轮的旋转力，是与所述第二链轮的旋转方向相反的方向的旋转力。

3.如权利要求1或2中所述的TCP处理装置，其特征在于，在所述第一链轮和所述驱动源之间，夹装有能够吸收振动的连接部件。

4.一种TCP处理装置，所述TCP处理装置将在带上形成多个TCP的载带由输送装置输送，同时，由推动器推压到与测试头电气连接的接触部，使TCP的外部端子与所述接触部连接，由此能够顺次对多个TCP实施试验，其特征在于，

所述输送装置具有链轮、驱动源和连接部件；该链轮设在所述推动器的前段侧，可支承载带；该驱动源能够对所述链轮付与跟载带运行方向相反的旋转方向的旋转力；该连接部件设在所述驱动源的驱动轴以及所述链轮的旋转轴之间，能够吸收振动。

5.如权利要求4中所述的TCP处理装置，其特征在于，所述连接部件是至少在扭转方向具有柔软性的部件。

6.如权利要求4或5中所述的TCP处理装置，其特征在于，所述连接部件是具有波纹管构造的部件。

7.如权利要求4至6中任一项中所述的TCP处理装置，其特征在于，所述驱动源是转矩马达。

8.如权利要求4至7中任一项中所述的TCP处理装置，其特征在于，所述链轮以从上侧支承载带的方式设在构架上，在所述构架上设有从下侧支承并引导载带的带支承部件。

9.一种TCP处理装置，所述TCP处理装置将在带上形成多个TCP的载带由输送装置输送，同时，由推动器推压到与测试头电气连接的接触部，使TCP的外部端子与所述接触部连接，由此能够顺次对多个TCP实施试验，其特征在于，

所述输送装置具有链轮和构架；该链轮在所述推动器的前段侧以及/或者后段侧从上侧支承并输送载带；该构架支承所述链轮，

在所述构架中，设有从下侧支承并引导载带的带支承部件。

10.如权利要求9中所述的TCP处理装置，其特征在于，还具有能够吸附并保持载带的吸附装置。